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Technisches Gebiet
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Handhaben
von Erzeugnissen bzw. Werkstücken (Anmerkung des Übersetzers: nachfolgend
als „Werkstücke" bezeichnet), die solche Werkstücke
zwischen einer/m Mehrzweck- oder Universalablage, -platte, -tablett
oder ähnlichen Trageinrichtung (nachfolgend durchgehend
als „Universalablage" angegeben) zum Unterbringen bzw.
Aufnehmen von Werkstücken wie Halbleiterchips für IC's,
LSI's, CPU's oder dergleichen oder anderen elektronischen Komponenten,
einerseits, und einer/m ausschließlich zur Bearbeitung
vorgesehenen Ablage, Platte, Tablett oder ähnlichen Trageinrichtung
(im Folgenden kurz „Bearbeitungsablage") zum Unterbringen
bzw. Aufnehmen der Werkstücke in Abständen, die
gegenüber jenen der Universalablage verschieden sind, andererseits, überführt,
wenn an den Werkstücken ein Bearbeitungsvorgang wie eine Kontrolle,
ein Test oder eine Inspektion durchgeführt wird, oder die
die Universalablage und die Bearbeitungsablage fördert
und positioniert.
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Stand der Technik
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Um
an Werkstücken wie Halbleiterchips verschiedene Bearbeitungsgänge
wie einen Test oder eine Inspektion auszuüben, werden die
Werkstücke durch eine Mehrzahl Prozesse gefördert.
Um die Werkstücke effizient zu fördern, wird eine
Universalablage verwendet, die zur gleichen Zeit eine Mehrzahl Werkstücke
aufnimmt.
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Im
Speziellen wird eine Mehrzahl Werkstücke auf einer Universalablage
angeordnet und aufgenommen, in Reihenfolge verschiedenen Bearbeitungsschritten
zugeführt, und es werden in jedem Bearbeitungsschritt die
Werkstücke einzeln oder es wird eine Mehrzahl Werkstücke
kollektiv abgenommen und einer vorbestimmten Bearbeitung unterzogen, und
die Werkstücke werden auf die Universalablage zurück-
und dem nächsten Bearbeitungsschritt zugeführt.
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Dabei
werden bei einem Bearbeitungsschritt der Anwendung eines vorbestimmten
Bearbeitungsvorgangs wie eines Tests oder einer Inspektion zum optimalen
Bearbeiten die Werkstücke auf eine Ablage für
ausschließliche Bearbeitung mit Unterbringungs- bzw. Aufnahme-Abständen überführt,
die von jenen der Universalablage verschieden sind, und der Bearbeitung
unterzogen, und Werkstücke, für die die Bearbeitung
bereits vollständig vollzogen wurde, werden an die Universalablage
zurückgeführt und zum nächsten Bearbeitungsschritt
gefördert.
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Diese
ausschließliche Bearbeitungsablage ist so ausgebildet,
dass sie eine Mehrzahl Werkstücke in Aufnahme-Abständen
aufnimmt, die von den Aufnahme-Abständen (Intervallen)
der Universalablage verschieden sind. Deshalb ist zwischen der Mehrzweck-
oder Universalablage und der Bearbeitungsablage ein Schritt zum Überführen
der Werkstücke notwendig.
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Daher
ist als herkömmliche Werkstück-Handhabungsvorrichtung,
die Werkstücke zwischen einer Universalablage und einer
Bearbeitungsablage überführt, eine solche bekannt,
die zwei Beladeeinrichtungen, die Werkstücke von der Universalablage
auf die Bearbeitungsablage überführen, sowie zwei
Entladeeinrichtungen umfasst„ die die Werkstücke
von der Bearbeitungsablage auf die Universalablage überführen,
wobei die zwei Beladeeinrichtungen mit auswechselbaren Mechanismen
versehen sind, die die Abstände der säulenförmigen Stapel
oder der Reihen der Werkstücke ändern können,
und die zwei Entladeeinrichtungen sind mit austauschbaren Mechanismen
versehen, die die Abstände der säulenförmigen
Stapel oder der Reihen verändern können (z. B.
bezugnehmend auf die ungeprüfte
japanische Patentveröffentlichung
Nr. 2002-174658 ).
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Bei
dieser Vorrichtung sind jedoch die Belade- und Entladeeinrichtungen
mit Auswechselmechanismen versehen, und durch Antreiben der Auswechselmechanismen
werden die Abstände des Aufnehmens der Werkstücke
eingestellt, so dass es Zeit erfordert, die Abstände zu ändern,
und dies ist im Hinblick auf eine Geschwindigkeitssteigerung der Überführungsoperation
nicht vorteilhaft. Wenn die Auswechselmechanismen kompliziert werden,
so wird die funktionelle Zuverlässigkeit geringer, so dass man
bestätigen lassen muss, ob der Wechsel zu den gewünschten
Abständen zuverlässig durchgeführt wurde.
Weiter erhöht die Bereitstellung der Auswechselmechanismen
Größe und Gewicht der Belade- und Entladeeinrichtungen,
und in Verbindung mit der Wiederholung von Operationen können Fehler
in der Halterung der Werkstücke auftreten. Um eine kleine Komponente
handhaben zu können, kommt es auf die Anhaltegenauigkeit
bei deren Herausnehmen oder Platzieren an, jedoch wächst
die Zahl mechanischer Fehler, die in den jeweiligen Mechanismen
auftreten, an, falls die Zahl der Mechanismen zum Übermitteln
der Komponenten groß ist, und die Genauigkeit im Erreichen
der Halteposition zum Herausnehmen oder Platzieren der Komponente
nimmt ab, und es können sich auch Fehlfunktionen beim Herausnehmen
einer Komponente oder beim Einsetzen derselben einstellen.
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Die
vorliegende Erfindung wurde in Anbetracht der vorstehend beschriebenen
Umstände entwickelt, und es ist eines ihrer Ziele, eine
Vorrichtung zum Handhaben eines Werkstückes bzw. Erzeugnisses
bereitzustellen, die in wirksamer Weise die Anwendung verschiedener
Arbeitsabläufe wie Tests, Inspektionen, Messungen, Bearbeitungen
und Zusammenbau etc. auf Werkstücke bzw. Erzeugnisse wie
Halbleiterchips, Substrate und andere elektronische Komponenten
ermöglicht und die Produktivität zu verbessern
hilft, während eine Vereinfachung des Aufbaus, ein Konsolidieren
bzw. Vereinfachen der mechanischen Einrichtungen, eine Verkleinerung
der gesamten Vorrichtung, eine Ersparnis hinsichtlich für die
Installation benötigten Platzes und eine Verringerung der
für die Werkstücküberführung
benötigten Zeit verwirklicht werden können.
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Offenbarung der Erfindung
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Die
Vorrichtung zur Werkstückhandhabung nach der vorliegenden
Erfindung, mit der das vorstehende Ziel erreicht wird, umfasst:
eine Mehrzweck-/Universalablage-Halteeinheit, die sich in Richtung
nach links und rechts bewegen kann, während sie eine Universalablage
hält, die Werkstücke aufnehmen kann; eine Bearbeitungsablage-Halteeinheit,
die benachbart zur Rückseite in der Vorwärts- und
Rückwärtsrichtung der Universalablage-Halteeinheit
angeordnet ist und sich in der Richtung nach links und rechts bewegen
kann, während sie die Bearbeitungsablage, die die Werkstücke
in einen Bearbeitungsbereich hinein- und aus diesem herausträgt, hält;
und eine Werkstück-Überführungseinheit,
die sich in der Richtung nach vorne und zurück und in der vertikalen
Richtung bewegen kann, um Werkstücke zwischen der Universalablage
und der Bearbeitungsablage zu überführen.
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Bei
diesem Aufbau werden, wenn ein unbearbeitetes Werkstück
von einer Universalablage auf eine Bearbeitungsablage und wenn ein
bearbeitetes Werkstück, für das eine vorbestimmte
Bearbeitung vervollständigt worden ist, von einer Bearbeitungsablage
auf eine Universalablage überführt wird, die Universalablage-Halteeinheit
und die Bearbeitungsablage-Halteeinheit beliebig in der Links- und Rechts-Richtung
gemäß vorbestimmten Aufnahmeabständen
bewegt und an einer vorbestimmten Herausnahmestelle und Aufnahmestelle
positioniert, und die Werkstück-Überführungseinheit
bewegt sich in der Vorwärts- und Rückwärts-Richtung,
um Werkstücke zwischen der Universalablage und der Bearbeitungsablage
zu fördern, und sie bewegt sich in der vertikalen Richtung,
um Werkstücke herauszunehmen und um Werkstücke
aufzunehmen/unterzubringen, und sie überfuhrt die Werkstücke
zwischen der Universalablage und der Bearbeitungsablage.
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Somit
bewegen sich die Universalablage-Halteeinrichtung und die Bearbeitungsablage-Halteeinrichtung
beliebig nach links und rechts, und ein herauszunehmendes bzw. unterzubringendes
Werkstück wird immer unterhalb der Werkstück-Überführungseinheit
in der Richtung nach links und rechts positioniert, und die Werkstück-Überführungseinheit
bewegt sich in vertikaler Richtung und in Richtung nach vom und
nach hinten, um das Werkstück zu überführen,
so dass das Werkstück bei hoher Geschwindigkeit bewegt
werden kann, und so kann eine höhere Geschwindigkeit des Überführungsvorgangs
verwirklicht werden. Zusätzlich wird ein (einziger) sich
bewegender Mechanismus als Universalablage-Halteeinheit, Bearbeitungsablage-Halteeinheit
und Werkstück-Überführungseinheit eingesetzt,
der sich in einer Richtung in einer Ebene (Links-/Rechts-Richtung
Y oder Vorwärts-/Rückwärts-Richtung X)
bewegt, so dass mechanische Fehler verringert und die Genauigkeit
der Halteposition verbessert werden, wenn das Werkstück
zwischen der Universalablage und der Bearbeitungsablage überführt
wird. Folglich kann selbst ein kleines Werkstück genau
herausgenommen und überführt werden.
