JP2001146812A - クリーンルーム用床パネルおよびデバイス製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 クリーンルーム用床パネルの振動を低減させ
る。 【解決手段】 床パネル４を三角形状とし、その頂角近
傍の３点において受け座２’で支持するようにする。空
調用貫通孔のうちの一部に制振材を充填する。隣接する
床パネル同士が制振材を介して結合しまたは接するよう
に、側面に前記制振材を設ける。受け座に、床の面方向
に突起部を移動させて、隣接する床パネルを相互に引き
付けまたは遠ざけることによって、隣接床パネル間を結
合する押圧機構を設ける。隣接する床パネルを相互に連
結するための適度なばね性と粘性とを有する固定部材を
設ける。床パネルの貫通孔を通して巻かれた糸状の炭素
繊維による巻線を設ける。シート状の炭素繊維または高
分子圧電フィルムを床パネルの裏面に貼り付ける。ある
いは床パネルの裏面または床パネルを支持する梁に制振
手段を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体露光装置な
どを設置する床を構成するクリーンルーム用床パネルで
あって、材質変更、形状変更、保持機構の工夫、スマー
ト（知的）化などによって振動を低減することにより振
動特性を改良したクリーンルーム用床パネルおよびこれ
を用いたデバイス製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体素子に対する微細化の要求
に応えるため、半導体露光装置を設置する床などの振動
環境に対する要求は厳しくなっている。何故ならば、床
などの振動が半導体露光装置の中に侵入すると、装置内
の高精度な計測計の読み値を狂わせたり、位置決め機構
の精度を劣化させ、そして最終的には露光精度を劣化さ
せるからである。半導体露光装置を設置する床の振動が
露光精度などに及ぼす影響は顕著であり、そのため半導
体露光装置自身が床の振動を遮断する機能をもってい
る。近年では、半導体露光装置の本体構造体をアクティ
ブ除振装置によって支持しているものが多い。除振装置
のアクティブ化によって、高周波帯の除振域を拡大する
ことができる。そのうえ、床の振動を検出し、この信号
を適切に処理して本体構造体を支えるアクティブ除振装
置内のアクチュエータを駆動することによって、床の振
動の本体構造体への侵入を相殺することも可能となる。
したがって、床の振動の半導体露光装置への侵入を抑制
する能力は高くなっている。

【０００３】しかし、半導体露光装置内のアクティブ除
振装置を最適に調整しても、床の振動の本体構造体への
侵入を規定以下に抑制できないことがある。アクティブ
除振装置の能力は、床の振動をどれだけ同装置で支持さ
れる構造物に伝達させないかという比率で規定されてい
る。したがって、床の振動の絶対レベルそのものが高け
れば、アクティブ除振装置によって本体構造体が支持さ
れているとはいえ、同構造体上での振動の絶対レベルも
高くなってしまうのである。このような場合には、振動
源たる床そのものに対して振動軽減の対策を施す必要が
ある。

【０００４】そこで、従来、床を形成する梁等の構造部
材を補強したり、あるいは床を形成する梁などにコンク
リートを流し込んで床の質量を増加せしめるとともに減
衰を付与することが行われている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、床に対
する補強工事などは、半導体露光装置を設置するクリー
ンルームの清浄な環境を乱してしまう。したがって、床
の補強工事などを生産活動中のクリーンルームに施すこ
とは現実的な対応とは言いがたい。高価かつ大重量の半
導体露光装置を設置した後に発覚する、床の振動に起因
した問題ほど厄介なものはない。半導体露光装置内の、
例えばアクティブ除振装置のパラメータを変更して対処
することができれば望ましいが、それによっても性能を
満たすことができなければ床の振動を低減する工事を行
わざる得ない。しかし、実際に床の補強工事などを敢行
することは困難である。

【０００６】そこで、半導体露光装置を設置する床の振
動に関する素性を詳細に検討した結果、概ね以下の振動
が存在していることが判明した。まず、低周波域にクリ
ーンルームの建屋を構成する鉄骨構造の固有振動があ
り、中帯域には、クリーンルームにおいて装置を設置す
る直接の床としての床パネル（グレーティングと称する
ときもある）の振動がある。後者の振動は、クリーンル
ーム全体の固有振動モードに対しては局所的であるが、
床に敷き詰めている床パネルの枚数が大量であるため、
クリーンルームに設置する半導体露光装置への影響は決
して小さくはなくむしろ甚大な影響を与えている。床パ
ネルの材料は金属材料であり、したがって減衰性は極め
て悪い。このことが半導体露光装置にとっては致命的と
も言える影響を及ぼしているのである。すなわち、半導
体露光装置周辺での人の歩行、台車を使った運搬作業、
工事作業などによって床パネルには外力が与えられ、そ
して床パネルの減衰性が無いことに起因して外力の影響
が消滅せずに残るのである。悪いことに、床パネルの固
有振動と装置電源の周波数が近接している場合には、持
続振動となる。

