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GEBIET DER TECHNIK
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Die
Erfindung betrifft einen Durchflussdetektor und eine Durchflusssteuereinrichtung,
die zur Verwendung in einem Zustand geeignet ist, bei dem sie an
einem gegebenen Paneel befestigt ist.
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TECHNISCHER HINTERGRUND
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Bei
einem Halbleiterherstellungsverfahren werden beispielsweise verschiedene
Arten von Gasen verwendet. Im Allgemeinen wird bei dieser Art von
Herstellungsprozess zur Steuerung einer Gaszufuhrgeschwindigkeit
eine Gasdurchflussrate geregelt, indem ein Durchflussdetektor und
eine Durchflusssteuereinrichtung in einen Gaszufuhrpfad (Gasrohr)
zwischengeschaltet werden. Der in der ungeprüften
japanischen Patentpublikation 11-132813 offenbarte
Durchflussdetektor besteht aus einem einen Pfad bildenden Blockkörper, der
im Wesentlichen in ein Gasrohr zwischengeschaltet ist, und einem Durchflusssensor,
der in den Blockkörper
eingebaut ist und die Durchflussrate des durch den Pfad hindurch
strömenden
Gases (Fluid) erfasst. Die in der ungeprüften
japanischen Patentpublikation 2000-81914 offenbarte
Durchflusssteuereinrichtung hat eine Konfiguration, bei welcher
der Blockkörper weiter
mit einem Durchfluss-Regelventil versehen ist, das die Durchflussrate
des Gases (Fluids) regelt.
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An
einer Fluideintrittsöffnungsseite
des durch den Blockkörper
gebildeten Pfades (an der stromaufwärts liegenden Seite des Pfades)
ist üblicherweise
eine Strömungsglättungseinrichtung
angeordnet, um eine Turbulenz des Gases (Fluids) zu verhindern, das
in den Pfad in einer Position in Strömungsrichtung vor dem Durchflusssensor
eingeleitet wurde. Ein derartiger Durchflussdetektor und eine Durchflusssteuereinrichtung
sind, beispielsweise in der Frontplatte ihres Gehäuses, mit
einer Anzeigeeinrichtung, die einen Wert der Durchflussrate und dergleichen
anzeigt, der durch den Durchflussdetektor und die Durchflusssteuereinrichtung
unter Verwendung des Durchflusssensors gemessen wurde, sowie mit
einem Bedienschalter zum Einstellen eines Steuerparameters und dergleichen
bezüglich
des Durchfluss-Regelventilsystems versehen.
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Falls
der Durchflussdetektor und die Durchflusssteuereinrichtung in einem
am gegebenen Paneel befestigten Zustand verwendet werden, sind der Durchflussdetektor
und die Durchflusssteuereinrichtung für gewöhnlich am Paneel so befestigt,
dass die mit der Anzeigeeinrichtung und dem Bedienschalter versehene
Frontplatte zur Vorderseite des Paneels hin ausgesetzt ist. Auf
der Rückseite
des Paneels, an dem der Durchflussdetektor und die Durchflusssteuereinrichtung
angebracht sind, erfolgt das Anschließen von Rohren, elektrischen
Signaldrähten
und dergleichen bezüglich
des Durchflussdetektors und der Durchflusssteuereinrichtung.
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Wie
in den zuvor erwähnten
Publikationen beschrieben, haben ein herkömmlicher üblicher Durchflussdetektor
und eine Durchflusssteuereinrichtung eine Konfiguration, bei der
ein Fluideinlass und ein Fluidauslass koaxial so angeordnet sind, dass
sie in einander entgegengesetzte Richtungen weisen, so dass sie
in einem Zustand verwendet werden, bei dem sie in das gegebene Rohr
zwischengeschaltet sind. Aus diesem Grund ist es, falls eine Mehrzahl
von Durchflussdetektoren und Durchflusssteuereinrichtungen in der
in den Patentpublikationen beschriebenen Art Seite an Seite zueinander
angeordnet verwendet werden, erforderlich, für eine Verrohrung bezüglich des
Fluideinlasses und des Fluidauslasses für ausreichenden Platz zu sorgen. Dadurch
entsteht das Problem, dass der Durchflussdetektor und die Durchflusssteuereinrichtung
nicht nahe beieinander installiert werden können.
