DE112009000149T5 - Vakuumspannfutter - Google Patents

Vakuumspannfutter Download PDF

Info

Publication number
DE112009000149T5
DE112009000149T5 DE112009000149T DE112009000149T DE112009000149T5 DE 112009000149 T5 DE112009000149 T5 DE 112009000149T5 DE 112009000149 T DE112009000149 T DE 112009000149T DE 112009000149 T DE112009000149 T DE 112009000149T DE 112009000149 T5 DE112009000149 T5 DE 112009000149T5
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
vacuum
space
main body
filter
gauge
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE112009000149T
Other languages
English (en)
Inventor
Kwon-Hyun Im
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Publication of DE112009000149T5 publication Critical patent/DE112009000149T5/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/6838Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T279/00Chucks or sockets
    • Y10T279/11Vacuum

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Jigs For Machine Tools (AREA)
  • Jet Pumps And Other Pumps (AREA)

Abstract

Vakuumspannfutter umfassend:
einen Hauptkörper (100) mit einem Abstützvorsprung (110) und einem auf der Oberseite in Gitterform angeordneten Vakuumschlitz (111), einem Bauraum (120), einem Vakuumraum (121) und einem Filterraum (122), um dadrinnen ein Vakuumloch (123) zu bilden, das mit dem Vakuumschlitz (111) des Filterraums (122) kommuniziert, und Einlass (130) und Auslass (131), die mit dem Bauraum (120) und dem Vakuumraum (121) auf beiden Rückseiten kommunizieren;
ein Luftsparventil (B), einen Vakuumsensor (S), einen Vakuumgenerator (V) und einen Filter (F), die in dem Bauraum (120), dem Vakuumraum (121) und dem Filterraum (122) des Hauptkörpers (100) eingebaut sind;
einen Druckmesser (200) und einen Vakuummesser (300), die mit dem Einlass (130) und dem Vakuumraum (121), die an beiden Frontseiten des Hauptkörpers (100) montiert sind, kommunizieren;
einen Schalter (400), der an der mittleren Front des Hauptkörpers (100) installiert ist, um durch Hin- und Herbewegen den Vakuumraum (121) zu öffnen und zu...