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Bei
der wie oben beschrieben aufgebauten Vorrichtung kann ein Aufbau
zum Einsatz gelangen, bei dem eine Bearbeitungsablage-Abgabeeinheit,
die die Bearbeitungsablage abgibt, zwischen einer Bearbeitungsablage-Halteeinheit
und dem Bearbeitungsbereich angeordnet ist.
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Bei
diesem Aufbau wird die Bearbeitungsablage durch die Bearbeitungsablage-Abgabeeinheit zwischen
der Bearbeitungsablage-Halteeinheit und dem Bearbeitungsbereich
abgegeben, so dass nach dem Werkstück-Überführungsschritt
ein reibungsloser Übergang zu einem Bearbeitungsschritt
möglich ist, und ein bearbeitetes Werkstück kann
reibungslos wieder zu der Bearbeitungsablage-Halteeinheit zurückgebracht
werden, und weiterhin kann, wenn eine Mehrzahl Bearbeitungsbereiche
vorgesehen ist, die Bearbeitungsablage zwischen einem beliebig gewählten
Bearbeitungsbereich und der Bearbeitungsablage-Halteeinheit überführt
werden.
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Bei
der wie vorstehend beschrieben aufgebauten Vorrichtung kann eine
Struktur Verwendung finden, bei der eine Mehrzahl Werkstück-Überführungseinheiten
vorgesehen und in der Links- und Rechts-Richtung angeordnet ist,
und die Universalablage-Halteeinheit hält eine Mehrzahl
Universal- oder Mehrzweckablagen, und die Mehrzahl Universalablagen
umfasst eine Universalablage für unbearbeitete Werkstücke,
die unbearbeitete Werkstücke aufnimmt, und eine Universalablage
für bearbeitete Werkstücke, die bearbeitete Werkstücke
aufnimmt.
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Z.
B. kann bei diesem Aufbau, wenn zwei Werkstück-Überführungseinheiten
vorgesehen sind, während ein unbearbeitetes Werkstück
von einer Universalablage für unbearbeitete Werkstücke
auf eine Ablage für bearbeitete Werkstücke durch
eine Werkstück-Überführungseinheit überführt
wird, ein bearbeitetes Werkstück durch die andere Werkstück-Überführungseinheit
von der Ablage für bearbeitete Werkstücke auf
die Universalablage für bearbeitete Werkstücke überführt
werden. Mit anderen Worten kann zur selben Zeit eine Überführung
des unbearbeiteten Werkstückes und eine Überführung des
bearbeiteten Werkstückes durchgeführt werden, so
dass die zur Überführung notwendige Zeit kürzer als
in dem Fall bemessen werden kann, in dem unbearbeitete und bearbeitete
Werkstücke zu verschiedenen Zeiten überführt
werden.
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Bei
der wie oben beschrieben aufgebauten Vorrichtung kann eine Struktur
Verwendung finden, bei der der Bearbeitungsbereich einen Inspektionsbereich
umfasst, in dem eine vorbestimmte Inspektion an dem Werkstück
ausgeübt wird, und die Universalablage für bearbeitete
Werkstücke umfasst eine „nicht-schadhafte" Universalablage
zur Aufnahme von Werkstücken, die einer vorbestimmten Inspektion
genügen, und eine Universal-Fehlstückablage zur Aufnahme
von Werkstücken, die der vorbestimmten Inspektion nicht
genügen.
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Bei
diesem Aufbau wird, nachdem an den Werkstücken eine vorbestimmte
Inspektion durchgeführt worden ist, die Bearbeitungsablage
aus dem Inspektionsbereich durch die Bearbeitungsablage-Abgabeeinheit
an die Bearbeitungsablage-Halteeinheit abgegeben, und durch die
Werkstücküberführungseinheit werden nicht-fehlerhafte
Werkstücke klassifiziert und von der Bearbeitungsablage
auf die Universalablage nicht-schad- oder fehlerhafter Werkstücke überführt,
und fehler- oder schadhafte Werkstücke werden klassifiziert
und von der Bearbeitungsablage auf die Universalablage für
schadhafte Werkstücke überführt. Somit
können geprüfte Werkstücke gleichlaufend
mit dem Überführungsvorgang wirkungsvoll in nicht-schadhafte
und schadhafte eingestuft bzw. klassifiziert werden, und die Schritte
können im Ganzen vereinfacht werden.
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Bei
der wie oben beschrieben aufgebauten Vorrichtung kann eine Struktur
zur Anwendung gelangen, bei der die Universalablage-Halteeinheit
zwischen einer hinteren Position, in der ein Werkstück durch
die Werkstück-Überführungseinheit überführt wird,
und einer vorderen Position zum Zuführen oder Zurückholen
der Universalablage in Vorwärts- und Rückwärts-Richtung
bewegbar ausgebildet ist und bei der an der weiteren Vorderseite
der Universalablage-Halteeinheit in der Vorwärts- und Rückwärts Richtung
eine Universalablage-Zuführeinheit, die eine Werkstücke
aufnehmende Universalablage und eine leere, keine Werkstücke
aufnehmende Universalablage zuführt, eine Universalablage-Rückholeinheit,
die eine von der Universalablage-Halteeinheit gehaltene Universalablage
zurückholt, und eine Universalablage-Überführungseinheit,
die eine Universalablage zwischen der Universalablage-Zuführeinheit
sowie der Universalablage-Halteeinheit, einerseits, und zwischen
der Universalablage-Halteeinheit und der Universalablage-Rückholeinheit,
andererseits, überführt, vorgesehen sind.
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Bei
diesem Aufbau wird, wenn sich die Universalablage-Halteeinheit zur
vorderen Position hin bewegt, durch die Universalablage-Überführungseinheit
eine Werkstücke aufnehmende Universalablage oder eine leere
Universalablage von der Universalablage-Zuführeinheit der
Universalablage-Halteeinheit zugeführt, und eine Universalablage
wird von der Universalablage-Halteeinheit zu der Universalablage-Rückholeinheit
zurückgeholt. Damit können Zufuhr und Rückholen
der Universalablage in einem regelmäßigen Operationsfluss
wirkungsvoll durchgeführt werden.
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Bei
der wie oben beschrieben aufgebauten Vorrichtung kann ein Aufbau
zum Einsatz gelangen, bei dem die Universalabtage-Überführungseinheit
so ausgebildet ist, dass sie eine Mehrzahl Universalablagen hält.
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Bei
diesem Aufbau kann eine Vielzahl Universalablagen (beispielsweise
eine Universalablage zum Aufnehmen unbearbeiteter Werkstücke
und eine leere Universalablage, die keine Werkstücke aufnimmt)
zur gleichen Zeit durch die Universalablage-Überführungseinheit überführt
werden, und in der Überführungsposition können
ein Überführungsvorgang einer Universalablage
und ein Aufnahmevorgang einer Universalablage, die bearbeitete Werkstücke
aufnimmt, zur gleichen Zeit durchgeführt werden, so dass
die insgesamt für die Vorgänge erforderliche Zeit
verkürzt werden kann, und das Zuführen und Rückholen
der Universalablagen können wirkungsvoller ausgeführt
werden.
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Bei
der zuvor beschriebenen Vorrichtung kann ein Aufbau zum Einsatz
gelangen, bei dem die Universalablage-Zuführeinheit und
die Universalablage-Rückholeinheit in der Links- und Rechts-Richtung
angeordnet sind, und die Universalablage-Überführungseinheit
ist so ausgebildet, dass sie in Richtung nach links und nach rechts
und in vertikaler Richtung bewegbar ist.
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Bei
diesem Aufbau wird, wenn eine Universalablage zugeführt
wird, die Universalablage-Überführungseinheit
zu einer Seite der Links- und Rechts-Richtung bewegt, und wenn eine
Universalablage zurückgeholt wird, so wird die Universalablage-Überführungseinheit
zur jeweils anderen Seite der Links- und Rechts-Richtung bewegt,
so dass die Vorrichtung insgesamt komprimiert (integriert) werden
kann, während der Bewegungsabstand zum Zuführen
und Zurückholen von Universalablagen (Länge des
Bewegungsweges) abgekürzt wird.
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Bei
der wie oben beschrieben aufgebauten Vorrichtung kann eine Konstruktion
zum Einsatz gelangen, bei der ein Universalablage-Standby-Bereich,
in dem sich Universalablagen zeitweilig im Standby-Zustand befinden,
in einem Bewegungsbereich der Universalablage-Überführungsvorrichtung vorgesehen
ist.
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Bei
dieser Konstruktion können, wenn die bearbeitete Werkstücke
aufnehmende Universalablage nicht gefüllt ist, die Universalablagen
zeitweilig in dem Universalablage-Standby-Bereich in einen Standby-Zustand
versetzt werden, und wenn ein Unterbrechungsbefehl zwecks Bearbeitens
einer unterschiedlichen Art Werkstücke erteilt wird, kann
eine vorhergehende Universalablage zeitweilig in dem Universalablage-Standby-Bereich
in einen Standby-Zustand versetzt werden, und weiterhin können eine
Universalablage, die der Universalablage-Halteeinheit zugeführt
werden soll, oder eine Universalablage, die von der Universalablage-Halteeinheit
zurückgeholt werden soll, zeitweilig in dem Universalablage-Standby-Bereich
in einen Standby-Zustand versetzt werden, so dass die Zeitgaben
für das Zuführen oder das Zurückholen
angepasst bzw. abgeglichen werden.
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Bei
der wie vorstehend beschrieben aufgebauten Vorrichtung kann eine
Konstruktion zum Einsatz gelangen, bei der eine Bearbeitungsablage-Zuführ-
und Rückholeinheit vorgesehen ist, die eine Bearbeitungsablage
der Bearbeitungsablage-Abgabeeinheit zuführt oder von dieser
zurückholt.
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Bei
einem solchen Aufbau kann, wenn eine Mehrzahl Bearbeitungsbereiche
vorgesehen ist, eine erforderliche Anzahl Bearbeitungsablagen von
der Bearbeitungsablage-Zuführ- und Rückholeinheit
zugeführt werden, und wenn ein Zuführungsbereich verharrt,
d. h. anhält, kann die Bearbeitungsablage entsprechend
zurückgeholt werden. Weiterhin kann im Falle der Wartung
und Inspektion der Bearbeitungsablage diese leicht herausgenommen
werden.
