DE2828048A1

DE2828048A1 - Verfahren zur einstellung der eigenschaften eines quarzkristall-resonators

Info

Publication number: DE2828048A1
Application number: DE19782828048
Authority: DE
Inventors: Hubert Choffat
Original assignee: Centre Electronique Horloger SA
Current assignee: Centre Electronique Horloger SA
Priority date: 1977-06-27
Filing date: 1978-06-26
Publication date: 1979-01-11
Also published as: JPH03804B2; JPS5444857A; CH617063GA3; CH617063B; DE2828048C2

Description

Verfahren zur Einstellung der Eigenschaften eines-
Quarzkristall-Resonators Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Einstellung der Eigenschaften eines plattenförmigen, parallel zur Plattenebene Längsschwingungen ausführenden Quarzkristall-Resonators.
Die Erfindung betrifft ferner einen Quarzkristall-Resonator dessen thermische Eigenschaften durch ein solches Verfahren eingestellt sind, sowie eine elektrische Armbanduhr mit einem derart eingestellten Quarzkristall-Resonator.
Die thermischen Eigenschaften des Quarzkristall-Resonators gehören zu den wichtigsten Einflussgrössen, die den genauen Gang einer Uhr, insbesondere einer Armbanduhr beeinflussen.
In der Umgebung einer gegebenen Temperatur To können die thermischen Eigenschaften eines Quarzkristall-Resonators durch die Temperaturkoeffizienten erster, zweiter und dritter Ordnung 1 ' gekennzeichnet werden, welche in dem die Abhängigkeit der Frequenz f des Resonators von der Temperatur T beschreibenden Ausdruck auftreten Fiir Dicken-Scherungsschwingungen ausführende Resonatoren vom AT-Typ, wie sie in elektrischen Quarz-Armbanduhren verwendet werden, können O(und durch eine geeignete Wahl des Schnittwinkels des Kristalls auf Null gebracht werden. Der Koeffizient hat unter diesen Bedingungen einen Wert von 112 . 10 10 / C .
Es hat sich herausgestellt, dass für einen Quarzkristall-Resonator vom GT-Schnitt, in Form einer rechteckigen Platte, die Temperaturkoeffizienten Mund ß bei geeigneter Wahl des Breiten/Längenverhältnisses zwischen 0,8 und 0,9, zum Beispiel gleich 0,875, auf Null gebracht werden können. Man stellt fest, dass unter diesen Bedingungen der Temperaturkoeffizient dritter Ordnung g bedeutend kleiner als der entsprechende Koeffizient eines AT-Resonators wird und zwar kleiner als 50.10-12/°C³.
Die bekannten Verfahren zur Einstellung des Temperaturkoeffizienten erster Ordnung K durch Veränderung des Breiten/Längenverhältnisses können jedoch nur bei Quarzkristall-Resonatoren verhältnismässig grosser Abmessungen angewendet werden. Bei einer Quarzplatte von in der Uhrentechnik üblichen Abmessungen, d.h. mit Seitenlängen von etwa 4 mm, müsse die Änderung einer Abmessung in Schritten von etwa 1 Micron vor sich gehen, um den Temperaturkoeffizienten erster Ordnung & , der am stärksten von dem Abmessungsverhältnis abhängt, richtig auf NuU zu bringen. Eine solche Änderung ist nicht in wiederholbarer Weise durchführbar und eine solches Verfahren kommt daher nicht für eine Serienfabrikation eines Quarzkristall-Resonators in Frage, wie er in Armbanduhren verwendet wird.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, diesen Nachteil zu beheben und ein Verfahren zur Einstellung der Eigenschaften eines Quarzkristall-Resonators der oben erwähnten Art zu schaffen, welches bei der Serienfabrikation von Quarzkristall-Resonatoren für Armbanduhren kleiner Abmessungen angewendet werden kann.
