DE112011103513T5

DE112011103513T5 - Steuervorrichtung und Steuerverfahren für eine Laserbearbeitungsmaschine

Info

Publication number: DE112011103513T5
Application number: DE112011103513T
Authority: DE
Inventors: Mototoshi Kumaoka; Tomohiro Kyoto; Naoki Miyamoto
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2010-10-19
Filing date: 2011-09-13
Publication date: 2013-09-26
Anticipated expiration: 2031-09-14
Also published as: US9492884B2; US20130220981A1; JP5301039B2; CN103167928B; DE112011103513B4; CN103167928A; JPWO2012053297A1; DE112011103513B9; WO2012053297A1

Abstract

In einer Laserbearbeitungsmaschine 100, die eine Vielzahl von Elementeinheiten mit wenigstens einer Lasergebläseeinheit 3, einer Optischer-Pfad-Spülungseinheit 24 und einer Temperatursteuereinheit 8 enthält, sind eine Messeinheit und eine Steuereinheit 10 bereitgestellt. Die Messeinheit misst eine verstrichene Zeit von einem finalen Trigger, bei dem eine Laserbearbeitungsoperation der Laserbearbeitungsmaschine gestoppt hat und keine Benutzeroperationen angewendet wird bezüglich der Laserbearbeitungsmaschine. Die Steuereinheit 10 stoppt die Elementeinheiten auf Grundlage der verstrichenen Zeit nach dem finalen Trigger, wenn eine für jede der Elementeinheiten spezifizierte Bedingung erfüllt wird.

Description

Gebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Steuervorrichtung und ein Steuerverfahren für eine Laserbearbeitungsmaschine, die die Betriebskosten der Laserbearbeitungsmaschine reduzieren.
Hintergrund
In einem Bearbeitungs-Standby-Zustand einer konventionellen Laserbearbeitungsmaschine werden ein Lasergebläse, eine Optischer-Pfad-Spülung, eine Oszillatorspülung und eine Kühlungsvorrichtung immer angetrieben, selbst während eines Leerlaufbetriebs, in dem eine Laserbearbeitung nicht stattfindet. Wenn eine Stoppoperation nicht von einem Operator durchgeführt wird, werden deshalb die Betriebskosten konsumiert, obwohl die Laserbearbeitung nicht tatsächlich durchgeführt wird.
Bezüglich des Betriebskostenproblems aufgrund der verschwenderischen Operationen einer Vielzahl funktionaler Elemente ist zum Verhindern eines verschwenderischen Leistungsverbrauchs eine Technik zum Schalten einer Vielzahl von Energieversorgungseinheiten einer Antriebssystem-Energieversorgung entsprechend einer Vielzahl motorisierter Vorrichtungen auf eine schrittweise Art von einem hochgefahrenen Zustand zu einem runtergefahrenen Zustand offenbart worden (siehe zum Beispiel Patentliteratur 1).
Zitierungsliste
Patentliteratur

Patentliteratur 1: offengelegte japanische Patentanmeldung Nr. 2000-140475

Zusammenfassung
Technisches Problem
Gemäß der oben beschriebenen konventionellen Technik wird jedoch eine Stoppzeit in dem schrittweisen Stoppverfahren durch eine vorbestimmte Zeit gesteuert. Deshalb werden die motorisierten Vorrichtungen ungeachtet des Bearbeitungsmodus eines Benutzers (ein Operator) gestoppt, und somit ist eine wirksame Reduzierung der Betriebskosten in Abhängigkeit von den Eigenschaften der Laserbearbeitungsmaschine schwierig gewesen.
Die vorliegende Erfindung ist angesichts der obigen Probleme erzielt worden. Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Steuervorrichtung und ein Steuerverfahren für eine Laserbearbeitungsmaschine bereitzustellen, die eine unerwartete, von einem Benutzer gemachte Änderung eines Bearbeitungsmodus handhaben können und die Betriebskosten reduzieren können, durch Berücksichtigung von Eigenschaften jeweiliger funktionaler Elemente, die die Laserbearbeitungsmaschine bilden.
Lösung des Problems
Die vorliegende Erfindung ist auf eine Steuervorrichtung für eine Laserbearbeitungsmaschine gerichtet, die eine Vielzahl von Elementeinheiten mit wenigstens einer Lasergebläseeinheit, einer Optischer-Pfad-Spülungseinheit (Engl.: optical-path purge unit) und einer Temperatursteuereinheit enthält. Die Steuervorrichtung enthält eine Messeinheit, die eine verstrichene Zeit von einem finalen Trigger (bzw. Ansteuerung) misst, bei dem eine Laserbearbeitungsoperation der Laserbearbeitungsmaschine gestoppt hat und keine Benutzeroperationen angewendet wird bezüglich der Laserbearbeitungsmaschine, und eine Steuereinheit, die die Elementeinheiten auf Grundlage der verstrichenen Zeit nach dem finalen Trigger stoppt, wenn eine für jede der Elementeinheiten spezifizierte Bedingung erfüllt wird.
Vorteilhafte Wirkungen der Erfindung
Gemäß der vorliegenden Erfindung können die Betriebskosten der gesamten Laserbearbeitungsmaschine reduziert werden durch Reduzieren verschwenderischer Operationen jeweiliger funktionaler Elemente in der Laserbearbeitungsmaschine.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
1 bildet eine Ausgestaltung einer Laserbearbeitungsmaschine gemäß ersten bis vierten Ausführungsformen ab.
2 ist ein Flussdiagramm eines Steuerverfahrens der Laserbearbeitungsmaschine gemäß der ersten Ausführungsform.
3 bildet eine Beziehung zwischen Zeiten von einem Spülungsstopp und von einer Spülungsaktivierung und einer N₂-Konzentration in einem optischen Pfad in der zweiten Ausführungsform ab.
4 ist ein Flussdiagramm eines Steuerverfahrens der Laserbearbeitungsmaschine gemäß der zweiten Ausführungsform.
5 bildet eine Änderung einer N₂-Konzentration in einem optischen Pfad zu der Zeit eines intermittierenden Betriebs einer Optischer-Pfad-Spülung in der dritten Ausführungsform ab.
6 ist ein Flussdiagramm eines Steuerverfahrens der Laserbearbeitungsmaschine gemäß der dritten Ausführungsform.
Beschreibung der Ausführungsformen
Beispielhafte Ausführungsformen einer Steuervorrichtung für eine Laserbearbeitungsmaschine und deren Steuerverfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung werden unten im Detail mit Verweis auf die begleitenden Zeichnungen erläutert werden. Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Ausführungsformen beschränkt.
