DE102006036798B4 - Elektronisches Bauteil und Verfahren zum Herstellen - Google Patents
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Abstract
Elektronisches Bauteil (400, 420) umfassend: ein integriertes Bauelement (108, 402, 422), das eine zweite Schicht (220) aufweist, die eine Nickel-Palladium-Legierung enthält, wobei das integrierte Bauelement (108, 402, 422) umfasst: mindestens ein Schaltungselement, mindestens eine elektrisch leitfähige Anschlussleitstruktur, und eine elektrisch leitfähige Verbindung zwischen dem Schaltungselement und der Anschlussleitstruktur, eine an der Anschlussleitstruktur angeordnete Anschlussfläche für einen äußeren Anschluss des integrierten Bauelements (108, 402, 422), wobei die Anschlussleitstruktur eine elektrisch leitfähige erste Schicht (210) und die elektrisch leitfähige zweite Schicht (220) enthält, deren Material sich von dem Material der ersten Schicht (210) unterscheidet, wobei die erste Schicht (210) aus Aluminium besteht oder aus einer Aluminiumlegierung, wobei die Aluminiumlegierung mindestens 70 Atomprozent Aluminium enthält, und wobei die zweite Schicht (220) und die erste Schicht (210) gemäß nur einem fotolithografischen Verfahren strukturiert sind.
Description
- Integrierte Bauelemente mit integrierter Schaltung können eine Vielzahl von Halbleiter-Schaltungselementen enthalten, z. B. Transistoren, Dioden etc. Auch gibt es integrierte Bauelemente mit nur einem einzigen Schaltungselement. Die integrierten Bauelemente werden z. B. in Kraftfahrzeugelektronikschaltungen, Mobilfunkgeräten, Kameras usw. eingesetzt. Um das integrierte Bauelement z. B. mit einer Leiterplatte oder mit einem Kühlkörper zu verbinden, wird eine Anschlussvorrichtung verwendet.
- Aus der
US 2002/0017553 A1 US 2005/0073057 A1 - Aus der
US 6 762 122 B2 ist ein Verfahren zum Ausbilden von Metallurgiestrukturen für Draht und Lotbonden bekannt. Pads bestehen aus Kupfer oder Aluminium. Eine Nickellegierung wird mit Außenstrom aufgalvanisiert. Aus derUS 2005/0012225 A1 - Aus der
US 6 995 475 B2 ist ein integrierter Schaltkreis bekannt, der für Drahtbonden geeignet ist. Auf Aluminium werden außenstromlos eine Nickelschicht und eine Goldschicht abgeschieden. Aus derUS 2001/0004133 A1 US 6,511,901 B1 ist eine Metall-Umverdrahtungsschicht bekannt, die lötbare und drahtbondbare Pads enthält. Aus derUS 2002/0070423 A1 - Es besteht ein Bedürfnis nach einem einfach aufgebauten Bauteil mit einer Anschlussleitstruktur, an die Bonddrähte und Lötverbindungen angeschlossen werden können. Insbesonderesoll das Bauteil leistungsfähig und/oder einfach herstellbar sein.
- Angegeben wird erfindungsgemäß in einer Ausführungsform ein elektronisches Bauteil, das ein integriertes Bauelement umfasst, das eine Schicht aufweist, die eine Nickel-Palladium-Legierung enthält.
- Weiterhin wird erfindungsgemäß in einer Ausführungsform ein Verfahren zum Herstellen eines elektronischen Bauelements angegeben umfassend die Schritte:
- – auf einem Substrat wird ein erstes leitfähiges Material aufgebracht; und – auf dem ersten leitfähigen Material wird ein zweites leitfähiges Material aufgebracht, das eine Nickel-Palladium Legierung enthält.
- Im Folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der beiliegenden Zeichnungen erläutert. Darin zeigen:
-
1A und1B nicht erfindungsgemäße Herstellungsstufen bei der Herstellung einer Anschlussvorrichtung gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel unter Verwendung von Kupfer, -
2 einen Querschnitt durch eine Anschlussvorrichtung gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel, wobei die Anschlussvorrichtung Aluminium enthält, -
3 einen Querschnitt durch eine nicht erfindungsgemäße Anschlussvorrichtung gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel, wobei die Anschlussvorrichtung ebenfalls Aluminium enthält, -
4 ein Ausführungsbeispiel für ein mit einem Gehäuse versehenes elektronisches Bauteil, -
5 ein weiteres Ausführungsbeispiel für ein mit einem Gehäuse versehenes elektronisches Bauteil, und -
6 einen Querschnitt durch ein integriertes Bauelement. - Bei einer Ausführungsform wird ein elektronisches Bauteil angegeben, das ein integriertes Bauelement umfasst, das eine Schicht bzw. eine Schutzschicht aufweist, die eine Nickel-Palladium-Legierung enthält. Die Nickel-Palladium-Legierung kann weitere metallische oder nichtmetallische Elemente enthalten oder frei von weiteren Zusätzen sein. Die Schicht mit der Nickel-Palladium-Legierung hat vorzugsweise eine Schichtdicke im Bereich von 0,5 Mikrometer bis drei Mikrometer, bzw. vorzugsweise eine Schichtdicke im Bereich von einem Mikrometer bis drei Mikrometer. Somit bietet die Schutzschicht einen ausreichend großen mechanischen Widerstand gegen Risse durch Bonden oder durch Nadeln von Nadelkartenadaptern. Die Nickel-Palladium-Legierung wird vorzugsweise als Schutzschicht auf einer äußeren integrierten Leitbahn verwendet bzw. kann verwendet werden. Auch wird bzw. kann die Schutzschicht als Rückseitenmetallisierung eines Substrats verwendet werden, das ein Halbleitersubstrat enthält. Bspw. wird das Substrat, welches das Halbleitersubstrat enthält, an ein weiteres Substrat, z. B. einen lead Frame angelötet, bspw. durch Diffusionslöten. Im Fall einer Rückseitenmetallisierung wird zwischen der Nickel-Palladiumschicht und dem Substrat eine Buffer-Schicht verwendet, die elektrisch leitfähig ist und bspw. Silber, Kupfer oder Nickel oder eine Kombination dieser Materialien enthält. Alternativ besteht die Schicht aus einem dieser Materialien. Beim anschließenden Diffusionslöten ist das Nickel-Palladium bspw. gleichzeitig das Lot, das die Verbindung zu einem weiteren Substrat herstellt, bspw. zu einem Leadframe aus Kupfer. In diesem Fall bildet sich ein hochtemperaturfeste Nickel-Palladium-Kupferlegierung, die ggf. auch Gold enthält, falls das Nickel-Palladium durch einen Goldflash geschützt worden ist. Optional kann auch bei Rückseitenmetallisierungen eine Nickel-Schicht bzw. Nickel-Phosphor-Schicht bzw. eine Schicht aus einem anderen geeigneten Material, insbesondere einer Nickellegierung, z. B. NiV, NiMoP, zwischen der Buffer-Schicht und der Nickel-Palladium-Schicht verwendet werden bzw. wird solch eine Schicht verwendet.