Das erfindungsgemässe Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, dass man die Masse des Resonators in mindestens einem Bereich von gegenüber der gesamten Plattenoberfläche kleiner Oberfläche verändert, wobei dieser Bereich am Plattenrand oder in dessen naher Umgebung gelegen ist, derart, dass die Temperaturkoeffizienten der Resonanzfrequenz des Resonators geändert werden, ohne dass die Haupt-Abmessungen der Platte eine Änderung erfahren.
Gemäss einer ersten Anwendungsform dieses Verfahrens, wird die Masse des Resonators in einem ersten Verfahrensschritt in mindestens einem ersten Bereich derart verändert, dass der Temperaturkoeffizient erster Ordnung der Resonanzfrequenz Null wird und wird in einem zweiten Verfahrensschritt die Masse des Resonators in mindestens einem zweiten Bereich, der vom ersten verschieden ist, so verändert, dass die Resonanzfrequenz des Resonators geändert wird, ohne dass seine thermischen Eigenschaften eine merkbare Änderung erfahren.
Gemäss einer anderen Anwendungsform des erfindungsgemässen Verfahrens wird die Masse des Resonators in einem Bereich verändert, dessen Lage vorab so bestimmt wurde, dass die Masseänderung gleichzeitig den Temperaturkoeffizienten erster Ordnung der Resonanzfrequenz auf Nullbringt und eine Veränderung der Resonanzfrequenz bewirkt.
Die Quarzp]atte hat vorzugsweise eine rechteckige Form.
Ferner ist der Quarzkristall vorzugsweise vom GT-Schnitt mit einem Breiten/Längenverhältnis zwischen 0,8 und 0,9.
Bei einer rechteckigen oder quadratischen Quarzplatte ist es besonders vttteilhaft, die Masseänderung in einem Bereich vorzunehmen, der in mindestens einer Ecke des Resonators liegt.
Diese Masseänderung kann entweder durch Hinzufügen oder durch Entfernen von Material erfolgen. Die Masseänderung des Resonators kann allgemein durch Niederschlag von verdampftem Material oder durch chemische Ablagerung erzielt werden (beispielsweise unter Verwendung des in der folgenden Veröffentlichung beschriebenen Verfahrens : V.E. Bottom, "A novel method for adjusting the frequency of aluminum plated quartz crystal resonators", in Proc. of the 30th Annual Symposium of Frequency Control, 1976).
Ferner kann die Masseänderung des Resonators durch Entfernung von Material erzielt werden, beispielsweise durch Abrieb (zum Beispiel bei der Methode entsprechend denArtikel von J. Engdahl, "32kHz Quartz crystal unit for high precision wrist-watch", in Proc. of the 29th Annual Symposium of Frequency Control, 1975), durch Verdampfung mit Hilfe eines Laserstrahls (vgl. die folgenden Artikel : J.M. Staudte, "Subminiature quartz tuning fork resonator", in Proc. of the 27th Annual Symposium of Frequency Control, 1973 und J.H. okanson, "Laser machining thin film electrode arrays on quartz crystal substrates", in Proc.
of the 23rd Annual Symposium of Frequency Control, 1969), oder durch chemische Ätzungsverfahren (beispielsweise das Verfahren beschrieben von D. Hugsen, "A method of angle correction", in Proc. of the 30th Annual Symposium of Frequency Control, 1976).
Die Masseänderung des Resonators kann insbesonderein zwei punktförmigen Bereichen erfolgen, die zueinander symmetrisch in Bezug auf mindestens ein Zentrum, eine Achse oder eine Hauptebene der Platte liegen.
Die vorJ igende Erfindung wird nachsteherd anhand von Ausführungsbeispielen und unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnurlgen näher beschrieben. ln den Zeichnungen zeigen Figur 1 eine Quarzplatte vom GT-Schnitt Eigul- 2 eine Draufsicht eines Resonators mit einem Koordinaten-System zur Definition des Bereiches der Massenänderung Die Figuren 3A und 3B die Abhängigkeit des Temperaturkoeffizienten erster Ordnung der Resonanz frequenz des Resonators und der relativen Frequenz änderung von der Stelle der Masseänderung auf dem Resonator.
