DE102012105006A1 - Membranpumpe - Google Patents

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Wan Hor Looi
Hong Yi Zeng
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Abstract

Eine Membranpumpe hat einen Motor, ein exzentrisches Element, das durch den Motor angetrieben wird, und eine Membran. Der Motor hat eine Ausgangswelle, die mit dem exzentrischen Element verbunden ist. Das exzentrische Element umfasst eine Mehrzahl von Armen, die sich aufgrund der Drehung der Ausgangswelle auf und ab bewegen. Die Membran hat mehrere Blasen. Jede Blase bildet eine Pumpenkammer. Die Blasen sind mit den Armen verbunden, so dass die Blasen aufgrund der Bewegung der Arme komprimiert oder expandiert werden. Die Pumpe hat eine Luftauslasskammer und eine Lufteinlasskammer. Die Lufteinlasskammer ist über eine Leitung mit den Pumpenkammern verbunden. Die Leitung enthält einen Hohlraum, der die Luftauslasskammer in einer axialen Richtung des Motors überdeckt.

Description

  • GEBIET DER ERFINDUNG
  • Die Erfindung betrifft eine Membranpumpe und insbesondere eine Miniatur-Membranpumpe.
  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Eine typische Miniatur-Membranpumpe hat eine Basis und eine Membran, die an einer Seite der Basis montiert ist. Die Miniatur-Membranpumpe definiert eine Lufteinlasskammer in der Basis und definiert weiter eine Luftauslasskammer außerhalb der Basis. Die Luftauslasskammer ist von der Lufteinlasskammer getrennt. Die Membran hat mehrere Luftsäcke, die in der Lufteinlasskammer aufgenommen sind. Jeder Luftsack definiert eine Pumpenkammer, und die Pumpenkammer steht über eine erste Leitung und eine zweite Leitung jeweils mit der Lufteinlasskammer beziehungsweise mit der Luftauslasskammer in Verbindung. An der Membran ist ein erstes Ventil gebildet, das auf die erste Leitung ausgerichtet ist, um dadurch die Verbindung zwischen der Pumpenkammer und der Lufteinlasskammer herzustellen oder zu unterbrechen. Ein zweites Ventil ist auf die zweite Leitung ausgerichtet, um dadurch die Verbindung zwischen der Pumpenkammer und der Luftauslasskammer herzustellen oder zu unterbrechen. Die erste Leitung ist als Durchgangsöffnung in der Basis gebildet und stellt den kürzesten Weg für den Lufteintritt bereit.
  • Die Luftsäcke werden durch eine exzentrische Anordnung betätigt, die wiederum durch einen Motor angetrieben wird. Wenn der Motor arbeitet, wird bewirkt, dass die Luftsäcke aufgrund der Bewegung der exzentrischen Anordnung expandiert oder komprimiert werden, wodurch Luft in die Lufteinlasskammer gesaugt oder Luft in die Luftauslasskammer ausgestoßen wird. Während der Luftansaugphase in dem Pumpzyklus entstehen in der Miniatur-Membranpumpe jedoch unerwünschte hörbare Geräusche.
  • Daher ist eine verbesserte Membranpumpe erwünscht, insbesondere eine kleine oder eine Minitatur-Membranpumpe.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
  • Dementsprechend wird gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung eine Membranpumpe angegeben, umfassend: einen Motor mit einer Ausgangswelle; ein durch die Ausgangswelle angetriebenes exzentrisches Element, das eine Mehrzahl von Armen umfasst, die sich aufgrund der Drehung der Ausgangswelle auf und ab bewegen; eine Membran mit einer Mehrzahl von Blasen, deren jede eine Pumpenkammer bildet und die jeweils mit den Armen der exzentrischen Anordnung verbunden sind, so dass die Pumpenkammern aufgrund der Bewegung der Arme expandiert und komprimiert werden; eine Luftauslasskammer, die über Kanäle mit den Pumpenkammern in Verbindung steht; eine Mehrzahl von ersten Ventilen, die für die Steuerung des Luftstroms durch die Kanäle angeordnet sind; eine Lufteinlasskammer, die über eine Leitung mit den Pumpenkammern in Verbindung steht; einen Hohlraum, der einen Teil der Leitung bildet; und eine Mehrzahl von zweiten Ventilen, die für die Steuerung des Luftstroms aus dem Hohlraum in die Pumpenkammern angeordnet sind.
