DE102012105006A1 - Membranpumpe - Google Patents
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Abstract
Eine Membranpumpe hat einen Motor, ein exzentrisches Element, das durch den Motor angetrieben wird, und eine Membran. Der Motor hat eine Ausgangswelle, die mit dem exzentrischen Element verbunden ist. Das exzentrische Element umfasst eine Mehrzahl von Armen, die sich aufgrund der Drehung der Ausgangswelle auf und ab bewegen. Die Membran hat mehrere Blasen. Jede Blase bildet eine Pumpenkammer. Die Blasen sind mit den Armen verbunden, so dass die Blasen aufgrund der Bewegung der Arme komprimiert oder expandiert werden. Die Pumpe hat eine Luftauslasskammer und eine Lufteinlasskammer. Die Lufteinlasskammer ist über eine Leitung mit den Pumpenkammern verbunden. Die Leitung enthält einen Hohlraum, der die Luftauslasskammer in einer axialen Richtung des Motors überdeckt.
Description
- GEBIET DER ERFINDUNG
- Die Erfindung betrifft eine Membranpumpe und insbesondere eine Miniatur-Membranpumpe.
- HINTERGRUND DER ERFINDUNG
- Eine typische Miniatur-Membranpumpe hat eine Basis und eine Membran, die an einer Seite der Basis montiert ist. Die Miniatur-Membranpumpe definiert eine Lufteinlasskammer in der Basis und definiert weiter eine Luftauslasskammer außerhalb der Basis. Die Luftauslasskammer ist von der Lufteinlasskammer getrennt. Die Membran hat mehrere Luftsäcke, die in der Lufteinlasskammer aufgenommen sind. Jeder Luftsack definiert eine Pumpenkammer, und die Pumpenkammer steht über eine erste Leitung und eine zweite Leitung jeweils mit der Lufteinlasskammer beziehungsweise mit der Luftauslasskammer in Verbindung. An der Membran ist ein erstes Ventil gebildet, das auf die erste Leitung ausgerichtet ist, um dadurch die Verbindung zwischen der Pumpenkammer und der Lufteinlasskammer herzustellen oder zu unterbrechen. Ein zweites Ventil ist auf die zweite Leitung ausgerichtet, um dadurch die Verbindung zwischen der Pumpenkammer und der Luftauslasskammer herzustellen oder zu unterbrechen. Die erste Leitung ist als Durchgangsöffnung in der Basis gebildet und stellt den kürzesten Weg für den Lufteintritt bereit.
- Die Luftsäcke werden durch eine exzentrische Anordnung betätigt, die wiederum durch einen Motor angetrieben wird. Wenn der Motor arbeitet, wird bewirkt, dass die Luftsäcke aufgrund der Bewegung der exzentrischen Anordnung expandiert oder komprimiert werden, wodurch Luft in die Lufteinlasskammer gesaugt oder Luft in die Luftauslasskammer ausgestoßen wird. Während der Luftansaugphase in dem Pumpzyklus entstehen in der Miniatur-Membranpumpe jedoch unerwünschte hörbare Geräusche.
- Daher ist eine verbesserte Membranpumpe erwünscht, insbesondere eine kleine oder eine Minitatur-Membranpumpe.
- KURZE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
- Dementsprechend wird gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung eine Membranpumpe angegeben, umfassend: einen Motor mit einer Ausgangswelle; ein durch die Ausgangswelle angetriebenes exzentrisches Element, das eine Mehrzahl von Armen umfasst, die sich aufgrund der Drehung der Ausgangswelle auf und ab bewegen; eine Membran mit einer Mehrzahl von Blasen, deren jede eine Pumpenkammer bildet und die jeweils mit den Armen der exzentrischen Anordnung verbunden sind, so dass die Pumpenkammern aufgrund der Bewegung der Arme expandiert und komprimiert werden; eine Luftauslasskammer, die über Kanäle mit den Pumpenkammern in Verbindung steht; eine Mehrzahl von ersten Ventilen, die für die Steuerung des Luftstroms durch die Kanäle angeordnet sind; eine Lufteinlasskammer, die über eine Leitung mit den Pumpenkammern in Verbindung steht; einen Hohlraum, der einen Teil der Leitung bildet; und eine Mehrzahl von zweiten Ventilen, die für die Steuerung des Luftstroms aus dem Hohlraum in die Pumpenkammern angeordnet sind.