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OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
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Es
ist ein Ziel der Erfindung, einen Durchflussdetektor und eine Durchflusssteuereinrichtung bereitzustellen,
die es möglich
machen, eine Mehrzahl von Durchflussdetektoren und Durchflusssteuereinrichtungen
nahe beieinander anzuordnen, sogar falls diese in einem ausgerichteten
Zustand verwendet werden, und ihre Handhabung so hervorragend ist,
dass die Arbeit des Anschließens
der Rohre, der elektrischen Signaldrähte und dergleichen bezüglich eines
Fluideinlasses und eines Fluidauslasses mit Leichtigkeit durchgeführt werden
kann.
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Um
das zuvor beschriebene Ziel zu erreichen, hat der Durchflussdetektor
gemäß der Erfindung
einen Pfad-Blockkörper,
der einen gegebenen Pfad bildet und bei dem ein Durchflusssensor
in den Pfad zwischengeschaltet ist, und eine Platine, auf der eine
elektrische Schaltung montiert ist, die eine Durchflussrate eines
durch den Pfad hindurch strömenden
Fluids unter Verwendung des Durchflusssensors misst. Der Durchflussdetektor
ist so aufgebaut, dass der Pfad-Blockkörper und die Platine in einem
rechteckigen parallelepiped- oder würfelförmigen Gehäuse untergebracht sind.
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Der
Durchflussdetektor ist dadurch gekennzeichnet, dass eine Anzeigeeinrichtung
und ein Bedienschalter in einem Vorderflächenabschnitt des Gehäuses vorgesehen
sind, der zu einer Frontfläche eines
gegebenen Paneels hin ausgesetzt ist, wenn er am Paneel befestigt
ist, dass ein Einlass und ein Auslass des Pfades in einem Rückseitenabschnitt
des Gehäuses
vorgesehen sind, und dass weiter ein Anschluss für eine externe Verbindung der
Platine im Rückseitenabschnitt
des Gehäuses
entlang der Seite des Einlasses und des Auslasses vorgesehen ist.
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Der
Pfad-Blockkörper
bildet einen U-förmigen
Pfad, dadurch, dass der Einlass und der Auslass des Pfades so angeordnet
sind, dass sie in die gleiche Richtung weisen. Die Platine ist im
Grunde genommen parallel zur Seitenfläche des Pfad-Blockkörpers entlang
dem U-förmigen
Pfad eingebaut. Die Platine ist vorzugsweise so realisiert, dass
ein Vielfach-Verbindungsstück
für eine
externe Verbindung an einem Endabschnitt vorgesehen ist, der entlang der
Seite des Einlasses und des Auslasses des Pfades positioniert ist.
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Die
Durchflusssteuereinrichtung gemäß der Erfindung
ist so realisiert, dass der Pfad, der in dem wie beschrieben aufgebauten
Durchflussdetektor angeordnet ist, mit einem Durchfluss-Regelventil
versehen ist, das die Durchflussrate eines durch den Pfad hindurch
strömenden
Fluids regelt.
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Der
Durchflussdetektor gemäß der Erfindung weist
eine wasserabsorbierende Folie um den Einlass und den Auslass des
Pfades herum auf, die im Rückseitenabschnitt
des Gehäuses
angeordnet ist.
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KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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1 ist
eine explodierte perspektivische Ansicht, die eine Gesamtkonfiguration
einer Durchflusssteuereinrichtung gemäß einer Ausführungsform
der Erfindung zeigt;
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2 ist
eine Ansicht, die eine Konfiguration auf der Rückseite der in 1 dargestellten
Durchflusssteuereinrichtung zeigt;
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3 ist
eine explodierte perspektivische Ansicht, die eine Gesamtkonfiguration
eines wesentlichen Teiles eines Hauptkörpers der Durchflusssteuereinrichtung
zeigt;
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4A ist
ein Querschnitt zur Erläuterung eines
Aufbaus des in 3 dargestellten Hauptkörpers;
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4B ist
ein weiterer Querschnitt zur Erläuterung
des Aufbaus des in 3 dargestellten Hauptkörpers;
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4C ist
ein weiterer Querschnitt zur Erläuterung
des Aufbaus des in 3 dargestellten Hauptkörpers;
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5A ist
eine Ansicht, die ein Modifikationsbeispiel der Rückseite
der in 1 dargestellten Durchflusssteuereinrichtung zeigt;
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5B ist
eine weitere Ansicht, die ein Modifikationsbeispiel von 3 darstellt;
und
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6 ist
eine Ansicht, die eine Konfiguration eines Vielfach-Verbindungsstückes (Anschlussstückes) zeigt,
das in einem zur Rückseite
des Gehäuses
hin ausgesetzten Zustand angeordnet ist.