Erste Ausführungsform
1 bildet eine Ausgestaltung einer Laserbearbeitungsmaschine 100 gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ab. In 1 enthält die Laserbearbeitungsmaschine 100 einen Laser-Oszillator 1, eine Entladungselektrode 2 in dem Laser-Oszillator 1, ein Gaszirkulationsgebläse 3 (Lasergebläseeinheit), das in dem Laser-Oszillator 1 bereitgestellt ist, um Lasergas in dem Laser-Oszillator 1 zu zirkulieren, einen Teilreflektionsspiegel 4, der einen Teil von Laserstrahlen 11 reflektiert und die anderen Laserstrahlen 11 weiterleitet, einen Totalreflektionsspiegel 5, der die Laserstrahlen 11 totalreflektiert, und einen Wärmetauscher 6, der einen Wärmeaustausch für die Temperatursteuerung des Lasergases durchführt.
Der Laser-Oszillator 1 enthält ein Vakuumgehäuse 7, das darin das Gaszirkulationsgebläse 3, die Entladungselektrode 2 und den Wärmetauscher 6 beherbergt. Das Vakuumgehäuse 7 ist mit einem Lasergas gefüllt, so wie CO₂, mit ungefähr 1/10 Atmosphärendruck (zum Beispiel 55 Torr) zu der Zeit des Betreibens des Laser-Oszillators 1.
Die Laserbearbeitungsmaschine 100 enthält außerdem eine Temperatursteuereinheit 8 (Temperatursteuereinheit). Die Temperatursteuereinheit 8 hat eine Funktion zum Steuern der Temperatur jeweiliger Teile, das sind der Teilreflektionsspiegel 4, der Totalreflektionsspiegel 5, der Wärmetauscher 6, die Entladungselektrode 2 und dergleichen, durch Zuführen von Kühlwasser (erwärmtem Wasser) dorthin.
Die Laserbearbeitungsmaschine 100 enthält außerdem ein Netzschaltfeld (Engl.: power panel) 9, in dem eine Vorrichtung (nicht gezeigt), die eine elektrische Entladung in der Entladungselektrode 2 erzeugt, eine Vorrichtung (nicht gezeigt), die das Gaszirkulationsgebläse 3 steuert, eine Vorrichtung (nicht gezeigt), die veranlasst, dass das Vakuumgehäuse 7, das mit Laserglas zur Laser-Oszillation des Laser-Oszillators 1 gefüllt worden ist, evakuiert wird, und dergleichen aufgenommen sind. Die Laserbearbeitungsmaschine 100 enthält ferner eine Steuereinheit 10, die eine Steuerung mit Bezug zu einer Operation des Laser-Oszillators 1 ausführt. Die Steuereinheit 10 kann das Gaszirkulationsgebläse 3, die Temperatursteuereinheit 8 und jeweilige funktionale Blöcke der Laserbearbeitungsmaschine 100 mit einer unten erläuterten Optischer-Pfad-Spülungsfunktion direkt oder über das Netzschaltfeld 9 oder dergleichen steuern. Ein Eingabe-Terminal 18, so wie ein Personalcomputer, mit dem ein Operator vielfältige Setzwerte eingeben kann, ist mit der Steuereinheit 10 verbunden. Die Steuereinheit 10 hat außerdem eine Funktion zum Messen einer verstrichenen Zeit von einem finalen Trigger, bei der/dem keine Benutzeroperation bezüglich der Laserbearbeitungsmaschine 100 angewendet wird.
Die aus dem Laser-Oszillator 1 extrahierten Laserstrahlen 11 werden auf ein Werkstück (nicht gezeigt) über einen mit N₂ (Stickstoff) gespülten optischen Pfad 20 ausgestrahlt. Hochdruck-N₂ ist mit einem Regler 25 verbunden. Eine Optischer-Pfad-Spülung mit N₂ wird ausgeführt, wenn N₂ bis zu einem Druck höher als der Atmosphärendruck durch den Regler 25 druckentlastet wird, durch Füllen des N₂ in den optischen Pfad 20 via ein Ventil 24 in einem „geöffneten” Zustand.
Die Laserbearbeitungsmaschine 100 enthält außerdem eine Lasergas-Versorgungsquelle 12, ein Druckmessgerät 13 und eine Vakuumpumpe 14. Zum Beispiel ist die Lasergas-Versorgungsquelle 12 ein Gaszylinder, der Lasergas an das Vakuumgehäuse 7 liefert. Das Druckmessgerät 13 misst den Druck in dem Vakuumgehäuse 7. Die Vakuumpumpe 14 hat eine Funktion zur Vakuumierung (bzw. Vakuumbildung) oder zum Evakuieren des Vakuumgehäuses 7. Ventile 15, 16 und 17 sind zwischen dem Vakuumgehäuse 7 und der Lasergas-Versorgungsquelle 12, dem Druckmessgerät 13 bzw. der Vakuumpumpe 14 bereitgestellt.
Ein Steuerverfahren der Laserbearbeitungsmaschine 100 gemäß der vorliegenden Erfindung wird unten mit Verweis auf ein in 2 gezeigtes Flussdiagramm erläutert. In der vorliegenden Ausführungsform wird eine Zeit von dem finalen Trigger (ein Laser-Oszillationsstopp, Schirmoperation oder dergleichen) bis zum automatischen Stopp im Voraus als eine Stoppzeit bezüglich der jeweiligen funktionalen Komponenten der Laserbearbeitungsmaschine 100 gesetzt.
Zeiten, wie beispielsweise eine „Lasergebläse-Stoppzeit: tb” (erste Stoppzeit) bezüglich des Gaszirkulationsgebläses 3, eine „Optischer-Pfad-Spülungs-Stoppzeit: tp” (zweite Stoppzeit) bezüglich einer Optischer-Pfad-Spülung (Füllen von N₂ in den optischen Pfad 20 durch „Öffnen” des Ventils 24) und eine „Temperatursteuereinheit-Stoppzeit: tc” (dritte Stoppzeit) bezüglich der Temperatursteuereinheit 8, und eine Zeit von dem finalen Trigger bis zum Stopp dieser Einheiten werden von einem Operator (ein Benutzer) eingegeben und gesetzt. Diese Setztwerte werden beispielsweise von dem Eingabe-Terminal 18 eingegeben, und die Steuereinheit 10 führt die folgende Steuerung auf Grundlage dieser Setzwerte bezüglich der Laserbearbeitungsmaschine 100 aus.
Zuerst wird die Zeitzählung von einem Zeitpunkt gestartet, bei dem eine Laserbearbeitungsarbeit nicht aktuell durchgeführt wird (während eines Leerlaufbetriebs), und der Operator keine Operation bezüglich der Laserbearbeitungsmaschine 100 durchführt, d. h. die letzte Operation ist durchgeführt worden (zu der Zeit des finalen Triggers) (JA bei Schritt S201). Wenn die obigen Bedingungen nicht erfüllt sind, so wie ein Fall, wo der Operator eine gewisse Operation durchführt, wird das Zählen zurückgesetzt (NEIN bei Schritt S201).