【０００７】かかる従来技術の課題を整理すると以下の
通りである。半導体露光装置を設置するクリーンルーム
の床には、脱着自在の床パネルが敷き詰められている。
床パネルは金属材料で造られている場合がほとんどであ
り、したがって減衰が小さいため機械的な衝撃が入った
とき、床パネルの固有振動は持続的となる。加えて、敷
きつめられた床パネルの平面を確定する敷設や、床パネ
ルの機械的な遊びを拘束する敷設がなされていないこと
に起因して、クリーンルームの床に大量に敷かれた床パ
ネルはおびただしい振動を発生している。そして、この
振動が半導体露光装置を加振してしまうことによって、
同装置内の位置決め機器の精度や整定性を劣化させ、計
測機器の読み値を狂わせ、そして半導体露光装置で生産
されるＩＣ、ＬＳＩ等の生産性を著しく落としている。

【０００８】本発明の目的は、このような従来の課題に
鑑み、半導体露光装置等が設置されているクリーンルー
ムの床の大半を占めるクリーンルーム用床パネルおよび
これを用いたデバイス製造方法において、クリーンルー
ム用床パネルの振動を低減させ、もって、ＩＣ、ＬＳＩ
等の生産性を向上させることにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明の第１のクリーンルーム用床パネルは、三角
形状を有し、その頂角近傍の３点において支持されるこ
とを特徴とする。

【００１０】第２のクリーンルーム用床パネルは、空調
のための貫通孔、および一部の前記貫通孔に充填された
制振材を具備することを特徴とする。

【００１１】第３のクリーンルーム用床パネルは、隣接
する床パネル同士が制振材を介して結合しまたは接する
ように、側面に前記制振材を具備することを特徴とす
る。

【００１２】第４のクリーンルーム用床パネルは、第３
のクリーンルーム用床パネルにおいて、略四角形状を有
し、その４辺のうち隣り合う少なくとも２辺の側面に前
記制振材が設けられていることを特徴とする。

【００１３】第５のクリーンルーム用床パネルは、第３
のクリーンルーム用床パネルにおいて、略四角形状を有
し、その各辺の側面の一部分に前記制振材を備え、前記
制振材の前記４辺への配置位置は、各辺の中央よりも一
方の側に、風車状に一定方向にずれた位置であることを
特徴とする。

【００１４】第６のクリーンルーム用床パネルは、第３
〜第５のいずれかのクリーンルーム用床パネルにおい
て、前記制振材を隣接する床パネルの側面へ向けて押圧
する押圧機構を備え、これによって隣接床パネル間同士
を固定できるように構成したことを特徴とする。

【００１５】第７のクリーンルーム用床パネルは、第２
〜第６のいずれかのクリーンルーム用床パネルにおい
て、前記制振材は、ゴム、制振樹脂、鉛、炭素繊維、ま
たは制振鋼鈑のいずれかで構成されていることを特徴と
する。

【００１６】第８のクリーンルーム用床パネルは、複数
の床パネルを隣接させて床を構成するように受ける受け
座を備え、前記受け座は前記床の面方向に突起部を移動
させて、前記隣接する床パネルを相互に引き付けまたは
遠ざけることによって、隣接床パネル間を結合する押圧
機構を有することを特徴とする。

【００１７】第９のクリーンルーム用床パネルは、隣接
する床パネルを相互に連結するための適度なばね性と粘
性とを有する固定部材を具備することを特徴とする。

【００１８】第１０のクリーンルーム用床パネルは、床
パネルの貫通孔を通して巻かれた糸状の炭素繊維による
巻線を具備することを特徴とする。

【００１９】第１１のクリーンルーム用床パネルは、裏
面に貼り付けられたシート状の炭素繊維または高分子圧
電フィルムを具備することを特徴とする。

【００２０】第１２のクリーンルーム用床パネルは、床
パネルの振動を検出し、その逆位相の振動を床パネルに
加えるための高分子圧電フィルムを具備することを特徴
とする。

【００２１】第１３のクリーンルーム用床パネルは、床
パネルの裏面または床パネルを支持する梁に取り付けら
れた制振手段を具備することを特徴とする。

【００２２】そして、第１４のクリーンルーム用床パネ
ルは、第１〜第１３のいずれか１項に記載のクリーンル
ーム用床パネルにおいて、露光装置の設置用に用いられ
ることを特徴とする。