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BESTER MODUS ZUR AUSFÜHRUNG DER
ERFINDUNG
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Eine
Durchflusssteuereinrichtung gemäß der Erfindung
wird nachfolgend mit Bezug auf die Zeichnungen beschrieben.
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Ein
Durchflussdetektor kann im Wesentlichen dadurch realisiert werden,
dass ein Durchfluss-Regelventil aus der nachfolgend beschriebenen Durchflusssteuereinrichtung
entfernt wird. Daher erfolgt die Erläuterung der Durchflusssteuereinrichtung anhand
eines Beispiels, und ein charakteristischer Aufbau des Durchflussdetektors
und der Durchflusssteuereinrichtung gemäß der Erfindung wird nachfolgend
beschrieben.
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1 ist
eine explodierte perspektivische Ansicht, die eine Gesamtkonfiguration
der Durchflusssteuereinrichtung gemäß einer Ausführungsform
darstellt. Bezugszeichen 1 bezeichnet ein rechteckiges
parallelepipedförmiges
Gehäuse,
dessen Frontfläche
offen ist. Das Gehäuse 1 ist
im Grunde genommen ein rechteckiges parallelepipedförmiges Gehäuse aus
verstärktem
Kunststoff, das beispielsweise eine Höhe von 48 mm, eine Breite von
48 mm und eine Tiefe von 61 mm hat. Ein Pfad-Blockkörper 10,
in dessen Innerem wie nachstehend beschrieben ein U-förmiger Pfad
ausgebildet ist, und eine Fluideintrittsöffnung 2 und eine
Fluidaustrittsöffnung 3 des
Pfades sind in vertikaler Richtung ausgerichtet angeordnet, so dass
sie in die gleiche Richtung weisen, ist mit einer Haupt-Platine 4 versehen,
die an seinem Seitenabschnitt befestigt ist. Der Pfad-Blockkörper 10 wird
in das Gehäuse 1,
zusammen mit der Haupt-Platine 4, von der Vorderseite her
eingebaut, so dass die Fluideintrittsöffnung 2 und die Fluidaustrittsöffnung 3 auf
der Rückseite
positioniert sind.
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Der
Pfad-Blockkörper 10 ist
dadurch aufgebaut, dass eine Strömungsglättungseinrichtung 12, ein
Durchflusssensor 13 und ein Durchfluss-Regelventil 14 in
den Pfad zwischengeschaltet sind, wie nachstehend erläutert wird.
Die Haupt-Platine 4 ist am Seitenabschnitt des Pfad-Blockkörpers 10 befestigt.
An der Haupt-Platine sind elektronische Schaltungen montiert, die
eine Durchfluss-Erfassungsschaltung, welche eine Durchflussrate
eines durch den Pfad hindurch strömenden Fluids unter Verwendung
des Durchflusssensors 13 erfasst, eine Ventilsteuerschaltung,
welche die Betätigung
des Durchfluss-Regelventilsystems 14 gemäß der erfassten Durchflussrate
steuert, etc. einschließen.
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In
einem hinteren Endabschnitt der Haupt-Platine 4 ist ein
Anschlussstück 5 angeordnet, das
aus einem Vielfach-Verbindungsstück zum elektrischen
Verbinden der Haupt-Platine 4 mit einer (nicht dargestellten)
externen Vorrichtung ausgebildet ist. Wenn die Haupt-Platine 4 am
Seitenabschnitt des Pfad-Blockkörpers 10 angebracht
ist, ist das Anschlussstück
(Vielfach-Verbindungsstück) 5 entlang der
Seite der Fluideintrittsöffnung 2 und
der Fluidaustrittsöffnung 3 angeordnet,
die auf der Rückseite
des Pfad-Blockkörpers 10 vorgesehen
sind, wie in 2 dargestellt ist, die eine
Konfiguration der Rückseite des
Gehäuses 1 zeigt.