Wenn das Zählen fortgesetzt wird, und die Steuerung (eine Automatischer-Stopp-Funktion) gemäß der vorliegenden Ausführungsform bezüglich der Laserbearbeitungsmaschine 100 gültig ist (JA bei Schritt S202), schreitet der Prozess zu Schritt S203. In anderen Fällen (NEIN bei S202) wird das Zählen zurückgesetzt. Beim Schritt S203, wenn eine Vakuumierung des Inneren des Vakuumgehäuses 7 des Laser-Oszillators 1 voranschreitet (JA bei Schritt S203), werden das Gaszirkulationsgebläse 3, die Optischer-Pfad-Spülung (Füllen von N₂ in den optischen Pfad 20 durch „Öffnen” des Ventils 24) und die Temperatursteuereinheit 8 alle sofort gestoppt, ungeachtet der verstrichenen Zeit von dem finalen Trigger (Schritt S210).
In dem anderen Fall als während der Vakuumierung (NEIN bei Schritt S203), wenn die Stoppzeiten tb, tp und tc der jeweiligen funktionalen Komponenten erreicht sind, werden die entsprechenden funktionalen Komponenten gestoppt. Wie in 2 gezeigt, wird genauer genommen, wenn eine verstrichene Zeit t von dem finalen Trigger „die Lasergebläse-Stoppzeit: tb” überschritten hat (JA bei Schritt S204), das Gaszirkulationsgebläse 3 (Lasergebläseeinheit) gestoppt (Schritt S205). Wenn die verstrichene Zeit t von dem finalen Trigger „die Optischer-Pfad-Spülungs-Stoppzeit: tp” überschritten hat (JA bei Schritt S206), wird das Ventil 24 „geschlossen” zum Stoppen einer N₂-Spülung in den optischen Pfad 20 (Schritt S207). Wenn die verstrichene Zeit t von dem finalen Trigger „die Temperatursteuereinheit-Stoppzeit: tc” überschritten hat (JA bei Schritt S208), wird die Temperatursteuereinheit 8 (Temperatursteuereinheit) gestoppt (Schritt S209).
Weil ein Operator im Voraus die Stoppzeit für jede funktionale Komponente setzen kann, kann in der vorliegenden Ausführungsform ein automatischer Stopp gemäß der Absicht des Operators realisiert werden. Weil eine Zeit, die erforderlich ist zum Reaktivieren der jeweiligen funktionalen Komponenten (eine erforderliche Aktivierungszeit), und eine Stoppzeit mit Berücksichtigung der Bearbeitungsarbeitsinhalte gesetzt werden können beispielsweise bezüglich einer funktionalen Komponente, die eine lange Zeit zur Reaktivierung erfordert, kann eine Stoppzeit länger als das Intervall der Bearbeitungsarbeitszeit gesetzt werden, so dass die funktionale Komponente nichtautomatisch gestoppt wird.
Weil die funktionale Komponente, für die die Stoppzeit länger gesetzt ist, nicht automatisch gestoppt wird, gibt es in diesem Fall keinen Bedarf, auf die Aktivierung zu der Zeit der Reaktivierung zu warten, und wenn die Operation für eine lange Zeit aufgrund der Operatorumstände angehalten wird, verringert sich wegen des automatischen Stopps nicht die Arbeitseffizienz. Durch Setzen einer kürzeren Stoppzeit bezüglich der funktionalen Komponente, die eine kürzere Zeit zur Reaktivierung (eine erforderliche Aktivierungszeit) erfordert, können andererseits verschwenderische Operationen reduziert werden.
Während eines Leerlaufbetriebs, in dem die Laserbearbeitung nicht durch die Laserbearbeitungsmaschine durchgeführt wird, und eine Stoppoperation durch den Operator nicht durchgeführt wird, werden auf diese Weise in der vorliegenden Ausführungsform die jeweiligen funktionalen Komponenten automatisch gemäß der Stoppzeit gestoppt, die für jede der funktionalen Komponenten gesetzt worden ist, wodurch eine Reduzierung verschwenderischer Operationen ermöglicht wird. Demgemäß können die Betriebskosten der gesamten Laserbearbeitungsmaschine reduziert werden.
Zweite Ausführungsform
Die Ausgestaltung der Laserbearbeitungsmaschine 100 gemäß einer zweiten Ausführungsform ist identisch zu der von 1. In der vorliegenden Ausführungsform wird eine Standby-zulässige-Zeit, die eine Zeit ist, während der ein Operator (ein Benutzer) warten kann, bis die Laserbearbeitungsmaschine 100 aktiviert ist, im Voraus eingegeben, beispielsweise an das Eingabe-Terminal 18 durch den Operator. Eine Aktivierung und ein Stopp der jeweiligen funktionalen Komponenten werden gemäß einer Größenbeziehung zwischen der Standby-zulässige-Zeit und der erforderlichen Aktivierungszeit der jeweiligen funktionalen Komponenten gesteuert.
Jeweilige Zeiten (erforderliche Aktivierungszeit) tb', tp', tr' und tc', die erforderlich sind von dem Stoppzustand des Gaszirkulationsgebläses 3 (Lasergebläseeinheit), Füllen von N₂ in den optischen Pfad 20 durch Öffnen des Ventils 24 (Optischer-Pfad-Spülungseinheit), einer Oszillatorspülungseinheit (nicht gezeigt) und der Temperatursteuereinheit 8 (Temperatursteuereinheit) bis zur Vorbereitungsvollendung, sind physikalisch bestimmt. Somit können diese Zeiten durch eine Berechnung oder dergleichen erhalten werden.
Weil eine erforderliche Lasergebläse-Aktivierungszeit tb', die die erforderliche Aktivierungszeit des Gaszirkulationsgebläse 3 ist, beispielsweise gemäß der Einstellung eines Umrichters bestimmt wird, ist die erforderliche Lasergebläse-Aktivierungszeit ungeachtet des Zustands konstant. Das heißt „tb' = konstanter Wert (Konst.)”.
Die erforderliche Aktivierungszeit der Optischer-Pfad-Spülung wird als nächstes mit Verweis auf 3 erläutert. In 3 sind eine Beziehung zwischen der Zeit vom Spülungsstopp und einer N₂-Konzentration in dem optischen Pfad (die linke Seite in 3) und eine Beziehung zwischen der Zeit von der Spülungsaktivierung und der N₂-Konzentration in dem optischen Pfad (die rechte Seite in 3) zusammen gezeigt, wobei Längsachsen (die N₂-Konzentration in dem optischen Pfad) ausgerichtet sind.