  • Vorzugsweise erstreckt sich die Leitung zunächst entlang einer ersten Richtung von der Lufteinlasskammer zu dem Hohlraum und dann entlang einer zur ersten Richtung im Wesentlichen entgegengesetzten zweiten Richtung von dem Hohlraum zu den Pumpenkammern.
  • Vorzugsweise überdeckt der Hohlraum die Luftauslasskammer in einer axialen Richtung des Motors zumindest teilweise.
  • Vorzugsweise ist eine Mehrzahl von Montageöffnungen in Seitenwänden gebildet, die die Lufteinlasskammer und die Luftauslasskammer definieren, wobei die Montageöffnungen Pfade bilden, die einen Teil der Leitung zwischen der Lufteinlasskammer und dem Hohlraum bilden.
  • Vorzugsweise sind eine Basis, ein Halter, eine Luftführungsplatte und ein Gehäuse vorgesehen, wobei die Basis und der Halter zusammenwirkend die Lufteinlasskammer und die Luftführungsplatte und das Gehäuse zusammenwirkend die Luftauslasskammer definieren und wobei die Pfade durch den Halter, die Luftführungsplatte und das Gehäuse verlaufen.
  • Vorzugsweise deckt eine Abdeckplatte eine Seite des Gehäuses ab, wobei die Abdeckplatte das Gehäuse zusammenwirkend den Hohlraum definieren.
  • Vorzugsweise definieren das Gehäuse und die Luftführungsplatte jeweils Durchgangsöffnungen, die einen Teil der Leitung bilden und die angeordnet sind, um den Hohlraum mit den Pumpenkammern in Verbindung zu setzen.
  • Vorzugsweise sind die zweiten Ventile zwischen dem Gehäuse und der Luftführungsplatte angeordnet.
  • Vorzugsweise ist eine Dichtung an einer Fläche der Luftführungsplatte montiert, und die zweiten Ventile sind durch die Dichtung gebildet.
  • Vorzugsweise ist die Lufteinlasskammer zwischen dem Motor und der Luftführungsplatte angeordnet, die Auslasskammer liegt auf der motorfernen Seite der Luftführungsplatte und der Hohlraum liegt auf der motorfernen Seite der Auslasskammer, wobei der Hohlraum durch mindestens drei Pfade, die durch die Montageöffnungen verlaufen, mit der Lufteinlasskammer verbunden ist.
  • Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird auch eine Membranpumpe bereitgestellt, umfassend: einen Motor mit einer Ausgangswelle; ein durch die Ausgangswelle des Motors angetriebenes exzentrisches Element, das eine Mehrzahl von Armen hat, die sich aufgrund der Drehung der Ausgangswelle auf und ab bewegen; eine Membran mit einer Mehrzahl von Blasen, deren jede eine Pumpenkammer definiert, wobei die Blasen jeweils mit den Armen des exzentrischen Elements verbunden sind, so dass die Pumpenkammern durch die Bewegung der Arme komprimiert und expandiert werden; eine Luftauslasskammer, die über einen Kanal mit der Pumpenkammer jeder Blase in Verbindung steht; eine von der Luftauslasskammer getrennte Lufteinlasskammer, die über eine Leitung mit der Pumpenkammer in Verbindung steht und in der das exzentrische Element angeordnet ist; und einen Hohlraum, der auf einer von der Lufteinlasskammer fernen Seite an die Luftauslasskammer benachbart angeordnet ist, wobei der Hohlraum einen Teil der Leitung bildet.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung wird nunmehr anhand eines Beispiels erläutert, wobei auf die Figuren der anliegenden Zeichnungen Bezug genommen wird. Identische Strukturen, Elemente oder Teile, die in mehr als einer Figur erscheinen, tragen in sämtlichen Figuren, in denen sie erscheinen, die gleichen Bezugszeichen. Die Dimensionen von Komponenten und Merkmalen, die in den Figuren dargestellt sind, sind allgemein im Hinblick auf eine übersichtliche Darstellung gewählt und sind nicht notwendigerweise maßstabsgetreu. Die Figuren sind im Folgenden aufgelistet.
  • 1 ist eine Schnittansicht einer Miniatur-Membranpumpe gemäß einer beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 2 ist eine isometrische Explosionsdarstellung der Pumpe von 1;
  • 3 ist eine Draufsicht auf die Dichtung der Pumpe von 1;
  • 4 ist ein Luftströmungsdiagramm, das schematischen die Richtung der Luftströmung in der Pumpe von 1 darstellt.
  • DETAILBESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Es wird auf die 1 bis 3 Bezug genommen. Eine Miniatur-Membranpumpe gemäß einer beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung hat einen Motor 10 und eine Kompressor-Anordnung. Der Motor 10 hat eine Ausgangswelle 12 für den Antrieb der Kompressor-Anordnung.
  • Die Kompressor-Anordnung umfasst ein exzentrisches Element 20 und eine Membran 30 mit einer Mehrzahl von Blasen 32. Jede der Blasen 32 bildet eine Pumpenkammer mit einer Öffnung, die an einem Ende der Pumpenkammer gebildet ist. Vorzugsweise sind die Blasen wie Luftsäcke und sind aus einem flexiblen Material wie beispielsweise Gummi hergestellt.
  • Das exzentrische Element 20 hat einen Nocken 22, einen Mitnehmer 24 und einen Verbindungsschaft 26, der den Mitnehmer 24 mit dem Nocken 22 verbindet. Der Nocken 22 ist an der Ausgangswelle 12 des Motors 10 befestigt und dreht sich dadurch als eine Einheit mit der Ausgangswelle 12. Der Nocken 22 hat eine Aufnahmeöffnung 23, die sich entlang einer zur Ausgangswelle 12 nichtparallelen Richtung erstreckt. Ein axiales Ende des Verbindungsschafts 26 ist in der Aufnahmeöffnung 23 drehbar aufgenommen. Das andere axiale Ende des Verbindungsschafts 26 ist an dem Mitnehmer 24 befestigt. Alternativ ist der Verbindungsschaft an den Mitnehmer 24 angeformt. Der Mitnehmer 24 hat eine Mehrzahl von Armen, die sich in radialer Richtung des Verbindungsschafts erstrecken. Wenn sich der Nocken 22 mit der Ausgangswelle 12 dreht, bewegt sich das axiale Ende des in den Nocken 22 eingesetzten Verbindungsschafts 26 mit dem Nocken 22 entlang einer Kreisbahn und bewirkt, dass sich der Mitnehmer 24, auf und ab bewegt, da sich der Mitnehmer nicht drehen kann.
  • Die Pumpe hat eine Lufteinlasskammer 40, eine Luftauslasskammer 50 und eine Luftführungsplatte 60, die die Lufteinlasskammer 40 und die Luftauslasskammer 50 voneinander trennt. Die Lufteinlasskammer 40 steht über einen Lufteinlass 42 mit der Außenumgebung in Verbindung, und die Luftauslasskammer 50 steht über einen Luftauslass 52 mit der Außenumgebung in Verbindung.
  • Die Lufteinlasskammer 40 ist durch zwei zusammenwirkende Hohlräume gebildet, die in einer Basis 44 und in einem Halter 46 definiert sind. Die Basis 44 ist fest mit dem Motor 10 verbunden, wobei das exzentrische Element 20 in der Lufteinlasskammer 40 aufgenommen ist. Der Lufteinlass 42 ist in der Basis 44 definiert, optional als eine Nut in einer Außenfläche einer Endwand der Basis, die sich an eine Öffnung in der Basis anschließt, die die Welle und eine Lagernabe des Motors aufnimmt. Vorzugsweise sind die Basis 44 und der Halter 46 beide zylinderförmig.
  • Die Membran 30 ist zwischen den Halter 46 und die Luftführungsplatte 60 angeordnet, wobei sich die Blasen 32 in die Lufteinlasskammer 40 hinein erstrecken. Ein distales Ende jeder Blase 32 ist mit einem entsprechenden Arm des Mitnehmers 24 verbunden. Wenn sich die Arme des Mitnehmers 24 aufgrund der Drehung des Nockens 22 auf und ab bewegen, bewirkt dies, dass die entsprechende Blase 32 komprimiert oder expandiert wird.
  • Die Luftauslasskammer 50 ist zwischen einem Gehäuse 54 und der Luftführungsplatte 60 gebildet. Der Luftauslass 52 ist an dem Gehäuse 54 gebildet. Eine Abdeckplatte 56 deckt ein von der Luftführungsplatte 60 fernes Ende des Gehäuses 54 ab. Die Abdeckplatte 56 und das Gehäuse 54 definieren zusammenwirkend in ihrem Inneren einen Hohlraum 58.