Description

  • Technisches Gebiet
  • Die Erfindung betrifft ein Vakuumspannfutter, um zu bearbeitende Gegenstände fest einzuspannen, die ohne Schraubstock oder magnetisches Spannfutter nur durch Luftdruck fixiert werden, und insbesondere ein Vakuumspannfutter, welches durch seine vereinfachte Struktur und verkürzte Spannzeiten in der Lage ist, Kosten und Gewicht zu reduzieren.
  • Technischer Hintergrund
  • Prinzipiell fixiert ein Vakuumspannfutter zu bearbeitende Gegenstände, die nicht mit einem Schraubstock oder einem magnetischen Spannfutter fixiert sind, und das Vakuumspannfutter fixiert zu bearbeitende Gegenstände aus beispielsweise Acryl, Plastik, rostfreiem Stahl, Aluminium als auch Metallmaterialien unabhängig vom Material nur mit Luftdruck.
  • Aus dem Stand der Technik bekannte Vakuumspannfutter haben jedoch das Problem, dass ihre Struktur so komplex ist, dass die Kosten zunehmen und das Gewicht hoch ist und das Aussehen in ihrer Struktur nicht elegant ist.
  • Des Weiteren weisen Vakuumspannfutter aus dem Stand der Technik Schwierigkeiten beim Austausch von Teilen auf, wenn sie in ihrer Struktur repariert werden.
  • Des Weiteren ist es von außen nicht möglich, den Druckzustand des Vakuumspannfutters zu erkennen, strukturell sind die Effizienz der Montage und des Vakuums gering, weil der Vakuummesser unter Benutzung von Schlauch und Nippel zusammengebaut wird und ein Messgehäuse zum Schutz des Vakuummessers separat installiert wird.
  • Offenbarung
  • Zugrundeliegendes technisches Problem
  • Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Vakuumspannfutter bereitzustellen, das in der Lage ist, die Kosten und das Gewicht beim Herstellen der Struktur des Vakuumspannfutters zu reduzieren, ein elegantes Aussehen bereitzustellen, Teile bei der Reparatur einfach auszutauschen und die Spannzeiten der zu bearbeitenden Gegenstände zu reduzieren.
  • Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein Vakuumspannfutter bereitzustellen, das in der Lage ist, den Druckzustand des Vakuumspannfutters von außen einfach zu erkennen, indem ein Druckmesser installiert wird, die Montage und die Effizienz des Vakuums zu verbessern, indem der Vakuummesser ohne die Benutzung von Schlauch und Nippel direkt zusammengebaut wird, und ein Messgehäuse zu integrieren, ohne dieses separat zu installieren, wodurch die Kosten reduziert werden.
  • Technische Lösung
  • Als ein Aspekt wird ein Vakuumspannfutter bereitgestellt, das einen Hauptkörper mit einem Abstützvorsprung und einem auf der Oberseite in Gitterform angeordneten Vakuumschlitz, einem Bauraum, einem Vakuumraum und einem Filterraum dadrinnen, indem dieser ein Vakuumloch bildet, das mit dem Vakuumschlitz des Filterraums kommunizieren, und Einlass und Auslass, die mit dem Bauraum und dem Vakuumraum auf beiden Rückseiten miteinander kommunizieren; ein Luftsparventil, einen Vakuumsensor, einen Vakuumgenerator und einen Filter, die in dem Bauraum, dem Vakuumraum und dem Filterraum des Hauptkörpers eingebaut sind; einen Druckmesser und einen Vakuummesser, die mit dem Einlass und dem Vakuumraum, die an beiden Frontseiten des Hauptkörpers montiert sind, kommunizieren; einen Schalter, der an der mittleren Front des Hauptkörpers installiert ist, um durch Hin- und Herbewegen den Vakuumraum zu öffnen und zu schließen; eine Hauptkörperabdeckung, die luftdicht mit dem Unterteil des Hauptkörpers gekoppelt ist; und eine Filterabdeckung, die mit dem Unterteil des Filterraums gekoppelt ist, umfasst.
  • Vorteilhafte Wirkungen
  • Ein Vakuumspannfutter gemäß der Erfindung bewirkt, dass seine Kosten und sein Gewicht reduziert werden können, weil es eine einfache Struktur hat, es hat ein elegantes Aussehen, seine Teile können bei Reparaturen einfach ausgetauscht werden und die Spannzeiten der zu bearbeitenden Gegenstände können verkürzt werden.
  • Des Weiteren bewirkt ein Vakuumspannfutter gemäß der Erfindung, dass es möglich ist, den Druckzustand des Vakuumspannfutters mit Leichtigkeit von außen zu erkennen, indem ein Druckmesser benutzt wird, die Montage und die Vakuumeffizienz können verbessert werden, indem ein Vakuummesser direkt ohne Benutzung von Schlauch und Nippel benutzt wird, und die Kosten können reduziert werden, indem das Messgehäuse, ohne dies separat zu installieren, integriert wird.
  • Beschreibung der Zeichnungen
  • 1 ist eine perspektivische Ansicht der Erfindung;
  • 2 ist eine perspektivische Ansicht, die eine Rückseite der Erfindung zeigt;
  • 3 ist eine explodierte schematische Ansicht der Erfindung;
  • 4 und 5 sind schematische Ansichten, die die Unterseite des Hauptkörpers gemäß der Erfindung zeigen;
  • 6 ist eine Druntersicht gemäß der Erfindung;
  • 7 ist eine Schnittansicht der Erfindung;
  • 8 ist eine explodierte schematische Ansicht eines Druckmessers gemäß der Erfindung;
  • 9 ist eine Schnittansicht eines Zusammenbaus von 8;
  • 10 ist eine explodierte schematische Ansicht eines Vakuummessers gemäß der Erfindung;
  • 11 ist eine Schnittansicht eines Zusammenbaus von 10;
  • 12 ist eine explodierte schematische Ansicht eines Schalters gemäß der Erfindung;
  • 13 und 14 zeigen Schnittansichten, die eine Montagezustands und einen Betriebszustands von 12 darstellen;
  • 15 ist eine explodierte schematische Ansicht einer Abdeckung und einer Filterabdeckung gemäß der Erfindung; und
  • 16 und 17 sind exemplarische Ansichten, die das Setzen eines Spannreferenzpunktes gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung darstellen.
  • Beste Ausführungsform
  • Im Folgenden werden im Detail verschiedene Ausführungsbeispiele des hier offenbarten Vakuumspannfutters beschrieben, die in den begleitenden Zeichnungen dargestellt sind.
