DE102009006388A1 - Mit einem Leistungsverstärker versehenes Hochfrequenzmodul - Google Patents

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Atsushi Ajioka
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Abstract

Die vorliegende Erfindung schafft ein Hochfrequenzmodul mit einem Mehrschichtsubstrat, einer Leistungsverstärker-IC, die auf der oberen Oberfläche des Mehrschichtsubstrats montiert ist, ersten und zweiten Filtern, die im Wesentlichen direkt unterhalb der Leistungsverstärker-IC auf einer inneren Schicht des Mehrschichtsubstrats angeordnet sind, und kopplungsreduzierenden Massedurchgangslöchern, die zwischen dem ersten und zweiten Filter angeordnet sind. Wenigstens das erste Filter ist im Wesentlichen direkt unterhalb der Leistungsverstärker-IC angeordnet. Die kopplungsreduzierenden Massedurchgangslöcher haben die Doppelfunktion als Wärmedurchgangslöcher zum Ableiten der von der Leistungsverstärker-IC erzeugten Wärme.

Description

  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Hochfrequenzmodul, das vorzugsweise in einem Mobiltelefon, in einem drahtlosen LAN und anderen drahtlosen Kommunikationsvorrichtungen verwendet wird und insbesondere ein Hochfrequenzmodul betrifft, dass mit einem Leistungsverstärker versehen ist.
  • Hintergrund der Erfindung
  • Mobiltelefone, drahtlose LANs und andere drahtlose Kommunikationsvorrichtungen sind mit einer Hochfrequenzschaltung versehen und in der Hochfrequenzschaltung wird ein Leistungsverstärker verwendet. Ein Leistungsverstärker ist eine Komponente, die für eine Übertragungsschaltung einer Kommunikationsvorrichtung erforderlich ist. Insbesondere in den zurückliegenden Jahren wurde erwartet, dass eine drahtlose LAN-Funktion in einem Mobiltelefon installiert ist, und es besteht die Notwendigkeit für Hochfrequenzschaltungen kleiner Baugröße. Angesichts dieser Notwendigkeit werden ein Hochfrequenzmodul, in welchem ein Leistungsverstärker und ein Filter in den Vor- und Nachstufen angeordnet sind, in der Hochfrequenzschaltung integriert ausgebildet.
  • 5 ist ein Blockschaltbild, das ein Bespiel der Konfiguration eines Hochfrequenzmoduls zeigt.
  • Wie in der 5 gezeigt ist ein Hochfrequenzmodul 2 aus einem Leistungsverstärker 11, einem erstem Filter 12, das in der Vorstufe des Leistungsverstärkers 11 angeordnet ist, und einem zweiten Filter 13, das in der Nachstufe des Leistungsverstärkers 11 angeordnet ist, aufgebaut. Ein Eingangsende des Hochfrequenzmoduls 2 ist mit einem Sendeempfänger IC (RFIC) der Hochfrequenzschaltung verbunden und ein Ausgangsende ist mittels eines Antennenschalters 51 mit einer Antenne 52 verbunden. Das erste Filter 12 ist ein Bandpassfilter (BPF) zum Entfernen von Störsignalen, die in einer Mischstufe in dem RFIC erzeugt worden sind, und das zweite Filter 13 ist ein Tiefpassfilter (LPF) oder ein Bandpassfilter zum Unterdrücken von Störsignalen einer Multiplikationswelle, die in dem Leistungsverstärker 11 erzeugt worden sind (siehe offengelegte japanische Patentanmeldung Nr. 2005-101893 ).
  • Da der in der Vorstufe des Hochfrequenzmoduls 2 angeordnete RFIC einen symmetrischen Ausgang hat, muss das Frequenzmodul 2 ebenfalls mit einem symmetrischen Eingang versehen sein. In einem herkömmlichen Hochfrequenzmodul 2 wird eine Symmetrie-Unsymmetrie-Umwandlung unter Verwendung eines Symmetriergliedes (Balun) durchgeführt und es wird mit dem Leistungsverstärker 11 mittels des ersten Filters 12, das ein Bandpassfilter ist, eine Verbindung hergestellt. In den zurückliegenden Jahren ist jedoch häufig ein sogenanntes symmetrisches Filter mit einer Balun-Funktion verwendet worden (siehe offengelegte japanische Patentanmeldung Nr. 2005-45447 ).
  • 6 ist eine schematische Ansicht im Schnitt, die eine herkömmliche Struktur eines Hochfrequenzmoduls 2 zeigt.
  • Wie in der 6 gezeigt, ist das Hochfrequenzmodul 2 mit einem Mehrschichtsubstrat 10 versehen, wobei ein Leistungsverstärker-IC 11 auf der oberen Oberfläche des Mehrschichtsubstrats 10 montiert ist, erste und zweite Filter 12, 13 auf einer inneren Schicht des Mehrschichtsubstrats 10 ausgebildet sind. Direkt unterhalb der Leistungsverstärker-IC 11 sind Wärmedurchgangslöcher 22 angeordnet und die Wärmedurchgangslöcher 22 sind so ausgebildet, dass sie durch das Mehrschichtsubstrat in vertikaler Richtung vollständig hindurchgehen und mit der Leistungsverstärker-IC 11 und den Masseanschlüssen 20 an der unteren Oberseite des Substrats verbunden sind (siehe offengelegte japanische Patentanmeldung Nr. 2006-121147 und 2005-123909 ).
  • An der inneren Schicht des Mehrschichtsubstrats 10 sind Massestrukturen 23, 24 angeordnet, und die Massestrukturen 23, 24 sind mit den Wärmedurchgangslöchern 22 verbunden. Das Eingangsende des ersten Filters 12 der inneren Schicht ist mit dem Hochfrequenzmoduleingangsanschluss 18 mittels eines Durchgangsloches verbunden und das Ausgangsende des zweiten Filters 13 ist mit einem Hochfrequenzmodulausgangsanschluss 19 mittels eines Durchgangsloches verbunden.