Die Figuren 3C und 3D die Abhängigkeit des Temperaturkoeffizienten erster Ordnung von der Stelle der Masseänderung auf dem Resonator normalisiert auf eine Frequenzänderung der GT-Scllwingung von 1 I)/oo; Figur 4 einen mit Hilfe des erfindungsgemässen Verfahrens eingestellten Quarzkristall-Resonator vom GT-Schnitt auf seinem Trägerteil Figur 5A eine perspektivische Ansicht eines Resonators nach Entfernung von Material in einem seiner Eckbereiche zur Einstellung der thermischen Eigenschaften Figur 5B eine perspektivische Ansicht eines Resonators nach gleichzeitiger Einstellung des Temperaturkoeffizienten und der Resonanzfrequenz ; Figur 5C eine perspektivische Ansicht eines Resonators nach aufeinanderfolgender Einstellung des Temperaturkoeffizienten und der Frequenz Figur 6 eine schematische Draufsicht auf das Werk einer Armbanduhr mit einem Quarzkristall-Resonator entsprechend Figur 4 und Figur 7 die Abhängigkeit des Temperaturkoeffizienten erster Ordnung der Resonanzfrequenz von der relativen Frequenzänderung.
In Figur 1 zeigen X, Y und Z jeweils die elektrische, mechanische und optische Achse eines Quarzkristalls. Eine erste Drehung des Achssystems um die X-Achse über einen WinkelO von etwa 51° ergibt einAchssystem X, Y', Zl . Eine zweite Drehung des Achssystems X, Y', Z1 um die Y'-Achse über einen Winkel von 450 ergibt ein orthogonales Bezugsystem X', Y', Z'. Die Quarzplatte 1 ist so aus einem Kristall mit den Achsen X,Y und Z herausgeschnitten, darms seine Länge parallel zur Achse Z', seine Breite parallel zur Achse X', und seine Dicke parallel zur Achse Y' liegen, wobei diese wie oben definiert sind.
Die Wahl der Schnittwinkel undeinesVerhältnisses der Hauptabmessungen Breite/Länge zwischen 0,8 und 0,9 erlaubt es, ausgehend von der Platte 1, einen GT-Resonator herzustellen, der Längsschwingungen in seinen Hauptrichtungen ausführt und dessen Temperaturkoeffizienten erster und zweiter Ordnung der Resonanz frequenz nahezu gleich Null sind.
Der Temperaturkoeffizient zweiter Ordnung (, der im wesentlichen vom Wahl des Winkels G abhängt, ist bei gegebenem Breiten/ Längenverhältnis der Platte relativ leicht auf Null zu bringen, Dagegen ist der Temperaturkoeffizient erster Ordnung der Frequenz enger mit diesem Abmessungsverhältnis verbunden und sehr empfindlich gegen jede Änderung desselben.
Durch eine kleine örtliche Massenänderung des Resonators durch Hinzufügen oder Entfernen von Material, bewirkt man eine Änderung der Verteilung der kinetischen und der potentiellen Energie des Resonators und dadurch seiner Schwingungsfrequenz und seiner thermlscw' n Eigenschaften.
Figur 2 zeigt einen Resonator in Form einer rechteckigen Platte, deren grosse Seiten mit a und a' bezeichnet sind und die Länge a haben und deren kleine Seiten mit b und b' bezeicilnet sind und die Länge b haben. R bezeichnet die Achse entlang der Seite a und S die Achse entlang der Seite b.
Um die Darstellung zu vereinfachen und nachdem die Platte nahezu quadratisch ist, wird die Lage eines Massepunktes durch die normalisierten Koordinaten 2x/a entlang der R-Achse und 2x/b entlang der S-Achse angegeben.