  • Die Luftführungsplatte 60 definiert entsprechend jeder Pumpenkammer eine Mehrzahl von Luftkanälen 62. Jede Pumpenkammer steht über die Luftkanäle 62 mit der Luftauslasskammer 50 in Verbindung, wodurch in der Pumpenkammer vorhandene Luft über die Luftkanäle 62 in die Luftauslasskammer 50 einströmen kann. Eine Mehrzahl von ersten Ventilen 64 ist an der Luftführungsplatte 60 montiert und jeweils auf die Luftkanäle 62 in der Luftführungsplatte 60 ausgerichtet.
  • Die Lufteinlasskammer 40 steht über eine lange und schmale Leitung, die sich aus der Lufteinlasskammer 40 heraus erstreckt, mit jeder Pumpenkammer in Verbindung. Die Luftführungsplatte 60 definiert eine Mehrzahl von Durchgangsöffnungen 66. Eine Dichtung 70, vorzugsweise in Form einer Gummiplatte, ist zwischen der Luftführungsplatte 60 und dem Gehäuse 54 angeordnet, um die Luftauslasskammer 50 abzudichten. Die Dichtung 70 umfasst eine Mehrzahl von zweiten Ventilen 72, die zur Abdichtung der Durchgangsöffnungen 66 in der Luftführungsplatte 60 angeordnet sind. Die zweiten Ventile sind Klappenventile, die Luft aus dem Hohlraum 58 in die Pumpenkammer einströmen lassen, die jedoch eine Luftströmung in der entgegengesetzten Richtung verhindern. An der Luftführungsplatte 60 können kleine Dorne 68 vorgesehen sein, die bei der Ausrichtung und Montage der Dichtung an der Oberfläche der Luftführungsplatte helfen.
  • Die Basis 44, der Halter 46, die Luftführungsplatte 60, das Gehäuse 54 und die Abdeckung 56 haben axial aufeinander ausgerichtete Öffnungen, die Montageöffnungen 80 bilden. Befestigungselemente 90 wie beispielsweise Schrauben, erstrecken sich durch die Montageöffnungen 80, um die Basis 44, den Halter 46, die Luftführungsplatte 60, das Gehäuse 54 und die Abdeckung 56 miteinander zu verbinden. Zumindest an der Stelle, an der die Montageöffnungen 80 den Halter 46, die Luftführungsplatte 60 und das Gehäuse 54 durchgreifen, haben die Montageöffnungen 80 in einer radialen Richtung einen Erweiterungsbereich, um zusammenwirkend Pfade 82 zu bilden. Die Pfade 82 verbinden die Lufteinlasskammer 40 mit dem durch das Gehäuse 54 und die Abdeckung 56 gebildeten Hohlraum 58. Das Gehäuse 54 hat Durchgangsöffnungen 55, die auf die Durchgangsöffnungen 66 in der Luftführungsplatte 60 ausgerichtet sind, um den Hohlraum 58 mit der entsprechenden Pumpenkammer in Verbindung zu setzen. Das heißt, die Pfade 82, der Hohlraum 58, die Durchgangsöffnungen 55 und die Durchgangsöffnungen 66 bilden zusammenwirkend die Leitung. Das zweite Ventil 72 liegt zwischen der Durchgangsöffnung 55 in dem Gehäuse 54 und der Durchgangsöffnung 66 in der Luftführungsplatte 60.
  • Wenn sich die Blase 32 während des Betriebs aufgrund der Bewegung des Arms des Mitnehmers 24 in einem expandierten Zustand befindet, wird in der Pumpenkammer ein niedriger Druck aufgebaut, der ein Öffnen des zweiten Ventils 72 bewirkt, wodurch über die Leitung und den Hohlraum 58 Luft aus der Lufteinlasskammer 40 angesaugt wird und durch das zweite Ventil 72 hindurchtritt. Gleichzeitig ist das erste Ventil 64 dicht geschlossen, um zu verhindern, dass Luft in der Auslasskammer in die Pumpenkammer zurückströmt. Wenn die Blase 32 aufgrund der Bewegung des Arms des Mitnehmers 24 komprimiert wird, wird die Luft in der Pumpenkammer komprimiert, wodurch ein Hochdruckbereich gebildet wird, der bewirkt, dass sich das entsprechende erste Ventil 64 öffnet und dass die Luft in der Pumpenkammer in die Luftauslasskammer 50 einströmt und die Pumpe dann über den Auslass 52 verlässt. Gleichzeitig wird das zweite Ventil 72 dicht geschlossen, um zu verhindern, dass die Luft in der Pumpenkammer über die Leitung in den Hohlraum 58 oder in die Lufteinlasskammer 40 zurückströmt.
