DE102007060026A1 - Membranpumpe und Vorrichtung mit einer solchen - Google Patents

Membranpumpe und Vorrichtung mit einer solchen Download PDF

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Hsiao-Kang Ma
Chang-Hung Chung-Ho Peng
Bo-Ren Yonghe Hou
Hong-Yun Wu
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    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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    • F04B43/00Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/04Pumps having electric drive
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Abstract

Es wird eine Membranpumpe mit Folgendem angegeben: einem Kammerkörper (1) mit einer Einlassleitung (14) und einer Auslassleitung (15); einer Membran (3), die an der Oberseite des Kammerkörpers vorhanden ist; und einem Aktivierungselement (4), das flach an der Oberseite der Membran anliegt und über ein festes Ende (41) und ein schwingendes Ende (42) verfügt, wobei das schwingende Ende eine sektorartige Schwingung ausführt; wobei der durch das Aktivierungselement erzeugte große Schwingungshub das Innenvolumen des Kammerkörpers ändert, so dass das in ihm vorhandene Arbeitsfluid zur Auslassleitung herausströmt, während Arbeitsfluid durch die Einlassleitung hineinströmt, um eine Strömung in einer Richtung zu erzeugen.

Description

    • Priorität: Taiwan (R.O.C.) 9. Februar 2007 096104724
  • Die Erfindung betrifft eine Membranpumpe, insbesondere eine Membranpumpe, die bei einem Fluidzuführ- oder Fluidumwälzsystem angewandt werden kann.
  • Wie es in der 1 dargestellt ist, verfügt eine herkömmliche, übliche piezoelektrische Pumpe über einen Kammerkörper 10. Die Unterseite des Kammerkörpers 10 ist mit einer Einlassleitung 101 und einer Auslassleitung 102 versehen. Die Mündungen der Einlassleitung 101 und der Auslassleitung 102 sind mit einem Rückschlagventil 20 bzw. 20a versehen. Die Oberseite des Kammerkörpers 10 ist mit einer Membran 303 versehen. Ein Aktivierungselement 104 liegt flach an der Membran 103 an. Das Aktivierungselement 104 ist ein piezoelektrisches Teil. Durch diese Anordnung wird, nachdem das Aktivierungselement 104 mit einem elektrischen Strom versorgt wurde, dafür gesorgt, dass der mittlere Teil der Membran 103 nach oben und unten schwingt, wie es durch den Pfeil in dieser Figur angedeutet ist. Da das spezielle Positionsdesign dieser Struktur dadurch gekennzeichnet ist, dass die zwei Rückschlagventile 20, 20a in der Einlassleitung 101 und der Auslassleitung 102 liegen, ist, wenn das Aktivierungselement 104 nach oben schwingt, der Innendruck im Kammerkörper 10 kleiner als der dortige Außendruck. Demgemäß bewegen sich beide Rückschlagventile 20, 20a nach oben. Im Ergebnis ermöglicht es das Rückschlagventil 20, den Kanal zwischen der Einlassleitung 101 und dem Kammerkörper 10 zu öffnen, so dass das Arbeitsfluid im Inneren der Einlassleitung 101 in den Kammerkörper 10 eintreten kann. Gleichzeitig sperrt das Rückschlagventil 20a den Kanal zwischen der Auslassleitung 102 und dem Kammerkörper 10, so dass das aus der Auslassleitung 102 ausgelassene Arbeitsfluid nicht in den Kammerkörper 10 zurück fließen kann. Andererseits wird, wenn auf das Aktivierungselement 104 gedrückt wird, dafür gesorgt, dass die Membran 103 den Raum des Kammerkörpers 10 zusammendrückt und so einen Druck erzeugt, der dafür sorgt, dass sich beide Rückschlagventile 20, 20a nach unten bewegen. Im Ergebnis ermöglicht es das Rückschlagventil 20a, den Kanal zwischen der Auslassleitung 102 und dem Kammerkörper 10 zu öffnen, so dass das unter Druck gesetzte Arbeitsfluid im Inneren des Kammerkörpers 10 aus der Auslassleitung 102 heraus laufen kann. Das Rückschlagventil 20 sperrt den Kanal zwischen der Einlassleitung 101 und dem Kammerkörper 10, so dass das Wasser im Kammerkörper 10 nicht aus der Einlassleitung 101 heraus laufen kann. Durch diesen kontinuierlichen Auf-Ab-Schwingvorgang kann das Arbeitsfluid fortlaufend aus der Einlassleitung 101 in den Kammerkörper 10 eintreten und dann aus der Auslassleitung 102 heraus fließen. Daher wird die Pumpe zu einer Antriebsquelle für die Strömung des Arbeitsfluids.
  • Jedoch zeigt eine derartige Art einer piezoelektrischen Pumpe einige Nachteile. Zuallererst sind sowohl die Einlassleitung 101 als auch die Auslassleitung 102 an der Unterseite des Kammerkörpers 10 vorhanden, um dessen Struktur in größerem Ausmaß als die herkömmliche Struktur zu miniaturisieren, wobei es jedoch schwierig ist, die Position der Leitung so zu konzipieren, dass es zu weiter verringerten Abmessungen kommt. Daher ist es schwierig, eine derartige Struktur bei einem noch flacheren Raum anzuwenden, wie bei einem aktuellen Notebook oder miniaturisierten biologischen und medizinischen Instrumenten. Ferner schwingt das Aktivierungselement 104 auf solche Weise, dass sein mittlerer Teil einen Auf-Ab-Schwingvorgang ausführt. Wenn auf das Aktivierungselement 104 Druck ausgeübt wird, treibt es gleichzeitig die Membran 103 an, damit diese nach unten auf das Arbeitsfluid im Kammerkörper 10 drückt, so dass es zu beiden Seiten fließen kann. Obwohl die Rückschlagventile 20, 20a an den Mündungen der Einlassleitung 101 bzw. der Auslassleitung 102 vorhanden sind, um zu verhindern, dass das Arbeitsfluid in die Einlassleitung 101 eintritt und einen sogenannten Rückströmungseffekt erzeugt, wirkt in der Praxis nur der mittlere Teil des Aktivierungselements 104 als Schwingungsbereich, was bewirkt, dass der Schwingungsbereich des Aktivierungselements 104 klein ist. Daher ist, während jedes Schwingvorgangs, die Menge des in den Kammerkörper 10 eindringenden oder aus ihm austretenden Fluids klein, was der Hauptnachteil dieses Pumpenaufbaus ist.