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Eine
Neben-Platine 6 ist senkrecht zur Haupt-Platine 4 am
vorderen Endabschnitt der Haupt-Platine 4 befestigt. An
der Neben-Platine 6 sind eine Mehrzahl von Licht aussendenden
Elementen für
eine Segmentanzeige, Kontaktelemente für Bedienschalter, deren Ansteuerschaltung,
etc. montiert. In einer Position zugewandt zu den auf der Neben-Platine 6 befindlichen
Kontaktelementen ist ein Druckschalterelement 7 angeordnet,
das aus einem leitenden elastischen Körper besteht. In einer Position
gegenüberliegend
zu den auf der Neben-Platine 6 befindlichen Licht aussendenden
Elementen ist eine Frontplatte 8 angebracht, in der Segmentfenster
zur Anzeige großer
Figuren ausgebildet sind.
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Das
Bezugszeichen 9 in den Zeichnungen bezeichnet ein Dekor-Paneel, das so angeordnet
ist, dass es die Frontplatte 8 abdeckt. Eine Beleuchtung der
Segmentfenster, die durch eine selektive Lichtabstrahlung der Licht
aussendenden Elemente bewirkt wird, wird bedingt durch das Dekor-Paneel 9 mit
hervorragender Sichtbarkeit angezeigt. Das aus einem leitenden elastischen
Körper
bestehende Druckschaltelement 7 wird von der Bedienperson
durch das Dekor-Paneel 9 hindurch gedrückt, so dass zwischen den auf
dessen Rückseite
positionierten Kontaktelementen eine leitende Verbindung hergestellt wird
(Schalterbetätigung).
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Mit
anderen Worten hat die Durchflusssteuereinrichtung, die durch einen
Einbau in das kastenförmige
Gehäuse 1 konfiguriert
ist, einen Aufbau, bei dem ein Bedienabschnitt, der die Anzeigeeinrichtung und
die Bedienschalter einschließt,
in der Frontfläche des
Gehäuses 1 angeordnet
ist, und die Fluideintrittsöffnung 2,
die Fluidaustrittsöffnung 3 und
das Anschlussstück 5 (Vielfach-Verbindungsstück) für eine elektrische
Verbindung sind auf der rückwärtigen Plattenseite
des Gehäuses 1 angeordnet.
Bei der Durchflusssteuereinrichtung ist ein Flansch 1a mit vorgegebener
Breite vorgesehen, der im vorderen Öffnungsende des Gehäuses 1 so
ausgebildet ist, dass er nach außen weist. Der Flansch 1a ist
beispielsweise in einen rechteckigen Öffnungsabschnitt von 48 mm
mal 48 mm eingesetzt, der durch eine Stanzbearbeitung des Paneels
ausgebildet ist, als ein nicht dargestellter Befestigungsabschnitt
des Paneels, um dadurch zur Befestigung der Durchflusssteuereinrichtung
zu dienen. Die auf diese Art und Weise am Paneel befestigte Durchflusssteuereinrichtung
wird in einem Zustand verwendet, bei dem ihr Bedienabschnitt zur
Vorderseite hin ausgesetzt ist. Der Rohrleitungsanschluss und der
elektrische Anschluss der Signaldrähte bezüglich der Durchflusssteuereinrichtung
erfolgt auf der Rückseite
des Gehäuses.
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Der
Aufbau des Pfad-Blockkörpers 10,
bei dem es sich um einen Hauptkörper
der Durchflusssteuereinrichtung handelt, und des Durchflusssensors 13 und
dergleichen, die in den Pfad-Blockkörper 10 eingebaut
sind, wird nachfolgend beschrieben.
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3 ist
eine explodierte perspektivische Ansicht, die eine Gesamtkonfiguration
des Hauptkörpers
der Durchflusssteuereinrichtung zeigt. 4A bis 4C sind
Ansichten, die einen Aufbau eines wesentlichen Teils im Querschnitt
darstellen. 3 und 4A bis 4C zeigen
die Fluideintrittsöffnung 2 und
die Fluidaustrittsöffnung 3 in
einer nach unten weisenden Position. In der Praxis sind die Fluideintrittsöffnung 2 und
die Fluidaustrittsöffnung 3 in das
Gehäuse
so eingebaut, dass sie nach unten weisen, wie zuvor beschrieben
wurde.