【００２３】また、本発明のデバイス製造方法は、第１
〜第１４のいずれかのクリーンルーム用床パネルにより
露光装置を設置するための床を構成する工程と、これに
より構成された床の上に露光装置を設置する工程と、こ
れにより設置された露光装置によって露光を行う工程と
を具備することを特徴とする。

【００２４】従来のクリーンルーム用の床パネルは、振
動の減衰能力が小さく、また床パネルの平面の確定や、
機械的な遊びの拘束が適切になされていなかったため、
おびただしい振動を発生していた。これに対し、本発明
によれば、床パネルの形状や支持方法の改良、床パネル
に対する制振材の適切な付加、押圧機構による隣接床パ
ネル間の結合、分布型センサおよびアクチュエータの代
表である高分子圧電フィルムの利用等により、床パネル
のガタの排除や剛性の向上、床パネルに対する粘性の付
与等が適切に行われ、床パネルにおける振動減衰特性が
向上する。したがって、床パネル上に設置された半導体
露光装置等の加振が効果的に防止されることになり、半
導体露光装置で生産されるＩＣ、ＬＳＩ等の生産性が向
上することになる。

【００２５】

【実施例】以下、従来の床パネルに比較して振動の減衰
性を高めることを狙いとしてなされた本発明の実施例と
して、半導体露光装置を設置する周辺の機械的な形状を
改良した床パネル、適切な制振を与えるための構造を有
する床パネル、受け座および押圧機構により強固に結合
される床パネル、制振特性を改質した床パネル、分布型
センサ／アクチュエータの代表である高分子圧電フィル
ムを用いてスマート化した床パネル、および、制振手段
を懸下した床パネルについて説明する。

【００２６】（１）形状を改良した床パネルの実施例 従来の床パネルは平板状四角の形状である。そして、こ
れを床として形成すべく敷き詰めている。敷き詰めるに
当たっては、床パネルの４四隅を支持するように受け座
を設けている。したがって床パネルは４点支持されてい
るわけであり、平面は一意には定められていない。故
に、床パネルの面は確定せず、どうしてもガタが生じる
のである。ガタの部位は、振動工学的にみると等価的に
はばね要素として作用するため、半導体露光装置を設置
している振動環境を劣悪なものにしている。図２は、こ
のような従来の床パネルを示す。同図において、１は床
パネル、２は床パネル１の四隅を支持するための受け
座、３は受け座２が接着されているとともに大量枚数が
敷きつめられた床パネル１の荷重およびその上の搭載物
を支持する梁である。図示のように、床パネル１の四隅
は、受け座２によって支持されている。したがって、床
パネルは４点支持されており、この平面は一意には定ま
っていない。

【００２７】これに対し、本実施例では、床パネルの形
状を平板状の三角形状とし、その頂点付近を受け座によ
って支持するようにしている。３点支持であると、必ず
平面は確定する。床パネルごとに平面は異なるが、従来
の床パネルにおいて平面が未確定であることによって生
じていた振動を除去または軽減することができる。図１
はこの本実施例の床パネル４を示す。同図に示すよう
に、本実施例では、梁３とその上に設けた受け座２’の
位置関係は不変である。この受け座２’上に、三角形状
の床パネル４が敷かれている。

【００２８】これによれば、受け座２’によって三角形
状の床パネル４の平面が確定するので、上下方向のガタ
は無くなる。したがって、個々の床パネル４を上下方向
に振動させる要因は除去されて低振動環境を好適に実現
することができる。なお三角形の形状としては、正三角
形と直角三角形が床を形成していく際に好適である。ま
た、受け座２’の梁３に対する位置関係は従来の受け座
２の場合と同様であるが、受け座２’の形状は、三角形
状の床パネル４の頂角部を支持するため、受け座２とは
異なる。

【００２９】（２）制振材を挿入した床パネルの実施例 機械的な構造物に振動があってこれを抑制せんとすると
き、ゴムなどに代表される制振材を貼り付けるなどの対
策を施すことは常套手段である。したがって、本発明で
問題としている半導体露光装置を設置するクリーンルー
ムの床パネルに対しても制振材を埋め込むことは至極当
然の行為とは言える。しかしながら、半導体露光装置を
設置するクリーンルームの床パネルは、単に、床を構成
する部材だけではなく、クリーンルームに施しているダ
ウンフローと呼ばれる空調における空気の通り道も形成
している。そして、クリーンルーム内のレイアウト変更
に柔軟に対応し、かつ床パネル下に設置されているユー
ティリティに頻繁にアクセスするための窓ともなってい
る。すなわち、特殊性があり、そのため、これらの機能
を損なうことなく制振材が使われねばならない。