- Bei einer anderen Ausführungsform kann die Schutzschicht als zweite Schicht in einer Schichtfolge enthalten sein bzw. ist sie enthalten, die eine elektrisch leitfähige erste Schicht (z. B. Leitbahn) bzw. einen Innenbereich aus einem anderen Material als die Schutzschicht enthält. Die Schichtfolge kann wiederum sowohl im Innern des integrierten Bauelements als auch weiter außen angeordnet sein. Alle Schichten der Schichtfolge können bei einer Weiterbildung den gleichen geometrischen Verlauf haben.
- Bei einer nächsten Ausführungsform kann das integrierte Bauelement ein Substrat aufweisen bzw. enthalten. Auf dem Substrat kann der Innenbereich (z. B. Leitbahn) aufgebracht sein bzw. ist er aufgebracht. Auf dem Innenbereich (z. B. Leitbahn) kann die Schutzschicht aufgebracht sein bzw. ist sie aufgebracht. Das Substrat enthält bspw. ein Halbleitersubstrat. Das Halbleitersubstrat kann z. B. ein einkristallines Substrat sein, insbesondere aus Silizium, einem anderen Halbleiter, oder auch aus einem Verbindungshalbleiter. Auch kann das Halbleitersubstrat ein SOI-(Silicon On Insulator)Substrat sein. Zwischen dem Halbleitersubstrat und dem Innenbereich können weitere Schichten aufgebracht sein, insbesondere in integrierter Technologie (Schichtabscheidung, Strukturierung mit Masken), z. B. Folgen aus Vialagen und Leitbahnlagen. Auch zwischen der Schutzschicht und dem Innenbereich können weitere Schichten liegen.
- Es wird ein Bauteil mit Anschlussvorrichtung an einem integrierten Bauelement bzw. Chip angegeben. Das integrierte Bauelement umfasst mindestens ein Schaltungselement, insbesondere eine Halbleiterschaltungselement, mindestens eine elektrisch leitfähige Anschlussleitstruktur und eine elektrisch leitfähige Verbindung zwischen dem Halbleiterschaltungselement und der Anschlussleitstruktur. An der Anschlussleitstruktur ist eine Anschlussfläche für einen äußeren Anschluss des integrierten Bauelements angeordnet. Die Anschlussleitstruktur enthält den elektrisch leitfähigen Innenbereich und die elektrisch leitfähige Schutzschicht, deren Material sich von dem Material des Innenbereichs unterscheidet. Die Schutzschicht enthält Nickel und Palladium, vorzugsweise eine Nickel-Palladium-Legierung.
- Vorteile der Anschlussvorrichtung bzw. des zugehörigen Herstellungsverfahrens liegen darin, dass eine Nickel-Palladium-Schicht sowohl auf Aluminium als auch nicht erfindungsgemäß auf Kupfer eingesetzt werden kann. Außerdem erlaubt der Einsatz von Nickel-Palladium:
- – das Prüfen mit Nadelkarten ohne Schädigung von Kontakt-Metallisierungen oder von unter der Metallisierung liegenden Dielektrika,
- – das Drahtbonden mit Gold- oder Aluminium-Drähten oder mit anderen Drähten, und
- – alternativ oder sogar zusätzlich an gleich aufgebauten Schichtfolgen auch das Löten von Drähten oder Blechen aus Gold, Kupfer bzw. anderen Materialien, insbesondere mittels Zinn-Silber- oder Gold-Zinn-Loten oder mittels Diffusionsloten, wobei harte intermetallische Phasen gebildet werden, wie z. B. Cu3Sn oder Au5Sn.
- Außerdem kann die Nickel-Palladium-Schicht sowohl durch Elektroplating in Resiststrukturen (so genanntes pattern plating) als auch durch Sputtern oder andere Schichtabscheidungsprozesse aufgebracht werden. Beim Elektroplating werden Verfahren mit Außenstrom und Verfahren ohne Außenstrom unterschieden. Verfahren mit Außenstrom verwenden eine äußere Spannungsquelle beim Platieren bzw. Galvanisieren. Insbesondere werden dabei sogenannte Mehrkammer-Anlagen verwendet. Bei geeigneter Anlagenkonfiguration können so unterschiedliche Metallschichten sequenziell in derselben Anlage in-situ abgeschieden werden. Im Fall von Nickel-Palladium auf dicken Kupferbahnen, z. B. bei Leistungsschaltkreisen, d. h. Leistungen größer als 0,5 Watt, liegt nach dem Lackentfernen und einer Seedlayer-Ätzung eine verbesserte Geometrie in Form von T-förmigen Überständen von Nickel-Palladium auf den Kupferbahnen vor, so dass die mechanische Verankerung von Pressmassen auf der Chip-Oberfläche erhöht ist und eine Gehäuse-Delaminierung verhindert wird.
- Für Aluminiummetallisierungen erfolgt beispielsweise ein Sputtern von Nickel-Palladium in-situ, d. h. in der gleichen Anlage, mit dem Aluminium. Das Strukturieren von Nickel-Palladium auf Aluminium erfolgt beispielsweise mit der gleichen Lackmaske wie das Aluminiumätzen, beispielsweise nasschemisch oder trocken-chemisch, insbesondere mittels eines Plasmas aus SF6 (Schwefelhexafluorid) und Sauerstoff.
- Weitere Vorteile sind:
- – einfache Schichtabscheidung von Nickel-Palladium durch Elektroplating, d. h. es wird nur eine einfache ECD-Kammer (Electro Chemical Deposition) benötigt. Für viele Produkte kann die Nickel-Palladium-Schicht nicht erfindungsgemäß in-situ mit der Kupfermetallisierung aufgebracht werden, d. h. in derselben Anlage. Alternativ kann Palladium in derselben Anlage mit Aluminium aufgesputtert werden.
- – Die Nickel-Palladium-Schicht hat eine große Härte und ist rissfrei, insbesondere tritt keine Versprödung durch Tempern auf, was experimentell nachgewiesen werden konnte.
- – Die Nickel-Palladium-Schicht bietet einen guten Schutz gegen Verletzung der Kontakt-Metallisierung oder gegen Chip-Risse beim Nadelkontaktieren,
- – Die Nickel-Palladium-Schicht ist gut bondbar, insbesondere durch Drahtbonden mit beispielsweise Aluminium, Gold oder Kupfer.
- – Die Nickel-Palladium-Schicht ist sehr gut lötbar mit Drähten bzw. Blechen.
- – Wird auch ein Chipträger bzw. Zuleitungsrahmen mit Nickel-Palladium überzogen, so lassen sich identische Oberflächen von Chip und Zuleitungen (lead frame) erzielen, was gleichartige elektrische leitfähige Verbindungen ermöglicht. Insbesondere sind die Verbindungen gleich gut.
- – Elektrolyte zum Abscheiden von Nickel-Palladium sind verfügbar, so dass bereits erfolgreiche Versuche durchgeführt werden konnten.
- – Aufgrund der nicht erfindungsgemäßen seitlichen Vorsprünge der Nickel-Palladium-Schicht über eine darunter liegende Schicht ergibt sich beispielsweise eine erhöhte Pressmassenhaftung auf der Chipoberfläche, d. h. durch das T-Profil von Kupferleitbahnen mit Nickel-Palladium.
- Insbesondere enthält die Nickel-Palladium-Schicht bspw. mehr als 75 Gewichtsprozent oder mehr als 95 Gewichtsprozent Nickel-Palladium. Der Anteil von Palladium liegt vorzugsweise bei größer als 50 Gewichtsprozent bezogen auf alle Atome der ersten Schicht. Ein bevorzugter Bereich liegt zwischen 60 Gewichtsprozent bis 80 Gewichtsprozent Palladium, vorzugsweise 70 Gewichtsprozent.
- Grenzt die Schutzschicht an den Innenbereich an und ist die Schutzschicht an der Anschlussfläche angeordnet, so muss bspw. nur eine elektrisch leitfähige Schicht auf den Innenbereich aufgebracht werden, so dass sich eine einfache Herstellung ergibt.
- Enthält die Anschlussleitstruktur alternativ eine elektrisch leitfähige dritte Schicht bzw. Hilfsschicht, die zwischen der Anschlussfläche und der Schutzschicht angeordnet ist, so lässt sich durch die Verwendung eines Schichtstapels erreichen, dass die Nickel-Palladium-Schicht beispielsweise geschützt wird. Als Material für die Hilfsschicht wird vorzugsweise Gold verwendet. Die Hilfsschicht liegt also weiter außen als der Innenbereich und die Schutzschicht. Die Schichtdicke der Hilfsschicht liegt bspw. im Bereich von 20 Nanometer bis 150 Nanometer. Die Hilfsschicht schützt die Schutzschicht (Nickel-Palladium) vor Oxidation und/oder Wasserstoffversprödung. Dies kann insbesondere bei Leistungsbauteilen von Vorteil sein.
- Vorteilhafterweise besteht nicht erfindungsgemäß der Innenbereich aus Kupfer oder aus einer Kupferlegierung, die mindestens 60 Atomprozent Kupfer enthält. Damit hat der Innenbereich einen kleinen Ohmschen Widerstand, so dass Leistungsverluste klein bleiben. Insbesondere hat der Innenbereich eine Dicke größer als 1 Mikrometer, größer als 2 Mikrometer oder sogar größer als 5 Mikrometer, jedoch bspw. kleiner als 30 Mikrometer. Damit kann das Bauelement für Hochstromanwendungen bzw. für Leistungsanwendungen eingesetzt werden. Beispielsweise wird das Bauelement für Schaltströme im Bereich von 0,5 Ampère bis 10 Ampère oder sogar größer als 10 Ampère verwendet, insbesondere im Kraftfahrzeugbereich. Die Schaltleistung liegt beispielsweise im Bereich zwischen 0,5 Watt bis 10 Watt. Insbesondere ist die Schaltleistung größer als 1 Watt beispielsweise.
- Überragt nicht erfindungsgemäß die Schutzschicht den Innenbereich lateral, so lässt sich beispielsweise die Haftung einer Vergussmasse oder eines anderen Gehäusekörpers des Bauelements an dem Bauelement erheblich erhöhen. Beispielsweise entsteht ein Vorsprung von mindestens 50 Nanometern oder mindestens 100 Nanometern, vorzugsweise jedoch von kleiner als 2 Mikrometern.
- Die Schutzschicht kann nicht erfindungsgemäß mit einer Kornstruktur erzeugt werden, die eine mittlere Korngröße größer als 100 Nanometer oder größer als 150 Nanometer hat, insbesondere wenn ein elektrochemisches Verfahren zur Abscheidung verwendet wird, insbesondere ein Verfahren mit Außenstrom. Dadurch kann eine phosphorfreie und damit duktile Schicht erzeugt werden. Dies wäre bei einem Verfahren ohne Außenstrom (electroless) nicht der Fall.
- Alternativ kann der Innenbereich aus Aluminium oder aus einer Aluminiumlegierung mit mindestens 60 Atomprozent Aluminium hergestellt werden, so dass sich insbesondere bei Logik-Schaltkreisen Vorteile bieten, d. h. bei Schaltkreisen, in denen vergleichsweise geringe Leistungen umgesetzt werden.
- Die Kornstruktur einer Schicht kann vorzugsweise eine mittlere Korngröße kleiner als 100 Nanometer oder kleiner als 50 Nanometer haben, wie es bei einer mit Hilfeeines Sputterverfahrens hergestellten Aluminiumschicht der Fall ist. Die Körner sind jedoch beispielsweise größer als 5 Nanometer. Weil Aluminium üblicherweise aufgesputtert wird, wird auch die Nickel-Palladium-Schicht aufgesputtert, um ein in-situ-Verfahren einsetzen zu können, d. h. in derselben Anlage.
- Insbesondere kann auch ein Anschlussdraht eingesetzt werden, dessen eines Ende an der Anschlussfläche angeordnet ist. Alternativ oder zusätzlich kann eine Lötverbindung eingesetzt werden, die an der Anschlussfläche angeordnet ist. Auch kann die Anschlussfläche Einkerbungen enthalten, wie sie Prüfnadeln typisch sind. Jedoch sind diese Einkerbungen sehr klein, insbesondere führen sie nicht zu Rissen und behindern bspw. ein nachfolgendes Bonden nicht.
- Weiterhin kann es beispielsweise eine Anschlussvorrichtung geben, die mit dem Anschlussdraht oder mit der Lötverbindung verbunden ist. Die Anschlussvorrichtung ist bspw. aus einem das integrierte Bauelement umgebenden Gehäuse bzw. aus einem Füllmaterial herausgeführt. Die Anschlussvorrichtung ist beispielsweise ein so genannter Chipträger (bspw. Teil eines lead frame), ein Anschlussbein oder ein Anschlussplättchen.
- Es kann nicht erfindungsgemäß sowohl der Innenbereich als auch die Schutzschicht mit einer elektro-chemischen Abscheidung insbesondere mit Außenstrom erzeugt werden, so dass sich die gleiche Anlage verwenden lässt. Dies ist insbesondere bei einem nicht erfindungsgemäßen Innenbereich aus Kupfer vorteilhaft. Das Verwenden nur einer Anlage ermöglicht es, die Herstellungskosten zu senken.
- Wird nicht erfindungsgemäß eine Resistmaske, z. B. strukturierter Fotolack, zum elektro-chemischen Abscheiden des Innenbereichs verwendet, so lässt sich diese Resistmaske auch für das selektive Abscheiden der Nickel-Palladium-Schicht verwenden.
- Alternativ kann sowohl der Innenbereich als auch die Schutzschicht aufgesputtert werden, gegebenenfalls auf noch weitere Schichten. Dies kann wiederum in der gleichen Anlage oder sogar in der gleichen Kammer erfolgen.
- Somit wird ein hartes Beschichtungsmaterial auf Chip-Kontaktmetallisierung verwendet, nämlich Nickel-Palladium, das hart, rissfrei, lötbar, draht-bondbar und gleichzeitig korrosionsfest ist. Das Aufbringen kann durch einen Elektroplatingschritt in-situ mit beispielsweise Kupferelektroplating erfolgen oder durch Sputtern, beispielsweise in-situ mit Aluminium. Die Gehäusezuverlässigkeit für freistehende Kupferbahnen mit Nickel-Palladium-Hartbeschichtung wird somit verbessert, insbesondere durch erhöhte Pressmassen-Haftung.
- Es kommt insbesondere nicht mehr zu einer Rissbildung nach Temperatur-Prozessen, wie es beispielsweise bei Nickel-Phosphor der Fall wäre. Außerdem ist Nickel-Palladium härter und stabiler als beispielsweise eine Nickel-Molybdän-Phosphor-Legierungsschicht, die durch eine stromlose galvanische Abscheidung erzeugt worden ist.
- Sofern in dieser Anmeldung ”können” oder ”kann” erwähnt wird, ist sowohl die Möglichkeit gemeint als auch die tatsächliche Realisierung der genannten Maßnahme bei einer Ausführungsform. Im Folgenden werden einige Ausführungsformen der Erfindung anhand von Figuren dargestellt, die lediglich der Illustration dienen und den Umfang der Erfindung nicht beschränken sollen.
-
1A und1B zeigen nicht erfindungsgemäße Herstellungsstufen bei der Herstellung eines integrierten Bauelements8 mit einer integrierten Schaltung und mit einer integrierten Anschlussvorrichtung10 . Die Anschlussvorrichtung10 ist im Querschnitt dargestellt und ist an einem Substrat14 ausgebildet, das eine Vielzahl integrierter Halbleiter-Schaltungselemente, z. B. Transistoren, sowie eine oder mehrere Metallisierungslagen enthält. Beispielsweise enthält das Substrat14 ein Siliziumplättchen bzw. Chip oder ein Plättchen aus einem anderen Halbleitermaterial. Auch sogenannte SOI-Substrate (Silicon On Insulator) werden alternativ verwendet. - An dem Substrat
14 ist eine Metallisierungslage16 ausgebildet, die eine Vielzahl von Leitstrukturen enthält, siehe beispielsweise Leitstrukturen18 und20 , die beispielsweise Leitbahnen sind. Im Ausführungsbeispiel bestehen die Leitstrukturen18 und20 aus Kupfer bzw. alternativ aus Aluminium. Weiterhin ist in der Metallisierungslage16 ein elektrisch isolierendes Dielektrikum angeordnet, siehe beispielsweise Dielektrikumsbereiche22 ,24 und26 , wobei der Dielektrikumsbereich24 zwischen den Leitstrukturen18 und20 angeordnet ist. - Eine Hilfsschicht
30 bzw. ein Hilfsschichtstapel wurde an der Metallisierungslage16 ganzflächig abgeschieden. Im Ausführungsbeispiel wurde eine Hilfsschicht30 aus Kupfer abgeschieden, die als Stromzuführung bei einem weiter unten erläuterten elektro-chemischen Abscheideverfahren dient. Dabei wird eine Spannung am Waferrand an die Hilfsschicht30 angelegt. - Anschließend wird eine Resistschicht
32 aufgebracht beispielsweise aus einem lichtempfindlichen Material, wie Fotolack. Die Resistschicht32 wird mit Hilfe einer Maske selektiv belichtet. Anschließend wird entwickelt, wobei Resistbereiche34 ,36 ,38 usw. entstehen. Zwischen dem Resistbereich34 und36 liegt eine Aussparung40 , die oberhalb der Leitstruktur18 liegt. Zwischen dem Resistbereich36 und38 liegt eine Aussparung42 , die oberhalb der Leitstruktur20 liegt. - Danach wird mit Hilfe eines elektro-galvanischen Verfahrens, d. h. mit Außenstrom, Kupfer abgeschieden, siehe Kupferanschlusspads
44 ,46 bzw. im Fall einer Umverdrahtung Kupferleitbahnen44 ,46 . Im Ausführungsbeispiel ist die Kupferschicht dicker als 1 Mikrometer, typischerweise dicker als 4 Mikrometer, jedoch kleiner als 30 Mikrometer. Damit haben die Kupferleitbahnen44 und46 eine hohe Stromtragfähigkeit, wie sie bei Leistungsschaltkreisen bzw. bei Anwendungen im Hochfrequenzbereich gefordert sind, beispielsweise bei Frequenzen größer als 1 Gigahertz. - Nach dem Abscheiden des Kupfers wird in der gleichen Anlage oder auch in einer anderen Anlage eine Nickel-Palladium-Schicht abgeschieden, die selektiv auf dem Kupfer
44 bzw.46 angeordnet ist, siehe Schichtbereiche48 und50 . Die Dicke der Nickel-Palladium-Schicht liegt beispielsweise im Bereich von 1 Mikrometer bis 3 Mikrometer, vorzugsweise im Bereich von 1,5 Mikrometer bis 2,5 Mikrometer. - Anschließend wird optional noch eine Schutzschicht
52 abgeschieden, beispielsweise aus Gold. Dabei wird wiederum die gleiche Anlage verwendet, d. h. es findet eine elektrochemische Abscheidung statt, bspw. vorzugsweise mit oder ohne Außenstrom. Jedoch wird im Ausführungsbeispiel die Schicht52 nicht verwendet, so dass nur die Nickel-Palladium-Schicht48 ,50 abgeschieden werden muss. - Bei einer anderen Ausführungsform wird vor dem Aufbringen der Nickel-Palladium-Schicht
48 ,50 eine Schicht56 ,58 aufgebracht, die aus Nickel (vorzugsweise mit Außenstrom aufgebracht) oder Nickel-Phosphor (außenstromlos aufgebracht) besteht. Alternativ werden andere Materialien für die Schichten56 ,58 verwendet, insbesondere Nickellegierungen, wie z. B. NiMoP oder NiV. Die Schicht56 ,58 hat eine Schichtdicke die bspw. im Bereich von ein Mikrometer bis drei Mikrometer liegt. Bei Einsatz von NiP ist ein Bonden über aktiven Gebieten möglich, d. h. über Gebieten die Halbleiterbauelemente enthalten. - Wie in
1B dargestellt ist, werden anschließend die Resistbereiche34 ,36 ,38 usw. entfernt. Danach werden die freiliegenden Bereiche der Hilfsschicht30 mit Hilfe eines Ätzprozesses entfernt, insbesondere mit Hilfe eines nasschemischen Ätzprozesses. Beim nass-chemischen Ätzprozess kommt es auch zu einem seitlichen Anätzen der Leitstrukturen44 ,46 . Da dieser Ätzprozess auch auf Kupfer abgestimmt ist, wird Kupfer stärker angeätzt als die Nickel-Palladium-Schicht48 bzw.50 . Es kommt zur Bildung von Vorsprüngen an Anschlussvorrichtungen10a und12a , die aus den Anschlussvorrichtungen10 bzw.12 entstehen, siehe beispielsweise Vorsprung60 , der Nickel-Palladium-Schichten48 ,50 , die die Leitstrukturen44 bzw.46 nun lateral überragen. Der Vorsprung60 hat beispielsweise einen Überstand D3 von 100 nm bis zwei Mikrometer, z. B. ein Mikrometer. Die in1B dargestellten Dicken D1 der Kupferleitbahnen44 ,66 und D2 der Nickel-Palladium-Schichten48 ,50 wurden bereits in Zusammenhang mit der1A näher angegeben. - Somit gibt es nach dem Entfernen der Resistschicht Aussparungen zwischen den Leitstrukturen
44 ,46 , siehe beispielsweise Aussparung62 . Aus der Hilfsschicht30 werden Hilfsschichtbereiche, siehe Bereich30a und30b zwischen Leitstruktur44 und Leitstruktur18 bzw. Leitstruktur46 und Leitstruktur20 . - Die in
1B dargestellte Anordnung wird anschließend beispielsweise mit Hilfe von Bonddrähten an einen Chipträger bzw. an einen Zuleitungsrahmen angeschlossen, siehe beispielsweise Bonddraht70 . Jedoch lässt sich auch eine Flipchiptechnik zum Anschluss der Anschlussvorrichtungen10a bzw.12a verwenden. - Bei einem anderen nicht erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel werden die gleichen Verfahrensschritte durchgeführt, wie anhand der
1A und1B erläutert. Die strukturierte Resistschicht und die Seedlayer werden entfernt, nachdem die Nickel-Palladium-Schicht48 ,50 aufgebracht worden ist. Danach werden die Seitenwände der Leitstrukturen44 ,46 mit einer Seitenwandschicht bedeckt, bspw. elektrochemisch in einem außenstromlosen Verfahren und bspw. mit einer NiP-Schicht. Dadurch werden auch die Seitenwände der Leitstrukturen44 ,46 bedeckt. Sollte die Goldschicht52 ,54 aufgebracht werden, so bedeckt sie bei diesem Ausführungsbeispiel auch die Seitenwände. - Bei anderen nicht erfindungsgemäßen Ausführungsbeispielen werden die Leitstrukturen
44 ,46 ebenfalls aufgalvanisiert. Die Nickel-Palladium-Schicht48 ,50 wird jedoch aufgesputtert. Die Nickel-Palladium-Schicht lässt sich in diesem Fall beispielsweise mit Hilfe eines Lift-off-Verfahrens strukturieren, wenn der Resist abgezogen wird. Jedoch kann die Nickel-Palladium-Schicht auf andere Weise strukturiert werden. Bei einem alternativen Ausführungsbeispiel wird kein Resist aufgebracht, sondern die Leitstrukturen44 ,46 werden innerhalb einer ganzflächigen Kupferschicht aufgesputtert. Danach wird die Nickel-Palladium-Schicht48 ,50 aufgesputtert. Anschließend werden beide Schichten strukturiert, beispielsweise mit Hilfe eines fotolithografischen Verfahrens. -
2 zeigt ein integriertes Bauelement108 mit integrierter Anschlussvorrichtungen110 ,112 , die an einem Substrat213 ausgebildet sind. Das Substrat213 ist wie das Substrat14 aufgebaut, siehe Erläuterungen zu1A . Insbesondere ist an dem Substrat213 eine Vialage200 ausgebildet, die Vias202 ,204 enthält sowie elektrisch isolierende Isolierbereiche206 ,207 und208 . Nach dem Strukturieren der Vialage200 wird eine Aluminiumschicht210 ganzflächig aufgesputtert, bspw. in einer Dicke im Bereich von 1 Mikrometer bis 5 Mikrometer. In der gleichen Anlage oder in einer anderen Anlage wird danach ganzflächig eine Nickel-Palladium-Schicht220 aufgesputtert, beispielsweise mit einer Schichtdicke im Bereich von 1 Mikrometer bis 3 Mikrometer. - Danach werden mit Hilfe eines fotolithografischen Verfahrens beide Schichten
210 und220 strukturiert, wobei Leitbahnen212 und214 entstehen, die voneinander isoliert sind. Die Leitbahn212 ist mit einem Nickel-Palladium-Schichtbereich222 bedeckt. Die Leitbahn214 ist mit einem Nickel-Palladium-Bereich224 bedeckt. - Danach wird eine Isolierschicht
230 ganzflächig abgeschieden, beispielsweise eine Siliziumdioxidschicht. Eine optionale Passivierungsschicht240 wird auf die Isolierschicht230 aufgebracht. Danach werden die Isolierschicht230 und die Passivierungsschicht240 mit Hilfe eines fotolithografischen Verfahrens strukturiert, wobei im Bereich der Leitbahn212 eine Aussparung250 erzeugt wird. Im Bereich der Leitbahn214 wird eine Aussparung252 erzeugt. Die Aussparung250 ,252 reicht jeweils bis zum Nickel-Palladium-Schichtbereich222 bzw.224 . Durch den Strukturierungsschritt entstehen in der Isolierschicht230 Isolierschichtbereiche232 ,234 und236 , wobei der Isolierschichtbereich234 beispielsweise zwischen den beiden Aussparungen250 und252 liegt. In der Passivierungsschicht240 entstehen durch das Strukturieren im Querschnitt gesehen Passivierungsschichtbereiche242 ,244 ,246 usw., wobei der Passivierungsschichtbereich244 bei dem in2 gezeigten Querschnitt zwischen den Aussparungen250 und252 liegt. -
3 zeigt eine nicht erfindungsgemäße alternative Vorrichtung, die Aluminiumleitbahnen enthält. Jedoch wird eine Nickel-Palladium-Schicht nicht aufgesputtert, sondern mit Hilfe eines elektro-chemischen Verfahrens aufgebracht. Dabei wird so vorgegangen, wie oben anhand der2 erläutert. In3 haben Bezugszeichen die gleiche Bedeutung wie in2 , wobei jedoch anstelle der ersten Ziffer ”2” in3 eine erste Ziffer ”3” verwendet wird, siehe beispielsweise Substrat213 gegen Substrat313 . Jedoch wird bei dem Verfahren gemäß3 zunächst nur ganzflächig Aluminium aufgesputtert, beispielsweise in einer Schichtdicke im Bereich von 1 Mikrometer bis 5 Mikrometer. Danach wird die Aluminiumschicht310 mit Hilfe eines fotolithografischen Verfahrens strukturiert, wobei Leitbahnen312 und314 entstehen. - Danach wird eine Isolierschicht
330 aufgebracht, beispielsweise eine Siliziumdioxidschicht. Auf die Siliziumdioxidschicht330 und angrenzend an diese Schicht wird eine optionale Passivierungsschicht340 aufgebracht, beispielsweise aus einem Polyimid. - Anschließend werden die Isolierschicht
330 und die Passivierungsschicht340 mit Hilfe eines fotolithografischen Verfahrens und einer nicht dargestellten Resistmaske strukturiert, wobei Aussparungen350 und352 erzeugt werden, die bis zu der Leitbahn312 bzw.314 reichen. Dabei entstehen Isolierschichtbereiche333 ,334 und336 sowie Passivierungsschichtbereiche342 ,344 und346 . - Nach dem Entfernen der Resistmaske wird ganzflächig ein dünner Hilfsschichtstapel
360 aufgesputtert, z. B. enthaltend z. B. eine Kupferschicht, deren Schichtdicke bspw. im Bereich von 100 Nanometer bis 300 Nanometer liegt, mit darunter liegender Kupferdiffusionsbarriere, die bspw. eine Schichtdicke im Bereich von 20 bis 300 Nanometer hat und bspw. Ta/TaN enthält. Danach wird eine Resistschicht362 aufgebracht, mit Hilfe einer Maske belichtet und entwickelt, wobei Resistbereiche364 ,366 und368 entstehen, und wobei die Aussparungen350 ,352 wieder bis zu der Hilfsschicht360 freigelegt werden. Anschließend wird mit Hilfe eines galvanischen Verfahrens Nickel-Palladium aufgebracht. Dabei entstehen Nickel-Palladium-Schichtbereiche322 an der Leitbahn312 bzw.324 an der Leitbahn314 . Danach werden die Resistbereiche364 ,366 und368 entfernt. In einem Rückätzschritt werden die freiliegenden Bereiche der Hilfsschicht360 entfernt. Damit ist die Herstellung von Anschlussvorrichtungen380 und382 beendet. Beispielsweise werden in einem letzten Schritt Bonddrähte oder Lotkügelchen auf die Anschlussvorrichtungen380 ,382 sowie auf weitere nicht dargestellte Anschlussvorrichtungen aufgebracht. - Auch bei den Ausführungsbeispiel gemäß
2 bzw.3 wird in einer Weiterbildung ein Goldflash auf die Nickel-Palladium-Schicht aufgebracht. Auch wird bspw. eine Barriereschicht zwischen der Nickel-Palladium-Schicht und der Alu-Schicht aufgebracht, wobei auf die Ausführungen zu1A und1B verwiesen wird, d. h. insbesondere Barrieren aus Nickelphosphor oder aus anderen Materialien, insbesondere Nickellegierungen. -
4 zeigt ein Ausführungsbeispiel für ein mit einem Gehäuse versehenen elektronischen Bauteil400 . Das Bauteil400 enthält einen Chip402 , z. B. das integrierte Bauelement8 ,108 oder450 , siehe6 . Das Bauteil400 enthält außerdem eine Vielzahl von Anschlussbeinen, siehe bspw. Anschlussbein404 . Die Anschlussbeinchen404 wurden bspw. aus einem Leiterrahmen bzw. Leadframeausgestanzt. - Das Bauteil
400 enthält weiterhin einen Gehäusekörper406 , bspw. aus einer Pressmasse, z. B. einem Polymermaterial. Der Chip402 ist bspw. über Bonddrähte408 ,410 mit den Anschlussbeinchen verbunden. Zusätzlich kann das Bauteil400 bei einer alternativen Ausführungsform noch einen Chip412 enthalten, der auf dem Chip402 angeordnet ist, bspw. in Flip Chip Technik. Somit sind an den erläuterten Anschlussleitstrukturen nicht nur Bondrähte sondern auch Lötverbindungen angeschlossen. -