- Vorzugsweise erstreckt sich die Leitung zunächst entlang einer ersten Richtung von der Lufteinlasskammer zu dem Hohlraum und dann entlang einer zur ersten Richtung im Wesentlichen entgegengesetzten zweiten Richtung von dem Hohlraum zu den Pumpenkammern.
- Vorzugsweise überdeckt der Hohlraum die Luftauslasskammer in einer axialen Richtung des Motors zumindest teilweise.
- Vorzugsweise ist eine Mehrzahl von Montageöffnungen in Seitenwänden gebildet, die die Lufteinlasskammer und die Luftauslasskammer definieren, wobei die Montageöffnungen Pfade bilden, die einen Teil der Leitung zwischen der Lufteinlasskammer und dem Hohlraum bilden.
- Vorzugsweise sind eine Basis, ein Halter, eine Luftführungsplatte und ein Gehäuse vorgesehen, wobei die Basis und der Halter zusammenwirkend die Lufteinlasskammer und die Luftführungsplatte und das Gehäuse zusammenwirkend die Luftauslasskammer definieren und wobei die Pfade durch den Halter, die Luftführungsplatte und das Gehäuse verlaufen.
- Vorzugsweise deckt eine Abdeckplatte eine Seite des Gehäuses ab, wobei die Abdeckplatte das Gehäuse zusammenwirkend den Hohlraum definieren.
- Vorzugsweise definieren das Gehäuse und die Luftführungsplatte jeweils Durchgangsöffnungen, die einen Teil der Leitung bilden und die angeordnet sind, um den Hohlraum mit den Pumpenkammern in Verbindung zu setzen.
- Vorzugsweise sind die zweiten Ventile zwischen dem Gehäuse und der Luftführungsplatte angeordnet.
- Vorzugsweise ist eine Dichtung an einer Fläche der Luftführungsplatte montiert, und die zweiten Ventile sind durch die Dichtung gebildet.
- Vorzugsweise ist die Lufteinlasskammer zwischen dem Motor und der Luftführungsplatte angeordnet, die Auslasskammer liegt auf der motorfernen Seite der Luftführungsplatte und der Hohlraum liegt auf der motorfernen Seite der Auslasskammer, wobei der Hohlraum durch mindestens drei Pfade, die durch die Montageöffnungen verlaufen, mit der Lufteinlasskammer verbunden ist.
- Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird auch eine Membranpumpe bereitgestellt, umfassend: einen Motor mit einer Ausgangswelle; ein durch die Ausgangswelle des Motors angetriebenes exzentrisches Element, das eine Mehrzahl von Armen hat, die sich aufgrund der Drehung der Ausgangswelle auf und ab bewegen; eine Membran mit einer Mehrzahl von Blasen, deren jede eine Pumpenkammer definiert, wobei die Blasen jeweils mit den Armen des exzentrischen Elements verbunden sind, so dass die Pumpenkammern durch die Bewegung der Arme komprimiert und expandiert werden; eine Luftauslasskammer, die über einen Kanal mit der Pumpenkammer jeder Blase in Verbindung steht; eine von der Luftauslasskammer getrennte Lufteinlasskammer, die über eine Leitung mit der Pumpenkammer in Verbindung steht und in der das exzentrische Element angeordnet ist; und einen Hohlraum, der auf einer von der Lufteinlasskammer fernen Seite an die Luftauslasskammer benachbart angeordnet ist, wobei der Hohlraum einen Teil der Leitung bildet.
- KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
- Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung wird nunmehr anhand eines Beispiels erläutert, wobei auf die Figuren der anliegenden Zeichnungen Bezug genommen wird. Identische Strukturen, Elemente oder Teile, die in mehr als einer Figur erscheinen, tragen in sämtlichen Figuren, in denen sie erscheinen, die gleichen Bezugszeichen. Die Dimensionen von Komponenten und Merkmalen, die in den Figuren dargestellt sind, sind allgemein im Hinblick auf eine übersichtliche Darstellung gewählt und sind nicht notwendigerweise maßstabsgetreu. Die Figuren sind im Folgenden aufgelistet.