Wenn die Masse des Resonators von Figur 2 entlang der Achse verändert wird, so ändert sich einerseits der Temperaturkoeffizient erster Ordnung α und die Resonanzfrequenz gemäss den beiden in Figur 3A dargestellten Kurven. Dabei stellen So die Änderungen des Temperaturkoel:tLzienten erster Ordnung und - Af/f die relativen Frequenzänderungen des Resonators dar. In analoger Weise ist in Figur 3B der Verlauf der entsprechenden Änderungen bei einer Masseänderung entlany der S-Achse dargestellt.
Eine punktförmige Masse, die in den Mitten A und A' der Seiten a und a' der in Figur 2 dargestellten Plate hinzugefügt wird, bringt eine negative Änderung von ot und eine negative Änderung von f mit sich. Wird beispielsweise eine Masse von 15 Mikrogramm, welche ungefähr 3 O/oo der Gesamtmasse einer Platte von 0,15 x 3,4 x 3,9 mm³ entspricht, auf die beiden Punkte A und A' verteilt, so ergibt sich eine Änderung von ungefähr -2 . 10-6/°C und eine Frequenz änderung von ungefähr -2,5 . 10-3.
Eine punktförmige Masse welche in den Mitten B und B' der Seiten b und b' der Platte von Figur 2 hinzugefügt wird, bringt eine Änderung des Temperaturkoeffizienten erster Ordnung im negativen Sinn und praktisch keine Veränderung der Frequenz des Resonators mit sich. Beispielsweise stellt man im obigen Beispiel bei einer gleichen Masse von l9Mikrogramm , die auf die beiden Punkte B und B' verteilt wird, eine Änderung von d gleich -1 . 10-6/°C fest, während die Frequenzänderung praktisch Null ist.
Eine punktförmige Masse,welche in den vier Ecken einer Platte hinzugefügt wird, bringt eine positive Änderung des Temperaturkoeffizienten erster Ordnung und eine negative Änderung der Resonanzfrequenz mit sich. Beispielsweise stellt man beim Hinzufügen wieder einer gleichen Masse von 15 Mikrogramm entsprechend obigem Beispiel, aber verteilt auf die vier Ecken der Platte, eine Änderung des Temperaturkoeffizienten erster Ordnung von 4 . 10-6/°C und eine Frequenz änderung von -1,5 . 10-3 fest.
Es hat sich herausgestellt, dass die Änderungen des Temperaturkoeffizienten erster Ordnung « besonders gross sind, wenn man die Masse des Resonators in seinen Ecken ändert. Daher lässt sich die Einstellung der thermischen Eigenschaften und insbesondere das auf Null Bringen des Temperaturkoeffizienten erster Ordnung äusserst wirksam durch eine punktförmige Massenänderung in den Winkeln der Platte bewerkstelligen. Diese Bereiche sind zudem dafür besonders gut geeignet, da sie die einzigen sind, die keine potentielle Energie aufweisen und daher die Änderung der Masseverteilung den Gütefaktor und die Alterungseigenschaften des Resonators nicht beeinflusst.
Die Änderungen des Temperaturkoeffizienten zweiter Ordnung ist welche durch die Masseänderungen des Resonators hervorgerufen werden, sind verhältnismässig gering und zwar in der Grössen--9 von 2 ordnung von 10 / c Andererseits hat man festgestellt, dass man ähnliche Ergebnisse mit umgekehrtem Vorzeichen erhält, wenn man statt Material hinzuzufügen solches entfernt, beispielsweise auf den Seiten oder in den Winkeln der Platte.
Das ptnkLLormige Hinzufügen oder Entfernen von kleinen Massemengen verändert ausser den Temperaturkoeffizienten auch die Resonanzfl-equenz des Resonators. Die Einstellung der thermischen Eigenscfiaften kann daher gleichzeitig zu einer Korrektur der Frequenz verwendet werden oder es kann die Einstellung in aufeinander folgenden Verfahrensschritten erfolgen. Im letzteren Fall wird zunächst durch geeignete Wahl der punktförmigen Bereiche und der Materialmenge die hinzugefügt oder weggenommen wird eine Einstellung der Temperaturkoeffizienten vorgenommen und in einem zweiten Schritt die Frequenz eingestellt, ohne die thermischen Eigenschaften zu beeinflussen.
