DE10335182B4 - Anordnung zur Verbesserung der Modulzuverlässigkeit - Google Patents
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Abstract
Anordnung
bei der Chips mit einem Die-Attach-Material auf einem Substrat befestigt
sind, wobei auf der dem Chip gegenüber liegenden Seite auf Kontaktpads
einer auf das Substrat auflaminierten und photolithografisch strukturierten
Kupferfolie montierte Lötkugeln zur
elektrischen Verbindung mit Leiterplatten angeordnet sind und wobei
der Chip und das Substrat auf der Chipseite mit einer Moldkappe
verkapselt sind, wobei zwischen den Kontaktpads (2) sowie Leitbahnen
(4) der Kupferfolie und dem Substrat (1) eine Zwischenlage (3) aus
einem nachgiebigen oder flexiblem Material eingefügt ist,
wobei sich die Leitbahnen (4) und die Kontaktpads (2) zur Aufnahme der
Lötkugeln
(5) in der gleichen Ebene befinden und dass die Zwischenlage (3)
und die Kupferschicht gemeinsam photolithographisch strukturiert
sind..
Description
- Die Erfindung betrifft eine Anordnung, bei der Chips mit einem Die-Attach-Material auf einem Substrat befestigt sind, wobei auf der dem Chip gegenüber liegenden Seite auf Kontaktpads einer auf das Substrat auflaminierten und photolithographisch strukturierten Kupferfolie montierte Lötkugeln zur elektrischen Verbindung mit Leiterplatten angeordnet sind und wobei der Chip und das Substrat auf der Chipseite mit einer Moldkappe verkapselt sind.
- Derartige substratbasierte IC-Packages werden auch als BGA-Package bezeichnet, wobei BGA für Ball Grid Array steht. Aus der
US 6048755A geht ein derartiges BGA-Package hervor. Es versteht sich, dass auch mehrere Chips bzw. Packages auf einem gemeinsamen Substratstreifen (Matrixstreifen) angeordnet werden können. Das Substrat selbst besteht aus einem üblichen PCB (Printed Circuit Board, d.h. einer gedruckten Leiterplatte), vorzugsweise in Form eines Glasfaserlaminates. Dieses Glasfaserlaminat ist mit einer Kupferfolie laminiert, die mittels Photolithographie oder Laserstrukturierung o.ä. strukturiert worden ist, wodurch Leitbahnen und sogenannte Landing Pads für die Lötkugeln erzeugt worden sind. - Bei derartigen substratbasierten Packages dient die aus einem Kunststoffmaterial bestehende Moldkappe dem Schutz des Chips und auch dem Schutz der Chip-Kanten Die Moldkappe umhüllt dabei die Chiprückseite und angrenzende Bereiche des Substrates, so dass ein hinreichender Schutz der empfindlichen Chipkanten erreicht wird.
- Bei diesen Packages kann der Chip auf unterschiedliche Art und Weise auf dem Substrat fixiert werden. So werden die Chips üblicher Weise mittels eines Tapes oder eines gedruckten oder dispensten Klebers unter Ausübung einer ausreichenden Andruckkraft auf dem Substrat befestigt. Besonders effektiv ist es, den Kleber unter Zwischenlage einer Druckschablone auf das Substrat zu drucken und anschließend der Chip auf das Substrat zu kleben. Danach erfolgt eine elektrische Verbindung der Bondpads der Chips mit Kontaktpads auf dem PCB mit Hilfe von Drahtbrücken, die durch einen Bondkanal im PCB gezogen werden. Der Bondkanal wird anschließend zum Schutz der Drahtbrücken mit Moldcompound verschlossen.
- Bei diesen substratbasierten Packages für integrierte Schaltkreise, insbesondere bei Ball Grid Arrays mit Rückseitenschutz, bestehen nach wie vor Schwierigkeiten in Bezug auf deren Zuverlässigkeit. Das bezieht sich insbesondere auf die Thermozyklen auf Modulebene. Die daraus verursachten Ausfälle entstehen insbesondere durch Abrisse der Lötkugeln beim Thermozyklen, also beim Testen der Packages und auch beim normalen Gebrauch. Diese Abrisse werden durch die unterschiedlichen Ausdehnungskoeffizienten der einzelnen Montagematerialien (Chip, Substrat, PCB) induziert. So hat sich auch herausgestellt, dass die Haftung der Kupferfolie auf dem Substrat nicht besonders gut ist, so dass thermisch bedingte Verschiebungen der Kupferfolie zu Abrissen der Lötkugeln führen kann.
- Diese Abrisse der Lötkugeln führen dann zu irreparablen Schäden des Packages. Dieses Problem wirkt sich insbesondere bei sehr großen Chips aus, da hier die Kräfte auf die Lötkugeln in kritischen Positionen besonders groß sind.
