CN101919040A - 真空吸盘 - Google Patents
真空吸盘 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101919040A CN101919040A CN2009801024848A CN200980102484A CN101919040A CN 101919040 A CN101919040 A CN 101919040A CN 2009801024848 A CN2009801024848 A CN 2009801024848A CN 200980102484 A CN200980102484 A CN 200980102484A CN 101919040 A CN101919040 A CN 101919040A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- vacuum
- space
- mentioned
- filter
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T279/00—Chucks or sockets
- Y10T279/11—Vacuum
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Jet Pumps And Other Pumps (AREA)
Abstract
本发明提供一种真空吸盘,其能够减少成本以及重量,并且能够缩短夹持时间。该真空吸盘包括:本体(100),其上具有排列成格子状的多个支撑突起(110)和真空槽(111),其内部分别形成有设置空间(120)、真空空间(121)和过滤器空间(122),在过滤器空间(122)的上部形成有与真空槽(111)相通的真空孔(123),在后方二侧具有分别与设置空间(120)和真空空间(121)分别相通的入口(130)和出口(131);空气储存阀(B)、真空传感器(S)、真空产生器(V)和过滤器(F),分别设置在本体(100)的设置空间(120)、真空空间(121)和过滤器空间(122)中;压力计(200)和真空计(300),分别安装在本体(100)的前方二侧,与入口(130)和真空空间(121)分别相通;开关(400),可前后移动地设置在本体(100)的前方中央里,以开闭真空空间(121)本体外壳(500),与本体(100)的下部气密地连接;以及过滤器外壳(600),与过滤器空间(122)的下部气密地连接。
Description
技术领域
本发明涉及仅通过气压来可靠地吸附并夹持无法通过夹具或磁力夹头固定的加工物的真空吸盘,尤其涉及将结构变得简单而能够减少成本以及重量,并且能够缩短夹持时间的真空吸盘。
背景技术
一般而言,真空吸盘用于固定无法通过夹具或磁力夹头来固定的加工物,并且真空吸盘无论材质仅以气压来固定如丙烯酸、塑胶、不锈钢、铝以及金属材质的加工物。
但是由于现有的真空吸盘的结构太复杂,所以存在成本上升的问题点,并且在结构方面存在重量较高,而且外观不美观等问题点。
而且,现有的真空吸盘,在结构方面存在维修时很难更换部件的问题点。
而且,以前存在在外部无法确认真空吸盘的压力状态的不方便的问题点,并且由于使用软管和外螺丝来组装真空计,所以存在在结构方面的组装性和真空效率低的问题点,而且存在另外设置保护真空计的量器外壳的不方便的问题点。
发明内容
本发明是为了解决如上所述的现有的缺点而提出的,其目的在于提供一种使真空吸盘的结构变得简单,由此能够减少成本以及重量,并且外观变得美观,而且在维修时能够易于更换部件,并且能够减少加工物的夹持时间的真空吸盘。
本发明的另一目的是提供一种如下的真空吸盘,该真空吸盘设置了压力计,能够容易地由外部确认真空吸盘的压力状态,而且藉由直接组装真空计而不使用软管和外螺丝,能够提高组装性和真空效率,并藉由集成量器外壳而不另外安装,因而能够减少费用。
为了实现上述目的,本发明提供一种真空吸盘,其特征在于,包括本体,其上具有排列成格子状的多个支撑突起和真空槽,其内部分别形成有设置空间、真空空间和过滤器空间,在过滤器空间的上部形成有与真空槽相通的真空孔,在后方二侧具有分别与设置空间和真空空间分别相通的入口和出口;空气储存阀、真空传感器、真空产生器和过滤器,分别设置在上述本体的设置空间、真空空间和过滤器空间中;压力计和真空计,分别安装在上述本体的前方二侧,与入口和真空空间分别相通;开关,可前后移动地设置在上述本体的前方中央里,以开闭真空空间;本体外壳,与上述本体的下部气密地连接;以及过滤器外壳,与上述过滤器空间的下部连接。
本发明的真空吸盘具有如下效果:由于结构简单,所以能够减少成本以及重量,并且外观美观,而且修理时能够容易地更换部件,能够缩短加工物的夹持时间。
此外,本发明的真空吸盘,能够使用压力计而容易地由外部确认真空吸盘的压力状态,而且藉由直接组装真空计而不使用软管和外螺丝,能够提高组装性和真空效率,并并藉由集成量器外壳而不另外安装,因而能够减少费用。
附图说明
图1是本发明的透视图;
图2是表示本发明的背面的透视图;
图3是本发明的分解示意图;
图4和图5是表示依据本发明本体的底面的示意图;
图6是依据本发明的底视图;
图7是本发明的剖面图;
图8是依据本发明压力计的分解示意图;
图9是图8的组装剖面图;
图10是依据本发明真空计的分解示意图;
图11是图10的组装剖面图;
图12是依据本发明开关的分解示意图;
图13和图14表示图12的组装状态和操作状态的剖面图;
图15是依据本发明外壳和过滤器外壳的分解示意图;以及
图16和图17是表示依据本发明实施例的夹持基准点设定的示例图。