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Bei
der wie vorstehend beschrieben aufgebauten Vorrichtung kann eine
Struktur zum Einsatz gelangen, bei der ein Werkstück-Überführungsmechanismus
durch die Universalablage-Halteeinheit, die Bearbeitungsablage-Halteeinheit
und die Werkstück-Überführungseinheit
gebildet wird, und es ist eine Mehrzahl Werkstück-Überführungsmechanismen
in Links- und Rechts-Richtung vorgesehen und angeordnet.
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Bei
diesem Aufbau können durch Schaffen der Mehrzahl Werkstück-Überführungsmechanismen,
von denen jeder aus der Universalablage-Halteeinheit, der Bearbeitungsablage-Halteeinheit
und der Werkstück-Überführungseinheit
besteht, Werkstücke nacheinander in kürzerer Zeit
gefördert werden, und es können die insgesamt
zum Handhaben von Werkstücken notwendige Zeit verkürzt
und die Produktivität gesteigert werden.
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KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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1 ist
eine Draufsicht, die eine Ausführungsform einer Werkstück-Handhabungsvorrichtung
der vorliegenden Erfindung zeigt;
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2 ist
eine Vorderansicht der Werkstück-Handhabungsvorrichtung
der 1;
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3 ist
eine Seitenansicht der Werkstück-Handhabungsvorrichtung
der 1;
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4 ist
eine Draufsicht einer Universal- oder Mehrzweckablage-Halteeinheit
und einer Bearbeitungsablage-Halteeinheit, die einen Teil der Werkstück-Handhabungsvorrichtung
der 1 bilden;
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5 ist
eine Vorderansicht einer Universal- oder Mehrzweckablage-Halteeinheit
und einer Bearbeitungsablage-Halteeinheit, die einen Teil der Werkstück-Handhabungsvorrichtung
der 1 bilden;
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6 ist
eine Seitenansicht einer Universal- oder Mehrzweckablage-Halteeinheit
und einer Bearbeitungsablage-Halteeinheit, die einen Teil der Werkstück-Handhabungsvorrichtung
der 1 bilden;
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7A, 7B und 7C sind
eine Draufsicht, Seitenansicht und Vorderansicht von Werkstück-Überführungseinheiten,
die einen Teil der Werkstück-Handhabungsvorrichtung der 1 bilden;
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8A und 8B sind
eine Draufsicht und eine Vorderansicht einer Bearbeitungsablage-Abgabeeinheit,
die einen Teil der Werkstück-Handhabungsvorrichtung der 1 bildet.
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9 ist
eine Seitenansicht einer Bearbeitungsablage-Abgabeeinheit, die einen
Teil der Werkstück-Handhabungsvorrichtung der 1 bildet;
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10A, 10B und 10C sind eine Seitenansicht, eine Vorderansicht
und eine Draufsicht einer Universalablage-Zuführeinheit
und einer Universalablage-Rückholeinheit, die einen Teil
der Werkstück-Handhabungsvorrichtung der 1 bilden;
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11A, 11B und 11C sind eine Seitenansicht, eine Vorderansicht
und eine Draufsicht einer Universalablage-Überführungseinheit,
die einen Teil der Werkstück-Handhabungsvorrichtung der 1 bildet;
und
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12 ist
eine Draufsicht, die eine weitere Ausführungsform der Werkstück-Handhabungsvorrichtung
der vorliegenden Erfindung zeigt.
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BESTE ART DER DURCHFÜHRUNG
DER ERFINDUNG
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Im
Folgenden wird unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen
die beste Form der Erfindung beschrieben.
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Diese
Erzeugnis- bzw. Werkstück-Handhabungsvorrichtung umfasst,
wie in 1 gezeigt, zwei Übergangs- bzw. Überführungsbereiche
A1 und A2, die in Links- und Rechts-Richtung Y angeordnet sind, einen
Bearbeitungsablage- oder -tablett-Abgabebereich A3, der benachbart
zur rückwärtigen Seite der zwei Überführungsbereiche
A1 und A2 angeordnet ist, einen Bearbeitungsbereich A4, der benachbart zur
rückwärtigen Seite des Bearbeitungsablage-Abgabebereichs
A3 angeordnet ist, einen Universalablage- oder -tablett-Zuführbereich
A5, der benachbart zur Vorderseite des Überführungsbereichs
A1 angeordnet ist, einen Universalablage-Rückholbereich A6,
der benachbart zur Vorderseite des Überführungsbereichs
A2 angeordnet ist, einen Universalablage-Standby-Bereich A7, der
zwischen dem Universalablage-Zuführbereich A5 und dem Universalablage-Rückholbereich
A6 angeordnet ist und in dem Universalablagen in einen Standby-Zustand
versetzt werden, usw.
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Dabei
wird die Universalablage T1 verwendet, um unbearbeitete Werkstücke
oder bearbeitete Werkstücke zu fördern, und wie
in 4 gezeigt, umfasst sie eine Mehrzahl Aufnahmeabschnitte
T1a, die in einem gitterartigen Muster in vorbestimmten Abständen
angeordnet sind. Die Universal- oder Mehrzweckablagen oder -tabletts
T1 umfassen Universalablagen T1 für unbearbeitete Werkstücke
zur Aufnahme von unbearbeiteten Werkstücken, Universalablagen
T1 für bearbeitete Werkstücke zum Aufnehmen von
bearbeiteten Werkstücken, und leere Universalablagen T1,
auf denen keine aufgenommenen Werkstücke untergebracht
sind. Die Universalablagen T1 für bearbeitete Werkstücke
umfassen Universalablagen T1 für nicht-schadhafte (fehlerfreie) Werkstücke
zur Aufnahme von Werkstücken, die einer vorbestimmten Inspektion
genügen, und Universalablagen T1 für schadhafte
(mit Fehlern behaftete) Werkstücke zum Aufnehmen von Werkstücken,
die einer solchen vorbestimmten Inspektion nicht genügen.
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Andererseits
wird die Bearbeitungsablage T2 zum Hineintragen und Heraustragen
von unbearbeiteten Werkstücken oder bearbeiteten Werkstücken
in den bzw. aus dem Bearbeitungsbereich A4 verwendet und umfasst,
wie in 4 gezeigt, eine Mehrzahl Aufnahmeabschnitte T2a,
die in einem gitterartigen Muster in vorbestimmten Abständen
angeordnet sind.
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In
den Überführungsbereichen A1 und A2 sind, wie
in 1 bis 3 gezeigt, eine Universalablage-Halteeinheit 10,
die sich in Links- und Rechts-Richtung Y bewegen kann, während
sie Universalablagen T1 hält, die Werkstücke aufnehmen können,
eine Bearbeitungsablage-Halteeinheit 20, die benachbart
zur Rückseite in der Vorwärts- und Rückwärts-Richtung
X der Universalablage-Halteeinheit 10 angeordnet ist und
sich in der Links- und Rechts-Richtung Y bewegen kann, während
sie die Bearbeitungsablage T2 hält, die Werkstücke
in den Bearbeitungsbereich A4 hinein und aus diesem herausträgt,
und Werkstück-Überführungseinheiten 30 vorgesehen,
die sich in der Vorwärts- und Rückwärts-Richtung
X und der Vertikal-Richtung Z so bewegen können, dass sie
Werkstücke zwischen der Universalablage T1 und der Bearbeitungsablage
T2 überführen.
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Die
Universalablage-Halteeinheit 10, die Bearbeitungsablage-Halteeinheit 20 und
die Werkstück-Überführungseinheiten 30 bilden
einen Werkstück-Überführungsmechanismus,
und es sind zwei Werkstück-Überführungsmechanismen
in der Links- und Rechts-Richtung Y in den Überführungsbereichen
A1 bzw. A2 angeordnet.
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Die
Universalablage-Halteeinheit 10 wird, wie in 1 und 3 bis 6 gezeigt,
durch einen Tisch 11, der einen im Wesentlichen rechteckigen
Umriss aufweist und eine Mehrzahl (im vorliegenden Fall drei) Universalablagen
T1 an der Oberfläche hält, durch Führungsschienen 12,
die den Tisch 11 bewegbar in der Links- und Rechts-Richtung Y
tragen bzw. stützen, durch einen Antriebsmechanismus 13,
der den Tisch 11 in der Links- und Rechts-Richtung Y bewegt,
durch eine Gleit- oder Schiebeeinrichtung 14, die den Tisch 11 in
der Vorwärts- und Rückwärts-Richtung
X bewegt, durch einen Antriebsmechanismus 15, der die Gleiteinrichtung 14 in
der Vorwärts- und Rückwärts-Richtung
X bewegt, usw. gebildet.
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Dabei
wird als Antriebsmechanismus 13 ein Vorschubspindelmechanismus
oder dergleichen eingesetzt, der eine zur Durchführung
einer Positionssteuerung geeignete Antriebsquelle wie einen Schrittmotor
oder einen Servomotor, eine Kugelrollspindel (Gewindespindel), die
von der Antriebsquelle angetrieben und in Drehung versetzt wird,
und eine Mutter umfasst, die an dem Tisch 11 vorgesehen
und mit der Kugelrollspindel geschraubt wird. Als Antriebsmechanismus 15 wird ähnlich
dem Antriebsmechanismus 13 ein Vorschubspindelmechanismus, der
eine Antriebsquelle zur Durchführung einer Positionssteuerung
wie einen Schrittmotor oder einen Servomotor, eine Kugelrollspindel
(Gewindespindel), die von der Antriebsquelle angetrieben und in
Drehung versetzt wird, und eine Mutter umfasst, die an der Gleiteinrichtung 14 vorgesehen
und mit der Kugelrollspindel geschraubt wird, oder ein hydraulisch oder
pneumatisch ausfahrbares Stell- oder Betätigungsglied oder
dergleichen eingesetzt.
