DE102017209185A1 - Ausdehnungsfolie, Herstellungsverfahren für eine Ausdehnungsfolie und Verfahren zum Ausdehnen einer Ausdehnungsfolie - Google Patents

Ausdehnungsfolie, Herstellungsverfahren für eine Ausdehnungsfolie und Verfahren zum Ausdehnen einer Ausdehnungsfolie Download PDF

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Abstract

Eine Ausdehnungsfolie, die dazu angepasst ist, durch eine Ausdehnungsvorrichtung in dem Zustand gehalten und ausgedehnt zu werden, in dem ein plattenähnliches Werkstück an der Ausdehnungsfolie angebracht ist, ist bereitgestellt. Die Ausdehnungsvorrichtung beinhaltet eine erste Halteeinheit und eine zweite Halteeinheit, die einander gegenüberliegen, wobei das Werkstück dazwischen in einer ersten Richtung eingefügt ist. Die erste Halteeinheit und die zweite Halteeinheit sind in der ersten Richtung voneinander wegbewegbar. Die Ausdehnungsvorrichtung beinhaltet ferner eine dritte Halteeinheit und eine vierte Halteeinheit, die einander gegenüberliegen, wobei das Werkstück dazwischen in einer zweiten Richtung senkrecht zu der ersten Richtung eingefügt ist. Die dritte Halteeinheit und die vierte Halteeinheit sind in der zweiten Richtung voneinander wegbewegbar. Die Ausdehnungsfolie weist einen umfänglichen Bereich um das Werkstück auf, in dem die Ausdehnungsfolie dazu angepasst ist, durch die erste, zweite, dritte und vierte Halteeinheit gehalten zu werden. Die Ausdehnungsfolie beinhaltet eine Basisfolie und eine haftvermittelnde Schicht, die an der Basisfolie ausgebildet ist, wobei die haftvermittelnde Schicht eine Haftvermittlung aufweist, die dazu angepasst ist, durch Aufbringen von ultraviolettem Licht reduziert zu werden. Die Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht in dem umfänglichen Bereich der Ausdehnungsfolie ist geringer als die in dem anderen Bereich der Ausdehnungsfolie.

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Ausdehnungsfolie, die dazu angepasst ist, in dem Zustand ausgedehnt zu werden, in dem ein Werkstück an der Ausdehnungsfolie angebracht ist, und betrifft auch ein Herstellungsverfahren für eine Ausdehnungsfolie und ein Verfahren zum Ausdehnen einer Ausdehnungsfolie.
  • Beschreibung des Stands der Technik
  • Als ein Verfahren zum Teilen eines plattenähnlichen Werkstücks wie einem Halbleiter-Wafer in mehrere Chips, wurde ein Bearbeitungsverfahren praktisch eingesetzt, das die Schritte des Fokussieren eines Laserstrahls in dem Werkstück, um dadurch eine modifizierte Schicht (modifizierten Bereich) in dem Werkstück auszubilden, und danach des Aufbringens einer äußeren Kraft auf dem Werkstück, um das Werkstück entlang der modifizierten Schicht zu teilen, beinhaltet (siehe zum Beispiel japanische Offenlegungsschrift Nr. 2002-192370 ). In diesem Bearbeitungsverfahren wird eine Ausdehnungsfolie, die an einem Werkstück angebracht ist, ausgedehnt, um dadurch eine äußere Kraft auf dem Werkstück aufzubringen, wodurch das Werkstück in mehrere Bauelementchips geteilt wird.
  • Als ein anderes Verfahren wurde ein Bearbeitungsverfahren vorgeschlagen, dass eine äußere Kraft verwendet, die auf dem Werkstück beim Schleifen oder Polieren des Werkstücks aufgebracht wird, nachdem eine modifizierte Schicht in dem Werkstück ausgebildet wird, wodurch das Werkstück entlang der modifizierten Schicht in mehrere Chips geteilt wird (siehe zum Beispiel PCT Anmeldung Nr. WO2003/77295 ). Nach dem Teilen des Werkstücks in mehrere Chips in diesem Bearbeitungsverfahren wird die Ausdehnungsfolie, die an dem Werkstück angebracht ist, ausgedehnt, um einen Abstand zwischen benachbarten der mehreren Chips zu erhöhen. In diesem Fall ist es möglich, eine Beschädigung von jedem Chip aufgrund eines Kontakts mit den benachbarten Chips beim Handhaben von jedem Chip später zu verhindern.
  • In jüngster Zeit wurde eine Ausdehnungsvorrichtung in der Praxis eingesetzt, die dazu in der Lage ist, eine Ausdehnungsfolie in der in den gewünschten Richtungen (siehe zum Beispiel japanische Offenlegungsschrift Nr. 2014-22382 ) auszudehnen. Die Ausdehnungsvorrichtung beinhaltet eine erste Halteeinheit (erstes Haltemittel) und eine zweite Halteeinheit (zweites Haltemittel), die einander gegenüberliegen, wobei ein Werkstück zwischen diesen in einer ersten Richtung im Wesentlichen parallel zu der Ausdehnungsfolie in dem Zustand eingeführt ist, in dem das Werkstück an der Ausdehnungsfolie angebracht ist. Die Ausdehnungsvorrichtung beinhaltet ferner eine dritte Halteeinheit (drittes Haltemittel) und eine vierte Halteeinheit (viertes Haltemittel), die einander gegenüberliegen, wobei das Werkstück dazwischen in einer zweiten Richtung senkrecht zu der ersten Richtung in einer Ebene parallel zu der Ausdehnungsfolie ein geschoben ist. Die erste Halteeinheit und die zweite Halteeinheit sind in der ersten Richtung voneinander wegbewegbar und die dritte Halteeinheit und die vierte Halteeinheit sind in der zweiten Richtung voneinander wegbewegbar. Diese vier Halteeinheiten werden betätigt, um vier Bereiche der Ausdehnungsfolie zu halten. Danach werden die erste Halteeinheit und die zweite Halteeinheit in der ersten Richtung voneinander wegbewegt und die dritte Halteeinheit und die vierte Halteeinheit werden in der zweiten Richtung voneinander wegbewegt, sodass die Ausdehnungsfolie in beide in der ersten Richtung und der zweiten Richtung ausgedehnt werden kann.
  • DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
  • Die Ausdehnungsfolie weist eine haftvermittelnde Schicht auf, die eine Haftvermittlung an der oberen Oberfläche (oder unteren Oberfläche) aufweist. Entsprechend, wenn beide Seiten der Ausdehnungsfolie, welche die haftvermittelnde Schicht aufweist, durch jede Halteeinheit gehalten werden, existiert die Möglichkeit, dass die Ausdehnungsfolie später nicht von der Halteeinheit entfernt werden kann.
  • Es ist darum ein Ziel der vorliegenden Erfindung eine Ausdehnungsfolie bereitzustellen, die einfach von jeder Halteeinheit der Ausdehnungsvorrichtung entfernt werden kann.
  • Ist ein anderes Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Herstellungsverfahren für diese Ausdehnungsfolie bereitzustellen.
  • Es ist ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung ein Ausdehnungsverfahren für diese Ausdehnungsfolie bereitzustellen.