【００３０】図３と図４は、課されている機能を損なう
ことなく制振材を充填した本実施例の床パネル７の構造
を示す上面図および断面図である。比較のために、従来
の床パネル１の角部の構造を図５に示す。これらの図に
おいて、５は床パネルに設けられた空調のための貫通孔
である。床パネル７には、クリーンルームにおけるダウ
ンフローという空調の流路を遮蔽しないように、図３に
示すように、床パネル７周辺部の貫通孔５に、ゴムに代
表される制振材６が充填されている。

【００３１】ゴム等に代表される制振材６を、床パネル
の外周部の貫通孔５を埋めるように充填する以外に、床
パネルの側面に貼り付けることも考えられる。このよう
にすると、隣り合う床パネル同士を、ダンピングを介し
て結合することになる。これによれば、従来、隣り合う
床パネル１が個々にその固有振動数で勝手気ままに振動
し、この現象がクリーンルームの床の振動環境を劣悪な
ものにしていたのに対し、隣り合う床パネルが制振材を
介して結合されるため、振動環境を改善することができ
る。

【００３２】ただし、床パネルは、簡単に脱着できなけ
れば不都合である。床パネルの外周全てに制振材を貼り
付けてしまうと、床パネルを外し、これを再び装着する
際には、制振材が邪魔になる。そこで、本実施例では、
略四角形状の床パネルにおいては、隣り合う少なくとも
２辺の側面に制振材を貼り付けている。図６はこの制振
材を側面に設けた床パネル８を敷いた様子を示す上面図
である。隣り合う２辺の側面全面に制振材６を貼り付け
た床パネル８を嵌め込む際、既に嵌め込まれている床パ
ネル８の側面に貼り付けた制振材６と接するようにされ
る。したがって隣り合う床パネル８の外周部が全て制振
材６を介して結合される。しかも、隣り合う２辺にのみ
制振材６を貼り付けているので、床パネル８の脱着に何
等の不都合も生じない。

【００３３】さらに、制振材の床パネルの側面への貼り
付け方を工夫することができる。図７はこのようにして
工夫された床パネル８’を示す。図６の例では、隣り合
う２辺の側面全体に制振材を貼り付けたが、本実施例で
は、四辺全部の側面に制振材６を貼り付けている。ただ
し、側面の全てを制振材で覆うのではなく、部分的に制
振材６を貼り付けておく。すなわち、風車状に制振材６
を貼り付ける。このような床パネル８’を床に嵌め込む
と、既に嵌め込まれている床パネル８’の側面に貼り付
けられた制振材６と接するようになり、隣り合う床パネ
ル８’間は制振材６を介して結合される。この際、制振
材６を風車状に貼り付けているので、床パネル８’の説
着に際して何等の支障も生じない。

【００３４】（３）受け座により剛に結合される床パネ
ルの実施例 床パネルに起因した振動の原因として、パネル自身の減
衰性が小さいという理由の他に、床パネルが機械的に遊
びをもっていることが挙げられる。この遊びは１つに
は、既に述べたように、床パネル１が４点支持されてい
るために生じる。もう１つには、床パネル１とこれを支
持する受け座２および隣り合う床パネル１の間に遊びが
あることに起因する。この遊びにおいて振動が増幅した
り、この遊びが新たな振動の発生源となっている。

【００３５】図８を用いて具体的に説明する。従来、同
図に示すように、梁３の上面には受け座２があり、受け
座２の１つの突起部Ｔに床パネル１のコーナ部を入れ込
んでいる。突起部Ｔは４箇所あり、これに床パネル１の
コーナ部を入れ込むことによって、床全面にわたって床
パネル１を敷き詰めていくようになっている。床パネル
１同士は適当な隙間で並べられていくわけである。この
隙間は管理されたものではなく、場合によっては、床パ
ネル１同士が全く機械的に接触をもたない場合もあれ
ば、部分的にもしくは全面的に隣接する床パネル１と接
触していることもある。そして、床パネル１間の隙間は
不定で接触状態は一定しておらず、このような現象が振
動の発生をもたらしている。

【００３６】これに対し、本実施例では、床パネルと、
これを受ける受け座とを剛に結合するための構成を与え
る。すなわち結合に際しては、図９（ａ）に示すよう
に、まず、本実施例の床パネル２０を受け座９の突起部
Ｔをまたぐように接近させ、そして同図（ｂ）のように
受け座９の上面に床パネル２０を置く。次に、同図
（ｃ）に示すように、受け座９が有する押圧機能を利用
する。すなわち、ドライバ等の工具１０を用いることに
よって受け座９の突起部Ｔを受け座９の中心方向に移動
させ、これにより床パネル２０を押圧して任意の場所で
固定する。このようにして左右の床パネル２０は、押圧
機能をもつ受け座９によって互いに引き寄せられ、剛に
結合される。したがって、機械的な遊びが排除され、振
動が低減する。