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Im
Speziellen wird, um ein Werkstück zwischen der Universalablage
T1, gehalten von der Universalablage-Halteeinheit 10, und
der Bearbeitungsablage T2, gehalten durch die Bearbeitungsablage-Halteeinheit 20,
zu überführen, der Tisch 11 in vorbestimmten
Abständen in der Links- und Rechts-Richtung Y durch den
Antriebsmechanismus 13 angetrieben, und es wird das zu überführende Werkstück
oder ein Aufnahmeabschnitt T1a, von dem das zu überführende
Werkstück aufgenommen ist, gerade unterhalb der Werkstück-Überführungseinheit 30 in
der Links- und Rechts-Richtung Y positioniert.
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Um
die Universalablage T1 zuzuführen oder zurückzuholen,
wird die Gleiteinrichtung 14 in der Vorwärts-
und Rückwärts-Richtung X durch den Antriebsmechanismus 15 so
angetrieben, dass sie sich zwischen einer rückwärtigen
Position, an der die Werkstücküberführung
durch die Werkstück-Überführungseinheit 30 durchgeführt
wird, und einer vorderen Position zum Zuführen oder Zurückholen
einer Universalablage T1 bewegt.
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Die
Bearbeitungsablage-Halteeinheit 20 wird, wie in 1 und 3 bis 6 gezeigt,
durch einen Tisch 21, der einen im Wesentlichen rechteckigen
Umriss aufweist und eine Bearbeitungsablage T2 an der Oberfläche
hält, durch Führungsschienen 22, die
den Tisch 21 in der Links- und Rechts-Richtung Y bewegbar
halten bzw. stützen, durch einen Antriebsmechanismus 23,
der den Tisch 21 in der Links- und Rechts-Richtung Y bewegt,
durch einen Hebelmechanismus 24, der den Tisch 21 in
der vertikalen Richtung Z bewegt, usw. gebildet.
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Dabei
wird als der Antriebsmechanismus 23 ein Vorschub- oder
Spindelmechanismus oder dergleichen verwendet, der eine Antriebsquelle
zum Durchführen einer Positionssteuerung wie einen Schrittmotor
oder einen Servomotor, eine Kugelrollspindel (Gewindespindel), die
von der Antriebsquelle anzutreiben und in Drehung zu versetzen ist,
und eine Mutter umfasst, die an dem Tisch 21 vorgesehen ist
und mit der Kugelrollspindel geschraubt wird. Als der Hebemechanismus 24 wird
ein hydraulisch oder pneumatisch ausfahrbares Stell- bzw. Betätigungsglied
oder dergleichen eingesetzt, das den Tisch 21 in einer
gewünschten Höhe in der vertikalen Richtung Z
positionieren kann.
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Im
Besonderen wird, um ein Werkstück zwischen der Universalablage
T1, gehalten durch die Universalablage-Halteeinheit 10,
und der Bearbeitungsablage T2, gehalten von der Bearbeitungsablage-Halteeinheit 20 zu überführen,
der Tisch 21 in vorbestimmten Abständen in der
Links- und Rechts-Richtung Y durch den Antriebsmechanismus 23 angetrieben,
um das zu überführende Werkstück oder
den Aufnahmeabschnitt T2a, der das zu überführende
Werkstück aufnimmt, gerade unterhalb der Werkstück-Überführungseinheit 30 in
der Links- und Rechts-Richtung Y zu positionieren.
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Nachdem
die Bearbeitungsablage-Abgabeeinheit 40, die später
noch zu beschreiben ist, die Bearbeitungsablage T2 hält,
wird, um die Bearbeitungsablage T2 an die Bearbeitungsablage-Abgabeeinheit 40 zu überführen,
der Tisch 21 abgesenkt und durch den Hebemechanismus 24 auf
eine vorbestimmte Höhe zurückgezogen, und andererseits
wird, um die Bearbeitungsablage T2 von der Bearbeitungsablage-Abgabeeinheit 40 zu
empfangen, nachdem die Bearbeitungsablage-Abgabeeinheit 40,
die später noch zu beschreiben ist, die Bearbeitungsablage
T2 in einer vorbestimmten Position positioniert, der Tisch 21 durch
den Hebemechanismus 24 zum Halten (Empfangen) der Bearbeitungsablage
auf eine vorbestimmte Höhe angehoben.
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Die
Werkstück-Überführungseinheiten 30 werden
jeweils zu zweit in den Überführungsbereichen
A1 bzw. A2, wie in 1 bis 3 und 7A bis 7C gezeigt,
vorgesehen und durch einen Führungsmechanismus 31,
der sich in der Vorwärts- und Rückwärts-Richtung
X über dem Überführungsbereich A1 oder
A2 erstreckt, einen Hebemechanismus 32, der bewegbar in
der Vorwärts- und Rückwärts-Richtung
X mit Bezug auf den Führungsmechanismus 31 gehalten
und in der vertikalen Richtung Z angehoben wird, einen Haltekopf 33,
der an dem unteren Ende des Hebemechanismus 32 vorgesehen
ist und ein Werkstück halten kann, usw. gebildet.
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Dabei
gelangt als Führungsmechanismus 31 ein Vorschub-
oder Schraubspindelmechanismus oder dergleichen zum Einsatz, der
eine Antriebsquelle zum Durchführen einer Positionssteuerung
wie einen Schrittmotor oder einen Servomotor, der den Hebemechanismus 32 bewegt,
während er ihn in der Vorwärts- und Rückwärts-Richtung
X führt, eine Kugelrollspindel (Gewindespindel), die von
der Antriebsquelle anzutreiben und in Drehung zu versetzen ist,
und eine Mutter umfasst, die in dem Hebemechanismus 32 vorgesehen
und mit der Kugelrollspindel geschraubt wird, und als Hebemechanismus 32 gelangt
ein Vorschub- oder Schraubspindelmechanismus, der eine Antriebsquelle
zum Durchführen einer Positionssteuerung wie einen Schrittmotor
oder einen Servomotor, eine Kugelrollspindel (Gewindespindel), die
von der Antriebsquelle anzutreiben und in Drehung zu versetzen ist,
und eine Mutter, die in dem Hebemechanismus 32 vorgesehen
ist und mit der Kugelrollspindel geschraubt wird, umfasst, oder ein
hydraulisch oder pneumatisch ausfahrbares Stellglied oder dergleichen
zum Einsatz, und als Haltekopf 33 gelangen ein adsorbierendes
Kissen, das ein Werkstück adsorbiert, Greifstücke,
die ein Werkstück von beiden Seiten her greifen, oder dergleichen
zum Einsatz.
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Insbesondere
wird, um ein Werkstück zwischen der Universalablage T1
und der Bearbeitungsablage T2 zu überführen, der
Hebemechanismus 32 willkürlich in der Vorwärts-
und Rückwärts-Richtung X durch den Führungsmechanismus 31 bewegt
und an einer vorbestimmten Position positioniert, und an dieser
Position senkt der Hebemechanismus 32 ein Werkstück
ab und hält dieses durch den Haltekopf 33, und
hebt sich sodann erneut und wird durch den Führungsmechanismus 31 in
einer Position gerade oberhalb des Aufnahmeabschnitts T2a oder T1a
der Bearbeitungsablage T2 oder der Universalablage T1, auf die das
Werkstück überführt werden soll, positioniert,
und alsdann senkt er das Werkstück in dieser Position ab
und nimmt es in dem Aufnahmeabschnitt T2a oder T1a auf.
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Wie
zuvor beschrieben, werden, um ein unbearbeitetes Werkstück
von der Universalablage T1 auf die Bearbeitungsablage T2 zu überführen
und um ein bearbeitetes Werkstück, für das eine
vorbestimmte Bearbeitung in dem Bearbeitungsbereich A4 vollständig
durchgeführt worden ist, von der Bearbeitungsablage T2
auf die Universalablage T1 zu überführen, die
Universalablage-Halteeinheit 10 und die Bearbeitungsablage-Halteeinheit 20 beliebig
gemäß vorbestimmten Aufnahmeschritten in der Links-
und Rechts-Richtung Y bewegt und in einer vorbestimmten Entnahmeposition
und einer Aufnahmeposition positioniert, und die Werkstück-Überführungseinheit 30 bewegt
sich in der Vorwärts- und Rückwärts-Richtung
X, um das Werkstück zwischen der Universalablage T1 und
der Bearbeitungsablage T2 zu fördern, und bewegt sich in
der vertikalen Richtung Z und nimmt das Werkstück heraus
und bringt das Werkstück unter, um das Werkstück
zwischen der Universalablage T1 und der Bearbeitungsablage T2 zu überführen.
Damit bewegen sich die Universalablage-Halteeinheit 10 und
die Bearbeitungsablage-Halteeinheit 20 in der Links- und
Rechts-Richtung Y je nach Belieben und positionieren stets ein herauszunehmendes
oder unterzubringendes Werkstück in der Links- und Rechts-Richtung
Y unter der Werkstück-Überführungseinheit 30,
und die Werkstück-Überführungseinheit 30 bewegt
sich in der vertikalen Richtung Z und in der Vorwärts-
und Rückwärts-Richtung X, um das Werkstück
zu überführen, so dass sich das von dem Aufnahmeabschnitt
T1a oder T2a der Ablage T1 oder T2 abgenommene Werkstück
nur innerhalb der XZ-Ebene bewegt, und daher kann das Werkstück
bei hoher Geschwindigkeit bewegt und die Überführungsoperation
kann hinsichtlich der Geschwindigkeit gesteigert werden. Für jede
der Universalablage-Halteeinheiten 10, der Bearbeitungsablage-Halteeinheiten 20 und
der Werkstück-Überführungseinheiten 30 wird
ein Bewegungsmechanismus eingesetzt, der sich nur in einer Richtung
innerhalb einer Ebene (der Links- und Rechts-Richtung Y oder der
Vorwärts- und Rückwärts-Richtung X) bewegt,
so dass die Zahl mechanischer Fehler verringert und ein hochgenaues
Positionieren verwirklicht wird. Folglich können, wenn
ein Werkstück zwischen der Universalablage-Halteeinheit 10 und
der Bearbeitungsablage-Halteeinheit 20 überführt
wird, Haltefehler oder Aufnahmefehler zum Zeitpunkt des Herausnehmens
eines Werkstückes oder der Aufnahme desselben vermieden
werden, und ein Werkstück kann exakt überführt
werden.