  • In Übereinstimmung mit einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Ausdehnungsfolie bereitgestellt, die dazu angepasst ist, durch eine Ausdehnungsvorrichtung in dem Zustand gehalten und ausgedehnt zu werden, indem ein plattenähnliches Werkstück an der Ausdehnungsfolie angebracht ist, wobei die Ausdehnungsvorrichtung eine erste Halteeinheit und eine zweite Haltereinheit beinhaltet, die einander gegenüberliegen, wobei das Werkstück dazwischen in einer ersten Richtung eingeschoben ist, die erste Halteeinheit und die zweite Halteeinheit in der ersten Richtung voneinander wegbewegbar sind, die Ausdehnungsvorrichtung ferner eine dritte Halteeinheit und eine vierte Halteeinheit, die einander mit dem Werkstück dazwischen eingeschoben in einer zweiten Richtung senkrecht zu der ersten Richtung gegenüber sind, wobei die Ausdehnungsfolie einen umfänglichen Bereich um das Werkstück aufweist, wo die Ausdehnungsfolie dazu angepasst ist, durch die erste Halteeinheit, die zweite Halteeinheit, die dritte Halteeinheit und die vierte Halteeinheit gehalten zu werden; die Ausdehnungsfolie eine Basisfolie beinhaltet; und eine haftvermittelnde Schicht auf der Basisfolie ausgebildet ist, wobei die haftvermittelnde Schicht einen Haftvermittler aufweist, der dazu angepasst ist, durch das Aufbringen von ultraviolettem Licht reduziert zu werden; die Haftvermittlung der haftvermittelnde Schicht in dem umfänglichen Bereich der Ausdehnungsfolie geringer als die Haftvermittlung der haftvermittelnde Schicht in dem anderen Bereich der Ausdehnungsfolie ist.
  • Die Ausdehnungsfolie kann länglich und als eine Folienrolle ausgebildet sein. In diesem Fall wird die Ausdehnungsfolie als die Folienrolle in der ersten Richtung aufgerollt und der umfängliche Bereich der Ausdehnungsfolie beinhaltet mehrere erste Bereiche mit geringer Haftvermittlung, die in gegebenen Abständen in der ersten Richtung angeordnet sind, wobei jeder erste Bereich mit geringer Haftvermittlung sich in der zweiten Richtung über die gesamte Breite der Basisfolie erstreckt und ein Paar zweiter Bereiche mit geringer Haftvermittlung, die sich in der ersten Richtung entlang gegenüberliegender Seitenkanten der Basisfolie erstrecken.
  • In Übereinstimmung mit einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Herstellungsverfahren für eine Ausdehnungsfolie bereitgestellt, die dazu angepasst ist durch eine Ausdehnungsvorrichtung in dem Zustand gehalten und ausgedehnt zu werden, in dem ein plattenähnliches Werkstück an der Ausdehnungsfolie angebracht ist, wobei die Ausdehnungsvorrichtung eine erste Halteeinheit und eine zweite Halteeinheit beinhaltet, die einander gegenüberliegen, wobei das Werkstück dazwischen in einer ersten Richtung eingeschoben ist, die erste Halteeinheit und die zweite Halteeinheit voneinander wegbewegbar in der ersten Richtung ist, die Ausdehnungsvorrichtung ferner einander gegenüberliegend eine dritte Halteeinheit und eine vierte Halteeinheit beinhaltet, mit dem Werkstück in einer zweiten Richtung senkrecht zu der ersten Richtung dazwischen eingeschoben, wobei die dritte Halteeinheit und die vierte Halteeinheit in der zweiten Richtung voneinander wegbewegbar sind, die Ausdehnungsfolie einen umfänglichen Bereich um das Werkstück aufweist, an dem die Ausdehnungsfolie dazu angepasst ist, durch die erste Halteeinheit, die zweite Halteeinheit, die dritte Halteeinheit und die vierte Halteeinheit gehalten zu werden; das Herstellungsverfahren einen Vorbereitungsschritt zum Vorbereiten einer ursprünglichen Ausdehnungsfolie, die eine Basisfolie und eine Haftvermittlerschicht, die auf der Basisfolie ausgebildet ist, aufweist, wobei die Haftvermittlerschicht eine Haftvermittlung aufweist, die dazu angepasst ist, durch ein Aufbringen von ultraviolettem Licht reduziert zu werden; und einen Aufbringungsschritt für ultraviolettes Licht zum selektiven Aufbringen von ultraviolettem Licht auf nur einem umfänglichen Bereich der ursprünglichen Ausdehnungsfolie, der dem umfänglichen Bereich der Ausdehnungsfolie entspricht, wodurch die Haftvermittlung der Haftvermittlerschicht in dem umfänglichen Bereich der ursprünglichen Ausdehnungsfolie im Vergleich zu der Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht in dem anderen Bereich der ursprünglichen Ausdehnungsfolie reduziert wird.
  • In Übereinstimmung mit einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Ausdehnungsverfahren für eine Ausdehnungsfolie bereitgestellt, die eine Basisfolie und eine haftvermittelndes Schicht auf der Basisfolie beinhaltet, wobei die haftvermittelnde Schicht eine Haftvermittlung aufweist, die dazu angepasst ist, durch Aufbringen von ultraviolettem Licht reduziert zu werden, wobei das Ausdehnungsverfahren einen ersten Anbringungsschritt zum Anbringen eines plattenähnlichen Werkstücks auf der Ausdehnungsfolie beinhaltet; einen Halteschritt zum Halten der Ausdehnungsfolie unter Verwendung einer ersten Halteeinheit und einer zweiten Halteeinheit, die einander gegenüberliegen, wobei das Werkstück dazwischen in einer ersten Richtung eingefügt ist, und auch unter Verwendung einer dritten Halteeinheit und einer vierten Halteeinheit auszudehnen, die einander gegenüberliegen, wobei das Werkstück dazwischen in einer zweiten Richtung senkrecht zu der ersten Richtung eingefügt ist, nach oder vor dem Durchführen des ersten Anbringungsschritts; einen Ausdehnungsschritt zum voneinander Wegbewegen der ersten Halteeinheit und der zweiten Halteeinheit in der ersten Richtung und auch voneinander Wegbewegen der dritten Halteeinheit und der vierten Halteeinheit in der zweiten Richtung nach dem Durchführen des ersten Anbringungsschritts und des Halteschritts, wodurch die Ausdehnungsfolie in beide in der ersten Richtung der zweiten Richtung ausgedehnt wird; einen zweiten Anbringungsschritt zum Anbringen eines ringförmigen Rahmens, der eine innere Öffnung aufweist, die größer als die Größe des Werkstücks ist, an der Ausdehnungsfolie in dem Zustand, in dem das Werkstück in der inneren Öffnung des ringförmigen Rahmens eingesetzt ist, nach dem Durchführen des Ausdehnungsschritts; einen Schneidschritt zum Schneiden der Ausdehnungsfolie entlang des ringförmigen Rahmens nach dem Durchführen des zweiten Anbringungsschritts; und einen Aufbringungsschritt für ultraviolettes Licht zum selektiven Aufbringen von ultraviolettem Licht an nur einem umfänglichen Bereich der Ausdehnungsfolie, in dem die Ausdehnungsfolie dazu angepasst ist, durch die erste Halteeinheit, die zweite Halteeinheit, die dritte Halteeinheit und die vierte Halteeinheit gehalten zu werden, vor dem Durchführen des Halteschritts, wodurch die Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht in dem umfänglichen Bereich der Ausdehnungsfolie im Vergleich mit der Haftvermittlung der haftvermittelndes Schicht in dem anderen Bereich der Ausdehnungsfolie reduziert ist.