主要元件符号说明
10螺丝 20基准板
100本体 110支撑突起
110a母螺旋 111真空槽
120设置空间 121真空空间
122过滤器空间 123真空孔
123a门槛 130入口
131出口 140第一压力线
140a通孔 140b通孔
141第二压力线 141a通孔
141b通孔 142真空线
142a通孔 142b通孔
150量器外壳 151母螺旋
152扳手槽 160开关槽
161栓 170夹持槽手柄
200压力计 210螺栓
211螺帽 300真空计
310螺栓 311螺帽
400开关 410栓槽
411控制槽 420第一环状槽
421第一通孔 422第一连接孔
430第二环状槽 431第二通孔
432第二连接孔 500本体外壳
510过滤器插入孔 600过滤器外壳
610插入管 611切开部
B空气储存阀 F过滤器
S真空传感器 V真空产生器
具体实施方式
以下参照附图详细说明本发明的技术结构。
如图1至图17所示,本发明的真空吸盘包括本体100,其上具有排列成格子状的多个支撑突起110和真空槽111,其内部分别形成有设置空间120、真空空间121和过滤器空间122,在过滤器空间122的上部形成有与真空槽111相通的真空孔123,在后方二侧具有分别与设置空间120和真空空间121分别相通的入口130和出口131;空气储存阀B、真空传感器S、真空产生器V和过滤器F,分别设置在上述本体100的设置空间120、真空空间121和过滤器空间122中;压力计200和真空计300,分别安装在上述本体100的前方二侧,与入口130和真空空间121分别相通;开关400,可前后移动地设置在上述本体100的前方中央里,以开闭真空空间121;本体外壳500,与上述本体100的下部气密地连接;以及过滤器外壳600,与上述过滤器空间122的下部连接。
此处,如图1所示,以格子状排列了多个支撑突起110和多个真空槽111。此时,根据加工物的形状和大小以适当地控制夹持范围,以真空孔123为基准插入O形环至真空槽111中,且上述O形环紧密地贴附至容纳在本体100中的加工物。
根据本发明的实施例,如图16和图17中所示,在上述多个支撑突起110上分别形成有用于设定基准点的母螺旋110a。因此,根据本发明的实施例,能够如图16和图17中所示,当支撑突起110的母螺旋110a上以螺10耦接来固定基准板20,则能够根据加工物的形状和大小来设定夹持基准点。
如图4、图5和图6所示,分别形成有设置空间120、真空空间121和过滤器空间122在本体100中,而在过滤器空间122上形成有与真空槽111相通的真空孔123。此时,在设置空间120中设置有空气减少阀B和真空传感器S,在真空空间121中设置有真空产生器V,在上述过滤器空间122中设置有过滤器F。
根据本发明的实施例,如图1和图7中所示,在真空孔123的上部外侧中形成有防止异物流入内部的门槛123a。因此,根据本发明的实施例,透过门槛123a来防止切削油或切屑等异物流入真空孔123内。
如图5和图6中所示,在上述本体100的后方二侧上分别形成有与设置空间120和真空空间121分别相通的入口130和出口131。此时,提供压缩空气的压缩机连接至入口130的外侧,空气减少阀B的空气流入单元连接至入口130的内侧,而真空产生器V的空气排出单元连接至出口131。
在本体100的内侧形成有与入口130以及压力计200相通的第一压力线140。此时,第一压力线140以形形成,其具有分别与入口130和压力计200连通的通孔140a和140b,而O形环安装在第一压力线140的左侧中。因此,当压缩空气提供至入口130时,一些压缩空气传输到空气减少阀B的空气流入单元,而一些压缩空气通过通孔140a而流入到第一压力线140内,流入到第一压力线140中的压缩空气通过通孔140b传输到压力计200内。
在本体100的内部形成有与空气减少阀B和真空产生器V相通的第二压力线141。此时,第二压力线141以“-”形形成,并包括分别与真空空间121和真空计300连通的通孔141a和141b,而在真空线142的外侧安装有O形环。因此,传输到空气储存阀B的压缩空气,通过通孔141a流入到第二压力线141内,流入到第二压力线141内的压缩空气通过通孔141b传输到真空产生器V,当压缩空气流入到真空产生器V时,通过真空产生器V产生真空,透过真空产生器V所产生的真空储存在真空空间121中,通过真空产生器V的空气通过出口131而排出到外部。
在本体100中形成有真空线142,其与真空空间121、过滤器空间122和真空计300相通。此时,真空线142以形形成,并包括分别与真空空间121和真空计300连通的通孔142a和142b,且具有O形环安装在真空线142的外侧。
在本体100的前方二侧里集成地形成了分别容纳压力计200和真空计300的二个量器外壳150。此时,在量器外壳150的内侧中央部,包括有螺纹连接至压力计200和真空计300的螺栓210和310的母螺旋151,如图8、图9、图10和图11中所示,在母螺旋151的前方下部中分别形成有扳手槽152,用以旋转压力计200和真空计300的螺帽211和311。因此,当将压力计200和真空计300分别插入至量器外壳150中时,将包括在压力计200和真空计300后方的螺栓210和310直接耦接至母螺旋151,最终通过扳手槽152,利用扳手来转动压力计200和真空计300的螺帽211和311,从而不使用软管和外螺丝而简单地组装。
在本体100的前方中央里形成有容纳开关400的开关槽160。此时,如图12、图13和图14中所示,形成开关槽160以通过真空空间121,并包括引导和控制开关400的操作的栓(key)161。