Weil einer N₂-Konzentration DN₂ nach dem Stopp der Optischer-Pfad-Spülung abnimmt, wenn die Zeit t verstreicht seit dem „Schließen” des Ventil 24 (der Stopp der Optischer-Pfad-Spülung), kann die N₂-Konzentration DN₂ durch eine Konzentrationsreduktionsfunktion F(t) ausgedrückt werden, die auf der linken Seite in 3 gezeigt ist: DN₂ = F (t)
Weil die N₂-Konzentration DN₂ nach der Aktivierung der Optischer-Pfad-Spülung („Öffnen” des Ventils 24), wie auf der rechten Seite in 3 gezeigt, zunimmt, wenn eine Zeit tn seit der Aktivierung verstreicht, kann die N₂-Konzentration DN₂ durch eine Konzentrationszuwachsfunktion G(tn) ausgedrückt werden: DN₂n = G(tn)
Mit der Annahme, dass die erforderliche Spülungs-Aktivierungszeit, die erforderlich ist von der Zeit, wenn eine ausreichende Zeit seit dem Stopp der Optischer-Pfad-Spülung verstrichen ist (das Innere des optischen Pfades 20 ist in dem Atmosphärenzustand: die N₂-Konzentration 78%), bis die N₂-Konzentration in dem optischen Pfad 20 100% wird, t* ist, und dass eine inverse Funktion von DN₂n = G(tn) tn = g(DN₂n) ist, wird die erforderliche Optischer-Pfad-Spülungs-Aktivierungszeit tp' durch die folgende Gleichung ausgedrückt: tp' = t* – g(DN₂) = t* – g(F(t))
Das heißt, die erforderliche Optischer-Pfad-Spülungs-Aktivierungszeit tp' kann durch die Spülungs-Stoppzeit t erhalten werden.
Eine erforderliche Temperatursteuereinheit-Aktivierungszeit tc' kann durch die folgende Gleichung erhalten werden auf Grundlage einer Differenz ΔTc zwischen einer Vorbereitungsvollendungstemperatur und der aktuellen Temperatur: tc' = E(ΔTc)
Eine Funktion E wird bestimmt durch die Fähigkeit der Temperatursteuereinheit 8, und tc' kann unterschiedlich sein in Abhängigkeit von einer Größenbeziehungen zwischen der Vorbereitungsvollendungstemperatur und der aktuellen Temperatur, selbst falls ein Absolutwert der Temperaturdifferenz derselbe ist. Wenn die Vorbereitungsvollendungstemperatur niedriger als die aktuelle Temperatur ist, führt die Temperatursteuereinheit 8 eine Kühlung durch. Wenn die Vorbereitungsvollendungstemperatur höher als die aktuelle Temperatur ist, führt die Temperatursteuereinheit 8 eine Erwärmung durch. Die Vorbereitungsvollendungstemperatur ist zum Beispiel 15°C (die Temperatur während des Betriebs ist 10°C) oder 25°C (die Temperatur während des Betriebs ist 30°C)
Ein Steuerverfahren der Laserbearbeitungsmaschine 100 gemäß der vorliegenden Ausführungsform wird unten mit Verweis auf ein Flussdiagramm von 4 erläutert.
Eine Standby-zulässige-Zeit t', die eine Zeit ist, während der ein Operator (ein Benutzer) warten kann, wird im Voraus beispielsweise an das Eingabe-Terminal 18 durch den Operator eingegeben, bis die Laserbearbeitungsmaschine 100 aktiviert wird (Schritt S401).
Die Zeitzählung wird gestartet von einem Zeitpunkt, bei dem eine Laserbearbeitungsarbeit nicht durchgeführt wird (während eines Leerlaufbetriebs), und der Operator nicht irgendeine Operation bezüglich der Laserbearbeitungsmaschine 100 durchführt, d. h. ein Zeitpunkt, bei dem die letzte Operation durchgeführt worden ist (zu der Zeit des finalen Triggers) (JA bei Schritt S402). Wenn die obigen Bedingungen nicht erfüllt sind, so wie ein Fall, wo der Operator eine gewisse Operation durchführt, wird das Zählen zurückgesetzt (NEIN bei Schritt S402).
Wenn das Zählen fortgesetzt wird, eine im Voraus gesetzte vorbestimmte Zeit passiert ist, und die Steuerung (die Automatischer-Stopp-Funktion) gemäß der vorliegenden Ausführungsform bezüglich der Laserbearbeitungsmaschine 100 gültig ist (JA bei Schritt S403), schreitet der Prozess zu Schritt S404. In anderen Fällen (NEIN bei Schritt S403), wird das Zählen zurückgesetzt. Bei Schritt S404, wenn die Vakuumierung des Inneren des Vakuumgehäuses 7 des Laser-Oszillators 1 im Gang ist (JA bei Schritt S404), werden das Gaszirkulationsgebläse 3, die Optischer-Pfad-Spülung (Füllen von N₂ in den optischen Pfad 20 durch „Öffnen” des Ventils 24) und die Temperatursteuereinheit 8 alle sofort gestoppt (Schritt S413).
In einem anderen Fall als während der Vakuumierung (NEIN bei Schritt S404) schreitet der Prozess zu Schritt S405. Wenn die erforderliche Lasergebläse-Aktivierungszeit tb' kürzer ist als die Standby-zulässige-Zeit t' (Ja bei Schritt S405), wird das Gaszirkulationsgebläse 3 (Lasergebläseeinheit) gestoppt (Schritt S406). Wenn die erforderliche Lasergebläse-Aktivierungszeit tb' länger ist als die Standby-zulässige-Zeit t' (Nein bei Schritt S405), wird der Aktivierungszustand des Gaszirkulationsgebläses 3 beibehalten.
Danach, wenn die erforderliche Optischer-Pfad-Spülungs-Aktivierungszeit tp' kürzer ist als die Standby-zulässige-Zeit t' (JA bei Schritt S407), wird das Ventil 24 geschlossen, um die Optischer-Pfad-Spülung zu stoppen, oder der Stoppzustand davon wird beibehalten (Schritt S408). Wenn die erforderliche Optischer-Pfad-Spülungs-Aktivierungszeit tp' länger ist als die Standby-zulässige-Zeit t' (NEIN bei Schritt S407), wird das Ventil 24 geöffnet, um die Optischer-Pfad-Spülung zu aktivieren, oder der Aktivierungszustand davon wird beibehalten (Schritt S409).
Wenn die erforderliche Temperatursteuereinheit-Aktivierungszeit tc' kürzer ist als die Standby-zulässige-Zeit t' (JA bei Schritt S410), wird die Temperatursteuereinheit 8 gestoppt, oder der Stoppzustand davon wird beibehalten (Schritt S411). Wenn die erforderliche Temperatursteuereinheit-Aktivierungszeit tc' länger ist als die Standby-zulässige-Zeit t' (NEIN bei Schritt S410), wird die Temperatursteuereinheit 8 aktiviert, oder deren Aktivierungszustand wird beibehalten (Schritt S412). Danach kehrt der Prozess zu Schritt S407 zurück, und die Steuerung wird durch die Steuereinheit 10 beibehalten.
Wenn jeweilige funktionale Elemente gestoppt werden, um verschwenderische Operationen zu reduzieren, ist eine Standby-Zeit erforderlich, weil eine Reaktivierung Zeit erfordert. Gemäß diesem Verfahren können jedoch verschwenderische Operationen reduziert werden, während die Standby-Zeit innerhalb der durch einen Operator erlaubten Standby-zulässige-Zeit aufgenommen werden kann. Das heißt, dass die Laserbearbeitungsmaschine vollständig innerhalb der durch den Operator erlaubten Standby-Zeit betrieben werden kann, und die Betriebskosten können wirksam zu derselben Zeit reduziert werden.