  • Bei der Ausdehnungsfolie entsprechend der vorliegenden Erfindung ist die Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht in dem umfänglichen Bereich, der durch die erste Halteeinheit, die zweite Halteeinheit, die dritte Halteeinheit und die vierte Halteeinheit gehalten wird, geringer als in dem anderen Bereich der Ausdehnungsfolie. Entsprechend kann die Ausdehnungsfolie einfach von jeder Halteeinheit entfernt werden.
  • In dem Herstellungsverfahren für die Ausdehnungsfolie entsprechend der vorliegenden Erfindung wird ultraviolettes Licht selektiv auf der haftvermittelnden Schicht nur in einem umfänglichen Bereich der ursprünglichen Ausdehnungsfolie entsprechend dem umfänglichen Bereich der Ausdehnungsfolie als ein Produkt aufgebracht, wodurch die Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht in dem umfänglichen Bereich der ursprünglich Ausdehnungsfolie im Vergleich zu der Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht in dem anderen Bereich der ursprünglichen Ausdehnungsfolie reduziert wird. Entsprechend kann die oben beschriebene Ausdehnungsfolie einfach hergestellt werden. In dem Ausdehnungsverfahren für die Ausdehnungsfolie entsprechend der vorliegenden Erfindung wird ultraviolettes Licht selektiv auf der haftvermittelnden Schicht nur in dem umfänglichen Bereich der Ausdehnungsfolie vor einem Halten der Ausdehnungsfolie in diesem umfänglichen Bereich unter Verwendung der ersten, zweiten, dritten und vierten Halteeinheit aufgebracht, wodurch die Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht in diesem umfänglichen Bereich im Vergleich zu der Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht in dem anderen Bereich reduziert wird. Entsprechend kann die Ausdehnungsfolie einfach von jeder Halteeinheit nach einem Ausdehnen der Ausdehnungsfolie entfernt werden.
  • Das obige und andere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Weise des Realisierens dieser wird klarer und die Erfindung selbst am besten durch ein Studieren der folgenden Beschreibung beigefügten Ansprüche mit Bezug zu den angehängten Figuren, die eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung zeigen, verstanden.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER FIGUREN
  • 1A ist eine schematische Ansicht einer Ausdehnungsfolie entsprechend einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 1B ist eine schematische Schnittansicht einer Ausdehnungsfolie;
  • 2A und 2B sind schematische Schnittansichten, die ein Herstellungsverfahren für die Ausdehnungsfolie zeigen;
  • 3 ist eine schematische perspektivische Ansicht, die den Zustand zeigt, in dem die Ausdehnungsfolie durch eine Ausdehnungsvorrichtung gehalten wird;
  • 4 ist eine schematische perspektivische Ansicht, die den Zustand zeigt, in dem ein Werkstück an der Ausdehnungsfolie angebracht wurde;
  • 5 ist eine schematische perspektivische Ansicht, die den Zustand zeigt, in dem die Ausdehnungsfolie durch die Ausdehnungsvorrichtung ausgedehnt wurde;
  • 6 ist eine schematische perspektivische Ansicht, die den Zustand zeigt, in dem ein ringförmiger Rahmen an der Ausdehnungsfolie angebracht wurde;
  • 7 ist eine schematische perspektivische Ansicht, die den Zustand zeigt, in dem die Ausdehnungsfolie entlang dem ringförmigen Rahmen geschnitten wurde;
  • 8 ist eine schematische spezifische Ansicht, die den Zustand zeigt, in dem ultraviolettes Licht auf einem Abschnitt der Ausdehnungsfolie aufgebracht wird;
  • 9 ist eine schematische Schnittansicht, die den Zustand zeigt, in dem jeder Chip von dem Abschnitt der Ausdehnungsfolie abgenommen wird; und
  • 10 ist eine schematische perspektivische Ansicht, die eine Ausdehnungsfolie entsprechend einer Modifikation dieser bevorzugten Ausführungsform zeigt.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
  • Eine bevorzugte Ausführungsform der Ausdehnungsfolie in Übereinstimmung mit der Erfindung wird jetzt mit Bezug zu den angehängten Figuren beschrieben. 1A ist eine schematische perspektivische Ansicht einer Ausdehnungsfolie 1 entsprechend dieser bevorzugten Ausführungsform und 1B ist eine schematische Schnittansicht der Ausdehnungsfolie 1, die in 1A gezeigt ist. Wie in 1A und 1B gezeigt, beinhaltet die Ausdehnungsfolie 1 eine Basisfolie 3, die eine erste Oberfläche (Oberfläche) 3a und eine zweite Oberfläche (untere Oberfläche) 3b aufweist. Eine haftvermittelnde Schicht 5 ist an einer ersten Oberfläche 3a der Basisfolie 3 ausgebildet. Die Basisfolie 3 ist aus einem Kunststoff wie Polyolefin oder Polyvinylchlorid ausgebildet. Die Basisfolie 23 ist in ihrer Aufsicht rechteckig. Jedoch ist die Form, das Material usw. der Basisfolie 3 nicht beschränkt, unter der Voraussetzung, dass die Basisfolie 3 geeignet unter Verwendung einer Ausdehnungsvorrichtung, die im Folgenden beschrieben wird, ausgedehnt werden kann. Die haftvermittelnde Schicht 5 ist aus einem ultraviolett aushärtenden Kunststoff, der durch ultraviolettes Licht ausgehärtet werden kann, ausgebildet, wobei die Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht 5 der Ausdehnungsfolie 1 in einem umfänglichen Bereich, der durch die Ausdehnungsvorrichtung gehalten wird, geringer als die in dem anderen Bereich gesetzt ist. Beispiele des ultraviolett aushärtenden Kunststoffs beinhalten Acrylkunststoff und Gummikunststoff. Mit anderen Worten, der umfängliche Bereich der Ausdehnungsfolie 1, der durch die Ausdehnungsvorrichtung gehalten wird, wird durch einen Bereich A gebildet, der eine geringe Haftvermittlung aufweist, an dem die Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht 5 relativ gering ist. Im Gegensatz dazu ist der andere Bereich der Ausdehnungsfolie 1 ein zentraler Bereich, der durch den Bereich A mit geringer Haftvermittlung umgeben ist, und dieser zentrale Bereich wird durch einen Bereich B mit hoher Haftvermittlung gebildet, an dem die Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht 5 relativ groß ist. Durch Aufbringen von ultraviolettem Licht auf dem ultraviolett aushärtenden Kunststoff, der die haftvermittelndes Schicht 5 ausbildet, wird der ultraviolett aushärtende Kunststoff ausgehärtet oder teilweise gehärtet, um dadurch die Haftvermittlung zu reduzieren. Entsprechend unter Ausnutzen dieses Phänomens ist es möglich, die Ausdehnungsfolie 1 auszubilden, die einen Bereich A mit geringer Haftvermittlung und einen Bereich B mit hoher Haftvermittlung aufweist. Die Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht 5 in dem Bereich A mit geringer Haftvermittlung kann vollständig verloren gehen. D. h., dass der Bereich A mit geringer Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht 5 keine Adhäsion aufweisen kann.
  • 2A und 2B sind schematische Schnittansichten, die ein Herstellungsverfahren für die Ausdehnungsfolie 1 zeigen. Beim Herstellen der Ausdehnungsfolie 1 entsprechend dieser bevorzugten Ausführungsform wird zuerst ein Vorbereitungsschritt durchgeführt, um eine ursprüngliche Ausdehnungsfolie vorzubereiten, welche die Basisfolie 3 und die haftvermittelndes Schicht 5 an der ersten Oberfläche 3a der Basisfolie 3, wie in 2A gezeigt, ausgebildet aufweist. Diese ursprüngliche Ausdehnungsfolie ist eine Ausdehnungsfolie, die durch ultraviolettes Licht bearbeitet wird. In diesem Zustand ist die Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht 5 im Wesentlichen gleichmäßig über die gesamte Fläche der ursprünglichen Ausdehnungsfolie.