  • Beispiele für eine andere Art von Stand der Technik umfassen eine Struktur zum Trennen der elektromagnetischen Kopplung zwischen unterschiedlichen Bändern oder die Verbindung zwischen Sendeempfängerschaltungen unter Verwendung von Massedurchgangslöchern und Strukturen (siehe offengelegte japanische Patentanmeldung Nr. 2006-140862 , 2004-235877 , 2005-244336 ), eine Struktur, bei der Interferenz verhindernde Masseteile zwischen einem AOW (akustische Oberflächenwelle) – Bauelement (Filter) und dem auf der Oberfläche eines dielektrischen Substrats montierten Leistungsverstärker angeordnet sind (siehe offengelegte japanische Patentanmeldung Nr. 2005-244336 ). Es ist auch ein Hochfrequenzmodul mit hohem Integrationsgrad bekannt, bei dem eine RF-Antennenschaltschaltung und eine Anzahl von Diplexern integriert sind (siehe offengelegte japanische Patenanmeldung Nr. 2006-157880 ). Es ist auch ein Dipol-Resonazfilter mit zwei Induktor-Elektroden oder ein Tripol-Resonanzfilter mit drei Induktor-Elektroden als ein Filter bekannt, das in ein Hochfrequenzmodul eingebaut ist (siehe offengelegt japanische Patentanmeldung Nr. 2007-235435 ).
  • Wie vorstehend beschrieben sind Wärmedurchgangslöcher zum Ableiten von Wärme erforderlich, weil der Energieverbrauch eines Leistungsverstärkers beträchtlich ist und die erzeugte Wärmemenge ebenfalls beträchtlich ist. Herkömmlicherweise können andere Schaltungen und Verdrahtungen nicht direkt unterhalb der Leistungsverstärker-IC 11 angeordnet werden und daher besteht eine negative Auswirkung bezüglich der Reduktion der Größe des Hochfrequenzmoduls, weil die Wärmedurchgangslöcher 22 an einer Position angeordnet sind, die der unteren Unterseite der Leistungsverstärker-IC 11 zugewandt sind. Es ist auch vorzuziehen, dass die Verdrahtung jedes Filters soweit als möglich verkürzt werden kann, um eine Verschlechterung der Einfügungsdämpfung zu verhindern, und es ist auch vorzuziehen, dass jedes Filter in der Nähe des Leistungsverstärkers angeordnet ist, aber die Anwesenheit der Wärmedurchgangslöcher verhindert solche Anstrengungen.
  • Andererseits besteht das Problem, dass der Abstand zwischen dem ersten Filter und dem zweiten Filter, die in der Vorstufe und der Nachstufe des Leistungsverstärkers angeordnet sind, näher zusammengerückt wird, wenn das Hochfrequenzmodul klei ner ausgeführt wird, die Filter elektromagnetisch gekoppelt werden und die Isolation verringert wird. Wenn die Isolation zwischen den Filtern verglichen mit dem Verstärkungsfaktor des Leistungsverstärkers gering ist, besteht das Problem, dass der Leistungsverstärker mittels der Vor- und Nach-Filter mit einer Rückkopplung beaufschlagt wird, wodurch der Betrieb des Leistungsverstärkers instabil wird und im schlimmsten Fall der Leistungsverstärker oszilliert.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ein kleines Hochleistungs-Hochfrequenzmodul unter Aufrechterhaltung der Wärmeableiteigenschaften und des stabilen Betriebes des Leistungsverstärkers zu schaffen.
  • Um die vorstehend genannten Probleme zu lösen hat das Hochfrequenzmodul gemäß der vorliegenden Erfindung: ein Mehrschichtsubstrat; eine Leistungsverstärker-IC, die auf der oberen Oberfläche des Mehrschichtsubstrats montiert ist; erste und zweite Filter, die im Wesentlichen direkt unterhalb der Leistungsverstärker-IC in einer Innenschicht des Mehrschichtsubstrats angeordnet sind; und kopplungsreduzierende Massedurchgangslöcher, die zwischen dem erstem Filter und dem zweiten Filter angeordnet sind, wobei die kopplungsreduzierenden Massedurchgangslöcher die Doppelfunktion als Wärmedurchgangslöcher zum Ableiten der durch die Leistungsverstärker-IC erzeugten Wärme haben. Der hier verwendete Begriff "Massedurchgangsloch" bezieht sich auf ein Durchgangsloch, das mit der Masseelektrodenstruktur verbunden ist und der Begriff "Wärmedurchgangsloch" bezieht sich auf ein Wärmedurchgangsloch, das hauptsächlich für das Ableiten von Wärme verwendet wird. Auch ein Durchgangsloch ist nicht nur ein Durchgangsloch sondern ist auch ein Loch, welches einen Leiter zum Erzielen einer elektrischen Leitung zwischen den Schichten enthält. Der Leiter kann an einer Innenfläche des Durchgangsloches ausgebildet sein und kann vollständig in das Durchgangsloch eingebettet sein.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung sind die ersten und zweiten Filter im Wesentlichen direkt unterhalb der Leistungsverstärker-IC angeordnet, und die kopplungsreduzierenden Massedurchgangslöcher zwischen den Filtern haben die Doppelfunktion als Wärmedurchgangslöcher der Leistungsverstärker-IC. Demgemäß ist die Isolati on nicht verringert, selbst wenn die ersten und zweiten Filter nahe beieinander angeordnet sind. Daher kann die Größe des gesamten Moduls unter Aufrechterhaltung der Stabilität des Betriebes des Leistungsverstärkers und der Wärmeableiteigenschaften des Leistungsverstärkers reduziert werden.
  • Vorzugsweise hat das Hochfrequenzmodul gemäß der vorliegenden Erfindung ferner in einer Innenschicht des Mehrschichtsubstrats eine Massestruktur ausgebildet, wobei die kopplungsreduzierenden Masse-Durchgangslöcher mit der Massestruktur verbunden sind. In der vorliegenden Erfindung ist das erste Filter vorzugsweise mit einem Eingangsende der Leistungsverstärker-IC verbunden und das zweite Filter mit einem Ausgangsende der Leistungsverstärker-IC verbunden.
  • In der vorliegenden Erfindung ist das erste Filter vorzugsweise aus einem 1/4-Wellenlängen-(λ/4)-Resonator ausgebildet, in welchem eine interdigitale Elektrode verwendet ist. Gemäß einem λ/4-Wellenlängenresonator, in welchem eine interdigitale Elektrode (im Nachfolgenden der Einfachheit halber als interdigitaler λ/4-Resonator bezeichnet) verwendet ist, kann ein kleines Hochleistungs-Symmetrie-Bandpassfilter erzielt werden und leicht in ein Mehrschichtsubstrat eingebaut werden. Da der interdigitale λ/4-Resonator, der das erste Filter bildet, zahlreiche Massedurchgangslöcher an der Struktur hat, kann die Gesamtanzahl der Durchgangslöcher unter Verwendung der Massedurchgangslöcher als Wärmedurchgangslöcher für den Leistungsverstärker reduziert werden, und das Hochfrequenzmodul kann in seiner Größe verringert werden. Eine kleinere Struktur ist leichter zu erzielen und die Symmetrieeigenschaften eines Symmetriesignals sind ebenfalls ausgezeichnet, verglichen mit dem Fall, bei dem ein 1/2-Wellenlängenresonator verwendet wird, oder mit dem Fall, bei dem zwei einfache 1/4-Wellenlängenresonatoren verwendet werden, die nicht interdigital gekoppelt sind, weil der interdigitale λ/4-Resonator ein Paar Symmetrieanschlüsse hat, die mit einem Paar interdigital gekoppelter 1/4-Resonatoren verbunden sind. Der interdigitale λ/4-Resonator hat Massedurchgangslöcher und eine interdigitale Elektrode, und Wärme wird auf das Mehrschichtsubstrat mittels zahlreicher Elektrodenstrukturen, welche die intertdigitale Elektrode bilden, übertragen, wodurch Wärme abgeleitet wird. Daher kann eine Wärmeableitungswirkung mittels der interdigitalen Elektrode erzielt werden.
  • Die vorstehende und weitere Aufgaben der vorliegenden Erfindung, können auch durch ein Hochfrequenzmodul gelöst werden, das aufweist: ein Mehrschichtssubstrat; eine Leistungsverstärker-IC, die auf der oberen Oberfläche des Mehrschichtsubstrates montiert ist; ein erstes Filter, das im Wesentlichen direkt unterhalb der Leistungsverstärker-IC in einer Innenschicht des Mehrschichtsubstrates angeordnet ist, wobei das erste Filter eine Anzahl von Massedurchgangslöchern hat und die Massedurchgangslöcher die Doppelfunktion als Wärmedurchgangslöcher zum Ableiten von durch die Leistungsverstärker-IC erzeugter Wärme, haben.
  • Ferner sind die vorstehenden und weitere Aufgaben der vorliegenden Erfindung auch durch ein Hochfrequenzmodul gelöst, bestehend aus: einem Mehrschichtsubstrat; einer Leistungsverstärker-IC, die auf der oberen Oberfläche des Mehrschichtsubstrats montiert ist; einem ersten Filter, das im Wesentlichen direkt unterhalb der Leistungsverstärker-IC in einer Innenschicht des Mehrschichtsubstrats angeordnet ist; und eine Verdrahtungsstruktur in einer Innenschicht des Mehrschichtsubstrats, die zwischen dem Ausgangsende des ersten Filters und dem Eingangsende des Leistungsverstärkers eine Verbindung erzeugt, wobei die Verdrahtungsstruktur im Wesentlichen direkt unterhalb der Leistungsverstärker-IC angeordnet ist.
  • Auf diese Art und Weise kann gemäß der vorliegenden Erfindung ein kleines, Hochleistungs-Hochfrequenzmodul unter Aufrechterhaltung des Wärmeableiteigenschaften und des stabilen Betriebes des Leistungsverstärkers geschaffen werden.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Die vorstehenden und weitere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung gehen aus der folgenden detaillierten Beschreibung der Erfindung anhand der begleitenden Zeichnungen im Einzelnen hervor, in welchen zeigt:
  • 1 eine schematische Ansicht im Schnitt der Struktur eines Hochfrequenzmoduls gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 2A die Draufsicht auf das Mehrschichtsubstrat 10;
  • 2B eine Ansicht von unten auf das Mehrschichtsubstrat 10;
  • 3 ein Äquivalentschaltbild des Hochfrequenzmoduls 1;
  • 4 eine schematische Draufsicht auf das Strukturlayout jeder Schicht des Hochfrequenzmoduls 1;
  • 5 ein Blockschaltbild eines Beispiels der Konfiguration eines Hochfrequenzmoduls; und
  • 6 eine schematische Ansicht im Schnitt einer herkömmlichen Struktur des Hochfrequenzmoduls.
  • Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
  • Im Folgenden werden bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung anhand der begleitenden Zeichnungen im Einzelnen beschrieben.
  • 1 ist eine schematische Ansicht im Schnitt, die die Struktur eines Hochfrequenzmoduls einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • Wie in der 1 gezeigt, ist ein Hochfrequenzmodul 1 mit einem Mehrschichtsubstrat 10, einer Leistungsverstärker-IC 11, die auf einer oberen Oberfläche des Mehrschichtsubstrats 10 montiert ist, und ersten und zweiten Filtern 12, 13 versehen, die auf einer Innenschicht des Mehrschichtsubstrats 10 ausgebildet sind.
  • Das Mehrschichtsubstrat 10 ist ein Schaltungssubstrat, auf welchem eine Verdrahtungsstruktur auf eine Oberflächenschicht oder eine Innenschicht aufgedruckt ist. Vorzugsweise ist das Mehrschichtsubstrat 10 ein Keramiksubstrat mit einem ausgezeichneten Wärme- und Feuchtigkeitswiderstand sowie auch guten Hochfrequenzcharakteristika und insbesondere ist ein LTCC-(Tieftemperatur-Sinterkeramik)-Substrat vorzuziehen. Eine LTCC kann bei einer tieferen Temperatur von 900°C oder darunter gesintert werden. Daher können Ag, Cu und andere Metallmaterialien mit einem niedrigen Schmelzpunkt und ausgezeichneten Hochfrequenzcharakteristika als interne Verdrahtung verwendet werden, und es kann dadurch eine Verdrah tungsstruktur mit einem geringen Widerstandsverlust erzielt werden. Da die Verdrahtungsstruktur auch auf einer Innenschicht ausgebildet werden kann, ist die Ausbildung von mehreren Schichten erleichtert und die Größe kann reduziert und die Funktion verbessert werden, indem die LC-Funktion in dem Mehrschichtsubstrat 10 aufgenommen ist. Das Substrat ist für das Montieren der Leistungsverstärker-IC 11 von Vorteilt, weil die Wärmeableiteigenschaften ausgezeichnet sind.
  • In den oberen und unteren Flächen des Mehrschichtsubstrats 10 sind zahlreiche Eingangs/Ausgangs-Anschlüsse angeordnet. Insbesondere sind die Eingangsanschlüsse 16 und Ausgangsanschlüsse 17 für den Leistungsverstärker in der oberen Oberfläche des Mehrschichtsubstrates 10 vorgesehen. Die Eingangsanschlüsse 18 und die Ausgangsanschlüsse 19 für das Hochfrequenzmodul und die Masseanschlüsse 20 sind an der unteren Oberfläche des Mehrschichtsubstrats 10 angeordnet.
  • Die Leistungsverstärker-IC 11 ist eine Chipkomponente (Nacktchip), die auf dem Mehrschichtsubstrat 10 montiert ist. Gewöhnlicherweise sind Komponenten auf der Oberfläche des Mehrschichtsubstrats 10 mittels eines Die-Bonden-Schrittes montiert und sind mit anderen Elementen mittels Bondierdrähten und einer Verdrahtungsstruktur, die in einer Innenschicht oder an der Oberfläche des Mehrschichtsubstrats 10 ausgebildet ist, verbunden.
  • Das erste Filter 12 ist ein Bandpassfilter, das in der Vorstufe des Leistungsverstärkers angeordnet ist, und das zweite Filter 13 ist ein Tiefpassfilter, das in der Poststufe des Leistungsverstärkers angeordnet ist (siehe 5). In der vorliegenden Ausführungsform ist das erste Filter 12 vorzugsweise aus einem interdigitalen λ/4-Resonator gebildet. Gemäß dem interdigitalen λ/4-Resonator kann ein kleines, Hochleistungs-Symmetrie-Bandpassfilter erzielt werden und es kann leicht in einem Mehrschichtsubstrat aufgenommen sein.
  • Die ersten und zweiten Filter 12, 13 sind im Wesentlichen direkt unterhalb der Leistungsverstärker-IC 11 angeordnet. Hier verwendet bezieht sich der Ausdruck "im Wesentlichen direkt unterhalb" auf die Tatsache, dass die Position nicht perfekt direkt unterhalb liegt. Anders ausgedrückt, die Filter können so angeordnet sein, dass sie der Leistungsverstärker-IC 11 flach überlagert sind oder ausreichend so überla gert sind, dass sie zu einem kleineren Hochfrequenzmodul 1 beitragen. Der Grad der Überlagerung von jedem der ersten und zweiten Filter 12, 13 und der Leistungsverstärker-IC 11 kann in Übereinstimmung mit der Isolation und der Größe des Filters geeignet bemessen sein.
  • Zwischen dem erstem Filter 12 und dem zweiten Filter 13 sind eine Anzahl von kopplungsreduzierenden Massedurchgangslöchern 21 angeordnet. Wenn der Abstand zwischen dem ersten Filter 12 und dem zweiten Filter 13 verringert ist, besteht das Problem, dass die Filter elektromagnetisch koppeln und die Isolation verringert ist. Im Fall, dass die Isolation der Filter verglichen mit dem Verstärkungsfaktor des Leistungsverstärkers gering ist, wird der Leistungsverstärker mittels der Vor- und Nachstufenfilter mit einer Rückkopplung beaufschlagt, der Betrieb des Leistungsverstärkers wird instabil und im schlimmsten Fall wird der Leistungsverstärker oszillieren.
  • In der vorliegenden Ausführungsform kann jedoch eine Verringerung der Isolation verhindert werden und der Betrieb des Leistungsverstärkers kann stabilisiert werden, weil die kopplungsreduzierenden Massedurchgangslöcher 21 zwischen dem ersten Filter 12 und dem zweiten Filter 13 angeordnet sind. Da insbesondere die kopplungsreduzierenden Massedurchgangslöcher 21 die Doppelfunktion als Leistungsverstärker-Wärmedurchgangslöcher 22 haben, kann die Gesamtanzahl der Durchgangslöcher reduziert werden und die Größe des Hochfrequenzmoduls kann verringert werden.
  • Die Wärmedurchgangslöcher 22 (22a, 22b) sind direkt unterhalb der Leistungsverstärker-IC 11 angeordnet, um die durch die Leistungsverstärker-IC 11 erzeugte Wärme abzuleiten. Da jedoch die ersten und zweiten Filter 12, 13 im Wesentlichen direkt unterhalb der Leistungsverstärker-IC 11 angeordnet sind, gehen die Wärmedurchgangslöcher 22 der vorliegenden Ausführungsform nicht vollständig durch das Mehrschichtsubstrat 10 hindurch, sondern sind lediglich mit den Massestrukturen 23, 24, die in der Innenschicht des Mehrschichtsubstrats 10 ausgebildet sind, verbunden. Die Massestruktur 23 der oberen Schicht und die Massestruktur 24 der unteren Schicht sind mittels der kopplungsreduzierenden Massedurchgangslöcher 21 verbunden. Auf diese Weise können die kopplungsreduzierenden Massedurchgangslöcher 21 dazu gebracht werden, als Wärmedurchgangslöcher zu funktionieren, weil die kopplungsreduzierenden Massedurchgangslöcher 21 zwischen den oberen und unteren Wärmedurchgangslöchern 22a, 22b angeordnet sind.
  • Es ist eine größere Anzahl von Wärmedurchgangslöchern erforderlich, um die Wärme der Leistungsverstärker-IC 11 abzuleiten und es ist nicht ausreichend, dass die kopplungsreduzierenden Massedurchgangslöcher 21 als die einzigen Wärmedurchgangslöcher verwendet werden. In dem Fall, dass die ersten und zweiten Filter 12, 13 jedoch auf die vorstehend beschriebene Art und Weise angeordnet sind, ist es schwierig, zahlreiche Wärmedurchgangslöcher vorzusehen. Angesichts dieser Tatsache wird in der vorliegenden Ausführungsform das Problem gelöst, indem die Massedurchgangslöcher, welche das erste Filter 12 bilden gleichzeitig als Wärmedurchgangslöcher konstruiert sind.
  • Ein λ/2-Resonator ist auch als ein Symmetrie-Bandpassfilter bekannt, aber die Anzahl der Massedurchgangslöcher in einem kleinen λ/2-Resonator ist sehr gering. Im Gegensatz dazu hat der interdigitale λ/4-Resonator, welcher das erste Filter 12 bildet, zahlreiche Massedurchgangslöcher 26, die in der Konstruktion gebildet sind. In der vorliegenden Ausführungsform kann die Gesamtanzahl der Durchgangslöcher reduziert werden und das Hochfrequenzmodul kann in seiner Größe verkleinert werden, weil die Massedurchgangslöcher 26 als Leistungsverstärker-Wärmedurchgangslöcher verwendet werden. Der interdigitale λ/4-Resonator hat die Massedurchgangslöcher 26 und zahlreiche interdigitale Elektroden, und die Wärme kann auch auf die interdigitalen Elektroden übertragen werden, wodurch die Wärme abgeleitet werden kann. Daher kann von den interdigitalen Elektroden durch das Mehrschichtsubstrat 10 ein Wärmeableiteffekt erzielt werden.
  • Der Eingangsanschluss des ersten Filters 12 ist mit dem Eingangsanschluss 18 des Hochfrequenzmoduls an der Unterseite des Substrats mittels eines Durchgangsloches 27 verbunden. Der Ausgangsanschluss des ersten Filters 12 ist mit einem Eingangsanschluss 16 der Leistungsverstärker-IC an der Oberseite des Substrats mittels der Verdrahtung 28 und eines Durchgangsloches 29, welches direkt oberhalb des ersten Filters 12, das heißt im Wesentlichen direkt unterhalb der Leistungsverstärker-IC 11, verbunden, und ist mit einem I/O-Lötfleck an der Leistungsverstärker-IC 11 mittels eines Bondierdrahtes 30 vom Eingangsanschluss 16 verbunden.
  • Die Massestrukturen 23, 25 sind oberhalb und unterhalb der Verdrahtung 28, welche das erste Filter 12 in die Leistungsverstärker-IC 11 verbindet, angeordnet. Die Verdrahtung 28 ist dadurch durch eine Triplate-Streifenleitung gebildet. Der Grund hierfür wird im Folgenden beschrieben.
  • Ein Leistungsverstärkermodul ist ein Symmetrieeingang für ein Modul vom unsymmetrischen Ausgangstyp, und ein Symmetriefilter wird als das Vorstufen-Bandpassfilter verwendet (siehe 5). In diesem Fall muss die Verdrahtung des Symmetrieeingangs so kurz als möglich im Inneren des Moduls ausgeführt sein, weil Gleichtaktrauschen erzeugt wird, wenn die Impedanz oder die Länge der Verdrahtung des Symmetrieeingangs des Symmetriefilters unterschiedlich ist. Aus diesem Grund muss das abgeglichene Eingangsende des ersten Filters 12 so nahe als möglich zu dem Hochfrequenzmodul-Eingangsanschluss 18 angeordnet sein. Als Ergebnis ist die Position des nicht abgeglichenen Ausgangsendes des ersten Filters 12 an der gegenüberliegenden Seite des abgeglichenen Eingangsendes, das heißt direkt unterhalb der Leistungsverstärker-IC 11.
  • Die Verdrahtung 28 zwischen dem Ausgang des ersten Filters 12 und dem Eingang der Leistungsverstärker-IC 11 ist ebenfalls direkt unterhalb der Leistungsverstärker-IC 11 angeordnet und ist mit dem Eingangsende der Leistungsverstärker-IC 11 mittels des Durchgangsloches 29 und des Bondierdrahtes 30 verbunden. In diesem Fall ist die Länge der Verdrahtung der Ausgangseite des ersten Filters 12 länger als diejenige der Eingangsseite, aber die Wirkung ist nicht so groß wie die abgeglichene Leitung. Die Verdrahtung 28 ist ebenfalls eine Triplate-Streifenleitung und die Triplate-Streifenleitung hat einen geringeren Übertragungsverlust verglichen mit anderen Übertragungsleitungen (Mikrostreifenleitungen, koplanare Leitungen und dergleichen). Daher kann die Verschlechterung der Charakteristika in folge der Verdrahtung reduziert werden.
  • Als Nächstes wird im Einzelnen die spezifische Konfiguration des Hochfrequenzmoduls 1 gemäß der vorliegenden Erfindung beschrieben.
  • Die 2A und 2B sind Draufsichten, die die spezifische Konfiguration des Hochfrequenzmoduls 1 zeigen, wobei die 2A eine Draufsicht auf das Mehr schichtsubstrat 10 ist und die 2B eine Ansicht von unten derselben ist. 3 ist ein Äquivalentschaltbild des Hochfrequenzmoduls 1.
  • Wie in den 2A und 2B und der 3 gezeigt, hat das Hochfrequenzmodul 1 das Mehrschichtsubstrat 10 und hat zusätzlich zu der Leistungsverstärker-IC 11 einen Chip-Induktor 14 und Chip-Kondensatoren 15a bis 15d, die auf der oberen Oberfläche des Mehrschichtsubstrats 10 montiert sind. Die Chipkondensatoren 15a, 15b sind an einer Signalleitung des Leistungsverstärkers angeordnet; der Chip-Induktor 14 und die Chip-Kondensatoren 15c, 15d sind an der Stromquellenleitung des Leistungsverstärkers angeordnet; und die Chip-Kondensatoren sind an dem Mehrschichtsubstrat 10 mittels eines Reflow-Schrittes montiert. Die Chip-Kondensatoren 15a, 15b sind Gleichstrom blockierende Kondensatoren C17, C18, die zwischen die ersten und zweiten Filter 12, 13 und die Leistungsverstärker-IC eingesetzt sind. Die Chip-Kondensatoren 15c, 15d sind Nebenschlusskondensatoren C24, C25, die in der Stromquellenleitung der Leistungsverstärker-IC 11 angeordnet sind. Der Chip-Induktor 14 ist eine Drosselspule 112, die in der Stromquellenleitung des Leistungsverstärkers angeordnet ist. Die I/O-Lötflecken der Leistungsverstärker-IC 11 sind mit den entsprechenden I/O-Anschlüssen auf dem Mehrschichtsubstrat 10 mittels der Bondierdrähte 30 verbunden. Ein Masseanschluss ist in der Mitte der unteren Oberfläche des Mehrschichtsubstrats 10 angeordnet, wie dies in der 2B gezeigt ist, und I/O-Anschlüsse, die mit der Stromquellenleitung der Signalleitung, der Masseelektrodenstruktur und der Gleichen verbunden sind, sind entlang dem Umfang des Masseanschlusses angeordnet. Insbesondere dient der große Masseanschluss in der Mitte dazu, die Wärmeableiteigenschaften und die Verbindungsfestigkeit sicher zustellen.
  • 4 ist eine schematische Draufsicht, die das Strukturlayout jeder Schicht des Hochfrequenzmoduls 1 zeigt.
  • Das Mehrschichtsubstrat 10 des Hochfrequenzmoduls 1 ist durch Schichten von 20 Schichten einer isolierenden Folie gebildet, und die Verdrahtung oder irgendeine andere Leitungsstruktur ist oberhalb und unterhalb der vielfach geschichteten Folie und zwischen den Schichten ausgebildet, wie dies in der 4 gezeigt ist. Daher hat die Verdrahtungsschicht 21 Schichten. Im Einzelnen sind die ersten bis 20. Verdrahtungsschichten 101 bis 120 jeweils auf der obersten Oberfläche der ersten bis 20. Isolierfolien ausgebildet, und die 21. Verdrahtungsschicht 121 ist auf der Rückseite der 20. Isolierfolie ausgebildet. Anders ausgedrückt, die erste Verdrahtungsschicht 101 ist auf der oberen Oberfläche des Mehrschichtsubstrats 10 ausgebildet, die 21. Verdrahtungsschicht 121 ist auf der unteren Oberfläche des Mehrschichtsubstrats 10 ausgebildet und die zweiten bis 20. Verdrahtungsschichten sind jeweils in den inneren Schichten des Mehrschichtsubstrats 10 ausgebildet. Die Isolierfolie, auf welcher die 20. Verdrahtungsschicht 120 ausgebildet ist, wird gemeinsam verwendet. In jeder Verdrahtungsschicht sind durch die isolierenden Folien auch Durchgangslöcher ausgebildet. Allen Leiterstrukturen und Durchgangslöchern ist nicht immer eine Bezugsziffer zugewiesen, aber die schraffierten Teile sind das Leitermuster und die kreisförmigen Teile sind die Durchgangslöcher.
  • Von den ersten bis dritten Verdrahtungsschichten 101 bis 103 sind zahlreiche Wärmedurchgangslöcher 22a vorgesehen. Die Wärmedurchgangslöcher 22a sind unterhalb der Leistungsverstärker-IC 11 angeordnet und sind in Oberflächenrichtung in im Wesentlichen gleichen Abständen aufgereicht.
  • Das Massemuster 23 ist auf der vierten Verdrahtungsschicht 104 angeordnet und das Massemuster 24 ist auf der 19. Verdrahtungsschicht 119 angeordnet. Die Massemuster 23, 24 sind über einen weiten Bereich der Substratoberfläche angeordnet und decken die Oberseite und Unterseite der ersten und zweiten Filter 12, 13 ab. Die unteren Enden der Wärmedurchgangslöcher 22a sind mit dem Massemuster 23 verbunden.
  • Eine Anzahl von kopplungsreduzierenden Massedurchgangslöchern 21 sind von den vierten bis 18. Verdrahtungsschichten 104 bis 118 vorgesehen. Die oberen Enden der Massedurchgangslöcher 21 sind mit dem Massemuster 23 der vierten Verdrahtungsschicht 104 verbunden und die unteren Enden sind mit dem Massemuster 24 der 19. Verdrahtungsschicht 119 verbunden. Des Massemuster 24 der 19. Verdrahtungsschicht 119 ist mit den Masseanschlüssen 20 (GND) der 21. Verdrahtungsschicht 121 mittels zahlreicher Massedurchgangslöcher 22b verbunden, die im Wesentlichen in der Mitte des Substrats vorgesehen sind. Das Massemuster 24 ist auch mit den anderen Masseanschlüssen GND der 21. Verdrahtungsschicht 121 mittels Massedurchgangslöchern 31 verbunden, die im Umfangsteils der Substrats ange ordnet sind. Auf diese Weise sind die kopplungsreduzierenden Massedurchgangslöcher 21 mit der Massestruktur verbunden.
  • Die Anzahl der kopplungsreduzierenden Massedurchgangslöcher 21 sind im Wesentlichen linear entlang der Richtung rechtwinkelig zur Längsrichtung des Mehrschichtsubstrats 10 aufgereiht. Das erste Filter 12 und das zweiter Filter 13 sind jeweils in 2 ebenen Bereichen angeordnet, die durch die kopplungsreduzierenden Massedurchgangslöcher 21 unterteilt sind, und das Layout der Filter wird unterstützt.
  • Die Fläche der Unterseite der kopplungsreduzierenden Massedurchgangslöcher 21 ist hinsichtlich der Zeichnung die Ausbildungsfläche des ersten Filters 12. Die Fläche der Oberseite der kopplungsreduzierenden Massedurchgangslöcher 21 ist hinsichtlich der Zeichnung die Ausbildungsfläche des zweiten Filters 13. Die ersten und zweiten Filter 12, 13 sind aus Leiterstrukturen der fünften bis 18. Verdrahtungsschichten 105 bis 118 sowie auch der diese verbindenden Durchgangslöcher zusammengesetzt. Insbesondere ist das erste Filter 12 aus den Übertragungsleitungsstrukturen L1 bis L8 und den Kapazitätsstrukturen C1 bis C16 aufgebaut; und das zweite Filter 13 ist aus den Induktanzstrukturen L10 bis L11 sowie den Kapazitätsstrukturen C19 bis C23 aufgebaut.
  • Die direkt unter der Leistungsverstärker-IC 11 angeordneten Wärmedurchgangslöcher 22 sind auf herkömmliche Weise nicht mit den Masseanschlüssen 20 der unteren Oberfläche durch alle Schichten hindurchgehend, verbunden. Die für die Leistungsverstärker-IC 11 vorgesehenen Wärmedurchgangslöcher 22 sind jedoch nicht erforderlich, weil die kopplungsreduzierenden Massedurchgangslöcher 21 als Wärmedurchgangslöcher dienen und die zahlreichen Massedurchgangslöcher 26 des ersten Filters 12 ebenfalls als Wärmedurchgangslöcher 22 dienen.
  • Die Chip-Kondensatoren 15a, 15b sind Gleichstrom blockierende Kondensatoren D17, D18 und sind zwischen die ersten und zweiten Filter 12, 13 und die Leistungsverstärker-IC eingesetzt. Eine Verdrahtungsstruktur 28 (Verdrahtungsstruktur L9), die das Ausgangsende der ersten Filters 12 und ein Ende des Gleichstrom blockierenden Kondensators C17 verbindet, ist auf der siebten Verdrahtungsschicht 107 angeordnet. Die Mehrzahl der Verdrahtungsstrukturen 28 ist direkt unterhalb der Leistungsverstärker-IC 11 angeordnet, ein Ende ist mit den Gleichstrom blockieren den Kondensatoren mittels eines Durchgangsloches 33 verbunden und das andere Ende ist mit dem Ausgangsende des ersten Filters 12 mittels eines Durchgangsloches 32 verbunden.
  • Die Verdrahtungsstruktur 28 bildet eine Triplate-Streifenleitung und eine Massestruktur ist oberhalb und unterhalb angeordnet. Anders ausgedrückt, die Verdrahtungsstruktur 28 ist zwischen die Massestruktur 23 der vierten Verdrahtungsschicht 104 und die Massestruktur 25 der zehnten Verdrahtungsschicht 110 geschichtet. Die Abstände von der Verdrahtungsstruktur 28 bis zu den Massestrukturen 23, 25 sind gleich (ein Abstand gleich drei Schichten). Die oberen und unteren Masseoberflächen (in diesem besonderen Fall die Massestruktur 25), von denen es erforderlich ist, das sie eine Triplate-Streifenleitung bilden, können lediglich durch Verbinden einer vorbestimmten Leiterstruktur mit den Massedurchgangslöchern 26 leicht gebildet werden, weil der interdigitale λ/4-Resonator zahlreiche Massedurchgangslöcher 26 hat. Auf diese Weise kann die Verdrahtungsstruktur 28 als eine Triplate-Streifenleitung konfiguriert werden, indem die Massestrukturen 23, 25 oberhalb und unterhalb der Verdrahtungsstruktur 28 vorgesehen werden und die durch eine verlängerte Verdrahtungslänge hervorgerufene Verschlechterung der Einfügungsdämpfung kann verhindert werden.
  • Wie in Verbindung mit dem Hochfrequenzmodul 1 vorliegenden Ausführungsform vorstehend beschrieben, wird die Isolation selbst dann nicht verringert, wenn das erste Filter 12 und das zweite Filter 13 nahe beieinander angeordnet sind, weil die ersten und zweiten Filter 12, 13 direkt unterhalb der Leistungsverstärker-IC 11 angeordnet sind und die kopplungsreduzierenden Massedurchgangslöcher 21 zwischen den Filtern auch als Wärmedurchgangslöcher der Leistungsverstärker-IC 11 verwendet werden. Daher kann die Gesamtgröße des Moduls unter Aufrechterhaltung des stabilen Betriebes des Leistungsverstärkers sowie auch der Wärmeableiteigenschaften des Leistungsverstärkers verkleinert werden.
  • Gemäß dem Hochfrequenzmodul 1 der vorliegenden Ausführungsform kann auf ein zugeordnetes Hochfrequenzmodul 2 für den Leitungsverstärker verzichtet werden, weil die Massedurchgangslöcher des interdigitalen λ/4-Resonators, der das erste Filter 12 ist, auch als Wärmedurchgangslöcher der Leistungsverstärker-IC verwendet werden. Daher können die ersten und zweiten Filter 12, 13 direkt unterhalb der Leistungsverstärker-IC 11 angeordnet sein, was herkömmlicherweise der Ausbildungsbereich der Wärmedurchgangslöcher 22 ist. Anders ausgedrückt, das Modul kann in seiner Gesamtgröße unter Aufrechterhaltung der Wärmeableiteigenschaften des Leistungsverstärkers reduziert werden.
  • Wenn die interdigitalen Elektroden als ein Teil des Resonanzfilters verwendet werden, kann der Q-Wert erhöht werden, während die Größe des Resonators reduziert wird und die I/O-Symmetrierumwandlung kann verglichen mit beispielsweise einem gewöhnlichen Dipol- oder Tripol-Resonanzfilter (siehe offengelegte japanische Patentanmeldung Nr. 2007-235435 ) leicht ausgeführt werden. Weiterhin hat die Struktur verglichen mit dem gewöhnlichen Resonanzfilter zahlreiche (in der vorliegenden Ausführungsform vier Paare (acht)) interdigitale Elektroden, da diese alle mit einer Masseelektrode verbunden sind, wobei der Wärmeableiteffekt weiter verbessert werden kann, indem die Wärmedurchgangslöcher mit den interdigitalen Elektroden verbunden sind.
  • Gemäß dem Hochfrequenzmodul 1 der vorliegenden Ausführungsform kann die Impedanzanpassung zwischen der Leistungsverstärker-IC 11 und dem ersten Filter 12 zuverlässig erzielt werden, da die Verdrahtung 28 zum Verbinden des Eingangsendes der Leistungsverstärker-IC 11 und des Ausgangsendes des interdigitalen λ/4-Resonator, der das erste Filter 12 ist, direkt unterhalb der Leistungsverstärker-IC 11 angeordnet ist, und da die Verdrahtung 28 als eine Triplate-Streifenleitung konfiguriert ist. Selbst wo die Impedanzanpassung zwischen der Leistungsverstärker-IC 11 und dem erstem Filter 12 verloren geht, kann die Impedanzanpassung zwischen der Leistungsverstärker-IC 11 und dem erstem Filter 12 leicht eingestellt werden, ohne dass der Elementwert des Filters geändert wird, solange als die Höhe von der Triplate-Streifenleitung bis zur Masse eingestellt ist und die Charakteristikimpedanz variiert ist.
  • Die vorliegende Erfindung ist somit unter Bezugnahme auf spezifische Ausführungsformen gezeigt und beschrieben worden. Es ist jedoch anzumerken, dass die vorliegende Erfindung in keiner Weise auf die Einzelheiten der beschriebenen Anordnungen begrenzt ist, sondern dass Änderungen und Modifikationen ohne Abweichen vom Umfang der anhängenden Patentansprüche durchgeführt werden können.
  • Beispielsweise wird in den vorstehend beschriebenen Ausführungsformen ein interdigitaler λ/4-Resonator als erstes Filter 12 verwendet, aber die vorliegende Erfindung ist nicht auf einen interdigitalen λ/4-Resonator begrenzt und es können verschiedene Filterstrukturen verwendet werden. Das Filter ist in diesem Fall vorzugsweise mit so vielen Massedurchgangslöchern wie möglich versehen.
  • Der interdigitale λ/4-Resonator ist nicht auf die in den 2 und 3 gezeigte Schaltungsstruktur begrenzt und es ist auch eine Konfiguration möglich, bei der beispielsweise alle oder ein Teil der Kapazität-[Strukturen] C1 bis C16 weggelassen werden.
  • In den vorstehend beschriebenen Ausführungsformen sind die ersten und zweiten Filter 12, 13 im Wesentlichen direkt unterhalb der Leistungsverstärker-IC 11 angeordnet, aber die vorliegende Erfindung ist nicht darauf begrenzt und jedes Element kann unter der Leistungsverstärker-IC angeordnet sein.
