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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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1. Technisches Gebiet
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Schwingungssteuerungssockel
bzw. einen Schwingungsdämpfungssockel
und ein Installationsverfahren desselben und insbesondere auf einen Schwingungssteuerungssockel
für eine
Halbleiterausrüstung,
der verwendet wird, um eine Halbleiterausrüstung zu installieren, und
ein Installationsverfahren desselben.
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2. Erörterung der verwandten Technik
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Allgemein
wird eine Mehrzahl von Halbleiterausrüstungen zum Durchführen von
Grundverfahren, wie eines Fotolithografieverfahrens, eines Ätzverfahrens,
eines Dünnfilmaufbringungsverfahrens
und so weiter, in einer Halbleiterfertigungslinie zum Verarbeiten
eines Wafers und Fertigen einer Halbleitervorrichtung verwendet.
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Da
die meisten Halbleiterausrüstungen
mit präzisen
Verfahren einhergehen, sind dieselben sehr empfindlich gegen Schwingungen
oder andere umweltbedingte Wirkungen, die von außen übertragen werden. Eine Fotolithografieausrüstung, die
zum Durchführen
verzweigter Fotolithografieverfahren verwendet wird, erfordert beispielsweise
eine bedeutende Präzision,
wenn ein Halbleiterschaltungsmuster, das auf ein Fotomaskensubstrat
gezeichnet ist, auf einen Wafer übertragen
wird. Aus diesem Grund ist eine Fotolithografieausrüstung besonders
empfindlich gegen Schwingungen, die von außen weitergegeben werden.
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Wenn
Halbleiterausrüstungen,
die die Fotolithografieausrüstung
umfassen, in einer Halbleiterfertigungslinie installiert werden,
wird die Halbleiterausrüstung
gewöhnlich
auf einem Schwingungssteuerungssockel zum teilweisen Absorbieren
und Dämpfen
von äußeren Schwingungen
installiert und nicht direkt auf einer Bodenoberfläche der
Halbleiterfertigungslinie installiert. Mit anderen Worten, der Schwingungssteuerungssockel
wird im Voraus an einer speziellen Position installiert; und dann
wird die Halbleiterausrüstung
auf dem Schwingungssteuerungssockel installiert.
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Der
herkömmliche
Schwingungssteuerungssockel, der bei der Halbleiterfertigungslinie
installiert wird, trägt
eine einzelne Fertigungsausrüstung
unter Verwendung einer einzelnen Körperstruktur, die nicht auseinander
genommen wird. Daher ist es, wenn die Halbleiterausrüstung bewegt
wird, aufgrund dessen Größe und Struktur
unmöglich,
den bereits installierten Schwingungssteuerungssockel zu bewegen. Schließlich wird,
wenn die Halbleiterausrüstung
bewegt wird, der bereits installierte Schwingungssteuerungssockel
zerlegt, und ein neuer Schwingungssteuerungssockel wird an einer
Position nächst
dem Ort, wo die Halbleiterausrüstung
neu installiert wird, installiert. In diesem Fall können aufgrund
des Zerlegens des Schwingungssteuerungssockels Partikel und Schwingungen
in der Halbleiterfertigungslinie erzeugt werden, was die Halbleiterfertigungsumgebung
negativ beeinflusst. Eine Installation eines neuen Schwingungssteuerungssockels
bringt ferner zusätzlichen
Aufwand mit sich und kann ein zeitraubender Vorgang sein. Es bleibt
demgemäß eine Notwendigkeit
für einen
verbesserten Schwingungssteuerungssockel und ein verbessertes Installationsverfahren
desselben.
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ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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Die
vorliegende Erfindung ist daher darauf gerichtet, einen Schwingungssteuerungssockel
und ein Installationsverfahren desselben zu schaffen, die geeignet
sind, ohne weiteres den Sockel zu installieren und ein Zusammenbauen
und Auseinandernehmen des Sockels zu ermöglichen. Eine andere Aufgabe
der vorliegenden Erfindung besteht darin, einen Schwingungssteuerungssockel
für eine
Halbleiterausrüstung
zu schaffen, der geeignet ist, ohne weiteres den Sockel zu installieren
und ein Zusammenbauen und Auseinandernehmen des Sockels zu ermöglichen,
während
eine Schwingung und Partikel reduziert werden.