  • Nach dem Durchführen des Vorbereitungsschritts wird ein Aufbringungsschritt für ultraviolettes Licht durchgeführt, um selektiv ultraviolettes Licht nur an einem umfänglichen Bereich der haftvermittelnden Schicht 5 entsprechend dem Bereich A mit geringer Haftvermittlung, wie in 2B gezeigt, aufzubringen. In dem Aufbringungsschritt für ultraviolettes Licht wird eine Maske 7 zum Blockieren von ultraviolettem Licht eingesetzt, sodass ein zentraler Bereich der haftvermittelnden Schicht 5 entsprechend dem Bereich B mit hoher Haftvermittlung, wie in 2B gezeigt, abgedeckt ist. In dieser bevorzugten Ausführungsform wird die Maske 7 an die zweite Oberfläche (untere Oberfläche) 3b der Basisfolie 3 in den zentralen Bereich entsprechend dem Bereich B mit hoher Haftvermittlung, wie in 2B gezeigt, gesetzt. Entsprechend kann beim späteren Entfernen der Maske 7 die Maske 7 einfach entfernt werden, ohne eine Haftvermittlung an der haftvermittelnden Schicht 5. Indem die Maske 7 wie oben beschrieben gesetzt wird, wird ultraviolettes Licht von einer Lichtquelle 9 durch die Basisfolie 3 auf der haftvermittelnden Schicht 5 aufgebracht. Die Lichtquelle 9 liegt unterhalb der zweiten Oberfläche 3b der Basisfolie 3. Wie oben beschrieben, ist die Maske 7 so gesetzt, dass sie den zentralen Bereich der haftvermittelnden Schicht 5 entsprechend dem Bereich B mit hoher Haftvermittlung abdeckt. Ferner kann die Basisfolie 3 ultraviolettes Licht in dieser bevorzugten Ausführung transmittieren. Entsprechend wird es ultraviolettes Licht, das von der Lichtquelle 9 emittiert wird selektiv auch nur auf dem umfänglichen Bereich der haftvermittelnden Schicht 5 entsprechend dem Bereich A mit geringer Haftvermittlung (der Bereich nicht durch die Maske 7 bedeckt es) aufgebracht. Als ein Ergebnis wird die haftvermittelndes Schicht 5 in dem umfänglichen Bereich ausgehärtet oder teilweise ausgehärtet durch das ultraviolette Licht, das durch die Lichtquelle 9 aufgebracht wird. Danach wird die Maske 7 von der Basisfolie 3 entfernt. In dieser Weise wird die Ausdehnungsfolie 1, wie in 2B gezeigt, hergestellt, wo bei die Ausdehnungsfolie 1 den Bereich A mit geringer Haftvermittlung aufweist, an dem die Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht 5 reduziert wurde und die Haftvermittlung des Bereichs B mit hoher Haftvermittlung wurde nicht reduziert. In dem Fall, dass die Basisfolie 3 kein ultraviolettes Licht transmittiert, kann die Maske 7 an der haftvermittelnden Schicht 5 in ihren zentralen Bereich gesetzt sein und die Lichtquelle 9 kann oberhalb der haftvermittelnden Schicht 5 liegen. Entsprechend wird ultraviolettes Licht direkt von der Lichtquelle 9 auf der haftvermittelnden Schicht 5 aufgebracht. In diesem Fall kann die Oberfläche der Maske 7 vorzugsweise mit Fluorkunststoff behandelt sein, sodass eine Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht 5 verhindert wird.
  • Im Folgenden wird ein Ausdehnungsverfahren für eine Ausdehnungsfolie beschrieben, die das oben genannte Herstellungsverfahren für eine Ausdehnungsfolie 1 als ein Teil des Ausdehnungsverfahrens beinhaltet. Zuerst wird der Vorbereitungsschritt und der Aufbringungsschritt für ultraviolettes Licht des oben beschriebenen Herstellungsverfahrens der Ausdehnungsfolie 1 durchgeführt, um dadurch die Ausdehnungsfolie 1 zu erhalten, die einen Bereich A mit geringer Haftvermittlung aufweist, der an der Ausdehnungsfolie erhalten wird, und einem Bereich B mit hoher Haftvermittlung, der durch den Bereich A mit geringer Haftvermittlung umgeben wird, wobei die Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht 5 in dem Bereich A mit geringer Haftvermittlung geringer als in dem Bereich B mit großer Haftvermittlung ist.
  • Nach dem Durchführen des Aufbringungsschritts für ultraviolettes Licht wird ein Halteschritt durchgeführt, um die Ausdehnungsfolie 1 unter Verwendung einer Ausdehnungsvorrichtung 2, wie in 3 gezeigt, zu halten. 3 ist eine schematische perspektivische Ansicht, die den Zustand zeigt, in dem die Ausdehnungsfolie 1 durch die Ausdehnungsvorrichtung 2 gehalten wurde. In 3 ist auch ein kreisförmiger Bereich C gezeigt, in dem ein plattenähnliches Werkstück 11 (siehe 4) später angebracht werden soll. Wie in 3 gezeigt, beinhaltet die Ausdehnungsvorrichtung 2 eine erste Halteeinheit (erstes Haltemittel) 4 und eine zweite einer Halteeinheit (zweites Haltemittel) 6 einander über die Fläche C gegenüber, d. h., dass das Werkstück 11 dazwischen in einer ersten Richtung D1 im Wesentlichen parallel zu der Ausdehnungsfolie 1 eingefügt ist. Ähnlich beinhaltet die Ausdehnungsvorrichtung 2 ferner eine dritte Halteeinheit (drittes Haltemittel) 8 und eine vierte Halteeinheit (viertes Haltemittel) 10 einander über die Fläche C gegenüber, die dazwischen in einer zweiten Richtung D2 im Wesentlichen parallel zu der Ausdehnungsfolie 1 senkrecht zu der ersten Richtung D1 eingefügt ist. Die erste Halteeinheit 4 die zweite Halteeinheit 6 sind einander durch jeweilige horizontale Bewegungsmechanismen (nicht gezeigt) getragen, sodass sie in der ersten Richtung D1 voneinander wegbewegt werden können. Ähnlich sind die dritte Halteeinheit 8 und die vierte Halteeinheit 10 durch jeweilige horizontale Bewegungsmechanismus (nicht gezeigt) getragen, sodass sie in der zweiten Richtung D2 voneinander wegbewegt werden können.