  • Wie in den 1 bis 17 gezeigt, umfasst das erfindungsgemäße Vakuumspannfutter einen Hauptkörper 100 mit einem Abstützvorsprung 110 und einem auf der Oberseite in Gitterform angeordneten Vakuumschlitz 111, einem Bauraum 120, einem Vakuumraum 121 und einem Filterraum 122 dadrinnen, indem diese eine Vakuumhöhle 123 bilden, die mit dem Vakuumschlitz 111 des Filterraums 122 kommunizieren, und Einlass 130 und Auslass 131, die mit dem Bauraum 120 und dem Vakuumraum 121 auf beiden Rückseiten miteinander kommunizieren; ein Luftsparventil B, einen Vakuumsensor S, einen Vakuumgenerator V und einen Filter F, die in dem Bauraum 120, dem Vakuumraum 121 und dem Filterraum 122 des Hauptkörpers 100 eingebaut sind; einen mit dem Einlass 130 und dem Vakuumraum 121 kommunizierenden Druckmesser 200 und Vakuummesser 300, die an beiden Frontseiten des Hauptkörpers 100 montiert sind; einen Schalter 400, der an der mittleren Front des Hauptkörpers 100 installiert ist, um durch Hin- und Herbewegen den Vakuumraum 121 zu öffnen und zu schließen; eine Hauptkörperabdeckung 500, die luftdicht mit dem Unterteil des Hauptkörpers 100 gekoppelt ist; und eine Filterabdeckung 600, die mit dem Unterteil des Filterraums 122 luftdicht gekoppelt ist.
  • Hier sind eine Vielzahl von Abstützungsvorsprüngen 110 und eine Vielzahl von Vakuumschlitzen 111, wie in 1 gezeigt, in einer Gitterform angeordnet. Diesmal ist ein O-Ring in den Vakuumschlitz 111 in Bezug zu der Vakuumöffnung 123 eingesetzt, um den Spannumfang entsprechend Form und Größe der zu bearbeitenden Gegenstände angemessen zu steuern, und der O-Ring wird fest an den zu bearbeitenden Gegenständen angebracht, die sicher in den Hauptkörper 100 aufgenommen werden.
  • Gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung ist eine Schraubenmutter 110a, wie in 16 und 17 gezeigt, ausgebildet, um einen Referenzpunkt in der Vielzahl der Abstützvorsprünge 110 zu setzen. Daher ist es gemäß des Ausführungsbeispiels der Erfindung möglich, den Spannreferenzpunkt entsprechend der Form und der Größe der zu bearbeitenden Gegenstände zu setzen, indem eine Referenzplatte 20 an der Schraubenmutter 110a des Abstützvorsprungs 110, wie in 16 und 17 gezeigt, durch eine Kopplung der Schraube 10 befestigt wird.
  • Der Bauraum 120, der Vakuumraum 121 und der Filterraum 122 werden jeweils in dem Hauptkörper 100 gebildet und eine Vakuumöffnung 123, die mit dem Vakuumschlitz 111 kommuniziert, ist bei dem Filterraum 122 ausgebildet, wie in den 4, 5 und 6 dargestellt ist. Diesmal sind das Luftsparventil B und der Vakuumsensor S in dem Bauraum 120 installiert, ein Vakuumgenerator V in dem Vakuumraum 121 installiert und ein Filter in dem Filterraum 122 installiert.
  • Gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung, wie in den 1 und 7 dargestellt, wird an der oberen Außenseite der Vakuumöffnung 123 eine Schwelle 123a gebildet, welche Fremdkörper an dem Hineinfließen hindert. Daher werden gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung Fremdkörper wie Schneidöl oder Schneidspäne durch die Schwelle 123a daran gehindert, in die Vakuumöffnung 123 hineinzufließen.
  • Einlass und Auslass 130 und 131, die mit dem Bauraum 120 und dem Vakuumraum 121 kommunizieren, sind jeweils auf beiden Rückseiten des Hauptkörpers 100 ausgebildet, wie in den 5 und 6 dargestellt. Diesmal ist ein Kompressor zum Bereitstellen von Druckluft mit der Außenseite des Einlasses 130 verbunden, eine Luftzuflusseinheit des Luftsparventils B wird mit der Innenseite des Einlasses 130 verbunden und eine Luftauslasseinheit des Vakuumgenerators V wird mit dem Auslass 131 verbunden.
  • Eine erste Druckleitung 140, die mit dem Einlass 130 und dem Druckmesser 200 kommuniziert, ist in der Innenseite des Hauptkörpers 100 ausgebildet. Diesmal ist die erste Druckleitung 140 in der „L” Form gebildet, welche Durchbohrungen 140a und 140b enthalten, die jeweils mit dem Einlass 130 und dem Druckmesser 200 kommunizieren, und sie hat einen O-Ring, der in der linken Seite der ersten Druckleitung 140 montiert ist. Wenn Druckluft an dem Einlass 130 bereitgestellt wird, wird entsprechend etwas Druckluft zu der Luftzuflusseinheit des Luftsparventils B weitergeleitet, etwas Druckluft fließt durch die Durchbohrungen 140a in die erste Druckleitung 140 und die in die erste Druckleitung 140 geflossene Druckluft wird durch die Durchbohrung 140b zu dem Druckmesser 200 weitergeleitet.
  • Die zweite Druckleitung 141, die mit dem Luftsparventil B und dem Vakuumgenerator V kommuniziert, ist in dem Hauptkörper 100 ausgebildet. Diesmal ist die Druckleitung 141 in der „–” Form ausgebildet und enthält Durchbohrungen 142a und 142b, die jeweils mit dem Vakuumraum 121 und dem Vakuummesser 300 kommunizieren, und es wird ein O-Ring an der Außenseite der Vakuumleitung 142 montiert. Die zu dem Luftsparventil B weitergeleitete Druckluft fließt entsprechend durch die Durchbohrung 141a in die zweite Druckleitung 141, die in die zweite Druckleitung 141 geflossene Druckluft wird durch die Durchbohrung 141b zu dem Vakuumgenerator V weitergeleitet, mittels des Vakuumgenerators V wird ein Vakuum erzeugt, wenn die Druckluft in den Vakuumgenerator V geflossen ist, das durch den Vakuumgenerator V erzeugte Vakuum wird in dem Vakuumraum 121 gespeichert und die Luft, die durch den Vakuumgenerator V hindurchgetreten ist, entweicht durch den Auslass 131 nach außen.
  • Die Vakuumleitung 142 ist in dem Hauptkörper 100 ausgebildet, welcher mit dem Vakuumraum 121, dem Filterraum 122 und dem Vakuummesser 300 kommuniziert. Diesmal ist die Vakuumleitung 142 in der Form „L” gebildet und enthält Durchbohrungen 142a und 142b, die jeweils mit dem Vakuumraum 121 und dem Vakuummesser 300 kommunizieren, und sie weist eine O-Ring auf, der an die Außenseite der Vakuumleitung 142 montiert ist.