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In
jedem der Überführungsbereiche A1 und A2 sind
zwei Werkstück-Überführungseinheiten 30 in der
Links- und Rechts-Richtung Y angeordnet, so dass dann, wenn die
Universalablage-Halteeinheit 10 unbearbeitete Werkstücke
aufnehmende Universalablagen T1 für unbearbeitete Werkstücke
und bearbeitete Werkstücke aufnehmende Universalablagen
T1 für bearbeitete Werkstücke hält, während
ein unbearbeitetes Werkstück von den Universalablagen T1
für unbearbeitete Werkstücke auf die Bearbeitungsablagen
T2 durch eine Werkstück-Überführungseinheit 30 überführt
wird, ein bearbeitetes Werkstück von der Bearbeitungsablage
T2 durch die andere Werkstück-Überführungseinheit 30 auf
die Universalablagen T1 für bearbeitete Werkstücke überführt
werden kann. Das heißt, dass die Überführung
eines unbearbeiteten Werkstückes und die Überführung
eines bearbeiteten Werkstücks gleichlaufend durchgeführt
werden können, so dass die für ein Überführen
notwendige Zeit verkürzt werden kann gegenüber
dem Fall, in dem Werkstücke zu verschiedenen Zeiten überführt
werden.
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In
dem Bearbeitungsablage-Abgabebereich A3 ist, wie in 1 und 3 gezeigt,
eine Bearbeitungsablage-Abgabeeinheit 40 angeordnet.
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Die
Bearbeitungsablage-Abgabeeinheit 40 wird, wie in 8A, 8B und 9 gezeigt, durch
eine sich in Links- und Rechts-Richtung Y erstreckende Führungsschiene 41,
eine auf der Führungsschiene 41 bewegbare Basis 42,
einen aufrecht auf der beweglichen Basis 42 vorgesehenen
Hebemechanismus 43, ein in vertikaler Richtung Z durch den
Hebemechanismus 43 angehobenes Hebeelement 44,
einen an dem Hebeelement 44 vorgesehenen Drehmechanismus 45,
einen an dem Drehmechanismus 45 vorgesehenen Zähler 46,
ein Paar an dem Zähler 46 vorgesehene Führungsrahmen 47,
einen an dem Zähler 46 vorgesehenen Gleitmechanismus 48,
ein die Bearbeitungsablage T2 erfassendes Greifelement 49 usw.
gebildet.
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Dabei
wird die bewegbare Basis 42 durch einen darin eingebauten
Antriebsmechanismus in Links- und Rechts-Richtung Y entlang der
Führungsschiene 41 bewegt und positioniert die
Bearbeitungsablage T2, die daran getragen ist, oder den Zähler 46,
der die Bearbeitungsablage T2 nicht trägt, in den Überführungsbereich
A1 oder den Überführungsbereich A2, und positioniert
dieselben weiterhin in einen entsprechenden Bearbeitungsbereich,
wenn in dem Bearbeitungsbereich A4 eine Mehrzahl Bearbeitungsbereiche
eingeschlossen ist.
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Der
Hebemechanismus 43 positioniert das Hebeelement 44 in
vertikaler Richtung Z auf einer gewünschten Höhe,
um die Bearbeitungsablage T2 auf gewünschter Höhe
zu positionieren, und es wird daran ein hydraulisch oder pneumatisch
ausfahrbares Stellglied, ein Vorschub- oder Spindelmechanismus oder
dergleichen angebracht. Der Drehmechanismus 45 dreht sich
derart, dass die Richtung der Bearbeitungsablage T2 in der horizontalen
Ebene (XY-Ebene) eingestellt wird, und es werden daran ein Motor und
Getriebemechanismus etc. angefügt. Das Paar Führungsrahmen 47 trägt
die Bearbeitungsablage T2 und positioniert die Bearbeitungsablage
T2, indem sie diese durch Einpferchen von beiden Seiten begrenzt.
Der Gleitmechanismus 48 gleitet (erstreckt sich) in den
Raum der Überführungsbereiche A1 oder A2 (Bearbeitungsablage-Halteeinheit 20)
oder in den Raum des Bearbeitungsbereiches A4, um die Bearbeitungsablage
T2 zu überführen oder sie aufzunehmen. Das Greifelement 49 bewegt
sich integral mit dem Gleitmechanismus 48 und ergreift
und hält den Rand der Bearbeitungsablage T2.
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Mit
anderen Worten gibt diese Bearbeitungsablage-Abgabeeinheit 40 die
Bearbeitungsablage T2 zwischen der Bearbeitungsablage-Halteeinheit 20 und
dem Bearbeitungsbereich A4 ab, so dass eine gleichmäßige
bzw. reibungslose Überführung in den Bearbeitungsschritt
nach dem Werkstück-Übergangsschritt möglich
wird, und ein bearbeitetes Werkstück kann gleichmäßig
bzw. reibungslos an die Bearbeitungsablage-Halteeinheit 20 zurückgeführt werden.
Weiterhin kann, wenn eine Mehrzahl Bearbeitungsbereiche A4 vorgesehen
ist, die Bearbeitungsablage T2 gleichmäßig bzw.
reibungslos zwischen einem willkürlich ausgewählten
Bearbeitungsbereich und der Bearbeitungsablage-Halteeinheit 20 abgegeben
werden.
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In
dem Bearbeitungsbereich A4 sind in der Links- und Rechts-Richtung
Y Inspektionsbereiche A4' und A4'' als Mehrzahl Bearbeitungsbereiche
vorgesehen, in denen an in der Bearbeitungsablage T2 aufgenommenen
Werkstücken vorbestimmte Inspektionen ausgeführt
werden. In den Inspektionsbereichen A4' und A4'' sind, wenn die
Werkstücke Halbleiterchips sind, verschiedene Inspektionseinheiten
angebracht, die eine Durchgangsprüfung oder eine Betriebs-/Funktionsprüfung
etc. durchführen.
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In
dem Universalablage-Zuführbereich A5 ist, wie in 1 bis 3 gezeigt,
eine Mehrzahl (vorliegend drei) Universalablage-Zuführeinheiten 50 angeordnet.
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Die
Universalablage-Zuführeinheit 50 wird, wie in 10A bis 10C gezeigt,
durch einen Tisch 51, auf dem Universalablagen T1 platziert
sind, einen Hebemechanismus 52, der den Tisch 51 in
der vertikalen Richtung Z anhebt, und einen Haltemechanismus 53 gebildet,
der Haltestücke 53a umfasst, die die Universalablage
T1 durch Einschließen derselben in der Zuführposition
an der oberen Seite halten.
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In
einer Position, die höher als der am niedrigsten Ende positionierte
Tisch 51 ist, wird horizontal ein Förderer C in
die Universalablage-Zuführeinheit 50 hineingezogen,
um die Universalablage T1 hereinzutragen.
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Dabei
ist der Hebemechanismus 52 vorgesehen, um den Tisch 51 willkürlich
zu heben und auf einer vorbestimmten Höhe zu positionieren,
beispielsweise in einer Zuführposition zum Zuführen
einer Universalablage T1 in eine später noch zu beschreibende
Universalablage-Überführungseinheit 80,
und zwar in einer Zuführ-Standby-Position, die geringfügig
niedriger als die Zuführposition ist, und in einer zurückgezogenen
Position, in der der Tisch niedriger als der Förderer C
abgesenkt und zum Eintragen zurückgezogen ist, und es werden
ein hydraulisch oder pneumatisch ausfahrbares Stellglied, ein Vorschubspindelmechanismus
oder dergleichen daran angebracht. Der Haltemechanismus 53 ermöglicht
es dem Tisch 51, sich abzusenken (zum Zwecke der Freigabe
der obersten Universalablage T1 der Universalablagen T1, die an
dem Tisch 51 getragen werden), indem man die Universalablagen
T1, die in der Zuführposition positioniert sind, durch
den Tisch 51 und den Hebemechanismus 52 durch
die Halteteile 53a hält.
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Mit
anderen Worten setzt sich der Hebemechanismus 52 in dem
Zustand in Bewegung, in dem sich der Tisch 51 in der zurückgezogenen
Position befindet, wenn gestapelte Universalablagen T1 durch den
Förderer C hineingetragen werden, und der Tisch 51 trägt
die Universalablagen T1 und fährt derart hoch, dass er
die oberste Universalablage T1 in der Zuführposition positioniert.
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Sodann
ergreift der Haltemechanismus 53 die oberste Universalablage
T1 mit den Halteteilen 53a und hält sie in der
Zuführposition. Danach setzt sich der Hebemechanismus 52 in
Bewegung, und der Tisch 51 wird auf die Zuführ-Standby-Position
abgesenkt, während er die verbleibenden Universalablagen
T1 trägt und im Standby bleibt.
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Alsdann
setzt sich, wenn die Universalablage-Überführungseinheit 80,
die später noch zu beschreiben ist, die Universalablage
T1 empfängt, die in der Zuführposition gehalten
ist, der Hebemechanismus 52 in Bewegung, und der Tisch 51 fährt
hoch und positioniert die oberste Universalablage T1 von den gestapelten
Universalablagen T1 in der Zuführposition.
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Danach
ergreift und hält der Haltemechanismus 53 die
oberste Universalablage T1, und der Tisch 51 bewegt sich
in die Zuführ-Standby-Position hinab und verbleibt dort
im Standby, während er die verbleibenden Universalablagen
T1 trägt. In der Universalablage-Zuführeinheit 50 wird
dieser Vorgang wiederholt.
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In
diesem Universalablage-Zuführbereich A5 sind drei Universalablage-Zuführeinheiten 50 angeordnet,
so dass beispielsweise zwei Universalablage-Zuführeinheiten 50 Universalablagen
T1, auf denen unbearbeitete Werkstücke untergebracht sind, zuführen,
und eine Universalablage-Zuführeinheit 50 führt
eine leere Universalablage T1 zu, die keine Werkstücke
aufgenommen hat, um darauf bearbeitete Werkstücke zu überführen.