  • Wie in 4 dargestellt ist und vorstehend beschrieben wurde, erstreckt sich die Leitung für den Lufteintritt entlang einer ersten Richtung durch Pfade 82 und dann entlang einer zur ersten Richtung im Wesentlichen entgegengesetzten zweiten Richtung durch Öffnungen 55, 66 zurück. Die Leitung verfügt dadurch über eine große Länge, so dass der Weg, den das Geräusch von der Pumpenkammer entlang der Einlassleitung zurücklegt, verlängert und die Stärke des während des Pumpens von dem Lufteinlassweg ausgehenden Geräusches reduziert wird. Ferner verläuft die Leitung ringsum, was bedeutet, dass der Weg nicht von dem Einlass direkt zur Pumpenkammer führt, so dass das Geräusch beim Ansaugen von Luft in die Pumpenkammer ein Labyrinth passieren muss. Aus diesem Grund wird das durch die Pumpe erzeugte Geräusch signifikant reduziert.
  • Obwohl die Wissenschaft, die hinter der Geräuschreduzierung steckt, nicht vollständig verstanden wird, ist man der Meinung, dass der Hohlraum 58 zusätzlich zu der Lufteinlasskammer 40 einen Stabilisierungseffekt auf den Luftansaugdruck hat, was dazu führt, dass das von der Luftansaugung der Pumpe ausgehende Geräusch schwächer ist. Darüber hinaus tritt die Luft, wie in 4 deutlicher gezeigt ist, aus dem Hohlraum 58 über schmale Wege in die Pumpkammer ein. Solchermaßen hilft der Hohlraum 58 bei der Stabilisierung des Luftdrucks in den Luftansaugleitungen zwischen den drei Pumpenkammern. Der Hohlraum 58 wirkt auch als Anfangsgeräuschdämpfer, indem er ein relativ großes Volumen zwischen den Pfaden 82 und den Durchgangsöffnungen 55 bereitstellt. Der Hohlraum 58 saugt die Luft aus der Lufteinlasskammer 40 über die durch die Montageöffnungen 80 gebildeten Pfade 82 an, die lang und schmal sind, was weiter zur Stabilisierung des Luftdrucks in den Pfaden beiträgt. Eine Lufteinlasskammer 40 hat ein Volumen, das größer als das Volumen des Hohlraums 58 ist, wodurch der Luftdruck der Ansaugluft weiter stabilisiert wird und wodurch die Luft, die über den Lufteinlass in die Lufteinlasskammer einströmt, relativ stetig ist, so dass von dem Lufteinlass ein Geräusch ausgestrahlt wird, das als ein leiseres und annehmbarer klingendes Geräusch wahrgenommen wird.
  • Auch wird die Luft aus der Pumpenkammer über eine Auslasskammer 50 ausgestoßen, ehe sie den Luftauslass erreicht, wodurch wiederum für eine Stabilisierung des Luftdrucks gesorgt wird und somit dafür, dass das durch die aus der Pumpe austretende Luft erzeugte Geräusch weicher klingt oder schwächer ist.
  • Die spezielle Anwendung der vorliegenden Erfindung ist in Tintenstrahldruckern und in Geräten für medizinische Behandlung, wie zum Beispiel Sphygmomanometer, Spritzen für Medikamente, jedoch auch in Luftpumpen für Lordosenstützen von Sitzen in Personenfahrzeugen usw.
  • Gemäß vorstehender Beschreibung ist die Lufteinlasskammer durch eine Leitung mit den Pumpenkammern verbunden. Es versteht sich jedoch, dass die Leitung auch durch eine beliebige Anzahl von Einzelverbindungen gebildet werden kann und nicht nur durch drei wie in der dargestellten bevorzugten Ausführungsform.
  • Verben wie ”umfassen”, ”aufweisen”, ”enthalten” und ”haben” sowie deren Abwandlungen in der Beschreibung und in den Ansprüchen der vorliegenden Anmeldung sind in einem einschließenden Sinne zu verstehen. Sie geben an, dass das genannte Element vorhanden ist, schließen jedoch nicht aus, dass noch weitere Elemente vorhanden sind.
  • Wenngleich die Erfindung unter Bezugnahme auf eine oder mehrere bevorzugte Ausführungsformen beschrieben wurde, wird der Fachmann erkennen, dass verschiedenen Modifikationen möglich sind, ohne den Schutzrahmen der Erfindung zu verlassen, der durch die anliegenden Ansprüche definiert ist.