  • Zwei Messgehäuse 150, die jeweils den Druckmesser 200 und den Vakuummesser 300 aufnehmen, sind in integraler Weise auf beiden Frontseiten des Hauptkörpers 100 ausgebildet. Diesmal sind Mutterschrauben 151, die an Bolzen 210 und 310 des Druckmessers 200 und des Vakuummessers 300 schraubgekoppelt sind, an dem mittleren Innenteil des Messgehäuses 150 eingefügt, wie in den 8, 9, 10 und 11 dargestellt, und eine Schraubenschlüsselnut 152 zum Drehen der Muttern 211 und 311 des Druckmessers 200 und des Vakuummessers 300 werden an dem vorderen Unterteil der Schraubenmutter 151 ausgebildet. Die Montage wird entsprechend einfach durchgeführt unter Benutzung von Schlauch und Nippel, wenn der Druckmesser 200 und der Vakuummesser 300 jeweils in das Messgehäuse eingeführt wird, die Bolzen 210 und 310, die in dem Rückteil des Druckmessers und des Vakuummessers 200 und 300 enthalten sind, direkt in die Schraubenmuttern 151 eingekoppelt werden, und schließlich die Muttern 211 und 311 des Druckmessers und des Vakuummessers 200 und 300 mittels eines Schraubenschlüssels durch die Schraubenschlüsselnut 152 gedreht werden.
  • Die Schalternut 160, die den Schalter 400 aufnimmt, ist in der Mittelfront des Hauptkörpers 100 ausgebildet. Diesmal ist die Schalternut 160 ausgebildet, um, wie in den 12, 13 und 14 dargestellt, durch den Vakuumraum 121 hindurchzutreten, und sie beinhaltet den Schlüssel 161, um den Betrieb des Schalters 400 zu führen und zu steuern.
  • Ein Klemmmuldengriff 170 ist auf beiden Seiten des Hauptkörpers 100 ausgebildet. Weil das Luftsparventil B in dem Bauraum 120 des Hauptkörpers 100 installiert ist, blockiert ein solches Luftsparventil B automatisch das Einfließen von Druckluft, wenn es nötig ist, ein Vakuum eines geeigneten Vakuumdrucks zu erzeugen.
  • Der Vakuumsensor S ist in dem Bauraum 120 des Hauptkörpers 100 installiert, welcher den Vakuumdruck des Vakuumraums 121 sensorisch erfasst und an das Luftsparventil B weiterleitet.
  • Der Vakuumgenerator V ist in dem Vakuumraum 121 des Hauptkörpers 100 installiert, ein Vakuum wird erzeugt, wenn Druckluft in den Vakuumgenerator V einfließt und das in dem Vakuumgenerator V erzeugte Vakuum in dem Vakuumraum 121 gespeichert wird.
  • Der Filter F ist in den Filterraum 122 des Hauptkörpers 100 installiert und ein solcher Filter filtert Fremdkörper heraus.
  • Der Druckmesser 200 ist in dem Messgehäuse 150 Installiert, das in integraler Weise in dem Hauptkörper 100 ausgebildet ist, und der Druckzustand des Vakuumspannfutters kann mit Leichtigkeit von außen durch den Druckmesser 200 erkannt werden.
  • Der Vakuummesser 300 ist auf dem damit integral ausgebildeten Messgehäuse 150 installiert und es ist möglich, den Vakuumzustand beider Vakuumräume 121 von außen durch den Vakuummesser 300 zu erkennen.
  • Der Schalter 400 ist in der Schalternut 160 installiert, die in der Frontmitte des Hauptkörpers 100 ausgebildet ist, um hin und her bewegbar zu sein, um damit jeweils den Vakuumraum 121 zu öffnen und zu schließen. Eine in den Schlüssel 161 eingeführte Schlüsselnut 410 und Leitnut 411 sind in einer äußeren Oberfläche eines solchen Schalters 400, wie in den 12, 13 und 14 gezeigt, gebildet, erste und zweite ringförmige Nuten 420 und 430 sind in der rückwärtigen Außenoberfläche des Schalters 400 ausgebildet, erste und zweite Durchbohrungen 421 und 431, die mit der Vakuumleitung 142 kommunizieren, sind in den ersten und zweiten ringförmigen Nuten 420 und 430 gebildet, das erste Verbindungsloch 422, das mit dem Vakuumraum 121 kommuniziert, tritt in der Mitte der ersten Durchbohrung 421 rückwärts hindurch und das zweite Verbindungsloch 432, das mit der Außenwelt kommuniziert, tritt in der Mitte der zweiten Durchbohrung 431 frontwärts hindurch.
  • Wenn der Schalter 400, wie in 9c dargestellt, in den inneren Teil gedrückt wird, wird der Vakuumraum durch den Schalter 400 geschlossen und der Vakuumraum 121 und die Vakuumleitung 142 erhalten entsprechend einen Zustand, bei welchem sie nicht durchlassend sind. Des Weiteren verbleibt die Vakuumleitung 142 als Resultat in einem Zustand, in welchem das Vakuum freigegeben wird, weil die zweite Durchbohrung 431 des Schalters 400 und die Durchbohrung 142a des Vakuums, wie in den Zeichnungen dargestellt, in diesem Zustand miteinander kommunizieren und Außenluft durch das zweite Verbindungsloch 432, das mit der zweiten Durchbohrung 431 verbunden ist, in die Vakuumleitung 142 einfließt.
  • Weil entsprechend das Vakuum der Vakuumleitung 142 freigegeben wird, wenn der Schalter 400 nach innen gedrückt wird, wird keine Vakuumadsorptionskraft an der Vakuumöffnung 123 und dem Vakuummesser 300 des Hauptkörpers 100 erzeugt.
  • Weil der Schalter 400, wie in 13 gezeigt, umgekehrt nach außen gedrückt wird, erhält die Vakuumleitung als Resultat den Vakuumzustand, weil der Vakuumraum 121 geöffnet wird, während die erste Durchbohrung 421 des Schalters 400 und die Durchbohrung 142a der Vakuumleitung 142 miteinander kommunizieren und der Vakuumraum 121 und die Vakuumleitung 142 sich durch das mit der ersten Durchbohrung 421 verbundene erste Verbindungsloch 422 gegenseitig durchdringen. Weil des Weiteren die zweite Durchbohrung 431 des Schalters 400 in diesem Zustand geschlossen ist, fließt keine Außenluft in die Vakuumleitung 142. Wenn währenddessen der Schalter 400 in dem Zustand, in dem der Schalter 400 nach außen gezogen ist, gedreht wird, wird der Schalter 400, weil der Schlüssel 161 in die Leitnut eingeführt ist, selbst dann nicht in das Innere eingebracht, wenn der Schalter 400 nach innen gedrückt wird. Weil Vakuum in der Vakuumleitung 142 erzeugt wird, wenn der Schalter 400 nach außen gedrückt wird, wird entsprechend eine Vakuumadsorptionskraft gleichzeitig in dem Vakuumloch 123, dem Vakuumschlitz 111 und dem Vakuummesser 300 des Hauptkörpers 100 als Resultat erzeugt.
  • Die Hauptkörperabdeckung 500 wird fest und luftdicht auf dem Boden des Hauptkörpers 100 durch eine Vielzahl von Schraubenkopplungen, wie in den 3 und 15 gezeigt, zusammengebaut und weist ein Filtereinsteckloch 510 dadrinnen auf, um den Filter F mit Leichtigkeit auszuwechseln.