  • Bei den vorstehend beschriebenen Ausführungsformen sind die Kondensatoren C17, C18 zwischen Vor- und Nachstufenfiltern 12, 13 und der Leistungsverstärker-IC 11 angeordnet, aber es ist nicht erforderlich, dass diese Kondensatoren vorgesehen sind. Ein Kondensator oder ein anderes Schaltungselement kann in der Vorstufe des ersten Filters 12 und der Nachstufe des zweiten Filters 13 angeordnet sein.
  • Das Hochfrequenzmodul gemäß der vorliegenden Erfindung ist nicht auf eine Schaltungskonfiguration begrenzt, die aus dem ersten Filter, der Leistungsverstärker-IC 11 und dem zweiten Filter 13 zusammengesetzt ist und kann als ein Teil eines Großintegrations-Hochfrequenzmodul mit einem RF-Antennenschaltschaltungsteil integriert sein, wie dies beispielweise in der offengelegten japanischen Patentanmeldung Nr. 2006-157880 beschrieben ist.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
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    • - JP 2006-121147 [0007]
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    • - JP 2004-235877 [0009]
    • - JP 2005-244336 [0009, 0009]
    • - JP 2006-157880 [0009, 0067]
    • - JP 2007-235435 [0009, 0060]

Claims (15)

  1. Hochfrequenzmodul, mit: einem Mehrschichtsubstrat; einer Leistungsverstärker-IC, die auf der oberen Oberfläche des Mehrschichtsubstrates montiert ist; ersten und zweiten Filtern, die im Wesentlichen direkt unterhalb der Leistungsverstärker-IC in einer inneren Schicht des Mehrschichtsubstrates angeordnet sind; und kopplungsreduzierenden Massedurchgangslöchern, die zwischen dem ersten Filter und dem zweiten Filter angeordnet sind, wobei wenigstens das erste Filter im Wesentlichen direkt unterhalb der Leistungsverstärker-IC angeordnet ist, und die kopplungsreduzierenden Massedurchgangslöcher die Doppelfunktion als Wärmedurchgangslöcher zum Ableiten von durch die Leistungsverstärker-IC erzeugten Wärme haben.
  2. Hochfrequenzmodul nach Anspruch 1, weiterhin mit einer Massestruktur, die in einer Innenschicht des Mehrschichtsubstrats gebildet ist, wobei die kopplungsreduzierenden Massedurchgangslöcher mit der Massestruktur verbunden sind.
  3. Hochfrequenzmodul nach Anspruch 1 oder 2, wobei das erste Filter mit einem Eingangsende der Leistungsverstärker-IC verbunden ist und das zweite Filter mit einem Ausgangsende der Leistungsverstärker-IC verbunden ist.
  4. Hochfrequenzmodul nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei das erste Filter aus einem 1/4-Wellenlängen-(λ/4)-Resonator in welchem eine interdigitale Elektrode verwendet ist, aufgebaut ist.
  5. Hochfrequenzmodul nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei das zweite Filter im Wesentlichen direkt unterhalb der Leistungsverstärker-IC angeordnet ist.
  6. Hochfrequenzmodul nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei das erste Filter eine Anzahl von Massedurchgangslöchern hat und die Massedurchgangslöcher die Doppelfunktion als Wärmedurchgangslöcher zum Ableiten der von der Leistungsverstärker-IC erzeugten Wärme haben.
  7. Hochfrequenzmodul nach Anspruch 6, wobei die Massedurchgangslöcher mit der Massestruktur verbunden sind.
  8. Hochfrequenzmodul nach einem der Ansprüche 1 bis 7, weiterhin mit einer Verdrahtungsstruktur, die in einer Innenschicht des Mehrschichtsubstrats angeordnet ist und zwischen dem Ausgangsende des ersten Filters und dem Eingangsende des Leistungsverstärkers eine Verbindung erzeugt.
  9. Hochfrequenzmodul nach Anspruch 8, wobei die Verdrahtungsstruktur als eine Triplate-Streifenleitung gebildet ist.
  10. Hochfrequenzmodul, mit: einem Mehrschichtsubstrat; einer Leistungsverstärker-IC, die auf der oberen Oberfläche des Mehrschichtsubstrats montiert ist; einem erstem Filter, das in Wesentlichen direkt unterhalb der Leistungsverstärker-IC in einer inneren Schicht des Mehrschichtsubstrats angeordnet ist, wobei das erste Filter eine Anzahl von Massedurchgangslöchern hat, und die Massedurchgangslöcher die Doppelfunktion als Wärmedurchgangslöcher zum Ableiten der von der Leistungsverstärker-IC erzeugten Wärme, haben.
  11. Hochfrequenzmodul nach Anspruch 10, weiterhin mit einer Massestruktur, die in einer Innenschicht des Mehrschichtsubstrats ausgebildet ist, wobei die kopplungsreduzierenden Massedurchgangslöcher mit der Massestruktur verbunden sind.
  12. Hochfrequenzmodul nach Anspruch 10 oder 11, wobei das erste Filter mit einem Eingangsende der Leistungsverstärker-IC verbunden ist, und das zweite Filter mit einem Ausgangsende der Leistungsverstärker-IC verbunden ist.
  13. Hochfrequenzmodul nach einem der Ansprüche 10 bis 12, wobei das erste Filter aus einem 1/4-Wellenlängen-(λ/4)-Resonator, in welchem eine interdigitale Elektrode verwendet ist, aufgebaut ist.
  14. Hochfrequenzmodul, mit: einem Mehrschichtsubstrat; einer Leistungsverstärker-IC, die auf der oberen Oberfläche des Mehrschichtsubstrats montiert ist; einem ersten Filter, das im Wesentlichen direkt unter der Leistungverstärker-IC in einer inneren Schicht des Mehrschichtsubstrats angeordnet ist; und einer Verdrahtungsstruktur, die in der Innenschicht des Mehrschichtsubstrats vorgesehen ist und zwischen dem Ausgangsende des ersten Filters und dem Eingangsende des Leistungsverstärkers eine Verbindung erzeugt, wobei die Verdrahtungsstruktur im Wesentlichen direkt unterhalb der Leistungsverstärker-IC angeordnet ist.
  15. Hochfrequenzmodul nach Anspruch 14, wobei die Verdrahtungsstruktur als eine Triplate-Streifenleitung gebildet ist.
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