Dritte Ausführungsform
Wie in der zweiten Ausführungsform erläutert, haben in den funktionalen Elementen der Laserbearbeitungsmaschine zum Beispiel die Optischer-Pfad-Spülungseinheit und die Temperatursteuereinheit klar einen Parameter zum Bestimmen der jeweils erforderlichen Aktivierungszeit (zum Beispiel die N₂-Konzentration und die aktuelle Temperatur). In einer dritten Ausführungsform wird ein intermittierender Betrieb für ein funktionales Element durchgeführt, das die Zeit, die erforderlich ist, bis das funktionale Element vollständig betrieben wird (erforderliche Aktivierungszeit), innerhalb eines gewissen Bereichs beibehalten kann, ungeachtet davon, wann eine Aktivierungsanweisung empfangen wird während einer Ausführung des intermittierenden Betriebs, in dem eine Aktivierung und ein Stopp alternierend wiederholt werden. Demgemäß wird die durch den Operator erlaubte Standby-zulässige-Zeit t' beibehalten. Die Ausgestaltung der Laserbearbeitungsmaschine 100 gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist identisch zu der von 1.
Zum Beispiel wird der intermittierende Betrieb der Optischer-Pfad-Spülung mit Verweis auf 5 erläutert, die eine Änderung der N₂-Konzentration in dem optischen Pfad 20 zu der Zeit des intermittierenden Betriebs abbildet. In dem intermittierenden Betrieb, in dem das Ventil 24 als ein Einlassventil von N₂ wiederholt geöffnet und geschlossen wird, verringert sich, wenn das Ventil 24 geschlossen ist (die Optischer-Pfad-Spülung ist AUS), die N₂-Konzentration in dem optischen Pfad 20. Wenn die N₂-Konzentration eine niedrigste Konzentration N_2w während des intermittierenden Betriebs wird, beginnt die N₂-Konzentration in dem optischen Pfad 20 zuzunehmen, wenn das Ventil 24 geöffnet wird (die Optischer-Pfad-Spülung ist AN). Wenn die N₂-Konzentration eine höchste Konzentration N_2b während des intermittierenden Betriebs wird, wird das Ventil 24 erneut geschlossen (die Optischer-Pfad-Spülung ist AUS). Danach wird diese intermittierende Betriebsarbeit wiederholt.
Durch Durchführen solch einer Arbeit ist die längste erforderliche Optischer-Pfad-Spülungs-Aktivierungszeit tp' während des intermittierenden Betriebs tp'w, die eine Zeit ist, die erforderlich ist, bis die N₂-Konzentration sich von der niedrigsten Konzentration N_2w zu 100% ändert, und die kürzeste erforderliche Optischer-Pfad-Spülungs-Aktivierungszeit tp' ist tp'b, die eine Zeit ist, die erforderlich ist, bis die N₂-Konzentration sich von der höchsten Konzentration N_2b zu 100% ändert. Deshalb ist es erforderlich, dass die Bedingung der längsten erforderlichen Optischer-Pfad-Spülungs-Aktivierungszeit tp'w während „intermittierender Betrieb < die Standby-zulässige-Zeit t'” erfüllt wird. Dies wird möglich durch Durchführen des intermittierenden Betriebs, so dass die N₂-Konzentration in dem optischen Pfad 20 bei einem Wert gleich oder höher als die niedrigste Konzentration N_2w beibehalten wird, auf Grundlage der Konzentrationsreduktionsfunktion DN₂ = F(t) zu der Zeit des Stoppens der Optischer-Pfad-Spülung und der Spülungskonzentrationsfunktion DN₂n = G(tn) zu der Zeit des Durchführens der Optischer-Pfad-Spülung.
Ein Schlüsselpunkt in dem intermittierenden Betrieb ist die niedrigste Konzentration N_2w, die die längste erforderliche Aktivierungszeit tp'w bestimmt. Es ist erforderlich, die Bedingung „durch diese(s) bestimmte längste erforderliche Aktivierungszeit tp'w < Standby-zulässige-Zeit t'” zu erfüllen. Deshalb kann der Zyklus zwischen AN und AUS der Optischer-Pfad-Spülung geändert werden, solange wie das Ventil 24 geöffnet ist (die Optischer-Pfad-Spülung ist AN-geschaltet), wenn die N₂-Konzentration sich sofort zu der niedrigsten Konzentration N_2w verringert hat aufgrund des Schließens des Ventils 24 (die Optischer-Pfad-Spülung ist AUS-geschaltet). Das heißt, dass die höchste Konzentration N_2b während des intermittierenden Betriebs beliebig zwischen N_2w und 100% gesetzt sein kann. Deshalb kann ein optimaler intermittierender Betrieb gesetzt werden während des Behaltens einer Balance zwischen der Einsatzbereitschaft und der ökonomischen Effizienz der Laserbearbeitungsmaschine 100.
Hinsichtlich der Temperatursteuereinheit 8 misst die Temperatursteuereinheit 8 ähnlich eine Wassertemperatur eines Kühlwassers (erwärmten Wassers), um den intermittierenden Betrieb durchzuführen, in dem eine Aktivierung und ein Stopp der Temperatursteuereinheit 8 alternierend wiederholt werden, so dass eine Differenz zwischen der gemessenen Temperatur und der Vorbereitungsvollendungstemperatur als eine Zieltemperatur in einen gewissen Bereich fällt. Auf diese Weise kann durch Beibehalten der Wassertemperatur eines Kühlwassers (erwärmten Wassers) innerhalb eines gewissen Bereichs von der Vorbereitungsvollendungstemperatur die erforderliche Temperatursteuereinheit-Aktivierungszeit tc' innerhalb der Standby-zulässige-Zeit t' beibehalten werden.
Ein Steuerverfahren der Laserbearbeitungsmaschine 100 gemäß der vorliegenden Ausführungsform wird mit Verweis auf ein Flussdiagramm von 6 erläutert. In dem Flussdiagramm von 6 sind die Flüsse von Schritten S401 bis S406 und S413 dieselben wie diese in 4. In 6 wird bei Schritten S405 und S406, nachdem es bestimmt wird, ob das Gaszirkulationsgebläse 3 gestoppt werden soll oder dessen Aktivierungszustand beibehalten werden soll, auf Grundlage der Größenbeziehungen zwischen der erforderlichen Lasergebläse-Aktivierungszeit tb' und der Standby-zulässige-Zeit t', bei Schritt S601, der intermittierende Betrieb der Optischer-Pfad-Spülung und der Temperatursteuereinheit durchgeführt. Der intermittierende Betrieb kann nur für entweder die Optischer-Pfad-Spülung oder die Temperatursteuereinheit durchgeführt werden oder kann für die Optischer-Pfad-Spülung und die Temperatursteuereinheit durchgeführt werden.