  • Daher liegt der Erfindung, angesichts der obigen Nachteile, die Aufgabe zugrunde, eine Membranpumpe und eine Vorrichtung mit einer solchen zu schaffen, bei der eine Seite eines Aktivierungselements dazu verwendet wird, einem Sektor ähnlich zu schwingen, so dass ein größerer Bereich eines Auf-Ab-Schwingvorgangs erzielt werden kann, um auf das Arbeitsfluid in der Pumpe Druck auszuüben, um es dadurch dazu zu zwingen, in einer Richtung zu fließen. Durch diese Anordnung kann, zusätzlich zu einem kompakten, noch flacheren Aufbau der Pumpe, der Modus des einseitigen Schwingvorgangs mit großem Hub mit der Strömungsrichtung des Fluids zusammenwirken, um dadurch die Arbeitseffizienz der Pumpe und des Umwälzsystems derselben zu verbessern.
  • Diese Aufgabe ist durch die Membranpumpe gemäß den beigefügten Ansprüchen 1 und 15 und die Vorrichtung mit einer solchen gemäß dem Anspruch 32 gelöst.
  • Die erfindungsgemäße Membranpumpe verfügt über einen Kammerkörper. Das Innere desselben ist mit einer ersten Kammer und einer zweiten Kammer versehen, die in Fluidverbindung miteinander stehen. An einer Seite oder beiden des Kammerkörpers sind eine Einlassleitung und eine Auslassleitung vorhanden, die in Fluidverbindung mit der ersten bzw. der zweiten Kammer stehen. An der Innenwandfläche derselben Seite der ersten und der zweiten Kammer sind Ventile vorhanden, um dadurch zu verhindern, dass das Arbeitsfluid einen Rückströmungseffekt erfährt. Ferner ist die Oberseite des Kammerkörpers mit einer Membran versehen. An dieser liegt ein Aktivierungselement an, um sie so anzutreiben, dass sie nach oben und unten schwingt, wodurch auf das Ar beitsfluid in der ersten Kammer ein solcher Druck ausgeübt wird, dass es in einer Richtung zirkulierend fließt. Durch diese Anordnung wird nicht nur die Pumpenstruktur weiter miniaturisiert, sondern es ist auch das Arbeitsvermögen der Pumpe, d. h. die Strömungsmenge des Arbeitsfluids, erhöht.
  • Die Erfindung wird nachfolgend anhand von durch Figuren veranschaulichten Ausführungsformen näher erläutert.
  • 1 ist eine Schnittansicht einer Membranpumpe gemäß dem Stand der Technik;
  • 2 ist eine perspektivische Explosionsansicht einer Membranpumpe gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung;
  • 3 ist eine perspektivische Ansicht der Pumpe gemäß der 2 in zusammengebauter Form;
  • 4 und 5 sind Schnittansichten I bzw. II zum Veranschaulichen des Betriebs der Membranpumpe gemäß der 3;
  • 6 und 7 sind Schnittansichten I bzw. II, die die Leitung bei der Membranpumpe gemäß der 3 zeigen;
  • 8 ist eine Draufsicht einer Membranpumpe gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung;
  • 9 und 10 sind Draufsichten einer jeweiligen Vorrichtung gemäß verschiedenen Ausführungsformen der Erfindung;
  • 11 ist eine schematische Ansicht zum Veranschaulichen eines Vergleichs zwischen Schwingungsvorgängen bei einer Membranpumpe gemäß der Erfindung und einer solchen gemäß dem Stand der Technik.
  • Wie es aus den 2 und 3 erkennbar ist, besteht die Membranpumpe gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung im Wesentlichen aus einem Kammerkörper 1, dessen Inneres mit einer ersten Kammer 11 und einer zweiten Kammer 12 zum Aufnehmen eines Arbeitsfluids versehen ist. Bei der dargestellten Ausführungsform ist die erste Kammer 11 größer als die zweite Kammer 12. Die erste und die zweite Kammer sind voneinander getrennt, stehen jedoch durch ein Durchgangsloch 13 zwischen ihnen in Fluidverbindung miteinander. Die beiden Seiten am Außenrand des Kammerkörpers 11 sind mit einer Einlassleitung 14 bzw. einer Auslassleitung 15 versehen. Die Einlassleitung 14 und die Auslassleitung 15 stehen mit der ersten Kammer 11 bzw. der zweiten Kammer 12 in Fluidverbindung. Die Innenwandfläche der ersten Kammer 11 ist an einer der Einlassleitung 14 entsprechenden Position mit einem Ventil 2 versehen. Bei der vorliegenden Ausführungsform ist ein Ende des Ventils 2 mit einem Schaft 21 versehen, der in einer Durchgangsöffnung 111 der Innenwandfläche liegt. Ausgehend vom Schaft 21 erstreckt sich eine Platte 22, deren Position derjenigen der Mündung der Einlassleitung 14 entspricht. Diese Platte wird dazu verwendet, das Arbeitsfluid daran zu hindern, aus der ersten Kammer 11 zur Einlassleitung 14 zurück zu fließen, also aus dem Kammerkörper 1 heraus zu fließen. Die Innenwandfläche der zweiten Kammer 12 ist an einer dem Durchgangsloch 13 entsprechenden Position mit einem Ventil 2a versehen. Dieses Ventil 2a wird dazu verwendet, das Arbeitsfluid daran zu hindern, aus der zweiten Kammer durch das Durchgangsloch 13 zur ersten Kammer 11 zurück zu fließen. Das Ventil 2a ist auf dieselbe Weise wie das Ventil 2 in der ersten Kammer 11 aufgebaut.
