JP2006029485A - マイクロバルブ及び該バルブを有するマイクロ流体デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 対面基板と、該対面基板の上面に貼り合わされる中間基板と、該中間基板の上面に貼り合わされる上面基板とからなる三層構造を有し、前記中間基板の一部に上面から下面に達する、幅を持たない亀裂のみの切開部からなることを特徴とするマイクロバルブ。
【選択図】 図3
Description
図1は、本発明のマイクロバルブを有するマイクロ流体デバイスの一例の概要平面図であり、図2は図1におけるII-II線に沿った断面図であり、図3は図1におけるIII-III線に沿った断面図である。
3 マイクロバルブ
5,11,25 ポート
7 中間液溜まり
9 微細流路
13 対面基板
15 中間基板
17 上面基板
19,21 チューブ
23 マイクロバルブの開口
27 流路
Claims (5)
- 対面基板と、該対面基板の上面に貼り合わされる中間基板と、該中間基板の上面に貼り合わされる上面基板とからなる三層構造を有し、前記中間基板の一部に上面から下面に達する、幅を持たない亀裂のみの切開部からなることを特徴とするマイクロバルブ。
- 前記中間基板は弾性材料から形成されていることを特徴とする請求項1記載のマイクロバルブ。
- 前記中間基板はポリジメチルシロキサン(PDMS)から形成されていることを特徴とする請求項2記載のマイクロバルブ。
- 前記中間基板には微細流路及び/又はポートが形成されており、該微細流路及び/又はポート間を接続するために使用される請求項1〜3の何れかに記載のマイクロバルブ。
- 請求項1〜4の何れかに記載のマイクロバルブを有することを特徴とするマイクロ流体デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004210958A JP2006029485A (ja) | 2004-07-20 | 2004-07-20 | マイクロバルブ及び該バルブを有するマイクロ流体デバイス |
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JP2006029485A true JP2006029485A (ja) | 2006-02-02 |
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JP (1) | JP2006029485A (ja) |
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