Wie oben erläutert kann die erforderliche Aktivierungszeit jedes Elementes innerhalb der durch den Benutzer gesetzten Standby-zulässige-Zeit t' beibehalten werden mittels Durchführen des intermittierenden Betriebs gemäß dem Steuerverfahren der Laserbearbeitungsmaschine 100 der vorliegenden Ausführungsform. Durch dieses Verfahren kann die erforderliche Aktivierungszeit innerhalb der durch den Operator gewünschten Standby-zulässige-Zeit jederzeit realisiert werden, in einem Zustand, wo die Betriebskosten durch den intermittierenden Betrieb niedrig gehalten werden. Das heißt, dass ein optimaler intermittierender Betrieb gesetzt werden kann, während eine Balance zwischen der Einsatzbereitschaft und der ökonomischen Effizienz der Laserbearbeitungsmaschine 100 behalten wird.
Vierte Ausführungsform
Die Ausgestaltung der Laserbearbeitungsmaschine 100 gemäß einer vierten Ausführungsform ist identisch zu der von 1. Wie in der zweiten Ausführungsform erläutert, sind beispielsweise jeweilige Zeiten (erforderliche Aktivierungszeit) tb', tp' und tc', die erforderlich sind von dem Stoppzustand des Gaszirkulationsgebläses 3 (Lasergebläseeinheit), Füllen von N₂ in den optischen Pfad 20 durch Öffnen des Ventils 24 (Optischer-Pfad-Spülungseinheit) und der Temperatursteuereinheit 8 (Temperatursteuereinheit) bis zur Vorbereitungsvollendung, physikalisch bestimmt, und somit können diese Zeiten durch eine Berechnung oder dergleichen erhalten werden. Wie oben beschrieben, ändern sich diese Werte für jedes funktionale Element und ändern sich auch gemäß dem Zustand zu dieser Zeit. Deshalb bestimmt zu der Zeit der Aktivierung der Laserbearbeitungsmaschine 100 ein funktionales Element mit der längsten erforderlichen Aktivierungszeit die erforderliche Aktivierungszeit der gesamten Laserbearbeitungsmaschine 100.
Wenn ein funktionales Element mit einer langen erforderlichen Aktivierungszeit und ein funktionales Element mit einer kurzen erforderlichen Aktivierungszeit gleichzeitig aktiviert werden, wird in diesem Fall das funktionale Element mit der kurzen erforderlichen Aktivierungszeit verschwenderisch betrieben, bis das funktionale Element mit der langen erforderlichen Aktivierungszeit aktiviert wird (Vorbereitungsvollendung), wodurch verschwenderische Betriebskosten für die verschwenderische Operation erzeugt werden.
Wenn eine Aktivierungsoperation an die Laserbearbeitungsmaschine 100 von dem Eingabe-Terminal 18 von einem Benutzer eingegeben wird, werden deshalb gemäß der vorliegenden Ausführungsform beispielsweise die erforderliche Lasergebläse-Aktivierungszeit tb', die erforderliche Spülungs-Aktivierungszeit tp' und die erforderliche Temperatursteuereinheit-Aktivierungszeit tc' berechnet, um eine Operation sequenziell von dem Element mit einer längeren erforderlichen Aktivierungszeit zu starten, so dass die Aktivierungsvollendungszeit der jeweiligen funktionalen Elemente identisch wird. Demgemäß können verschwenderische Operationen durch ein funktionales Element mit einer kürzeren erforderlichen Aktivierungszeit, bis andere funktionale Elemente aktiviert werden (Vorbereitungsvollendung), reduziert werden, wodurch es ermöglicht wird, die Betriebskosten zu der Zeit der Aktivierung der Laserbearbeitungsmaschine 100 zu reduzieren.
Weil das Steuerverfahren der Laserbearbeitungsmaschine gemäß der vorliegenden Ausführungsform realisiert wird, wenn eine Aktivierungsoperation in einem Zustand eingegeben wird, wo die jeweiligen funktionalen Elemente der Laserbearbeitungsmaschine 100 gestoppt sind, kann darüber hinaus das Steuerverfahren in Kombination mit den Steuerverfahren gemäß den ersten bis dritten Ausführungsformen realisiert werden. Demgemäß können die Betriebskosten der Laserbearbeitungsmaschine weiter reduziert werden.
In den oben beschriebenen Ausführungsformen werden ferner die Lasergebläseeinheit, die Optischer-Pfad-Spülungseinheit und die Temperatursteuereinheit verwendet und erläutert als Beispiele funktionaler Elemente in der Laserbearbeitungsmaschine. Jedoch können die obigen Ausführungsformen auch auf andere funktionale Elemente angewendet werden durch Setzen der Stoppzeit und Berechnen der erforderlichen Aktivierungszeit für jedes dieser funktionalen Elemente. Und zwar ist die Erfindung der vorliegenden Anmeldung nicht auf die obigen Ausführungsformen beschränkt, und vielfältige Modifizierungen können innerhalb des Schutzbereichs der Erfindung beim Einsetzen deren Stufen gemacht werden. Außerdem sind Erfindungen bei vielfältigen Stufen in den obigen Ausführungsformen enthalten, und vielfältige Erfindungen können durch zweckgemäße Kombinationen einer Vielzahl hierin bekannt gemachter Bildungselemente extrahiert werden.
Selbst wenn beispielsweise manche Bildungselemente von all den Bildungselementen, die in den oben beschriebenen ersten bis vierten Ausführungsformen beschrieben worden sind, weggelassen werden, kann, soweit die Probleme, die in dem Abschnitt der Lösung des Problems erwähnt worden sind, gelöst werden können und Wirkungen, die in dem Abschnitt der vorteilhaften Wirkungen der Erfindung erwähnt worden sind, erhalten werden, die Ausgestaltung, von der diese Bildungselemente weggelassen worden sind, als eine Erfindung extrahiert werden. Darüber hinaus können Bildungselemente, die den oben beschriebenen ersten bis vierten Ausführungsformen gemeinsam sind, zweckgemäß kombiniert werden.
Gewerbliche Anwendbarkeit
Wie oben beschrieben, sind die Steuervorrichtung und das Steuerverfahren für die Laserbearbeitungsmaschine gemäß der vorliegenden Erfindung nützlich zum Reduzieren der Betriebskosten einer Laserbearbeitungsmaschine und sind besonders geeignet zum Reduzierung der Betriebskosten einer Laserbearbeitungsmaschine während eines Leerlaufbetriebs.