-
1 ist eine Schnittansicht einer Miniatur-Membranpumpe gemäß einer beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; -
2 ist eine isometrische Explosionsdarstellung der Pumpe von1 ; -
3 ist eine Draufsicht auf die Dichtung der Pumpe von1 ; -
4 ist ein Luftströmungsdiagramm, das schematischen die Richtung der Luftströmung in der Pumpe von1 darstellt. - DETAILBESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
- Es wird auf die
1 bis3 Bezug genommen. Eine Miniatur-Membranpumpe gemäß einer beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung hat einen Motor10 und eine Kompressor-Anordnung. Der Motor10 hat eine Ausgangswelle12 für den Antrieb der Kompressor-Anordnung. - Die Kompressor-Anordnung umfasst ein exzentrisches Element
20 und eine Membran30 mit einer Mehrzahl von Blasen32 . Jede der Blasen32 bildet eine Pumpenkammer mit einer Öffnung, die an einem Ende der Pumpenkammer gebildet ist. Vorzugsweise sind die Blasen wie Luftsäcke und sind aus einem flexiblen Material wie beispielsweise Gummi hergestellt. - Das exzentrische Element
20 hat einen Nocken22 , einen Mitnehmer24 und einen Verbindungsschaft26 , der den Mitnehmer24 mit dem Nocken22 verbindet. Der Nocken22 ist an der Ausgangswelle12 des Motors10 befestigt und dreht sich dadurch als eine Einheit mit der Ausgangswelle12 . Der Nocken22 hat eine Aufnahmeöffnung23 , die sich entlang einer zur Ausgangswelle12 nichtparallelen Richtung erstreckt. Ein axiales Ende des Verbindungsschafts26 ist in der Aufnahmeöffnung23 drehbar aufgenommen. Das andere axiale Ende des Verbindungsschafts26 ist an dem Mitnehmer24 befestigt. Alternativ ist der Verbindungsschaft an den Mitnehmer24 angeformt. Der Mitnehmer24 hat eine Mehrzahl von Armen, die sich in radialer Richtung des Verbindungsschafts erstrecken. Wenn sich der Nocken22 mit der Ausgangswelle12 dreht, bewegt sich das axiale Ende des in den Nocken22 eingesetzten Verbindungsschafts26 mit dem Nocken22 entlang einer Kreisbahn und bewirkt, dass sich der Mitnehmer24 , auf und ab bewegt, da sich der Mitnehmer nicht drehen kann. - Die Pumpe hat eine Lufteinlasskammer
40 , eine Luftauslasskammer50 und eine Luftführungsplatte60 , die die Lufteinlasskammer40 und die Luftauslasskammer50 voneinander trennt. Die Lufteinlasskammer40 steht über einen Lufteinlass42 mit der Außenumgebung in Verbindung, und die Luftauslasskammer50 steht über einen Luftauslass52 mit der Außenumgebung in Verbindung. - Die Lufteinlasskammer
40 ist durch zwei zusammenwirkende Hohlräume gebildet, die in einer Basis44 und in einem Halter46 definiert sind. Die Basis44 ist fest mit dem Motor10 verbunden, wobei das exzentrische Element20 in der Lufteinlasskammer40 aufgenommen ist. Der Lufteinlass42 ist in der Basis44 definiert, optional als eine Nut in einer Außenfläche einer Endwand der Basis, die sich an eine Öffnung in der Basis anschließt, die die Welle und eine Lagernabe des Motors aufnimmt. Vorzugsweise sind die Basis44 und der Halter46 beide zylinderförmig. - Die Membran
30 ist zwischen den Halter46 und die Luftführungsplatte60 angeordnet, wobei sich die Blasen32 in die Lufteinlasskammer40 hinein erstrecken. Ein distales Ende jeder Blase32 ist mit einem entsprechenden Arm des Mitnehmers24 verbunden. Wenn sich die Arme des Mitnehmers24 aufgrund der Drehung des Nockens22 auf und ab bewegen, bewirkt dies, dass die entsprechende Blase32 komprimiert oder expandiert wird. - Die Luftauslasskammer
50 ist zwischen einem Gehäuse54 und der Luftführungsplatte60 gebildet. Der Luftauslass52 ist an dem Gehäuse54 gebildet. Eine Abdeckplatte56 deckt ein von der Luftführungsplatte60 fernes Ende des Gehäuses54 ab. Die Abdeckplatte56 und das Gehäuse54 definieren zusammenwirkend in ihrem Inneren einen Hohlraum58 . - Die Luftführungsplatte