  • Gemäß der 2 ist die obere Endfläche des Kammerkörpers 1 mit einer Membran 3 aus einem Material mit großer mechanischer Spannungskraft versehen. Die Größe der Membran 3 entspricht ungefähr der Fläche einer Endfläche des Kammerkörpers 1. Ferner bedeckt die Membran die ersten Kammer 11 und die zweite Kammer 12 auf vollständige Weise. Über der Membran 3 ist ein Aktivierungsele ment 4 vorhanden, das bei der vorliegenden Ausführungsform aus einem piezoelektrischen Teil besteht und in solcher Weise über der ersten Kammer 11 liegt, dass es flach an der Membran 3 anliegt. Das Aktivierungselement 4 verfügt über ein festes Ende 41 und ein schwingendes Ende 42. Das feste Ende 41 und die Auslassleitung 15 liegen auf derselben Seite. Das feste Ende 41 ist mit mehreren Elektrodenzuleitungen 5 versehen, um den erforderlichen Strom für das Aktivierungselement 4 zu liefern. Das schwingende Ende 42 liegt flach an der Fläche der Membran 3 an. Nachdem Strom zugeführt wurde, bildet das schwingende Ende 42 an einer seiner Seiten einen Sektor, und es schwingt mit großem Hub. Wie es in der 11 dargestellt ist, ist beim selben Schwingungswinkel die durch diese sektorähnliche Schwingung erzielte Änderung viel größer als eine Änderung 1, die durch Schwingung des mittleren Teils der Membran erhalten wird. Daher kann durch eine sektorähnliche Schwingung das Arbeitsfluid konzentriert werden, und es kann dafür gesorgt werden, dass es in einer Richtung strömt. Gleichzeitig wird dafür gesorgt, dass die Membran 3 zur ersten Kammer 11 hin drückt, um dadurch die Nachteile zu überwinden, dass der Schwingungsbereich eines herkömmlichen Aktivierungselements sehr klein ist und damit die Strömungsmenge klein ist. Ferner kann die Schwingungsfrequenz des Aktivierungselements 4 entsprechend verschiedenen Vorgaben eingestellt werden.
  • Bei der dargestellten Ausführungsform ist der Kammerkörper 1 in ein Gehäuse 6 eingebaut, um darin die Membran 3 und das Aktivierungselement 4 einzuschließen. Das Gehäuse 6 ist mit mehreren Durchgangsöffnungen 61, 61a und 61b an denjenigen Positionen versehen, die denen des Aktivierungselements 4, der Elektrodenzuleitungen 5 bzw. der zweiten Kammer 12 entsprechen. Auf diese Weise liegt das Aktivierungselement 4 nach außen hin frei und kann sich ausdehnen. Die Elektrodenzuleitungen 5 durchdringen ebenfalls das Aktivierungselement 4. Die vollständig zusammengebaute Membranpumpe ist in der 3 dargestellt.
  • Wie es durch die 4 und 5 veranschaulicht ist, kann die beschriebene Membranpumpe bei einem Flüssigkeitszuführsystem oder einem Flüssigkeitsumwälzsystem (wie einem Kühlwasserumwälzsystem) angewandt werden. Die Einlassleitung 14 und die Auslassleitung 15 werden mit Leitungen 7 des Systems verbunden, damit die Membranpumpe in Fluidverbindung mit den anderen Komponenten des Systems (nicht dargestellt) steht, wobei das Arbeitsfluid in die Membranpumpe eintreten kann. Wenn dem Aktivierungselement 4 über die Zuleitungen 5 Strom zugeführt wird, erzeugt das schwingende Ende 42 desselben einen Schwingvorgang, wobei die eine Seite sektorartig schwingt, wie es in der 4 dargestellt ist. Wenn das schwingende Ende 42 des Aktivierungselements 4 nach unten schwingt, wird gleichzeitig dafür gesorgt, dass die Membran 3 den Innenraum der ersten Kammer 11 komprimiert, wodurch ein Druck erzeugt wird, der das Arbeitsfluid durch das Ventil 2a zur zweiten Kammer 12 drückt (durch einen Pfeil gekennzeichnet). Obwohl ein kleiner Teil des Arbeitsfluids zur Einlassleitung 14 fließt, kann das durch die Membran 3 erzeugte Moment das Ventil 2 dazu zwingen, die Mündung der Einlassleitung 14 dicht zu verschließen, wodurch verhindert wird, dass das Arbeitsfluid zu dieser zurück fließt. Andererseits kehrt, wie es in der 5 dargestellt ist, wenn das schwingende Ende 42 des Aktivierungselements 4 nach oben schwingt, die Membran 3 zu ihrer ursprünglichen Form zurück, um den Druck im Innenraum der ersten Kammer 11 aufzuheben, wodurch er kleiner als der Außendruck an ihr ist, wodurch das Arbeitsfluid von der Einlassleitung 14 durch das Ventil 2 in die erste Kammer 11 gedrückt wird (durch einen Pfeil gekennzeichnet). Das in der Auslassleitung 15 und der zweiten Kammer 12 verbleibende Arbeitsfluid erzeugt aufgrund des Drucks ebenfalls ein solches Moment, dass auf das Ventil 2a gedrückt wird, wodurch dieses das Durchgangsloch 13 dicht verschließt. Auf diese Weise wird das in der Auslassleitung 15 und der zweiten Kammer 12 verbliebene Arbeitsfluid daran gehindert, in die erste Kammer 11 zurück zu fließen. Demgemäß bildet das Ar beitsfluid in der Membranpumpe eine größere Strömungsmenge in einer Richtung aus.