在本体100的二侧分别形成有夹持槽手柄170。由于空气减少阀B设置在本体100的设置空间120中,这样的空气减少阀B根据适当的真空压力,在需要产生真空时自动切断压缩空气的流入。
真空传感器S设置在本体100的设置空间120内,其感测真空空间121的真空压力并传输给空气减少阀B。
真空产生器V设置在本体100的真空空间121内,当压缩空气流入真空产生器V时产生真空,并且在真空产生器V中所产生的真空储存在真空空间121内。
过滤器F设置在本体100的过滤器空间122内,这样的过滤器F过滤异物。
压力计200设置在与本体100集成形成的量器外壳150上,通过这样的压力计200能够容易地由外部判断真空吸盘的压力状态。
真空计300设置在与本体100集成形成的量器外壳150上,通过这样的真空计300能够容易地由外部判断二侧真空空间121的真空状态。
开关400可前后移动地分别设置在形成在本体100前方中央的开关槽160中,从而开闭真空空间121。这样的开关400的一侧外面里,如图12、图13和图14中所示形成有插入至栓161里的栓槽410以及控制槽411,在开关400的后方外面里形成有第一环状槽420和第二环状槽430,在第一环状槽420和第二环状槽上430上形成有与真空线142连通的第一通孔421和第2通孔431,在第一通孔421的中央,向后方通过与真空空间121相通的第一连接孔422,在第二通孔431的中央里,向前方通过与外部相通的第二连接孔432。
如图12中所示,当开关400推入内部时,由开关400关闭真空空间121,且因此真空空间121和真空线142维持互不相通的状态。此外,由于在此状态下如图中所示,开关400的第二通孔431和真空的通孔142a相通,通过与第二通孔431连接的第二连接孔432向真空线142流入外部空气,结果真空线142维持解除真空的状态。
因此,由于当开关400推入内部时,真空线142的真空被解除,在本体100的真空孔123和真空计300中不产生真空吸附力。
如图13中所示,由于开关400相反地推向外侧,真空空间121被打开,并且开关400的第一通孔421和真空线142的通孔142a相通,通过与第一通孔421连接的第一连接孔422,真空空间121和真空线142相通,结果真空线142维持真空状态。而且,在此状态下,由于开关400的第二通孔431关闭,所以外部空气不流入到真空线142中。同时,当以将开关400拉向外侧的状态下旋转开关400,由于栓161插入至控制槽411内,即使开关400推向内侧,开关400也不进入内侧。因此,由于当开关400拉向外侧时,在真空线142中产生真空,结果同时在本体100的真空孔123、真空槽111和真空计300中产生真空吸附力。
如图3和图15中所示,本体外壳500通过多个螺纹连接来坚固且气密地组装在本体100的下部,其中并具有过滤器插入孔510,以容易地更换过滤器F。
如图3和图15中所示,过滤器外壳600在配置在过滤器空间122下部的状态下,通过多个螺纹连接来坚固地组装在本体外壳500,过滤器外壳600的上部里包括有插入至过滤器插入孔510的插入管610,在插入管610的一侧形成有切开部611,以与真空线142连通。
以下详细说明如上所构成的本发明的整体操作关系。
首先,当在本体100上安装有加工物的状态下,向入口130提供压缩空气,则一些压缩空气传输到空气减少阀B的空气流入部,一些压缩空气通过通孔140a流入第一压力线140内,而流入到第一压力线140内的压缩空气通过通孔140b传输到压力计200。
传输到空气减少阀B的压缩空气通过通孔141a流入到第二压力线141内,流入到第二压力线141内的压缩空气通过通孔141b传输到真空产生器V。当压缩空气流入到真空产生器V内,则通过真空产生器V产生真空,通过真空产生器V所产生的真空储存在真空空间121内,而经过真空产生器V的空气通过出口131释放到外部。
当在这样的状态下向外部拉动开关400时,由于真空空间121打开,并且开关400的第一通孔421与真空线142的通孔142a相通,通过与第一通孔421连接的第一连接孔422,真空空间121和真空线142相通,结果真空线142维持真空状态。
由于当向外侧拉动开关400时,在真空线142中产生真空,所以在本体100的真空孔123、真空槽111以及真空计300中产生真空吸附力。因此,由于加工物被本体100真空吸附且稳定地夹持,因此在此状态下可加工加工物。
在加工物加工结束后,当向内侧推动开关400,则通过开关400关闭真空空间121,且因此真空空间121和真空线142维持彼此互不相通的状态。而且,在此状态下,由于开关400的第二通孔431和真空线142的通孔142a相通,且通过与第二通孔431连接的第二连接孔432,外部空气流入到真空线142内,结果真空线142维持真空解除的状态。因此,由于加工物的夹持解除,能够容易卸下加工的加工物。
由此,当向内侧推动开关400,由于解除了真空线142的真空,在本体100的真空孔123、真空槽111和真空计300中不产生真空吸附力。
因此,本发明由于真空吸盘的结构简单,且其中形成了设置空间120、真空空间121和过滤器空间122,因此存在减少成本和重量的优点,并且在结构方面在修理时能够容易地更换部件的优点,而且由于真空储存在真空空间121中,所以在结构方面存在能够缩短加工物的夹持时间的优点。
而且,由于本发明设置了压力计200,所以存在能够通过压力计200,由外部容易地确认真空吸盘的压力状态的优点,而且由于直接组装了真空计300而不用软管和外螺丝,所以能够提高组装性和真空效率,并且由于集成形成了量器外壳150,所以能够减少费用。