60 definiert entsprechend jeder Pumpenkammer eine Mehrzahl von Luftkanälen62 . Jede Pumpenkammer steht über die Luftkanäle62 mit der Luftauslasskammer50 in Verbindung, wodurch in der Pumpenkammer vorhandene Luft über die Luftkanäle62 in die Luftauslasskammer50 einströmen kann. Eine Mehrzahl von ersten Ventilen64 ist an der Luftführungsplatte60 montiert und jeweils auf die Luftkanäle62 in der Luftführungsplatte60 ausgerichtet. - Die Lufteinlasskammer
40 steht über eine lange und schmale Leitung, die sich aus der Lufteinlasskammer40 heraus erstreckt, mit jeder Pumpenkammer in Verbindung. Die Luftführungsplatte60 definiert eine Mehrzahl von Durchgangsöffnungen66 . Eine Dichtung70 , vorzugsweise in Form einer Gummiplatte, ist zwischen der Luftführungsplatte60 und dem Gehäuse54 angeordnet, um die Luftauslasskammer50 abzudichten. Die Dichtung70 umfasst eine Mehrzahl von zweiten Ventilen72 , die zur Abdichtung der Durchgangsöffnungen66 in der Luftführungsplatte60 angeordnet sind. Die zweiten Ventile sind Klappenventile, die Luft aus dem Hohlraum58 in die Pumpenkammer einströmen lassen, die jedoch eine Luftströmung in der entgegengesetzten Richtung verhindern. An der Luftführungsplatte60 können kleine Dorne68 vorgesehen sein, die bei der Ausrichtung und Montage der Dichtung an der Oberfläche der Luftführungsplatte helfen. - Die Basis
44 , der Halter46 , die Luftführungsplatte60 , das Gehäuse54 und die Abdeckung56 haben axial aufeinander ausgerichtete Öffnungen, die Montageöffnungen80 bilden. Befestigungselemente90 wie beispielsweise Schrauben, erstrecken sich durch die Montageöffnungen80 , um die Basis44 , den Halter46 , die Luftführungsplatte60 , das Gehäuse54 und die Abdeckung56 miteinander zu verbinden. Zumindest an der Stelle, an der die Montageöffnungen80 den Halter46 , die Luftführungsplatte60 und das Gehäuse54 durchgreifen, haben die Montageöffnungen80 in einer radialen Richtung einen Erweiterungsbereich, um zusammenwirkend Pfade82 zu bilden. Die Pfade82 verbinden die Lufteinlasskammer40 mit dem durch das Gehäuse54 und die Abdeckung56 gebildeten Hohlraum58 . Das Gehäuse54 hat Durchgangsöffnungen55 , die auf die Durchgangsöffnungen66 in der Luftführungsplatte60 ausgerichtet sind, um den Hohlraum58 mit der entsprechenden Pumpenkammer in Verbindung zu setzen. Das heißt, die Pfade82 , der Hohlraum58 , die Durchgangsöffnungen55 und die Durchgangsöffnungen66 bilden zusammenwirkend die Leitung. Das zweite Ventil72 liegt zwischen der Durchgangsöffnung55 in dem Gehäuse54 und der Durchgangsöffnung66 in der Luftführungsplatte60 . - Wenn sich die Blase
32 während des Betriebs aufgrund der Bewegung des Arms des Mitnehmers24 in einem expandierten Zustand befindet, wird in der Pumpenkammer ein niedriger Druck aufgebaut, der ein Öffnen des zweiten Ventils72 bewirkt, wodurch über die Leitung und den Hohlraum58 Luft aus der Lufteinlasskammer40 angesaugt wird und durch das zweite Ventil72 hindurchtritt. Gleichzeitig ist das erste Ventil64 dicht geschlossen, um zu verhindern, dass Luft in der Auslasskammer in die Pumpenkammer zurückströmt. Wenn die Blase32 aufgrund der Bewegung des Arms des Mitnehmers24 komprimiert wird, wird die Luft in der Pumpenkammer komprimiert, wodurch ein Hochdruckbereich gebildet wird, der bewirkt, dass sich das entsprechende erste Ventil64 öffnet und dass die Luft in der Pumpenkammer in die Luftauslasskammer50 einströmt und die Pumpe dann über den Auslass52 verlässt. Gleichzeitig wird das zweite Ventil72 dicht geschlossen, um zu verhindern, dass die Luft in der Pumpenkammer über die Leitung in den Hohlraum58 oder in die Lufteinlasskammer40 zurückströmt. - Wie in