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Der
Hauptkörper
weist folgendes auf: den Pfad-Blockkörper 10, in dem der
U-förmige
Pfad ausgebildet ist, die zylindrische Strömungsglättungseinrichtung 12,
die an der stromaufwärts
liegenden Seite (Fluideintrittsseite) eines Pfades 11 eingebaut
ist, der in dem Pfad-Blockkörper 10 ausgebildet
ist, den Strömungssensor 13,
der in einer im Wesentlichen mittigen Position des Pfades 11 eingesetzt
ist, und das Durchfluss-Regelventilsystem 14,
das an der stromabwärts
liegenden Seite des Pfades (Fluidaustrittsseitig) angeordnet ist.
Das Durchfluss-Regelventilsystem 14 ist durch einen Elektromagneten 14a und ein
Durchfluss-Regelventil 14b ausgebildet, die durch den Elektromagneten 14a nach
vorne/nach hinten angetrieben werden, wie in 4 dargestellt.
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Der
Pfad-Blockkörper 10 hat
im Wesentlichen die Form eines rechteckigen Parallelepipeds und
bildet einen ersten Pfad 11a, der von seinem einen Längsende
zu seinem mittleren Abschnitt hin geradlinig verläuft. Der
Pfad-Blockkörper 10 hat
einen Aufbau, bei dem die Strömungsglättungseinrichtung 12 an
der Öffnungsendseite
des ersten Pfades 11a koaxial montiert ist, wobei Details
später
noch beschrieben werden, und das Öffnungsende ist dann mit einer
Abdeckung 15 verschlossen. Ein Abschnitt (Strömungsglättungseinrichtungs-Aufnahmeabschnitt),
in den die zylindrische Strömungsglättungseinrichtung 12 eingesetzt
ist, ist aus einem Loch ausgebildet, dessen Innendurchmesser größer ist
als der Außendurchmesser
der Strömungsglättungseinrichtung 12,
wie in den 4A und 4C dargestellt, wodurch
ein vorgegebener Freiraum A zwischen dem Strömungsglättungseinrichtung-Aufnahmeabschnitt
und einem Außenumfang
der Strömungsglättungseinrichtung 12 ausgebildet
ist.
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Die
Fluideintrittsöffnung 2 der
Durchflusssteuereinrichtung, die sich zum ersten Pfad 11a hin fortsetzt,
bildet einen zu dem Freiraum führenden Verbindungsabschnitt
(Pfad) und öffnet
sich zu einer Unterseite 10a (Fläche, die nach dem Einbau in
das Gehäuse 1 an
der Rückseite
positioniert ist) des Pfad-Blockkörpers 10,
wie in 4A dargestellt. Das von der
Fluideintrittsöffnung 2 her
eingeleitete Fluid wird zuerst in den Freiraum A gelenkt, der in
der Außenumfangsfläche der
zylindrischen Strömungsglättungseinrichtung 12 ausgebildet
ist. Das Fluid wird dann aus dem Freiraum A in das Innere der Strömungsglättungseinrichtung 12 gelenkt,
und zwar über
einen später
noch erwähnten
vorgegebenen Spalt, der zwischen der Strömungsglättungseinrichtung 12 und
der Abdeckung 15 ausgebildet ist. Nachdem eine Glättung durch
die Strömungsglättungseinrichtung 12 erfolgt
ist, wird das Fluid in den ersten Pfad 12a geleitet.
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In
einer Frontfläche 10b (Fläche, die
nach dem Einbau in das Gehäuse 1 an
der Seite positioniert ist) des Pfad-Blockkörpers 10 ist ein Durchgangsloch 10c ausgebildet,
das sich zum ersten Pfad 11a hin fortsetzt. Das Durchgangsloch 10c ist
zu dem Zweck vorgesehen, den Durchflusssensor 13 so zu positionieren,
dass er mit dem ersten Pfad 11a ausgerichtet ist. Insbesondere
ist, wie in der 4C dargestellt, ein Sensorträger 13a,
der vorab am Durchflusssensor 3 befestigt wurde, so eingebaut,
dass er das Durchgangsloch 10c von der Außenseite
des Blockkörpers 10 her
luftdicht verschließt.
Die Durchflussrate des Fluids, dessen Strömung durch die Strömungsglättungseinrichtung 12 geglättet wurde, wird
unter Verwendung des Durchflusssensors 13 gemessen, der
auf diese Weise im ersten Pfad 11a angeordnet ist.
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In
einer Oberseite 10d (Fläche,
die nach dem Einbau in das Gehäuse 1 an
der Vorderseite positioniert ist) des Pfad-Blockkörpers 10 ist das Durchfluss-Regelventilsystem 14 angebracht,
das stromabwärts
von dem Durchflusssensor 13 positioniert ist.