Claims (7)
1.一种真空吸盘,其特征在于,该真空吸盘包括:
本体(100),其上具有排列成格子状的多个支撑突起(110)和真空槽(111),其内部分别形成有设置空间(120)、真空空间(121)和过滤器空间(122),在过滤器空间(122)的上部形成有与真空槽(111)相通的真空孔(123),在后方二侧具有分别与设置空间(120)和真空空间(121)分别相通的入口(130)和出口(131);
空气储存阀(B)、真空传感器(S)、真空产生器(V)和过滤器(F),分别设置在上述本体(100)的设置空间(120)、真空空间(121)和过滤器空间(122)中;
压力计(200)和真空计(300),分别安装在上述本体(100)的前方二侧,与入口(130)和真空空间(121)分别相通;
开关(400),可前后移动地设置在上述本体(100)的前方中央里,以开闭真空空间(121);
本体外壳(500),与上述本体(100)的下部气密地连接;以及
过滤器外壳(600),与上述过滤器空间(122)的下部连接。
2.如权利要求1所述的真空吸盘,其特征在于,在上述本体(100)的内部形成有与入口(130)以及压力计(200)相通的第一压力线(140),在上述本体(100)的内部形成有与空气储存阀(B)和真空发生器(V)相通的第二压力线(141),在上述本体(100)的内部形成有与真空空间(121)、过滤器空间(122)和真空计(300)相通的真空线(142),在上述本体(100)的前方二侧里容纳压力计(200)和真空计(300)的量器外壳(150),在上述本体(100)的前方中央里形成有容纳开关(400)的开关槽(160)。
3.如权利要求2所述的真空吸盘,其特征在于,在上述量器外壳(150)的内侧中央部具有与压力计(200)、真空计(300)的螺栓(210)和(310)螺纹连接的母螺旋(151),在上述母螺旋(151)的前方下部里分别形成有扳手槽(152),以旋转压力计(200)和真空计(300)的螺帽(211)和(311)。
4.如权利要求2所述的真空吸盘,其特征在于,在上述开关槽(160)中具有栓(161),在上述开关(400)的一外表面上,形成插入至栓(161)的栓槽(410)以及控制槽(411),在上述开关(400)的后方外表面上具有第一环状槽(420)和第二环状槽(430),在上述第一环状槽(420)和第二环状槽上(430)上形成有与真空线(142)相通的第一通孔(421)和第二通孔(431),在上述第一通孔(421)的中央,向后方贯通了与真空空间(121)相通的第一连接孔(422),在上述第二通孔(431)的中央里,向前方贯通了与外部相通的第二连接孔(432)。
5.如权利要求1所述的真空吸盘,其特征在于,在上述支撑突起(110上形成有用于设定基准点的母螺旋(110a)。
6.如权利要求1所述的真空吸盘,其特征在于,在上述真空孔(123)的上部外侧形成有防止异物进入内部的门槛(123a)。
7.如权利要求1所述的真空吸盘,其特征在于,在上述本体外壳(500)上形成有过滤器插入孔(510),在过滤器外壳(600)上具有插入在过滤器插入孔(510)中的插入管(610),在上述插入管(610)的一侧形成有切开部(611),从而贯通真空线(142)。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020080005742A KR100832696B1 (ko) | 2008-01-18 | 2008-01-18 | 진공척 |
KR10-2008-0005742 | 2008-01-18 | ||
PCT/KR2009/000273 WO2009091226A2 (ko) | 2008-01-18 | 2009-01-19 | 진공척 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101919040A true CN101919040A (zh) | 2010-12-15 |
CN101919040B CN101919040B (zh) | 2012-06-20 |
Family
ID=39665336
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2009801024848A Expired - Fee Related CN101919040B (zh) | 2008-01-18 | 2009-01-19 | 真空吸盘 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8387961B2 (zh) |
JP (1) | JP5302976B2 (zh) |
KR (1) | KR100832696B1 (zh) |
CN (1) | CN101919040B (zh) |
DE (1) | DE112009000149T5 (zh) |
WO (1) | WO2009091226A2 (zh) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103183201A (zh) * | 2011-12-29 | 2013-07-03 | 富泰华工业(深圳)有限公司 | 吸附装置 |
CN103465199A (zh) * | 2013-09-27 | 2013-12-25 | 广东尚能光电技术有限公司 | 可调式真空夹具 |
CN103962860A (zh) * | 2014-05-27 | 2014-08-06 | 中国电子科技集团公司第四十三研究所 | 真空吸盘 |
