DE102010030430B4 - Triangulierende Autofokuseinrichtung für Mikroskope und Verwendungen hiervon - Google Patents

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JP2011136142A JP5841750B2 (ja) 2010-06-23 2011-06-20 顕微鏡用の自動合焦装置および適切な自動焦点開口絞り
US13/165,770 US8829402B2 (en) 2010-06-23 2011-06-21 Autofocusing device for microscopes and suitable autofocus aperture stops
CN201110170597.0A CN102313976B (zh) 2010-06-23 2011-06-23 显微镜自聚焦装置及相配的自聚焦用光阑

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102018131427A1 (de) 2018-12-07 2020-06-10 Leica Microsystems Cms Gmbh Verfahren zur automatischen Positionsermittlung auf einer Probenanordnung und entsprechendes Mikroskop
EP4194918A1 (en) 2021-12-10 2023-06-14 Leica Microsystems CMS GmbH Method for controlling microscopic imaging and corresponding microscope control arrangement and microscope
DE102023107032A1 (de) * 2023-03-21 2024-09-26 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Mikroskop und Verfahren zum Autofokussieren

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011075809A1 (de) * 2011-05-13 2012-11-15 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Festlegen eines z-Bereiches in einer Probe, in dem ein z-Stapel der Probe mittels eines Mikroskops aufzunehmen ist
DE102011082756A1 (de) * 2011-09-15 2013-03-21 Leica Microsystems (Schweiz) Ag Autofokussierverfahren und -einrichtung für ein Mikroskop
US10455137B2 (en) * 2014-07-28 2019-10-22 Orbotech Ltd. Auto-focus system
DE102014110606B4 (de) * 2014-07-28 2017-10-19 Leica Microsystems Cms Gmbh Mikroskop mit einer Strahlteileranordnung
DE102017218449B3 (de) 2017-10-16 2019-02-21 Leica Microsystems Cms Gmbh Mikroskopieverfahren mit Fokusstabilisierung, Recheneinheit, Mikroskopsystem und Computerprogrammprodukt
DE102018105442A1 (de) * 2018-03-09 2019-09-12 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Kameramodul für ein Mikroskop und Verfahren zu dessen Betrieb
DE102018126009B4 (de) * 2018-10-19 2022-05-19 Leica Microsystems Cms Gmbh Verfahren und Mikroskop zur Bestimmung der Dicke eines Deck- oder Tragglases
DE102018125995A1 (de) 2018-10-19 2020-04-23 Leica Microsystems Cms Gmbh Verfahren und Mikroskop zur Bestimmung einer Verkippung eines Deckglases
DE102018126011A1 (de) 2018-10-19 2020-04-23 Leica Microsystems Cms Gmbh Verfahren zur Bestimmung des Brechungsindex eines optischen Mediums in einem Mikroskop und Mikroskop
DE102018126002B4 (de) 2018-10-19 2020-10-08 Leica Microsystems Cms Gmbh Verfahren und Mikroskop zur Bestimmung des Brechungsindex eines optischen Mediums
DE102019109832B3 (de) 2019-04-12 2020-04-23 Leica Microsystems Cms Gmbh Lichtblattmikroskop und Verfahren zum Erfassen einer Messgröße
US11086118B2 (en) * 2019-04-29 2021-08-10 Molecular Devices, Llc Self-calibrating and directional focusing systems and methods for infinity corrected microscopes
EP4528353A3 (de) 2020-09-01 2025-09-17 BMG Labtech GmbH Autofokussystem für eine optische mess- oder mikroskopievorrichtung, verfahren zur fokuseinstellung bei einer optischen mess- oder mikroskopievorrichtung sowie optische mess- oder mikroskopievorrichtung
CN113267884B (zh) * 2021-05-24 2022-06-28 凌云光技术股份有限公司 一种多层自动对焦的方法及系统
JPWO2024106237A1 (https=) * 2022-11-15 2024-05-23
CN119148373A (zh) * 2024-10-08 2024-12-17 江苏集萃苏科思科技有限公司 用于自动对焦传感器的中继系统、传感器、系统以及方法
CN119986957B (zh) * 2025-02-08 2025-10-24 浙江大学 一种适用于半透明晶圆的自动对焦系统和厚度测量系统