Claims (10)

  1. Membranpumpe, umfassend: einen Motor (10) mit einer Ausgangswelle (12); ein exzentrisches Element (20), das durch die Ausgangswelle (12) antreibbar ist, wobei das exzentrische Element eine Mehrzahl von Armen umfasst, die sich aufgrund der Drehung der Ausgangswelle auf und ab bewegen; eine Membran (30), die mit eine Mehrzahl von Blasen (32) umfasst, wobei jede der Blasen eine Pumpenkammer bildet, wobei die Blasen jeweils mit Armen des exzentrischen Elements verbunden sind, so dass die Pumpenkammern aufgrund der Bewegung der Arme komprimierbar und expandierbar sind; gekennzeichnet durch eine Luftauslasskammer (50), die über Kanäle (62) mit den Pumpenkammern in Verbindung steht; eine Mehrzahl von ersten Ventilen (64), die für die Steuerung des Luftstroms durch die Kanäle angeordnet sind; eine Lufteinlasskammer (40), die über eine Leitung mit der Pumpenkammer in Verbindung steht; einen Hohlraum (58), der einen Teil der Leitung bildet; und eine Mehrzahl von zweiten Ventilen (72), die zur Steuerung des Luftstroms aus dem Hohlraum (58) in die Pumpenkammern angeordnet sind.
  2. Membranpumpe nach Anspruch 1, wobei sich die Leitung zunächst entlang einer ersten Richtung von der Einlasskammer (40) zu dem Hohlraum (58) und dann entlang einer zur ersten Richtung im Wesentlichen entgegengesetzten zweiten Richtung von dem Hohlraum (58) zu den Pumpenkammern erstreckt.
  3. Membranpumpe nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Hohlraum die Luftauslasskammer (50) in einer axialen Richtung des Motors (10) zumindest teilweise überdeckt.
  4. Membranpumpe nach Anspruch 1, 2 oder 3, wobei eine Mehrzahl von Montageöffnungen in Seitenwänden gebildet ist, die die Lufteinlasskammer und die Luftauslasskammer definieren, wobei die Montageöffnungen Pfade (82) bilden, die einen Teil der Leitung zwischen der Lufteinlasskammer (40) und dem Hohlraum (58) bilden.
  5. Membranpumpe nach Anspruch 4, ferner umfassend: eine Basis (44), einen Halter (46), eine Luftführungsplatte (60) und ein Gehäuse (54), wobei die Basis und der Halter zusammenwirkend die Lufteinlasskammer (40) definieren, wobei die Führungsplatte und das Gehäuse zusammenwirkend die Luftauslasskammer (50) definieren und wobei die Pfade (82) durch den Halter, die Luftführungsplatte und das Gehäuse verlaufen.
  6. Membranpumpe nach Anspruch 5, ferner umfassend eine Abdeckplatte (56), die eine Seite des Gehäuses (54) abdeckt, wobei die Abdeckplatte (56) und das Gehäuse (54) zusammenwirkend den Hohlraum (58) definieren.
  7. Membranpumpe nach Anspruch 5 oder 6, wobei das Gehäuse (54) und die Luftführungsplatte (60) jeweils Durchgangsöffnungen (55, 66) definieren, die einen Teil der Leitung bilden und die angeordnet sind, um den Hohlraum (58) mit den Pumpenkammern in Verbindung zu setzen.
  8. Membranpumpe nach Anspruch 5, 6 oder 7, wobei die zweiten Ventile (72) zwischen dem Gehäuse (54) und der Luftführungsplatte (60) angeordnet sind.
  9. Membranpumpe nach Anspruch 5, 6, 7 oder 8, wobei die Lufteinlasskammer (40) zwischen dem Motor (10) und der Luftführungsplatte (60) angeordnet ist, wobei die Luftauslasskammer auf der von dem Motor (10) fernen Seite der Luftführungsplatte (60) und der Hohlraum (58) auf der von dem Motor (10) fernen Seite der Auslasskammer (50) angeordnet ist und wobei der Hohlraum (58) durch mindestens drei Pfade (82), die durch die Montageöffnungen (80) verlaufen, mit der Lufteinlasskammer (40) verbunden ist.
  10. Membranpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, ferner umfassend eine Dichtung (70), die an einer Fläche der Luftströmungsplatte (60) montiert ist, wobei die zweiten Ventile (72) durch die Dichtung (70) gebildet sind.
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