CN105936017A (zh) * | 2016-07-01 | 2016-09-14 | 精益恒准(天津)数控设备股份有限公司 | 大吸附力吸盘 |
CN106862955A (zh) * | 2015-12-11 | 2017-06-20 | 焱智精密机械(上海)有限公司 | 用于薄板加工的夹具 |
CN109483429A (zh) * | 2018-10-18 | 2019-03-19 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 承载装置及承载方法 |
CN114056933A (zh) * | 2021-12-17 | 2022-02-18 | 广东海拓创新精密设备科技有限公司 | 一种高分子量改性硅化聚氨酯橡胶物理粘附吸盘及其制备方法 |
Families Citing this family (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5124027B2 (ja) * | 2008-01-18 | 2013-01-23 | エルジー・ケム・リミテッド | 光学フィルム、その製造方法、およびこれを含む液晶表示装置 |
KR100832696B1 (ko) * | 2008-01-18 | 2008-05-28 | 임권현 | 진공척 |
JP5129864B2 (ja) * | 2008-01-18 | 2013-01-30 | エルジー・ケム・リミテッド | 光学フィルム、その製造方法、およびこれを含む液晶表示装置 |
KR100998808B1 (ko) | 2008-03-14 | 2010-12-06 | 임권현 | 진공척의 흡착구조 |
US9482755B2 (en) | 2008-11-17 | 2016-11-01 | Faro Technologies, Inc. | Measurement system having air temperature compensation between a target and a laser tracker |
US8659749B2 (en) | 2009-08-07 | 2014-02-25 | Faro Technologies, Inc. | Absolute distance meter with optical switch |
US9159595B2 (en) * | 2010-02-09 | 2015-10-13 | Suss Microtec Lithography Gmbh | Thin wafer carrier |
US8619265B2 (en) | 2011-03-14 | 2013-12-31 | Faro Technologies, Inc. | Automatic measurement of dimensional data with a laser tracker |
US9400170B2 (en) | 2010-04-21 | 2016-07-26 | Faro Technologies, Inc. | Automatic measurement of dimensional data within an acceptance region by a laser tracker |
US9772394B2 (en) | 2010-04-21 | 2017-09-26 | Faro Technologies, Inc. | Method and apparatus for following an operator and locking onto a retroreflector with a laser tracker |
US9377885B2 (en) | 2010-04-21 | 2016-06-28 | Faro Technologies, Inc. | Method and apparatus for locking onto a retroreflector with a laser tracker |
JP5810517B2 (ja) * | 2010-12-02 | 2015-11-11 | 富士電機株式会社 | 吸着装置および吸着方法 |
US8902408B2 (en) | 2011-02-14 | 2014-12-02 | Faro Technologies Inc. | Laser tracker used with six degree-of-freedom probe having separable spherical retroreflector |
GB2503390B (en) | 2011-03-03 | 2014-10-29 | Faro Tech Inc | Target apparatus and method |
US9482529B2 (en) | 2011-04-15 | 2016-11-01 | Faro Technologies, Inc. | Three-dimensional coordinate scanner and method of operation |
USD688577S1 (en) | 2012-02-21 | 2013-08-27 | Faro Technologies, Inc. | Laser tracker |