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19537376A1 (de) * 1994-10-10 1996-04-18 Nova Measuring Instr Ltd Autofokussierungsmikroskop
DE19725483A1 (de) * 1996-06-29 1998-01-02 Zeiss Carl Fa Mikroskop mit einer Autofokus-Anordnung
US6091075A (en) * 1997-06-04 2000-07-18 Hitachi, Ltd. Automatic focus detection method, automatic focus detection apparatus, and inspection apparatus
US20030184856A1 (en) * 2002-04-02 2003-10-02 Nikon Corporation Focus point detection device and microscope using the same
DE10234757A1 (de) * 2002-07-30 2004-02-19 Leica Microsystems Semiconductor Gmbh Autofokusmodul für Mikroskopbasierte Systeme
DE102008044509A1 (de) * 2008-09-09 2010-03-11 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Fokusposition

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2102922C3 (de) 1971-01-22 1978-08-24 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar Anordnung zum selbsttätigen Fokussieren auf in optischen Geräten zu betrachtende Objekte
AT353497B (de) * 1972-05-23 1979-11-12 Leitz Ernst Gmbh Vorrichtung an mikroskopen, zum automatischen fokussieren des geraetes auf unterschiedliche objekt-ebenen
EP0068390B1 (en) * 1981-06-22 1990-08-22 Kabushiki Kaisha Toshiba An optical head
DE3219503C2 (de) * 1982-05-25 1985-08-08 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar Vorrichtung zum selbsttätigen Fokussieren auf in optischen Geräten zu betrachtende Objekte
JPH0769162B2 (ja) * 1990-04-23 1995-07-26 大日本スクリーン製造株式会社 光学的検査システムのための自動焦点合わせ装置
JP3226299B2 (ja) * 1991-08-09 2001-11-05 オリンパス光学工業株式会社 焦点検出装置
JPH07134242A (ja) * 1993-11-10 1995-05-23 Olympus Optical Co Ltd 焦点検出装置
JPH10301018A (ja) * 1997-04-23 1998-11-13 Olympus Optical Co Ltd 顕微鏡写真用合焦装置
JPH1152224A (ja) * 1997-06-04 1999-02-26 Hitachi Ltd 自動焦点検出方法およびその装置並びに検査装置
JPH1164719A (ja) * 1997-08-22 1999-03-05 Nikon Corp 焦点検出手段を備えた顕微鏡および変位計測装置
JP4370554B2 (ja) * 2002-06-14 2009-11-25 株式会社ニコン オートフォーカス装置およびオートフォーカス付き顕微鏡
JP2004251984A (ja) * 2003-02-18 2004-09-09 Jasco Corp オートフォーカス装置
US7345814B2 (en) 2003-09-29 2008-03-18 Olympus Corporation Microscope system and microscope focus maintaining device for the same
JP4690132B2 (ja) * 2005-07-13 2011-06-01 オリンパス株式会社 焦点検出装置
JP2007163738A (ja) * 2005-12-13 2007-06-28 Nikon Corp 自動焦点調節機構を備えた光学装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19537376A1 (de) * 1994-10-10 1996-04-18 Nova Measuring Instr Ltd Autofokussierungsmikroskop
DE19725483A1 (de) * 1996-06-29 1998-01-02 Zeiss Carl Fa Mikroskop mit einer Autofokus-Anordnung
US6091075A (en) * 1997-06-04 2000-07-18 Hitachi, Ltd. Automatic focus detection method, automatic focus detection apparatus, and inspection apparatus
US20030184856A1 (en) * 2002-04-02 2003-10-02 Nikon Corporation Focus point detection device and microscope using the same
DE10234757A1 (de) * 2002-07-30 2004-02-19 Leica Microsystems Semiconductor Gmbh Autofokusmodul für Mikroskopbasierte Systeme
DE102008044509A1 (de) * 2008-09-09 2010-03-11 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Fokusposition

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102018131427A1 (de) 2018-12-07 2020-06-10 Leica Microsystems Cms Gmbh Verfahren zur automatischen Positionsermittlung auf einer Probenanordnung und entsprechendes Mikroskop
WO2020115160A1 (de) 2018-12-07 2020-06-11 Leica Microsystems Cms Gmbh Verfahren zur automatischen positionsermittlung auf einer probenanordnung und entsprechendes mikroskop
US12298490B2 (en) 2018-12-07 2025-05-13 Leica Microsystems Cms Gmbh Method for automatically determining the position in a sample arrangement and corresponding microscope
EP4194918A1 (en) 2021-12-10 2023-06-14 Leica Microsystems CMS GmbH Method for controlling microscopic imaging and corresponding microscope control arrangement and microscope
US12422659B2 (en) 2021-12-10 2025-09-23 Leica Microsystems Cms Gmbh Method for controlling microscopic imaging and corresponding microscope control arrangement and microscope
DE102023107032A1 (de) * 2023-03-21 2024-09-26 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Mikroskop und Verfahren zum Autofokussieren

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