DE102017106125A1

DE102017106125A1 - Organisches lichtemittierendes Anzeigefeld und Verfahren zu dessen Herstellung

Info

Publication number: DE102017106125A1
Application number: DE102017106125.8A
Authority: DE
Inventors: Yu Cai; Xuening Liu; Lee Heeyol; Quanpeng YU; Conghui LIU
Original assignee: Tianma Microelectronics Co Ltd; Shanghai Tianma Microelectronics Co Ltd
Current assignee: Tianma Microelectronics Co Ltd; Shanghai Tianma Microelectronics Co Ltd
Priority date: 2016-09-22
Filing date: 2017-03-22
Publication date: 2018-03-22
Anticipated expiration: 2037-03-23
Also published as: US20170115818A1; CN106252526B; DE102017106125B4; CN106252526A; US20200073496A1; US10503327B2; US11379063B2

Abstract

Es werden ein organisches lichtemittierendes Anzeigefeld und ein Verfahren zu dessen Herstellung bereitgestellt. Das organische lichtemittierende Anzeigefeld umfasst ein Arraysubstrat mit einem organischen lichtemittierenden Element, eine Dünnschichtverkapselungsschicht, die das Arraysubstrat mit einem organischen lichtemittierenden Element bedeckt, und Berührungssteuerungselektroden. Die Dünnschichtverkapselungsschicht umfasst mindestens eine anorganische Schicht und mindestens eine organische Schicht. Erste Nuten sind in mindestens einer organischen Schicht ausgebildet, und Seitenwände der ersten Nutstrukturen sind bogenförmig. Die Berührungssteuerungselektroden sind in den ersten Nutstrukturen angeordnet.

Description

GEBIET DER ERFINDUNG
Die vorliegende Offenbarung bezieht sich im Allgemeinen auf das Gebiet der Anzeigetechnik mit Berührungssteuerung und insbesondere auf ein organisches lichtemittierendes Anzeigefeld und ein Verfahren zu dessen Herstellung.
HINTERGRUND
Mit der raschen Entwicklung der Anzeigetechnik wurde nicht nur hinsichtlich der Abmessung der Anzeigefelder, sondern auch hinsichtlich der Anzeigequalität ein großer Durchbruch erreicht. Ein wesentlicher Entwicklungsverlauf in der Anzeigetechnik besteht darin, dass die flexiblen Anzeigevorrichtungen aufgrund ihres geringen Gewichts, der geringen Dicke und der Flexibilität große Aufmerksamkeit auf sich gezogen haben. Bei flexiblen Anzeigefeldern mit Berührungssteuerung werden die Vorteile der Berührungssteuerungstechnik und der flexiblen Anzeigetechnik vereint, woraus sich ein Merkmal der veränderbaren Gestalt oder der Flexibilität ergibt. Darüber hinaus können die flexiblen Anzeigefelder mit Berührungssteuerung von einem Nutzer direkt mittels Finger oder Stift usw. betrieben werden, was sehr bequem und praktisch ist und somit eine große Aufmerksamkeit der Menschen auf sich zieht.
Die Berührungssteuerungselektroden bei den aktuellen flexiblen Anzeigefeldern mit Berührungssteuerung werden häufig in den folgenden Arten und Weisen extern befestigt oder in einem externen Hilfsfilm integriert. Bei einem bestehenden Verfahren sind die Berührungssteuerungselektroden extern an den flexiblen Anzeigefeldern befestigt. Dieses Verfahren scheitert häufig daran, das Verdünnen der flexiblen Anzeigefelder mit Berührungssteuerung zu realisieren. Bei einem weiteren bestehenden Verfahren sind die Berührungssteuerungselektroden an dem Polarisator oder an der Abdeckplatte integriert. Auch wenn mit diesem Verfahren die Dicke des flexiblen Anzeigefelds mit Berührungssteuerung bis zu einem gewissen Grad reduziert werden kann, sind die Herstellungsanforderungen an den Polarisator und die Abdeckplatte relativ hoch.
Beim Biegen der oben beschriebenen flexiblen Anzeigefelder mit Berührungssteuerung können ferner an der Oberfläche leicht Risse auftreten. Die Risse können sich leicht ausdehnen und ausbreiten und führen häufig zu einem Bruch der Berührungssteuerungselektroden, was schließlich einen Ausfall der Berührungssteuerungsfunktion zur Folge hat. Daher müssen die flexiblen Anzeigefelder mit Berührungssteuerung zur Steigerung der Zuverlässigkeit weiter verbessert werden.
Das offenbarte organische lichtemittierende Anzeigefeld und das offenbarte Verfahren zu dessen Herstellung zielen darauf ab, zumindest einen Teil der oben genannten Probleme und weitere Probleme zu lösen.
KURZZUSAMMENFASSUNG DER OFFENBARUNG
Bei einem Aspekt der vorliegenden Offenbarung wird ein organisches lichtemittierendes Anzeigefeld bereitgestellt. Das organische lichtemittierende Anzeigefeld umfasst ein Arraysubstrat mit einem organischen lichtemittierenden Element, eine Dünnschichtverkapselungsschicht, die das Arraysubstrat mit einem organischen lichtemittierenden Element bedeckt, und Berührungssteuerungselektroden. Die Dünnschichtverkapselungsschicht umfasst mindestens eine anorganische Schicht und mindestens eine organische Schicht. In mindestens einer organischen Schicht sind erste Nutstrukturen ausgebildet, und Seitenwände der ersten Nutstrukturen sind bogenförmig. Die Berührungssteuerungselektroden sind in den ersten Nutstrukturen angeordnet.
Bei einem weiteren Aspekt der vorliegenden Offenbarung wird ein Verfahren zur Herstellung eines organischen lichtemittierenden Anzeigefelds bereitgestellt. Das Verfahren umfasst das Ausbilden eines Arraysubstrats mit einem organischen lichtemittierenden Element und das Ausbilden einer Dünnschichtverkapselungsschicht auf dem Arraysubstrat mit einem organischen lichtemittierenden Element. Das Verfahren umfasst ferner das Ausgestalten von ersten Nutstrukturen in mindestens einer organischen Schicht und das Ausbilden von Berührungssteuerungselektroden in den ersten Nutstrukturen. Das Ausbilden der Dünnschichtverkapselungsschicht auf dem organischen lichtemittierenden Element umfasst insbesondere das Ausbilden mindestens einer anorganischen Schicht und mindestens einer organischen Schicht. Seitenwände der ersten Nutstrukturen sind bogenförmig.
Weitere Aspekte der vorliegenden Offenbarung können von dem Fachmann anhand der Beschreibung, der Ansprüche und der Zeichnungen der vorliegenden Offenbarung verstanden werden
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
Weitere Merkmale, Ziele und Vorteile der vorlegenden Offenbarung werden beim Lesen der nachfolgenden ausführlichen Beschreibung nicht einschränkender Ausführungsformen anhand der beigefügten Zeichnungen ersichtlich.
1A veranschaulicht eine Draufsicht eines beispielhaften organischen lichtemittierenden Anzeigefelds entsprechend offenbarten Ausführungsformen,
1B veranschaulicht eine Querschnittansicht entlang AA' aus 1A entsprechend offenbarten Ausführungsformen,
2A veranschaulicht eine Draufsicht eines weiteren organischen lichtemittierenden Anzeigefelds entsprechend offenbarten Ausführungsformen,
2B veranschaulicht eine Querschnittansicht entlang BB' aus 2A entsprechend offenbarten Ausführungsformen,
3A veranschaulicht eine Draufsicht eines weiteren organischen lichtemittierenden Anzeigefelds entsprechend offenbarten Ausführungsformen,
3B veranschaulicht eine Querschnittansicht entlang CC' aus 3A entsprechend offenbarten Ausführungsformen,
4A veranschaulicht eine Draufsicht eines weiteren organischen lichtemittierenden Anzeigefelds entsprechend offenbarten Ausführungsformen,
4B veranschaulicht eine Querschnittansicht entlang DD' aus 4A entsprechend offenbarten Ausführungsformen,
5A veranschaulicht eine Draufsicht eines weiteren organischen lichtemittierenden Anzeigefelds entsprechend offenbarten Ausführungsformen,
5B veranschaulicht eine Querschnittansicht entlang EE' aus 5A entsprechend offenbarten Ausführungsformen,
6A veranschaulicht eine Draufsicht eines weiteren organischen lichtemittierenden Anzeigefelds entsprechend offenbarten Ausführungsformen,
6B veranschaulicht eine Querschnittansicht entlang FF' aus 6A entsprechend offenbarten Ausführungsformen,
7A veranschaulicht eine Draufsicht eines weiteren organischen lichtemittierenden Anzeigefelds entsprechend offenbarten Ausführungsformen,
7B veranschaulicht eine Querschnittansicht entlang GG' aus 7A entsprechend offenbarten Ausführungsformen,
7C veranschaulicht eine Querschnittansicht entlang HH' aus 7A entsprechend offenbarten Ausführungsformen,
8A veranschaulicht eine Querschnittansicht entlang GG' aus 7A entsprechend offenbarten Ausführungsformen,
8B veranschaulicht eine Querschnittansicht entlang HH' aus 7A entsprechend offenbarten Ausführungsformen,
9 veranschaulicht ein Ablaufdiagramm eines Verfahrens zur Herstellung eines beispielhaften organischen lichtemittierenden Anzeigefelds entsprechend offenbarten Ausführungsformen,
10 veranschaulicht ein Ablaufdiagramm eines weiteren Verfahrens zur Herstellung eines beispielhaften organischen lichtemittierenden Anzeigefelds entsprechend offenbarten Ausführungsformen und
11 veranschaulicht ein Ablaufdiagramm zum Ausbilden einer organischen Schicht mit ersten Nutstrukturen mit einem Tintenstrahldruckverfahren entsprechend offenbarten Ausführungsformen.
AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG
Die vorliegende Offenbarung wird nun anhand der beigefügten Zeichnungen und Ausführungsformen ausführlicher beschrieben. Es ist zu verstehen, dass die hier beschriebenen beispielhaften Ausführungsformen lediglich der Veranschaulichung dienen und die vorliegende Offenbarung nicht beschränken sollen. Es sei zusätzlich angemerkt, dass zur Vereinfachung der Beschreibung in den beigefügten Zeichnungen die mit der vorliegenden Offenbarung zusammenhängenden Strukturen lediglich teilweise und nicht vollständig gezeigt sind.
Wie oben erläutert, können beim Biegen eines bestehenden flexiblen Anzeigefelds mit Berührungssteuerung an der Oberfläche des Anzeigefelds leicht Risse auftreten. Die Risse können sich ausdehnen und ausbreiten und führen häufig zu einem Bruch der Berührungssteuerungselektroden, was schließlich einen Ausfall der Berührungssteuerungsfunktion zur Folge hat.
Mit dem Ziel, zumindest einen Teil der oben genannte Probleme und weitere Probleme zu lösen, stellt die vorliegende Offenbarung ein verbessertes organisches lichtemittierendes Anzeigefeld und ein verbessertes Verfahren zu dessen Herstellung bereit. Gemäß der vorliegenden Offenbarung kann durch die Ausbildung der Berührungssteuerungselektroden in ersten Nutstrukturen in einer organischen Schicht der Dünnschichtverkapselungsschicht das Risiko eines Bruchs der Berührungssteuerungselektroden im Biegeprozess deutlich reduziert werden. Da außerdem die Seitenwände der ersten Nutstrukturen bogenförmig sind, können die in den ersten Nutstrukturen angeordneten Berührungssteuerungselektroden einen relativ weichen und passenden Kontakt mit den ersten Nutstrukturen haben. Dementsprechend kann die Spannungskonzentration an den Seitenwänden der ersten Nutstrukturen vermieden und das Risiko, dass die Berührungssteuerungselektroden brechen, weiter reduziert werden.
Die vorliegende Offenbarung stellt ein organisches lichtemittierendes Anzeigefeld bereit, das ein Arraysubstrat mit einem organischen lichtemittierenden Element und eine Dünnschichtverkapselungsschicht aufweist, die das Arraysubstrat mit einem organischen lichtemittierenden Element bedeckt. Die Dünnschichtverkapselungsschicht kann insbesondere mindestens eine anorganische Schicht und mindestens eine organische Schicht umfassen. In mindestens einer organischen Schicht können erste Nutstrukturen angeordnet sein, und Seitenwände der ersten Nutstrukturen können bogenförmig sein. Das organische lichtemittierende Anzeigefeld kann auch Berührungssteuerungselektroden umfassen, und die Berührungssteuerungselektroden können in den ersten Nutstrukturen angeordnet sein.
Die organischen lichtemittierenden Elemente in den organischen lichtemittierenden Anzeigefeldern können auf externe Umweltfaktoren, wie etwa Wasserdampf oder Sauerstoff empfindlich sein. Wenn die organischen lichtemittierenden Elemente in den organischen lichtemittierenden Anzeigefeldern einer Umgebung mit Wasserdampf oder Sauerstoff ausgesetzt sind, könnte die Leistung der organischen lichtemittierenden Anzeigefelder dramatisch verringert oder vollständig beeinträchtigt werden. Um die Lebensdauer zu verlängern und die Stabilität der organischen lichtemittierenden Anzeigefelder zu verbessern, muss eine Dünnschichtverkapselungsschicht angeordnet und die organischen lichtemittierenden Elemente für die Verkapselung bedeckt werden. Bei der Dünnschichtverkapselungsschicht kann es sich um einen Aufbau mit mindestens einer anorganischen Schicht und mindestens einer organischen Schicht handeln.
Bei der vorliegenden Offenbarung wird durch das Ausbilden der Berührungssteuerungselektroden in der Dünnschichtverkapselungsschicht kann die Korrosion der Berührungssteuerungselektroden, die durch Wasserdampf von außen, Sauerstoff usw. hervorgerufen wird, vermieden werden. Gleichzeitig ist es möglich, dass die Dicke der organischen lichtemittierenden Anzeigefelder nicht kontinuierlich steigt, was dem Entwicklungstrend der Verdünnung der organischen lichtemittierenden Anzeigefelder genügt. Durch das Ausbilden der Berührungssteuerungselektroden in den ersten Nutstrukturen in einer organischen Schicht der Dünnschichtverkapselungsschicht kann außerdem das Risiko eines Bruchs der Berührungssteuerungselektroden im Biegeprozess deutlich verringert werden. Da außerdem die Seitenwände der ersten Nutstrukturen bogenförmig sind, können die in den ersten Nutstrukturen angeordneten Berührungssteuerungselektroden einen relativ weichen und passenden Kontakt mit den ersten Nutstrukturen haben. Dementsprechend kann die Spannungskonzentration an den Seitenwänden der ersten Nutstrukturen verhindert und das Risiko eines Bruchs der Berührungssteuerungselektroden im Biegeprozess weiter reduziert werden.
Die technischen Lösungen in den Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung werden nachfolgend in deutlicher und vollständiger Weise anhand der beigefügten Zeichnungen in den Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung beschrieben. Auf der Basis der Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung sollen alle Ausführungsformen, die von dem Fachmann ohne erfinderische Tätigkeit erhalten werden können, in den Schutzumfang der vorliegenden Offenbarung fallen.
1A veranschaulicht eine Draufsicht eines beispielhaften organischen lichtemittierenden Anzeigefelds entsprechend offenbarten Ausführungsformen. 1B veranschaulicht eine Querschnittansicht entlang AA' aus 1A entsprechend offenbarten Ausführungsformen. Wie in 1A und 1B gezeigt ist, kann das organische lichtemittierende Anzeigefeld ein Arraysubstrat 11 mit einem organischen lichtemittierenden Element, eine Dünnschichtverkapselungsschicht 12, die das Arraysubstrat 11 mit dem organischen lichtemittierenden Element bedeckt, und Berührungssteuerungselektroden 14 umfassen. Die Dünnschichtverkapselungsschicht 12 kann insbesondere mindestens eine anorganische Schicht und mindestens eine organische Schicht umfassen.
Bei einer Ausführungsform kann mit Bezug auf 1B die Dünnschichtverkapselungsschicht 12 zwei anorganische Schichten und eine organische Schicht umfassen. Die Dünnschichtverkapselungsschicht 12 kann insbesondere eine erste anorganische Schicht 121, eine erste organische Schicht 122 und eine zweite anorganische Schicht 123 umfassen. Die erste organische Schicht 122 kann insbesondere zwischen der ersten anorganischen Schicht 121 und der zweiten anorganischen Schicht 123 eingeschoben sein. In der ersten organischen Schicht 122 können erste Nutstrukturen 13 angeordnet sein, und die Berührungssteuerungselektroden 14 können in den ersten Nutstrukturen 13 angeordnet sein.
Bei dem offenbarten organischen lichtemittierenden Anzeigefeld kann es sich außerdem um ein Berührungssteuerungs-Anzeigefeld mit Eigenkapazität handeln. Das heißt die Berührungssteuerungselektroden 14 können mehrere Berührungssteuerungselektrodenblöcke 141 umfassen, und die mehreren Berührungssteuerungselektrodenblöcke 141 können in ein und derselben organischen Schicht (d. h. in der ersten organischen Schicht 122) in den ersten Nutstrukturen 13 angeordnet sein. Jeder Berührungssteuerungselektrodenblock 141 kann einen Kondensator mit Masse bilden, und eine Berührungsstelle kann durch Erfassung der Kapazität bestimmt werden, die von den mehreren Berührungssteuerungselektrodenblöcke 141 zurückgeführt wird. Die mehreren Berührungssteuerungselektrodenblöcke 141 können beispielsweise transparente und leitende Dünnfilme aus Indium-Zinn-Oxid (ITO) usw. sein.
Bei einer Ausführungsform können die Berührungssteuerungselektroden mit Eigenkapazität innerhalb der Dünnschichtverkapselungsschicht 12 liegen. Somit kann die ursprünglich in dem organischen lichtemittierenden Anzeigefeld liegende Dünnschichtverkapselungsschicht 12 dazu verwendet werden, die Berührungssteuerungselektroden 14 zu schützen. Dementsprechend kann die Korrosion der Berührungssteuerungselektroden 14 verhindert werden, die durch Wasserdampf, Sauerstoff usw. von einer äußeren Umgebung verursacht wird. Statt der individuellen Befestigung der Berührungssteuerungselektroden an der Außenseite des organischen lichtemittierenden Anzeigefelds können außerdem bei der vorliegenden Offenbarung die Berührungssteuerungselektroden 14 mit Eigenkapazität innerhalb der Dünnschichtverkapselungsschicht 12 ausgebildet werden. Dementsprechend kann die Dicke des offenbarten organischen lichtemittierenden Berührungssteuerungs-Anzeigefelds mit Eigenkapazität nahezu unverändert bleiben, wodurch dem aktuellen Entwicklungstrend der Verdünnung der organischen lichtemittierenden Anzeigefelder besser gerecht wird.
Wenn darüber hinaus das Arraysubstrat 11 mit dem organischen lichtemittierenden Element ein flexibles Substrat umfasst, kann aufgrund der Anordnung der Berührungssteuerungselektroden 14 in den ersten Nutstrukturen 13 durch die Ausgestaltung der ersten Nutstrukturen 13 die Biegeleistung des organischen lichtemittierenden Anzeigefelds verbessert werden. Dementsprechend kann das Risiko eines Bruchs der Berührungssteuerungselektrode 14 bis zu einem gewissen Grad reduziert werden. Da außerdem die Seitenwände der ersten Nutstrukturen 13 bogenförmig ausgebildet sind, können die Berührungssteuerungselektroden 14, wenn die Berührungssteuerungselektroden 14 in den ersten Nutstrukturen 13 angeordnet sind, einen relativ weichen und passenden Kontakt mit den ersten Nutstrukturen 13 haben. Somit können an den Kontaktstellen zwischen den Berührungssteuerungselektroden 14 und den ersten Nutstrukturen 13 keine spitzen und abrupten Stufen auftreten. Dementsprechend kann eine Konzentration der Spannungen an den Stufen verhindert und die Biegeleistung des organischen lichtemittierenden Anzeigefelds weiter verbessert werden.
Optional können die bogenförmigen Seitenwände der ersten Nutstrukturen so ausgebildet sein, dass sie konvex bogenförmig sind. Die ersten Nutstrukturen können in einem Tintenstrahldruckprozess gleichzeitig mit der organischen Schicht hergestellt werden. Da die ausgestoßenen Tintentröpfchen zusammenlaufen und sich anhäufen können, kann die Form der ersten Nutstrukturen in der organischen Schicht durch Einstellung der Aushärtdauer, der Aushärttemperatur und der Geschwindigkeit und Größe der ausgestoßenen Tintentröpfchen im Tintenstrahldruckprozess gesteuert werden. Durch die Ausbildung der bogenförmigen Seitenwände der ersten Nutstrukturen derart, dass sie konvex bogenförmig sind, kann das Material der Berührungssteuerungselektroden in einer geeigneteren Weise am Boden und an den Seitenwänden der ersten Nutstrukturen geformt werden, wenn die Berührungssteuerungselektroden in den ersten Nutstrukturen gebildet werden. Wenn die Berührungssteuerungselektroden auch in dem Tintenstrahldruckprozess ausgebildet werden, kann aufgrund der konvexen Bogenform der bogenförmigen Seitenwände der ersten Nutstrukturen der Fluss der ausgeschleuderten Tropfen beschleunigt werden, wenn die Berührungssteuerungselektroden durch Tintenstrahldrucken hergestellt werden. Dementsprechend kann das Muster der Berührungssteuerungselektroden rasch geformt werden.
Optional kann bei einer Ausführungsform die Tiefe der ersten Nutstrukturen so ausgeführt sein, dass sie größer ist als die Dicke der Berührungssteuerungselektroden. Wenn der Boden der ersten Nutstrukturen nicht flach ist, kann die Tiefe der ersten Nutstrukturen an unterschiedlichen Stellen unterschiedlich sein. Die Tiefe der ersten Nutstrukturen, die größer ist als die Dicke der Berührungssteuerungselektroden, kann auf einen Zustand hinweisen, bei dem die Berührungssteuerungselektroden in eine Tiefenrichtung der ersten Nutstrukturen die ersten Nutstrukturen nicht füllen.
Indem die Tiefe der ersten Nutstrukturen so ausgebildet wird, dass sie größer ist als die Dicke der Berührungssteuerungselektroden, können Beschädigungen an den Berührungssteuerungselektroden, die durch eine externe Kraft oder eine Luftbewegung verursacht werden, vermieden werden. Optional kann die Tiefe der ersten Nutstrukturen so ausgebildet sein, dass sie in einem Bereich von etwa 0,3 bis 16 μm liegt. Die Breite jeder Nut in den ersten Nutstrukturen kann größer sein als die Breite der in jeder Nut angeordneten entsprechenden Berührungssteuerungselektrode. Dementsprechend kann verhindert werden, dass die Berührungssteuerungselektroden aus den ersten Nutstrukturen ragen.
2A veranschaulicht eine Draufsicht eines weiteren organischen lichtemittierenden Anzeigefelds entsprechend offenbarten Ausführungsformen. 2B veranschaulicht eine Querschnittansicht entlang BB' aus 2A entsprechend offenbarten Ausführungsformen. Im Unterschied zu 1A und 1B können wie in 2A und 2B gezeigt bei einer Ausführungsform die offenbarten Berührungssteuerungselektroden 14 Metalldrähte in einem Gittermuster sein. Das offenbarte organische lichtemittierende Anzeigefeld kann auch eine Berührungssteuerungsstruktur mit Eigenkapazität sein. Die Berührungssteuerungselektroden 14 können insbesondere in den ersten Nutstrukturen 13 der ersten organischen Schicht 122 angeordnet sein. Die ersten Nutstrukturen 13 können die gleiche Gestalt haben wie die Berührungssteuerungselektroden 14. Das heißt die Orthogonalprojektionen der ersten Nutstrukturen 13 auf das Arraysubstrat 11 mit einem organischen lichtemittierenden Element können in einem Gittermuster vorliegen.
Bei weiteren Ausführungsformen können die Orthogonalprojektionen der ersten Nutstrukturen 13 auf das Arraysubstrat 11 mit einem organischen lichtemittierenden Element Blöcke sein, und die in den ersten Nutstrukturen 13 angeordneten Berührungssteuerungselektroden 14 können Metalldrähte in einem Gittermuster sein. Wie in 2B gezeigt, kann die Gestalt der ersten Nutstrukturen 13 der Gestalt der Berührungssteuerungselektroden 14 entsprechen. Das bedeutet, dass die Orthogonalprojektionen der ersten Nutstrukturen 13 auf das Arraysubstrat 11 mit dem organischen lichtemittierenden Element in einem Gittermuster vorliegen können.
Bei der vorliegenden Offenbarung kann durch das Ausbilden der Berührungssteuerungselektroden 14 als Metalldrähte in einem Gittermuster die Impedanz der Berührungssteuerungselektroden 14 reduziert und die Berührungssteuerungsempfindlichkeit verbessert werden. Da außerdem die Berührungssteuerungselektroden als Metalldrähte in einem Gittermuster vorliegen und Metalldrähte im Gittermuster eine gute Dehnbarkeit haben, kann die Antibiegefähigkeit der Berührungssteuerungselektroden weiter verbessert werden.
Bei der vorliegenden Offenbarung können die Berührungssteuerungselektroden aus Metalldrähten mit Gittermuster in den ersten Nutstrukturen der organischen Schicht angeordnet sein. Während des Biegeprozesses kann bei Auftreten eines Risses in einer der Metalldrähte in den Berührungssteuerungselektroden aus Metalldrähten mit Gittermuster aufgrund der Blockierung der ersten Nutstrukturen sich der Riss nicht in andere Metalldrähte ausbreiten. Das heißt die weitere Ausbreitung des Risses kann verhindert werden. Da die Berührungssteuerungselektroden aus Metalldrähten mit Gittermuster nicht direkt ohne erste Nutstrukturen in der organischen Schicht angeordnet sind, kann die Biegeleistung des organischen lichtemittierenden Anzeigefelds verbessert werden.
3A veranschaulicht eine Draufsicht eines weiteren organischen lichtemittierenden Anzeigefelds entsprechend offenbarten Ausführungsformen. 3B veranschaulicht eine Querschnittansicht entlang CC' aus 3A entsprechend offenbarten Ausführungsformen. Wie in 3A und 3B gezeigt, können die Berührungssteuerungselektroden 14 in dem offenbarten organischen lichtemittierenden Anzeigefeld erste Berührungssteuerungselektroden 141 und zweite Berührungssteuerungselektroden 142 umfassen. Die ersten Berührungssteuerungselektroden 141 und die zweiten Berührungssteuerungselektroden 142 können in verschiedenen ersten Nutstrukturen liegen, die in ein und derselben organischen Schicht angeordnet sind. Mit Bezug auf 3B können insbesondere die ersten Berührungssteuerungselektroden 141 und die zweiten Berührungssteuerungselektroden 142 in unterschiedlichen ersten Nutstrukturen 13 in der ersten organischen Schicht 122 liegen. Die Seitenwände der ersten Nutstrukturen 13 können bogenförmig sein.