- Zur Reduzierung dieser Probleme wurde versucht, durch Designänderungen beim Ballout des Packages (spezielle Lötstoppmasken, bzw. Gestaltung der Lötpads) vorzunehmen und alternativ bzw. zusätzlich optimierte Montagematerialien zu verwenden. Es ist allerdings schon aus Zeitgründen nicht möglich, eine ständige Anpassung der Montagematerialien an die Chipgröße vorzunehmen, da die Anpassung von Materialien immer eine sehr große Vorlaufzeit erfordert.
- Aus der JP 08-46084 A geht eine Halbleiteranordnung mit einem Substrat hervor, auf dem Chips mit einem Klebemittel befestigt sind, wobei die Chips jeweils mit einer Moldkappe umhüllt sind. Auf der den Chips gegenüber liegenden Seite sind Kontaktpads einer strukturierten Kupferfolie vorgesehen, auf denen Lötkugeln montiert sind. Zwischen den Kontaktpads und dem Substrat ist eine Zwischenlage aus einem nachgiebigen oder flexiblen Material eingefügt.
- Diese Anordnung ist technisch aufwändig zu realisieren, weil die elastische Zwischenlage und die Kupferfolie in unterschiedlichen Arbeitsgängen hergestellt und strukturiert werden müssen.
- Schließlich geht aus der US 2002/013412 A1 eine Halbleitervorrichtung hervor, bei der auf der aktiven Seite ganzflächig eine Pufferschicht ganzflächig aufgetragen ist. Diese Pufferschicht kann ein Resist mit einer niedrigen Elastizität sein der anschließend in einzelne Abschnitte aufgeteilt wird. Auf den Abschnitten werden Bumps aufgebracht, die mit elektrischen Leitungen versehen werden, um eine Verbindung zu Kontaktinseln auf dem Chip herzustellen. Auf den Spitzen der Bumps sind schließlich Lötkugeln angeordnet.
- Diese Halbleitervorrichtung ist ebenfalls in ihrer Fertigung sehr aufwändig.
- Der Erfindung liegt nunmehr die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung der eingangs genannten Art zu schaffen, die besonders einfach hergestellt werden kann und bei der die im Stand der Technik aufgezeigten Probleme nicht mehr auftreten.
- Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe wird durch eine Anordnung gelöst, bei der Chips mit einem Die-Attach-Material auf einem Substrat befestigt sind, wobei auf der dem Chip gegenüber liegenden Seite auf Kontaktpads einer auf das Substrat auflaminierten und photolithografisch strukturierten Kupferfolie montierte Lötkugeln zur elektrischen Verbindung mit Leiterplatten angeordnet sind und wobei der Chip und das Substrat auf der Chipseite mit einer Moldkappe verkapselt sind, wobei zwischen den Kontaktpads sowie Leitbahnen der Kupferfolie und dem Substrat eine Zwischenlage aus einem nachgiebigen oder flexiblem Material eingefügt ist, wobei sich die Leitbahnen und die Kontaktpads zur Aufnahme der Lötkugeln in der gleichen Ebene befinden und dass die Zwischenlage und die Kupferschicht gemeinsam photolithographisch strukturiert sind.
- Durch diese besonders einfach zu realisierende Lösung werden auftretende Spannungen auf größere Bereiche verteilt und punktuelle Belastungen der einzelnen Lötkontakte reduziert.
- Die Zwischenlage kann aus unterschiedlichen Materialien, wie z.B. aus einem Kunststoff, oder einem Resist bestehen.
- Es sind auch andere thermisch hinreichend beständige Materialen geeignet, die eine gewisse Elastizität aufweisen.
- In einer weiteren Fortführung der Erfindung ist die Zwischenlage mittels eines Haftvermittlers aufgebracht worden.
- Eine weitere Fortbildung der Erfindung sieht vor, dass die Zwischenlage aus einem Epoxydharz besteht, das auch mit einem Füller angereichert sein kann.