  • Die Filterabdeckung 600 ist fest an die Hauptkörperabdeckung 500 durch eine Vielzahl von Schraubenkopplungen in dem Zustand fest zusammengebaut, dass sie wie in 3 und 15 dargestellt, auf dem Boden des Filterraums 122 angeordnet ist, ein Einführschlauch 610, der in das Filtereinsteckloch 510 eingeführt ist, ist oben auf der Filterabdeckung 600 eingefügt und ein Einschnittteil 611 ist auf einer Seite des Einführschlauchs 610 ausgebildet, um mit der Vakuumleitung 142 zu kommunizieren.
  • Im Folgenden wird der allgemeine Betriebsablauf der Erfindung, wie sie oben konstruiert und beschrieben wurde, im Detail erläutert.
  • Zunächst wird, wenn in dem Zustand, in die das zu bearbeitenden Gegenstände an den Hauptkörper 100 montiert werden, Druckluft an dem Einlass 130 bereitgestellt wird, etwas Druckluft zu dem Luftzuflussteil des Luftsparventils B weitergeleitet, etwas Druckluft fließt durch die Durchbohrung 140a in die erste Druckleitung 140 und die in die erste Druckleitung 140 eingeflossene Druckluft wird durch die Durchbohrung 140b zu dem Druckmesser 200 weitergeleitet.
  • Die zu dem Drucksparventil B weitergeleitete Druckluft fließt durch die Durchbohrung 141a in die zweite Druckleitung 141, die in die zweite Druckleitung 141 eingeflossene Druckluft wird durch die Durchbohrung 141b zu dem Vakuumgenerator V weitergeleitet. Wenn die Druckluft in den Vakuumgenerator V eingeflossen ist, wird das Vakuum von dem Vakuumgenerator V erzeugt, das von dem Vakuumgenerator V erzeugte Vakuum wird in dem Vakuumraum 121 gespeichert und durch den Vakuumgenerator V hindurchtretende Luft wird durch den Auslass 131 nach außen ausgelassen.
  • Wenn der Schalter in diesem Zustand nach außen gedrückt wird, verbleibt die Vakuumleitung 142 als Resultat im Vakuumzustand, weil der Vakuumraum 121 geöffnet ist, während die erste Durchbohrung 421 des Schalters 400 und die Durchbohrung 142a der Vakuumleitung 142 sich gegenseitig durchdringen und die Vakuumleitung 121 und die Vakuumleitung 142 durch das erste Verbindungsloch 422, das mit der ersten Durchbohrung 421 verbunden ist, miteinander kommunizieren.
  • Weil das Vakuum in der Vakuumleitung 142 erzeugt wird, wenn der Schalter nach außen gedrückt wird, wird in dem Vakuumloch 123, dem Vakuumschlitz 111 und dem Vakuummesser 300 des Hauptkörpers 100 eine Vakuumadsorptionskraft erzeugt. Weil der zu bearbeitende Gegenstand als Resultat vakuumadsorbiert und stabil an den Hauptkörper 100 festgespannt wird, kann es entsprechend möglich sein, in diesem Zustand den zu bearbeitenden Gegenstand zu bearbeiten.
  • Nach Vollendung des Vorgangs des zu bearbeitenden Gegenstandes wird der Vakuumraum 121, wenn der Schalter 400 nach innen gedrückt wird, durch den Schalter 400 geschlossen und der Vakuumraum 121 und die Vakuumleitung 142 erhalten entsprechend einen Zustand, in dem sie nicht miteinander kommunizieren. Die Vakuumleitung 142 erhält des Weiteren in dieser Lage einen Zustand, in dem das Vakuum freigegeben wird, weil die zweite Durchbohrung 431 des Schalters 400 und die Durchbohrung 142a der Vakuumleitung 142 miteinander kommunizieren und durch das zweite Verbindungsloch 432, das mit der zweiten Durchbohrung 431 verbunden ist, Außenluft in die Vakuumleitung 142 fließt. Weil die Spannvorrichtung des zu bearbeitenden Gegenstandes freigegeben wird, ist es entsprechend einfach, den bearbeiteten zu bearbeitenden Gegenstand abzunehmen.
  • Weil das Vakuum der Vakuumleitung 142 freigegeben wird, wenn der Schalter 400 nach innen gedrückt wird, wird daher die Vakuumadsorptionskraft in dem Vakuumloch 123, dem Vakuumschlitz 111 und dem Vakuummesser 300 des Hauptkörpers 100 nicht erzeugt.
  • Entsprechend weist die Erfindung die Vorteile auf, dass die Kosten und das Gewicht reduziert werden, weil die Struktur des Vakuumspannfutters simpel ist, und weil Installationsraum, Vakuumraum und Filterraum 120, 121 und 122 dadrinnen ausgebildet sind, können Ersatzteile leicht ausgetauscht werden, wenn es in seiner Struktur repariert wird, und es ist möglich, die Spannzeiten des zu bearbeitenden Gegenstandes strukturell zu verkürzen, weil das Vakuum in dem Vakuumraum 121 gespeichert ist.
  • Des Weiteren hat die Erfindung die Vorteile, dass es möglich ist, den Druckstatus des Vakuumspannfutters durch den Druckmesser 200 von außen mit Leichtigkeit zu erkennen, weil der Druckmesser 200 installiert ist, es ist möglich, die Montage und die Vakuumeffizienz zu verbessern, weil der Vakuummesser 300 direkt ohne Benutzung von Schlauch und Nippel zusammengebaut wird, und die Kosten können reduziert werden, weil die Messabdeckung 150 integriert ausgebildet ist.
  • ZUSAMMENFASSUNG
  • Die Erfindung betrifft ein Vakuumspannfutter, welches durch seine vereinfachte Struktur und verkürzte Spannzeiten in der Lage ist Kosten und Gewicht zu reduzieren. Die Erfindung umfasst einen Hauptkörper 100 mit einem Abstützvorsprung 110 und einem auf der Oberseite in Gitterform angeordneten Vakuumschlitz 111, einem Bauraum 120, einem Vakuumraum 121 und einem Filterraum 122, um dadrinnen ein Vakuumloch 123 zu bilden, das mit dem Vakuumschlitz 111 des Filterraums 122 kommuniziert und Einlass 130 und Auslass 131, die mit dem Bauraum 120 und dem Vakuumraum 121 auf beiden Rückseiten miteinander kommunizieren; ein Luftsparventil B, einen Vakuumsensor S, einen Vakuumgenerator V und einen Filter F, die in dem Bauraum 120, dem Vakuumraum 121 und dem Filterraum 122 des Hauptkörpers 100 eingebaut sind; einen Druckmesser 200 und einen Vakuummesser 300, die mit dem Einlass 130 und dem Vakuumraum 121, die an beiden Frontseiten des Hauptkörpers 100 montiert sind, kommunizieren; einen Schalter 400, der an der mittleren Front des Hauptkörpers 100 installiert ist, um durch Hin- und Herbewegen den Vakuumraum 121 zu öffnen und zu schließen; eine Hauptkörperabdeckung 500, die luftdicht mit dem Unterteil des Hauptkörpers 100 gekoppelt ist; und eine Filterabdeckung 600, die mit dem Unterteil des Filterraums 122 luftdicht gekoppelt ist.