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Ein
Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung umfasst einen Schwingungssteuerungssockel,
der eine Bodenstruktur, die eine Mehrzahl von Trägerbalken aufweist, einen Ausrüstungsträgerkörper, der
mindestens zwei Ausrüstungsträgerzellen hat,
wobei die Trägerbalken
strukturiert sind, um den Ausrüstungsträgerkörper zu
versteifen, und mindestens eine Zellenverbindungseinheit, die sich
durch Seitenoberflächen
der mindestens zwei Ausrüstungsträgerzellen
lateral ausdehnt, um die mindestens zwei Ausrüstungsträgerzellen miteinander zu koppeln,
aufweist.
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Ein
anderes Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung umfasst ein Verfahren zum Reduzieren
von Partikeln und Schwingungen während
eines Bewegens einer Halbleiterausrüstung von einem Schwingungssteuerungssockel
zu einem anderen, das ein Vorbereiten einer ersten Bodenstruktur,
ein lösbares
Anbringen von mindestens zwei rechteckigen Trägerzellen mit planaren Oberflächen an
der ersten Bodenstruktur, ein laterales Ausdehnen von mindestens
einer Zellenverbindungseinheit durch Seitenoberflächen der
mindestens zwei Trägerzellen, um
die mindestens zwei Trägerzellen
miteinander zu koppeln, ein Platzieren der Halbleiterausrüstung auf den
mindestens zwei Trägerzellen,
ein Lösen
der mindestens zwei Trägerzellen
von der ersten Bodenstruktur, und ein Bewegen der mindestens zwei Trägerzellen
zu einer zweiten Bodenstruktur, während die Platzierung der Halbleiterausrüstung auf den
mindestens zwei Trägerzellen
beibehalten wird, aufweist.
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KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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Die
vorhergehenden und andere Merkmale und Vorteile der vorliegenden
Erfindung werden für Fachleute
durch detailliertes Beschreiben von bevorzugten Ausführungsbeispielen
derselben unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen offensichtlicher.
Es zeigen:
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1 eine
perspektivische Ansicht eines Schwingungssteuerungssockels gemäß einem
exemplarischen Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung;
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2 eine
Querschnittsansicht entlang der Linie I-I' von 1;
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3 eine
Querschnittsansicht entlang der Linie II-II' von 1;
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4 eine
perspektivische Explosionsansicht des Schwingungssteuerungssockels
von 1;
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5 eine
perspektivische Ansicht eines Skeletts einer Ausrüstungsträgerzelle,
die in einem Ausführungsbeispiel
des Schwingungssteuerungssockels der vorliegenden Erfindung verwendet
ist;
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6 eine
perspektivische Ansicht des Schwingungssteuerungssockels der vorliegenden Erfindung,
bei dem eine Halbleiterausrüstung
installiert ist; und
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7 ein
Flussdiagramm, das ein Verfahren zum Installieren eines Schwingungssteuerungssockels
gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt.
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DETAILLIERTE BESCHREIBUNG
DER ERFINDUNG
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Die
vorliegende Erfindung ist im Folgenden unter Bezugnahme auf die
beigefügten
Zeichnungen, in denen bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung
gezeigt sind, vollständiger
beschrieben. Diese Erfindung kann jedoch in vielen unterschiedlichen Formen
ausgeführt
sein und sollte nicht als auf die hierin dargelegten Ausführungsbei spiele
begrenzt aufgefasst werden. Diese Ausführungsbeispiele sind vielmehr
vorgesehen, so dass diese Offenbarung gründlich und lückenlos
ist und Fachleuten den Schutzbereich der Erfindung vollständig vermittelt.
In den Zeichnungen sind die Dicken von Schichten und Regionen zwecks
einer Klarheit übertrieben.
In der gesamten Beschreibung beziehen sich gleiche Zahlen auf gleiche
Elemente.
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1 ist
eine perspektivische Ansicht eines Schwingungssteuerungssockels
gemäß einem
exemplarischen Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung. 2 ist eine
Querschnittsansicht entlang der Linie I-I' von 1. 3 ist
eine Querschnittsansicht entlang der Linie II-II' von 1. 4 ist eine
perspektivische Explosionsansicht des Schwingungssteuerungssockels
von 1. 5 ist eine perspektivische Ansicht
eines Skeletts einer Ausrüstungsträgerzelle,
die in einem Ausführungsbeispiel des
Schwingungssteuerungssockels der vorliegenden Erfindung verwendet
ist. Und 6 ist eine perspektivische Ansicht
des Schwingungssteuerungssockels der vorliegenden Erfindung, bei
dem eine Halbleiterausrüstung
installiert ist.
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Wie
in 1 bis 6 gezeigt ist, umfasst ein Schwingungssteuerungssockel
gemäß einem
exemplarischen Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung einen Schwingungssteuerungssockel 100, der
unter einer Halbleiterausrüstung 200 installiert ist,
um die Halbleiterausrüstung
auf eine zusammengebaute und eine auseinandergenommene Art und Weise
zu tragen. Der Schwingungssteuerungssockel 100 gemäß den Ausführungsbeispielen
der vorliegenden Erfindung kann beispielsweise als ein Schwingungssteuerungssockel
für eine
Vielfalt von Halbleiterausrüstungen 200,
die beispielsweise eine Fotolithografieausrüstung umfassen, verwendet sein. Fachleute
werden erkennen, dass der Schwingungssteuerungssockel 100 neben
der Halbleiterausrüstung 200 mit
Präzisionsausrüstungen
unterschiedlicher Arten, die einen sehr genauen Betrieb erfordern, verwendet
sein kann.
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Genauer
gesagt, der Schwingungssteuerungssockel 100 gemäß einem
exemplarischen Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung umfasst einen Ausrüstungsträgerkörper 110 zum Tragen
der Ausrüstung 200,
eine Bodenstruktur 150, die unter dem Ausrüstungsträgerkörper 110 installiert
ist, eine Verbindungsplatte 160, die zwischen den Ausrüstungsträgerkörper 110 und
die Bodenstruktur 150 gebracht ist, und eine Fixiereinheit
zum Fixieren des Ausrüstungsträgerkörpers 110,
der Bodenstruktur 150 und der Verbindungsplatte 160 aneinander.
Der Ausrüstungsträgerkörper 110 umfasst
mindestens zwei rechteckige Ausrüstungsträgerzellen 120 mit
jeweils einer planaren Oberfläche
zum direkten Tragen einer Ausrüstung 200 (z.
B. einer Halbleiterausrüstung),
die auf den Ausrüstungsträgerzellen
platziert ist. Eine Zellenverbindungseinheit 130 kann durch Seitenoberflächen der
Ausrüstungsträgerzellen 120 gehen,
um die Ausrüstungsträgerzellen 120 miteinander
zu koppeln.
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Die
Ausrüstungsträgerzelle 120 kann
eine rechteckige Ausfachung 122, in die ein Beton 121 gegossen
ist, und ein Verbindungsrohr (z. B. 128a und 128b),
das installiert ist, um durch die Ausfachung 122 in einer
lateralen Richtung derselben zu gehen, haben. Die Zellenverbindungseinheit 130 kann
die Ausrüstungsträgerzellen 120 durch
das Medium des Verbindungsrohrs, das installiert ist, um durch die Ausfachung 122 zu
gehen, koppeln. Das Verbindungsrohr kann ein erstes Verbindungsrohr 128a, das
in einer Breitenrichtung durch die Ausfachung 122 geht,
und ein zweites Verbindungsrohr 128b, das in einer Längenrichtung
durch die Ausfachung 122 geht, umfassen. Bei diesem Ausführungsbeispiel kann
die Zellenverbindungseinheit 130 die Ausrüstungsträgerzellen 120 durch
das Medium des ersten Verbindungsrohrs 128a, das in einer
Breitenrichtung der Ausfachung 122 installiert ist, in
einer Breitenrichtung miteinander koppeln oder die Ausrüstungsträgerzellen 120 durch
das Medium des zweiten Verbindungsrohrs 128b, das in einer
Längenrichtung
der Ausfachung 122 installiert ist, in einer Längenrichtung
miteinander koppeln. Letztlich können
die Ausrüstungsträgerzellen 120 unter
Verwendung der Verbindungsrohre 128a und 128b und
der in einer Breiten- und einer Längenrichtung in denselben installierten
Zellenverbindungseinheit 130 in eine Gitterform, wie in 1 gezeigt,
gekoppelt sein.
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Genauer
gesagt, in einer Mitte der Ausfachung 122 kann ein Betongussteil 124,
in den der Beton 121 gegossen ist, vorgesehen sein, und
an einer Peripherie der Ausfachung 122 kann ein Halterungsteil 125 zum
Fixieren der Ausfachung 122 an der Boden struktur 150 vorgesehen
sein. Zusätzlich
kann ein oberer Teil der Ausfachung 122 geöffnet sein,
um den Beton 121 in den Mittelteil desselben einzuleiten, und
bei einem unteren Teil der Ausfachung 122 kann eine Verschlussplatte 123 installiert
sein, um den eingeleiteten Beton 121 zu tragen. Der Beton 121 kann daher
in den oberen Teil der Ausfachung 122 eingeleitet werden
und in dem Betongussteil 124 als dem Mittelteil der Ausfachung 122 ausgehärtet werden. Unterdessen
können
in dem Feld 122 Trennwände 126 installiert
sein, um einen inneren Raum der Ausfachung 122 zu teilen
und die Stärke
der Ausfachung zu verstärken.
Bei diesem Ausführungsbeispiel
kann der Beton 121 in die inneren Räume der Ausfachung 122,
die durch die Trennwände 126 getrennt
sind, eingeleitet werden und darin ausgehärtet werden. Zusätzlich kann
ferner an einer oberen Peripherie der Ausfachung 122 entlang
der Peripherie der Ausfachung 122 eine Begrenzung 129 mit
einer vordefinierten Höhe
installiert sein. Bei diesem Ausführungsbeispiel kann der Beton 121 ferner
in den oberen Teil der Ausfachung 122, d. h. den inneren
Raum, der durch die Begrenzung 129 definiert ist, sowie
den inneren Teil der Ausfachung 122 gegossen werden. Als
ein Resultat wird die Stärke
der Ausfachung 122, da der Beton 121, der in die
Ausfachung 122 gegossen ist, eine größere Dicke hat, weiter erhöht. Das Bezugszeichen 127 bezeichnet
Bolzenlöcher,
die bei dem Halterungsteil 125 gebildet sind, in die Peripheriefixierbolzen 172 eingesetzt
werden können,
die zu beschreiben sind.
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Wie
im Vorhergehenden beschrieben, kann die Zellenverbindungseinheit 130 eine
Einsatzstange (z. B. 132a und 132b) zum Verbinden
der Ausrüstungsträgerzellen 120 miteinander,
die in das Verbindungsrohr (z. B. 128a und 128b)
eingesetzt wird, umfassen. Fixierglieder (z. B. 134a und 134b)
können an
beiden Enden der Einsatzstange befestigt sein, um die Einsatzstange
an der Ausfachung 122 zu fixieren. Die Einsatzstange kann
ein Stiftbolzen mit Gewindeteilen sein, die an beiden Enden desselben gebildet
sind. Die Fixierglieder können
Muttern sein, die an beiden Enden mit dem Stiftbolzen gewindemäßig in Eingriff
gebracht sind. Insofern kann eine Bedienungsperson, wenn die Ausrüstungsträgerzellen 120 miteinander
zu verbinden sind, den Stiftbolzen in das vorher bei der Ausfachung 122 installierte
Verbindungsrohr einsetzen. Die Bedienungsperson kann dann die Mutter
an beiden Enden des Stiftbolzens befestigen, wodurch die Ausrüstungsträgerzellen 120 miteinander
verbunden werden. Die Zellenverbindungseinheit 130 funktioniert,
um die Ausrüstungsträgerzellen 120 durch
das Medium des Verbindungsrohrs miteinander zu koppeln.
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Das
Verbindungsrohr kann ein erstes Verbindungsrohr 128a, das
in einer Breitenrichtung durch die Ausfachung 122 geht,
und ein zweites Verbindungsrohr 128b, das in einer Längenrichtung
durch die Ausfachung 122 geht, umfassen. Die Einsatzstange
kann ferner eine Einsatzstange 132a für eine erste Richtung, die
in das erste Verbindungsrohr 128a eingesetzt wird, und
eine Einsatzstange 132b für eine zweite Richtung, die
in das zweite Verbindungsrohr 128b eingesetzt wird, umfassen.