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Die
Universalablage-Zuführeinheiten 50 können
gemäß der Verarbeitung vermehrt oder verringert
werden. Beispielsweise kann, wenn die das Werkstück verändernde
Bearbeitung zunimmt, die Zahl der Universalablage-Zuführeinheiten 50 auf mehr
als drei erhöht werden, und andererseits kann sie, wenn
die das Werkstück ändernde Bearbeitung verringert
wird oder eine Fehlfunktion in der Universalablage-Zuführeinheit 50 auftritt,
von dem Universalablage-Zuführbereich A5 getrennt werden,
und die Zahl der Universalablage-Zuführeinheiten 50 kann
verringert werden. Dabei werden die Universalablage-Zuführeinheiten 50 je
nach einer Instruktion oder einem Befehl von einem nicht gezeigten
Schalter vermehrt oder verringert.
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In
dem Universalablage-Rückholbereich A6 ist, wie in 1 bis 3 gezeigt
ist, eine Mehrzahl (im vorliegenden Fall vier) Universalablage-Rückholeinheiten 60 angeordnet.
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Die
Universalablage-Rückholeinheit 60 weist im Wesentlichen
den gleichen Aufbau wie den der vorstehend beschriebenen Universalablage-Zuführeinheit 50 auf,
wie sie in 10A bis 10C beschrieben
ist, und wird von einem Tisch 61, auf dem Universalablagen
T1 platziert sind, von einem Hebemechanismus 62, der den
Tisch 61 in der vertikalen Richtung Z anhebt, von einem
Haltemechanismus 63, der Halteteile 63a umfasst,
die Universalablagen T1 durch Umschließen derselben in
einer Rückholposition an der oberen Seite umgeben, usw. gebildet.
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Der
Förderer C wird in die Universalablage-Sammeleinheit 60 hinein
horizontal in einer Position gezogen, die höher als der
am untersten Ende positionierte Tisch 61 ist, um gestapelte
Universalablagen T1 auszutragen.
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Dabei
hebt der Hebemechanismus 62 den Tisch 61 willkürlich
an und positioniert ihn in einer vorbestimmten Höhe, beispielsweise
in einer Rückholposition zum Rückholen einer Universalablage
T1 von der Universalablage-Überführungseinheit 80,
die später noch zu beschreiben ist, und zwar in einer Rückhol-Standby-Position,
die geringfügig niedriger als die Rückholposition
ist, und in einer zurückgezogenen Position, in der der
Tisch mehr als der Förderer C herabgefahren ist und sich
zum Austragen zurückzieht, und als Hebemechanismus wird
ein hydraulisch oder pneumatisch ausfahrbares Stellglied, ein Vorschubspindelmechanismus
oder dergleichen eingesetzt. Der Haltemechanismus 63 ermöglicht
es dem Tisch 61, hochzufahren (um eine Verbindung mit der
obersten Universalablage T1 der Universalablagen T1, die von dem
Tisch 61 getragen sind, zu schaffen), indem die Universalablage
T1, die durch den Tisch 61 und den Hebemechanismus 62 in
der Rückholposition positioniert ist, durch die Halteteile 63a gehalten
wird.
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Mit
anderen Worten empfängt, wenn die Universalablage-Überführungseinheit 80,
die später noch zu beschreiben ist, die Universalablage
T1 in der Rückholposition positioniert, der Haltemechanismus 63 die
Universalablage T1 und hält sie.
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Sodann
setzt sich der Hebemechanismus 62 in Bewegung, und der
Tisch 61 fährt hoch und fügt die oberste
Universalablage T1 der gestapelten Universalablagen T1 an die Universalablage
T1 an, die in der Rückholposition gehalten ist, und trägt
sie, und zur gleichen Zeit wird der Haltezustand des Haltemechanismus 63 freigegeben.
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Danach
setzt sich der Hebemechanismus 62 in Bewegung, und der
Tisch 61 wird in die Rückhol-Standby-Position
abgesenkt und bleibt dort im Standby-Zustand, während er
die Universalablagen T1 trägt.
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Alsdann
fährt, wenn eine Universalablage T1 wiederum von der Universalablage-Überführungseinheit 80,
wie sie später noch zu beschreiben ist, auf den Haltemechanismus 63 überführt
wird, der Tisch 61 hoch und trägt die gehaltene
Universalablage T1, und der Haltezustand des Haltemechanismus 63 wird
freigegeben, und der Tisch 61 wird abgesenkt und in der
Rückhol-Standby-Position im Standby-Zustand gehalten, während
er wiederum die Universalablage T1 trägt. In der Universalablage-Rückholeinheit 60 wird
die vorstehend beschriebene Operation wiederholt.
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Wenn
eine vorbestimmte Zahl Universalablagen T1 gestapelt ist, senkt
sich der Tisch 6 auf die zurückgezogene Position
ab, und er überführt die Universalablage T1, die
darauf getragen ist, an den Förderer C, und der Förderer
C trägt die Universalablagen T1 aus.
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In
diesem Universalablage-Rückholbereich A6 sind vier Universalablagen-Rückholeinheiten 60 angeordnet,
so dass beispielsweise zwei Universalablage-Rückholeinheiten 60 Universalablagen
T1 zurückholen, die nicht-schadhafte, einer vorbestimmten Inspektion
unter verarbeiteten Werkstücken genügende Werkstücke
aufnehmen, und die zwei anderen Universalablage-Rückholeinheiten 60 holen
Universalablagen T1 zurück, die fehler- oder schadhafte Werkstücke
aufnehmen, die einer vorbestimmten Inspektion unter verarbeiteten
Werkstücken nicht genügen. Die Universalablage-Rückholeinheiten 60 können
gemäß der Bearbeitung vermehrt oder verringert
werden, und zwar werden sie gemäß einem Befehl
von einem nicht gezeigten Schalter vermehrt oder verringert.
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In
dem Universalablage-Standby-Bereich A7 ist, wie dies in 1 und 2 gezeigt,
ein Platzierungs- oder Vermittlungstisch 70 angeordnet.
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Der
Platzierungstisch 70 ist zwischen den Universalablage-Zuführeinheiten 50 und
den Universalablage-Rückholeinheiten 60 in der
Links- und Rechts-Richtung Y so angeordnet, dass er eine Mehrzahl
(im vorliegenden Fall drei) Universalablagen T1, die darauf angeordnet
sind, im Standby hält.
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Somit
kann durch Schaffen des Universalablage-Standby-Bereichs A7 dann,
wenn eine bearbeitete Werkstücke (nicht-schadhafte oder
schadhafte Werkstücke) aufnehmende Universalablage T1 nicht mit
Werkstücken gefüllt ist, diese Universalablage
T1 zeitweise auf dem Platzierungs- oder Vermittlungstisch 70 platziert
und zum Standby gebracht werden. Wenn ein Unterbrechungsbefehl zum
Bearbeiten einer unterschiedlichen Art Werkstücke gegeben
wird, so wird eine vorhergehende Universalablage T1 zeitweilig auf
dem Vermittlungstisch 70 platziert und zum Standby gebracht,
und weiterhin kann eine Universalablage T1, die der Universalablage-Halteeinheit 10 zuzuführen
ist, oder eine Universalablage T1, die von der Universalablage-Halteeinheit 10 zurückzuholen ist,
zeitweise auf dem Platzierungs- oder Vermittlungstisch 70 platziert
und zum Standby gebracht werden, und somit können der Zuführtakt
und der Rückholtakt eingestellt werden.
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In
dem Universalablage-Zuführbereich A5, dem Universalablage-Standby-Bereich
A7 und dem Universalablage-Rückholbereich A6 ist, wie in 1 und 2 gezeigt,
die Universalablage-Überführungseinheit 80 angeordnet,
die Universalablagen T1 in vertikaler Richtung Z und der Links-
und Rechts-Richtung Y bewegt.
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Die
Universalablage-Überführungseinheit 80 wird,
wie in 11A bis 11C gezeigt,
durch einen Führungsrahmen 81, der sich in der
Links- und Rechts-Richtung Y oberhalb des Universalablage-Zuführbereichs
A5, des Universalablage-Standby-Bereichs A7 und des Universalablage-Rückholbereichs
A6 erstreckt, durch einen Gleitmechanismus 82, der sich
in der Links- und Rechts-Richtung Y entlang des Führungsrahmens 81 bewegt,
durch zwei Hebemechanismen 83, die in der vertikalen Richtung Z
angehoben werden, indem sie von dem Gleitmechanismus 82 gehalten
werden, durch Haltemechanismen 84, die in der vertikalen
Richtung Z durch entsprechende Hebemechanismen 83 angehoben
werden und Halteteile 84a zum Halten von Universalablagen
T1 aufweisen, usw. gebildet.
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Dabei
bewegt der Gleitmechanismus 82 die Hebemechanismen 83 in
der Links- und Rechts-Richtung Y entlang des Führungsrahmens 81 auf
eine gewünschte Position, und es sind ihm ein hydraulisch
oder pneumatisch ausfahrbares Stellglied, ein Vorschubspindelmechanismus
oder dergleichen hinzugefügt. Die Haltemechanismen 83 bewegen
die Haltemechanismen 84 in der vertikalen Richtung Z in gewünschte
Positionen, und es sind ihnen hydraulisch oder pneumatisch ausfahrbare
Stellglieder, Vorschubspindelmechanismen oder dergleichen hinzugefügt.
Die Haltemechanismen 84 umgeben Universalablagen T1 von
beiden Seiten durch vier Halteteile 84a.
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Um
eine Universalablage T1 von der Universalablage-Zuführeinheit 50 an
die Universalablage-Halteeinheit 10 zu überführen,
um eine Universalablage T1 von der Universalablage-Halteeinheit 10 an
die Universalablage-Rückholeinheit 60 zu überführen,
um eine Universalablage T1 von der Universalablage-Zuführeinheit 50 zeitweise
zum Standby in dem Universalablage-Standby-Bereich A7 zu bringen
und um eine Universalablage T1 von der Universalablage-Halteeinheit 10 zeitweilig
in dem Universalablage-Standby-Bereich A7 zum Standby zu bringen,
bewegt sich, mit anderen Worten, die Universalablage-Überführungseinheit 80 aufwärts,
während sie die Universalablage T1 durch die Haltemechanismen 84 hält,
und sie bewegt sich in der Links- und Rechts-Richtung Y in eine
vorbestimmte Position und wird dann abgesenkt, und sie gibt die
Haltemechanismen 84 frei und überführt
die Universalablage T1 an der Überführungsposition.