Claims (7)

  1. Vakuumspannfutter umfassend: einen Hauptkörper (100) mit einem Abstützvorsprung (110) und einem auf der Oberseite in Gitterform angeordneten Vakuumschlitz (111), einem Bauraum (120), einem Vakuumraum (121) und einem Filterraum (122), um dadrinnen ein Vakuumloch (123) zu bilden, das mit dem Vakuumschlitz (111) des Filterraums (122) kommuniziert, und Einlass (130) und Auslass (131), die mit dem Bauraum (120) und dem Vakuumraum (121) auf beiden Rückseiten kommunizieren; ein Luftsparventil (B), einen Vakuumsensor (S), einen Vakuumgenerator (V) und einen Filter (F), die in dem Bauraum (120), dem Vakuumraum (121) und dem Filterraum (122) des Hauptkörpers (100) eingebaut sind; einen Druckmesser (200) und einen Vakuummesser (300), die mit dem Einlass (130) und dem Vakuumraum (121), die an beiden Frontseiten des Hauptkörpers (100) montiert sind, kommunizieren; einen Schalter (400), der an der mittleren Front des Hauptkörpers (100) installiert ist, um durch Hin- und Herbewegen den Vakuumraum (121) zu öffnen und zu schließen; eine Hauptkörperabdeckung (500), die luftdicht mit dem Unterteil des Hauptkörpers (100) gekoppelt ist; und eine Filterabdeckung (600), die mit dem Unterteil des Filterraums (122) gekoppelt ist.
  2. Vakuumspannfutter gemäß Anspruch 1, wobei eine erste Druckleitung (140), die mit dem Einlass (130) und dem Druckmesser (200) kommuniziert, in dem Hauptkörper (100) gebildet ist, eine zweite Druckleitung (141), die mit dem Luftsparventil (B) und dem Vakuumgenerator (V) kommuniziert, in dem Hauptkörper (100) gebildet ist, eine Vakuumleitung (142), die mit dem Vakuumraum (121), dem Filterraum (122) und dem Vakuummesser (300) kommuniziert, in dem Hauptkörper (100) gebildet ist, ein Messgehäuse (150), das den Druckmesser (200) und den Vakuummesser (300) aufnimmt, auf beiden Frontseiten des Hauptkörpers (100) gebildet ist, und ein Schalterschlitz (160), der den Schalter (400) aufnimmt, auf der mittleren Front des Hauptkörpers (100) gebildet ist.
  3. Vakuumspannfutter gemäß Anspruch 2, wobei eine Schraubenmutter (151), die an Bolzen (210) und (310) des Druckmessers (200) und des Vakuummessers (300) schraubgekoppelt ist, an dem mittleren Innenteil des Messgehäuses 150 enthalten ist und eine Schraubenschlüsselnut 152 zum Drehen der Muttern (211) und (311) des Druckmessers (200) und des Vakuummessers (300) an dem vorderen Unterteil der Schraubenmutter (151) ausgebildet ist.
  4. Vakuumspannfutter gemäß Anspruch 2, wobei ein Schlüssel (161) in dem Schalterschlitz (160) enthalten ist, eine Schlüsselnut (410) und eine Leitnut (411), die in den Schlüssel (161) eingeführt werden, auf der äußeren Oberfläche des Schalters (400) ausgebildet sind, erste und zweite Schlitze (420) und (430) auf der rückseitigen Außenfläche des Schalters (400) enthalten sind, erste und zweite Durchbohrungen (421) und (431), die mit der Vakuumleitung (142) kommunizieren, in dem ersten und zweiten Schlitz (420) und (430) ausgebildet sind, ein erstes Verbindungsloch (422), das mit dem Vakuumraum (121) verbunden ist, durch die Mitte der ersten Durchbohrung (421) durchgeführt ist und eine zweites Verbindungsloch (423), das mit der Außenwelt kommuniziert, in der Frontrichtung auf der Mitte der zweiten Durchbohrung (431) durchgeführt ist.
  5. Vakuumspannfutter gemäß Anspruch 1, wobei eine Schraubenmutter (110a) zum Setzen eines Referenzpunktes in dem Abstützvorsprung (110) ausgebildet ist.
  6. Vakuumspannfutter gemäß Anspruch 1, wobei eine Schwelle (123a), die benutzt wird, um das Einfließen von Fremdkörpern zu verhindern, auf der oberen Außenseite des Vakuumlochs (123) ausgebildet ist.
  7. Vakuumspannfutter gemäß Anspruch 1, wobei ein Filtereinsteckloch (510) in der Hauptkörperabdeckung (500) ausgebildet ist, ein Einführschlauch (610), der in das Filtereinsteckloch (510) eingeführt ist, in der Filterabdeckung (600) enthalten ist und einem Einschnittteil (611) in einer Seite des Einführschlauchs (610) ausgebildet ist, sodass dieser von der Vakuumleitung (142) passiert wird.
DE112009000149T 2008-01-18 2009-01-19 Vakuumspannfutter Withdrawn DE112009000149T5 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2008-0005742 2008-01-18
KR1020080005742A KR100832696B1 (ko) 2008-01-18 2008-01-18 진공척
PCT/KR2009/000273 WO2009091226A2 (ko) 2008-01-18 2009-01-19 진공척

