DE1101088B

DE1101088B - Verfahren zum galvanischen Vergolden von Molybdaenblech

Info

Publication number: DE1101088B
Application number: DEL32413A
Authority: DE
Inventors: Hans Rinoesl; Dipl-Phys Friedrich Seid; Rigobert Schimmer
Original assignee: Licentia Patent Verwaltungs GmbH
Current assignee: Licentia Patent Verwaltungs GmbH
Priority date: 1959-02-09
Filing date: 1959-02-09
Publication date: 1961-03-02

Description

Verfahren zum galvanischen Vergolden von Molybdänblech Zusatz zur Patentanmeldung L30266 VI%4&a (Auslegeschrift 1095 615) Es war bisher üblich, zum Vergolden von Molybdänblechen auf diese galvanisch eine Nickelschicht aufzubringen und diese in das Molybdän einzulegieren. Auf dieser Legierungsschicht wurde das Gold ebenfalls galvanisch niedergeschlagen und dann eingetempert. Die derart aufgebrachten Goldschichten hafteten aber häufig nur sehr schlecht auf der Unterlage.
Gegenstand des Hauptpatentes ist ein Verfahren zum Vergolden von Molybdänblech, unter Verwendung einer aus Nickel bestehenden Zwischenschicht für Halbleiteranordnungen mit Germanium und Silizium, das sich von den bekannten dadurch unterscheidet, daß auf das gereinigte und entfettete Molybdänblech elektrolytisch eine Nickelschicht aufgebracht und unter Schutzgas für wenige Minuten auf 950 bis 1020° C erhitzt wird, daß nach dem Abkühlen elektrolytisch eine zweite, gegenüber der ersteren Schicht dünnere Nickelschicht sowie auf diese eine Goldschicht aufgebracht und das Blech mit den Schichten einer zweiten Wärmebehandlung unter Schutzgas zwischen 870 und 900° C für etwa 10 Minuten ausgesetzt wird.
Dabei werden z. B. Bleche von etwa 50 - 100 mm bei etwa 80° C in einem handelsüblichen Entfettungsmittel 3 bis 5 Minuten lang vorentfettet. Zurückbleibende Verunreinigungen werden mit feinem Schmirgelpapier oder Bimsstein entfernt bzw. einer Behandlung in Ammoniaklösung von etwa 20 bis 25 % unterzogen, welcher je nach der gewünschten Einwirkungsgeschwindigkeit mehr oder weniger H202 zugesetzt wird. Die Bleche werde. dann in einem Nickelbad bei 35° C unter 2 Volt Spannung etwa 125 Sekunden lang mit Nickel überzogen, dann im Wasserstoffstrom zunächst 3 Minuten auf 200° C gehalten und alsdann während weiterer 3 Minuten auf 950° C aufgeheizt. Die Bleche werden dann etwa 10 Minuten lang auf 950 bis 1020° C gehalten und sodann im Wasserstoffstrom langsam abgekühlt. Nach einer weiteren Entfettung wird die zweite Nickelschicht in einem Nickelbad von 35 bis 40° C unter 2 Volt Spannung während 10 bis 15 Sekunden aufgebracht und kräftig derart bewegt, daß beide Seiten etwa gleich lang der Goldanode zugewendet sind. Sodann werden die Bleche eingespannt und dann eine Goldschicht von 2 bis 3 #L aufgebracht, wobei das auf 40 bis 50° C gehaltene Bad gut gerührt wird. Nach jeder elektrolytischen Behandlung wird gründlich gespült. Bei der zweiten Erwärmung werden die Bleche etwa 3 Minuten im Wasserstoffstrom bei 200° C gehalten, dann rasch auf 850° C erhitzt, 10 Minuten bei 870 bis 900° C getempert und im Wasserstoffstrom langsam abgekühlt.
Die Güte der Vergoldung nach diesem Verfahren wird noch wesentlich verbessert, wenn gemäß der vorliegenden Erfindung die erste Nickelschicht in einer Dicke von 0,2 bis 0,6 #t aufgebracht wird, während die zweite Nickelschicht in einer Stärke von etwa 0,05 R, aufgebracht wird. Das entspricht für die erste Nickelschicht etwa einer mittleren Flächendichte von 2,6 - 10-2 g/dm2 und für die zweite Nickelschicht etwa einer mittleren Flächendichte von 4,5 - 10-s g/dm2. Auf einer derart vorbereiteten Unterlage läßtsich das Gold vollkommen ohne Schwierigkeiten und ohne Blasenbildung abscheiden und eintempern.
Eine weitere Verbesserung der aufgebrachten Goldschicht wird erreicht, wenn das Blech unter einer Spannung von 3 Volt in das Goldbad eingehängt und, nachdem eine zusammenhängende, festhaftende Goldschicht erzielt ist, die Spannung auf 1 Volt herabgesetzt wird.

Claims

PATENTANSPRÜCHE: 1. Verfahren zum galvanischen Vergolden von Molybdänblech unter Verwendung einer aus Nickel bestehenden Zwischenschicht für Halbleiteranordnungen mit Germanium und Silizium, bei dem auf das gereinigte und entfettete Molybdänblech elektrolytisch eine Nickelschicht aufgebracht und unter Schutzgas für wenige Minuten auf 950 bis 1020° C erhitzt wird und bei dem nach dem Abkühlen elektrolytisch eine zweite, gegenüber der ersteren dünnere Nickelschicht sowie auf diese eine Goldschicht aufgebracht und das Blech mit den Schichten einer zweiten Wärmebehandlung unter Schutzgas zwischen 870 und 900° C für etwa 10 Minuten. ausgesetzt wird, nach Patentanmeldung L 30 2C6-IV/48 a, dadurch gekennzeichnet, daß die =erste Nickelschicht in einer Dicke von 0,2 bis 0,6 j, und die zweite Nickelschicht-in einer Stärke von etw,, 0,05 [t aufgebracht wird. -2: -Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet; d'aß zum Aufbringen der Goldschicht das Blech unter einer Spannung von 3 Volt in das Goldbad eingehängt und, nachdem eine zusammenhängende, festhaftende Goldschicht erzielt ist, die - Spannung auf 1 Volt herabgesetzt wird.