  • Jede die erste Halteeinheit 4, die zweite Halteeinheit 6, die dritte Halteeinheit 8 und die vierte Halteeinheit 10 beinhalten ein oberes Trägerelement 12, das dazu angepasst ist, oberhalb der Ausdehnungsfolie 1 gesetzt zu werden (oberhalb der haftvermittelnden Schicht 5), und ein unteres Trägermittel 14, das dazu angepasst ist, unterhalb der Ausdehnungsfolie 1 gesetzt werden (unterhalb der zweiten Oberfläche 3b der Basisfolie 3). Jedes das obere Trägerelement 12 und das untere Trägerelement 14 sind Balkenähnliche Elemente, die sich in einer vorbestimmten Richtung erstrecken und eine Länge aufweisen, die größer als der Durchmesser des kreisförmigen Bereichs C ist. Insbesondere erstrecken sich das obere Trägerelement 12 und das untere Trägerelement 14, die in jedem der ersten und zweiten Halteeinheit 4 und 6 beinhaltet sind, in der zweiten Richtung D2, wohingegen das obere Trägerelement 12 und das untere Trägerelement 14, die in der dritten und vierten Halteeinheit 8 10 beinhaltet sind, sich in der ersten Richtung D1 erstrecken. Mehrere Kontaktelemente 16 sind an jedem oberen Trägerelement 12 an der unteren Seite davon montiert. Ähnlich sind mehrere Kontaktelemente 16 an dem unteren Trägerelement 14 an der oberen Seite davon montiert. Jedes Kontaktelement 16 ist ein zylindrisches Element, das drehbar um seine Achse in dem Zustand ist, in dem es in Kontakt mit der Ausdehnungsfolie 1 ist. Die Drehachsen der mehreren Kontaktelemente 16, die in jeder der ersten und zweiten Halteeinheit 4 und 6 beinhaltet sind, sind parallel zu der ersten Richtung D1, wohingegen die Drehachsen der mehreren Kontaktelemente 16, die in jeder der dritten und vierten Halteeinheit 8 und 10 beinhaltet sind, parallel zu der zweiten Richtung D2 sind.
  • Beim Halten der Ausdehnungsfolie 1 unter Verwendung der Halteeinheiten 4, 6, 8 und 10 wird der Bereich A mit geringer Haftvermittlung der Ausdehnungsfolie 1 zwischen dem oberen Trägerelement 12 und dem unteren Trägerelement 14 von jeder Halteeinheit, wie in 3 gezeigt, gehalten (eingeklemmt). Mit anderen Worten, der Bereich A mit geringer Haftvermittlung, der den Bereich B mit hoher Haftvermittlung umgibt, der Ausdehnungsfolie 1 wird durch die erste Halteeinheit 4, die zweite Halteeinheit 6, die dritte Halteeinheit 8 und die vierte Halteeinheit 10 in einer solchen Weise gehalten, dass die mehreren Kontaktelemente 16 einer jeden Halteeinheit in Kontakt mit dem Bereich A mit geringer Haftvermittlung der Ausdehnungsfolie 1 kommen.
  • Nach dem Durchführen des Halteschritts wird ein erster Anbringungsschritt durchgeführt, um das plattenähnliche Werkstück 11 an der Ausdehnungsfolie 1, wie in 4 gezeigt, anzubringen. 4 ist eine schematische perspektivische Ansicht, die den Zustand zeigt, in dem das Werkstück 11 an der Ausdehnungsfolie 1 angebracht wurde. In dieser bevorzugten Ausführungsform ist das Werkstück 11 ein kreisförmiger Wafer, der aus einem Halbleiter wie Silizium ausgebildet ist. Das Werkstück 11 weist eine erste Oberfläche (vordere Seite) 11a und eine zweite Oberfläche (hintere Seite) 11b auf. Die erste Oberfläche 11a des Werkstücks 11 ist aus einem zentralen Bauelementbereich und einem umfänglichen Randbereich, der den Bauelementbereich umgibt, ausgestaltet. Der Bauelementbereich wird durch mehrere sich kreuzende Teilungslinien (Straßen) aufgeteilt, um mehrere getrennte Bereiche auszubilden, an denen mehrere Bauelemente 13 wie integrierte Schaltungen (ICs) und Large-Scale-Integrations (LSIs) ausgebildet sind. Eine modifizierte Schicht (nicht gezeigt) als ein Teilungsstartpunkt ist vorher im Inneren des Werkstücks 11 entlang jeder Teilungslinie ausgebildet. Diese modifizierte Schicht kann durch ein Verfahren eines Aufbringens eines Laserstrahls, der eine Transmissionswellenlänge aufweist, auf das Werkstück 11 entlang jeder Teilungslinie ausgebildet werden, sodass der Laserstrahl in dem Werkstück 11 fokussiert wird. Als eine Modifikation kann eine Nut an dem Werkstück 11 entlang jeder Teilungslinie durch Schneiden oder Ablation durch Laser ausgebildet werden. In diesem Fall wird die Nut, die entlang jeder Teilungslinie ausgebildet wird, als ein Teilungsstartpunkt anstelle der modifizierten Schicht verwendet.
  • In dieser bevorzugten Ausführungsform ist die zweite Oberfläche 11b des Werkstücks 11 an der haftvermittelnden Schicht 5 der Ausdehnungsfolie 1 in dem kreisförmigen Bereichs C (siehe 3) angebracht, wobei der kreisförmiger Bereich C die gleiche Größe wie die des Werkstücks 11 aufweist. Der kreisförmiger Bereich C ist in dem Bereich B mit hoher Haftvermittlung der Ausdehnungsfolie 1 gebildet. Während ein kreisförmiger Wafer, der aus einem Halbleiter wie einem Silizium ausgebildet ist, als das Werkstück 11 in dieser bevorzugten Ausführungsform verwendet wird, ist das Werkstück 11 nicht in seinem Material, seiner Form, seinem Aufbau usw. beschränkt. Zum Beispiel kann ein Substrat, das aus einer Keramik, einem Kunststoff oder Metall ausgebildet ist, als das Werkstück 11 verwendet werden. Ferner kann ein Wafer oder Substrat, der vorher in mehrere Bauelementchips geteilt wurde, als das Werkstück 11 verwendet werden. In diesem Fall wird der Abstand zwischen benachbarten der mehreren Bauelementchips, die das Werkstück 11 ausbilden, durch Ausdehnen der Ausdehnungsfolie 1 in dem folgenden Schritt erhöht.
  • Nach dem Durchführen des ersten Anbringungsschritts wird ein Ausdehnungsschritt durchgeführt, um die Ausdehnungsfolie 1, wie in 5 gezeigt, auszubilden. 5 ist eine schematische perspektivische Ansicht, die den Zustand zeigt, in dem die Ausdehnungsfolie 1 durch die Ausdehnungsvorrichtung 2 ausgedehnt wurde. Beim Ausdehnen der Ausdehnungsfolie 1 werden die horizontalen Bewegungsmechanismen zum beweglichen Tragen der ersten Halteeinheit 4 und der zweiten Halteeinheit 6 betätigt, um die erste Halteeinheit 4 und die zweite Halteeinheit 6 in der ersten Richtung D1 voneinander wegzubewegen. Darüber hinaus werden die horizontalen Bewegungsmechanismen zum beweglichen Tragen der dritten Halteeinheit 8 und der vierten Halteeinheit 10 betätigt, um die dritte Halteeinheit 8 und die vierte Halteeinheit 10 in der zweiten Richtung D2 voneinander wegzubewegen. Als ein Ergebnis wird die Ausdehnungsfolie 1 in beide in der ersten Richtung D1 die zweite Richtung D2, wie in 5 gezeigt, ausgedehnt, wodurch eine Zugkraft auf dem Werkstück 11 in beide in der ersten Richtung D1 die zweite Richtung D2 aufgebracht wird.