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE112009000149T5 true DE112009000149T5 (de) 2011-02-17

Family

ID=39665336

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE112009000149T Withdrawn DE112009000149T5 (de) 2008-01-18 2009-01-19 Vakuumspannfutter

Country Status (6)

Country Link
US (1) US8387961B2 (de)
JP (1) JP5302976B2 (de)
KR (1) KR100832696B1 (de)
CN (1) CN101919040B (de)
DE (1) DE112009000149T5 (de)
WO (1) WO2009091226A2 (de)

Families Citing this family (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100832696B1 (ko) * 2008-01-18 2008-05-28 임권현 진공척
US20100296032A1 (en) * 2008-01-18 2010-11-25 Johnson Matthey Public Limited Company Optical film, preparation method of the same, and liquid crystal display comprising the same
US20110051050A1 (en) * 2008-01-18 2011-03-03 Lg Chem, Ltd. Optical film, preparation method of the same, and liquid crystal display comprising the same
KR100998808B1 (ko) 2008-03-14 2010-12-06 임권현 진공척의 흡착구조
US9482755B2 (en) 2008-11-17 2016-11-01 Faro Technologies, Inc. Measurement system having air temperature compensation between a target and a laser tracker
US8659749B2 (en) 2009-08-07 2014-02-25 Faro Technologies, Inc. Absolute distance meter with optical switch
US9159595B2 (en) * 2010-02-09 2015-10-13 Suss Microtec Lithography Gmbh Thin wafer carrier
US9400170B2 (en) 2010-04-21 2016-07-26 Faro Technologies, Inc. Automatic measurement of dimensional data within an acceptance region by a laser tracker
US8619265B2 (en) 2011-03-14 2013-12-31 Faro Technologies, Inc. Automatic measurement of dimensional data with a laser tracker
US9772394B2 (en) 2010-04-21 2017-09-26 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for following an operator and locking onto a retroreflector with a laser tracker
US9377885B2 (en) 2010-04-21 2016-06-28 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for locking onto a retroreflector with a laser tracker
JP5810517B2 (ja) * 2010-12-02 2015-11-11 富士電機株式会社 吸着装置および吸着方法
US8902408B2 (en) 2011-02-14 2014-12-02 Faro Technologies Inc. Laser tracker used with six degree-of-freedom probe having separable spherical retroreflector
GB2518543A (en) 2011-03-03 2015-03-25 Faro Tech Inc Target apparatus and method
USD688577S1 (en) 2012-02-21 2013-08-27 Faro Technologies, Inc. Laser tracker
US9164173B2 (en) 2011-04-15 2015-10-20 Faro Technologies, Inc. Laser tracker that uses a fiber-optic coupler and an achromatic launch to align and collimate two wavelengths of light
US9686532B2 (en) 2011-04-15 2017-06-20 Faro Technologies, Inc. System and method of acquiring three-dimensional coordinates using multiple coordinate measurement devices
GB2504890A (en) 2011-04-15 2014-02-12 Faro Tech Inc Enhanced position detector in laser tracker
US9482529B2 (en) 2011-04-15 2016-11-01 Faro Technologies, Inc. Three-dimensional coordinate scanner and method of operation
CN103183201B (zh) * 2011-12-29 2016-01-13 富泰华工业(深圳)有限公司 吸附装置
JP6099675B2 (ja) 2012-01-27 2017-03-22 ファロ テクノロジーズ インコーポレーテッド バーコード識別による検査方法
US8752751B2 (en) * 2012-07-13 2014-06-17 Asm Technology Singapore Pte Ltd Lead frame support plate and window clamp for wire bonding machines
US9041914B2 (en) 2013-03-15 2015-05-26 Faro Technologies, Inc. Three-dimensional coordinate scanner and method of operation
CN103465199B (zh) * 2013-09-27 2016-06-08 广东尚能光电技术有限公司 可调式真空夹具
CN103962860A (zh) * 2014-05-27 2014-08-06 中国电子科技集团公司第四十三研究所 真空吸盘
US9395174B2 (en) 2014-06-27 2016-07-19 Faro Technologies, Inc. Determining retroreflector orientation by optimizing spatial fit
CN104165175B (zh) * 2014-08-01 2018-04-17 广东格林精密部件股份有限公司 一种版式一次性组装多个产品夹具
SG11201603148VA (en) * 2014-12-18 2016-07-28 Ev Group E Thallner Gmbh Method for bonding substrates
CN106862955A (zh) * 2015-12-11 2017-06-20 焱智精密机械(上海)有限公司 用于薄板加工的夹具
DE102016203578A1 (de) * 2016-03-04 2017-09-07 Homag Gmbh Vorrichtung mit Absaugeinrichtung
CN105936017B (zh) * 2016-07-01 2018-12-21 精益恒准(天津)数控设备股份有限公司 大吸附力吸盘
CN106312465A (zh) * 2016-11-08 2017-01-11 维沃移动通信有限公司 一种终端壳体及其制作方法、移动终端
CN109483429B (zh) * 2018-10-18 2020-10-16 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 承载装置及承载方法
CN110328628A (zh) * 2019-08-05 2019-10-15 江苏天隆富信息技术有限公司 一种手机主板加工用定位压台
CN114056933B (zh) * 2021-12-17 2023-10-20 广东海拓创新精密设备科技有限公司 一种高分子量改性硅化聚氨酯橡胶物理粘附吸盘
CN115055988A (zh) * 2022-08-08 2022-09-16 安徽钰桥精密自动化机械有限公司 一种发动机缸盖立式加工中心摇篮式双面夹具