  • Die Einlassleitung 14 und die Auslassleitung 15 sind bei der dargestellten Ausführungsform an den beiden Seiten des Kammerkörpers 1 vorhanden, wobei jedoch die Positionen entsprechend verschiedenen Situationen variiert werden können. Wie es durch die in der 6 dargestellte Ausführungsform veranschaulicht ist, kann die Einlassleitung 14 an einer Seite des Kammerkörpers 1 vorhanden sein, wobei sie in Fluidverbindung mit dieser steht. Die Auslassleitung 15 ist am Boden des Kammerkörpers 1 vorhanden, wobei sie in Fluidverbindung mit der zweiten Kammer 2 steht. Alternativ können, wie es in der 7 dargestellt ist, die Einlassleitung 14 und die Auslassleitung 15 am Boden des Kammerkörpers 1 vorhanden sein, wobei sie in Fluidverbindung mit der ersten Kammer 11 bzw. der zweiten Kammer 12 stehen. Das Ventil 2 ist in der ersten Kammer 11 an einer der Einlassleitung 14 entsprechenden Position vorhanden, um dadurch das Arbeitsfluid daran zu hindern, in die Einlassleitung 14 zurück zu strömen. Daher kann das in den Kammerkörper 1 eintretende Arbeitsfluid, durch die Wirkung des Ventils 2, eine Pumpwirkung hervorrufen, wobei die eine Seite die Eintrittsseite und die andere Seite die Austrittsseite ist, so dass der Nachteil einer herkömmlichen Pumpe, dass die Strömungsmenge zu klein ist, überwunden wird.
  • Bei der in der 8 dargestellten Ausführungsform besteht die Membranpumpe im Wesentlichen wiederum aus einem Kammerkörper 1, in dessen Innerem eine erste Kammer 11 und eine zweite Kammer 12 ausgebildet sind. Nun ist die zweite Kammer 12 an einer Seite der ersten Kammer 11 vorhanden. Die beiden Kammern stehen durch ein Durchgangsloch 13 in Fluidverbindung miteinander. Ferner verfügt der Kammerkörper 1 wiederum über eine Einlassleitung 14 und eine Auslassleitung 15, die nun beide auf derselben Seite liegen. Die Einlassleitung 14 und die Auslassleitung 15 stehen mit der ersten Kammer 11 bzw. der zweiten Kammer 12 in Fluidver bindung. Die Innenwandfläche der ersten Kammer 11 ist an einer der Einlassleitung 14 entsprechenden Position mit einem Ventil 2 versehen. Die Innenwandfläche der zweiten Kammer 12 ist an einer dem Durchgangsloch 13 entsprechenden Position mit einem Ventil 2a versehen. Die Oberseite des Kammerkörpers 1 ist mit einer Membran 3 versehen, die die erste Kammer 11 und die zweite Kammer 12 überdeckt. An der Oberseite der Membran 3 ist ein Aktivierungselement 4 vorhanden, das über ein festes Ende 41 und ein schwingendes Ende 42 verfügt. Das feste Ende 41 steht mit mehreren Elektrodenzuleitungen 5 in elektrischer Verbindung. Bei dieser Ausführungsform befindet sich das feste Ende 41 auf der Seite der Einlassleitung 14 und der Auslassleitung 15, was es erleichtert, dass das schwingende Ende 42 des Aktivierungselements 4 einen sektorähnlichen Schwingungsvorgang ausführt. Schließlich kann der Kammerkörper 1 wiederum mit einem Gehäuse 6 kombiniert sein, das die Membran 3 und das Aktivierungselement 4 im Inneren aufnimmt.
  • Wenn dem Aktivierungselement 4 des Kammerkörpers 1 Strom zugeführt wird, führt das schwingende Ende 42 desselben eine sektorähnliche Schwingung aus. Wenn dieses schwingende Ende 42 nach unten schwingt, wird dafür gesorgt, dass die Membran 3 zum Inneren der ersten Kammer 11 hin drückt, wodurch der Innendruck in dieser ansteigt. Daher erzeugt das in der ersten Kammer 11 vorhandene Arbeitsfluid ein Moment und bewegt sich gleichzeitig zur Einlassleitung 14 und zur Auslassleitung 15. Wenn das Arbeitsfluid zur Einlassleitung 14 fließt, drückt das so erzeugte Moment auf das Ventil 2, das sich an der der Einlassleitung 14 entsprechenden Position befindet. So schließt das Ventil 2 die Einlassleitung 14, um zu verhindern, dass das Arbeitsfluid zu dieser zurück fließt, also einen Rückströmungseffekt erzeugt. Gleichzeitig drückt das durch das zur Auslassleitung 15 fließende Arbeitsfluid erzeugte Moment das Ventil 2a auf, so dass das Arbeitsfluid durch die zweite Kammer 12 zu anderen Komponenten fließen kann. Andererseits kehrt, wenn das Aktivierungselement 4 nach oben schwingt, die Membran 3 zu ihrer ursprünglichen Form zurück, und der Innendruck in der ersten Kammer 11 fällt in solcher Weise, dass der dortige Außendruck größer als der Innendruck ist. So fließt das Arbeitsfluid in die Einlassleitung 14, wobei das Ventil 2 öffnend weggedrückt wird, und es fließt in die erste Kammer 11. Ferner erzeugt das in der zweiten Kammer 12 verbliebene Fluid aufgrund des Drucks ebenfalls ein Moment, das auf das Ventil 2a im Durchgangsloch 13 drückt. Auf diese Weise wird das Durchgangsloch 13 versperrt, um das Arbeitsfluid daran zu hindern, in die erste Kammer 11 zurück zu fließen, so dass die Membranpumpe eine Umwälzung in einer Richtung ausführen kann.