  • Jede die erste und zweite Halteeinheit 4 und 6, die in der ersten Richtung D1 voneinander wegbewegt werden können, beinhalten die mehreren Kontaktelemente 16, die jeweils drehbar um eine Achse parallel zu der ersten Richtung D1 sind. Ähnlich beinhaltet jede die dritte und vierte Halteeinheit 8 und 10, die in der zweiten Richtung D2 voneinander wegbewegt werden können, die mehreren Kontaktelemente 16, die jeweils drehbar um eine Achse parallel zu der zweiten Richtung D2 sind. Entsprechend wird die Ausdehnungsfolie 1 durch die erste und zweite Halteeinheit 4 und 6 gehalten, sodass sie in der zweiten Richtung D2 durch die Drehung der Kontaktelemente 16 der dritten und vierten Halteeinheit 8 und 10 verschoben werden kann. Ähnlich wird die Ausdehnungsfolie 1 durch die dritte und vierte Halteeinheit 8 und 10 gehalten, sodass sie in der ersten Richtung D1 durch eine Drehung der Kontaktelemente 16 der ersten und zweiten Halteeinheit 4 und 6 verschoben werden können. Mit anderen Worten, der Bereich A, der durch die erste und zweite Halteeinheit 4 und 6 gehalten wird, kann auch geeignet in der zweiten Richtung D2 ausgedehnt werden und der Bereich A, der durch dritte und vierte Halteeinheit 8 und 10 gehalten wird, kann auch geeignet in der ersten Richtung D1 ausgedehnt werden.
  • In dieser Weise wird die Ausdehnungsfolie 1 ausgedehnt, um dadurch eine Zugkraft auf das Werkstück 11 in beide in der ersten Richtung D1 der zweiten Richtung D2 aufzubringen. Als ein Ergebnis wird das Werkstück 11 entlang jeder Teilungslinie, an der die modifizierte Schicht ausgebildet ist, geteilt, wodurch mehrere Chips erhalten werden und auch der Abstand zwischen benachbarten der mehreren Chips erhöht wird. Um das Werkstück 11 geeignet zu teilen und den Abstand zwischen benachbarten Chips ausreichend zu vergrößern, werden die Richtungen der Ausdehnungen der orthogonalen Teilungslinien vorzugsweise mit der ersten und zweiten Richtung D1 und D2, wie in 5 gezeigt, ausgerichtet, um dadurch die äußere Kraft, die durch die Ausdehnung der Ausdehnungsfolie 1 generiert wird, effizient auszunutzen.
  • Nach dem Durchführen des Ausbildungsschritts wird ein zweiter Anbringungsschritt durchgeführt, um einen ringförmigen Rahmen 21 an der Ausdehnungsfolie 1 anzubringen, wie in 6 gezeigt. 6 ist eine schematische perspektivische Ansicht, die den Zustand zeigt, in dem der ringförmige Rahmen 21 an der Ausdehnungsfolie 1 angebracht ist. Wie in 6 gezeigt, weist der ringförmige Rahmen 21 eine innere Öffnung 21a auf, die größer als das Werkstück 11 ist. Der ringförmige Rahmen 21 ist an der haftvermittelnden Schicht 5 der Ausdehnungsfolie 1 angebracht, sodass dieser das Werkstück 11 umgibt, d. h., den kreisförmigen Bereich C der Ausdehnungsfolie 1. Mit anderen Worten, das Werkstück 11, das an dem kreisförmigen Bereich C der Ausdehnungsfolie 1 angebracht ist, ist in die innere Öffnung 21a des ringförmigen Rahmens 21 eingesetzt. In dieser Weise ist der ringförmige Rahmen 21 an der Ausdehnungsfolie 1 angebracht, sodass dieser das Werkstück 11 umgibt. In dieser bevorzugten Ausführungsform ist der ringförmige Rahmen 21 an der Ausdehnungsfolie 1 angebracht, sodass dieser das Werkstück 11 in dem Zustand umgibt, in dem die Ausdehnungsfolie 1 ausgedehnt bleibt. Entsprechend, sogar nachdem das Ausdehnen der Ausdehnungsfolie 1 abgebrochen wird, kann der erhöhte Abstand zwischen benachbarten Chips erhalten bleiben.
  • Nach dem Durchführen des zweiten Anbringungsschritts wird ein Schneidschritt durchgeführt, um die Ausdehnungsfolie 1 entlang des ringförmigen Rahmens 21, wie in 7 gezeigt, zu schneiden. 7 ist eine schematische perspektivische Ansicht, die den Zustand zeigt, in dem die Ausdehnungsfolie 1 entlang dem ringförmigen Rahmen 21 geschnitten wurde. Zum Beispiel ist die Ausdehnungsfolie 1 entlang des ringförmigen Rahmens 21 von der zweiten Oberfläche 3b der Basisfolie 3 an einer radialen Position zwischen dem inneren Umfang des ringförmigen Rahmens 21 und dem äußeren Umfang davon geschnitten. Durch Durchführen dieses Schneidschritts kann eine Rahmeneinheit 25 wie in 7 gezeigt, erhalten werden, wobei die Rahmeneinheit 25 aus einem Werkstück 11, das schon in die Chips geteilt wurde, dem ringförmigen Rahmen 21 und einem Abschnitt 23 der Ausdehnungsfolie, der von der Ausdehnungsfolie 1 abgeschnitten wurde, besteht. Nach dem Erhalten der Rahmeneinheit 25 wird die überbleibend Ausdehnungsfolie 1 von der Ausdehnungsvorrichtung 2 entfernt. Zu diesem Zeitpunkt kann das überbleibende der Ausdehnungsfolie 1 einfach von der Ausdehnungsvorrichtung 2 entfernt werden, weil der Bereich A mit geringer Haftvermittlung der Ausdehnungsfolie 1 durch die Halteeinheiten 4, 6, 8 und 10 der Ausdehnung Vorrichtung 2 gehalten wird, wobei die Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht 5 in dem Bereich A mit geringer Haftvermittlung geringer als in dem Bereich B mit hoher Haftvermittlung ist, an dem das Werkstück 11 und der ringförmige Rahmen 21 angebracht sind.
  • Nach dem Durchführen des Schneidschritts wird ein Reduzierungsschritt der Haftvermittlung durchgeführt, in dem ultraviolettes Licht auf den Abschnitt 23 der Ausdehnungsfolie der Rahmeneinheit 25 aufgebracht wird, wodurch die Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht 5 des Abschnitts 23 der Ausdehnungsfolie, wie in 8 gezeigt, reduziert wird. 8 ist eine schematische perspektivische Ansicht, die den Zustand zeigt, in dem ultraviolettes Licht auf dem Abschnitt 23 der Ausdehnungsfolie aufgebracht wird. In dieser bevorzugten Ausführungsform wird ultraviolettes Licht von der Lichtquelle 9, die unterhalb der Basisfolie 3 (der zweiten Oberfläche 3b) des Abschnitts 23 der Ausdehnungsfolie liegt, wie in 8 gezeigt, aufgebracht. Wie oben beschrieben kann die Basisfolie 3 der Ausdehnungsfolie 1, d. h. der Abschnitt 23 der Ausdehnungsfolie ultraviolettes Licht transmittieren. Entsprechend wird das ultraviolette Licht, das durch die Lichtquelle 9 emittiert wird, durch die Basisfolie 3 auf der haftvermittelnden Schicht 5 des Abschnitts 23 der Ausdehnungsfolie aufgebracht. Als ein Ergebnis kann die Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht 5 des Abschnitts 23 der Ausdehnungsfolie über seine gesamte Fläche reduziert werden, um dadurch das Entfernen der Chips von dem Abschnitt 23 der Ausdehnungsfolie, das später beschrieben wird, zu vereinfachen.
  • Nach dem Durchführen des Reduzierungsschritts der Haftvermittlung wird einen Aufnahmeschritt durchgeführt, um jeden Chip von dem Abschnitt 23 der Ausdehnungsfolie, wie in 9 gezeigt, aufzunehmen. 9 ist eine schematische Schnittansicht, die den Zustand zeigt, in dem jeder Chip 15 von dem Abschnitt 23 der Ausdehnungsfolie aufgenommen wird.