Die Abhängigkeit des Teinperaturkoeffizienten erster Ordnung, die in den Figuren 3A und 3B dargestellt ist , zeigt, dass auf jeder Seite der Platte ein Punkt besteht, für den der Temperaturkoeffizient erster Ordnung unveränderlich ist, wodurch eine entsprechellde punktförmige Massenänderung lediglich die Frequenz des Resonators beeinflusst.
Andererseits ermöglicht die Kenntnis der Änderungen des Temperaturkoeffizienten erster Ordnung und der Frequenz, welche zu einem völligen Abgleich des Resonators führen, die örtlichen Bereiche zu bestimmen, in denen das Verhältnis der Änderungen dieser beiden Grössen dem Verhältnis der vorzunehmenden Änderungen entspricht. Eine geeignete Änderung der Masse in diesem Bereich erlaubt dann, die Einstellung des Resonators in einem einzigen Verfahrensschritt vorzunehmen.
Die Figuren 3C und 3D zeigen die Änderung von « normalisiert auf eine Frequenzänderung der GT-Schwinguny von 1 /ooo, Wenn beispielsweise die vollständige Einstellung eines Resonators eine Verringerung seiner Frequenz um 3 o/oo zusammen mit einer Erhöhung von um 1,5 . 10-6/°C erfordert, so bestimmt man die Stelle, an der Material hinzugefügt werden muss, durch Eintragung in den Figuren 3C und 3D von horizontalen Linien entsprechend hdK = 0,5 . l06/0c (d.h. 1,5 . 10 /3ì. Es ergeben j eh somit zwei mögliche Stellen, nämlich bei 62 w der Läne entlang der Achse und bei 37 % der Breite entlang der S-Achse. Die erstere Lösung ist vorteilhafter, da genauer und mit geringerer Masseänderung durchführbar.
Figur 4 zeigt einen Quarzkristall-Resonator vom (,T-Typ, welcher nach denl}.eschriebenen Verfahren einyestellt ist. Er weist eine rechteckige Platte 41 auf, welche senkrecht in Bezug auf einen Trägerteil 42 angeordnet ist. Aufhängedrähte 43 sind senkrecht zur Platte 41 im Schwerpunkt derselben angeschweisst und werden ihrerseits durch Leiterdrähte, welche den Trägerteil 42 in Durch@@ührungen 45 durchqueren, getragen. Im praktischen Einsatz wird der Resonator in einem Gehäuse untergebracht, wie in Figur 6 gezeigt.
Zur breiteren Veranschaulichuncll des erfindungsgemässen Verfahrens, sei der Fall eines GT-Resonators mit einer Resonanzfrequenz von 1 MIIz und den Abmessungen 3,3 mm x 3,8 mm x 0,2 mm betrachtet. Wenn sein Temperaturkoeffizient erster Ordnung beispielsweise +5 . 10-7/°C beträgt, so kann dieser durch Entfernung von Material in einem oder mehreren Eckbereichen erfolyen. Die Frequenzänderung der GT-Schwingung welche einer solchen Materialentfernung entspricht beträgt -4 ( # f/f)G# = + 2,5 . t0 entsprechend einer entfernten Gesamtmasse # m ; # m/ #MQuarz = 9,5 . 10-5 oder # m =0, 63 µg (Quarz von 2,4 . 10-4 mm3). Diese Masseentfernung kann in einem einzigen Eckbereich erfolyen oder auf mehrere Eckenbereiche verteilt werden. Es ist zu bemerken, dass solange die Abweichung des Temperaturkoeffizienten erster Ordnung nicht zu gross ist, d.h. praktisch kleiner als 3 bis 4 . 10-6/°C, eine gute lineare Abhängigkeit zwischen #α und dem gesamten #m besteht. Wenn die Entfernung oder das Hinzufügen von Material auf mehrere Ecken verteilt werden, so ist die Differenz der Gesamtmasse in Betracht zu ziehen.
Eigur 5R zeigt eine GT-Platte 61 mit Trägerdrähten 62, wobei eine Ecke 63 zur Einstellung der thermischen Eigenschaften einer Masseverringerung unterworfen wurde.