- Die Erfindung soll nachfolgend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden. In den zugehörigen Zeichnungen zeigen:
-
1 : eine schematische Darstellung der erfindungsgemäßen Anordnung einer strukturierten elastischen Zwischenlage unter einem Kontaktpad; und -
2 : die Anordnung einer elastischen Zwischenlage auf dem gesamten Substrat. - Bei der Beschreibung des Ausführungsbeispieles wurde bewusst auf eine Bezugnahme auf ein bestimmtes Modul mit BGA- oder BGA-ähnlichen Komponenten verzichtet, da die Erfindung nicht auf bestimmte Module begrenzt ist. Wesentlich ist jedoch, dass ein Substrat
1 vorhanden ist, auf dem Leitbahnen4 und mit diesen elektrisch verbundene Kontaktpads2 angeordnet sind. Die Leitbahnen4 und die Kontaktpads2 werden üblicherweise aus einer auf das Substrat1 auflaminierten Kupferfolie lithographisch strukturiert. Die Kontaktpads2 sind zur Aufnahme von Lötkugeln (Mikroballs)5 vorgesehen. Diese Lötkugeln5 dienen zur Herstellung einer elektrischen Verbindung zwischen den Kontaktpads2 und Kontaktflächen auf Leiterplatten durch Löten. Da die Leiterplatte ebenfalls mit Leitbahnen4 aus einer lithografisch strukturierten Kupferfolie besteht, wird im Folgenden nur die Substratseite beschrieben, wobei darauf hingewiesen wird, dass die Leiterplattenseite einen identischen erfindungsgemäßen Strukturaufbau erhalten kann. - Kern der Erfindung ist eine mindestens zwischen den Kontaktpads
2 und dem Substrat1 angeordnete Zwischenlage3 aus einem nachgiebigen oder flexiblem Material. Als geeignet hierfür hat sich ein hinreichend elastischer Kunststoff, wie beispielsweise ein Epoxidharz oder ein mit einem Füller angereichertes Epoxidharz erwiesen, wobei auch ein Resist besonders geeignet ist. Wegen der beim Thermozyklen und im Lötprozess auftretenden höheren Temperaturen muss die Zwischenlage aus einem thermisch beständigen Material bestehen. - Entsprechend
2 kann sich die Zwischenlage3 über die gesamte Fläche des Substrates bzw., der Leiterplatte erstrecken, was durch Laminieren einfach realisiert werden kann. Anschließend wird dann die für die elektrische Verdrahtung benötigte Kupferfolie auf die Zwischenlage3 auflaminiert Die Zwischenlage3 wird dann gemeinsam mit der Kupferschicht strukturiert (1 ), so dass sich die Zwischenlage3 nur unter den Leitbahnen4 und den Kontaktpads2 befindet. - Um eine höhere Haftfestigkeit der Zwischenlage
2 auf dem Substrat1 zu erreichen, kann die Zwischenlage3 mittels eines Haftvermittlers aufgebracht werden. - Eine andere Möglichkeit für die Herstellung der Zwischenlage
3 besteht darin, diese auf das Substrat1 aufzusprühen. -
- 1
- Substrat
- 2
- Kontaktpad
- 3
- Zwischenlage
- 4
- Leitbahn
- 5
- Lötkugel
Claims (7)
- Anordnung bei der Chips mit einem Die-Attach-Material auf einem Substrat befestigt sind, wobei auf der dem Chip gegenüber liegenden Seite auf Kontaktpads einer auf das Substrat auflaminierten und photolithografisch strukturierten Kupferfolie montierte Lötkugeln zur elektrischen Verbindung mit Leiterplatten angeordnet sind und wobei der Chip und das Substrat auf der Chipseite mit einer Moldkappe verkapselt sind, wobei zwischen den Kontaktpads (
2 ) sowie Leitbahnen (4 ) der Kupferfolie und dem Substrat (1 ) eine Zwischenlage (3 ) aus einem nachgiebigen oder flexiblem Material eingefügt ist, wobei sich die Leitbahnen (4 ) und die Kontaktpads (2 ) zur Aufnahme der Lötkugeln (5 ) in der gleichen Ebene befinden und dass die Zwischenlage (3 ) und die Kupferschicht gemeinsam photolithographisch strukturiert sind.. - Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Zwischenlage (
3 ) aus einem Kunststoff besteht. - Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Zwischenlage (
3 ) aus einem Resist besteht. - Anordnung nach einem der Ansprüche 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Zwischenlage (
3 ) aus einem thermisch beständigen Material besteht. - Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der Zwischenlage (
3 ) und dem Substrat (1 ) bzw. der Leiterplatte ein Haftvermittler angeordnet ist. - Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Zwischenlage (
3 ) aus einem Epoxidharz besteht. - Anordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Epoxidharz mit einem Füller angereichert ist.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10335182A DE10335182B4 (de) | 2003-07-30 | 2003-07-30 | Anordnung zur Verbesserung der Modulzuverlässigkeit |
US10/903,873 US20050051896A1 (en) | 2003-07-30 | 2004-07-30 | Arrangement for improving module reliability |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10335182A DE10335182B4 (de) | 2003-07-30 | 2003-07-30 | Anordnung zur Verbesserung der Modulzuverlässigkeit |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10335182A1 DE10335182A1 (de) | 2005-03-10 |
DE10335182B4 true DE10335182B4 (de) | 2007-03-01 |
Family
ID=34177259
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE10335182A Expired - Fee Related DE10335182B4 (de) | 2003-07-30 | 2003-07-30 | Anordnung zur Verbesserung der Modulzuverlässigkeit |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20050051896A1 (de) |
DE (1) | DE10335182B4 (de) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 2003-07-30 DE DE10335182A patent/DE10335182B4/de not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE10335182A1 (de) | 2005-03-10 |
US20050051896A1 (en) | 2005-03-10 |
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Legal Events
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---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
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|
R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: INFINEON TECHNOLOGIES AG, DE Free format text: FORMER OWNER: QIMONDA AG, 81739 MUENCHEN, DE Owner name: POLARIS INNOVATIONS LTD., IE Free format text: FORMER OWNER: QIMONDA AG, 81739 MUENCHEN, DE |
|
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R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |