FR2960346A1 - Procede de fabrication d'une batterie en couche mince et batterie ainsi realisee - Google Patents

Abstract

Procédé de fabrication d'une batterie en couche mince (10) selon lequel on applique une suite de couches (16, 18, 20, 36, 38) successivement à la surface d'un substrat (14) et on réalise différentes zones (24, 26, 28; 30, 32, 34; 42, 44, 46) dans au moins l'une des couches (18, 20, 38) en séparant latéralement par un faisceau laser. L'invention concerne également une batterie en couche mince (10) ainsi réalisée.

Description

1 Domaine de l'invention La présente invention se rapporte à un procédé de fabrication d'une batterie en couche mince selon lequel : pour former une succession de couches de la batterie, on empile plusieurs couches successivement sur la surface supérieure d'un substrat, et on sépare latéralement les unes des autres, différentes zones d'au moins l'une des couches appliquée précédemment. L'invention se rapporte également à la batterie en couche mince ainsi réalisée. Par convention, la batterie formée de couches minces sera appelée "batterie en couche mince". Etat de la technique On connaît les batteries en couche mince encore appelées batteries à film mince. Il s'agit par exemple de la batterie lithium-ion qui se compose d'un empilage de couches réalisé par pulvérisation ou par dépôt à la vapeur de Li3PO4 (Li.POyNZ) comme électrolyte et de Lit+XCoXO2 comme cathode ainsi que d'un alliage lithium-silicium comme anode. Les contacts sont réalisés par exemple par des couches métalliques. Un autre développement qui convient pour les applications qui ne se situent pas à l'extrémité inférieure du spectre de puissance, est la batterie en couche mince dite, tridimensionnelle (batterie en couche mince 3D). Dans cette batterie à couche mince tridimensionnelle, on replie la surface utile de la batterie en couche mince sur la surface à structure tridimensionnelle du substrat. Cela permet d'avoir pour une même surface de base du substrat, une surface multiple, (par exemple une surface multipliée par quarante) pour la capacité de stockage et de plus cela permet de recevoir et de délivrer la charge stockée plus rapidement. On dispose ainsi d'une puissance plus forte que dans le cas d'une batterie en couche mince appliquée sur la surface plane d'un substrat. Ces deux types de batteries en couche mince ont en commun de nécessiter différentes couches dans une pile de couches avec des structures différentes nécessaires au fonctionnement de la

2 batterie. Il faut éviter le court-circuit entre la cathode et l'anode, car même un faible courant de fuite, peut détériorer considérablement les caractéristiques de la batterie. Au moins l'une des électrodes doit être, de façon caractéristique, plus petite que la couche d'électrolyte pour éviter les "contacts au bord". Les matériaux utilisés pour réaliser une telle batterie en couche mince sont toutefois sensibles à l'air et à l'humidité. Les procédés de fabrication "classiques" de la microélectronique, en particulier la mise en structure par lithographie à l'aide d'une laque photosensible et de la chimie de développement, ne conviennent que de façon limitée. Dans le cas d'une batterie en couche mince tridimensionnelle, la situation est plus complexe, car la topographie relativement haute de la surface du substrat, peut s'utiliser comme masquage pour réaliser la structure par lithographie. Exposé et avantages de l'invention La présente invention a pour but de remédier à ces inconvénients et a ainsi pour objet un procédé de fabrication d'une batterie en couche mince selon lequel : pour former une succession de couches de la batterie, on empile plusieurs couches successivement sur la surface supérieure d'un substrat, et on sépare latéralement les unes des autres, les différentes zones d'au moins l'une des couches appliquée précédemment, le procédé étant caractérisé en ce que la séparation se fait à l'aide d'un faisceau laser. Le procédé selon l'invention a l'avantage de permettre de réaliser la structure des différentes zones des couches sous une atmosphère de gaz protecteur ou sous vide, puisque la séparation des zones des couches se fait par un faisceau laser. La séparation des différentes zones se fait en effet par découpe au laser. Le faisceau laser d'une installation de laser de découpe est, de préférence, focalisé ou aligné pour enlever la matière appliquée précédemment sous la forme d'une ou plusieurs couches. On obtient ainsi des entailles ou des coupes qui traversent au moins complètement la couche supérieure, c'est-à-dire la couche qui se trouve sur le dessus au moment de la découpe, et coupant ainsi la liaison électrique des zones appartenant à la couche. Par un tramage effectué sur des zones partielles de la surface

3 de la ou des couches appliquées, on peut enlever également complètement des zones. L'application des couches se fait notamment par le dépôt de couches. La batterie en couche mince est, de préférence, une batterie lithium- ion.