Bezugszeichenliste

1: Laser-Oszillator
2: Entladungselektrode
3: Gaszirkulationsgebläse
4: Teilreflektionsspiegel
5: Totalreflektionsspiegel
6: Wärmetauscher
7: Vakuumgehäuse
8: Temperatursteuereinheit
9: Netzschaltfeld
10: Steuereinheit
11: Laserstrahl
12: Lasergas-Versorgungsquelle
13: Druckmessgerät
14: Vakuumpumpe
15, 16, 17, 24: Ventil
18: Eingabe-Terminal
20: optischer Pfad
25: Regler
100: Laserbearbeitungsmaschine
S201 bis S210, S401 bis S413, S601: Schritte

Claims

Steuervorrichtung für eine Laserbearbeitungsmaschine (100), die eine Vielzahl von Elementeinheiten mit wenigstens einer Lasergebläseeinheit (3), einer Optischer-Pfad-Spülungseinheit (24) und einer Temperatursteuereinheit (8) enthält, wobei die Steuervorrichtung umfasst: eine Messeinheit (10), die eine verstrichene Zeit von einem finalen Trigger misst, bei dem eine Laserbearbeitungsoperation der Laserbearbeitungsmaschine gestoppt hat und keine Benutzeroperationen angewendet wird bezüglich der Laserbearbeitungsmaschine; und eine Steuereinheit (10), die die Elementeinheiten individuell nach dem finalen Trigger stoppt, wenn die verstrichene Zeit eine Stoppzeit überschritten hat, die im Voraus gesetzt worden ist auf Grundlage einer erforderlichen Aktivierungszeit jeder der Elementeinheiten.
Steuervorrichtung gemäß Anspruch 1, wobei die Steuereinheit enthält: eine erste Stoppeinheit, die die Lasergebläseeinheit stoppt, wenn die verstrichene Zeit eine erste Stoppzeit überschritten hat; eine zweite Stoppeinheit, die die Optischer-Pfad-Spülungseinheit stoppt, wenn die verstrichene Zeit eine zweite Stoppzeit überschritten hat, die länger als die erste Stoppzeit ist; und eine dritte Stoppeinheit, die die Temperatursteuereinheit stoppt, wenn die verstrichene Zeit eine dritte Stoppzeit überschritten hat, die länger als die zweite Stoppzeit ist.
Steuervorrichtung für eine Laserbearbeitungsmaschine (100), die eine Vielzahl von Elementeinheiten mit wenigstens einer Lasergebläseeinheit (3), einer Optischer-Pfad-Spülungseinheit (24) und einer Temperatursteuereinheit (8) enthält, wobei die Steuervorrichtung umfasst: eine Messeinheit (10), die eine verstrichene Zeit von einem finalen Trigger misst, bei dem eine Laserbearbeitungsoperation der Laserbearbeitungsmaschine gestoppt hat und keine Benutzeroperationen angewendet wird bezüglich der Laserbearbeitungsmaschine; und eine Standby-zulässige-Zeit-Empfangseinheit, die eine Standby-zulässige-Zeit im Voraus eingibt, die eine Zeit ist, während der ein Benutzer warten kann, bis die Laserbearbeitungsmaschine aktiviert ist; und eine Steuereinheit (10), die, nachdem die verstrichene Zeit eine vorbestimmte Zeit überschritten hat, eine entsprechende der Elementeinheiten stoppt oder einen gestoppten Zustand davon beibehält, wenn eine erforderliche Aktivierungszeit jeder der Elementeinheiten kürzer als die Standby-zulässige-Zeit ist; und eine entsprechende der Elementeinheiten aktiviert oder einen Aktivierungszustand davon beibehält, wenn die erforderliche Aktivierungszeit jeder der Elementeinheiten länger als die Standby-zulässige-Zeit ist.
Steuervorrichtung gemäß Anspruch 3, wobei, nachdem die verstrichene Zeit eine vorbestimmte Zeit überschritten hat, die Steuereinheit die Lasergebläseeinheit stoppt, wenn ein fester Wert einer erforderlichen Lasergebläse-Aktivierungszeit kürzer ist als die Standby-zulässige-Zeit; und einen Aktivierungszustand der Lasergebläseeinheit beibehält, wenn die erforderliche Lasergebläse-Aktivierungszeit länger ist als die Standby-zulässige-Zeit; wobei, nachdem die verstrichene Zeit eine vorbestimmte Zeit überschritten hat, die Steuereinheit die Optischer-Pfad-Spülungseinheit stoppt oder einen gestoppten Zustand davon beibehält, wenn eine erforderliche Optischer-Pfad-Spülungs-Aktivierungszeit kürzer ist als die Standby-zulässige-Zeit; und die Optischer-Pfad-Spülungseinheit aktiviert oder einen Aktivierungszustand davon beibehält, wenn die erforderliche Optischer-Pfad-Spülungs-Aktivierungszeit länger ist als die Standby-zulässige-Zeit; wobei, nachdem die verstrichene Zeit eine vorbestimmte Zeit überschritten hat, die Steuereinheit die Temperatursteuereinheit stoppt oder einen gestoppten Zustand davon beibehält, wenn eine erforderliche Temperatursteuereinheit-Aktivierungszeit kürzer ist als die Standby-zulässige-Zeit; und die Temperatursteuereinheit aktiviert oder einen Aktivierungszustand davon beibehält, wenn die erforderliche Temperatursteuereinheit-Aktivierungszeit länger ist als die Standby-zulässige-Zeit.
Steuervorrichtung gemäß Anspruch 4, wobei ein intermittierender Betrieb, in dem ein Stopp und eine Aktivierung der Optischer-Pfad-Spülungseinheit alternierend wiederholt werden, durchgeführt wird, so dass die erforderliche Optischer-Pfad-Spülungs-Aktivierungzeit gleich oder geringer als die Standby-zulässige-Zeit beibehalten wird.
Steuervorrichtung gemäß Anspruch 4, wobei ein intermittierender Betrieb, in dem ein Stopp und eine Aktivierung der Optischer-Pfad-Spülungseinheit alternierend wiederholt werden, durchgeführt wird, so dass die Temperatursteuereinheit-Aktivierungzeit gleich oder geringer als die Standby-zulässige-Zeit beibehalten wird.
Steuervorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei, wenn eine Aktivierungsoperation bezüglich der Laserbearbeitungsmaschine von einem Benutzer eingegeben wird, die Elementeinheiten sequenziell in Reihenfolge einer Elementeinheit mit einer längeren anfänglichen erforderlichen Aktivierungszeit aktiviert werden, so dass eine Beendungszeit der anfänglichen erforderlichen Aktivierungszeit, die für eine Aktivierung jeder der Elementeinheiten erforderlich ist, zu einer Zeit einer Eingabe, identisch wird.
Steuervorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei zu einer Zeit einer Vakuumierung innerhalb eines Laserresonators sämtliche der Lasergebläseeinheit, der Optischer-Pfad-Spülungseinheit und der Temperatursteuereinheit gestoppt sind.
Steuerverfahren für eine Laserbearbeitungsmaschine (100), die eine Vielzahl von Elementeinheiten mit wenigstens einer Lasergebläseeinheit (3), einer Optischer-Pfad-Spülungseinheit (24) und einer Temperatursteuereinheit (8) enthält, wobei das Steuerverfahren umfasst: Messen (S201) einer verstrichenen Zeit von einem finalen Trigger, bei dem eine Laserbearbeitungsoperation der Laserbearbeitungsmaschine gestoppt hat und keine Benutzeroperationen angewendet wird bezüglich der Laserbearbeitungsmaschine; und Stoppen (S205, S207, S209) der Elementeinheiten individuell nach dem finalen Trigger, wenn die verstrichene Zeit eine Stoppzeit überschritten hat, die im Voraus gesetzt worden ist auf Grundlage einer erforderlichen Aktivierungszeit jeder der Elementeinheiten.