Mit Bezug auf 3A können bei einer Ausführungsform die ersten Berührungssteuerungselektroden 141 in Spaltenrichtung kontinuierlich sein. Das heißt die ersten Berührungssteuerungselektroden 141 können in Spaltenrichtung miteinander verbunden sein. Die ersten Berührungssteuerungselektroden 141 können in Reihenrichtung voneinander isoliert sein. Da die ersten Berührungssteuerungselektroden 141 und die zweiten Berührungssteuerungselektroden 142 in unterschiedlichen ersten Nutstrukturen in ein und derselben organischen Schicht angeordnet sind, können zwei benachbarte zweite Berührungssteuerungselektroden 142 in jeder Reihe durch eine Spalte der ersten Berührungssteuerungselektroden 141, die in Spaltenrichtung miteinander verbunden sind, voneinander beabstandet sein. Zwei benachbarte zweite Berührungssteuerungselektroden 142, die durch eine Spalte der ersten Berührungssteuerungselektroden 141 in ein und derselben Reihe voneinander beabstandet sind, können jeweils über eine Kreuzungsbrückenstruktur (nicht bezeichnet) elektrisch miteinander verbunden sein. Eine Isolierschicht kann in jedem Überlappungsbereich zwischen den Kreuzungsbrückenstrukturen und den ersten Berührungssteuerungselektroden 141 angeordnet sein, wodurch sichergestellt wird, dass die ersten Berührungssteuerungselektroden 141 und die zweiten Berührungssteuerungselektroden 142 voneinander isoliert sind.
Das oben beschriebene organische lichtemittierende Anzeigefeld kann sich für eine Berührungssteuerung mit Gegenkapazität eignen. Die ersten Berührungssteuerungselektroden 141 können z. B. Berührungssteuerungstreiberelektroden und die zweiten Berührungssteuerungselektroden 142 Berührungssteuerungserfassungselektroden sein. Die Berührungssteuerungstreiberelektroden und die Berührungssteuerungserfassungselektroden können Kondensatoren bilden. Es können Berührungssteuerungstreibersignale sequentiell in die Berührungssteuerungstreiberelektroden eingegeben werden, und die Berührungssteuerungserfassungselektrodenschicht kann gleichzeitig Berührungssteuerungserfassungssignale ausgeben. Wenn eine Berührungssteuerung auftritt, kann die Kopplung zwischen den Berührungssteuerungstreiberelektroden und den Berührungssteuerungserfassungselektroden in der Nähe des Berührungssteuerungspunkts beeinträchtigt werden. Die Kapazität zwischen den Berührungssteuerungstreiberelektroden und den Berührungssteuerungserfassungselektroden kann sich somit verändern.
Das Verfahren zur Erfassung der Position des Berührungssteuerungspunkts kann insbesondere das sequentielle Eingeben der Berührungssteuerungstreibersignale in die Berührungssteuerungselektroden und das gleichzeitige Ausgeben der Berührungssteuerungserfassungssignale durch die Berührungssteuerungserfassungselektroden umfassen. Somit kann die Kapazität an allen Überlappungsbereichen zwischen den Berührungssteuerungstreiberelektroden und der Berührungssteuerungserfassungselektroden erhalten werden. Das heißt es kann die Kapazität über die gesamte zweidimensionale Ebene erhalten werden. Auf der Basis der Daten bezüglich der Kapazitätsvarianz an der gesamten zweidimensionalen Ebene können ferner die Koordinaten des Berührungssteuerungspunkts berechnet werden.
4A veranschaulicht eine Draufsicht eines weiteren organischen lichtemittierenden Anzeigefelds entsprechend offenbarten Ausführungsformen. 4B veranschaulicht eine Querschnittansicht entlang DD' aus 4A entsprechend offenbarten Ausführungsformen. Wie in 4A und 4B gezeigt, kann zu den Strukturen, die denjenigen aus 3A und 3B entsprechen oder dazu ähnlich sind, auf die obigen Beschreibungen verwiesen werden, wobei diese hier nicht weiter beschrieben sind. Bei einer Ausführungsform können die erste Berührungssteuerungselektroden 141 und die zweiten Berührungssteuerungselektroden 142 transparente und leitende Dünnfilme aus ITO usw. sein. Bei einer weiteren Ausführungsform, und wie in 4A und 4B gezeigt, kann es sich bei den ersten Berührungssteuerungselektroden 141 und den zweiten Berührungssteuerungselektroden 142 um Metalldrähte in einem Gittermuster handeln.
5A veranschaulicht eine Draufsicht eines weiteren organischen lichtemittierenden Anzeigefelds entsprechend offenbarten Ausführungsformen. 5B veranschaulicht eine Querschnittansicht entlang EE' aus 5a entsprechend offenbarten Ausführungsformen. Wie in 5A und 5B gezeigt, kann das organische lichtemittierende Anzeigefeld das Arraysubstrat 11 mit einem organischen lichtemittierenden Element und die Dünnschichtverkapselungsschicht 12 umfassen, die das Arraysubstrat 11 mit eienm organischen lichtemittierenden Element bedeckt. Die Dünnschichtverkapselungsschicht 12 kann insbesondere die erste anorganische Schicht 121, die erste organische Schicht 122, die zweite anorganische Schicht 123, eine zweite organische Schicht 124 und eine dritte anorganische Schicht 125 umfassen. Die Berührungssteuerungselektroden 14 des organischen lichtemittierenden Anzeigefelds können die ersten Berührungssteuerungselektroden 141 und die zweiten Berührungssteuerungselektroden 142 umfassen.
Darüber hinaus können die ersten Berührungssteuerungselektroden 141 und die zweiten Berührungssteuerungselektroden 142 in den ersten Nutstrukturen 13 in unterschiedlichen organischen Schichten angeordnet sein. Wie in 5A und 5B gezeigt, können beispielsweise die ersten Berührungssteuerungselektroden 141 in den ersten Nutstrukturen 13 in der zweiten organischen Schicht 124 und die zweiten Berührungssteuerungselektroden 142 in den ersten Nutstrukturen 13 in der ersten organischen Schicht 122 liegen. Bei dem offenbarten organischen lichtemittierenden Anzeigefeld kann es sich auch um ein Berührungssteuerungs-Anzeigefeld mit Gegenkapazität handeln.
Wie in 5A und 5B gezeigt, können bei einer Ausführungsform die ersten Berührungssteuerungselektroden 141 und die zweiten Berührungssteuerungselektroden 142 streifenförmig sein. Die Seitenwände der ersten Nutstrukturen 13 in der ersten organischen Schicht 122 und die erste Nutstruktur 13 in der zweiten organischen Schicht 124 können insbesondere bogenförmig sein.
6A veranschaulicht eine Draufsicht eines weiteren organischen lichtemittierenden Anzeigefelds entsprechend offenbarten Ausführungsformen. 6B veranschaulicht eine Querschnittansicht entlang FF' aus 6A entsprechend offenbarten Ausführungsformen. Im Unterschied zu 5A und 5B können, wie in 6A und 6B gezeigt, die ersten Berührungssteuerungselektroden 141 und die zweiten Berührungssteuerungselektroden 142 alle Metalldrähte in einem Gittermuster sein. Optional können die erste Nutstrukturen 13 in der ersten organischen Schicht 122 die gleiche Gestalt haben wie die ersten Berührungssteuerungselektroden 141. Das heißt die Orthogonalprojektion der ersten Nutstrukturen 13 in der ersten organischen Schicht 122 auf das Arraysubstrat mit einem organischen lichtemittierenden Element kann in einem Gittermuster vorliegen. Optional können die ersten Nutstrukturen 13 in der zweiten organischen Schicht 124 die gleiche Gestalt haben wie die zweiten Berührungssteuerungselektroden 142. Das heißt die Orthogonalprojektion der ersten Nutstrukturen 13 in der zweiten organischen Schicht 124 auf das Arraysubstrat mit einem organischen lichtemittierenden Element kann in einem Gittermuster vorliegen.
7A veranschaulicht eine Draufsicht eines weiteren organischen lichtemittierenden Anzeigefelds entsprechend offenbarten Ausführungsformen. 7B veranschaulicht eine Querschnittansicht entlang GG' aus 7A entsprechend offenbarten Ausführungsformen. 7C veranschaulicht eine Querschnittansicht entlang HH' aus 7A entsprechend offenbarten Ausführungsformen. Wie in den 7A bis 7C gezeigt, kann das Arraysubstrat mit einem organischen lichtemittierenden Element einen Anzeigebereich 21 (einen Bereich, der in 7A durch ein gestricheltes Gehäuse dargestellt ist) und einen den Anzeigebereich 21 umgebenden Nichtanzeigebereich 22 (einen Bereich außerhalb des gestrichelten Gehäuses aus 7A) aufweisen. Die Dünnschichtverkapselungsschicht 12 kann in dem Anzeigebereich 21 liegen und die erste anorganische Schicht 121, die erste organische Schicht 122, die zweite anorganische Schicht 123, die zweite organische Schicht 124 und die dritte anorganische Schicht 125 umfassen.
Die organischen Schichten (die erste organische Schicht 122 und die zweite organische Schicht 124) mit den ersten Nutstrukturen 13 können insbesondere in dem Nichtanzeigebereich 22 eine schräge Struktur 23 aufweisen. In der schrägen Struktur 23 können mehrere Berührungssteuerungs-Zuleitungsdrähte 24 angeordnet sein. Die einen Enden der mehreren Berührungssteuerungs-Zuleitungsdrähte 24 können jeweils mit den entsprechenden Berührungssteuerungselektroden 14 (den ersten Berührungssteuerungselektroden 141 und den zweiten Berührungssteuerungselektroden 142) elektrisch verbunden sein, und die anderen Enden der mehreren Berührungssteuerungs-Zuleitungsdrähte können jeweils mit einer entsprechenden Treiberchipschnittstelle oder einer flexiblen Leiterplatte elektrisch verbunden sein.
8A veranschaulicht eine weitere Querschnittansicht entlang GG' aus 7A entsprechend offenbarten Ausführungsformen. 8B veranschaulicht eine weitere Querschnittansicht entlang HH' aus 7A entsprechend offenbarten Ausführungsformen. Wie in 8A und 8B gezeigt, können optional (nicht gezeigte) zweite Nutstrukturen in der schrägen Struktur 23 angeordnet sein, und die Seitenwände der zweiten Nutstrukturen können bogenförmig sein. Die mehreren Berührungssteuerungs-Zuleitungsdrähte 24 können in den zweiten Nutstrukturen angeordnet sein. Bei einer Ausführungsform können die zweiten Nutstrukturen in der schrägen Struktur 23 angeordnet sein, und die mehreren Berührungssteuerungs-Zuleitungsdrähte 24 können in den zweiten Nutstrukturen angeordnet sein. Somit kann das Problem, dass die Berührungssteuerungs-Zuleitungsdrähte 24 an der durch die Höhendifferenz zwischen der schrägen Struktur 23 und den ersten Nutstrukturen verursachten Schräge steigen müssen, verhindert werden. Mit Bezug auf 8A und 8B kann aufgrund der Tatsache, dass die Berührungssteuerungs-Zuleitungsdrähte 24 nicht mehr an der Schräge ansteigen müssen, das Brechen der Berührungssteuerungs-Zuleitungsdrähte 24 im Biegeprozess verhindert werden.
Optional kann die Tiefe der zweiten Nutstrukturen größer sein als die Dicke der Berührungssteuerungs-Zuleitungsdrähte 24. Die Breite der zweiten Nutstruktur kann größer sein als die Breite der Berührungssteuerungs-Zuleitungsdrähte 24. Die bogenförmigen Seitenwände der zweiten Nutstrukturen können auch konvex bogenförmig sein. Die Tiefe der zweiten Nutstrukturen kann der Tiefe der ersten Nutstrukturen entsprechen oder von dieser verschieden sein.
Das offenbarte Arraysubstrat mit einem organischen lichtemittierenden Element kann ferner mehrere lichtemittierende Einheiten, die in einem Array angeordnet sind, umfassen. Es können Abstandsbereiche zwischen den mehreren lichtemittierenden Einheiten vorhanden sein. Wenn die Orthogonalprojektionen der ersten Nutstrukturen auf das Arraysubstrat mit einem organischen lichtemittierenden Element in einem Gittermuster vorliegen, können die vertikalen Projektionen der ersten Nutstrukturen auf das Arraysubstrat mit einem organischen lichtemittierenden Element optional innerhalb der Abstandsbereiche liegen. Dementsprechend können die Berührungssteuerungselektroden aus Metalldrähten mit Gittermuster, die in den ersten Nutstrukturen angeordnet sind, daran gehindert werden, die lichtemittierenden Bereiche einzunehmen.
Darüber hinaus kann die Breite der ersten Nutstrukturen entsprechend der Größe der Abstandsbereiche ausgebildet sein. Optional kann die Breite jeder Nut in den ersten Nutstrukturen in einem Bereich von etwa 5 bis 20 μm liegen, und der Abstand zwischen benachbarten Nuten in den ersten Nutstrukturen kann in einem Bereich von etwa 30 bis 500 μm liegen.
Die vorliegende Offenbarung stellt auch ein Verfahren zur Herstellung eines organischen lichtemittierenden Anzeigefelds bereit. Das Verfahren kann das Ausbilden eines Arraysubstrats mit einem organischen lichtemittierenden Element und das Ausbilden einer Dünnschichtverkapselungsschicht auf dem Arraysubstrat mit einem organischen lichtemittierenden Element umfassen. Das Ausbilden der Dünnschichtverkapselungsschicht auf dem Arraysubstrat mit einem organischen lichtemittierenden Elementen kann insbesondere das Ausbilden mindestens einer anorganischen Schicht und mindestens einer organischen Schicht umfassen. In mindestens einer organischen Schicht können erste Nutstrukturen angeordnet sein, und die Seitenwände der ersten Nutstrukturen können bogenförmig sein. Darüber hinaus können Berührungssteuerungselektroden in den ersten Nutstrukturen ausgebildet sein.
Durch das Ausbilden der Berührungssteuerungselektroden in der Dünnschichtverkapselungsschicht kann die Korrosion der Berührungssteuerungselektroden, die durch Wasserdampf von außen, Sauerstoff usw. hervorgerufen wird, vermieden werden. Gleichzeitig ist es möglich, dass die Dicke der organischen lichtemittierenden Anzeigefelder nicht kontinuierlich steigt, was dem Entwicklungstrend der Verdünnung gerecht wird. Durch das Ausbilden der Berührungssteuerungselektroden in den ersten Nutstrukturen in einer organischen Schicht der Dünnschichtverkapselungsschicht kann außerdem das Risiko eines Bruchs der Berührungssteuerungselektroden im Biegeprozess deutlich verringert werden. Da außerdem die Seitenwände der ersten Nutstrukturen bogenförmig sind, können die in den ersten Nutstrukturen ausgebildeten Berührungssteuerungselektroden einen relativ weichen und passenden Kontakt mit den ersten Nutstrukturen haben. Dementsprechend kann das Problem der Spannungskonzentration, das an den Seitenwänden der ersten Nutstrukturen auftritt, verhindert und das Risiko eines Bruchs der Berührungssteuerungselektroden im Biegeprozess weiter reduziert werden.
9 veranschaulicht ein Flussdiagramm eines Verfahrens zur Herstellung eines beispielhaften organischen lichtemittierenden Anzeigefelds entsprechend offenbarten Ausführungsformen. Wie in 9 gezeigt, kann das Verfahren das Ausbilden eines Arraysubstrats mit einem organischen lichtemittierenden Element (S110) und das Ausbilden einer ersten anorganischen Schicht auf dem Arraysubstrat mit einem organischen lichtemittierenden Element (S120) umfassen.
Das Verfahren kann ferner das Ausbilden einer ersten organischen Schicht mit ersten Nutstrukturen in der ersten anorganischen Schicht (S130), das Ausbilden von Berührungssteuerungselektroden in den ersten Nutstrukturen der ersten organischen Schicht (S140) und das Ausbilden einer zweiten anorganischen Schicht auf der ersten organischen Schicht und den Berührungssteuerungselektroden (S150) umfassen. Die erste organische Schicht mit den ersten Nutstrukturen kann insbesondere in einem Tintenstrahldruckprozess hergestellt werden. Die Berührungssteuerungselektroden in den ersten Nutstrukturen können in einem Tintenstrahldruckprozess oder einem Ätzprozess angeordnet werden.
Bei den Berührungssteuerungselektroden, die in den ersten Nutstrukturen ausgebildet sind, kann es sich insbesondere um Berührungssteuerungselektroden mit Eigenkapazität handeln. Mit Bezug auf 1A und 1B können die Berührungssteuerungselektroden beispielsweise mehrere Berührungssteuerungselektrodenblöcke umfassen, wobei es sich bei dem Material der Berührungssteuerungselektrode um ein transparentes Metalloxid, wie etwa ITO usw. handeln kann. Mit Bezug auf 2A und 2B kann es sich optional bei den Berührungssteuerungselektroden um Metalldrähte in einem Gittermuster handeln.
Die Berührungssteuerungselektroden können ferner mehrere erste Berührungssteuerungselektroden und mehrere zweite Berührungssteuerungselektroden umfassen. Die mehreren ersten Berührungssteuerungselektroden und die mehreren zweiten Berührungssteuerungselektroden können in ein und derselben Schicht angeordnet sein, wodurch eine Berührungssteuerungsstruktur mit Gegenkapazität gebildet wird. Die ersten Berührungssteuerungselektroden und die zweiten Berührungssteuerungselektroden können insbesondere in unterschiedlichen Nutstrukturen in ein und derselben organischen Schicht liegen. Bei den ersten Berührungssteuerungselektroden und den zweiten Berührungssteuerungselektroden kann es sich beispielsweise um transparente und leitende Dünnfilme aus ITO usw. (wie in 3A und 3B gezeigt) oder um Metalldrähte in einem Gittermuster (wie in 4A und 4B gezeigt) handeln.
10 veranschaulicht ein Flussdiagramm eines Verfahrens zur Herstellung eines beispielhaften organischen lichtemittierenden Anzeigefels entsprechend offenbarten Ausführungsformen. Wie in 10 gezeigt, kann das Verfahren das Ausbilden eines Arraysubstrats mit einem organischen lichtemittierenden Element (S210) und das Ausbilden einer ersten anorganischen Schicht auf dem Arraysubstrat mit einem organischen lichtemittierenden Element (S220) umfassen.
Das Verfahren kann ferner das Ausbilden einer ersten organischen Schicht mit ersten Nutstrukturen in der ersten anorganischen Schicht (S230), das Ausbilden von ersten Berührungssteuerungselektroden in den ersten Nutstrukturen der ersten organischen Schicht (S240) und das Ausbilden einer zweiten anorganischen Schicht auf der ersten organischen Schicht und den Berührungssteuerungselektroden (S250) umfassen. Die erste organische Schicht mit den ersten Nutstrukturen kann insbesondere in einem Tintenstrahldruckprozess hergestellt werden. Die Berührungssteuerungselektroden in den ersten Nutstrukturen der ersten organischen Schicht können in einem Tintenstrahldruckprozess oder in einem Ätzprozess angeordnet werden.
Das Verfahren kann ferner das Ausbilden einer zweiten organischen Schicht mit den ersten Nutstrukturen auf der zweiten anorganischen Schicht (S260), das Ausbilden von zweiten Berührungssteuerungselektroden in den ersten Nutstrukturen der zweiten organischen Schicht (S270) und das Ausbilden einer dritten anorganischen Schicht auf der zweiten organischen Schicht und den zweiten Berührungssteuerungselektroden (S280) umfassen. Die zweite organische Schicht mit den ersten Nutstrukturen kann insbesondere in einem Tintenstrahldruckprozess hergestellt werden. Die Berührungssteuerungselektroden in den ersten Nutstrukturen der zweiten organischen Schicht können in einem Tintenstrahldruckprozess oder in einem Ätzprozess angeordnet werden.
Bei dem offenbarten organischen lichtemittierenden Anzeigefeld kann es sich auch um ein Berührungssteuerungsanzeigefeld mit Gegenkapazität handeln. Die Seitenwände der ersten Nutstrukturen in der ersten organischen Schicht und der ersten Nutstrukturen in der zweiten organischen Schicht können alle bogenförmig sein. Die ersten Berührungssteuerungselektroden können in den ersten Nutstrukturen der ersten organischen Schicht angeordnet sein. Die zweiten Berührungssteuerungselektroden können in der ersten Nutstruktur der zweiten organischen Schicht angeordnet sein. Die ersten Berührungssteuerungselektroden und die zweite Berührungssteuerungselektrode können transparente und leitende Dünnfilme aus ITO usw. (wie in 5A und 5B gezeigt) oder Metalldrähte in einem Gittermuster (wie in 6A und 6B gezeigt) sein.
Optional können die ersten Nutstrukturen in der ersten organischen Schicht den gleichen Aufbau haben wie die ersten Berührungssteuerungselektroden. Die Orthogonalprojektionen der ersten Nutstrukturen in der ersten organischen Schicht auf das Arraysubstrat mit einem organischen lichtemittierenden Element können beispielsweise in einem Gittermuster vorliegen, und bei den ersten Berührungssteuerungselektroden kann es sich um Metalldrähte mit Gittermuster handeln. Die ersten Nutstrukturen in der zweiten organischen Schicht können die gleiche Form haben wie die zweiten Berührungssteuerungselektroden. Die Orthogonalprojektionen der ersten Nutstrukturen in der zweiten organischen Schicht auf das Arraysubstrat mit einem organischen lichtemittierenden Element können zum Beispiel in einem Gittermuster vorliegen, und bei den zweiten Berührungssteuerungselektroden kann es sich um Metalldrähte in einem Gittermuster handeln.
Bei der vorliegenden Offenbarung kann optional die Tiefe der ersten Nutstrukturen so ausgebildet sein, dass sie größer ist als die Dicke der Berührungssteuerungselektroden. Somit können Beschädigungen an den Berührungssteuerungselektroden, die durch eine externe Kraft oder eine Luftbewegung verursacht werden, vermieden werden. Optional kann die Tiefe der ersten Nutstrukturen so ausgebildet sein, dass sie in einem Bereich von etwa 0,3 bis 16 μm liegt. Die Breite jeder Nut in den ersten Nutstrukturen kann größer sein als die Breite der in jeder Nut angeordneten entsprechenden Berührungssteuerungselektrode.
Optional können bei der vorliegenden Offenbarung die ersten Nutstrukturen durch einen Ätzprozess in der organischen Schicht ausgebildet werden. Die ersten Nutstrukturen können sequentiell insbesondere durch Schleuderbeschichten, Belichten, Entwickeln, Photoätzen und Abziehen eines Photoresists hergestellt werden.
Optional kann bei der vorliegenden Offenbarung die organische Schicht mit den ersten Nutstrukturen in einem Tintenstrahldruckprozess hergestellt werden. Im Unterschied zur Ausbildung der ersten Nutstrukturen in der organischen Schicht durch einen Ätzprozess kann bei dem Tintenstrahldruckprozess verhindert werden, dass die Dünnschichtverkapselungsschicht im Ätzprozess durch die säurehaltigen und alkalihaltigen Ätzmittel beschädigt wird. Darüber hinaus kann die beim Photoätzen durch die Lichteinstrahlung verursachte Verschlechterung der Leistung der organischen lichtemittierenden Elemente verhindert werden.
11 veranschaulicht ein Flussdiagramm zum Ausbilden einer organischen Schicht mit ersten Nutstrukturen in einem Tintenstrahldruckprozess entsprechend offenbarten Ausführungsformen. Wie in 11 gezeigt, kann das Verfahren das Ausgestalten eines voreingestellten Druckmusters (S310) umfassen. Optional kann ein Nutzer das voreingestellte Druckmuster auf der Basis der Anforderungen an die spezifischen Produkte auslegen. Das Muster der organischen Schicht mit den ersten Nutstrukturen kann zum Beispiel vorab in der Tintenstrahldruckvorrichtung gespeichert werden.
Das Verfahren kann ferner das Ausschleudern von Tintentröpfchen entsprechend dem voreingestellten Druckmuster (S320) umfassen. Es können mehrere Verfahren angewandt werden, um das Ausschleudern von Tintentröpfchen entsprechend dem voreingestellten Druckmuster durchzuführen. Entsprechend dem voreingestellten Druckmuster ist es beispielsweise möglich, die Bewegungsbahn mindestens einer Düse des Tintenstrahldruckers sowie das Ein- und Ausschalten mindestens einer Düse so zu steuern, dass die organische Schicht mit den ersten Nutstrukturen ausgebildet wird. Das heißt das Arraysubstrat mit einem organischen lichtemittierenden Element kann fest sein, und die Bewegung der Düse des Tintenstrahldruckers kann entsprechend dem voreingestellten Druckmuster gesteuert werden. Optional können entsprechend dem voreingestellten Druckmuster die Bewegungsbahn des Arraysubstrats mit einem organischen lichtemittierenden Element und das Ein- und Ausschalten mindestens einer Düse des Tintenstrahldruckers so gesteuert werden, dass die organische Schicht mit den ersten Nutstrukturen ausgebildet wird. Das heißt die Düse des Tintenstrahldruckers kann fest sein, und die Bewegung des Arraysubstrats mit einem organischen lichtemittierenden Element kann entsprechend dem voreingestellten Muster gesteuert werden.
Optional kann die organische Schicht mit den ersten Nutstrukturen auch dadurch ausgebildet werden, dass das voreingestellte Druckmuster ausgestaltet und das Ein- und Ausschalten der mehreren Düsen, die in einem Array angeordnet sind, entsprechend dem voreingestellten Druckmuster gesteuert wird. Das bedeutet, dass das Arraysubstrat mit einem organischen lichtemittierenden Element und die Düsen des Tintenstrahldruckers fest sind, und die organische Schicht mit den ersten Nutstrukturen kann durch Steuerung des Ein- und Ausschaltens der mehreren in einem Array angeordneten Düsen gesteuert werden. Die vorliegende Offenbarung soll die Anzahl der Düsen in dem Tintenstrahldrucker nicht beschränken.
Der Abstand zwischen benachbarten Nuten in den ersten Nutstrukturen kann optional durch die Steuerung der Größe der ausgeschleuderten Tintentröpfchen und/oder der Geschwindigkeit der ausgeschleuderten Tintentröpfchen eingestellt werden. Je größer die ausgeschleuderten Tintentröpfchen und höher die Geschwindigkeit der ausgeschleuderten Tintentröpfchen zum Beispiel, desto größer ist der Abstand zwischen den benachbarten Nuten in den ersten Nutstrukturen.
Das Verfahren kann ferner das Aushärten der ausgeschleuderten Tintentröpfchen (S330) umfassen. Optional kann das Aushärten der ausgeschleuderten Tintentröpfchen beispielsweise das thermische Aushärten oder das UV-Aushärten umfassen. Das Aushärten kann insbesondere durch Steuerung der Temperatur oder durch Verwendung von UV-Strahlung für die Bestrahlung ausgeführt werden. Darüber hinaus können die Tiefe und die Breite der ersten Nutstrukturen durch Steuerung der Aushärttemperatur und/oder der Aushärtdauer eingestellt werden. Optional können die Tiefe und die Breite der ersten Nutstrukturen durch Steuerung der Stärke und die Dauer der Strahlung mit Ultraviolett eingestellt werden. Durch die Steuerung der Aushärtdauer, der Aushärttemperatur, der Geschwindigkeit und Größe der beim Tintenstrahldrucken ausgeschleuderten Tintentröpfchen kann die Gestalt der ersten Nutstrukturen in der organischen Schicht gesteuert werden. Die Gestalt der Seitenwände der ersten Nutstrukturen kann beispielweise derart ausgebildet sein, dass sie eine konvexe Bogenform haben.
Optional können die Orthogonalprojektionen der ersten Nutstrukturen auf das Arraysubstrat mit einem organischen lichtemittierenden Element in einem Gittermuster vorliegen. Die organische Schicht mit den ersten Nutstrukturen kann durch zusammenlaufende und sich ansammelnde Tintentröpfchen ausgebildet werden.
Optional kann das Ausbilden der Berührungssteuerungselektroden in den ersten Nutstrukturen das Ausbilden der Berührungssteuerungselektroden in den ersten Nutstrukturen in einem Tintenstrahldruckprozess oder in einem Ätzprozess umfassen. Um den Verarbeitungsprozess zu vereinfachen, können optional die organische Schicht und die Berührungssteuerungselektroden in der Dünnschichtverkapselungsschicht alle in einem Tintenstrahldruckprozess hergestellt werden.
Insbesondere kann eine gemusterte organische Schicht (d. h. die organische Schicht mit den ersten Nutstrukturen) mit dem Tintenstrahldruckprozess hergestellt werden, und die Berührungssteuerungselektroden können in dem Tintenstrahldruckprozess in den ersten Nutstrukturen in der organischen Schicht hergestellt werden. Das Ausbilden der Berührungssteuerungselektroden in den ersten Nutstrukturen mit dem Tintenstrahldruckprozess kann optional das Ausschleudern der Tintentröpfchen in den ersten Nutstrukturen durch die Steuerung des Ein- und Ausschaltens der mehreren in einem Array angeordneten Düsen umfassen.
Da die Berührungssteuerungs-Zuleitungsdrähte für die Berührungssteuerungselektroden ausgestaltet werden müssen, können die Berührungssteuerungselektroden mit einer entsprechenden Treiberchipschnittstelle oder einer flexiblen Leiterplatte elektrisch verbunden werden. Beim Ausbilden der organischen Schicht in der Dünnschichtverkapselungsschicht kann optional die organische Schicht mit den ersten Nutstrukturen auf dem Arraysubstrat mit einem organischen lichtemittierenden Element ausgebildet werden, und es kann eine schräge Struktur ausgebildet werden, wenn sich die organische Schicht in den Nichtanzeigebereich des Arraysubstrats mit einem organischen lichtemittierenden Element erstreckt.
Beim Ausbilden der Berührungssteuerungselektroden in den ersten Nutstrukturen oder danach können mehrere Berührungssteuerungs-Zuleitungsdrähte in der schrägen Struktur ausgebildet werden. Die einen Enden der mehreren Berührungssteuerungs-Zuleitungsdrähte können jeweils mit den entsprechenden Berührungssteuerungselektroden elektrisch verbunden sein, und die anderen Enden der mehreren Berührungssteuerungs-Zuleitungsdrähte können jeweils mit der entsprechenden Treiberchipschnittstelle oder der flexiblen Leiterplatte elektrisch verbunden sein. Wenn es sich bei den Berührungssteuerungselektroden um Metalldrähte mit Gittermuster handelt, können die Berührungssteuerungs-Zuleitungsdrähte und die Berührungssteuerungselektroden unter Verwendung des gleichen Materials in ein und demselben Verarbeitungsvorgang hergestellt werden.
Um die Bildung einer Höhendifferenz zwischen der schrägen Struktur und den ersten Nutstrukturen zu vermeiden, die zu einem leichten Brechen der Berührungssteuerungs-Zuleitungsdrähte führt, können optional zweite Nutstrukturen in der schrägen Struktur ausgebildet sein. Die Seitenwände der zweiten Nutstrukturen können bogenförmig sein, und mehrere Berührungssteuerungs-Zuleitungsdrähte können in den zweiten Nutstrukturen angeordnet sein. Optional können die ersten Nutstrukturen und die zweiten Nutstrukturen gleichzeitig hergestellt werden. Die Tiefe der zweiten Nutstrukturen kann größer sein als die Dicke der Berührungssteuerungs-Zuleitungsdrähte. Die Breite der zweiten Nutstrukturen kann größer sein als die Breite der Berührungssteuerungs-Zuleitungsdrähte. Die Seitenwände der zweiten Nutstrukturen können auch eine konvexe Bogenform haben. Außerdem kann die Tiefe der zweiten Nutstrukturen derjenigen der ersten Nutstrukturen entsprechen oder von dieser verschieden sein.
Das offenbarte Arraysubstrat mit einem organischen lichtemittierenden Element umfasst mehrere lichtemittierende Einheiten, die in einem Array angeordnet sind. Es können Abstandsbereiche zwischen den mehreren lichtemittierenden Einheiten ausgebildet sein. Wenn die Orthogonalprojektionen der ersten Nutstrukturen auf das Arraysubstrat mit einem organischen lichtemittierenden Element ein Gittermuster haben, können die vertikalen Projektionen der ersten Nutstrukturen auf das Arraysubstrat mit einem organischen lichtemittierenden Element innerhalb der Abstandsbereiche liegen. Dementsprechend können die Berührungssteuerungselektroden aus Metalldrähten mit Gittermuster, die in den ersten Nutstrukturen angeordnet sind, daran gehindert werden, die lichtemittierenden Bereiche einzunehmen.
Die Breite der ersten Nutstrukturen kann entsprechend der Größe der Abstandsbereiche ausgebildet werden. Optional kann die Breite jeder Nut in den offenbarten ersten Nutstrukturen in einem Bereich von etwa 5 bis 20 μm liegen, und der Abstand zwischen den benachbarten Nuten in den ersten Nutstrukturen kann in einem Bereich von etwa 30 bis 500 μm liegen.
Durch die Verwendung des offenbarten organischen lichtemittierenden Anzeigefelds können die Berührungssteuerungselektroden in den ersten Nutstrukturen in einer organischen Schicht der Dünnschichtverkapselungsschicht angeordnet sein. Somit kann das Risiko des Brechens der Berührungssteuerungselektroden im Biegeprozess deutlich reduziert werden. Da außerdem die Seitenwände der ersten Nutstrukturen bogenförmig sind, können die Berührungssteuerungselektroden, die in den ersten Nutstrukturen angeordnet sind, einen relativ weichen und passenden Kontakt mit den ersten Nutstrukturen haben. Dementsprechend kann die Spannungskonzentration an den Seitenwänden der ersten Nutstrukturen verhindert und das Risiko des Brechens der Berührungssteuerungselektroden weiter reduziert werden.
Es sei angemerkt, dass die obigen ausführlichen Beschreibungen lediglich bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung und die hier angewandten Techniken und Prinzipien veranschaulichen. Der Fachmann wird verstehen, dass die vorliegende Offenbarung nicht auf die hier beschriebenen besonderen Ausführungsformen beschränkt ist und zahlreiche signifikante Änderungen, Modifikationen und Alternativen von dem Fachmann abgeleitet werden können, ohne von dem Umfang der vorliegenden Offenbarung abzuweichen. Auch wenn die vorliegende Offenbarung in den oben beschriebenen Ausführungsformen ausführlich veranschaulicht wurde, ist die vorliegende Offenbarung nicht auf die obigen Ausführungsformen beschränkt. Jedes gleichwertige Element oder jede Modifikation dazu fällt ohne von dem Gedanken und dem Prinzip der vorliegenden Erfindung abzuweichen in den tatsächlichen Umfang der vorliegenden Erfindung, wobei der Umfang der vorliegenden Offenbarung durch die angehängten Ansprüche definiert ist.