Das Fixierglied kann ein erstes Fixierglied 134a, das auf
die Einsatzstange 132a für die erste Richtung gesetzt wird,
und ein zweites Fixierglied 134b, das auf die Einsatzstange 132b für die zweite
Richtung gesetzt wird, umfassen. Die Zellenverbindungseinheit 130 kann
daher die Ausrüstungsträgerzellen 120 durch das
Medium des ersten Verbindungsrohrs 128a der Ausfachung 122 in
einer Breitenrichtung miteinander koppeln oder die Ausrüstungsträgerzellen 120 durch das
Medium des zweiten Verbindungsrohrs 128b der Ausfachung 122 in
einer Längenrichtung
miteinander koppeln. Das Bezugszeichen 128d bezeichnet
ein Loch des ersten Verbindungsrohrs 128a, in das die Einsatzstange 132a für die erste
Richtung eingesetzt werden kann. Ähnlich bezeichnet das Bezugszeichen 128c ein
Loch des zweiten Verbindungsrohrs 128b, in das die Einsatzstange 132b für die zweite Richtung
eingesetzt werden kann.
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Die
Bodenstruktur 150, die aus einer Gitterbalkenstruktur gebildet
ist, kann unter dem Ausrüstungsträgerkörper 110 installiert
sein, um den Ausrüstungsträgerkörper 110 zu
versteifen. Das heißt, die
Bodenstruktur 150 umfasst eine Mehrzahl von ersten Trägerbalken 152,
die in einer ersten Richtung parallel angeordnet sind, eine Mehrzahl
von zweiten Trägerbalken 151,
die durch Seitenoberflächen
der ersten Trägerbalken 152 gehen,
um senkrecht zu den ersten Trägerbalken 152 angeordnet
zu sein, und Befestigungsglieder 157 zum Befestigen der
ersten Trägerbalken 152 an
den zweiten Trägerbalken 151.
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Genauer
gesagt, der erste Trägerbalken 152 kann
an einer Bodenoberfläche,
auf der die Ausrüstung 200 installiert
ist (z. B. einer Bodenoberfläche
eines Reinraums, in dem eine Halbleiterausrüstung installiert ist), installiert
sein. Der erste Trägerbalken 152 kann
einen Bodenträgerteil 156 gegenüber der Bodenoberfläche und
einen Plattenträgerteil 155 gegenüber der
Verbindungsplatte 160 umfassen. An dem Bodenträgerteil 156 kann
ein Fixierloch (nicht gezeigt) gebildet sein. Eine Bedienungsperson
kann unter Verwendung eines Fixierbolzens 159 und einer Fixiermutter 158 den
Bodenträgerteil 156 durch
das Medium des Fixierlochs an der Bodenoberfläche fixieren. Zusätzlich kann
ferner in dem Plattenträgerteil 155 ein
Einsatzloch (nicht gezeigt) gebildet sein. Eine Bedienungsperson
kann daher unter Verwendung eines Peripheriefixierbolzens 172 und
einer Peripheriefixiermutter 173, die zu beschreiben sind,
den Plattenträgerteil 155 durch
das Einsatzloch an der Verbindungsplatte 160 fixieren.
Das Bezugszeichen 190 bezeichnet eine Trägerplatte
zum Tragen eines unteren Teils des Bodenträgerteils 156, in die
der Fixierbolzen 159 und die Fixiermutter 158 eingesetzt werden
können.
Die Trägerplatte 190 kann
aus einem Schwingungssteuerungsmaterial, wie einem Gummi, oder einem
Material, das ein Schwingungssteuerungsmaterial, wie einen Gummi,
umfasst, gebildet sein.
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Der
erste Trägerbalken 152 kann
ferner eine Balkenverbindungsplatte 153 zum Verbinden des ersten
Trägerbalkens 152 mit
dem zweiten Trägerbalken 151 umfassen.
Bei diesem Ausführungsbeispiel
kann, wenn der erste Trägerbalken 152 an
dem zweiten Trägerbalken 151 befestigt
wird, das Befestigungsglied 157 den ersten Trägerbalken 152 durch das
Medium der Balkenverbindungsplatte 153 an dem zweiten Trägerbalken 151 befestigen.
Hier kann das Befestigungsglied 157 ein Koppelbolzen sein.