Steuerverfahren gemäß Anspruch 9, wobei der Stoppschritt enthält: Stoppen der Lasergebläseeinheit, wenn die verstrichene Zeit eine erste Stoppzeit überschritten hat; Stoppen der Optischer-Pfad-Spülungseinheit, wenn die verstrichene Zeit eine zweite Stoppzeit überschritten hat, die länger als die erste Stoppzeit ist; und Stoppen der Temperatursteuereinheit, wenn die verstrichene Zeit eine dritte Stoppzeit überschritten hat, die länger als die zweite Stoppzeit ist.
Steuerverfahren für eine Laserbearbeitungsmaschine (100), die eine Vielzahl von Elementeinheiten mit wenigstens einer Lasergebläseeinheit (3), einer Optischer-Pfad-Spülungseinheit (24) und einer Temperatursteuereinheit (8) enthält, wobei das Steuerverfahren umfasst: Eingeben (S401) einer Standby-zulässige-Zeit im Voraus, die eine Zeit ist, während der ein Benutzer warten kann, bis die Laserbearbeitungsmaschine aktiviert ist; und Messen (S402) einer verstrichenen Zeit von einem finalen Trigger, bei dem eine Laserbearbeitungsoperation der Laserbearbeitungsmaschine gestoppt hat und keine Benutzeroperationen angewendet wird bezüglich der Laserbearbeitungsmaschine; nachdem die verstrichene Zeit eine vorbestimmte Zeit überschritten hat, Stoppen (S406, S408, S411) einer entsprechenden der Elementeinheiten oder Beibehalten eines gestoppten Zustand davon, wenn eine erforderliche Aktivierungszeit von jeder der Elementeinheiten kürzer als die Standby-zulässige-Zeit ist; und nachdem die verstrichene Zeit eine vorbestimmte Zeit überschritten hat, Aktivieren (S405, S409, S412) einer entsprechenden der Elementeinheiten oder Beibehalten eines Aktivierungszustands davon, wenn die erforderliche Aktivierungszeit von jeder der Elementeinheiten länger als die Standby-zulässige-Zeit ist.
Steuerverfahren gemäß Anspruch 11, wobei der Stoppschritt enthält: Stoppen der Lasergebläseeinheit, wenn ein fester Wert einer erforderlichen Lasergebläse-Aktivierungszeit kürzer ist als die Standby-zulässige-Zeit; Stoppen der Optischer-Pfad-Spülungseinheit oder Beibehalten eines gestoppten Zustands davon, wenn eine erforderliche Optischer-Pfad-Spülungs-Aktivierungszeit kürzer ist als die Standby-zulässige-Zeit; und Stoppen der Temperatursteuereinheit oder oder Beibehalten eines gestoppten Zustands davon, wenn eine erforderliche Temperatursteuereinheit-Aktivierungszeit kürzer ist als die Standby-zulässige-Zeit; und wobei der Aktivierungszustand enthält: Beibehalten eines Aktivierungszustands der Lasergebläseeinheit, wenn die erforderliche Lasergebläse-Aktivierungszeit länger ist als die Standby-zulässige-Zeit; Aktivieren der Optischer-Pfad-Spülungseinheit oder Beibehalten eines Aktivierungszustands davon, wenn die erforderliche Optischer-Pfad-Spülungs-Aktivierungszeit länger ist als die Standby-zulässige-Zeit; Aktivieren der Temperatursteuereinheit oder Beibehalten eines Aktivierungszustands davon, wenn die erforderliche Temperatursteuereinheit-Aktivierungszeit länger ist als die Standby-zulässige-Zeit.
Steuerverfahren für eine Laserbearbeitungsmaschine (100), die eine Vielzahl von Elementeinheiten mit wenigstens einer Lasergebläseeinheit (3), einer Optischer-Pfad-Spülungseinheit (24) und einer Temperatursteuereinheit (8) enthält, wobei das Steuerverfahren umfasst: Eingeben (S401) einer Standby-zulässige-Zeit im Voraus, die eine Zeit ist, während der ein Benutzer warten kann, bis die Laserbearbeitungsmaschine aktiviert ist; und Messen (S402) einer verstrichenen Zeit von einem finalen Trigger, bei dem eine Laserbearbeitungsoperation der Laserbearbeitungsmaschine gestoppt hat und keine Benutzeroperationen angewendet wird bezüglich der Laserbearbeitungsmaschine; und nachdem die verstrichene Zeit eine vorbestimmte Zeit überschritten hat, Durchführen (S601) eines intermittierenden Betriebs, in dem ein Stopp und eine Aktivierung der Optischer-Pfad-Spülungseinheit alternierend wiederholt werden, so dass die erforderliche Optischer-Pfad-Spülungs-Aktivierungzeit gleich oder geringer als die Standby-zulässige-Zeit beibehalten wird.
Steuerverfahren für eine Laserbearbeitungsmaschine (100), die eine Vielzahl von Elementeinheiten mit wenigstens einer Lasergebläseeinheit (3), einer Optischer-Pfad-Spülungseinheit (24) und einer Temperatursteuereinheit (8) enthält, wobei das Steuerverfahren umfasst: Eingeben (S401) einer Standby-zulässige-Zeit im Voraus, die eine Zeit ist, während der ein Benutzer warten kann, bis die Laserbearbeitungsmaschine aktiviert ist; und Messen (S402) einer verstrichenen Zeit von einem finalen Trigger, bei dem eine Laserbearbeitungsoperation der Laserbearbeitungsmaschine gestoppt hat und keine Benutzeroperationen angewendet wird bezüglich der Laserbearbeitungsmaschine; und nachdem die verstrichene Zeit eine vorbestimmte Zeit überschritten hat, Durchführen (S601) eines intermittierenden Betriebs, in dem ein Stopp und eine Aktivierung der Temperatursteuereinheit alternierend wiederholt werden, so dass die erforderliche Temperatursteuereinheit-Aktivierungzeit gleich oder geringer als die Standby-zulässige-Zeit beibehalten wird.
Steuerverfahren gemäß einem der Ansprüche 9 bis 14, wobei, wenn eine Aktivierungsoperation bezüglich der Laserbearbeitungsmaschine von einem Benutzer eingegeben wird, die Elementeinheiten sequenziell in Reihenfolge einer Elementeinheit mit einer längeren anfänglichen erforderlichen Aktivierungszeit aktiviert werden, so dass eine Beendungszeit der anfänglichen erforderlichen Aktivierungszeit, die für eine Aktivierung jeder der Elementeinheiten erforderlich ist, zu einer Zeit einer Eingabe identisch wird.
Steuerverfahren gemäß einem der Ansprüche 9 bis 15, wobei, wobei zu einer Zeit einer Vakuumierung innerhalb eines Laserresonators sämtliche der Lasergebläseeinheit, der Optischer-Pfad-Spülungseinheit und der Temperatursteuereinheit gestoppt sind.