DE1027735B - Verfahren zur Erhoehung der Frequenzkonstanz von Schwingkristallen - Google Patents

Verfahren zur Erhoehung der Frequenzkonstanz von Schwingkristallen

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DE1027735B
DE1027735B DEST9192A DEST009192A DE1027735B DE 1027735 B DE1027735 B DE 1027735B DE ST9192 A DEST9192 A DE ST9192A DE ST009192 A DEST009192 A DE ST009192A DE 1027735 B DE1027735 B DE 1027735B
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crystals
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Dipl-Phys Rudolf Krause
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Steeg & Reuter Dr GmbH
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Steeg & Reuter Dr GmbH
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    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H3/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
    • H03H3/007Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
    • H03H3/02Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
    • H03H3/04Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks for obtaining desired frequency or temperature coefficient

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

  • Verfahren zur Erhöhung der Frequenzkonstanz von Schwingkristallen Es ist allgemein bekannt, korrosionsgefährdete Werkstoffe durch einen Überzug aus korrosionsbeständigem Material zu schützen. So hat man beispielsweise Schwingkristalle mit einem Überzug aus Siliciumdioxyd versehen, wobei jedoch in erster Linie der Zweck der Beeinflussung der Frequenz verfolgt wird. Bei Quarzen mit als Elektroden dienenden Metallüberzügen ist aber ein derartiger Überzug aus Siliciumdioxyd oder einem ähnlich wirkenden Material noch nicht angewendet worden, und es bestand dazu auch keine Veranlassung, da man derartige Elektroden ohnehin aus korrosionsbeständigem Metall, wie Platin und Gold, herzustellen oder die mit Elektroden versehenen Quarze in ein Vakuumgefäß einzubauen pflegt.
  • Die der Erfindung zugrunde liegende Erkenntnis zeigt jedoch, daß es durchaus vorteilhaft ist, auch derartige mit Elektrodenbezügen versehene Quarze mit einem Überzug aus Siliciumdioxyd oder einem ähnlichen Material zu versehen, wobei jedoch nicht der Zweck des Korrosionschutzes, dessen es meist gar nicht bedarf, verfolgt wird, sondern der der Vermeidung einer Nachkristallisation, eines die Frequenz beeinflussenden Alterungsvornanges, dem auch die im allgemeinen als Elektrodemnaterial verwendeten korrosionsbeständigen Edelmetalle unterworfen sind.
  • Bei metallisierten Kristalloberflächen ist zwar die Loslösung von Partikeln von der Oberfläche des Schwingkristalls vermieden, weil sie durch die Metallschicht gebunden sind, jedoch tritt bei der metallisierten Oberfläche eine Nachkristallisation der elektrisch leitenden Schicht auf. Dies ist auch der Fall bei Oberflächenelektroden aus Metallen, die praktisch korrosionsbeständig sind, wie z. B. Gold und Platin. Der langsame Übergang der metallisierten Schicht vom amorphen zum kristallinen Zustand hat in bekannter Weise eine Veränderung der elastischen Eigenschaften der Oberfläche und damit eine Frequenzänderung sowie eine Leitfähigkeitsänderung zur Folge.
  • Der Korrosionsvorgang ist bei metallisierten und nichtmetallisierten Schwingquarzen ein altbekannter Effekt. Die störende Auswirkung der Nachkristallisation ist jedoch erst auf Grund neuester Forschungsergebnisse bekannt. Man hat den störenden Einfluß der Nachkristallisation bisher dadurch beseitigt, daß man den metallisierten Quarz durch künstliches Altern in wochenlangen Prozessen durch wechselweises Erwärmen und Abkühlen behandelte, wodurch die Nachkristallisation der Metallschicht in einen stabilen Endzustand gebracht wurde.
  • Das Verf;hren kann durch die damit verbundene feindosierbare Zunahme der Schwingmasse in an sich bekannter Weise zum Frequenzfeinabgleich des Kristallschwingers verwendet werden.

Claims (2)

  1. PATENTANSPRÜCHE-, 1. Verfahren zur Erhöhung der Frequenzkonstanz von Schwingkristallen mit elektrisch leitenden Oberflächen, dadurch gekennzeichnet, daß auf die Oberflächenelektrode ein Belag aus Siliciummonoxyd oder Siliciumdioxyd oder einem Material mit gleichen physikalischen Eigenschaften aufgedampft wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es zum Zwecke des Frequenzfeinabgleiches verwendet wird. In Betracht gezogene Druckschriften: USA.-Patentschrift Nr. 2 486 968; »Telefunken-Zeitung«, 25. Jahrgang, Heft 97, 1952, S.247.
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