US9164173B2 (en) | 2011-04-15 | 2015-10-20 | Faro Technologies, Inc. | Laser tracker that uses a fiber-optic coupler and an achromatic launch to align and collimate two wavelengths of light |
US9686532B2 (en) | 2011-04-15 | 2017-06-20 | Faro Technologies, Inc. | System and method of acquiring three-dimensional coordinates using multiple coordinate measurement devices |
GB2504890A (en) | 2011-04-15 | 2014-02-12 | Faro Tech Inc | Enhanced position detector in laser tracker |
JP6099675B2 (ja) | 2012-01-27 | 2017-03-22 | ファロ テクノロジーズ インコーポレーテッド | バーコード識別による検査方法 |
US8752751B2 (en) * | 2012-07-13 | 2014-06-17 | Asm Technology Singapore Pte Ltd | Lead frame support plate and window clamp for wire bonding machines |
US9041914B2 (en) | 2013-03-15 | 2015-05-26 | Faro Technologies, Inc. | Three-dimensional coordinate scanner and method of operation |
US9395174B2 (en) | 2014-06-27 | 2016-07-19 | Faro Technologies, Inc. | Determining retroreflector orientation by optimizing spatial fit |
CN104165175B (zh) * | 2014-08-01 | 2018-04-17 | 广东格林精密部件股份有限公司 | 一种版式一次性组装多个产品夹具 |
SG11201603148VA (en) * | 2014-12-18 | 2016-07-28 | Ev Group E Thallner Gmbh | Method for bonding substrates |
DE102016203578A1 (de) * | 2016-03-04 | 2017-09-07 | Homag Gmbh | Vorrichtung mit Absaugeinrichtung |
CN106312465A (zh) * | 2016-11-08 | 2017-01-11 | 维沃移动通信有限公司 | 一种终端壳体及其制作方法、移动终端 |
CN110328628A (zh) * | 2019-08-05 | 2019-10-15 | 江苏天隆富信息技术有限公司 | 一种手机主板加工用定位压台 |
CN114131529B (zh) * | 2021-12-09 | 2024-06-04 | 成都市温江区雄华机械制造有限公司 | 高精密工业加工真空吸附系统 |
CN115055988A (zh) * | 2022-08-08 | 2022-09-16 | 安徽钰桥精密自动化机械有限公司 | 一种发动机缸盖立式加工中心摇篮式双面夹具 |
Family Cites Families (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3233887A (en) * | 1963-01-28 | 1966-02-08 | Dunham Tool Company Inc | Vacuum chuck |
DE1648669C3 (de) * | 1967-04-26 | 1974-06-12 | Gesellschaft Fuer Hydraulik-Zubehoer Mbh, 6603 Sulzbach | Manometer-Wahlventil |
DE1923833C3 (de) * | 1969-05-09 | 1975-11-27 | Vereinigte Flugtechnische Werke - Fokker Gmbh, 2800 Bremen | System zum Aufbau von Vorrichtungen zum Aufspannen von Werkstücken auf Werkzeug maschinentischen |
US3999795A (en) * | 1975-12-17 | 1976-12-28 | American Chain & Cable Company, Inc. | Vacuum pad system |
US4139051A (en) * | 1976-09-07 | 1979-02-13 | Rockwell International Corporation | Method and apparatus for thermally stabilizing workpieces |
US4066249A (en) * | 1977-05-11 | 1978-01-03 | Grumman Aerospace Corporation | Modular vacuum work area |