Claims

Organisches lichtemittierendes Anzeigefeld, das Folgendes umfasst: ein Arraysubstrat (11) mit einem organischen lichtemittierenden Element; eine Dünnschichtverkapselungsschicht (12), die das Arraysubstrat (11) mit einem organischen lichtemittierenden Element (11) bedeckt; und Berührungssteuerungselektroden (14), wobei die Dünnschichtverkapselungsschicht (12) mindestens eine anorganische Schicht und mindestens eine organische Schicht umfasst, in mindestens einer organischen Schicht erste Nutstrukturen (13) ausgebildet sind, Seitenwände der ersten Nutstrukturen (13) bogenförmig sind, und die Berührungssteuerungselektroden (14) in den ersten Nutstrukturen (13) angeordnet sind.
Organisches lichtemittierendes Anzeigefeld nach Anspruch 1, wobei: die Berührungssteuerungselektroden (14) mehrere Berührungssteuerungselektrodenblöcke (141) umfassen und die mehreren Berührungssteuerungselektrodenblöcke (141) in ein und derselben organischen Schicht in den ersten Nutstrukturen (13) angeordnet sind.
Organisches lichtemittierendes Anzeigefeld nach Anspruch 1, wobei: die Dünnschichtverkapselungsschicht (12) eine erste anorganisches Schicht (121), eine erste organische Schicht (122) und eine zweite anorganische Schicht (123) umfasst und die erste organische Schicht (122) zwischen der ersten anorganischen Schicht (121) und der zweiten anorganischen Schicht (123) eingeschoben ist.
Organisches lichtemittierendes Anzeigefeld nach Anspruch 1, wobei: das Arraysubstrat (11) mit einem organischen lichtemittierenden Element einen Anzeigebereich (21) und einen den Anzeigebereich (21) umgebenden Nichtanzeigebereich (22) umfasst, die organische Schicht eine schräge Struktur (23) in dem Nichtanzeigebereich (22) bildet und mehrere Berührungssteuerungs-Zuleitungsdrähte (24) in der schrägen Struktur (23) angeordnet sind, wobei die einen Enden der mehreren Berührungssteuerungs-Zuleitungsdrähte (24) jeweils mit den Berührungssteuerungselektroden (14) elektrisch verbunden sind und die anderen Enden der mehreren Berührungssteuerungs-Zuleitungsdrähte (24) mit einer entsprechenden Treiberchipschnittstelle oder einer flexiblen Leiterplatte elektrisch verbunden sind.
Organisches lichtemittierendes Anzeigefeld nach Anspruch 4, wobei: in der schrägen Struktur (23) zweite Nutstrukturen ausgebildet sind, Seitenwände der zweiten Nutstrukturen bogenförmig sind und die mehreren Berührungssteuerungs-Zuleitungsdrähte (24) in den zweiten Nutstrukturen angeordnet sind.
Organisches lichtemittierendes Anzeigefeld nach Anspruch 1, wobei: eine Tiefe der ersten Nutstrukturen (13) größer ist als eine Dicke der Berührungssteuerungselektroden (14).
Organisches lichtemittierendes Anzeigefeld nach Anspruch 1, wobei: die Orthogonalprojektionen der ersten Nutstrukturen (13) auf das Arraysubstrat (11) mit einem organischen lichtemittierenden Element in einem Gittermuster vorliegen.
Organisches lichtemittierendes Anzeigefeld nach Anspruch 7, wobei: das Arraysubstrat (11) mit einem organischen lichtemittierenden Element mehrere in einem Array angeordnete lichtemittierende Einheiten umfasst, wobei zwischen den mehreren lichtemittierenden Einheiten Abstandsbereiche angeordnet sind, und vertikale Projektionen der ersten Nutstrukturen (13) auf das Arraysubstrat (11) mit einem organischen lichtemittierenden Element innerhalb der Abstandsbereiche liegen.
Organisches lichtemittierendes Anzeigefeld nach Anspruch 8, wobei: eine Breite jeder Nut in den ersten Nutstrukturen (13) in einem Bereich von etwa 5 bis 20 μm liegt und ein Abstand zwischen benachbarten Nuten in den ersten Nutstrukturen (13) in einem Bereich von etwa 30 bis 500 μm liegt.
Verfahren zur Herstellung eines organischen lichtemittierenden Anzeigefelds, das Folgendes umfasst: Ausbilden (S110; S210) eines Arraysubstrats mit einem organischen lichtemittierenden Element, Ausbilden einer Dünnschichtverkapselungsschicht auf dem Arraysubstrat mit einem organischen lichtemittierenden Element, wobei das Ausbilden der Dünnschichtverkapselungsschicht auf dem organischen lichtemittierenden Element das Ausbilden mindestens einer anorganischen und mindestens einer organischen Schicht umfasst, Ausbilden (130) von ersten Nutstrukturen in mindestens einer organischen Schicht, wobei Seitenwände der ersten Nutstrukturen bogenförmig sind, und Ausbilden (140) von Berührungssteuerungselektroden in den ersten Nutstrukturen.
Verfahren nach Anspruch 10, wobei das Ausbilden der Dünnschichtverkapselungsschicht auf dem Arraysubstrat mit einem organischen lichtemittierenden Element Folgendes umfasst: Ausbilden (S120; S220) einer ersten anorganischen Schicht auf dem Arraysubstrat mit einem organischen lichtemittierenden Element, Ausbilden (S130; S230) einer ersten organischen Schicht mit den ersten Nutstrukturen auf der anorganischen Schicht, Ausbilden (S140) der Berührungssteuerungselektroden in den ersten Nutstrukturen der ersten organischen Schicht und Ausbilden (S150; S250) einer zweiten anorganischen Schicht auf der ersten organischen Schicht und den Berührungssteuerungselektroden.
Verfahren nach Anspruch 10, wobei: die organische Schicht mit den ersten Nutstrukturen in einem Tintenstrahldruckprozess hergestellt wird.
Verfahren nach Anspruch 12, wobei das Ausbilden der organischen Schicht mit den ersten Nutstrukturen in einem Tintenstrahldruckprozess Folgendes umfasst: Ausgestalten (S310) eines voreingestellten Druckmusters, Ausschleudern (S320) von Tintentröpfchen entsprechend dem voreingestellten Druckmuster, und Aushärten (S330) von ausgeschleuderten Tintentröpfchen.
Verfahren nach Anspruch 13, wobei das Ausschleudern (S320) der Tintentröpfchen entsprechend dem voreingestellten Druckmuster ferner Folgendes umfasst: Ausbilden der organischen Schicht mit den ersten Nutstrukturen durch die Steuerung einer Bewegungsbahn mindestens einer Düse eines Tintenstrahldruckers und des Ein- und Ausschaltens mindestens einer Düse entsprechend dem voreingestellten Druckmuster.
Verfahren nach Anspruch 13, wobei das Ausschleudern (S320) der Tintentröpfchen entsprechend dem voreingestellten Druckmuster ferner Folgendes umfasst: Ausbilden der organischen Schicht mit den ersten Nutstrukturen durch die Steuerung einer Bewegungsbahn des Arraysubstrats mit einem organischen lichtemittierenden Element und des Ein- und Ausschaltens mindestens einer Düse des Tintenstrahldruckers entsprechend dem voreingestellten Druckmuster.
Verfahren nach Anspruch 13, wobei das Ausschleudern (S320) der Tintentröpfchen entsprechend dem voreingestellten Druckmuster ferner Folgendes umfasst: Ausgestalten des voreingestellten Druckmusters und Ausbilden der organischen Schicht mit den ersten Nutstrukturen durch die Steuerung des Ein- und Ausschaltens von mehreren in einem Array angeordneten Düsen entsprechend dem voreingestellten Druckmuster.
Verfahren nach Anspruch 13, wobei das Ausschleudern (S320) der Tintentröpfchen entsprechend dem voreingestellten Druckmuster ferner Folgendes umfasst: Einstellen eines Abstands zwischen benachbarten Nutstrukturen in den ersten Nutstrukturen durch die Steuerung der Größe des ausgeschleuderten Tintentröpfchens und/oder der Geschwindigkeit der ausgeschleuderten Tintentröpfchen.
Verfahren nach Anspruch 13, wobei: das Aushärten (S330) der ausgeschleuderten Tintentröpfchen das Aushärten der Tintentröpfchen durch Steuerung einer Temperatur oder das Aufbringen von ultraviolettem Licht umfasst.
Verfahren nach Anspruch 10, wobei: die ersten Nutstrukturen in einem Ätzprozess in der organischen Schicht hergestellt werden.
Verfahren nach Anspruch 10, wobei: das Ausbilden (S140) der Berührungssteuerungselektroden in den ersten Nutstrukturen das Ausbilden der Berührungssteuerungselektroden in den ersten Nutstrukturen in dem Tintenstrahldruckprozess oder in dem Ätzprozess umfasst.