【００３７】同様の機能は、突起部Ｔが受け座の中央部
から外周部へとシフトすることによっても実現できる。
すなわち、図１０（ａ）および（ｂ）に示すように、受
け座１１の突起部Ｔを挟むように床パネル２０を受け座
１１上に敷く。次に、同図（ｃ）に示すように、ドライ
バ等の工具１０を使うことによって、押圧機能を利用
し、受け座１１の突起部Ｔを床パネル２０の外周部へ移
動させ、任意の場所で床パネル２０を固定する。このと
き、突起部Ｔは床パネル２０の外周の側面に当たり、左
右の床パネル２０を互いに引き離すようにして固定す
る。これによれば、押圧機能をもつ受け座１１によっ
て、その上に着座する４個の床パネル２０を互いに剛に
結合し、機械的な遊びに起因して従来発生していた振動
を抑制することができる。

【００３８】より簡易に固定部材を使って床パネル同士
を剛に結合することも考えられる。図１１はこのような
例に係る床パネル２１を示す。この例では、隣り合う床
パネル２１を剛に結合する固定部材１２を鋏み込むこと
により、隣り合う床パネル２１を互いに引き寄せるよう
にして、床パネル２１が個々に遊びをもたないようにし
ている。反対に、図１２に示す床パネル２２のように、
隣り合う床パネル２２を、互いに引き離すような固定部
材１２’を挿入することによっても床パネルに遊びをも
たせないで、これらを剛に固定することができる。これ
により、床パネルに起因する振動の低減を図ることがで
きる。なお、固定部材１２および１２’としては、いず
れもばね性と適度の粘性を有するものが望ましい。

【００３９】最後に、床パネル自身に押圧機構をもたせ
ることによって、床パネル同士の遊びを排除するように
した実施例を示す。大量の枚数の床パネルを互いにより
強固に結合することができれば、床の振動の低減に大き
な寄与があることは確実である。図１３はこのような押
圧機構付きの床パネル２３の構造を示す。同図におい
て、１３は床パネル２３の側面に設けられた押圧パッド
である。この材料としては、適切な減衰性を有する制振
材料が好ましい。押圧パッド１３はネジ等の送り機構１
４によって左右に移動可能であって、隣接する床パネル
２３の側面に押圧パッド１３を押し当てることができ
る。この場合、ネジ等の送り機構１４の操作は床パネル
２３の裏面から行うようになっている。したがって、床
パネル２３を配置した後で押圧パッド１３を隣接する床
パネルに強固に押し当てるための作業は裏面側から行わ
ねばならない。そこで、笠歯歯車１５を用いることによ
って、床パネル２３の表面から工具１０を用いて押圧パ
ッド１３の移動操作を行うようにしてもよい。

【００４０】（４）制振特性を改質した床パネルの実施
例 金属材料の減衰定数が極めて小さいことは従来から既知
である。したがって、金属材料で造られている床パネル
に減衰性がないことは実は至極当然のことである。近
年、徴振動環境の実現要求が厳しくなってきたことにと
もなって、半導体露光装置を設置する周辺に敷設されて
いる床パネル自身の振動特性の問題がクローズアップし
てきている。

【００４１】振動特性改善のためには、床パネルの材料
として低減衰の金属材料に代えて、軽量、高剛性、かつ
減衰係数の高いものを使えばよい。従来のアルミ鋳物等
に代えて、アルミ制振鋼鈑などの制振に着目して開発さ
れている材料を使うことができる。

【００４２】また、既に、実際のクリーンルームに敷設
されている床パネルに対して加工などの処理を施すこと
によって、振動に関する特性を好ましいものに改質する
ことができる。例えば、アルミニウム制振形材として知
られている改質技術が適用できる。これは、振動の伝播
部に制振樹脂を熱融着させることによって減衰性を向上
させる技術である。制振用の樹脂を熱融着などの手段で
床パネルの全面もしくは一部に融着させても構わない。
また、床パネルの貫通孔の全部または一部を制振用の樹
脂で埋めて、床パネルの制振に関する特性を向上させる
ことができる。

【００４３】また、炭素繊維を床パネルに巻きつけるこ
とによって、床パネル自身の強度を増加させるとともに
粘性を与え、以って振動に対してダンピングを付与する
ことができる。図１４はこの床パネル２４を示す。床パ
ネル２４には、その空調用の貫通穴５を利用して、一部
分もしくは全部に糸状の炭素繊維１６による巻線が設け
られている。ここで、炭素繊維とは、純度の高い炭素が
共有結合した素材のことを指す。これによれば、糸状の
炭素繊維１６の巻き付けによって床パネルの粘り強さが
向上し、もって床の振動の低減に寄与するところ大とい
う効果がもたらされる。なお、図１４の例では、糸状の
炭素繊維１６を床パネルに巻線することによって粘り強
さを出しているが、巻線に手間が掛かるという問題があ
る。そこで、簡単には、図１５に示す床パネル２５のよ
うに、シート状の炭素繊維１７を床パネルに貼り付ける
ことによって床パネルの粘り強さを増進させるようにし
てもよい。

【００４４】さらには、制振材料として鉛を選択し、床
パネルの貫通孔５に、あるいはリブ構造を有する床パネ
ル裏面にこれを充填して、床パネルの制振特性を改質す
ることができる。

【００４５】（５）スマート化した床パネルの実施例 床パネルの主たる振動モードは、平板状の面の上下振動
である。個々の床パネル面の上下振動を抑制できれば、
クリーンルームの床の振動環境は格段に向上する。そこ
で、本実施例では、この振動を抑制するために、床パネ
ルをスマート化している。近年、機械構造物にアクチュ
エータやセンサを付加して機能を発現させることをスマ
ート（知的）化と称している。

【００４６】図１６はスマート化した床パネル２６の断
面構造を示す。同図に示すように、床パネル２６中央部
の裏面には高分子圧電フィルム１８が貼り付けられてい
る。高分子圧電フィルム１８としてはＰＶＤＦ（ポリフ
ッ化ビニリデン）などが知られており、高分子圧電フィ
ルム１８そのものが振動のモードを検出するとともにフ
ィードバック回路を構成することによってアクチュエー
タとしても機能する。すなわち、床パネル２６面の上下
振動を分布的にセンシングし、この振動とは逆位相の振
動モードを発生する。この結果、床パネル２６の振動が
抑制される。

【００４７】（６）制振手段を懸下した床パネルの実施
例 振動が存在するとき、これとは逆位相の振動を発生させ
て元々の振動を抑制する手段が知られている。このよう
な制振手段としては、受動的要素を用いて構成するパッ
シブタイプのものと、アクチュエータを振動センサの出
力情報に基づいて駆動することによって制振力を発生さ
せるアクティブタイプのものとがある。従来、半導体露
光装置を設置した周辺の床の振動環境を静寂となすた
め、これら制振手段を半導体露光装置の周辺もしくは同
装置内に設置する場合がある。

【００４８】図１７はこの様子を示す。同図において、
１９は半導体露光装置、１は半導体露光装置１９を設置
している床を形成する床パネル、３は床パネル１を支持
する梁、２７は床パネル１に固定された制振手段であ
る。制振手段２７の中には上下方向に動く可動子があ
り、これが、振動センサの出力に基づいて駆動される。
すなわち、可動子の駆動反力によって、床パネル１上の
振動を抑制するように機能するアクティブタイプの制振
手段となっている。アクティブに限定されることはない
が、半導体露光装置１９の周りに制振手段２７を複数台
数設置することによって、床の振動が半導体露光装置１
９へ侵入していくこと、および半導体露光装置１９が発
生する振動を、床を介して周辺へ伝播することを抑止し
ている。

【００４９】しかし、制振手段２７は通常の場合、床パ
ネル１上に設置されている。したがって、クリーンルー
ムという空間を有効利用せねばならない観点からは問題
である。そこで、本実施例では、床パネルに制振手段を
つり下げる構造を採用している。図１８はこの床パネル
２８を示す。同図に示すように、床パネル２８は床パネ
ル１と制振手段２７が一体になった制振手段付き床パネ
ルであり、必要に応じて半導体露光装置の周辺に設置さ
れる。これによれば、床パネルの下に制振手段２７が懸
下されているので、床パネル上の装置レイアウトの自由
度および作業環境を損なうことがないという利点があ
る。また、レイアウト変更や、装置の稼働状況等に起因
する振動環境の変化に合わせて、制振手段付き床パネル
２８の取付け場所を変えることができる。つまり、変化
する振動環境に柔軟に対応して、低振動環境を実現する
ことができる。

【００５０】なお、図１８の例では、制振手段２７はア
クティブタイプのものであるが、勿論、アクティブタイ
プに限定されることはなく、パッシブタイプの制振手段
を用いても構わない。また、制振手段２７の懸下を床パ
ネルから行っているが、これに限定されず、梁３の下に
懸下するようにしてもよく、これも本発明の範囲に含ま
れる。

【００５１】＜デバイス製造方法の実施例＞次に上記説
明した床パネルを利用したデバイス製造方法の実施例を
説明する。図１９は微小デバイス（ＩＣやＬＳＩ等の半
導体チップ、液晶パネル、ＣＣＤ、薄膜磁気ヘッド、マ
イクロマシン等）の製造のフローを示す。ステップ１
（回路設計）ではデバイスのパターン設計を行う。ステ
ップ２（マスク製作）では設計したパターンを形成した
マスクを製作する。一方、ステップ３（ウエハ製造）で
はシリコンやガラス等の材料を用いてウエハを製造す
る。ステップ４（ウエハプロセス）は前工程と呼ばれ、
上記用意したマスクとウエハを用いて、リソグラフィ技
術によってウエハ上に実際の回路を形成する。次のステ
ップ５（組立て）は後工程と呼ばれ、ステップ４におい
て作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程で
あり、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディン
グ）、パッケージング工程（チップ封入）等の工程を含
む。ステップ６（検査）では、ステップ５で作製された
半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検
査を行う。こうした工程を経て、半導体デバイスが完成
し、これが出荷（ステップ７）される。

【００５２】図２０は上記ウエハプロセス（ステップ
４）の詳細なフローを示す。ステップ１１（酸化）では
ウエハの表面を酸化させる。ステップ１２（ＣＶＤ）で
はウエハ表面に絶縁膜を形成する。ステップ１３（電極
形成）ではウエハ上に電極を蒸着によって形成する。ス
テップ１４（イオン打込み）ではウエハにイオンを打ち
込む。ステップ１５（レジスト処理）ではウエハにレジ
ストを塗布する。ステップ１６（露光）では上記説明し
た床パネル上に設置された露光装置によってマスクの回
路パターンをウエハの複数のショット領域に並べて焼付
露光する。ステップ１７（現像）では露光したウエハを
現像する。ステップ１８（エッチング）では現像したレ
ジスト像以外の部分を削り取る。ステップ１９（レジス
ト剥離）ではエッチングが済んで不要となったレジスト
を取り除く。これらのステップを繰り返し行なうことに
よって、ウエハ上に多重に回路パターンが形成される。

【００５３】本実施例の製造方法を用いれば、従来は製
造が難しかった大型のデバイスを高い生産性をもって製
造することができる。

【００５４】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、床
パネルのガタを排除し、床パネルの剛性を向上させ、さ
らには床パネルに対して適度な粘性を付与することがで
きる。したがって、振動を抑圧し、半導体露光装置等を
設置している床の振動特性を改善することができる。ま
た、床パネルを敷いたクリーンルームに設置された半導
体露光装置に対して床の振動が及ぼす影響を極めて軽微
なものとし、デバイス製造における生産性を向上させる
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に従った三角形状の床パネルの敷設状
態を示す平面図である。