US4190240A (en) * | 1978-04-17 | 1980-02-26 | Tobin-Arp Manufacturing Company | Cylinder head support with air cushion and vacuum hold down |
DE3474527D1 (en) * | 1983-11-25 | 1988-11-17 | Mors | Work pallet, provided with a control system and preferably with a separate cylinder control, to operate with an independent pressure |
JPS62219634A (ja) * | 1986-03-20 | 1987-09-26 | Hitachi Ltd | 真空保持装置 |
JP2546652B2 (ja) | 1986-09-03 | 1996-10-23 | ロ−ム株式会社 | チヤツクテ−ブル |
US5775395A (en) | 1996-04-10 | 1998-07-07 | Wilkins; David | Vacuum fixture |
JP3028299B2 (ja) * | 1997-04-25 | 2000-04-04 | 株式会社 キョウエイ | 可般形チャック具 |
JP2002541541A (ja) * | 1999-04-07 | 2002-12-03 | アルカテル | 真空チャンバ内の圧力を調整するためのシステム、このシステムを装備した真空ポンピングユニット |
JP2000308934A (ja) | 1999-04-27 | 2000-11-07 | New Sutorongu Hanbai Kk | 真空チャック |
JP2001287129A (ja) | 2000-04-05 | 2001-10-16 | Bm:Kk | 真空チャック |
US6572091B2 (en) * | 2001-02-20 | 2003-06-03 | Alvin Kimble | Magnetic locking vacuum chuck system |
KR100518359B1 (ko) * | 2001-11-08 | 2005-09-30 | 신동효 | 진공흡착장치 |
JP4346935B2 (ja) * | 2002-05-22 | 2009-10-21 | 東芝機械株式会社 | 真空チャック装置 |
JP2004324500A (ja) * | 2003-04-24 | 2004-11-18 | Myotoku Ltd | 真空発生機構装置 |
JP4533614B2 (ja) * | 2003-10-10 | 2010-09-01 | 株式会社イーアールシー | 真空制御システム |
CN1771432A (zh) * | 2003-12-25 | 2006-05-10 | 三菱电机株式会社 | 气体配管用构件、使用该构件的气体配管及用在该气体配管上的气体开闭用零件 |
KR101328210B1 (ko) * | 2005-02-10 | 2013-11-14 | 파나소닉 주식회사 | 부품 실장 장치, 및 기판 반송 방법 |
JP4582484B2 (ja) * | 2006-12-20 | 2010-11-17 | Smc株式会社 | 真空吸着装置 |
TWM321831U (en) * | 2007-01-17 | 2007-11-11 | Yung-Tsai Shen | Vacuum absorbing device for a workbench |
KR100832696B1 (ko) * | 2008-01-18 | 2008-05-28 | 임권현 | 진공척 |
US20100283194A1 (en) * | 2009-05-11 | 2010-11-11 | Han Zhen-Zhong | Energy-saving vacuum adsorption apparatus |
-
2008
- 2008-01-18 KR KR1020080005742A patent/KR100832696B1/ko active IP Right Grant
-
2009
- 2009-01-19 DE DE112009000149T patent/DE112009000149T5/de not_active Withdrawn
- 2009-01-19 WO PCT/KR2009/000273 patent/WO2009091226A2/ko active Application Filing
- 2009-01-19 CN CN2009801024848A patent/CN101919040B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2009-01-19 US US12/863,545 patent/US8387961B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2009-01-19 JP JP2010543063A patent/JP5302976B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103183201A (zh) * | 2011-12-29 | 2013-07-03 | 富泰华工业(深圳)有限公司 | 吸附装置 |
CN103183201B (zh) * | 2011-12-29 | 2016-01-13 | 富泰华工业(深圳)有限公司 | 吸附装置 |