Figur 513 zeigt eine CT-Platte 64 mit Aufhängedrähten 65, wobei die Frequenz und die thermischen Eigenschalten gleichzeitig durch l[inzuEüyen von Material an der Stelle 66 eingestellt wurden, wobei diese Stelle gemäss den Figuren 3C und 3D bestimmt wurde.
Figur 5# zeigt eine GT-Platte 67 mit Aufhängedrähten 68, bei der die thermischen Eigenschaften und die Frequenz nacheinander eingestellt wurden. Die thermischen Eigenschaften wurden durch hinzufügen einer Masse 69 in einer der Ecken eingestellt und die Einstellung der Frequenz daraufhin durch Hinzufügen einer weiteren Masse 70 vorgenommen, und zwar in einer der Stellen, wo die EmpfindLichkeit des Temperaturkoeffizienten gegenüber einer solchen Massenänderung Null ist, das heisst auf einer Abszisse x/2a = 0,47, woraus sich eine Entfernung von der 1 - 0,47 nächstgelegenen Ecke von # 3,8 mm = 1 mm ergibt.
2 Figur 6 zeigt schematisch das Werk einer Armbanduhr, die mit einem Quarzkristall-Resonator wie dem in Figur 4 gezeigten bestückt ist. Es weist eine isolierende Platte 51,vorzugsweise aus Keramik auf, die als Träger für die wichtigsten Bauelemente der Ui.r dient. Sie trägt insbesondere einen Quarz-Resonator in seinem Gehäuse 52, einen Frequenzabstimmungs-Kondensator 53, ein Gehäuse 54 mit den integrierten Schaltungen, insbesondere der Oszillatorschaltung des Resonators,einer Frequenzteilerkette und einem Steuerkreis für einen Schrittmotor, eine Batterie 55, die durch eine Brücke 56 festgehalten wird, wobei diese ihrerseits durch Schrauben 57 ani nicht dargestellten Uhrengehäuse befestigt ist und diese Schrauben gleichzeitig zur Be festigung der Trägerplatte 51 dienen. Der Steuerkreis für den Schrittmotor, der zur Anzeige mittels Zeigern notwendig ist, wird im Fall einer Anzeige durch Flüssikristall-Eleente oder Lumineszenzdioden durch einen entsprechenden Dekodierungs-und Steueikreis ersetzt. Die keramische Trägerplatte 51, die zwei weitere Befestigungsschrauben 58 aufweist, trägt Anschlusstei Je 59, die direkt auf dem keramischen Material dadurch Metaliisierung aufgebracht werden können, und zur Befestigung einzelner Komponenten, wie dem Quarzkristall-Resonator 52, dem Kondensator 53 und einer der Anschlussklemmen der Batterie 55, dienen. Metallisierte Bohrungen 60 stellen den Kontakt mit metallisierten Verbindungsteilen auf der anderen Seite der Trägerplatte her.
Figur 7 zeigt die lineare Abhängigkeit der Änderung des Temperaturkoeffizienten X von der relativen Änderung der Frequenz. Die in punktförmigen BereichendeJ Resonators vorgenommenen Masseänderungen sind praktisch nicht direkt messbar. Diese Masseänderungen bewirken jedoch eine messbare Änderung der Frequenz, aus der die entsprechende Änderung des Temperaturkoeffizienten erster Ordnung « abgeleitet werden kann. Man setzt die Masseänderung solange fort, bis eine genügend roste Änderung des Temperaturkoeffizienten erster Ordnung erreicht ist, um diesen Koeffizienten auf Null bringen.
Das erfindungsgemässe Verfahren erlaubt die Serienherstellung eines Quarzkristail-Resonators vom GT-Schnitt, der für seine guten thermischen Eigenschaften bekannt ist und der genügend kleine Abmessungen aufweist, um in einer Armbanduhr Verwendung zu finden. Das Verfahren kann jedoch selbstverständlich auch für andere Resonator-Typen in Plattenform verwendet werden, deren thermische Eigenschaften durch örtlich begrenzte Massenänderungen verändert werden können.