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3233887A (en) * 1963-01-28 1966-02-08 Dunham Tool Company Inc Vacuum chuck
DE1648669C3 (de) * 1967-04-26 1974-06-12 Gesellschaft Fuer Hydraulik-Zubehoer Mbh, 6603 Sulzbach Manometer-Wahlventil
DE1923833C3 (de) * 1969-05-09 1975-11-27 Vereinigte Flugtechnische Werke - Fokker Gmbh, 2800 Bremen System zum Aufbau von Vorrichtungen zum Aufspannen von Werkstücken auf Werkzeug maschinentischen
US3999795A (en) * 1975-12-17 1976-12-28 American Chain & Cable Company, Inc. Vacuum pad system
US4139051A (en) * 1976-09-07 1979-02-13 Rockwell International Corporation Method and apparatus for thermally stabilizing workpieces
US4066249A (en) * 1977-05-11 1978-01-03 Grumman Aerospace Corporation Modular vacuum work area
US4190240A (en) * 1978-04-17 1980-02-26 Tobin-Arp Manufacturing Company Cylinder head support with air cushion and vacuum hold down
DE3474527D1 (en) * 1983-11-25 1988-11-17 Mors Work pallet, provided with a control system and preferably with a separate cylinder control, to operate with an independent pressure
JPS62219634A (ja) * 1986-03-20 1987-09-26 Hitachi Ltd 真空保持装置
JP2546652B2 (ja) 1986-09-03 1996-10-23 ロ−ム株式会社 チヤツクテ−ブル
US5775395A (en) 1996-04-10 1998-07-07 Wilkins; David Vacuum fixture
JP3028299B2 (ja) * 1997-04-25 2000-04-04 株式会社 キョウエイ 可般形チャック具
DE60015003T2 (de) * 1999-04-07 2005-06-02 Alcatel Druckregelvorrichtung für eine Vakuumkammer, und eine mit einer solchen Vorrichtung versehenen Vakuumpumpeinheit
JP2000308934A (ja) 1999-04-27 2000-11-07 New Sutorongu Hanbai Kk 真空チャック
JP2001287129A (ja) 2000-04-05 2001-10-16 Bm:Kk 真空チャック
US6572091B2 (en) * 2001-02-20 2003-06-03 Alvin Kimble Magnetic locking vacuum chuck system
KR100518359B1 (ko) * 2001-11-08 2005-09-30 신동효 진공흡착장치
JP4346935B2 (ja) * 2002-05-22 2009-10-21 東芝機械株式会社 真空チャック装置
JP2004324500A (ja) * 2003-04-24 2004-11-18 Myotoku Ltd 真空発生機構装置
JP4533614B2 (ja) * 2003-10-10 2010-09-01 株式会社イーアールシー 真空制御システム
WO2005064304A1 (ja) * 2003-12-25 2005-07-14 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha ガス配管用ブロックと、このブロックを用いたガス配管およびこのガス配管に用いられるガス開閉用部品
US7716818B2 (en) * 2005-02-10 2010-05-18 Panasonic Corporation Method for transferring a substrate
JP4582484B2 (ja) * 2006-12-20 2010-11-17 Smc株式会社 真空吸着装置
TWM321831U (en) * 2007-01-17 2007-11-11 Yung-Tsai Shen Vacuum absorbing device for a workbench
KR100832696B1 (ko) * 2008-01-18 2008-05-28 임권현 진공척
US20100283194A1 (en) * 2009-05-11 2010-11-11 Han Zhen-Zhong Energy-saving vacuum adsorption apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
CN101919040B (zh) 2012-06-20
JP5302976B2 (ja) 2013-10-02
US20100301534A1 (en) 2010-12-02
US8387961B2 (en) 2013-03-05
JP2011509839A (ja) 2011-03-31
KR100832696B1 (ko) 2008-05-28
CN101919040A (zh) 2010-12-15
WO2009091226A2 (ko) 2009-07-23
WO2009091226A3 (ko) 2009-11-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE112009000149T5 (de) Vakuumspannfutter
DE60013853T2 (de) Werkzeugmaschine mit spanabsaugeinrichtung
EP3082406B1 (de) Sicherheitsventil
DE102010048068B4 (de) Ventilanordnung
DE102016123606A1 (de) Antriebsbaugruppe eines Membranventils und Verfahren zur Montage einer Antriebsbaugruppe
DE102005028257A1 (de) Einrichtung zum Zuführen von Dichtungsflüssigkeit in einen Luftreifen
DE102006035643A1 (de) Werkzeughalterklemmeinheit zur Verwendung in einem Hauptspindelapparat
DE102016216344A1 (de) Verfahren zum Spannen und zu einer spanenden Bearbeitung eines Hydraulikblocks einer schlupfgeregelten hydraulischen Fahrzeugbremsanlage und Hydraulikblock
DE112016000629T5 (de) Verbindungsvorrichtung für fluidische Vorrichtungen
DE102011001350B3 (de) Düsenvorrichtung einer Pumpe
DE202010002432U1 (de) Spannvorrichtung mit einem Höhenausgleich
EP1118424A1 (de) Spanneinrichtung
DE10036885A1 (de) Schnellspanneinheit
DE102010024907A1 (de) Linearstellglied
DE2048421C3 (de) Ventilanordnung für hydraulische Lenkvorrichtungen
DE102015218264A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Einspannen eines Schaufelblatts einer Schaufel
EP2107284A2 (de) Ventilgehäuserohling, Ventilbausatz sowie Ventilgruppe
DE10008941B4 (de) Befestigungsanordnung für Zylinder mit Bremse
DE3824846A1 (de) Ventilbasisteil mit integrierten stromventilen
DE202022103921U1 (de) Befestigungsvorrichtung für Fahrzeug
DE112017005825T5 (de) Verbundventil zur direkten Befestigung an dem Anschluss einer Hydraulikvorrichtung
DE602005005825T2 (de) Zurückstellwerkzeug für eine Bremse
DE202014101436U1 (de) Scheibenbremssattel
DE2023881A1 (de) Digitale Ausgabeeinrichtung
DE102018201108A1 (de) Rückschlagventil

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee