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Die vorliegende Anmeldung basiert auf der und beansprucht die Priorität der chinesischen Patentanmeldung
201510102656.9 , eingereicht am 19. März 2015, deren gesamter Offenbarungsgehalt vorliegend durch Verweisung eingeschlossen sind.
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Technisches Gebiet
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Die vorliegende Offenbarung betrifft allgemein ein Gebiet von Berührungssteuerung, und spezieller eine berührungsgesteuerte Anzeigevorrichtung und ein Herstellungsverfahren derselben.
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Aus der
CN 101561609 B sind ein aktives Arraysubstrat, eine Flüssigkristallanzeigetafel und ein Verfahren zur Herstellung des aktiven Arraysubstrats vorbekannt. Das aktive Arraysubstrat umfasst ein Substrat, mehrere Abtastleitungen, mehrere Datendrähte und mehrere auf dem Substrat angeordnete Gitterelektroden-Patchkabel, wobei die Gitterelektroden-Patchkabel mehrere erste Teile, mehrere Patchkabel aufweisen Teile, die mit den entsprechenden ersten Teilen verbunden sind, mehrere Verbindungslöcher und mehrere zweite Teile. Der zweite Teil und der erste Teil sind nicht auf derselben Schicht angeordnet, und einer der zweiten Teile ist durch eines der Verbindungslöcher elektrisch mit dem entsprechenden ersten Teil verbunden..
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Aus der
CN 101582422 A ist eine Anzeigevorrichtung vorbekannt, die ein Substrat, mehrere Gate-Leitungen, mehrere Datenkabel, mehrere Datensignalübertragungskabel und mehrere Verbindungsstecker umfasst. Das vorbekannte Substrat umfasst einen Anzeigebereich und Randbereiche, die um den Anzeigebereich herum positioniert sind. Die Gate-Leitungen, die Datenkabel, die Datensignalübertragungskabel und die Verbindungsstecker sind im Anzeigebereich des Substrats angeordnet, wobei die Gate-Leitungen und die Datenkabel gekreuzt sind; Jedes Datensignalübertragungskabel ist jeweils zwischen zwei benachbarten Gate-Leitungen angeordnet, und jeder Verbindungsstecker ist jeweils zwischen dem Datensignalübertragungskabel und dem dem Datensignalübertragungskabel entsprechenden Datenkabel angeordnet, wodurch alle Datensignalübertragungskabel mit entsprechenden Datenkabeln elektrisch verbunden werden.
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Hintergrund
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In den zugehörigen technischen Gebiet beinhaltet eine Flüssigkristallanzeige im Allgemeinen eine Anzeigetafel mit einer Vielzahl von Datenleitungen, einer Vielzahl von Gate-Leitungen (oder als Scan-Leitungen bezeichnet), welche die Vielzahl von Datenleitungen kreuzen, und Pixel-Einheiten, welche in einer Matrixform angeordnet sind. Ferner ist ein Dünnfilm-Transistor (TFT) an einem Kreuzungspunkt einer Datenleitung und einer Gate-Leitung vorgesehen. Gemäß einer Ausgestaltung ist eine Gate-Elektrode des TFT elektrisch an die Gate-Leitung angeschlossen, eine Source-Elektrode des TFT ist elektrisch an die Datenleitung angeschlossen, und eine Drain-Elektrode des TFT ist elektrisch an eine Pixelelektrode angeschlossen. Zusätzlich kann die Anzeigetafel ferner mit einem Gate-treiber versehen sein, welcher sequenziell Gate-Treibersignale an die Gate-Leitungen liefert, und mit einem Source-Treiber, welcher Daten-Spannungssignale an die Datenleitungen liefert. Ein aktiver Bereich einer typischen Flüssigkristallanzeige hat im Allgemeinen eine rechteckige Form, und das Gate-Treibersignal und ein Source-Treiber Signal (d.h., das Daten-Spannungssignal) werden unter Verwendung unterschiedlicher Treiber oder eines integralen Treiberchips betrieben. Allerdings ist ein Gate-Schieberegister, welches Signale von dem Treiber-Chip empfängt, im allgemeinen in einem nicht aktiven Bereich an beiden Seiten des aktiven Bereichs der Anzeigetafel angeordnet, und übermittelt jeweils Gate-Scansignale über die Scan-Leitungen in dem aktiven Bereich des Gate-Schieberegister.
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Ein Berührungsanzeige-Bildschirm, wie bei Eingabemedien, ist eine einfachste und bequemste Art einer Mensch-Maschine-Wechselwirkung. Dementsprechend haben mehr und mehr Produkte eine Berührungsanzeige-Funktion in der Flüssigkristallanzeige integriert. Allerdings müssen Drähte zur Bereitstellung von Berührungssteuersignalen von der Berührungssteuerungselektroden durch den nicht aktiven Bereich an beiden Seiten der Anzeigetafel durchgeführt werden, was den Blendenbereich der Anzeigetafel weiter vergrößert.
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Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, unter Umgehung der Nachteile des Standes der Technik eine verbesserte berührungsgesteuerte Anzeigevorrichtung sowie ein Herstellungsverfahren für eine berührungsgesteuerte Anzeigevorrichtung anzugeben, welche den Blendenbereich der Anzeigetafel nicht weiter vergrößern.Zusammenfassung
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Die Aufgabe wird gelöst durch die Merkmalskombination jedes der unabhängigen Patentansprüche 1, 15 oder 18.
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Eine technische Lösung wird in der vorliegenden Offenbarung angegeben, welche insbesondere den folgenden Inhalts einschließt.
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Es wird eine berührungsgesteuerte Anzeigevorrichtung bereitgestellt, umfassend:
- einen Anzeigebereich und einen Nichtanzeigebereich, wobei der Anzeigebereich eine Gate-Metallschicht, eine Source/Drain-Metallschicht, eine Konversionsschicht und eine gemeinsame Elektrodenschicht umfasst, wobei die Gate-Metallschicht eine Gate-Elektrode und eine Vielzahl von Gate-Leitungen umfasst, wobei die Source/Drain-Metallschicht eine Source-Elektrode, eine Drain-Elektrode und eine Vielzahl von Source-Leitungen umfasst, wobei die Konversionsschicht eine Vielzahl von Konversionsleitungen umfasst, und wobei die gemeinsame Elektrodenschicht eine Vielzahl von gemeinsamen Elektroden, welche unabhängig voneinander sind, umfasst,
- wobei ein erstes Durchgangsloch auf der Gate-Leitung ausgebildet ist und
- wenigstens einen Abschnitt der Gate-Leitung freilegt, und ein zweites Durchgangsloch auf der gemeinsamen Elektrode ausgeformt ist und wenigstens einen Abschnitt der gemeinsamen Elektroden freilegt,
- wobei die Vielzahl von Gate-Leitungen die Vielzahl von Source-Leitungen kreuzt, und die Vielzahl von Konversionsleitungen eine Ausdehnungsrichtung parallel zu jener der Vielzahl von Source-Leitungen hat, und
- wobei die Vielzahl von Konversionsleitungen eine Vielzahl von ersten Konversionsleitungen und eine Vielzahl von zweiten Konversionsleitungen umfasst, wobei die Vielzahl von ersten Konversionsleitungen elektrisch über das erste Durchgangsloch an die Vielzahl von Gate-Leitungen angeschlossen ist, und
- die Vielzahl von zweiten Konversionsleitungen elektrisch über das zweite Durchgangsloch angeschlossen an die Vielzahl von gemeinsamen Elektroden ist.
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Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung stellen des Weiteren ein Herstellungsverfahren für eine berührungsgesteuerte Anzeigevorrichtung bereit, wobei das Verfahren umfasst:
- Vorsehen eines Basissubstrats;
- Bilden, auf dem Basissubstrat, einer Dünnfilm- Transistorelementschicht umfassend eine Gate-Metallschicht und eine Source/Drain Elektrodenmetallschicht, wobei die Gate-Metallschicht eine Gate-Elektrode und
- eine Vielzahl von Gate-Leitungen umfasst, und die Source/Drain-Elektrodenmetallschicht ein Source-Elektrode, eine Drain-Elektrode und eine Vielzahl von Source-Leitungen umfasst;
- Bilden einer gemeinsamen Elektrodenschicht auf der
- Dünnfilmelementtransistorelementschicht, und Versehen der gemeinsamen Elektrodenschicht mit einem Muster, um eine Vielzahl von gemeinsamen Elektroden zu bilden, welche unabhängig voneinander sind;
- Bilden einer dritten Isolationsschicht auf der gemeinsamen Elektrode und der Dünnfilm- Transistorelementschicht;
- Bilden einer Konversionsschicht auf der dritten Isolationsschicht, und Versehen der Konversionsschicht mit einem für Muster, um eine Vielzahl von Konversionsleitungen zu bilden, welche eine Vielzahl von ersten Konversionsleitungen und eine Vielzahl von zweiten Konversionsleitungen umfassen; und
- Bilden auf der Gate-Leitung eines erstes Durchgangslochs, welches wenigstens einen Abschnitt der Gate-Leitung freilegt, und Bilden auf der gemeinsamen Elektrode eines zweiten Durchgangslochs, welches wenigstens einen Abschnitt der gemeinsamen Elektrode freilegt, wobei die Vielzahl erster Konversionsleitungen elektrisch über das erste Durchgangsloch an die Vielzahl von Gate-Leitungen angeschlossen sind, und die Vielzahl von zweiten Konversionsleitungen elektrisch über das zweite Durchgangsloch an die Vielzahl von gemeinsamen Elektroden angeschlossen sind.
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Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung stellen des Weiteren ein weiteres Herstellungsverfahren für eine berührungsgesteuerte Anzeigevorrichtung bereit, wobei das Verfahren umfasst:
- Vorsehen eines Basissubstrats;
- Bilden, auf dem Basissubstrat, einer Dünnfilm-Transistorelementschicht, welche eine Gate-Metallschicht und eine Source/Drain-Elektrodenmetallschicht umfasst, wobei die Gate-Metallschicht eine Gate-Elektrode und eine Vielzahl von Gate-Leitungen umfasst, und die Source/Drain-Elektrodenmetallschicht eine Source-Elektrode, eine Drain-Elektrode und eine Vielzahl von Source-Leitungen umfasst;
- Versehen der Dünnfilm-Transistorelementschicht mit einem Muster, um auf der Gate-Leitung ein erstes Durchgangsloch zu bilden, welches wenigstens einen Abschnitt der Gate-Leitung freilegt;
- Bilden einer Pixel-Elektrodenschicht und einer Konversionsschicht auf der Dünnfilm- Transistorelementschicht;
- Versehen der Konversionsschicht und der Pixel-Elektrodenschicht, um eine Pixelelektrode mit einem Muster, eine Vielzahl von ersten Konversionsleitungen und eine Vielzahl von zweiten Konversionsleitungen zu bilden, wobei die Vielzahl von ersten Kommissionsleitungen elektrisch über das erste Durchgangsloch an die Vielzahl von Gate-Leitungen angeschlossen sind;
- Bilden einer dritten Isolationsschicht auf der ersten Konversions-Leitung, der zweiten Konversions-Leitung und der Pixelelektrode;
- Versehen der dritten Isolationsschicht mit einem Muster, um auf der zweiten Kommissionsleitungen ein zweites Durchgangsloch zu bilden, welches wenigstens einen Abschnitt der zweiten Kommissionsleitung freilegt; und
- Bilden einer gemeinsamen Elektrodenschicht auf der dritten Isolationsschicht und Versehen der gemeinsamen Elektrodenschicht mit einem Muster, um eine Vielzahl von gemeinsamen Elektroden zu bilden, welche unabhängig voneinander sind, wobei die gemeinsame Elektrode elektrisch über das zweite Durchgangsloch an die zweite Konversionsleitung angeschlossen ist.
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Figurenliste
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Die zur Beschreibung der Ausführungsformen verwendeten Zeichnungen werden nachstehend zum besseren Verständnis der technischen Lösung der Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung kurz beschrieben. Offenkundig sind die Zeichnungen in der folgenden Beschreibung lediglich einige Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung und andere Zeichnungen können durch den Fachmann auf Basis dieser Zeichnungen ohne kreative Arbeit erhalten werden.
- 1 ist eine Draufsicht einer in einer Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung bereitgestellten berührungsgesteuerten Anzeigevorrichtung.
- 2 ist eine teilweise vergrößerte Ansicht des Bereichs A in 1;
- 3 ist eine Schnittansicht einer in einer Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung bereitgestellten berührungsgesteuerten Anzeigevorrichtung;
- 4 ist eine Schnittansicht einer weiteren in einer Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung bereitgestellten berührungsgesteuerten Anzeigevorrichtung;
- 5 ist eine Schnittansicht einer weiteren in einer Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung bereitgestellten berührungsgesteuerten Anzeigevorrichtung;
- 6 ist eine Schnittansicht einer weiteren in einer Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung bereitgestellten berührungsgesteuerten Anzeigevorrichtung;
- 7A bis 71 stellen ein Herstellungsverfahren einer in einer Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung bereitgestellten berührungsgesteuerten Anzeigevorrichtung dar;
- 8A bis 8B stellen ein Herstellungsverfahren einer weiteren in einer Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung bereitgestellten berührungsgesteuerten Anzeigevorrichtung dar;
- 9A bis 9J stellen ein Herstellungsverfahren einer weiteren in einer Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung bereitgestellten berührungsgesteuerten Anzeigevorrichtung dar.
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Ausführliche Beschreibung
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Die technischen Lösungen der Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung werden klar und vollständig mit Bezugnahme auf die Zeichnungen in den Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung beschrieben. Offenkundig sind die beschriebenen Ausführungsformen lediglich einige Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung, als dass sie alle Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung sind. Basierend auf den Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung sind alle die anderen Ausführungsformen, die durch einen Fachmann ohne kreative Arbeit erhalten werden können, in dem Schutzumfang der vorliegenden Offenbarung umfasst.
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1 ist eine Draufsicht der berührungsgesteuerten Anzeigevorrichtung, die in einer Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung bereitgestellt wird. Die berührungsgesteuerte Anzeigevorrichtung umfasst einen Anzeigenbereich 11 (ein Bereich innerhalb des gestrichelten Blocks in 1) und einen Nichtanzeigebereich (einen Bereich außerhalb des gestrichelten Blocks in 1). Es werden in dem Anzeigebereich 101 eine Gate-Metallschicht, eine Source/Drain Elektroden-Metallschicht, eine Konversionsschicht und eine gemeinsame Elektrodenschicht (nicht in der Zeichnung dargestellt) umfasst.
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Die Gate-Metallschicht umfasst eine Gate-Elektrode (in der Zeichnung nicht dargestellt) und eine Vielzahl von Gate-Leitungen 103; die Source/Drain-Elektrodenmetallschicht umfasst eine Source (nicht in der Zeichnung dargestellt), eine Drain (nicht in der Zeichnung dargestellt) und eine Vielzahl von Source-Leitungen (nicht in der Zeichnung dargestellt); die Konversionsschicht umfasst eine Vielzahl von Konversionsleitungen (107, 109); und die gemeinsame Elektrodenschicht umfasst eine Vielzahl von gemeinsamen Elektroden 105, welche voneinander unabhängig sind. Ein erstes Durchgangsloch 1031, welches wenigstens einen Abschnitt der Gate-Leitung 103 freilegt, ist auf Gate-Leitung 103 bereitgestellt. Ein zweites Durchgangsloch 1052, welches wenigstens einen Abschnitt der gemeinsamen Elektrode 105 freilegt, ist auf der gemeinsamen Elektrode 105 bereitgestellt. Die Vielzahl von Gate-Leitungen 103 kreuzen die Vielzahl von Source-Leitungen und die Vielzahl von Konversionsleitungen weisen eine Ausdehnungsrichtung auf, die im Wesentlichen parallel zu der Vielzahl von Source-Leitungen ist. In einer Ausführungsform umfassen die Vielzahl von Konversionsleitungen eine Vielzahl von ersten Konversionsleitungen 107, die über das erste Durchgangsloch 1031 an die Vielzahl von Gate-Leitungen 103 angeschlossen sind und eine Vielzahl von zweiten Konversionsleitungen 109, die über das zweite Durchgangsloch 1052 an die Vielzahl von gemeinsamen Elektroden 105 elektrisch angeschlossen sind.
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Es sei darauf hingewiesen, dass in der in 1 dargestellten Ausführungsform der Anzeigebereich 101 mit Bezugnahme auf ein Beispiel mit nur 9 gemeinsamen Elektroden 105, 6 Gate-Leitungen 103, 8 ersten Konversionsleitungen 107 und 9 zweiten Konversionsleitungen 109 beschrieben wird. Bei einem derzeitigen Produkt jedoch kann sie frei nach den Anforderungen des Produkts entworfen werden, ohne auf den oben genannten Fall eingeschränkt zu sein.
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Der Nichtanzeigebereich in 1 umfasst weiterhin eine Schieberegistereinheit 111, die ein Gate-Treibersignal an die Vielzahl von Gate-Leitungen über die Vielzahl von ersten Konversionsleitungen 107 liefert, und eine Anzeigenberührungssteuerungstreibereinheit 113. Die Anzeigenberührungssteuerungstreibereinheit 113 liefert ein Berührungssteuerungs-Treibersignal an die Vielzahl von gemeinsamen Elektroden 105 über die Vielzahl von zweiten Konversionsleitungen 109 und oder detektiert ein Berührungssteuerungsdetektionssignal an den gemeinsamen Elektroden 105 über die Vielzahl von zweiten Konversionsleitungen 109. Dies liegt daran, dass die gemeinsamen Elektroden 105 als die Berührungssteuerungstreiber-Elektroden sowie die Berührungssteuerungsdetektionselektrode in der berührungsgesteuerten Anzeigevorrichtung, die in 1 dargestellt ist, gebündelt werden können.
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Es sei darauf hingewiesen, dass sich bei der berührungsgesteuerten Anzeigevorrichtung, die in 1 dargestellt ist, die Schieberegistereinheit 111 und die Anzeigenberührungssteuerungs-Treibereinheit 113 unter dem Anzeigebereich 101 befinden. Jedoch ist es nicht auf einen solchen Entwurf begrenzt. Die Schieberegistereinheit 111 und die Anzeigenberührungssteuerungstreibereinheit 113 können über dem Anzeigebereich 101 bereitgestellt werden. Die Schieberegistereinheit 111 und die Anzeigenberührungssteuerungstreibereinheit 113 können auf der gleichen Seite des Anzeigebereichs 101 oder separat an gegenüberliegenden Seiten des Anzeigebereich 101 bereitgestellt werden. Zum Beispiel in einem Fall, bei dem die Schieberegistereinheit 111 an einer oberen Seite des Anzeigebereichs 101 und die Anzeigenberührungssteuerungstreibereinheit 113 an einer unteren Seite des Anzeigebereichs 101 angeordnet ist, liefert die Schieberegistereinheit 111 weiterhin ein Gate-Treibersignal an die Vielzahl von Gate-Leitungen 103 über die ersten Konversionsleitungen 107, und die Anzeigenberührungssteuerungstreibereinheit 113 liefert weiterhin ein Berührungssteuerungstreibersignal an die Vielzahl von gemeinsamen Elektroden 105 über die zweiten Konversionsleitungen 109 und/oder der detektiert ein Berührungssteuerungsdetektionssignal an den gemeinsamen Elektroden 105 über die Vielzahl von zweiten Konversionsleitungen 109. Zusätzlich stellt die Anzeigenberührungssteuerungstreibereinheit 113 ein Steuersignal an der Schieberegistereinheit 111 über die Vielzahl von Steuerungsleitungen bereit. In diesem Fall verbinden die Vielzahl von Steuerungsleitungen (nicht in der Zeichnung dargestellt) die Schieberegistereinheit 111 und die Anzeigenberührungssteuerungstreibereinheit 113 elektrisch und sind auf der linken Seite und/oder der rechten Seite des Anzeigebereichs 101 angeordnet. Vorzugsweise sind die Schieberegistereinheit 111 und die Anzeigenberührungssteuerungstreibereinheit 113 auf der gleichen Seite oder gegenüberliegenden Seite des Anzeigebereichs 101 angeordnet. Solch ein Entwurf kann die Verengung der Blende maximieren.
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Die 2 ist eine zum Teil vergrößerte Ansicht des Bereichs A in 1, bei dem ein durch 4 beliebige gemeinsame Elektroden 105A, 105B, 150C und 105D besetzter Bereich als Beispiel genommen wird. Mit Bezugnahme auf 1 umfasst die berührungsgesteuerte Anzeigevorrichtung ein Basissubstrat 111 und eine Vielzahl von Source-Leitungen 104, die Gate-Leitungen 103 A, 103 B, 103C und 103D kreuzen. Es sei angemerkt, dass nur 4 Gate-Leitungen beispielsweise in 2 dargestellt sind, aber es ist nicht hierauf beschränkt. In gleicher Weise sind nur 4 Source-Leitungen 104 in 2 dargestellt, aber es ist nicht hierauf beschränkt. Ein Sub-Pixel (nicht in 2 dargestellt) ist an einer Kreuzung von einer Gate-Leitung 103 und einer Source-Leitung 104 definiert, und die Vielzahl von Konversionsleitungen (die erste Konversionsleitung 107 und die zweite Konversionsleitung 109) haben eine Ausdehnungsrichtung, die parallel zu der der Vielzahl von Source-Leitungen 104 ist. Es sei angemerkt, dass obwohl die Source-Leitungen 104 und die Vielzahl von Konversionsleitungen (die erste Konversionsleitung 107 und die zweite Konversionsleitung 109) in einer Ebene in der 2 parallel sind, gibt es keinen Überlappungsbereich zwischen ihren Projektionsschatten auf dem Basissubstrat 11 in der vertikalen Richtung. Die vorliegende Offenbarung ist jedoch nicht auf die technische Lösung in 2 beschränkt. Gegebenenfalls kann die Vielzahl von Konversionsleitungen (die erste Konversionsleitung 107 und die zweite Konversionsleitung 109) Projektionsschatten auf dem Basissubstrat 111 in der vertikalen Richtung aufweisen, die zumindest teilweise die der Vielzahl von Source-Leitungen 104 überlappen, oder die Vielzahl von Konversionsleitungen (die erste Konversionsleitung 107 und die zweite Konversionsleitung 109) können Projektionsschatten auf dem Basissubstrat 11 in vertikaler Richtung aufweisen, die wenigstens teilweise den der schwarzen Matrix (nicht in der Zeichnung dargestellt) überlappen. Solch ein Entwurf kann das Aperturverhältnis weiter verbessern.
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Es sei angemerkt, dass in der teilweise vergrößerten Ansicht in 2 jede erste Konversionsleitung elektrisch an nur eine Gate-Leitung angeschlossen ist. Zum Beispiel die erste Konversionsleitung 107 kann nicht elektrisch an andere Gate-Leitungen 103 A, 103B und 103D angeschlossen sein, während sie elektrisch an die Gate-Leitung 103 angeschlossen ist. Andererseits ist jede Gate-Leitung elektrisch an wenigstens eine der ersten Konversionsleitungen angeschlossen. Zum Beispiel kann die Gate-Leitung 103 C gleichzeitig an drei erste Konversionsleitungen 107 über das Durchgangsloch 1031 jeweils angeschlossen sein (bei dieser Ausführungsform werden drei erste Konversionsleitungen 107 als ein Beispiel genommen, jedoch ist es nicht auf drei beschränkt, sondern kann beliebig nach die Anforderungen an das Produkt ohne Beschränkung entworfen werden). Solch ein Entwurf kann die einzelne Übertragungsstabilität durch Übertragung eines Gate-Scansignals an eine gleiche Gate-Leitung gleichzeitig mit einer Vielzahl von ersten Konversionsleitungen verbessern.
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Es sei angemerkt, dass in der teilweise vergrößerten Ansicht in 2 jede zweite Konversionsleitungen elektrisch an nur eine gemeinsame Elektrode angeschlossen ist. Zum Beispiel kann die zweite Konversionsleitung 109 nicht elektrisch an andere gemeinsame Elektroden 105B, 105C und 105D angeschlossen sein, während sie elektrisch an die gemeinsame Elektrode 105 A angeschlossen ist, andererseits kann jede gemeinsame Elektrode elektrisch an wenigstens eine der zweiten Konversionsleitungen angeschlossen sein. Zum Beispiel kann die gemeinsame Elektrode 105A gleichzeitig an drei zweite Konversionsleitungen 109 durch das zweite Durchgangsloch 1052 jeweils angeschlossen sein. In dieser Ausführungsform werden drei zweite Konversionsleitungen Leitungen 109 als ein Beispiel genommen, jedoch ist es nicht auf drei beschränkt, sondern kann gemäß den Anforderungen des Produkts ohne Beschränkung beliebig entworfen werden. Solch ein Entwurf kann die einzelne Übertragungsstabilität und die Detektionsstabilität durch Übertragung eines Berührungssteuerungstreibersignals an eine gleiche gemeinsame Elektrode oder die Detektion eines Berührungssteuerungsdetektionssignal an der gleichen gemeinsamen Elektrode gemeinsam mit einer Vielzahl von zweiten Konversionsleitungen verbessern.
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Es sei angemerkt, dass in der teilweise vergrößerten Ansicht in 2 eine Vielzahl von redundanten Leitungen umfasst ist. Die Vielzahl redundanter der Leitungen ist im Wesentlichen parallel zu der Vielzahl von Konversionsleitungen und jede redundante Leitung ist elektrisch an nur eine gemeinsame Elektrode angeschlossen. Zum Beispiel drei redundante Leitungen 108, die im Wesentlichen parallel zu den ersten Konversionsleitungen 107 und den zweiten Konversionsleitungen 109 bereitgestellt sind, sind in 2 umfasst, und eine redundante Leitung 108 kann nicht elektrisch an andere gemeinsame Elektroden 105A, 105B und 105C angeschlossen sein, während sie elektrisch an die gemeinsame Elektrode 105D angeschlossen ist. Jede gemeinsame Elektrode ist elektrisch an wenigstens eine der redundanten Leitungen angeschlossen. Die redundante Leitung hat einen Widerstand, der kleiner als der der gemeinsamen Elektrode ist. Zum Beispiel in 2 kann die gemeinsame Elektrode 105D gleichzeitig elektrisch an drei redundante Leitungen 108 über die Übergangslöcher jeweils angeschlossen sein. Bei dieser Ausführungsform werden drei redundante Leitungen 108 als Beispiel genommen. Jedoch ist es nicht auf drei beschränkt, sondern kann beliebig gemäß den Anforderungen an das Produkt ohne Einschränkungen entworfen werden. Zusätzlich haben die redundanten Leitungen 108 einen Widerstand, der kleiner ist als der der gemeinsamen Elektrode. Die redundanten Leitungen 108 sowie die ersten Konversionsleitungen 107 und die zweiten Konversionsleitungen 109 werden durch Versehen der Konversionsschicht mit einem Muster erhalten (es kann auch so verstanden werden, dass die redundanten Leitungen 108 sowie die ersten Konversionsleitungen 107 und die zweiten Konversionsleitungen 109 mit dem gleichen Material und den gleichem Herstellungsverfahren hergestellt werden können), und typischerweise werden die ersten Konversionsleitungen 107 und die zweiten Konversionsleitungen 109 aus einem Material mit niedrigem Widerstand wie beispielsweise Metall gebildet. Jede unabhängige gemeinsame Elektrode ist mit einer Vielzahl von redundanten Leitungen jeweils verbunden, wonach der Widerstand der gemeinsamen Elektrode weiter verringert wird und die Berührungssteuerungscharakteristika der gemeinsamen Elektrode verbessert werden.
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Es sei des Weiteren angemerkt, dass in der teilweise vergrößerten Ansicht in 2 nur drei erste Konversionsleitungen 107, die elektrisch an die Gate-Leitung 103C angeschlossen sind, beispielhaft auf der Gate-Leitung 103 C abgebildet sind. Eigentlich, mit Bezug auf jede der anderen Gate-Leitungen wie zum Beispiel Gate-Leitungen 103A, 103B und 103D, kann es jede Anzahl von ersten Konversionsleitungen 107 geben, die elektrisch daran angeschlossen sind. Sie sind zum Zwecke der Klarheit nicht in 2 angegeben, aber nicht darauf beschränkt. In gleicher Weise sind nur drei Konversionsleitungen 109, die elektrisch an die gemeinsame Elektrode 105A angeschlossen sind, beispielhaft auf der gemeinsamen Elektrode 105A abgebildet. Eigentlich, mit Bezug auf jede der anderen gemeinsamen Elektroden 105 B, 105C und 51 kann es jede Anzahl von zweiten Konversionsleitungen 109 gegeben, die elektrisch daran angeschlossen sind. Diesem Zwecke der Klarheit nicht in 2 abgebildet, aber nicht darauf beschränkt. In gleicher Weise sind nur 3 redundante Leitungen 108, die elektrisch an die gemeinsame Elektrode eine 5 die angeschlossen sind, beispielhaft auf der gemeinsamen Elektrode 105D abgebildet. Eigentlich mit Bezug auf jede der anderen gemeinsamen Elektroden 105A, 105B und 105C kann es jede Anzahl von redundanten Leitungen 108 geben, die elektrisch daran angeschlossen sind. Sie sind zum Zwecke der Klarheit nicht in 2 angegeben, aber nicht darauf beschränkt.
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3 ist eine teilweise Schnittansicht der berührungsgesteuerten Anzeigeeinheit, die in einer Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung bereitgestellt ist. Insbesondere stellt 3 eine strukturelle Abschnittsansicht von zwei benachbarten Sub-Pixeln dar, umfassend: ein Basissubstrat 11; eine auf dem Basissubstrat bereitgestellte Halbleiterschicht 13, wobei die Halbleiterschicht 13 einen Source-Bereich und einen Drain-Bereich umfasst; eine auf der Halbleiterschicht bereitgestellte Zwischenschichtisolationsschicht 12; eine auf der Zwischenschichtisolationsschicht 12 bereitgestellte Gate-Metallschicht, wobei die Gate-Metallschicht eine Gate-Elektrode 104 und eine Vielzahl von Gate-Leitungen 103 umfasst; eine auf der Gate-Metallschicht bereitgestellte erste Isolationsschicht 15; eine Source/Drain- Elektrodenmetallschicht, die auf der ersten Isolationsschicht 15 bereitgestellt ist, wobei die Source/Drain-Elektrodenmetallschicht eine Source-Elektrode 17, eine Drain-Elektrode 19 und eine Vielzahl von Source-Leitungen (in 3 nicht dargestellt) umfasst; eine auf der Source/Drain-Elektrodenmetallschicht bereitgestellte zweite Isolationsschicht 21, wobei die zweite Isolationsschicht 21 die Source-Elektrode 17 und die Drain-Elektrode 19 bedeckt; eine auf der zweiten Isolationsschicht 21 bereitgestellte gemeinsame Elektrodenschicht, wobei die gemeinsame Elektrodenschicht eine Vielzahl von gemeinsamen Elektroden 105, die voneinander unabhängig sind, umfasst; eine auf den gemeinsamen Elektroden 105 und der gemeinsamen Isolationsschicht 21 bereitgestellte dritte Isolationsschicht 23; eine auf der dritten Isolationsschicht 23 bereitgestellte Konversionsschicht, wobei die Konversionsschicht eine erste Konversionsleitung 107 und eine zweite Konversionsleitung 109 umfasst; und ein erstes Durchgangsloch 1031 und ein zweites Durchgangsloch 1052, wobei das erste Durchgangsloch 1031 die erste Isolationsschicht 15, die zweite Isolationsschicht 21 und die dritte Isolationsschicht 23 durchdringt und das zweite Durchgangsloch 1052 die dritte Isolationsschicht 23 durchdringt und wobei die erste Konversionsleitung 107 über das erste Durchgangsloch 1031 elektrisch an die Gate-Leitung 103 angeschlossen ist und die zweite Konversionsleitungen über das zweite Durchgangsloch 1052 elektrisch an die gemeinsame Elektrode 105 angeschlossen ist.
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Insbesondere die Schnittstruktur der berührungsgesteuerten Anzeigevorrichtung, die in 3 dargestellt ist, umfasst des Weiteren: eine auf der dritten Isolationsschicht 23 bereitgestellte Pixel-Elektrodenschicht, wobei die Pixel-Elektrodenschicht eine Vielzahl von Pixelelektroden 25 umfasst; und ein auf der Source-Elektrode 17 oder der Drain-Elektrode 19 bereitgestelltes drittes Durchgangsloch 1033, wobei das dritte Durchgangsloch 1033 die zweite Isolationsschicht 21 und die dritte Isolationsschicht 23 durchdringt und wenigstens einen Abschnitt der der Source-Elektrode 17 oder der Drain-Elektrode 19 freilegt, und wobei die Pixel-Elektrode 25 über das dritte Durchgangsloch 1033 elektrisch an die Source-Elektrode 17 oder die Drain-Elektrode 19 angeschlossen ist. Mit solch einem Entwurf liefert das Schieberegister 111 ein Gate-Treibersignal an die Vielzahl von Gate-Leitungen 103 über eine Vielzahl von ersten Konversionsleitungen 107 und die Anzeigenberührungssteuerungstreibereinheit 113 liefert ein Berührungssteuerungstreibersignal an die Vielzahl von gemeinsamen Elektroden 105 über die Vielzahl von zweiten Konversionsleitungen 109 und/oder detektiert ein Berührungssteuerungsdetektionssignal an den gemeinsamen Elektroden 105 über die Vielzahl von zweiten Konversionsleitungen 109. Da sowohl die erste Konversionsleitung 107 und die zweite Konversionsleitung 109 in dem Anzeigebereich 101 anstelle in dem Blendenbereich an den linken und rechten Seiten des Anzeigebereichs 101 bereitgestellt sind, kann eine schmale Blende erhalten werden, während die Anzeige- und Berührungssteuerungsfunktion gewährleistet bleibt.
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4 stellt eine Schnittansicht einer weiteren berührungsgesteuerten Anzeigevorrichtung, die in einer Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung bereitgestellt ist, dar. Insbesondere stellt 4 eine strukturelle Schnittansicht von zwei benachbarten Sub-Pixeln dar, umfassend: ein Basissubstrat 11; eine auf dem Basissubstrat 11 bereitgestellte Halbleiterschicht 13, wobei die Halbleiterschicht 13 einen Source-Bereich und einen Drain-Bereich umfasst; eine auf der Halbleiterschicht 13 bereitgestellte Zwischenschicht-Isolationsschicht 12; eine auf der Zwischenschicht-Isolationsschicht 12 bereitgestellte Gate-Metallschicht, wobei die Gate-Metallschicht eine Gate-Elektrode 104 und eine Vielzahl von Gate-Leitungen 103 umfasst; eine auf der Gate-Metallschicht bereitgestellte erste Isolationsschicht 15; eine Source/Drain-Elektrodenmetallschicht, die auf der ersten Isolationsschicht 15 bereitgestellt ist, wobei die Source/Drain-Elektrodenmetallschicht eine Source-Elektrode 17, eine Drain-Elektrode 19 und eine Vielzahl von Source-Leitungen (nicht in 4 dargestellt) umfasst; eine auf der Source/Drain-Elektrodenmetallschicht bereitgestellte zweite Isolationsschicht 21, wobei die zweite Isolationsschicht 21 die Source-Elektrode 17 und die Drain-Elektrode 19 bedeckt; eine auf der zweiten Isolationsschicht 21 bereitgestellte gemeinsame Elektrodenschicht, wobei die gemeinsame Elektrodenschicht eine Vielzahl von gemeinsamen Elektroden 105 umfasst, die unabhängig voneinander sind; eine auf den gemeinsamen Elektroden 105 und der zweiten Isolationsschicht 21 bereitgestellte dritte Isolationsschicht 23; eine auf der dritten Isolationsschicht 23 bereitgestellte Konversionsschicht, wobei die Konversionsschicht eine erste Konversionsleitung 107 und eine zweite Konversionsleitung 109 umfasst; und ein erstes Durchgangsloch 1031 und ein zweites Durchgangsloch 1052, wobei das erste Durchgangsloch 1031 die erste Isolationsschicht 15, die zweite Isolationsschicht 21 und die dritte Isolationsschicht 23 durchdringt, und das zweite Durchgangsloch 1052 die dritte Isolationsschicht durchdringt, und wobei die erste Konversionsleitung 107 elektrisch an die Gate-Leitung 103 über das erste Durchgangsloch 1031 angeschlossen ist, und die zweite Konversionsleitung 109 elektrisch an die gemeinsame Elektrode 105 über das zweite Durchgangsloch 1052 angeschlossen ist. Sie umfasst des Weiteren: eine auf der dritten Isolationsschicht 23 bereitgestellte Schutzschicht 27 und die Vielzahl von Konversionsleitungen (die erste Konversionsleitung 107 und die zweite Konversionsleitung 109), wobei die Schutzschicht 27 vorzugsweise aus einem Isolationsmaterial gebildet ist, und die Schutzschicht 27 bedeckte die Vielzahl von Konversionsleitungen (die erste Konversionsleitung 107 und die zweite Konversionsleitung 109); und eine Pixelelektrode 25, die auf der Schutzschicht 27 bereitgestellt ist. Es unterscheidet sich von der berührungsgesteuerten Anzeigevorrichtung, die in 3 bereitgestellt ist, im weiterhin indem: bei der berührungsgesteuerten Anzeigevorrichtung, die in 4 bereitgestellt ist, das dritte Durchgangsloch 1033 die zweite Isolationsschicht 21, die dritte Isolationsschicht 23 und die Schutzschicht 27 durchdringt, und wenigstens einen Abschnitt der Source-Elektrode 17 oder der Drain-Elektrode 19 freilegt, und wobei die Pixelelektrode 25 elektrisch an die Source-Elektrode 17 oder die Drain-Elektrode 19 über das Durchgangsloch 1033 angeschlossen ist. Mit solch einem Entwurf, indem Bezug auf 1 genommen wird, liefert die Schieberegistereinheit 111 ein Gate-Treibersignal an die Vielzahl von Gate-Leitungen 103 über eine Vielzahl von ersten Konversionsleitungen 107, und die Anzeigenberührungssteuerungstreibereinheit 113 liefert ein Berührungssteuerungstreibersignal an die Vielzahl von gemeinsamen Elektroden 105 über die Vielzahl von zweiten Konversionsleitungen 109 und/oder der diktiert ein Berührungssteuerung Detektionssignal an den gemeinsamen Elektroden 105 über die Vielzahl von zweiten Konversionsleitungen 109. Da sowohl die erste Konversionsleitung 107 und die zweite Konversionsleitung 109 in dem Anzeigebereich 109 anstelle in dem Blendenbereich an den linken oder rechten Seiten des Anzeigebereich bereitgestellt sind, kann eine enge Blende erhalten werden, während die Anzeige- und Steuerungsfunktion gewährleistet bleibt. Zusätzlich wird bei der berührungsgesteuerten Anzeigevorrichtung, die in 4 bereitgestellt ist, die Schutzschicht 27 auf der Vielzahl von Konversionsleitungen (die erste Konversionsleitung 107 und die zweite Konversionsleitung 109) bereitgestellt, wonach es dem Schutz der Vielzahl von Konversionsleitungen (die erste Konversionsleitungen 107 und die zweite Konversionsleitungen 109) vor der Exponierung gegenüber der Oberfläche der berührungsgesteuerten Anzeigevorrichtung erleichtert wird.
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5 stellt eine Schnittansicht einer anderen berührungsgesteuerten Anzeigevorrichtung, die in einer Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung bereitgestellt ist, dar. Insbesondere stellt 5 eine strukturelle Schnittansicht von zwei benachbarten Sub-Pixeln bereit, umfassend: ein Basissubstrat 11; eine auf dem Basissubstrat 11 bereitgestellte Halbleiterschicht 13, wobei die Halbleiterschicht 13 einen Source-Bereich einen Drain-Bereich umfasst; eine auf der Halbleiterschicht 13 bereitgestellte Gate-Metallschicht, wobei die Gate-Metallschicht eine Gate-Elektrode 104 und eine Vielzahl von Gate-Leitungen 103 umfasst; eine auf der ersten Gate-Metallschicht bereitgestellte Isolationsschicht 15; eine auf der ersten Isolationsschicht 15 bereitgestellte Source/Drain-Elektrodenmetallschicht, wobei die Source/Drain-Elektrodenmetallschicht eine Source-Elektrode 17 und eine Drain-Elektrode 19 und eine Vielzahl von Source-Leitungen (nicht in 5 dargestellt) umfasst; eine auf der Source/Drain-Elektrodenmetallschicht bereitgestellte zweite Isolationsschicht 21, wobei die zweite Isolationsschicht 21 die Source-Elektrode 17 und die Drain-Elektrode 19 bedeckt; eine auf der zweiten Isolationsschicht 21 bereitgestellte Konversionsschicht, wobei die Konversionsschicht eine Vielzahl von Konversionsleitungen (die Konversionsleitung 107 und die Konversionsleitung 109) umfasst; eine auf der Vielzahl von Konversionsleitungen (die Konversionsleitung 107 und die Konversionsleitung 109) bereitgestellte dritte Isolationsschicht 23, wobei die dritte Isolationsschicht 23 die Vielzahl von Konversionsleitungen (die erste Konversionsleitung 107 und die zweite Konversionsleitung 109) und die zweite Isolationsschicht 21 bedeckt; einer auf der dritten Isolationsschicht 23 bereitgestellte gemeinsame Elektrodenschicht, wobei die gemeinsame Elektrodenschicht eine Vielzahl von gemeinsamen Elektroden 105 umfasst, die voneinander unabhängig sind; und ein erstes Durchgangsloch 1031 und ein zweites Durchgangsloch 1052, wobei das erste Durchgangsloch 1031 die erste Isolationsschicht 15 und die zweite Isolationsschicht 21 durchdringt und wenigstens einen Abschnitt der Gate-Leitung 103 freilegt und das zweite Durchgangsloch 1052 durchdringt die dritte Isolationsschicht 23 und wobei eine Vielzahl von ersten Konversionsleitungen 107 elektrisch an die Vielzahl von Gate-Leitungen 103 über das Durchgangsloch 1031 angeschlossen sind, und eine Vielzahl von zweiten Konversionsleitungen 109 elektrisch an die Vielzahl von gemeinsamen Elektroden 105 über das zweite Durchgangsloch 1052 angeschlossen sind. Im Vergleich mit der berührungsgesteuerten Anzeigevorrichtung, die in 4 bereitgestellt ist, bedingt der in 5 bereitgestellte Entwurf der berührungsgesteuerten Anzeigevorrichtung keine die Vielzahl von Konversationsleitungen (die erste Konversionsleitung 107 und die zweite Konversionsleitung 109) bedeckende Schutzschicht, wonach die Herstellungskosten vermindert werden.
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Insbesondere beinhaltet die in 5 veranschaulichte berührungsgesteuerte Anzeigevorrichtung ferner: eine Pixel-Elektrode 25, zwischen die Konversionsleitung (die erste Konversionsleitung 107 und die zweite Konversionsleitung 109) und die dritte Isolationsschicht 23 platziert; und ein drittes Durchgangsloch 1033, welches auf der Source-Elektrode 17 oder der Drain-Elektrode 19 vorgesehen ist, wobei das dritte Durchgangsloch 1033 die zweite Isolationsschicht 21 durchdringt und mindestens einen Abschnitt der Source-Elektrode 17 oder der Drain-Elektrode 19 freilegt, und wobei die Pixel-Elektrode 25 über das dritte Durchgangsloch 1033 an die Source-Elektrode 17 oder die Drain-Elektrode 19 elektrisch angeschlossen ist.
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Es sollte beachtet werden, dass in Bezug auf die berührungsgesteuerte Anzeigevorrichtung, welche in den 3, 4 und 5 vorgeschlagen ist, die zweite Konversionsleitung 109 und die gemeinsame Elektrode 105 elektrisch über das zweite Durchgangsloch 1052, welches die dritte Isolationsschicht 23 durchdringt, angeschlossen sind. Jedoch sind die elektrischen Anschlussmittel der zweiten Konversionsleitung 109 und der gemeinsame Elektrode 105 nicht darauf beschränkt, stattdessen können sie die Filmschichtstruktur der berührungsgesteuerten Anzeigevorrichtung, welche in der in 6 veranschaulichten Ausführungsform angegeben sind, sein. Das heißt, die zweite Kommissionsleitung 109 und die gemeinsame Elektrode 105 sind nicht direkt kontaktiert und elektrisch über ein Durchgangsloch eingeschlossen, stattdessen ist sie elektrisch über ein Zwischendielektrikum angeschlossen, wie beispielsweise elektrisch angeschlossen über das Zwischendielektrikum 26 in derselben Schicht wie die Pixel-Elektrode 25 in 6. Insbesondere ist, erstens die zweite Konversionsleitung 109 elektrisch an das Zwischendielektrikum 26 über ein viertes Durchgangsloch 1091, welches die Schutzschicht 27 durchdringt, elektrisch an das Zwischendielektrikum 26 angeschlossen, und das Zwischendielektrikum ist über ein fünftes Durchgangsloch 1092, welches die Schutzschicht 27 und die dritte Isolationsschicht 23 durchdringt, elektrisch angeschlossen an die gemeinsame Elektrode 105, wodurch die zweite Konversionsleitung 109 mit der gemeinsamen Elektrode 105 elektrisch verbunden werden.
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Dennoch ist die berührungsgesteuerte Anzeigevorrichtung, welche in der in 6 veranschaulichten Ausführungsform angegeben ist, lediglich ein Beispiel für die elektrische Verbindung zwischen der zweiten Konversionsleitung 109 und der gemeinsamen Elektrode 105, welches weder auf die in 6 veranschaulichte technische Lösung beschränkt noch auf die in 6 dargestellten Formen beschränkt ist. Alternativ können andere Filmschichten als Zwischendielektrikum für den elektrischen Anschluss zwischen der zweiten Konversionsleitung 109 und der gemeinsamen Elektrode 105 verwendet werden, was vorliegend übergangen wird.
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Es sollte beachtet werden, dass alle Dünnfilmtransistoren in der berührungsgesteuerten Anzeigevorrichtung, welche in den 3, 4, 5 und 6 angegeben sind, eine Top-Gate-Struktur haben. Jedoch ist die vorliegende Offenbarung nicht beschränkt auf die Top-Gate-Struktur und sie kann gleichermaßen auf eine Bottom-Gate-Struktur oder andere Strukturen anwendbar sein. In der vorliegenden Beschreibung dient die Top-Gate-Struktur als ein Beispiel, ohne darauf beschränkt sein.
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Es sollte ferner beachtet werden, dass bei der berührungsgesteuerten Anzeigevorrichtung, welche in den 3, 4, 5 und 6 oben angegeben ist, die elektrischen Verbindungsmittel (Kontaktierungsmittel) zwischen der ersten Konversionsleitung 107 und der Gate-Leitung 103 die gemusterte Konversionsschicht über das erste Durchgangsloch 1031 vollständig ausnutzen (d.h., die erste Konversionsleitung 107 und die zweite Konversionsleitung 109 sind dasselbe Schichtmaterial), jedoch nicht hierauf beschränkt sind. Zum Beispiel können die elektrischen Verbindungsmittel (Kontaktierungsmittel) zwischen der ersten Konversionsleitung 107 und der Gate-Leitung 103 die mit einem Muster versehene Konversionsschicht bzw. die mit einem Muster versehene Source/Drain-Elektrodenschicht, welche das erste Durchgangsloch 1031 ausfüllt, jeweils benutzen. In ähnlicher Weise sind die elektrischen Verbindungsmittel zwischen der Pixel-Elektrode 25 und der Source-Elektrode 17 oder der Drain-Elektrode 19 nicht auf jene in den 3, 4, 5 und 6 veranschaulicht beschränkt. Ein elektrisches Verbindungsmittel, bei welchem eine mehrschichtige Leitungsschicht verwendet wird, um das dritte Durchgangsloch 1033 auszufüllen, kann jeweils verwendet werden, was vorliegend übergangen wird.
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7A bis 71 veranschaulichen ein Herstellungsverfahren für eine berührungsgesteuerte Anzeigevorrichtung, welche in der vorliegenden Offenbarung vorgeschlagen ist, welche zwei nebeneinanderliegende Sub-Pixel als Beispiel heranzieht, wobei das Verfahren insbesondere die folgenden Schritte beinhaltet.
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Wie in 7A veranschaulicht, wird ein Basissubstrat 11 vorgesehen.
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Wie in 7B veranschaulicht, wird eine Halbleiterschicht 13 auf dem Basissubstrat 11 gebildet, wobei die Halbleiterschicht 13 einen Source-Bereich und einen Drain-Bereich beinhaltet.
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Wie in 7C veranschaulicht, wird eine Zwischenschichtisolationsschicht 12 auf der Halbleiterschicht 13 gebildet, und eine Gate-Metallschicht wird auf der Zwischenschichtisolationsschicht gebildet, wobei die Gate-Metallschicht mit einem Muster versehen ist, um eine Gate-Elektrode 104 und eine Gate-Leitung 103 auf der Zwischenschichtisolationsschicht 12 zu bilden.
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Wie in 7 veranschaulicht, wird eine Isolationsschicht 15 auf der Gate-Elektrode 104 und der Gate-Leitung 103 gebildet, wobei die erste Isolationsschicht die Gate-Elektrode 104 und die Gate-Leitung 103 bedeckt.
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Wie in 7E veranschaulicht, werden die Zwischenschichtisolationsschicht und die erste Isolationsschicht 15 mit einem Muster versehen, um ein Drain-Durchgangsloch 131, welches den Drain-Bereich freilegt, und ein Source-Durchgangsloch 132, welches den Source-Bereich auf dem Drain-Bereich und Source-Bereich auf der Halbleiterschicht jeweils freilegt, zu bilden.
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Wie in 7F veranschaulicht, wird eine
Source/Drain-Elektrodenmetallschicht auf der ersten Isolationsschicht gebildet, und die Source/Drain-Elektrodenmetallschicht wird mit einem Muster versehen, um eine Source-Elektrode 17, eine Drain-Elektrode 19 und eine Source-Leitung (in der Zeichnung nicht dargestellt) zu bilden, wobei die Source-Elektrode 17 über das Source-Durchgangsloch 132 in Kontakt mit dem Source-Bereich steht, und die Drain-Elektrode 19 über das Drain-Durchgangsloch 131 mit dem Drain-Bereich in Kontakt steht.
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Wie in 7G veranschaulicht, ist eine zweite Isolationsschicht 21 auf der Source-Elektrode 17, der Drain-Elektrode 19 und der Source-Leitung (in der Zeichen nicht dargestellt) ausgebildet, wobei die zweite Isolationsschicht 21 die Source-Elektrode 17, die Drain-Elektrode 19 und die Source-Leitung (in der Zeichnung nicht dargestellt) bedeckt.
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Wie in 7H veranschaulicht, ist eine gemeinsame Elektrodenschicht auf der zweiten Isolationsschicht 21 ausgeformt, und die gemeinsame Elektrodenschicht ist mit einem Muster versehen, um eine Vielzahl von gemeinsamen Elektroden 105 zu bilden, welche unabhängig voneinander sind, wobei die gemeinsame Elektrodenschicht allgemein aus transparentem Metallmaterial wie zum Beispiel ITO (Indiumzinnoxid) und dergleichen ausgeformt ist.
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Wie in 71 veranschaulicht, ist eine dritte Isolationsschicht 23 auf der zweiten Isolationsschicht 21 und der gemeinsamen Elektrode 105 ausgeformt. Die erste Isolationsschicht 15, die zweite Isolationsschicht 21 und die dritte Isolationsschicht 23 sind mit einem Muster versehen, um ein erstes Durchgangsloch 1031 zu bilden, welches wenigstens einen Abschnitt der Gate-Leitung 103 auf der Gate-Leitung 103 freilegt. Die dritte Isolationsschicht 23 ist mit einem Muster versehen, um auf der gemeinsamen Elektrode 105 ein zweites Durchgangsloch 1052, welches wenigstens einen Abschnitt der gemeinsamen Elektrode 105 freilegt, auszuformen. Die zweite Isolationsschicht 21 und dritte Isolationsschicht 23 sind mit einem Muster versehen, um auf der Drain-Elektrode 19 ein drittes Durchgangsloch 1033, welches wenigstens einen Abschnitt der Drain-Elektroden 19 freilegt, auszuformen. Eine Pixel-Elektrodenschicht und eine Konversionsschicht sind auf der dritten Isolationsschicht 23 ausgeformt, und die Pixel-Elektrodenschicht und die Konversionsschicht sind mit einem Muster versehen, um eine Pixel-Elektrode 25, eine erste Konversionsleitung 107 und eine zweite Konversionsleitung 109 auf der dritten Isolationsschicht 23 zu bilden, wobei die erste Konversionsleitung 107 über das erste Durchgangsloch 1031 mit der Gate-Leitung 103 elektrisch verbunden ist, die zweite Konversionsleitung 109 über das zweite Durchgangsloch an die gemeinsame Elektrode 105 angeschlossen ist, und die Pixel-Elektrode 25 über das dritte Durchgangsloch 1033 an die Drain-Elektroden 19 elektrisch angeschlossen ist.
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Bei dem Herstellungsverfahren für die berührungsgesteuerte Anzeigevorrichtung, welche in den 7A bis 7I, mit Rückbezug auf 1, angegeben ist, liefert die Schieberegistereinheit 111 Gate-Treibersignal an eine Vielzahl von Gate-Leitungen 103 über die Vielzahl von ersten Konversionsleitung 107, und die Anzeigenberührungssteuerungstreibereinheit 113 liefert Berührungssteuerungstreibersignal an die Vielzahl von gemeinsamen Elektroden 105 über die Vielzahl zweiter Konversionsleitungen 109 und/oder detektiert Berührungssteuerungsdetektionssignal auf den gemeinsamen Elektroden 105 über die Vielzahl von zweiten Konversionsleitungen 109. Da sowohl die erste Konversionsleitung 107 und die zweite Konversionsleitung 109 in dem Anzeigebereich 101 vorgesehen sind, anstatt in dem Abblendbereich an den linken und rechten Seiten des Anzeigebereichs 101 vorgesehen zu sein, kann eine schmale Blende erreicht werden bei gleichzeitiger Sicherstellung der Anzeige und Berührungssteuerungsfunktion.
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Es sollte beachtet werden, dass bei dem Herstellungsverfahren für die berührungsgesteuerte Anzeigevorrichtung, welches in den 7A bis 71 angegeben ist, wie in 7H veranschaulicht, nach dem Bilden der gemeinsamen Elektrodenschicht auf der zweiten Isolationsschicht 21 und dem Versehen mit einem Muster der gemeinsamen Elektrodenschicht, um die Vielzahl von gemeinsamen Elektroden 105 zu bilden, welche unabhängig voneinander sind, die in den 8A und 8B veranschaulichten Schritte durchgeführt werden können.
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Insbesondere, wie in 8A veranschaulicht, wird eine dritte Isolationsschicht 23 auf der zweiten Isolationsschicht 21 und der gemeinsamen Elektrode 105 ausgeformt. Die erste Isolationsschicht 15, die zweite Isolationsschicht 21 und die dritte Isolationsschicht 23 sind mit einem Muster versehen, um auf der Gate-Leitung 103 ein erstes Durchgangsloch 1031 auszuformen, welches wenigstens einen Abschnitt der Gate-Leitung 103 freilegt. Die dritte Isolationsschicht 23 ist mit einem Muster versehen, um auf der gemeinsamen Elektroden 105 ein zweites Durchgangsloch 1052 auszuformen, welches wenigstens einen Abschnitt der gemeinsamen Elektrode 105 freilegt. Eine Konversionsschicht ist auf der dritten Isolationsschicht 23 ausgeformt, und die Konversionsschicht ist mit einem Muster versehen, um eine erste Konversionsleitung 107 und eine zweite Konversionsleitung 109 auf der dritten Isolationsschicht 23 auszuformen, wobei die erste Konversionsleitung 207 über das erste Durchgangsloch 1031 an die Gate-Leitung 103 angeschlossen ist, und die zweite Konversionsleitung 109 ist über das zweite Durchgangsloch elektrisch an die gemeinsame Elektrode 105 angeschlossen. Eine Schutzschicht 27 ist auf der dritten Isolationsschicht 23, der ersten Konversionsleitung 107 und der zweiten Konversionsleitung 109 ausgebildet, wobei die Schutzschicht 27 die erste Konversionsleitung 107 und die zweite Konversionsleitung 109 bedeckt.
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Wie in 8B veranschaulicht, sind die Schutzschicht 27, die dritte ist Isolationsschicht 23 und die zweite Isolationsschicht 21 mit einem Muster versehen, um auf der Drain-Elektrode 19 ein drittes Durchgangsloch 1033 zu bilden, welches wenigstens einen Abschnitt der Drain-Elektrode 19 freilegt. Eine Pixel-Elektrodenschicht ist auf der Schutzschicht 27 ausgeformt, und die Pixel-Elektrodenschicht ist mit einem Muster versehen, um eine Pixel-Elektrode 25 zu bilden, welche elektrisch über das dritte Durchgangsloch 1033 an die Drain-Elektrode 19 angeschlossen ist. Gemäß einer Ausführungsform ist die Schutzschicht 27 aus einem Isolationsmaterial, wie zum Beispiel Siliziumnitrid und dergleichen, gebildet. Die Schutzschicht 27 ist auf der ersten Konversionsleitung 107 und der zweiten Konversionsleitung 109 vorgesehen, wodurch sie den Schutz der ersten Konversionsleitung 107 und der zweiten Konversionsleitung 109 vor der Exponierung gegenüber der Oberfläche der berührungsgesteuerten Anzeigevorrichtung erleichtert.
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9A bis 9J veranschaulichen ein Herstellungsverfahren für eine berührungsgesteuerte Anzeigevorrichtung gemäß einer Ausgestaltungsform der vorliegenden Offenbarung, unter Heranziehung zweier nebeneinanderliegender Sub-Pixel als Beispiel, wobei das Verfahren insbesondere die folgenden Schritte beinhaltet.
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Wie in 9A veranschaulicht, wird ein Basissubstrat 11 vorgesehen.
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Wie in 9B veranschaulicht, wird eine Halbleiterschicht 13 auf dem Basissubstrat 11 gebildet, wobei die Halbleiterschicht 13 einen Source-Bereich und einen Drain-Bereich beinhaltet.
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Wie in 9C veranschaulicht, wird eine Zwischenschichtisolationsschicht 12 auf der Halbleiterschicht 13 gebildet, und eine Gate-Metallschicht wird auf der zweiten Zwischenisolationsschicht gebildet, wobei die Gate-Metallschicht mit einem Muster versehen ist, um eine Gate-Elektrode 104 und eine Gate-Leitung 103 auf der Zwischenisolationsschicht 12 zu bilden.
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Wie in 9D veranschaulicht, wird eine erste Isolationsschicht 15 auf der Gate-Elektrode 104 und der Gate-Leitung 103 gebildet, wobei die erste Isolationsschicht die Gate-Elektrode 104 und die Gate-Leitung 103 bedeckt.
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Wie in 9E veranschaulicht, sind die Zwischenisolationsschicht und die erste Isolationsschicht 15 mit einem Muster versehen, um ein Drain-Durchgangsloch 131, welches den Drain-Bereich freilegt, und ein Source-Durchgangsloch 132, welches den Source-Bereich auf dem Drain-Bereich freilegt, und einen Source-Bereich auf der Halbleiterschicht jeweils zu bilden.
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Wie in 9F veranschaulicht, ist eine solche
Source/Drain-Elektrodenmetallschicht auf der ersten Isolationsschicht gebildet, und die Source/Drain-Elektrodenmetallschicht ist mit einem Muster versehen, um eine Source-Elektrode 17, eine Drain-Elektrode 19 und eine Source-Leitung (in der Zeichnung nicht dargestellt) zu bilden, wobei die Source-Elektrode 17 über das Source-Durchgangsloch 132 mit dem Source-Bereich in Kontakt steht, und die Drain-Elektrode 19 über das Drain-Durchgangsloch 131 mit dem Drain-Bereich Kontakt steht.
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Wie in 9G veranschaulicht, ist eine zweite Isolationsschicht 21 auf der Source-Elektrode 17, der Drain-Elektrode 19 und der Source-Leitung (in der Zeichnung nicht dargestellt) gebildet, wobei die zweite Isolationsschicht 21 die Source-Elektrode 17, die Drain-Elektrode 19 und die Source-Leitung (in der Zeichnung nicht dargestellt) bedeckt.
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Wie in 9H veranschaulicht, sind die erste Isolationsschicht 15 und die zweite Isolationsschicht 21 mit einem Muster versehen, um auf der Gate-Leitung 103 ein erstes Durchgangsloch 1031 zu bilden, welches wenigstens einen Abschnitt der Gate-Leitung 103 freilegt. Die zweite Isolationsschicht 21 ist mit einem Muster versehen, um auf der
Drain-Elektrode 19 ein drittes Durchgangsloch 1033 zu bilden, welches wenigstens einen Abschnitt der Drain-Elektrode 19 freilegt. Eine Pixel-Elektrodenschicht und eine Konversionsschicht sind auf der zweiten Isolationsschicht 21 gebildet, und die Pixel-Elektrodenschicht und die Konversionsschicht sind mit einem Muster versehen, um auf der zweiten Isolationsschicht 21 eine Pixel-Elektrode 25, eine über das erste Durchgangsloch 1031 an die Gate-Leitung 103 elektrisch angeschlossene Konversionsleitung 107 und eine über das dritte Durchgangsloch elektrisch an die Drain-Elektrode 19 angeschlossene zweite Konversionsleitung 109 zu bilden.
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Wie in 91 veranschaulicht, ist eine dritte Isolationsschicht 23 auf der Pixelelektrode 25, der ersten Konversionsleitung 107 und der zweiten Konversionsleitung 109 gebildet.
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Wie in 9J veranschaulicht, ist die dritte Isolationsschicht 23 mit einem Muster versehen, um ein zweites Durchgangsloch 1052 auf der zweiten Konversionsleitung 109 zu bilden. Eine gemeinsame Elektrodenschicht ist auf der dritten Isolationsschicht 23 gebildet, und die gemeinsame Elektrodenschicht ist mit einem Muster versehen, um auf der dritten Isolationsschicht die Vielzahl von gemeinsamen Elektroden 105, welche unabhängig voneinander sind und elektrisch über das zweite Durchgangsloch 1052 an die zweite Konversionsleitung 109 angeschlossen sind, zu bilden.
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Bei dem Herstellungsverfahren für die berührungsgesteuerte Anzeigevorrichtung, welches in den 9A bis 9I, mit Bezugnahme auf 1, angegeben ist, liefert die Schieberegistereinheit 111 Gate-Treiber-Signal an die Vielzahl von Gate-Leitungen 103 über die Vielzahl von ersten Konversionsleitungen 107, und die Anzeigenberührungssteuerungstreibereinheit 113 liefert Berührungssteuerungstreibersignale an die Vielzahl von gemeinsamen Elektroden 105 über die Vielzahl von zweiten Konversionsleitungen 109 und/oder detektiert Berührungssteuerungsdetektionssignal auf den gemeinsamen Elektroden 105 über die Vielzahl von zweiten Konversionsleitungen 109. Da sowohl die erste Konversionsleitung 107 und zweite Konversionsleitung 109 in dem Anzeigebereich 109 vorgesehen sind anstatt in dem Blendenbereich an den linken und rechten Seiten des Anzeigebereichs 101 vorgesehen zu sein, kann eine schmale Blende erreicht werden bei gleichzeitiger Sicherstellung der Anzeige und Berührungssteuerungsfunktion.
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Man sollte beachten, dass bei dem Herstellungsverfahren für die berührungsgesteuerte Anzeigevorrichtung gemäß den 7A bis 7I, da das erste Durchgangsloch 1031 die erste Isolationsschicht 15, die zweite Isolationsschicht 21 und die dritte Isolationsschicht 23 durchdringt, das erste Durchgangsloch 1031 auf der Gate-Leitung 103 unter Verwendung einer technischen Lösung gebildet wird, bei welcher die erste Isolationsschicht 15, die zweite Isolationsschicht 21 und die dritte Isolationsschicht 23 gemeinsam mit einem Muster versehen werden. Allerdings ist die vorliegende Offenbarung nicht darauf beschränkt. Alternativ kann die erste Isolationsschicht 15 als erstes mit einem Muster versehen werden, dann wird die zweite Isolationsschicht 21 mit einem Muster versehen, und danach wird die dritte Isolationsschicht 23 mit einem Muster versehen, wodurch das erste Durchgangsloch 1031 gebildet wird. In ähnlicher Weise ist eine derartige technische Lösung auch anwendbar zur Bildung des zweiten Durchgangslochs 1052 und des dritten Durchgangslochs 1033. Das heißt, die technischen Lösungen zur Bildung des ersten Durchgangslochs 1031, des zweiten Durchgangslochs 1052 eines dritten Durchgangslochs 1033, welche in den 8A bis 8B und 9A bis 9J angegeben sind, sind nicht darauf beschränkt, solange sichergestellt ist, dass: das erste Durchgangsloch 1031 auf der Gate-Leitung 103 gebildet ist und wenigstens einen Abschnitt der Gate-Leitung 103 freilegt, und die erste Konversionsleitung 107 elektrisch über das erste Durchgangsloch 1031 an die Gate-Leitung 103 angeschlossen ist; das zweite Durchgangsloch 1052 auf der gemeinsamen Elektrode 105 gebildet ist und wenigstens einen Abschnitt der gemeinsamen Elektroden 105 freilegt, und die zweite Konversionsleitung 109 über das zweite Durchgangsloch 1052 elektrisch an die gemeinsame Elektrode 105 angeschlossen ist; und das dritte Durchgangsloch 1033 auf der Drain-Elektrode 19 gebildet ist und wenigstens einen Abschnitt der Drain-Elektrode 19 freilegt, und die Pixel-Elektrode 25 über das dritte Durchgangsloch 1033 elektrisch an die Drain-Elektrode 19 angeschlossen ist.
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Die berührungsgesteuerte Anzeigevorrichtung und das Herstellungsverfahren derselben, welche in den Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung angegeben sind, sind oben im Einzelnen beschrieben worden. In dem Zusammenhang werden spezielle Beispiele angegeben, um das Prinzip und die Umsetzung der vorliegenden Offenbarung zu beschreiben, welche für ein besseres Verständnis des Verfahrens und Kernkonzepts der vorliegenden Offenbarung angegeben sind. Jedoch können für den durchschnittlich begabten Fachmann die detaillierten Umsetzungen und das Anwendungsfeld auf verschiedenste Weise abgewandelt werden. Dementsprechend sollte die vorliegende Beschreibung nicht dahingehend ausgelegt werden, dass sie die vorliegende Offenbarung beschränkt.