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Demzufolge
ist im Blockkörper 10 ein
zweiter Pfad 11b ausgebildet, der in einem im Grunde genommen
rechten Winkel zum Endabschnitt des ersten Pfades 11a hin
gekrümmt
ist, der wie beschrieben in Längsrichtung
zur Oberseite 10d des Blockkörpers 10 ausgebildet
ist.
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Der
Endabschnitt des zweiten Pfades 11b öffnet sich zur Oberseite 10d des
Pfad-Blockkörpers 10 hin.
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Ein
dritter Pfad 11c ist entlang der Seite des zweiten Pfades 11b ausgebildet,
so dass der zweite Pfad 11b und eine Achsenposition des
dritten Pfades 11c sich annähernd benachbart zu einer Seitenfläche (Fläche, die
nach dem Einbau in das Gehäuse 1 an der
Oberseite positioniert ist) des Blockkörpers 10 befinden,
und so dass er parallel zum zweiten Pfad 11b ist. Insbesondere
ist der dritte Pfad 11c durch den Blockkörper 10 hindurch
von der Oberseite 10d des Blockkörpers 10 zu dessen
Unterseite 10a hin ausgebildet. Der Endabschnitt des dritten
Pfades 11c, der zur Unterseite 11a des Blockkörpers 10 hin offen
ist, ist ausgelegt, um als Fluidaustrittsöffnung 3 der Durchflusssteuereinrichtung
zu dienen.
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Ein Öffnungsabschnitt
(Fluidaustrittsabschnitt) des zweiten Pfades 11b und ein Öffnungsabschnitt
(Fluideintrittsabschnitt) des dritten Pfades 11c sind Seite
an Seite in der Oberseite 10d (Fläche, die nach dem Einbau in
das Gehäuse 1 an
der Vorderseite positioniert ist) des Blockkörpers 10 ausgebildet.
In der Oberseite 10d des Blockkörpers 10 ist ein Pfad ausgebildet,
der diese Öffnungsabschnitte
verbindet, und darüber
hinaus ist das Durchfluss-Regelventil 14b angebracht, das
den Öffnungsquerschnitt
des Pfades regelt. Bei diesem speziellen Beispiel ist das Durchfluss-Regelventil 14b so
angeordnet, dass es den Öffnungsabschnitt
(Fluideintrittsabschnitt) des dritten Pfades 11c verschließt, und
seine Ventilöffnung
wird durch den Elektromagneten 14a geregelt.
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Das
Fluid wird vom ersten Pfad 11a durch den zweiten Pfad 11b hindurch
zum Durchfluss-Regelventilsystem 14 geleitet. Nachdem die
Regelung der Durchflussrate des Fluids unter Verwendung des Durchfluss-Regelventils 14b erfolgt
ist, wird das Fluid durch den dritten Pfad 11c geleitet,
um aus einer Fluidaustrittsöffnung 17 herauszuströmen.
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Wie
beschrieben, weist der Hauptkörper
der Durchflusssteuereinrichtung den Durchflusssensor 13 und
das Durchfluss-Regelventil 14 in zwei verschiedenen Flächen des
Blockkörpers 10 auf,
insbesondere der Frontfläche 10b bzw.
der Oberseite 10d. Daher ermöglicht der Hauptkörper der
Durchflusssteuereinrichtung, dass der Durchflusssensor 13 und das
Durchfluss-Regelventilsystem 14 nahe beieinander angeordnet
werden können,
ohne sich gegenseitig zu stören,
sogar wenn der Sensorträger 13a zum Einbau
des Durchflusssensors 13 einen großen Durchmesser aufweist oder
wenn das Durchfluss-Regelventilsystem 14 eine
Basis mit einem großen
Durchmesser aufweist. Demzufolge kann die Länge des Hauptkörpers der
Durchflusssteuereinrichtung parallel zum ersten Pfad 11a des
Blockkörpers 10 verringert
werden, wodurch der Hauptkörper kompakt
wird.
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Darüber hinaus
ist die Durchflusssteuereinrichtung so gestaltet, dass die Achse
bezüglich
des zweiten Pfades 11b und des dritten Pfades 11c auf Seiten
der Frontfläche 10b des
Blockkörpers 10 positioniert
ist. Daher stören
der ersten Pfad 11a und der dritte Pfad 11c sich
nicht gegenseitig. Dies macht es möglich, den dritten Pfad 10C in
der Nähe
einer Fluideintrittsöffnungsseite 16 anzuordnen.