4 dargestellt ist und vorstehend beschrieben wurde, erstreckt sich die Leitung für den Lufteintritt entlang einer ersten Richtung durch Pfade82 und dann entlang einer zur ersten Richtung im Wesentlichen entgegengesetzten zweiten Richtung durch Öffnungen55 ,66 zurück. Die Leitung verfügt dadurch über eine große Länge, so dass der Weg, den das Geräusch von der Pumpenkammer entlang der Einlassleitung zurücklegt, verlängert und die Stärke des während des Pumpens von dem Lufteinlassweg ausgehenden Geräusches reduziert wird. Ferner verläuft die Leitung ringsum, was bedeutet, dass der Weg nicht von dem Einlass direkt zur Pumpenkammer führt, so dass das Geräusch beim Ansaugen von Luft in die Pumpenkammer ein Labyrinth passieren muss. Aus diesem Grund wird das durch die Pumpe erzeugte Geräusch signifikant reduziert. - Obwohl die Wissenschaft, die hinter der Geräuschreduzierung steckt, nicht vollständig verstanden wird, ist man der Meinung, dass der Hohlraum
58 zusätzlich zu der Lufteinlasskammer40 einen Stabilisierungseffekt auf den Luftansaugdruck hat, was dazu führt, dass das von der Luftansaugung der Pumpe ausgehende Geräusch schwächer ist. Darüber hinaus tritt die Luft, wie in4 deutlicher gezeigt ist, aus dem Hohlraum58 über schmale Wege in die Pumpkammer ein. Solchermaßen hilft der Hohlraum58 bei der Stabilisierung des Luftdrucks in den Luftansaugleitungen zwischen den drei Pumpenkammern. Der Hohlraum58 wirkt auch als Anfangsgeräuschdämpfer, indem er ein relativ großes Volumen zwischen den Pfaden82 und den Durchgangsöffnungen55 bereitstellt. Der Hohlraum58 saugt die Luft aus der Lufteinlasskammer40 über die durch die Montageöffnungen80 gebildeten Pfade82 an, die lang und schmal sind, was weiter zur Stabilisierung des Luftdrucks in den Pfaden beiträgt. Eine Lufteinlasskammer40 hat ein Volumen, das größer als das Volumen des Hohlraums58 ist, wodurch der Luftdruck der Ansaugluft weiter stabilisiert wird und wodurch die Luft, die über den Lufteinlass in die Lufteinlasskammer einströmt, relativ stetig ist, so dass von dem Lufteinlass ein Geräusch ausgestrahlt wird, das als ein leiseres und annehmbarer klingendes Geräusch wahrgenommen wird. - Auch wird die Luft aus der Pumpenkammer über eine Auslasskammer
50 ausgestoßen, ehe sie den Luftauslass erreicht, wodurch wiederum für eine Stabilisierung des Luftdrucks gesorgt wird und somit dafür, dass das durch die aus der Pumpe austretende Luft erzeugte Geräusch weicher klingt oder schwächer ist. - Die spezielle Anwendung der vorliegenden Erfindung ist in Tintenstrahldruckern und in Geräten für medizinische Behandlung, wie zum Beispiel Sphygmomanometer, Spritzen für Medikamente, jedoch auch in Luftpumpen für Lordosenstützen von Sitzen in Personenfahrzeugen usw.
- Gemäß vorstehender Beschreibung ist die Lufteinlasskammer durch eine Leitung mit den Pumpenkammern verbunden. Es versteht sich jedoch, dass die Leitung auch durch eine beliebige Anzahl von Einzelverbindungen gebildet werden kann und nicht nur durch drei wie in der dargestellten bevorzugten Ausführungsform.
- Verben wie ”umfassen”, ”aufweisen”, ”enthalten” und ”haben” sowie deren Abwandlungen in der Beschreibung und in den Ansprüchen der vorliegenden Anmeldung sind in einem einschließenden Sinne zu verstehen. Sie geben an, dass das genannte Element vorhanden ist, schließen jedoch nicht aus, dass noch weitere Elemente vorhanden sind.
- Wenngleich die Erfindung unter Bezugnahme auf eine oder mehrere bevorzugte Ausführungsformen beschrieben wurde, wird der Fachmann erkennen, dass verschiedenen Modifikationen möglich sind, ohne den Schutzrahmen der Erfindung zu verlassen, der durch die anliegenden Ansprüche definiert ist.