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Somit
bewegt sich die Universalablage-Überführungseinheit 80 in
der Links- und Rechts-Richtung Y und der vertikalen Richtung Z innerhalb
der YZ-Ebene, um die Universalablage T1 zu bewegen, so dass der
Bewegungsabstand (Länge des Bewegungswegs) zum Zuführen
oder Rückholen einer Universalablage T1 verkürzt
werden kann, und demgemäss kann die Gerätschaft
konsolidiert bzw. umfangmäßig verringert werden.
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Die
Positionen zum Herausnehmen von Universalablagen T1 in den Universalablage-Zuführeinheiten 50,
die Überführungspositionen (vordere Positionen,
zu denen die Tische 11 sich nach vom bewegen) bei den Universalablage-Halteeinheiten 10,
die Positionen zum Rückholen von Universalablagen T1 bei
den Universalablage-Rückholeinheiten 60 und die
Standby-Position, in der eine Universalablage T1 zum zeitweiligen
Standby an dem Standby-Tisch 70 gebracht wird, sind im
Wesentlichen linear in der Links- und Rechts-Richtung Y angeordnet.
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Daher
ist als Bewegungsmechanismus, der die Universalablage-Überführungseinheit 80 innerhalb
einer Ebene bewegt, nur ein Bewegungsmechanismus vorgesehen, der
die Universalablage-Überführungseinheit 80 nur
in der Links- und Rechts-Richtung Y bewegt, und somit können
mechanische Fehler des Bewegungsmechanismus verringert werden. Daher
kann die Universalablage-Überführungseinheit 80 äußerst
genau und zuverlässig an einer vorbestimmten Position angehalten
werden, und es kann eine Universalablage T1 von der vorbestimmten
Position abgenommen und zuverlässig an einer vorbestimmten
Position platziert werden.
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Nunmehr
werden Vorgänge/Operationen der gesamten Werkstück-Handhabungsvorrichtung
beschrieben. Zuerst hält, wenn eine unbearbeitete Werkstücke
aufnehmende Universalablage T1 und eine keine Werkstücke
aufnehmende leere Universalablage T1 von den Universalablage-Zuführeinheiten 50 zugeführt
werden, die Universalablage-Überführungseinheit 80 diese
Universalablagen T1 und überführt dieselben an
die Universalablage-Halteeinheit 10, die zur vorderen Position
hin bewegt worden ist.
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Sodann
bewegt sich die Universalablage-Halteeinheit 10 in die
rückwärtige Position, an der die Werkstücke
durch die Werkstück-Überführungseinheiten 30 überführt
werden. Die Bearbeitungsablage-Halteeinheit 20 hält
eine in dem vorhergehenden Schritt bearbeitete Werkstücke
unterbringende bzw. aufnehmende Bearbeitungsablage T2.
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Folglich überführt
eine Werkstück-Überführungseinheit 30 in
dem Bearbeitungsbereich A4 bearbeitete Werkstücke von der
Bearbeitungsablage T2 an eine Universalablage T1, und zur gleichen
Zeit überführt die andere Werkstück-Überführungseinheit 30 die
unbearbeiteten Werkstücke von der Universalablage T1 auf
die Bearbeitungsablage T2.
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Dabei
werden die bearbeiteten Werkstücke, wenn sie auf die Universalablagen
T1 überführt werden, klassifiziert, so dass nicht-schadhafte,
die einer Inspektion genügen, in einer Universalablage
T1 für nicht-schadhafte Werkstücke und schadhafte,
die der Inspektion nicht genügen, in einer Universalablage T1
für schadhafte Werkstücke aufgenommen werden.
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Bei
der oben beschriebenen Überführungsoperation bewegen
sich die Universalablage-Halteeinheit 10 und die Bearbeitungsablage-Halteeinheit 20 beliebig
gemäß vorbestimmten Aufnahmeabständen in
der Links- und Rechts-Richtung Y, um stets die herauszunehmenden
und unter den Werkstück-Überführungseinheiten 30 aufgenommenen
Werkstücke zu positionieren, und die Werkstück-Überführungseinheiten 30 überführen
die Werkstücke, indem sie sich in vertikaler Richtung Z
und der Vorwärts- und Rückwärts-Richtung
Z (Anmerkung des Übersetzers: muss korrekt „X"
heißen) bewegen, so dass die Werkstücke mit hoher
Geschwindigkeit bewegt werden können und der Überführungsvorgang
hinsichtlich der Geschwindigkeit gesteigert werden kann.
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Durch
die Werkstück-Überführungseinheit 30 gibt
die Bearbeitungsablage-Überführungseinheit 40,
wenn eine Überführung unbearbeiteter Werkstücke
beendet ist, die Bearbeitungsablage T2 auf der Bearbeitungsablage-Halteeinheit 20 an
den Bearbeitungsbereich A4 (Inspektionsbereich A4' oder Inspektionsbereich
A4'') ab.
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Sodann
hält die Bearbeitungsablage-Überführungseinheit 40,
wenn eine vorbestimmte Inspektion im Bearbeitungsbereich A4 beendet
ist, eine Bearbeitungsablage T2, die bearbeitete Werkstücke aufgenommen
hat, und gibt sie an die Bearbeitungsablage-Halteeinheit 20 ab.
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Wenn
die Werkstück-Überführungseinheit 30 bearbeitete
Werkstücke an eine Universalablage T1 überführt,
so bewegt sich die Universalablage-Halteeinheit 10 an die
vordere Position, und die Universalablage-Überführungseinheit 80 hält
diese Universalablage T1 und überführt sie an
die Universalablage-Rückholeinheit 60.
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In
der Universalablage-Rückholeinheit 60 werden die
Universalablagen T1 über den Förderer C ausgetragen,
wenn eine vorbestimmte Menge Universalablagen T1, die bearbeitete
Werkstücke aufnehmen, gestapelt sind.
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Dabei
ist es auch zulässig, dass eine Universalablage T1, die
nicht mit bearbeiteten Werkstücken gefüllt ist,
zeitweilig zum Standby in dem Universalablage-Standby-Bereich A7
gebracht werden kann, bevor sie an die Universalablage-Rückholeinheit 60 überführt
wird, und sie wird erneut an die Universalablage-Halteeinheit 10 abgegeben,
und nachdem sie völlig mit Werkstücken gefüllt
ist, wird sie an die Universalablage-Rückholeinheit 60 abgegeben.
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Wenn
ein Befehl zur Unterbrechung zwecks Bearbeitung einer anderen Art
Werkstücke ausgegeben wird, so wird eine andere Bearbeitungsablage
T2 auf die Bearbeitungsablage-Halteeinheit 20 zugeführt,
und die vorhandenen Universalablagen T1 auf der Universalablage-Halteeinheit 10 werden
in einen zeitweiligen Standby-Zustand in dem Universalablage-Standby-Bereich
A7 versetzt. Sodann wird eine Universalablage T1, die Werkstücke
einer Art entsprechend dem Befehl aufgenommen hat, oder eine neue
leere Universalablage T1, die keine Werkstücke aufgenommen
hat, der Universalablage-Halteeinheit 10 zugeführt,
und es wird das gleiche Überführen und Bearbeiten
ausgeführt. Es ist ebenfalls zulässig, dass nur
eine Universalablage T1, auf der bearbeitete Werkstücke
untergebracht sind, zu einem Standby in dem Standby-Bereich A7 gebracht
wird.
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Daher
kann, wenn eine Universalablage T1, auf der bearbeitete Werkstücke
untergebracht sind, nicht gefüllt ist, diese Universalablage
T1 zeitweise in einen Standby-Zustand in dem Universalablage-Standby-Bereich
A7 gebracht werden, und wenn ein Befehl zur Unterbrechung zwecks
Bearbeitung einer unterschiedlichen Art Werkstücke ausgegeben wird,
können vorhergehende Universalablagen T1 zeitweilig in
einen Standby-Zustand in dem Universalablage-Standby-Bereich A7
gebracht werden, und weiter kann eine Universalablage T1, die der
Universalablage-Halteeinheit 10 zuzuführen ist,
oder eine Universalablage T1, die von der Universalablage-Halteeinheit 10 zurückzuholen
ist, in einen zeitweiligen Standby-Zustand in dem Universalablage-Standby-Bereich
A7 versetzt werden, und das Zuführtakten oder das Rückholtakten
können ein- bzw. nachgestellt werden.
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Außerdem
sind bei der Werkstück-Handhabungsvorrichtung zwei Werkstück-Überführungsmechanismen,
die jeweils von der Universalablage-Halteeinheit 10, der
Bearbeitungsablage-Halteeinheit 20 und zwei Werkstück-Überführungseinheiten 30 aufgebaut
werden, vorgesehen und in der Links- und Rechts-Richtung Y angeordnet,
so dass Werkstücke nacheinander in kurzer Zeit überführt
werden können, und es können die Gesamtzeit, die
für die Handhabung der Werkstücke notwendig ist,
verkürzt und die Produktivität verbessert werden.
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Gemäß dem
oben beschriebenen Aufbau werden, wenn eine vorbestimmte Bearbeitung
unterbrochen wird, in den zwei Werkstück-Überführungsmechanismen
unvervollständigte Universalablagen T1 erzeugt, bei denen
Werkstücke nicht vollständig aufgenommen oder
auf die sie nicht vollständig überführt
worden sind. In diesem Fall wird die unvollständige Universalablage
T1, die in einem Werkstück-Überführungsmechanismus
gehalten ist, auf den anderen Werkstück-Überführungsmechanismus überführt,
so dass die Werkstücke in einer Universalablage T1 aufgenommen
(überführt) werden. Dabei werden Universalablagen
T1 anders als die eint Universalablage T1, die die Werkstücke
aufnimmt, zeitweilig zu dem Standby-Bereich A7 hin bewegt.