Demgemäß wird die
Länge des
ersten Pfades 11a des Blockkörpers 10 in Strömungsrichtung
des Fluids weiter verringert. Demzufolge wird der zuvor erwähnte kompakte
Hauptkörper
realisiert, dessen Größe geeignet
ist, um in dem kleinen Gehäuse 1 von
48 mm mal 48 mm untergebracht zu werden.
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In
der Durchflusssteuereinrichtung ist die Haupt-Platine 4 am
Seitenabschnitt des Pfad-Blockkörpers 10 befestigt,
und außerdem
ist an der Haupt-Platine 4 das Vielfach-Verbindungsstück 5 (Anschlussstück) zur
elektrischen Verbindung angebracht. An der Durchflusssteuereinrichtung
ist die Frontplatte 8 befestigt, die mit der Anzeigeeinrichtung
und den Bedienschaltern versehen ist, wobei die Neben-Platine 6 zwischen
diesen angeordnet ist. Die Durchflusssteuereinrichtung der Erfindung
ermöglicht
es dann, den Hauptkörper
der Durchflusssteuereinrichtung zu verkleinern. Außerdem hat
die Durchflusssteuereinrichtung gemäß der Erfindung den Vorteil,
dass sie mit Leichtigkeit aufgebaut werden kann, indem man einfach
den Hauptkörper
von der Vorderseite her in das Gehäuse einsetzt und ihn von der Rückseite
des Gehäuses 1 her
verschraubt, und dergleichen.
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Bei
der auf diese Weise aufgebauten Durchflusssteuereinrichtung sind
die Fluideintrittsöffnung 2 und
die Fluidaustrittsöffnung 3 in
charakteristischer Weise auf der Rückseite des Gehäuses 1 ausgebildet.
Aus diesem Grund ist es, sogar wenn eine Mehrzahl von Fluidsteuereinrichtungen
auf dem Paneel ausgerichtet sind, nicht erforderlich, für einen
Freiraum zum Anschließen
der Rohrleitungen zwischen den Durchflusssteuereinrichtungen zu
sorgen. Daher können
die Durchflusssteuereinrichtungen gemäß der Erfindung nahe beieinander
angeordnet werden. Darüber
hinaus sind bei der Durchflusssteuereinrichtung die Fluideintrittsöffnung 2 und
die Fluidaustrittsöffnung 3 auf
der Rückseite
des Gehäuses 1 ausgebildet.
Das Vielfach-Verbindungsstück 5 (Anschlussstück) für eine elektrische
Verbindung ist ebenfalls auf der Rückseite des Gehäuses 1 angeordnet.
Demzufolge hat die Durchflusssteuereinrichtung der Erfindung den
Vorteil, dass ermöglicht
wird, die Anschlussarbeiten für
Rohrleitungen, Signaldrähte
etc. bezüglich
einer jeden der Durchflusssteuereinrichtungen an der Rückseite
des Gehäuses 1 und
dergleichen problemlos auszuführen.
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Beispielsweise
wird, nachdem Rohrleitungen mit der Fluideintrittsöffnung 2 und
der Fluidaustrittsöffnung 3 verbunden
sind, eine Suspension, wie beispielsweise Seifenwasser, gelegentlich
auf den Anschlussabschnitt aufgebracht oder aufgesprüht, um die
Luftdichtigkeit des Anschlussabschnittes zu überprüfen (begutachten). Bei der
Durchflusssteuereinrichtung gemäß der Erfindung
ist jedoch eine wasserabsorbierende Folie 20 an der Rückseite
des Gehäuses 1 angebracht,
wie in den 5A und 5B dargestellt.
Daher wird, sogar wenn zu viel Suspension aufgebracht oder aufgesprüht wird, überschüssige Suspension
durch die wasserabsorbierende Folie 20 während der Überprüfung absorbiert.
Kurz gesagt, erfolgt niemals ein unbeabsichtigter Eintritt in das
Innere des Gehäuses 1.
Demzufolge ist die Durchflusssteuereinrichtung der Erfindung in
der Lage, die Haupt-Platine 4, und dergleichen, die im
Inneren des Gehäuses 1 eingebaut
ist, gegen die Suspension zu schützen.