  • Die Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht 5 des Abschnitts 23 der Ausdehnungsfolie wurde in dem Reduzierungsschritt der Haftvermittlung, der oben beschrieben ist, reduziert. Entsprechend kann jeder Chip 15 einfach von dem Abschnitt 23 der Ausdehnungsfolie, wie in 9 gezeigt, aufgenommen werden. Danach wird jeder Chip 15, der von dem Abschnitt 28 der Ausdehnungsfolie aufgenommen wurde, an einer gewählten Leiterplatte oder dergleichen für eine tatsächliche Verwendung montiert.
  • Wie oben beschrieben weist die Ausdehnungsfolie 1 entsprechend dieser bevorzugten Ausführungsform einen umfänglichen Bereich (Bereich A mit geringer Haftvermittlung) auf, der durch die erste Halteeinheit (erstes Haltemittel) 4, die zweite Halteeinheit (zweites Haltemittel) 6, die dritte Halteeinheit (drittes Haltemittel) 8 und die vierte Halteeinheit (viertes Haltemittel) 10 gehalten wird, wobei die Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht 5 in diesem umfänglichen Bereich geringer als in dem anderen Bereich (Bereich B mit hoher Haftvermittlung) ist. Entsprechend kann die Ausdehnungsfolie 1 einfach von der Halteeinheit entfernt werden.
  • Ferner wird in dem Herstellungsverfahren für die Ausdehnungsfolie 1 ultraviolettes Licht selektiv auf der haftvermittelnden Schicht 5 nur in einem umfänglichen Bereich der ursprünglichen Ausdehnungsfolie entsprechend dem Bereich A mit geringer Haftvermittlung der Ausdehnungsfolie 1 aufgebracht, wodurch die Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht 5 in diesem umfänglichen Bereich im Vergleich zu der Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht in dem restlichen Bereich entsprechend dem Bereich B mit hoher Haftvermittlung der Ausdehnungsfolie 1 reduziert wird. Folglich kann die Ausdehnungsfolie 1, die den Bereich A mit geringer Haftvermittlung und den Bereich B mit hoher Haftvermittlung aufweist, einfach hergestellt werden.
  • Ferner wird in dem Ausdehnungsverfahren für die Ausdehnungsfolie 1 ultraviolettes Licht selektiv auf die haftvermittelnde Schicht 5 nur in einem umfänglichen Bereich der ursprünglichen Ausdehnungsfolie entsprechend dem Bereich A mit geringer Haftvermittlung der Ausdehnungsfolie 1 aufgebracht, wodurch die Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht 5 in diesem umfänglichen Bereich im Vergleich zu der Haftvermittlung der haftvermittelndes Schicht 5 in dem anderen Bereich entsprechend dem Bereich B mit hoher Haftvermittlung der Ausdehnungsfolie 1 reduziert wird. Entsprechend kann die Ausdehnungsfolie 1 einfach von jeder Halteeinheit nach dem Ausdehnen der Ausdehnungsfolie 1 entfernt werden.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die bevorzugte Ausführungsform beschränkt, sondern verschiedene Modifikationen können gemacht werden. Zum Beispiel, während der erster Anbringungsschritt nach dem Halteschritt in dem Ausdehnungsverfahren für eine Ausdehnungsfolie entsprechend der obigen bevorzugten Ausführungsform durchgeführt wird, kann der Halteschritt nach dem ersten Anbringungsschritt durchgeführt werden. In diesem Fall kann der Aufbringungsschritt für ultraviolettes Licht zwischen dem ersten Anbringungsschritt und dem Halteschritt durchgeführt werden.
  • Ferner, während die Basisfolie 3 der Ausdehnungsfolie 1 entsprechend der obigen bevorzugten Ausführungsform eine rechteckige Form in einer Aufsicht aufweist, ist die Form der Basisfolie der Ausdehnungsfolie entsprechend der vorliegenden Erfindung nicht beschränkt. 10 ist eine schematische perspektivische Ansicht, die eine Ausdehnungsfolie 31 entsprechend einer Modifikation der obigen bevorzugten Ausführungsform zeigt. Wie in 10 gezeigt, ist die Ausdehnungsfolie 31 entsprechend dieser Modifikation als eine Folienrolle 35 in dem Zustand ausgebildet, in dem eine Trennung 33 wie ein Blatt eines getrennten Papiers an der haftvermittelnden Seite der Ausdehnungsfolie 31 angebracht ist. Die Basiskonfiguration der Ausdehnungsfolie 31 ist die gleiche wie die der Ausdehnungsfolie 1, die oben beschrieben ist. Entsprechend werden die gleichen Teile wie die der Ausdehnungsfolie 1 mit den gleichen Bezugszeichen versehen und eine detaillierte Beschreibung dieser wird ausgelassen.
  • Die Ausdehnungsfolie 31 beinhaltet eine längliche Basisfolie 3 und eine haftvermittelnde Schicht 5, die an der ersten Oberfläche 3a der Basisfolie 3 auf ihrer gesamten Fläche ausgebildet ist. Insbesondere ist die Basisfolie 3 der Ausdehnungsfolie 31 länger als die Basisfolie 3 der Ausdehnungsfolie 1 in der ersten Richtung D1, entlang welcher die Ausdehnungsfolie 31 gerollt ist. Im Gegensatz dazu ist die Breite der Basisfolie 3 der Ausdehnungsfolie 31 der zweiten Richtung D2 die gleiche wie die Länge der Basisfolie 3 der Ausdehnungsfolie 1 in der zweiten Richtung D2. Die Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht 5 der Ausdehnungsfolie 31 ist in einem vorbestimmten Bereich, der durch die Ausdehnungsvorrichtung 2 gehalten wird, gesetzt, geringer als in dem anderen Bereich zu sein. Insbesondere sind mehrere erste Bereiche A1 mit geringer Haftvermittlung in gegebenen Abständen in der ersten Richtung D1 angeordnet, wobei jeder Bereich A1 mit geringer Haftvermittlung sich in der zweiten Richtung D2 über die gesamte Breite der Basisfolie 3 erstreckt. Ferner erstreckt sich ein Paar zweiter Bereiche A2 mit geringer Haftvermittlung in der ersten Richtung D1 entlang den gegenüberliegenden Seitenkanten der Basisfolie 3. Entsprechend sind mehrere rechteckige Bereiche B mit hoher Haftvermittlung ausgebildet, sodass sie durch die ersten Bereiche A1 mit geringer Haftvermittlung und die zweiten Bereiche A2 mit geringer Haftvermittlung umgeben sind. Die Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht 5 in den ersten und zweiten Bereichen A1 und A2 mit geringer Haftvermittlung ist so gesetzt, dass sie geringer als die in den Bereichen B mit hoher Haftvermittlung ist. Beim Verwenden der Ausdehnungsfolie 31 wird die Folienrolle 35 aufgerollt, um die Ausdehnungsfolie 31 zu verteilen, und der Teilungslinien 33 wird als nächstes von der Ausdehnungsfolie 31 gelöst.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsform beschränkt. Der Umfang der Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert und alle Änderungen und Modifikationen, die in das äquivalente des Umfangs der Ansprüche fallen, werden dadurch durch die Erfindung umfasst.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • JP 2002-192370 [0002]
    • WO 2003/77295 [0003]
    • JP 2014-22382 [0004]

Claims (4)

  1. Ausdehnungsfolie, die dazu angepasst ist, durch eine Ausdehnungsvorrichtung in dem Zustand gehalten und ausgedehnt zu werden, in dem ein plattenähnliches Werkstück an der Ausdehnungsfolie angebracht ist, wobei die Ausdehnungsvorrichtung eine erste Halteeinheit und eine zweite Halteeinheit aufweist, die einander gegenüberliegen, wobei das Werkstück dazwischen in einer ersten Richtung eingefügt ist, die erste Halteeinheit und die zweite Halteeinheit in der ersten Richtung voneinander wegbewegbar sind, wobei die Ausdehnungsvorrichtung ferner eine dritte Halteeinheit und eine vierte Halteeinheit aufweist, die einander gegenüberliegen, wobei das Werkstück dazwischen in einer zweiten Richtung senkrecht zu der ersten Richtung eingefügt ist, wobei die dritte Halteeinheit und die vierte Halteeinheit in der zweiten Richtung voneinander wegbewegbar sind, wobei die Ausdehnungsfolie einen umfänglichen Bereich um das Werkstück aufweist, an welchem die Ausdehnungsfolie dazu angepasst ist, durch die erste Halteeinheit, die zweite Halteeinheit, die dritte Halteeinheit und die vierte Halteeinheit gehalten zu werden; wobei die Ausdehnungsfolie aufweist: eine Basisfolie; und eine haftvermittelnde Schicht, die an der Basisfolie ausgebildet ist, wobei die haftvermittelnde Schicht eine Haftvermittlung aufweist, die dazu angepasst ist, durch ein Aufbringen von ultraviolettem Licht reduziert zu werden; die Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht in dem umfänglichen Bereich der Ausdehnungsfolie geringer als die Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht in dem anderen Bereich der Ausdehnungsfolie ist.
