JP2011109306A - 弾性表面波素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
本発明に係る弾性表面波素子1は、LiNbO3またはLiTaO3の単結晶からなる圧電基板2と、前記圧電基板上に形成され、Ti及びCrの少なくとも一方を主成分とする下地電極層5と、下地電極層5上に形成され、Alを主成分とし、エピタキシャル成長した配向膜であるとともに、XRD極点図により6回対称スポットが現れる双晶構造を有し、平均粒径が60nm以下であるAl電極層4と、を備えることを特徴としている。
【選択図】 図1
Description
実験例では、図1に示した構造を有する弾性表面波素子の弾性表面波フィルタを作製した。電極形成時の温度を2段階として、Al電極層の結晶の平均粒径を変化させた実験例1〜3および比較例1〜7の弾性表面波フィルタを作製した。
また、耐電力時間は下記のように算出した。得られた弾性表面波フィルタについて、投入電力0.8W、実測温度120℃の条件下で寿命測定を行なった。そしてその測定寿命から、仕様における要求電力0.5W、仕様要求温度85℃の条件下に換算した耐電力時間を算出した。
2 圧電基板
3 電極
4 Al電極層
5 下地電極層
Claims (3)
- LiNbO3またはLiTaO3の単結晶からなる圧電基板と、
前記圧電基板上に形成され、Ti及びCrの少なくとも一方を主成分とする下地電極層と、
前記下地電極層上に形成され、Alを主成分とし、エピタキシャル成長した配向膜であるとともに、XRD極点図により6回対称スポットが現れる双晶構造を有し、平均粒径が60nm以下であるAl電極層と、を備える弾性表面波素子。 - 前記平均粒径が0.2864nm以上である、弾性表面波素子。
- 前記平均粒径が42〜58nmである、弾性表面波素子。
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