  • Auch bei der in der 9 dargestellten Ausführungsform verfügt die Membranpumpe über einen Kammerkörper 1, dessen Inneres jedoch nur über eine erste Kammer 11 verfügt. An den beiden Seiten des Kammerkörpers 1 befinden sich eine Einlassleitung 14 bzw. eine Auslassleitung 15. An der Innenwandfläche der ersten Kammer 11 ist an der der Einlassleitung 14 entsprechenden Position ein Ventil 2 vorhanden, das dazu verwendet wird, zu verhindern, dass Arbeitsfluid aus der ersten Kammer 11 in die Einlassleitung 14 zurück fließt. Ferner ist die Oberseite des Kammerkörpers 1 mit einer Membran 3 versehen, an deren Oberseite sich ein Aktivierungselement 4 befindet, das über ein festes Ende 41 und ein schwingendes Ende 42 verfügt. Das feste Ende 41 steht mit mehreren Elektrodenzuleitungen 5 in elektrischer Verbindung, so dass der erforderliche Strom für den Betrieb zugeführt werden kann. Schließlich kann der Kammerkörper 1 wiederum durch ein Gehäuse 6 abgedeckt sein, wodurch die oben genannten Elemente aufgenommen sind. Die Einlassleitung 14 und die Auslassleitung 15 können sich an einer Seite des Kammerkörpers 1 befinden, wobei die Positionen entsprechend verschiedenen Erfordernissen geändert werden können, so dass sie sich an derselben Seite des Kammerkörpers 1, an dessen Boden oder an einer Seite bzw. am Boden desselben befinden können.
  • Ferner ist der Kammerkörper 1 mit einem zweiten Kammerkörper 8 verbunden. Das Innere des zweiten Kammerkörpers 8 verfügt über eine zweite Kammer 81. Die beiden Seiten des zweiten Kammerkörpers 8 sind mit einer Einlassleitung 82 bzw. einer Auslassleitung 83 verbunden. Die Einlassleitung 82 steht über eine Leitung 7 in Fluidverbindung mit der Auslassleitung 15 des Kammerkörpers 1. An der Innenwandfläche der zweiten Kammer 81 ist an einer der Einlassleitung 82 entsprechenden Position ein Ventil 2a vorhanden. Die Auslassleitung ist ebenfalls mit der Leitung 7 verbunden. Daher kann das an der Membranpumpe vorhandene Aktivierungselement 4 seine Wirkung starten, sobald es mit Strom versorgt wird, und es kann nach einer Seite sektorartig schwingen. Wenn das Aktivierungselement 4 nach unten drückt, drückt die Membran 3 den Innenraum der ersten Kammer 11 zusammen, um den Druck in ihm zu erhöhen. Im Ergebnis erzeugt das in der ersten Kammer 11 aufgenommene Arbeitsfluid ein Moment in Form einer Strömung aus der Auslassleitung 15 heraus, es strömt durch die Leitung 7 in das im zweiten Kammerkörper 8 vorhandene Ventil 2a, und anschließend fließt es zur zweiten Kammer 81, zur Auslassleitung 83, zur Leitung 7 und anderen Komponenten. Andererseits trifft ein kleiner Anteil des Arbeitsfluids auch auf das in der ersten Kammer 11 vorhandene Ventil 2, um dafür zu sorgen, dass dieses die Einlassleitung 14 verschließt, um zu verhindern, dass Arbeitsfluid aus dieser heraus in den Kammerkörper 1 zurück fließt. Wenn das Aktivierungselement 4 nach oben schwingt, kehrt der Druck in der ersten Kammer 11 in den Normalzustand zurück, in dem der Außendruck größer als der Innendruck ist. Im Ergebnis tritt Arbeitsfluid durch die Einlassleitung 14 in die erste Kammer 11 ein. Gleichzeitig erzeugt das Arbeitsfluid im zweiten Kammerkörper 8 aufgrund des Drucks ein Moment, wobei es zum in der zweiten Kammer 81 vorhandenen Ventil 2a drückt, so dass dieses die Einlassleitung 82 verschließt, wodurch das Arbeitsfluid daran gehindert wird, in den Kammerkörper 1 zurück zu strömen.
  • Daher kann das Arbeitsfluid eine Zirkulation in einer Richtung erzeugen.
  • Die in der 10 veranschaulichte Ausführungsform ist eine Membranpumpe mit wiederum einem Kammerkörper 1, dessen Inneres über eine erste Kammer 11 verfügt. An den beiden Seiten des Kammerkörpers 1 sind eine Einlassleitung 14 bzw. eine Auslassleitung 15 vorhanden. Ferner ist die Oberseite der ersten Kammer 11 mit einer Membran 3 versehen, an deren Oberseite sich wiederum ein Aktivierungselement 4 befindet, das über ein festes Ende 41 und ein schwingendes Ende 42 verfügt. Das feste Ende 41 ist elektrisch mit mehreren Elektrodenzuleitungen 5 verbunden. Das schwingende Ende 82 erzeugt bei Versorgung mit Strom an einer Seite eine sektorartige Schwingung. Der Kammerkörper 1 kann wiederum mit einem Gehäuse 6 versehen sein, das die vorstehend genannten Elemente bedeckt. Die Einlassleitung 14 und die Auslassleitung 15 können sich an einer Seite des Kammerkörpers befinden, jedoch können ihre Positionen entsprechend verschiedenen Anforderungen geändert werden, so dass sie beispielsweise auf derselben Seite des Kammerkörpers 1, am Boden desselben oder an einer Seite und dem Boden liegen können.
  • Ferner sind die Einlassleitung 14 und die Auslassleitung 15 des Kammerkörpers 1 mit einem dritten Kammerkörper 9 bzw. einem zweiten Kammerkörper 8 verbunden. Die Innenräume des zweiten Kammerkörpers 8 und des dritten Kammerkörpers 9 verfügen über eine zweite Kammer 81 bzw. eine dritte Kammer 91. Die beiden Seiten des zweiten Kammerkörpers 8 und des dritten Kammerkörpers 9 sind mit einer jeweiligen Einlassleitung 82, 92 bzw. Auslassleitung 93, 93 versehen. Die Auslassleitung 93 des dritten Kammerkörpers 9 steht über eine Leitung 7 in Fluidverbindung mit der Einlassleitung 14 des Kammerkörpers 1. Die Einlassleitung 82 des zweiten Kammerkörpers 8 steht über eine Leitung 7 mit der Auslassleitung 15 des Kammerkörpers 1 in Fluidverbindung. An der Innenwandfläche der dritten Kammer 91 ist an der der Einlasslei tung 92 entsprechenden Position ein Ventil 2 vorhanden. An der Innenwandfläche der zweiten Kammer 81 ist an der der Auslassleitung 15 entsprechenden Position ein Ventil 2a vorhanden. Aufgrund dieser Anordnung wird, wenn das am Kammerkörper 1 vorhandene Aktivierungselement 4 nach unten zu schwingen beginnt, die Membran 3 nach unten zum Innenraum der ersten Kammer 11 des Kammerkörpers 1 hin weggedrückt, wodurch dafür gesorgt wird, dass Arbeitsfluid zur Einlassleitung 14 und zur Auslassleitung 15 fließt. Aufgrund des durch die Kompression erzeugten Moments fließt das Arbeitsfluid durch die Auslassleitung 15 durch das Ventil 2a, und anschließend fließt es zur zweiten Kammer 81, zur Auslassleitung 83, zur Leitung 7 sowie anderen Komponenten. Gleichzeitig trifft das zur Einlassleitung 14 strömende Arbeitsfluid auf das im dritten Kammerkörper 9 vorhandene Ventil 2, wodurch die Einlassleitung 93 des dritten Kammerkörpers 9 geschlossen wird, was verhindert, dass Arbeitsfluid außerhalb der Einlassleitung 92 in die dritte Kammer 91 zurück strömt. Wenn das Aktivierungselement 4 nach oben schwingt, kehrt die erste Kammer 11 auf ihren ursprünglichen Rauminhalt zurück, so dass der Außendruck an ihr größer als ihr Innendruck ist. Im Ergebnis trifft das Arbeitsfluid aus der Einlassleitung 92 auf das Ventil 2, und es strömt in die erste Kammer 11. Gleichzeitig erzeugt das Arbeitsfluid im zweiten Kammerkörper 8 auch ein Moment, um auf das in der zweiten Kammer 81 vorhandene Ventil 2a zu treffen, so dass dieses die Einlassleitung 82 schließt, wodurch verhindert wird, dass Arbeitsfluid in die erste Kammer 11 zurück strömt. Daher kann die Membranpumpe eine Zirkulation in einer Richtung erzeugen.

Claims (50)

  1. Membranpumpe mit: einem Kammerkörper (1) mit einer Einlassleitung (14) und einer Auslassleitung (15); einer im Kammerkörper vorhandenen ersten Kammer (11), die mit der Einlassleitung in Fluidverbindung steht; einer im Kammerkörper vorhandenen zweiten Kammer (12), die mit der ersten Kammer und der Auslassleitung in Fluidverbindung steht; mehreren Ventilen (2, 2a), die an Innenwänden der ersten und der zweiten Kammer vorhanden sind, um ein Zurückströmen eines Arbeitsfluids zu verhindern, wobei sich eines der Ventile an der der Einlassleitung entsprechenden Position befindet, wohingegen sich das andere an derjenigen Position befindet, an der die erste und die zweite Kammer in Fluidverbindung miteinander stehen; einer Membran (3), die an der Oberseite des Kammerkörpers vorhanden ist; einem Aktivierungselement (4), das flach an der Oberseite der Membran anliegt und über ein festes Ende (41) und ein schwingendes Ende (42) verfügt; wobei durch eine durch das schwingende Ende des Aktivierungselements ausgeführte einseitige Schwingung mit großem Hub das Innenvolumen des Kammerkörpers ändert, so dass das in ihm vorhandene Arbeitsfluid in die Einlassleitung strömt und aus der Auslassleitung angesaugt wird, um eine Strömung in einer Richtung zu erzeugen.
  2. Membranpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Kammerkörper (1) mit einem Gehäuse (6) versehen ist, das mit mehreren Durchgangsöffnungen versehen ist, die dem festen Ende (41), dem schwingenden Ende (42) des Aktivierungselements (4) bzw. der zweiten Kammer (12) entsprechen.
  3. Membranpumpe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das feste Ende (41) elektrisch mit mehreren Elektrodenzuleitungen verbunden ist.
  4. Membranpumpe nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die mehreren Elektrodenzuleitungen durch die entsprechenden Durchgangsöffnungen dringen.
  5. Membranpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der ersten Kammer (11) und der zweiten Kammer (12) ein Durchgangsloch (13) vorhanden ist.
  6. Membranpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass an einer Innenwandfläche der ersten Kammer (11) eine Durchgangsöffnung benachbart zur Einlassleitung (14) vorhanden ist, das Ventil (2) über einen Schaft und eine Platte verfügt, wobei der Schaft in der Durchgangsöffnung aufgenommen ist und die Platte genau der Position der Einlassleitung entspricht.
  7. Membranpumpe nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass eine Innenwandfläche der zweiten Kammer (12) mit einer zum Durchgangsloch (13) benachbarten Durchgangsöffnung versehen ist, das Ventil (2a) über einen Schaft und eine Platte verfügt, der Schaft in der Durchgangsöffnung aufgenommen ist und die Platte genau der Position des Durchgangslochs entspricht.
  8. Membranpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das feste Ende (41) und die Auslassleitung (15) auf derselben Seite liegen.
  9. Membranpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Einlassleitung (14) und die Auslassleitung (15) einander entsprechend an einer Seite des Kammerkörpers (1) liegen.
  10. Membranpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Einlassleitung (14) und die Auslassleitung (15) an derselben Seite des Kammerkörpers (1) angebracht sind.
  11. Membranpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Einlassleitung (14) und die Auslassleitung (15) am Boden des Kammerkörpers (1) angebracht sind.
  12. Membranpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Einlassleitung (14) und die Auslassleitung (15) an einer Seite bzw. dem Boden des Kammerkörpers (1) angebracht sind.
  13. Membranpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das feste Ende (41) elektrisch mit mehreren Elektrodenzuleitungen verbunden ist.
  14. Membranpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Aktivierungselement (4) ein piezoelektrisches Element ist.
  15. Membranpumpe mit: einem Kammerkörper (1) mit einer Einlassleitung (14) und einer Auslassleitung (15); einer Membran (3), die an der Oberseite des Kammerkörpers vorhanden ist; und einem Aktivierungselement (4), das flach an der Oberseite der Membran anliegt und über ein festes Ende (41) und ein schwingendes Ende (42) verfügt, wobei das schwingende Ende eine sektorartige Schwingung ausführt; wobei der durch das Aktivierungselement erzeugte große Schwingungshub das Innenvolumen des Kammerkörpers ändert, so dass das in ihm vorhandene Arbeitsfluid zur Auslassleitung heraus strömt, während Arbeitsfluid durch die Einlassleitung hinein strömt, um eine Strömung in einer Richtung zu erzeugen.
  16. Membranpumpe nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass der Kammerkörper (1) mit einem Gehäuse (6) versehen ist, das mit mehreren Durchgangsöffnungen versehen ist, die dem festen Ende (41), dem schwingenden Ende (42) des Aktivierungselements (4) bzw. der zweiten Kammer (12) entsprechen.
  17. Membranpumpe nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass das feste Ende (41) elektrisch mit mehreren Elektrodenzuleitungen verbunden ist.
  18. Membranpumpe nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass die mehreren Elektrodenzuleitungen durch die entsprechenden Durchgangsöffnungen dringen.
  19. Membranpumpe nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass das feste Ende (41) und die Auslassleitung (15) auf derselben Seite liegen.
  20. Membranpumpe nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Einlassleitung (14) und die Auslassleitung (15) einander entsprechend an einer Seite des Kammerkörpers (1) liegen.
  21. Membranpumpe nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Einlassleitung (14) und die Auslassleitung (15) an derselben Seite des Kammerkörpers (1) angebracht sind.
  22. Membranpumpe nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Einlassleitung (14) und die Auslassleitung (15) am Boden des Kammerkörpers (1) angebracht sind.
  23. Membranpumpe nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Einlassleitung (14) und die Auslassleitung (15) an einer Seite bzw. dem Boden des Kammerkörpers (1) angebracht sind.
  24. Membranpumpe nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass der Kammerkörper (1) ferner Folgendes aufweist: eine erste Kammer (11) in Fluidverbindung mit der Einlassleitung (14); und eine Kammer (12) in Fluidverbindung mit der ersten Kammer und der Auslassleitung (15).
  25. Membranpumpe nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der ersten Kammer (11) und der zweiten Kammer (12) ein Durchgangsloch (13) vorhanden ist.
  26. Membranpumpe nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, dass in der zweiten Kammer (12) an der dem Durchgangsloch (13) entsprechenden Position ein Ventil (2a) vorhanden ist.
  27. Membranpumpe nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, dass eine Innenwandfläche der zweiten Kammer (12) mit einer zum Durchgangsloch (13) benachbarten Durchgangsöffnung versehen ist, das Ventil (2a) über einen Schaft und eine Platte verfügt, der Schaft in der Durchgangsöffnung aufgenommen ist und die Platte genau der Position des Durchgangslochs entspricht.
  28. Membranpumpe nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass an einer Innenwandfläche der ersten Kammer (11) an der der Einlassleitung (14) entsprechenden Position ein Ventil (2) vorhanden ist.
  29. Membranpumpe nach Anspruch 28, dadurch gekennzeichnet, dass an einer Innenwandfläche der ersten Kammer (11) eine Durchgangsöffnung benachbart zur Einlassleitung (14) vorhanden ist, das Ventil (2) über einen Schaft und eine Platte verfügt, wobei der Schaft in der Durchgangsöffnung aufgenommen ist und die Platte genau der Position der Einlassleitung entspricht.
  30. Membranpumpe nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass das Aktivierungselement (4) ein piezoelektrisches Element ist.
  31. Membranpumpe nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass das feste Ende (41) elektrisch mit mehreren Elektrodenzuleitungen verbunden ist.
  32. Vorrichtung mit einer Membranpumpe mit: einem Kammerkörper (1) mit einer Einlassleitung (14) und einer Auslassleitung (15); einer Membran (3), die an der Oberseite des Kammerkörpers vorhanden ist; und einem Aktivierungselement (4), das flach an der Oberseite der Membran anliegt und über ein festes Ende (41) und ein schwingendes Ende (42) verfügt, wobei das schwingende Ende eine sektorartige Schwingung ausführt; einem zweiten Kammerkörper (8) in Fluidverbindung mit dem Kammerkörper; wobei der durch das Aktivierungselement erzeugte große Schwingungshub das Innenvolumen des Kammerkörpers ändert, so dass das in ihm vorhandene Arbeitsfluid zur Auslassleitung heraus strömt, während Arbeitsfluid durch die Einlassleitung hinein strömt, um eine Strömung in einer Richtung zu erzeugen.
  33. Vorrichtung nach Anspruch 32, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Kammerkörper (8) ferner über eine zweite Kammer (81), eine Einlassleitung (82) und eine Auslassleitung (83) verfügt, wobei diese Leitungen mit der zweiten Kammer in Fluidverbindung stehen.
  34. Vorrichtung nach Anspruch 32, dadurch gekennzeichnet, dass die Einlassleitung (82) des zweiten Kammerkörpers (8) mit der Auslassleitung (15) des Kammerkörpers (1) in Verbindung steht.
  35. Vorrichtung nach Anspruch 32, dadurch gekennzeichnet, dass die Auslassleitung (83) des zweiten Kammerkörpers (8) in Fluidverbindung mit der Einlassleitung (14) des Kammerkörpers (1) steht.
  36. Vorrichtung nach Anspruch 32, dadurch gekennzeichnet, dass die Innenwandfläche des zweiten Kammerkörpers (8) an der der Einlassleitung (82) entsprechenden Position mit einem Ventil (2) versehen ist.
  37. Vorrichtung nach Anspruch 32, dadurch gekennzeichnet, dass der Kammerkörper (1) ferner über eine Kammer (11) verfügt, die mit seiner Einlassleitung (14) und Auslassleitung (15) in Verbindung steht.
  38. Vorrichtung nach Anspruch 32, dadurch gekennzeichnet, dass die Innenwandfläche der Kammer (11), an der der Einlassleitung (14) entsprechenden Position mit einem Ventil (2) versehen ist.
  39. Vorrichtung nach Anspruch 32, dadurch gekennzeichnet, dass der Kammerkörper (1) ferner mit einem dritten Kammerkörper (9) verbunden ist.
  40. Vorrichtung nach Anspruch 39, dadurch gekennzeichnet, dass der dritte Kammerkörper (9) über eine dritte Kammer (91) sowie eine Einlassleitung (92) und eine Auslassleitung (93), die mit dieser in Fluidverbindung stehen, verfügt.
  41. Vorrichtung nach Anspruch 39, dadurch gekennzeichnet, dass die Innenwandfläche der dritten Kammer (91) an der der Einlassleitung (92) entsprechenden Position mit einem Ventil (2) versehen ist.
  42. Vorrichtung nach Anspruch 34, dadurch gekennzeichnet, dass der Kammerkörper (1) mit einem Gehäuse (6) versehen ist, das über mehrere Durchgangsöffnungen verfügt, die dem festen Ende (41) bzw. dem schwingenden Ende (42) des Aktivierungselements (4) entsprechen.
  43. Vorrichtung nach Anspruch 42, dadurch gekennzeichnet, dass das feste Ende (41) elektrisch mit mehreren Elektrodenzuleitungen verbunden ist.
  44. Vorrichtung nach Anspruch 43, dadurch gekennzeichnet, dass die mehreren Elektrodenzuleitungen die Durchgangsöffnungen durchdringen.
  45. Vorrichtung nach Anspruch 34, dadurch gekennzeichnet, dass das Aktivierungselement (4) ein piezoelektrisches Element ist.
  46. Vorrichtung nach Anspruch 34, dadurch gekennzeichnet, dass das feste Ende (41) elektrisch mit mehreren Elektrodenzuleitungen verbunden ist.
  47. Vorrichtung nach Anspruch 34, dadurch gekennzeichnet, dass die Einlassleitung (14) und die Auslassleitung (15) einander entsprechend an einer Seite des Kammerkörpers (1) liegen.
  48. Vorrichtung nach Anspruch 34, dadurch gekennzeichnet, dass die Einlassleitung (14) und die Auslassleitung (15) an derselben Seite des Kammerkörpers (1) angebracht sind.
  49. Vorrichtung nach Anspruch 34, dadurch gekennzeichnet, dass die Einlassleitung (14) und die Auslassleitung (15) am Boden des Kammerkörpers (1) angebracht sind.
  50. Vorrichtung nach Anspruch 34, dadurch gekennzeichnet, dass die Einlassleitung (14) und die Auslassleitung (15) an einer Seite bzw. dem Boden des Kammerkörpers (1) angebracht sind.
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