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Die
Verbindungsplatte 160 kann zwischen den Ausrüstungsträgerkörper 110 und
eine Bodenstruktur 150 gebracht sein, um den Ausrüstungsträgerkörper 110 sicherer
mit der Bodenstruktur 150 zu koppeln. Die Verbindungsplatte 160 kann
eine flache Platte mit einer bestimmten Dicke und einer Größe haben,
die ausreicht, um die gesamte obere Oberfläche der Bodenstruktur 150 zu
bedecken. Die Verbindungsplatte 160 kann zusätzlich eine
Mehrzahl von Löchern
zum Koppeln des Ausrüstungsträgerkörpers 110 mit
der Bodenstruktur 150 haben. Bei einem Ausführungsbeispiel
kann die Verbindungsplatte 160 Randlöcher 162, die an der
Peripherie derselben gebildet sind, mit zugeordneten fixierenden
Peripheriefixierbolzen 172 haben. Die Verbindungsplatte 160 kann
ferner mindestens ein Mittelloch 164 mit mindestens einem
zugeordneten Mittelfixierbolzen haben, die zu beschreiben sind.
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Eine
Fixiereinheit funktioniert, um die Ausrüstungsträgerzellen 120 des
Ausrüstungsträgerkörpers 110 an
der Verbindungsplatte 160 bzw. der Bodenstruktur 150 zu
fixieren. Genauer gesagt, die Fixiereinheit kann eine Peripheriefixiereinheit 171 zum Fixieren
der Peripherie der Ausrüstungsträgerzelle 120 an
Abschnitten der Verbindungsplatte 160 und der Bodenstruktur 150,
die derselben entspricht, und eine Mittelfixiereinheit 175 zum
Fixieren eines Mittelteils der Ausrüstungsträgerzelle 120 an Abschnitten
der Verbindungsplatte 160 und der Bodenstruktur 150 umfassen.
Der Ausrüstungsträgerkörper 110, der
aus einer Mehrzahl von Ausrüstungsträgerzellen 120 gebildet
ist, kann daher unter Verwendung der Fixiereinheit sicherer an der
Verbindungsplatte 160 und der Bodenstruktur 150 fixiert
sein. Hier kann die Peripheriefixiereinheit 171 Peripheriefixierbolzen 172 umfassen,
die durch die Peripherie der Ausrüstungsträgerzelle 120, Abschnitte
der Verbindungsplatte 160 und die Bodenstruktur 150,
die derselben in einer vertikalen Richtung entspricht, gehen. Peripheriefixiermuttern 173 können an
den Peripheriefixierbolzen 172 befestigt sein, um die Peripheriefixierbolzen 172 an
der Bodenstruktur 150 und so weiter zu fixieren. Die Mittelfixiereinheit 175 kann
zusätzlich
ein Einsatzrohr 178 umfassen, durch das ein Mittelfixierbolzen 176 vertikal
durch die Ausrüstungsträgerzelle 120 gehen
kann. Zusätzlich
kann ein Mittelfixierbol zen 176 durch das Einsatzrohr 178 vertikal
durch Abschnitte der Verbindungsplatte 160 und der Bodenstruktur 150,
die der Ausrüstungsträgerzelle 120 entsprechen,
gehen. Eine Mittelfixiermutter 177 kann an dem Mittelfixierbolzen 176 befestigt
sein, um den Mittelfixierbolzen 176 an der Bodenstruktur 150 und
so weiter zu fixieren. Das Bezugszeichen 176a bezeichnet
einen Kopfteil des Mittelfixierbolzens 176. Das Bezugszeichen 179 bezeichnet
eine Stufe, die in dem Einsatzrohr 178 gebildet ist, durch
die der Kopfteil 176a des Mittelfixierbolzens 176 gelagert
werden kann.
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Im
Folgenden ist ein Verfahren zum Installieren eines Schwingungssteuerungssockels 100 gemäß einem
exemplarischen Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf 7 detailliert
beschrieben.
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7 ist
ein Flussdiagramm, das ein Verfahren zum Installieren eines Schwingungssteuerungssockels
gemäß einem
exemplarischen Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung zeigt. Zuerst kann eine Bedienungsperson
eine Bodenstruktur 150 vorbereiten (S10) und kann die Bodenstruktur 150 an einer
Bodenoberfläche,
auf der eine Ausrüstung 200 zu
installieren ist, fixieren. Als Nächstes kann, wenn die Bodenstruktur 150 vorbereitet
ist, auf der Bodenstruktur 150 eine Verbindungsplatte 160 installiert werden
(S30), und auf der Verbindungsplatte 160 können mindestens
zwei Ausrüstungsträgerzellen 120 angeordnet
werden (S50). Zu dieser Zeit können die
mindestens zwei Ausrüstungsträgerzellen 120 direkt
auf der Bodenstruktur 150 positioniert werden.
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Die
Bedienungsperson kann dann die Ausrüstungsträgerzellen 120 unter
Verwendung einer Zellenverbindungseinheit 130, die durch
Seitenoberflächen
der Ausrüstungsträgerzellen 120 geht,
miteinander koppeln (S70). Die Bedienungsperson kann die Einsatzstange
kontinuierlich in das Verbindungsrohr der benachbarten Ausrüstungsträgerzellen 120 einsetzen
und dann Fixierglieder an beiden Enden der Einsatzstange befestigen,
wodurch die benachbarten Ausrüstungsträgerzellen
miteinander verbunden werden. Wie in 1 gezeigt
ist, kann die Bedienungsperson, wenn die Ausrüstungsträgerzellen 120 auf
eine gitterförmige
Art und Weise angeordnet sind, zuerst die Ausrüstungsträgerzellen 120 unter
Verwendung der Zellenverbindungseinheit 130 in einer Richtung,
d. h. einer Breiten- oder Längenrichtung, koppeln;
und dann kann die Bedienungsperson die Ausrüstungsträgerzellen 120 in der
anderen Richtung verbinden, wodurch die Verbindung der die Ausrüstungsträgerzellen 120 beendet
wird.
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Als
Nächstes
kann die Bedienungsperson, wenn Ausrüstungsträgerzellen 120 verbunden
sind, die Ausrüstungsträgerzellen 120 unter
Verwendung der Fixiereinheiten an der Verbindungsplatte 160 und der
Bodenstruktur 150 fixieren (S90), wodurch die In stallation
des Schwingungssteuerungssockels 100 beendet wird. Das
heißt,
die Bedienungsperson kann die Peripherie der Ausrüstungsträgerzelle 120 unter Verwendung
einer Peripheriefixiereinheit 171 an Abschnitten der Verbindungsplatte 160 und
der Bodenstruktur 150, die derselben entspricht, fixieren
und kann die Mitte der Ausrüstungsträgerzelle 120 unter Verwendung
einer Mittelfixiereinheit 175 an Abschnitten der Verbindungsplatte 160 und
der Bodenstruktur 150, die derselben entspricht, fixieren.
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Wie
aus dem Vorhergehenden ersichtlich ist, umfasst ein Ausrüstungsträgerkörper für einen Schwingungssteuerungssockel
gemäß einem
exemplarischen Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung mindestens zwei Ausrüstungsträgerzellen und eine Zellenverbindungseinheit
zum Verbinden der Ausrüstungsträgerzellen
miteinander. Es ist daher möglich,
den Schwingungssteuerungssockel ohne weiteres zu installieren und,
wenn nötig,
den Schwingungssteuerungssockel ohne weiteres zusammenzubauen und
auseinander zu nehmen. Als ein Resultat kann der Schwingungssteuerungssockel,
wenn eine Ausrüstung,
die auf dem Schwingungssteuerungssockel installiert ist, bewegt
wird, mit der auf demselben installierten Ausrüstung bewegt werden. Wenn beispielsweise
eine Halbleiterausrüstung
bewegt wird, kann der Schwingungssteuerungssockel gemäß der vorliegenden
Erfindung mit der Halbleiterausrüstung
bewegt werden. Es ist daher möglich,
die Erzeugung von Partikeln, Schwingungen und einem erhöhten Aufwand
zu verhindern, die sonst aus einem Zerlegen des bereits installierten Schwingungssteuerungssockels
resultieren würden, wenn
die Halbleiterausrüstung
bewegt wird.
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Während die
Erfindung hinsichtlich der bevorzugten Ausführungsbeispiele gezeigt und
beschrieben wurde, ist für
Fachleute offensichtlich, dass verschiedene Änderungen und Modifikationen vorgenommen
sein können,
ohne von dem Geist und dem Schutzbereich der Erfindung, wie in den
folgenden Ansprüchen
definiert, abzuweichen.