  2. Ausdehnungsfolie nach Anspruch 1, wobei die Ausdehnungsfolie länglich und als eine Folienrolle ausgebildet ist; die Ausdehnungsfolie als die Folienrolle in der ersten Richtung aufgerollt ist; der umfängliche Bereich der Ausdehnungsfolie mehrere erste Bereiche mit geringer Haftvermittlung, die in gegebenen Abständen in der ersten Richtung angeordnet sind, wobei jeder erste Bereich mit geringer Haftvermittlung sich in der zweiten Richtung über die gesamte Breite der Basisfolie erstreckt, und ein Paar zweiter Bereiche mit geringer Haftvermittlung, die sich in der ersten Richtung entlang der gegenüberliegenden Seitenkanten der Basisfolie erstrecken, beinhaltet.
  3. Herstellungsverfahren für eine Ausdehnungsfolie, die dazu angepasst ist, durch eine Ausdehnungsvorrichtung in dem Zustand gehalten zu werden, in dem ein plattenähnliches Werkstück an der Ausdehnungsfolie angebracht ist, wobei die Ausdehnungsvorrichtung eine erste Halteeinheit und eine zweite Halteeinheit beinhaltet, die einander gegenüberliegen, wobei das Werkstück dazwischen in einer der ersten Richtung eingefügt ist, die erste Halteeinheit und die zweite Halteeinheit in der ersten Richtung voneinander wegbewegbar sind, die Ausdehnungsvorrichtung ferner eine dritte Halteeinheit und eine vierte Halteeinheit beinhaltet, die einander gegenüberliegen, wobei das Werkstück dazwischen in einer zweiten Richtung senkrecht zu der ersten Richtung eingefügt ist, wobei die dritte Halteeinheit und die vierte Halteeinheit in der zweiten Richtung voneinander wegbewegbar sind, die Ausdehnungsfolie einen umfänglichen Bereich um das Werkstück aufweist, an dem die Ausdehnungsfolie dazu angepasst ist, durch die erste Halteeinheit, die zweite Halteeinheit, die dritte Halteeinheit und die vierte Halteeinheit gehalten zu werden; wobei das Herstellungsverfahren umfasst: einen Vorbereitungsschritt zum Vorbereiten einer ursprünglichen Ausdehnungsfolie, die eine Basisfolie und eine haftvermittelnde Schicht aufweist, die auf der Basisfolie ausgebildet ist, wobei die haftvermittelnde Schicht eine Haftvermittlung aufweist, die dazu angepasst ist, durch Aufbringen von ultraviolettem Licht reduziert zu werden; und einen Schritt zum Aufbringen von ultraviolettem Licht zum selektiven Aufbringen von ultraviolettem Licht an nur einem umfänglichen Bereich der ursprünglichen Ausdehnungsfolie, der dem umfänglichen Bereich der Ausdehnungsfolie entspricht, wodurch die Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht in dem umfänglichen Bereich der ursprünglichen Ausdehnungsfolie im Vergleich zu der Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht in dem anderen Bereich der ursprünglichen Ausdehnungsfolie reduziert wird.
  4. Ausdehnungsverfahren für eine Ausdehnungsfolie, die eine Basisfolie und eine haftvermittelnde Schicht beinhaltet, die an der Basisfolie ausgebildet ist, wobei die haftvermittelnde Schicht eine Haftvermittlung aufweist, die dazu angepasst ist, durch Aufbringen von ultraviolettem Licht reduziert zu werden, wobei das Ausdehnungsverfahren umfasst: einen ersten Anbringungsschritt zum Anbringen eines plattenähnlichen Werkstücks an der Ausdehnungsfolie; einen Halteschritt zum Halten der Ausdehnungsfolie unter Verwendung einer ersten Halteeinheit und einer zweiten Halteeinheit, die einander gegenüberliegen, wobei das Werkstück dazwischen in einer ersten Richtung eingefügt ist, und auch unter Verwendung einer dritten Halteeinheit und einer vierten Halteeinheit, die einander gegenüberliegen, wobei das Werkstück dazwischen in einer zweiten Richtung senkrecht zu der ersten Richtung eingefügt ist, bevor oder nachdem der erste Anbringungsschritt ausgeführt wird; einen Ausdehnungsschritt zum voneinander Wegbewegen der ersten Halteeinheit und der zweiten Halteeinheit in der ersten Richtung und auch voneinander Wegbewegen der dritten Halteeinheit und der vierten Halteeinheit in der zweiten Richtung, nach dem Durchführen des ersten Anbringungsschritts und des Halteschritts, wodurch die Ausdehnungsfolie sowohl in der ersten Richtung als auch der zweiten Richtung ausgedehnt wird; einen zweiten Anbringungsschritt zum Anbringen eines ringförmigen Rahmens, der eine innere Öffnung aufweist, die größer als das Werkstück ist, an der Ausdehnungsfolie in dem Zustand, in dem das Werkstück in die innere Öffnung des ringförmigen Rahmens eingesetzt ist, nach dem Durchführen des Ausbildungsschritts; einen Schneidschritt zum Schneiden der Ausdehnungsfolie entlang des ringförmigen Rahmens nach dem Durchführen des zweiten Anbringungsschritts; und einen Aufbringungsschritt für ultraviolettes Licht zum selektiven Aufbringen von ultraviolettem Licht auf nur einem umfänglichen Bereich der Ausdehnungsfolie, an dem die Ausdehnungsfolie dazu angepasst ist, durch die erste Halteeinheit, die zweite Halteeinheit, die dritte Halteeinheit und die vierte Halteeinheit gehalten zu werden, vor dem Durchführen des Halteschritts, wodurch die Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht in dem umfänglichen Bereich der Ausdehnungsfolie im Vergleich zu der Haftvermittlung der haftvermittelnden Schicht in dem anderen Bereich der Ausdehnungsfolie reduziert ist.
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