Une telle séparation faite à l'aide d'un laser se combine d'une manière particulièrement avantageuse au dépôt en phase gazeuse des couches. Le dépôt en phase gazeuse est, soit un dépôt physique en phase gazeuse (dépôt physique de vapeur, encore appelé procédé PVD) ou un dépôt chimique en phase gazeuse (encore appelé procédé CVD).

Le dépôt physique en phase gazeuse est, de préférence, une vaporisation et/ ou une pulvérisation. Le dépôt selon le procédé CVD, est un dépôt par le procédé ALD (procédé de dépôt de couche atomique). Le substrat est un substrat semi-conducteur, un substrat en céramique, un substrat en verre et/ou un substrat en matière plastique. Si le substrat est un semi-conducteur, il porte, selon un mode de réalisation préférentiel, un circuit électronique (un circuit intégré). En particulier, l'une des couches de la batterie est une couche de cathode et l'autre couche est une couche d'anode.

Selon un développement avantageux, l'invention se rapporte à un procédé comprenant les étapes suivantes : - Application d'une première couche sur la surface d'un substrat ou sur une couche d'isolation appliquée antérieurement sur la surface du substrat et application d'une seconde couche sur la première couche, - Séparation latérale de zones de la seconde couche, les unes des autres ou séparation latérale de zones de la première couche, les unes des autres et de zones de la seconde couche, les unes des autres, - Application d'une troisième couche sur la seconde couche et d'une quatrième couche sur la troisième couche, et - Séparation latérale de zones de la quatrième couche, les unes des autres ou séparation latérale de zones de la troisième couche, les unes des autres et de la quatrième couche, les unes des autres.

4 Pour ces étapes de procédé, il faut notamment remarquer que la première couche est une couche collectrice de courant ; la seconde couche est la couche de cathode de la batterie en couche mince. La seconde couche constituant la couche de cathode est notamment une couche de LiCoO2. Selon un exemple de réalisation préférentiel, les deux premières couches ne sont pas structurées séparément, mais sont structurées en commun par le faisceau laser. Pour réaliser cette structure, on commande l'installation de laser selon des paramètres adaptés aux matériaux et à l'épaisseur de la première des deux couches. En particulier, par cette mise en structure, on forme une première zone séparée qui constituera ultérieurement le contact de cathode vers l'extérieur, et on forme une seconde zone séparée qui constituera ultérieurement le contact de collecteur de courant vers l'extérieur. La troisième couche est une couche d'électrolyte ; la quatrième couche est la couche d'anode. Dans une seconde étape de réalisation de la structure, on coupe la couche d'anode, sélectivement par rapport à la couche d'électrolyte qui se trouve en dessous, à l'aide du faisceau laser, et on isole ainsi électriquement la zone d'anode de la batterie par rapport au reste de la couche. Pour réaliser la structure, on commande l'installation laser avec des paramètres adaptés à la matière et à l'épaisseur de la troisième et de la quatrième couche. Une seconde zone isolée électriquement est prévue dans la structure de la batterie pour réaliser, par une étape ultérieure, le contact avec le collecteur de courant, enfoui. Selon un développement avantageux de l'invention, on réalise la structure de la troisième couche avant d'appliquer la quatrième couche. En particulier, on enlève ainsi une zone de la troisième couche à l'intérieur de la seconde zone isolée électriquement et appartenant à la quatrième couche, et on dégage la zone correspondante de la première et de la seconde couche, pour avoir le contact avec le collecteur de courant enfoui ou avec la couche de cathode, que l'on réalisera directement au cours d'une étape ultérieure. Selon un développement avantageux de l'invention, on applique en outre une couche de couverture qui couvre au moins partiellement les couches déjà déposées. Les matériaux utilisés pour une telle batterie en couche mince, sensibles à l'air et à l'humidité sont 5 ainsi protégés contre cette influence par la couche de couverture. Il est notamment prévu que la séparation des zones d'au moins une couche est une séparation d'isolation qui isole électriquement les différentes zones à séparer dans la couche. Selon un développement préférentiel de l'invention, la io couche de cathode et/ou la couche d'anode sont des couches enfouies dans la succession des couches et on réalise un contact traversant pour le branchement vers l'extérieur. Selon un autre développement préférentiel de l'invention, on applique au moins l'une des couches dans une installation de dépôt 15 en phase gazeuse et la séparation des zones de cette couche se fait également dans cette installation de dépôt en phase gazeuse. De manière préférentielle, toutes les couches sont déposées dans une seule et même installation de dépôt en phase gazeuse (dépôt in-situ), la séparation étant également faite dans cette installation de dépôt en 20 phase gazeuse. L'installation de dépôt en phase gazeuse in-situ, encapsule la batterie en couche mince à réaliser (et/ou réalisée) et la protège pendant le dépôt et la séparation, vis-à-vis de l'atmosphère extérieur à l'installation. Pour séparer, l'installation comporte une fenêtre que traverse le faisceau laser pour arriver à l'intérieur de 25 l'installation. Il est notamment prévu de réaliser une surface de substrat structurée en trois dimensions pour recevoir les couches. La batterie en couche mince ainsi réalisée, est une batterie en couche mince tridimensionnelle. Dans cette batterie en couche mince 30 tridimensionnelle, sur la surface du substrat à structure tridimensionnelle, on déploie la surface utile de la batterie en couche mince ainsi appliquée, de sorte que pour une même surface de base du substrat, on a une capacité de stockage multiple et en outre, la charge accumulée pourra être chargée et déchargée plus rapidement. On

6 dispose ainsi d'une puissance plus élevée que dans le cas d'une batterie en couche mince réalisée sur une surface plane de substrat. Enfin, il est avantageux que le faisceau laser permette d'éliminer au moins une zone d'une couche appliquée précédemment.

L'invention a également pour objet une batterie en couche mince, notamment une batterie en couche mince réalisée selon le procédé décrit ci- dessus et comprenant un substrat et une succession de couches formant la batterie avec plusieurs couches appliquées successivement sur la surface du substrat, au moins l'une des couches appliquée précédemment, étant séparée latéralement par une structure de séparation, et cette structure de séparation est faite par une entaille réalisée dans cette couche à l'aide d'au moins un faisceau laser. Selon un développement avantageux de la batterie en couche mince, l'une des couches est une couche de cathode et l'autre, une couche d'anode. Notamment la couche de cathode et/ou la couche d'anode, sont une ou plusieurs couches enfouies dans la succession des couches avec un contact traversant pour le contact vers l'extérieur. En particulier, la batterie en couche mince est une batterie en couche mince tridimensionnelle. Pour cela, le substrat a une surface structurée sur laquelle on applique la succession de couches constituant la batterie en couche mince tridimensionnelle. Dessins La présente invention sera décrite ci-après à l'aide d'un procédé de fabrication d'une batterie en couche mince, ainsi que la batterie obtenue, représentés dans les dessins annexés dans lesquels : - les figures 1 à 4 montrent les étapes de réalisation d'une batterie en couche mince selon un mode de réalisation préférentiel du procédé de l'invention, - la figure 5 montre en coupe la batterie en couche en mince ainsi obtenue, - la figure 6 est une vue en coupe d'une batterie en couche mince tridimensionnelle selon l'invention,

7 - la figure 7 montre la séparation de plusieurs batteries en couche mince réalisées en commun sur un substrat selon le premier exemple de batterie de la figure 5, - la figure 8 montre la séparation de plusieurs batteries en couche mince réalisées en commun sur un substrat et correspondant à une batterie en couche mince d'un second exemple de réalisation selon la figure 5. Description de modes de réalisation Les figures 1 à 5 montrent la réalisation pas à pas d'une batterie en couche mince 10 par un mode de réalisation préférentiel du procédé de fabrication selon l'invention. La figure 1 montre un substrat 14 en forme de substrat semi-conducteur 12 portant une couche d'isolation 16 réalisée par dépôt. Sur la couche d'isolation 16, on dépose tout d'abord une première couche 18 constituant une couche collectrice de courant. Ensuite, sur cette première couche 18, on dépose une seconde couche 20 par exemple, LiCoO2 et on forme la couche cathodique de la batterie à couche mince 10. Les deux premières couches 18, 20 de l'exemple, ne sont pas structurées séparément, mais en commun.