Claims

1> a t e n t a n 5 p r c h e Verfahren zur Einstelln der Eigenschaften eines plattenförffligen, parallel zur Plattenebene Länysschwingungen ausführenden Quarzkristall-Resorlators, dadurch qekennzeichnet, dass man die Masse des Resonators in mindestens einem Bereich von gegenüber der gesamten Plattenoberfläche kleiner Oberfläche verändert, wobei dieser Bereich am Plattenrand oder in dessen naher Umgebung gelegen ist, derart, dass die Temperaturkoeffizienten der Resonanzfrequenz des Resonators geändert werden, ohne dass die Abmessungen der Platte eine änderung erfahren.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass man in einem ersten Verfahrensschritt die Masse des Resonators in mindestens einem ersten Bereich derart verändert, dass der Temperaturkoeffizient erster Ordnung der Resonanz frequenz Null wird und dass man in einem zweiten Verfahrensschritt die Masse des Resonators in mindestens einem zweiten, vom ersten verschiedenen Bereich ändert, so dass die Resonanzfrequenz des Resonators geändert wird, ohne dass die thermischen Eigenschaften desselben merkbar verändert werden.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass man die Masse des Resonators in einem Bereich ändert, dessen Lage zuvor derart bestimmt wurde, dass die Masseänderung den Temperaturkoeffizienten erster Ordnung der Resonanzfrequenz auf Null reduziert und eine Änderung dieser Resonanzfrequenz bewirkt.

4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die genannte Platte eine rechteckige Form aufweist.

5. Verfahren nach lirlspr-uch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Resonator einen Quarziristall vom CT-Schnitt aufweist, dessen Breiten/Längenverhältnis zwischen 0,8 und 0,9 liegt.

6. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Masseänderung in mindestens einem der Eckbereiche des Resonators erfolgt.

7. Ver fahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Masseänderung durch Materl alzugabe erfolgt.

8. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Masseänderung durch Entfernung von Material erfolgt.

9. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Masseänderung des Resonators durcii Materj.alab lagerung aus der gasförmiqen Phase desselben bewirkt.

10. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Masseänderung des Resonators durch Materialablagerung auf chemischem Weg erfolgt.

11. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Materialentfernung durch Abrieb erfolgt.

12. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass man die Materialentfernung durch Verdampfung mit Hilfe eines Laserstrahls erzielt.

13. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass man die Materialentfernung durch chemischen Angriff erzielt.

14. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass man die Masseänderung des Resonators in mindestens zwei punktförmigen Bereichen vornimmt, die zueinander symmetrisch in Bezug auf mindestens ein Zentrum, eine Achse oder eine Hauptebene der Platte liegen.

15. Quarzkristall-Resonator dessen thermische Eigenschaften mit llilfe des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 14 eíngestellt- sind.

16. Elektrische Armbanduhr mit einem Quarzkristall-Resonator nach Anspruch 15.