5 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel für ein mit einem Gehause versehenen elektronischen Bauteil420 . Das Bauteil420 enthält einen Chip422 , der bspw. wie die an Hand der1A bis3 erläuterten integrierten Bauelemente aufgebaut ist. Weiterhin enthält das Bauteil420 eine Umverdrahtung424 , insbesondere eine Leiterplatte, z. B. aus C4 Material, eine Keramikplatte oder eine in Dünnfilmtechnik an einem Gehäusekörper432 hergestellte Umverdrahtung424 . Verbindungen426 verbinden den Chip422 mit der Umverdrahtung. Die Verbindungen426 sind bspw. Lotkügelchen. Insbesondere sind die Verbindungen426 an die oben erläuterten Anschlussleitstrukturen angeschlossen, die durch Nickel-Palladium geschützt sind. - Bspw. Lotkügelchen
430 verbinden das Bauteil420 mit einer Leiterplatte431 , die bspw. weitere Bauteile trägt, insbesondere auch passive Teile, wie Spulen und Kondensatoren. - Das Bauteil
420 enthält einen Gehäusekörper432 , bspw. aus dem gleichen Material wie der Gehäusekörper406 . Optional oder alternativ zu den Verbindungen426 gibt es bspw. Bonddrähte434 ,436 zwischen dem Chip422 und der Umverdrahtung424 . Optional gibt es im Bauteil420 auch einen weiteren Chip440 . -
6 zeigt einen Querschnitt durch ein integriertes Bauelement bzw. Chip450 . Der Chip450 enthält ein Halbleitersubstrat452 , darüber Metallisierungslagen452 ,454 , z. B. in Kupfer- oder Aluminiumtechnologie, und eine Passivierung458 . Außerdem gibt es im Bauteil450 mindestens eine der Schichtfolgen460 bis464 , die den an Hand der1A bis3 erläuterten Schichtfolgen44 , optional56 ,48 und optional52 bzw.212 ,222 bzw.312 , optional360 ,324 entsprechen. Diese Schichtfolgen460 bis464 enthalten jeweils eine Nickel-Palladium-Legierungs-Schicht460b ,462b bzw.464b mit den oben genannten Schichtdicken oder mit größeren Schichtdicken. Die Schichtfolge460 ,462 bzw.464 enthält eine erste Schicht460a ,462a bzw.464a bspw. eine Aluminiumschicht oder eine Kupferschicht. Zwischen den Schichten460a ,462a bzw.464a und460b ,462b bzw.464b einer Schichtenfolge460 ,463 ,464 gibt es optional weitere Schichten, wie oben erläutert. - Die Schichtfolge
460 befindet sich in der inneren Metallisierungslage454 . Die Schichtfolge462 befindet sich in der äußeren Metallisierungslage456 , ist jedoch vollständig von der Passivierung458 bedeckt und ist somit mit keinem äußeren Anschluss verbunden, wie einem Bonddraht o. ä. Die Schichtfolge458 befindet sich dagegen unter einer Anschlussöffnung466 für bspw. einen Bonddraht oder eine Lötverbindung. Bei anderen Ausführungsbeispielen enthält das Bauelement450 auch nur eine Metallisierungslage456 oder mehr als die dargestellten zwei Metallisierungslagen, wobei die Schichtfolgen460 bis464 ebenfalls in allen oder nur in ausgewählten Metallisierungslagen angeordnet werden. - An Stelle der Schichtfolge
460 ,462 bzw.464 bzw. zusätzlich zu mindestens einer dieser Schichtfolgen460 ,462 bzw.464 enthält der Chip450 bei einem anderen Ausführungsbeispiel eine Rückseitenmetallisierung480 an der Rückseite eines Halbleitersubstrats, wobei die Rückseite diejenige Seite ist, die der Seite mit den Steuerbereichen von Halbleiterschaltungselementen abgewandt ist. Eine erste Schicht480a der Schichtfolge480 ist bspw. eine Kupferschicht. Eine zweite Schicht480b der Schichtfolge480 ist bspw. die Nickel-Palladium-Schicht. Zwischen den Schichten480a und480b gibt es optional die oben erwähnte Bufferschicht. - Bei einem Ausführungsbeispiel mit Rückseitenmetallisierung
480 und mit Schichtfolge464 gibt es eine Lötverbindung zwischen einem Leadframe490 bzw. Leadframeblech oder ein anderes Blech, ggf. mit Wärmeableitungsfunktion und/oder Anschlussfunktion, und der Schichtfolge480 . An die Schichtfolge464 ist dagegen ein Bonddraht gebondet (nicht dargestellt). Alternativ wird an die Schichtfolge464 ein Draht gelötet. Jedoch werden auch andere Montageformen verwendet, bspw. Rückseiten-Bügel von einem Trägesubstrat, d. h. bspw. einer Leiterplatte oder einem Zwischenträger (interposer), abgewandt und an den Schichtfolgen464 bspw. Lötverbindungen (Bumps, Lotkügelchen) direkt zum Trägersubstrat. - Bei einem anderen Ausführungsbeipiel wird an einem Anschluss, d. h. bspw. an der Schichtfolge
464 oder480 ein Blech und ein Draht angelötet. Alternativ kann der Draht auch angebondet werden. Bspw. kann auch an verschiedenen Anschlüssen der Chipvorderseite mit verschiedenen Verbindungsverfahren oder mit den gleichen Verbindungsverfahren gearbeitet werden. - Die anhand der
1A bis6 erläuterten Verfahren lassen sich Vorteilhafterweise auf Waferebene durchführen. Dies bedeutet, dass die Bauelemente bzw. Chips erst nach der Durchführung der erläuterten Verfahrensschritte voneinander getrennt bzw. vereinzelt werden. - Auch können jeweils nur eine Abscheidungsanlage und nur zwei Metalle bzw. Metalllegierungen verwendet werden, nämlich z. B. Aluminium und Nickel-Palladium bzw. nicht erfindungsgemäß Kupfer und Nickel-Palladium.