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Im
Einzelnen wird beispielsweise ein Fall beschrieben, bei dem die
zwei Werkstück-Überführungsmechanismen
eine unvollständige Universalablage T1, die nicht-schadhafte Werkstücke
aufnimmt, und eine unvollständige Universalablage T1, die schadhafte
Werkstücke aufnimmt, umfassen. Zunächst bewegen
sich die Universalablage-Halteeinheiten 10 in die vorderen
Positionen zum Zuführen oder Rückholen von Universalablagen
T1.
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In
der Folge nimmt die Universalablage-Überführungseinheit 80 die
unvervollständigte Universalablage T1, die schadhafte Werkstücke
aufnimmt und von einer Universalablage-Halteeinheit 10 gehalten
wird, heraus und überführt sie in den Standby-Bereich
A7 (Platzierungstisch 70).
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Anschließend
nimmt die Universalablage-Überführungseinheit 80 die
unvollständige Universalablage T1, auf der nicht-schadhafte
Werkstücke untergebracht sind und die von der anderen Universalablage-Halteeinheit 10 gehalten
wird, heraus und überführt sie an die Platzierungsposition
einer Universalablage-Halteeinheit 10 (die Position, in
der die unvollständige Universalablage T1, auf der schadhafte
Werkstücke untergebracht sind, gehalten worden war). Somit
hält eine Universalablage-Halteeinheit 10 zwei
unvollständige Universalablagen T1 mit nicht-schadhaften
Werkstücken. In diesem Zustand bewegt sich eine Universalablage-Halteeinheit 10 in
die hintere Position, und durch zusammenwirkende Operationen dieser
einen Universalablage-Halteeinheit 10 und der Werkstück-Überführungseinheit 30 werden
Werkstücke von einer Universalablage T1 auf leere Aufnahmeabschnitte
T1a der anderen Universalablage T1 überführt.
Wenn die andere Universalablage T1 mit nicht-schadhaften Werkstücken
gefüllt ist, so ist dieser Überführungsvorgang vollständig.
Die Werkstücküberführung an die unvollständige
Universalablage T1 ist vollständig, wenn entweder jede
der unvollständigen Universalablagen T1 vollständig
mit Werkstücken gefüllt ist oder wenn sich die
zu überführenden Werkstücke erschöpft
haben.
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Wenn
diese Überführung vollständig ausgeführt
ist, bewegt eine Universalablage-Halteeinheit 10 die Universalablage
T1, die mit Werkstücken gefüllt ist, in die vordere
Position, und die Universalablage-Überführungseinheit 80 überführt
diese Universalablage T1 auf die Universalablage-Rückholeinheit 60.
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Andererseits
wird die unvollständige Universalablage T1, auf der schadhafte
Werkstücke untergebracht sind und die sich in dem Standby-Bereich A7
im Standby-Zustand befindet, von der Universalablage-Überführungseinheit 80 aus
dem Standby-Bereich A7 herausgenommen und an die Platzierungsposition
der anderen Universalablage-Halteeinheit 10 (die Position,
in der die unvervollständigte Universalablage T1, die nicht-schadhafte
Werkstücke aufgenommen hat, gehalten worden war) überführt.
Dadurch hält die andere Universalablage-Halteeinheit 10 zwei
unvervollständigte Universalablagen T1, auf denen schadhafte
Werkstücke untergebracht sind. In diesem Zustand bewegt
sich die andere Universalablage-Halteeinheit 10 in die
hintere Position, und durch Zusammenwirken der Operationen der anderen
Universalablage-Halteeinheit 10 und der Werkstück-Überführungseinheit 30 werden
Werkstücke von einer Universalablage T1 an leere aufnehmende
Abschnitte T1a der anderen Universalablage T1 überführt.
Nachfolgende Operationen sind die gleichen wie bei der Überführung
nicht-schadhafter Werkstücke, so dass eine Beschreibung
unterbleibt.
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Damit
werden unvollständige Universalablagen T1, bei denen Werkstücke
nicht vollständig aufgenommen sind, kollektiv auf den entsprechenden Universalablage-Halteeinheiten 10 platziert,
und es wird eine Werkstücküberführung
durch Zusammenwirken mit den entsprechenden Werkstück-Überführungseinheiten 30 herbeigeführt,
so dass die Zahl unvollständiger Universalablagen T1 auf
eine reduziert werden kann und eine effiziente Bearbeitung verwirklicht
wird.
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Dabei
ist der Fall gezeigt, in dem eine Universalablage T1, die nicht
bearbeitet werden soll, zu dem Standby-Bereich A7 hin bewegt und
dazu gebracht wird, dort zeitweilig im Standby-Zustand zu bleiben.
Es ist jedoch ohne Beschränkung auf dieses Verfahren ebenfalls
zulässig, dass die Universalablage-Überführungseinheit 80 zwei
Haltemechanismen 84 aufweist, so dass die Universalablage
T1, die nicht bearbeitet werden soll, zeitweise gehalten und in
einem Haltemechanismus 84 anstelle des Standby-Bereichs
A7 in den Standby-Zustand versetzt wird. Durch Verwendung und Betreiben
zweier Überführungsbereiche A1 und A2 im Wesentlichen
gleichlaufend anstelle des Benutzens des Standby-Bereichs A7 wird
beispielsweise in einem Überführungsbereich A1
eine Werkstück-Überführung zwischen unvervollständigten
Universalablagen T1 für nicht-schadhafte Werkstücke,
die nicht mit bearbeiteten Werkstücken gefüllt
sind, und in dem anderen Überführungsbereich A2
eine Werkstücküberführung zwischen unvollständigen
Universalablagen T1 für schadhafte Werkstücke,
die nicht mit bearbeiteten Werkstücken gefüllt
sind, durchgeführt, wodurch die Zeit zum Überführen
der Werkstücke auf eine Universalablage T1 verkürzt
werden kann und eine effiziente Bearbeitung verwirklicht wird.
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12 ist
eine Draufsicht, die eine weitere Ausführungsform der Werkstück-Handhabungsvorrichtung
der vorliegenden Erfindung zeigt. Bei dieser Ausführungsform
ist, wie in 12 gezeigt, eine Universalablage-Zufuhr-
und Rückholeinheit 90 vorgesehen, die eine Bearbeitungsablage
T2 an die Bearbeitungsablage-Überführungseinheit 40 zuführt
oder von dieser zurückholt.
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Daher
kann, wenn der Bearbeitungsbereich A4 aus einer Mehrzahl Bearbeitungsbereichen
(Inspektionsbereichen A4' und A4'') besteht, eine erforderliche
Zahl Bearbeitungsablagen T2 durch die Bearbeitungsablage-Zuführ-
und Rückholeinheit 90 zugeführt werden.
Zusätzlich kann, wenn ein Bearbeitungsbereich vorhanden
ist, der pausiert (Inspektionsbereich A4' oder Inspektionsbereich
A4''), die Bearbeitungsablage T2 demgemäss zurückgeholt
werden, und weiterhin kann sie, wenn eine Bearbeitungsablage T2
beibehalten und inspiziert wird, leicht herausgenommen werden.
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Wie
vorstehend beschrieben, können gemäß der
Werkstück-Handhabungsvorrichtung der vorliegenden Erfindung,
während eine Vereinfachung des Aufbaus, eine Konsolidierung
der Mechanismen, eine Größenverringerung der Vorrichtung
zur Gänze, eine Platzersparnis des Einbaubereichs und eine Verkürzung
der für eine Überführung von Werkstücken
erforderlichen Zeit verwirklicht werden, verschiedene und unterschiedliche
Bearbeitungen wie Prüfungen, Inspektionen, Messungen, Bearbeiten und
Zusammenbau etc. an Werkstücken wie Halbleiterchips, Substraten
und weiteren elektronischen Komponenten ausgeübt werden,
und die Produktivität kann verbessert werden.
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Industrielle Anwendbarkeit
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Wie
vorstehend beschrieben ist die Werkstück-Handhabungsvorrichtung
der vorliegenden Erfindung sowohl auf dem Gebiet der Halbleiterherstellung
wie auch auf anderen Gebieten wie in der Automobil- oder Automobilteil-Fertigung,
der Elektronik- oder Elektronikteil-Fertigung und weiteren Maschinen-
oder elektronischen Komponentenbezogenen Gebieten wirksam, solange
das Gebiet die Überführung von Werkstücken
zwischen Universalablagen T1 und Bearbeitungsablagen T2 erfordert,
wenn auf die Werkstücke verschiedene und/oder unterschiedliche
Bearbeitungen ausgeübt werden.
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ZUSAMMENFASSUNG
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Eine
Vorrichtung zum Handhaben von Werkstücken/Erzeugnissen
nach der vorliegenden Erfindung umfasst eine Universalablage-Halteeinheit (10),
die sich in Links- und Rechts-Richtung (Y) bewegen kann, während
sie eine Universalablage (T1) hält, die Werkstücke
aufnimmt, eine Bearbeitungsablage-Halteeinheit (20), die
in Vorwärts- und Rückwärts-Richtung (X)
benachbart zur rückwärtigen Seite der Universalablage-Halteeinheit
(10) angeordnet ist und sich in Links- und Rechts-Richtung
(Y) bewegen kann, während sie eine Bearbeitungsablage (T2) zum
Tragen von Werkstücken in einen Bearbeitungsbereich (A4)
hinein und aus diesem heraus hält, und Werkstück-Überführungseinheiten
(30), die sich in Vorwärts- und Rückwärts-Richtung
(X) und vertikaler Richtung (Z) bewegen können, um Werkstücke
zwischen der Universalablage (T1) und der Bearbeitungsablage (T2)
zu überführen. Damit bewegen sich die Universalablage-Halteeinheit
(10) und die Bearbeitungsablage-Halteeinheit (20)
in Y-Richtung innerhalb der XY-Ebene, und die Werkstück-Überführungseinheiten
(30) bewegen sich in der XZ-Ebene, so dass der Vorgang
des Werkstücküberführens hinsichtlich
der Geschwindigkeit gesteigert und hinsichtlich der Produktivität
verbessert werden kann.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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