【図２】 従来技術に係る床パネルの敷設状態を示す平
面図である。

【図３】 本発明に従った制振材入り床パネルの形状を
示す上面図である。

【図４】 本発明に従った制振材入り床パネルの断面図
である。

【図５】 従来の床パネルの上面図である。

【図６】 本発明に従った制振材を側面に設けた床パネ
ルの平面図である。

【図７】 本発明に従った制振材を側面に設けた別の床
パネルの平面図である。

【図８】 従来の床パネルの据え付け状態を示す断面図
および受け座部分の平面図である。

【図９】 本発明に従った押圧機構をもつ受け座で支持
される床パネルの設置方法を示す断面図である。

【図１０】 本発明に従った他の押圧機構をもつ受け座
で支持される床パネルの設置方法を示す断面図である。

【図１１】 本発明に従った固定部材で結合した床パネ
ルの断面図である。

【図１２】 本発明に従った他の固定部材で結合した床
パネルの断面図である。

【図１３】 本発明に従った押圧機構付き床パネルの構
造を示す断面図および部分拡大図である。

【図１４】 本発明に従った糸状の炭素繊維が巻線され
た床パネルの断面図および部分拡大図である。

【図１５】 本発明に従ったシート状の炭素繊維が貼り
付けられた床パネルの断面図である。

【図１６】 本発明に従ったスマート化した床パネルの
断面図である。

【図１７】 従来の床プレート上に設置した制振手段の
斜視図である。

【図１８】 本発明に従った下面につり下げられた制振
手段を備えた床プレートの斜視図である。

【図１９】 本発明のクリーンルーム用床プレートを利
用できるデバイス製造方法を示すフローチャートであ
る。

【図２０】 図１９中のウエハプロセスの詳細なフロー
チャートである。

【符号の説明】

１：床プレート、２，２’：受け座、３：梁、４：三角
形状の床パネル、５：貫通孔、６：制振材、７：制振材
入り床パネル、８，８’：制振材を側面に設けた床パネ
ル、９：押圧機能をもつ受け座、１０：ドライバ等の工
具、１１：押圧機能をもつ受け座、１２，１２’：固定
部材、１３：押圧バッド、１４：ネジ等の送り機構、１
５：笠歯歯車、１６：糸状の炭素繊維、１７：シート状
の炭素繊維、１８：高分子圧電フィルム、１９：半導体
露光装置、２０〜２６：床パネル、２７：制振手段、２
８：制振手段付き床パネル、Ｔ：突起部。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｅ０４Ｈ 5/02 Ｅ０４Ｈ 5/02 Ｂ Ｈ０１Ｌ 21/02 Ｈ０１Ｌ 21/02 Ｄ 21/027 21/30 ５０３Ｆ (72)発明者 間山 武彦 東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノ ン株式会社内 Ｆターム(参考） 2E001 DG01 DG03 FA11 GA07 GA12 GA23 GA29 HF16 5F046 AA23 DA09

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 三角形状を有し、その頂角近傍の３点に
   おいて支持されることを特徴とするクリーンルーム用床
   パネル。
2. 【請求項２】 空調のための貫通孔、および一部の前記
   貫通孔に充填された制振材を具備することを特徴とする
   クリーンルーム用床パネル。
3. 【請求項３】 隣接する床パネル同士が制振材を介して
   結合しまたは接するように、側面に前記制振材を具備す
   ることを特徴とするクリーンルーム用床パネル。
4. 【請求項４】 略四角形状を有し、その４辺のうち隣り
   合う少なくとも２辺の側面に前記制振材が設けられてい
   ることを特徴とする請求項３に記載のクリーンルーム用
   床パネル。
5. 【請求項５】 略四角形状を有し、その各辺の側面の一
   部分に前記制振材を備え、前記制振材の前記４辺への配
   置位置は、各辺の中央よりも一方の側に、風車状に一定
   方向にずれた位置であることを特徴とする請求項３に記
   載のクリーンルーム用床パネル。
6. 【請求項６】 前記制振材を隣接する床パネルの側面へ
   向けて押圧する押圧機構を備え、これによって隣接床パ
   ネル間同士を固定できるように構成したことを特徴とす
   る請求項３〜５のいずれか１項に記載のクリーンルーム
   用床パネル。
7. 【請求項７】 前記制振材は、ゴム、制振樹脂、鉛、炭
   素繊維、または制振鋼鈑のいずれかで構成されているこ
   とを特徴とする請求項２〜６のいずれか１項に記載のク
   リーンルーム用床パネル。
8. 【請求項８】 複数の床パネルを隣接させて床を構成す
   るように受ける受け座を備え、前記受け座は前記床の面
   方向に突起部を移動させて、前記隣接する床パネルを相
   互に引き付けまたは遠ざけることによって、隣接床パネ
   ル間を結合する押圧機構を有することを特徴とするクリ
   ーンルーム用床パネル。
9. 【請求項９】 隣接する床パネルを相互に連結するため
   の適度なばね性と粘性とを有する固定部材を具備するこ
   とを特徴とするクリーンルーム用床パネル。
10. 【請求項１０】 床パネルの貫通孔を通して巻かれた糸
    状の炭素繊維による巻線を具備することを特徴とするク
    リーンルーム用床パネル。
11. 【請求項１１】 裏面に貼り付けられたシート状の炭素
    繊維または高分子圧電フィルムを具備することを特徴と
    するクリーンルーム用床パネル。
12. 【請求項１２】 床パネルの振動を検出し、その逆位相
    の振動を床パネルに付与するための高分子圧電フィルム
    を具備することを特徴とするクリーンルーム用床パネ
    ル。
13. 【請求項１３】 床パネルの裏面または床パネルを支持
    する梁に取り付けられた制振手段を具備することを特徴
    とするクリーンルーム用床パネル。
14. 【請求項１４】 露光装置の設置用に用いられることを
    特徴とする請求項１〜１３のいずれか１項に記載のクリ
    ーンルーム用床パネル。
15. 【請求項１５】 請求項１〜１４のいずれかのクリーン
    ルーム用床パネルにより露光装置を設置するための床を
    構成する工程と、これにより構成された床の上に露光装
    置を設置する工程と、これにより設置された露光装置に
    よって露光を行う工程とを具備することを特徴とするデ
    バイス製造方法。