Claims (19)
- Elektronisches Bauteil (
400 ,420 ) umfassend: ein integriertes Bauelement (108 ,402 ,422 ), das eine zweite Schicht (220 ) aufweist, die eine Nickel-Palladium-Legierung enthält, wobei das integrierte Bauelement (108 ,402 ,422 ) umfasst: mindestens ein Schaltungselement, mindestens eine elektrisch leitfähige Anschlussleitstruktur, und eine elektrisch leitfähige Verbindung zwischen dem Schaltungselement und der Anschlussleitstruktur, eine an der Anschlussleitstruktur angeordnete Anschlussfläche für einen äußeren Anschluss des integrierten Bauelements (108 ,402 ,422 ), wobei die Anschlussleitstruktur eine elektrisch leitfähige erste Schicht (210 ) und die elektrisch leitfähige zweite Schicht (220 ) enthält, deren Material sich von dem Material der ersten Schicht (210 ) unterscheidet, wobei die erste Schicht (210 ) aus Aluminium besteht oder aus einer Aluminiumlegierung, wobei die Aluminiumlegierung mindestens 70 Atomprozent Aluminium enthält, und wobei die zweite Schicht (220 ) und die erste Schicht (210 ) gemäß nur einem fotolithografischen Verfahren strukturiert sind. - Bauteil (
400 ,420 ) nach Anspruch 1, wobei das integrierte Bauelement (108 ,402 ,422 ) ein Substrat (213 ) aufweist, wobei auf dem Substrat (213 ) die erste Schicht (210 ) aufgebracht ist; und wobei auf der ersten Schicht (210 ) die zweite Schicht (220 ) aufgebracht ist. - Bauteil (
400 ,420 ) nach Anspruch 1 oder 2, wobei das Bauteil (400 ,420 ) umfasst: eine Verdrahtungsvorrichtung (404 ,424 ), insbesondere aufweisend Anschlussbeinchen (404 ) oder eine Leiterplatte (424 ) auf Kunststoffbasis oder auf Keramikbasis oder eine Dünnfilmverdrahtungsanordnung, oder ein weiteres integriertes Bauelement (412 ,440 ), mindestens ein Verbindungselement (408 ,434 ,426 ), das die zweite Schicht (220 ) mit der Verdrahtungsvorrichtung (404 ,424 ) oder mit dem weiteren integriertes Bauelement (412 ,440 ) verbindet, insbesondere einen Bonddraht, einen Lötdraht und/oder Bond-Bump. - Bauteil (
400 ,420 ) nach Anspruch 3, wobei das Verbindungselement vorzugsweise aus Kupfer oder einer Kupferlegierung oder aus Aluminium oder einer Aluminiumlegierung oder aus Gold besteht. - Bauteil (
400 ,420 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Bauteil (400 ,420 ) umfasst: ein metallenes Element (490 ), das auf die zweite Schicht (220 ) gelötet ist, insbesondere ein Kühlblech oder ein Kühlbügel, wobei das metallene Element (490 ) vorzugsweise aus Kupfer oder einer Kupferlegierung besteht. - Bauteil (
400 ,420 ) nach einem der Ansprüche 2 bis 5, wobei das Bauteil (400 ,420 ) umfasst: eine dritte Schicht, die wie die erste Schicht (210 ) aufgebaut ist und eine vierte Schicht, die wie die zweite Schicht (220 ) aufgebaut ist, ein metallenes Element (490 ), das auf die vierte Schicht gelötet ist, insbesondere ein Kühlblech oder ein Kühlbügel. - Bauteil (
400 ,420 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Bauteil (400 ,420 ) umfasst: einen Gehäusekörper (406 ),432 ), insbesondere aus einem elektrisch isolierenden Füllmaterial, wobei der Gehäusekörper (406 ,420 ) vorzugsweise das integrierte Bauelement (108 ,402 ,422 ) bedeckt. - Bauteil (
400 ,420 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die zweite Schicht (220 ) eine Nickel-Palladium-Schicht ist, die mehr als 75 Gewichtsprozent Nickel-Palladium enthält. - Bauteil (
400 ,420 ) nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei die zweite Schicht (220 ) eine Nickel-Palladium-Schicht ist, die mehr als 95 Gewichtsprozent Nickel-Palladium enthält. - Bauteil (
400 ,420 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die zweite Schicht (48 ) an die erste Schicht (44 ) angrenzt. - Bauteil (
400 ,420 ) nach einem der einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Anschlussfläche (AF) an der zweiten Schicht (220 ) angeordnet ist. - Bauteil (
400 ,420 ) nach einem der einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Anschlussleitstruktur eine elektrisch leitfähige dritte Schicht enthält, die zwischen der Anschlussfläche (AF) und der zweiten Schicht (220 ) angeordnet ist, und wobei die dritte Schicht ein Material enthält, das sich von dem Material der zweiten Schicht (220 ) unterscheidet. - Bauteil (
400 ,420 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die erste Schicht (44 ) eine Schichtdicke im Bereich von einem Mikrometer bis zu 5 Mikrometern hat. - Bauteil (
400 ,420 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei ein Anschlussdraht vorhanden ist, dessen eines Ende an der Anschlussfläche (AF) angeordnet ist und/oder wobei ein Lötverbindung vorhanden ist, die an der Anschlussfläche (AF) oder an einer wie die Anschlussfläche (AF) ausgebildeten Anschlussfläche vorhanden ist. - Bauteil (
400 ,420 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die zweite Schicht (48 ) eine Kornstruktur hat mit einer mittleren Korngröße kleiner als 100 Nanometer. - Bauteil (
400 ,420 ) nach Anspruch 3, wobei die Verdrahtungsvorrichtung eine Anschlusseinrichtung ist, und wobei die Anschlusseinrichtung aus einem das integrierte Bauelement (108 ,402 ,422 ) umgebenden Gehäusekörper (406 ,432 ) herausgeführt ist. - Bauteil (
400 ,420 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das integrierte Bauelement (108 ,402 ,422 ) eine Schicht umfasst, die Nickel enthält oder aus Nickel besteht, und die vorzugsweise an der Schicht (220 ) angrenzt, die die Nickel-Palladium-Legierung enthält, oder wobei das integrierte Bauelement (108 ,402 ,422 ) eine Schicht umfasst, die Nickelphosphor enthält oder aus Nickelphosphor besteht, und die vorzugsweise an der Schicht (220 ) angrenzt, die die Nickel-Palladium-Legierung enthält. - Verfahren zum Herstellen eines elektronischen Bauelements (
108 ,402 ,422 ) umfassend die Schritte: auf einem Substrat (213 ) wird ein erstes leitfähiges Material (210 ) aufgebracht, das aus Aluminium besteht oder aus einer Aluminiumlegierung mit mindestens 70 Atomprozent Aluminium; und auf dem ersten leitfähigen Material (210 ) wird ein zweites leitfähiges Material (220 ) aufgebracht, das eine Nickel-Palladium-Legierung enthält, wobei das erste leitfähige Material (210 ) und das zweite leitfähige Material (220 ) durch einen Sputterprozess aufgebracht werden in derselben Anlage oder sogar in derselben Kammer und wobei das erste leitfähige Material (210 ) und das zweite leitfähige Material (220 ) gemäß nur einem fotolithografischen Verfahren strukturiert werden. - Verfahren nach Anspruch 18, wobei ein Bauteil (
400 ,420 ) nach einem der Ansprüche 1 bis 17 ausgebildet wird.
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