La figure 2 montre la mise en structure faite ensuite des deux premières couches 18, 20. A l'aide de paramètres appropriés d'une installation de laser non représentée, pour faire une découpe au laser, à l'aide d'un faisceau laser, on réalise dans l'épaisseur des deux premières couches 18, 20 ou de la seconde couche 20, une entaille 22 qui sépare électriquement une zone de cathode 28 de la batterie 10 à réaliser en séparant cette zone latéralement des autres zones 24, 26. Les zones 30, 32, 34 de la couche collectrice de courant 18 qui se situent en dessous, sont séparées également latéralement les unes des autres au moins en partie par l'entaille 22. Dans l'exemple de réalisation représenté, cette séparation se fait en même temps que l'on sépare les zones de la seconde couche 20 (couche cathodique). En option, on peut le cas échéant séparer la zone de contact 24 avec d'autres paramètres de la matière cathodique active et pour cela, il faut toutefois que la couche collectrice de courant (première couche 18), soit

8 impérativement intacte, c'est-à-dire qu'elle reste conductrice. Le point correspondant est représenté à la figure 2 par le repère M. La figure 3 montre une troisième couche 36 déposée sur la seconde couche 20. Cette troisième couche est une couche électrolytique et la figure montre une quatrième couche 38 déposée sur la troisième couche 36, cette quatrième couche constituant la couche anodique. La couche enfouie n'est pas mise en structure. On a représenté en trait interrompu la structure également enfouie de la couche cathodique.

Dans une autre étape de mise en structure, pour séparer les zones 42, 44, 46, on réalise des entailles 40 à l'aide d'un faisceau laser dans la quatrième couche 38. Par cette mise en structure par laser, on découpe la quatrième couche 38 (couche anodique) de manière sélective par rapport à la troisième couche 36 qui se situe en dessous (couche d'électrolyte) avec le faisceau laser et selon des paramètres adaptés pour isoler ainsi la zone anodique 42 de la batterie 10 des autres zones 44, 46 de la couche 38 par une isolation électrique. Cette situation est représentée à la figure 4. Une seconde zone d'isolation électrique 46 est prévue sur la structure de la batterie pour réaliser le contact avec la première couche enfouie 18 (couche collectrice de courant) au cours d'une étape ultérieure. Cette situation est représentée en trait interrompu. Suivant la matière de l'anode, on peut avoir une couche anodique (quatrième couche 38) directement en contact ou il faut revêtir cette couche d'une matière appropriée. Pour réaliser le contact de la couche cathodique (seconde couche 20), on chauffe une matière appropriée dans la zone cathodique, par exemple à l'aide d'un faisceau laser pour réaliser une surchauffe locale de façon que la diffusion de la matière dans la couche d'électrolyte (troisième couche 36) et la couche cathodique (seconde couche 20), réalise un contact traversant, conducteur 48 (liaison Via) (figure 5). Au cas où la couche anodique (quatrième couche 38), n'est pas réalisée dans la matière appropriée, on peut appliquer une pâte appropriée et la chauffer. On forme ainsi une surface de contact 50 de la cathode et une surface de contact 52 de l'anode. En option, on peut également munir la batterie 10 d'une

9 couche de passivation (non représentée) pour augmenter la durée de vie de la batterie. La mise en contact de la cathode et de l'anode se fera de manière adaptée. La figure 5 montre la mise en contact de la couche cathodique enfouie dans ce cas par un "frittage laser", c'est-à-dire par un chauffage local de la zone de la pâte de liaison 46 préalablement isolée. En augmentant la température, on active la diffusion, par exemple du métal du dessus existant également dans cette zone ou d'une pâte spéciale appliquée et on réalise ainsi un dopage traversant localement la couche d'électrolyte. Les deux couches d'électrodes (seconde couche 20 et quatrième couche 38) peuvent ainsi être mises en contact à partir du côté supérieur. D'autres variantes non représentées concernent le branchement de la couche d'électrode inférieure (seconde couche 20) qui est fait soit latéralement, par exemple par un circuit intégré et traité dans le substrat 14 ou par des contacts traversants dans le substrat 14 (chemins conducteurs Vias) qui permettent la mise en contact du côté arrière du substrat. Suivant la conductivité, on peut également utiliser le substrat 12 lui-même comme ligne d'alimentation. Toutefois, chaque mise en série des résistances diminue la puissance de la batterie 10. Selon une autre variante, la troisième couche (couche d'électrolyte) 36, est éliminée sélectivement avant d'appliquer la quatrième couche (couche d'anode) 38 et ainsi les couches situées plus bas, sont libérées pour la mise en contact. En appliquant la couche de passivation, on adapte de manière appropriée, le procédé de mise en contact. Grâce à l'indépendance du procédé par rapport à un masquage, on peut également structurer des substrats 14 ayant une topographie quelconque, structurée (par exemple des structures de sillons ou de trous). Cela est notamment avantageux pour la fabrication de la batterie en couche mince 54 tridimensionnelle présentée à la figure 6. Comme la mise en structure par le laser est indépendante du masque ou de l'état du substrat non structuré 14, il faut le cas échéant, adapter uniquement le dépôt au substrat 14 et non à la mise en structure. Le substrat 14 de la batterie en couche mince 54 tridimensionnelle, est un substrat 56 structuré en trois dimensions

l0 avec par exemple, des sillons 58 parallèles et qui développent une batterie en couche mince, pliée, à trois dimensions (batterie à couche mince tridimensionnelle 54). Grâce à la mise en structure préalable des couches 16, 18, 20, 36, 38, on pourra également séparer les extrémités de branchement des batteries 10 par exemple sans risque de court-circuit du fait de l'encrassage par de la matière de la batterie lors du sciage. Les zones fonctionnelles sont isolées du bord du substrat semi-conducteur 12. Dans la figure, la ligne de coupe 60 de l'anode est décalée légèrement vers l'extérieur par rapport à la ligne de coupe 62 de séparation de la cathode. Par un positionnement approprié des entailles 22, 40, on évitera également les courts-circuits occasionnés par exemple par des débordements de la matière lors de la première mise en structure par le laser et qui traversent par exemple la couche d'électrolyte. La figure 7 montre le substrat 14 pendant que l'on sépare les batteries 10. L'élément décisif est qu'il permet d'éviter de manière garantie tout court-circuit lors du sciage par la mise en structure par le laser.

En variante, (pour une mise en structure appropriée de la couche inférieure sans éjection perturbatrice), on peut également structurer l'anode à l'aide d'une couche en coupant uniquement la couche supérieure (quatrième couche 38) de la batterie en couche mince. La zone qui en résulte pour cette couche 38, est la zone d'anode 42 avec la surface de contact 52 de l'anode, l'autre zone est la zone de contact 50 de la cathode située sous l'anode dans la zone de cathode 28. La figure 8 montre une variante selon laquelle, on protège les couches sensibles contenant des Li ions par la couche métallique supérieure ou par une couche de passivation jusqu'au sciage. Ce n'est que par un sciage ciblé de la couche supérieure (quatrième couche 38) et de la couche de métallisation et de passivation suivant la ligne 64 ou la séparation consécutive des différents composants associés à chacune des batteries 10 par rapport à la structure globale, par sciage suivant les lignes 66, on obtient des batteries 10 terminées. Par la mise en

11 structure des couches enfouies, on garantit l'absence de court-circuit au sciage. Une autre couche de passivation (par exemple une couche Al2O3) peut être appliquée de manière consécutive (par exemple Al2O3 avec le procédé ALD : couche de dépôt atomique).

La structure peut également se faire dans un ordre différent, c'est-à-dire avec une couche d'anode enfouie et une couche cathodique, située au-dessus. Comme substrat, on peut envisager de multiples matières. Il est important de vérifier la tenue à la résistance vis-à-vis de températures nécessaires au dépôt des couches et le cas échéant, il faut une sélectivité suffisante pour la mise en structure par un laser. A titre d'exemple, il s'agit des produits suivants : - un substrat de silicium, le cas échéant avec un circuit intégré ou un composant micromécanique intégré ou encore des contacts traversants, - un substrat en verre, le cas échéant avec des contacts traversants intégrés, - de la matière céramique, et - des polymères stables en température.

Les différents plans fonctionnels de la batterie en couche mince (par exemple le collecteur de courant, la cathode, l'électrolyte, l'anode, le collecteur de courant, la passivation ; se reporter à la figure 1), sont appliqués successivement et notamment par dépôt. En traitant avec un procédé approprié, de manière caractéristique par un procédé laser avec une longueur d'onde, une puissance, une longueur d'impulsion, une fréquence d'impulsion et/ou une vitesse d'écriture, adaptés, on réalise des entailles d'isolation dans la couche respective. En général, cela se fait avant d'appliquer une couche suivante. Le but est d'isoler latéralement de manière fiable les couches souhaitées sans toutefois interférer avec les couches situées en dessous, sans le cas échéant les endommager ou détériorer leur fonctionnement. La mise en structure peut se faire avec un procédé laser, appliqué sur place (in-situ) ou à travers une fenêtre optique appropriée dans une chambre d'une installation de dépôt. On évite la contamination de la chambre par les particules détachées lors de la

12 découpe, par des moyens appropriés tels que par exemple la mise sous vide de la chambre ou le rinçage avec un gaz protecteur. La mise en structure par laser est indépendante de l'état de la substance, c'est-à-dire que l'on peut avoir par exemple également des substrats pré-structurés, avec des topographies importantes (batterie en couche mince 3D). On obtient les avantages suivants : * Des possibilités améliorées de manière significative pour structurer les couches, notamment par comparaison à des masques avec écran.

La place sur le substrat (notamment au niveau de la puce), peut s'utiliser de manière beaucoup plus efficace et on peut réduire les étapes du procédé. * En se limitant à des coupes d'isolation simples, on peut faire la structure dans un plan sur un substrat, par exemple en moins de quelques minutes et ainsi d'avoir un procédé très rapide par comparaison, par exemple à des procédés par lithogravure et par une étape de gravure distincte. * La mise en structure interagit seulement avec les zones éloignées effectives du substrat. La structure et la forme de la zone résiduelle est quelconque dans la mesure où il n'y a pas eu de coupure. On aura ainsi des structures profondes ou des orifices traversants dans le substrat. * En séparant le dépôt de la mise en structure, on ne réalise pas de passage sous le masque comme par exemple dans le procédé CVD et qui produit des masques d'ombre, par exemple lors du dépôt sur un masque formant écran qui n'est pas appuyé de manière parfaitement plane. * La dimension et la forme de la batterie peuvent être adaptées très rapidement et de manière souple, aux exigences, dans la mesure où à partir d'un substrat vers le substrat suivant, même si l'on tient compte de la possibilité de division, on se trouve sur un unique substrat. Il n'y a pas d'étape externe pour réaliser le masque et il suffit de modifier la programmation du laser. * Branchement en série de différentes batteries pour augmenter la tension utile. Ce branchement est économe en surface avec

13 branchement par un procédé de branchement à la vague grâce à la structure correspondante des couches. * La possibilité de la mise en structure sur place, permet de réaliser une telle batterie 10 sans rupture de vide ou sans concavité également sur le côté humide et sensible à l'air lorsque les couches de lithium réagissent en dégradant l'atmosphère ou en la rendant même polluante. Pour cela, l'installation de dépôt qui permet la découpe de toutes les couches nécessaires, le cas échéant dans différentes chambres, comporte seulement une fenêtre optique.

15 NOMENCLATURE 10 12 14 16 18 20 22 24,26 28 30, 32, 34 36 38 40 42, 44, 46 50 52 54 60 62batterie en couche mince substrat semi-conducteur substrat couche d'isolation première couche formant la couche collectrice de courant deuxième couche formant la couche collectrice de courant entaille zones zone de cathode zones troisième couche, (couche d'électrolyte) quatrième couche, (couche de l'anode) entaille zones surface de contact de la cathode surface de contact de l'anode batterie en couche mince ligne de coupe de l'anode ligne de coupe de la cathode25

Claims (1)

1. REVENDICATIONS1 °) Procédé de fabrication d'une batterie en couche mince (10) selon lequel : pour former une succession de couches de la batterie (10), on empile plusieurs couches (16, 18, 20, 36, 38) successivement sur la surface supérieure d'un substrat (14), et on sépare latéralement les unes des autres, différentes zones (24, 26, 28; 30, 32, 34; 42, 44, 46) d'au moins l'une des couches (18, 20, 38) appliquée précédemment, procédé caractérisé en ce que on fait la séparation à l'aide d'un faisceau laser. 2°) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'une des couches (20, 38) est une couche de cathode et l'une des couches (38, 20) est une couche d'anode. 3°) Procédé selon la revendication 1, caractérisé par les étapes suivantes : - Application d'une première couche (18) sur la surface d'un substrat ou sur une couche d'isolation (16) appliquée antérieurement sur la surface du substrat et application d'une seconde couche (20) sur la première couche (18), - Séparation latérale de zones (24, 26, 28) de la seconde couche (20), les unes des autres ou séparation latérale de zones (30, 32, 34) de la première couche (18), les unes des autres et de zones (24, 26, 28) de la seconde couche (20), les unes des autres, - Application d'une troisième couche (36) sur la seconde couche (20) et d'une quatrième couche (38) sur la troisième couche (36), et - Séparation latérale de zones (42, 44, 46) de la quatrième couche (38), les unes des autres ou séparation latérale de zones de la troisième couche (36), les unes des autres et de la quatrième couche (38), les unes des autres. 30 16 4°) Procédé selon la revendication 2 ou la revendication 3, caractérisé en ce que la couche de cathode et/ou la couche d'anode, sont des couches enfouies (18, 20, 36) de la succession des couches et on réalise un contact traversant (48) pour leur branchement vers l'extérieur. 5°) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu' on applique en outre une couche de couverture qui couvre totalement ou partiellement les couches (16, 18, 20, 36, 38). 6°) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la séparation des zones (24, 26, 28; 30, 32, 34; 42, 44, 46), est la séparation d'isolation dans au moins une couche, séparation selon laquelle, on isole électriquement les unes des autres les zones (24, 26, 28; 30, 32, 34; 42, 44, 46) à séparer dans la couche (18, 20, 38). 7°) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu' on applique au moins l'une des couches (16, 18, 20, 36, 38) dans une installation de dépôt en phase gazeuse, et on effectue la séparation des zones (18, 20, 38) dans au moins une couche (18, 20, 38) également dans cette installation de dépôt en phase gazeuse. 8°) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu' on réalise une surface de substrat à structure tridimensionnelle sur laquelle on applique les couches (16, 18, 20, 36, 38). 9°) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu' à l'aide du faisceau laser, on élimine dans au moins une zone, l'une des couches (16, 18, 20, 36, 38) appliquée précédemment. 35 17 10°) Batterie en couche mince (10) réalisée notamment selon le procédé de l'une quelconque des revendications 1 à 9, comportant un substrat (12) et une succession de couches formant la batterie (10) avec plusieurs couches (16, 18, 20, 36, 38) appliquées successivement sur la surface du substrat (14), et des zones (24, 26, 28; 30, 32, 34; 42, 44, 46) différentes d'au moins l'une des couches (18, 20, 38) appliquée précédemment, étant séparée latéralement par une structure de séparation (22, 40), et cette structure de séparation (22, 40) est faite par une entaille (22, 40) 10 réalisée dans cette couche (18, 20, 38) à l'aide d'au moins un faisceau laser. 11 °) Batterie en couche mince selon la revendication 10, caractérisée en ce que 15 l'une des couches (20, 38) est une couche de cathode et l'une des couches (38, 20) est une couche d'anode. 20 25