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Ein
als Vielfach-Verbindungsstück 5 (Anschlussstück) für eine elektrische
Verbindung geeignetes Verbindungsstück ist eines mit einem Aufbau, bei
dem, nachdem ein Signaldraht von der Seite des Verbindungsstücks eingeführt wurde,
der Signaldraht mit einer frontflächenseitig angeordneten Schraube befestigt
wird, wie in der 6 dargestellt. Beispielsweise
kann die Bedienperson, welche die Durchflusssteuereinrichtung einbaut,
den Verschraubungsarbeitsgang dadurch bewerkstelligen, dass sie
einen Signaldraht 21 in das Vielfach-Verbindungsstück (Anschlussstück) 5 von
der Seite her einführt,
die entgegengesetzt zur Fluideintrittsöffnung 2 und der Fluidaustrittsöffnung 3 ist,
und einen Schraubendreher 22 von der Rückseite des Gehäuses 1 her
verwendet. Dies ermöglicht
der Bedienperson, die Anschlussarbeiten in einer natürlichen
Arbeitsposition ohne Schwierigkeiten auszuführen.
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Die
Erfindung ist nicht auf die zuvor beschriebene Ausführungsform
eingeschränkt.
Beispielsweise ist die Größe des Gehäuses 1 ausreichend,
wenn sie auf Basis verschiedener Arten von Spezifikationen bestimmt
wurde. Bei den durch die Durchflusssteuereinrichtung zu steuernden
Objekten (Fluiden) kann es sich nicht nur um Gase, einschließlich Luft, Stickstoff,
Argon, Kohlendioxidgas, und dergleichen handeln, sondern auch um
Flüssigkeiten
wie beispielsweise Wasser und Alkohol. Wie angegeben, ist der Durchflussdetektor
in gleicher Weise ohne ein Durchfluss-Regelventilsystem verwendbar.
Außerdem
können
verschiedene Modifikationen vorgenommen werden, ohne von dem Wesen
der Erfindung abzuweichen.
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Wie
zuvor erläutert,
ist beim Durchflussdetektor und bei der Durchflusssteuereinrichtung
gemäß der Erfindung
der Pfad im Hauptkörper
U-förmig ausgebildet
und die Fluideintrittsöffnung
und die Fluidaustrittsöffnung
sind beide so angeordnet, dass sie zur Rückseite des kastenförmigen Gehäuses hin
weisen. Außerdem
ist der Durchflussdetektor und die Durchflusssteuereinrichtung gemäß der Erfindung
so aufgebaut, dass der Kontaktanschluss, wie beispielsweise ein
elektrischer Signaldraht, auf der Rückseite des Gehäuses entlang
der Seite der Fluideintrittsöffnung
und der Fluidaustrittsöffnung
angeordnet ist. Daher ist es gemäß der Erfindung,
sogar falls eine Mehrzahl von Durchflusssteuereinrichtungen auf dem
gegebenen Paneel ausgerichtet sind, möglich, die Durchflusssteuereinrichtungen
nahe beieinander anzuordnen. Außerdem
hat die Erfindung den großen
praktischen Vorteil, dass die Arbeiten zum Anschließen der
Rohrleitungen, und dergleichen bezüglich einer jeden der Durchflusssteuereinrichtungen und
dergleichen erleichtert wird.
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ZUSAMMENFASSUNG:
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Ein
Durchflussdetektor, der so aufgebaut ist, dass ein Pfad-Blockkörper (10)
einen vorgegebenen Pfad (11) bildet, und der einen im Pfad
(11) angeordneten Durchflusssensor (13) aufweist,
und eine Platine (4), auf der eine elektrische Schaltung
montiert ist, sind in einem rechtwinkligen parallelepiped- oder würfelförmigen Gehäuse (1)
untergebracht. Es sind eine Anzeigeeinrichtung (6) und
ein Bedienschalter (7) im Frontflächenabschnitt des Gehäuses (1)
vorgesehen, der zur Frontfläche
eines gegebenen Paneels hin ausgesetzt ist, wenn er am Paneel befestigt ist.
Ein U-förmiger
Pfad ist so ausgebildet, dass er einen Einlass (2) und
einen Auslass (3) im Rückseitenabschnitt
des Gehäuses
(1) aufweist. Ein Anschlussstück (5) zur externen
Verbindung der Platine (4) ist im Rückseitenabschnitt des Gehäuses (1)
angeordnet.