JP4403000B2 - マイクロチップ及びマイクロポンプ - Google Patents
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前記対面基板の貼り合わせ面及び第1の基板の上面にポリジメチルシロキサン(PDMS)の薄膜が接着されており、前記第1の基板の上面のPDMS薄膜上に第2の基板が更に接着されており、
前記微細流路内において、前記2枚の薄膜間に、逆止弁と、加圧部と、マイクロバルブが、流体の流れる方向に沿ってこの順に形成されており、
前記加圧部は前記微細流路よりも大きな容積を有する空間であり、
前記マイクロバルブは、前記微細流路の幅及び高さと同じ幅及び高さを有する弁座と該弁座の上面及び下面にそれぞれ離着する各PDMS薄膜からなり、
前記弁座の配設位置に対応する第2の基板及び対面基板の箇所が所定の大きさで切除されていることを特徴とするマイクロチップである。
前記課題を解決するための手段は第2に、前記逆止弁は前記微細流路に対して横方向に互いに擦れ違うように対向する2枚の流路幅よりも短い堰板から構成されていることを特徴とする前記第1のマイクロチップである。
前記課題を解決するための手段は第3に、前記逆止弁は前記微細流路に対して上下方向に互いに擦れ違うように対向する2枚の流路高さよりも短い堰板から構成されていることを特徴とする前記第1のマイクロチップである。
前記課題を解決するための手段は第4に、前記逆止弁は、弁室内に収納された複数個のビーズからなり、前記弁室は前記微細流路の上流側において該微細流路の流路幅よりも狭く、かつ、ビーズの外径よりも小さい1本以上の第1の接続流路により連通されており、また、前記弁室は前記微細流路の下流側において前記第1の接続流路よりも細い複数本の第2の接続流路により連通されていることを特徴とする前記第1のマイクロチップである。
また、本発明のマイクロポンプ機構はマイクロチップだけでなく、様々な分野における微量流体制御機構で使用することもできる。
7 微細流路
9 逆止弁
11 加圧部
13 マイクロバルブ
15 入力ポート
17 出力ポート
19 対面基板
21,25 PDMS薄膜
23,27 PDMS基板
29,29a,31,31a PDMS堰板
33 弁座
35,37 空所
39 弁室
41 ビーズ
43,45 接続流路
47,49 逆止弁
51a,51b,53a,53b 堰板
55,57 PDMS基板
59 ガラス板
61 PDMS下側半型
63 PDMS上側半型
65 ポンプ室
67 PDMS弁片
69 スペーサ
71 送入管
73 吐出管
75 入口孔
77 出口孔
79 吸込空気室
81 吐出空気室
83 PDMSダイヤフラム弁
85 圧電素子
Claims (4)
- 少なくとも微細流路が形成されている第1の基板と該第1の基板の微細流路形成面に貼り合わされる対面基板とからなるマイクロチップにおいて、
前記対面基板の貼り合わせ面及び第1の基板の上面にポリジメチルシロキサン(PDMS)の薄膜が接着されており、前記第1の基板の上面のPDMS薄膜上に第2の基板が更に接着されており、
前記微細流路内において、前記2枚の薄膜間に、逆止弁と、加圧部と、マイクロバルブが、流体の流れる方向に沿ってこの順に形成されており、
前記加圧部は前記微細流路よりも大きな容積を有する空間であり、
前記マイクロバルブは、前記微細流路の幅及び高さと同じ幅及び高さを有する弁座と該弁座の上面及び下面にそれぞれ離着する各PDMS薄膜からなり、
前記弁座の配設位置に対応する第2の基板及び対面基板の箇所が所定の大きさで切除されていることを特徴とするマイクロチップ。 - 前記逆止弁は前記微細流路に対して横方向に互いに擦れ違うように対向する2枚の流路幅よりも短い堰板から構成されていることを特徴とする請求項1に記載のマイクロチップ。
- 前記逆止弁は前記微細流路に対して上下方向に互いに擦れ違うように対向する2枚の流路高さよりも短い堰板から構成されていることを特徴とする請求項1に記載のマイクロチップ。
- 前記逆止弁は、弁室内に収納された複数個のビーズからなり、前記弁室は前記微細流路の上流側において該微細流路の流路幅よりも狭く、かつ、ビーズの外径よりも小さい1本以上の第1の接続流路により連通されており、また、前記弁室は前記微細流路の下流側において前記第1の接続流路よりも細い複数本の第2の接続流路により連通されていることを特徴とする請求項1に記載のマイクロチップ。
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