DE102010029060A1 - Verfahren zur Herstellung einer Dünnschichtbatterie und entsprechende Dünnschichtbatterie - Google Patents

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IT000836A ITMI20110836A1 (it) 2010-05-18 2011-05-13 Procedimento per la fabbricazione di una batteria a strato sottile ecorrispondente batteria a strato sottile
FR1154261A FR2960346B1 (fr) 2010-05-18 2011-05-17 Procede de fabrication d'une batterie en couche mince et batterie ainsi realisee
CN201110127423.6A CN102255102B (zh) 2010-05-18 2011-05-17 用于制造薄层电池的方法和相应的薄层电池
JP2011111705A JP5975605B2 (ja) 2010-05-18 2011-05-18 薄膜電池の製造方法および薄膜電池

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102014209263A1 (de) * 2014-05-15 2015-11-19 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Mikrobatterie und Verfahren zum Herstellen einer Mikrobatterie
DE102016118755A1 (de) 2015-10-05 2017-04-06 Lpkf Laser & Electronics Ag 3D-Dünnschichtbatterie und ein Verfahren zu deren Herstellung
US10833296B2 (en) 2017-09-26 2020-11-10 International Business Machines Corporation Thin film solid-state microbattery packaging

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW201622228A (zh) * 2014-08-27 2016-06-16 應用材料股份有限公司 三維薄膜電池
DE102015204844A1 (de) * 2015-03-18 2016-09-22 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Verbinden von Batteriezellen sowie Batteriepack, Batteriemodul, Batterie sowie Fahrzeug
JP6287946B2 (ja) * 2015-05-08 2018-03-07 トヨタ自動車株式会社 電池用積層体の製造方法
FR3039005A1 (fr) * 2015-07-13 2017-01-20 St Microelectronics Tours Sas Batterie en couches minces autosupportee et procede de fabrication d'une telle batterie
JP6683001B2 (ja) * 2016-05-10 2020-04-15 トヨタ自動車株式会社 固体電池の製造方法
US10658702B2 (en) * 2017-10-02 2020-05-19 International Business Machines Corporation High-performance thin-film battery with an interfacial layer

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3612018B2 (ja) * 1992-12-04 2005-01-19 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置の作製方法
FR2862437B1 (fr) * 2003-11-14 2006-02-10 Commissariat Energie Atomique Procede de fabrication d'une micro-batterie au lithium
SE0402471D0 (sv) * 2004-10-12 2004-10-12 Anders Lundblad Electrochemical device
CA2658092A1 (en) * 2006-07-18 2008-01-24 Cymbet Corporation Method and apparatus for solid-state microbattery photolithographic manufacture, singulation and passivation
CN101496218A (zh) * 2006-07-25 2009-07-29 皇家飞利浦电子股份有限公司 三维基板上薄层电池堆叠体的制造方法
KR101773498B1 (ko) * 2007-10-25 2017-09-01 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 박막 배터리들의 대량 생산을 위한 방법
FR2952477B1 (fr) * 2009-11-06 2011-12-09 St Microelectronics Tours Sas Procede de formation d'une batterie de type lithium-ion en couches minces

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102014209263A1 (de) * 2014-05-15 2015-11-19 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Mikrobatterie und Verfahren zum Herstellen einer Mikrobatterie
DE102016118755A1 (de) 2015-10-05 2017-04-06 Lpkf Laser & Electronics Ag 3D-Dünnschichtbatterie und ein Verfahren zu deren Herstellung
DE102016118755B4 (de) 2015-10-05 2019-08-14 Lpkf Laser & Electronics Ag 3D-Dünnschichtbatterie und ein Verfahren und Substrat zu deren Herstellung
US10833296B2 (en) 2017-09-26 2020-11-10 International Business Machines Corporation Thin film solid-state microbattery packaging
US11171374B2 (en) 2017-09-26 2021-11-09 International Business Machines Corporation Thin film solid-state microbattery packaging

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