Claims (10)
- Membranpumpe, umfassend: einen Motor (
10 ) mit einer Ausgangswelle (12 ); ein exzentrisches Element (20 ), das durch die Ausgangswelle (12 ) antreibbar ist, wobei das exzentrische Element eine Mehrzahl von Armen umfasst, die sich aufgrund der Drehung der Ausgangswelle auf und ab bewegen; eine Membran (30 ), die mit eine Mehrzahl von Blasen (32 ) umfasst, wobei jede der Blasen eine Pumpenkammer bildet, wobei die Blasen jeweils mit Armen des exzentrischen Elements verbunden sind, so dass die Pumpenkammern aufgrund der Bewegung der Arme komprimierbar und expandierbar sind; gekennzeichnet durch eine Luftauslasskammer (50 ), die über Kanäle (62 ) mit den Pumpenkammern in Verbindung steht; eine Mehrzahl von ersten Ventilen (64 ), die für die Steuerung des Luftstroms durch die Kanäle angeordnet sind; eine Lufteinlasskammer (40 ), die über eine Leitung mit der Pumpenkammer in Verbindung steht; einen Hohlraum (58 ), der einen Teil der Leitung bildet; und eine Mehrzahl von zweiten Ventilen (72 ), die zur Steuerung des Luftstroms aus dem Hohlraum (58 ) in die Pumpenkammern angeordnet sind. - Membranpumpe nach Anspruch 1, wobei sich die Leitung zunächst entlang einer ersten Richtung von der Einlasskammer (
40 ) zu dem Hohlraum (58 ) und dann entlang einer zur ersten Richtung im Wesentlichen entgegengesetzten zweiten Richtung von dem Hohlraum (58 ) zu den Pumpenkammern erstreckt. - Membranpumpe nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Hohlraum die Luftauslasskammer (
50 ) in einer axialen Richtung des Motors (10 ) zumindest teilweise überdeckt. - Membranpumpe nach Anspruch 1, 2 oder 3, wobei eine Mehrzahl von Montageöffnungen in Seitenwänden gebildet ist, die die Lufteinlasskammer und die Luftauslasskammer definieren, wobei die Montageöffnungen Pfade (
82 ) bilden, die einen Teil der Leitung zwischen der Lufteinlasskammer (40 ) und dem Hohlraum (58 ) bilden. - Membranpumpe nach Anspruch 4, ferner umfassend: eine Basis (
44 ), einen Halter (46 ), eine Luftführungsplatte (60 ) und ein Gehäuse (54 ), wobei die Basis und der Halter zusammenwirkend die Lufteinlasskammer (40 ) definieren, wobei die Führungsplatte und das Gehäuse zusammenwirkend die Luftauslasskammer (50 ) definieren und wobei die Pfade (82 ) durch den Halter, die Luftführungsplatte und das Gehäuse verlaufen. - Membranpumpe nach Anspruch 5, ferner umfassend eine Abdeckplatte (
56 ), die eine Seite des Gehäuses (54 ) abdeckt, wobei die Abdeckplatte (56 ) und das Gehäuse (54 ) zusammenwirkend den Hohlraum (58 ) definieren. - Membranpumpe nach Anspruch 5 oder 6, wobei das Gehäuse (
54 ) und die Luftführungsplatte (60 ) jeweils Durchgangsöffnungen (55 ,66 ) definieren, die einen Teil der Leitung bilden und die angeordnet sind, um den Hohlraum (58 ) mit den Pumpenkammern in Verbindung zu setzen. - Membranpumpe nach Anspruch 5, 6 oder 7, wobei die zweiten Ventile (
72 ) zwischen dem Gehäuse (54 ) und der Luftführungsplatte (60 ) angeordnet sind. - Membranpumpe nach Anspruch 5, 6, 7 oder 8, wobei die Lufteinlasskammer (
40 ) zwischen dem Motor (10 ) und der Luftführungsplatte (60 ) angeordnet ist, wobei die Luftauslasskammer auf der von dem Motor (10 ) fernen Seite der Luftführungsplatte (60 ) und der Hohlraum (58 ) auf der von dem Motor (10 ) fernen Seite der Auslasskammer (50 ) angeordnet ist und wobei der Hohlraum (58 ) durch mindestens drei Pfade (82 ), die durch die Montageöffnungen (80 ) verlaufen, mit der Lufteinlasskammer (40 ) verbunden ist. - Membranpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, ferner umfassend eine Dichtung (
70 ), die an einer Fläche der Luftströmungsplatte (60 ) montiert ist, wobei die zweiten Ventile (72 ) durch die Dichtung (70 ) gebildet sind.
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