CN103465199A (zh) * | 2013-09-27 | 2013-12-25 | 广东尚能光电技术有限公司 | 可调式真空夹具 |
CN103465199B (zh) * | 2013-09-27 | 2016-06-08 | 广东尚能光电技术有限公司 | 可调式真空夹具 |
CN103962860A (zh) * | 2014-05-27 | 2014-08-06 | 中国电子科技集团公司第四十三研究所 | 真空吸盘 |
CN106862955A (zh) * | 2015-12-11 | 2017-06-20 | 焱智精密机械(上海)有限公司 | 用于薄板加工的夹具 |
CN105936017A (zh) * | 2016-07-01 | 2016-09-14 | 精益恒准(天津)数控设备股份有限公司 | 大吸附力吸盘 |
CN105936017B (zh) * | 2016-07-01 | 2018-12-21 | 精益恒准(天津)数控设备股份有限公司 | 大吸附力吸盘 |
CN109483429A (zh) * | 2018-10-18 | 2019-03-19 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 承载装置及承载方法 |
CN109483429B (zh) * | 2018-10-18 | 2020-10-16 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 承载装置及承载方法 |
CN114056933A (zh) * | 2021-12-17 | 2022-02-18 | 广东海拓创新精密设备科技有限公司 | 一种高分子量改性硅化聚氨酯橡胶物理粘附吸盘及其制备方法 |
CN114056933B (zh) * | 2021-12-17 | 2023-10-20 | 广东海拓创新精密设备科技有限公司 | 一种高分子量改性硅化聚氨酯橡胶物理粘附吸盘 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5302976B2 (ja) | 2013-10-02 |
JP2011509839A (ja) | 2011-03-31 |
WO2009091226A3 (ko) | 2009-11-05 |
US20100301534A1 (en) | 2010-12-02 |
WO2009091226A2 (ko) | 2009-07-23 |
KR100832696B1 (ko) | 2008-05-28 |
DE112009000149T5 (de) | 2011-02-17 |
CN101919040B (zh) | 2012-06-20 |
US8387961B2 (en) | 2013-03-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101919040B (zh) | 真空吸盘 | |
WO2008001179A3 (en) | Kit for repairing and inflating inflatable articles | |
CN202834729U (zh) | 智能控制空气瓶供气模块 | |
CN200949475Y (zh) | 瓦斯抽放自动放水装置 | |
US20140373940A1 (en) | Fluid drain manifold | |
US8480897B2 (en) | Impurities removal apparatus for a fluid inclusion | |
CN109674553A (zh) | 一种台式冲牙器 | |
CN201093169Y (zh) | 压缩空气储气罐上的自动排水器 | |
JP2006076570A5 (zh) | ||
CN201372929Y (zh) | 无堵塞自吸泵 | |
CN201027654Y (zh) | 滑阀真空泵的副油箱装置 | |
JP4879601B2 (ja) | フロート式スチームトラップ | |
CN108644410B (zh) | 一种冲洗阀与高压开关的组合模块及其净水器 | |
CN102606532A (zh) | 调整流体泵最佳效率点的方法及流体泵 | |
CN207795574U (zh) | 组合分配器双级液环泵 | |
CN201916595U (zh) | 管道自动排气阀 | |
CN203548363U (zh) | 具有除垢功能的太阳能热水器节水泵 | |
CN200943584Y (zh) | 自吸泵压力差全自动阀 | |
CN220488350U (zh) | 一种过滤球阀 | |
CN110604964A (zh) | 一种设置在冰箱内的水过滤装置 | |
CN201016329Y (zh) | 可调式组合阀液力平衡泵头 | |
CN216478190U (zh) | 一种一体化滤油机 | |
CN213652038U (zh) | 一种环保的纯水机浓水回收再输送装置 | |
CN219529325U (zh) | 一种低噪音屏蔽泵 | |
CN109704285B (zh) | 一种磁力制氧机 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20120620 Termination date: 20200119 |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |