DE102005049393B4 - Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Substratkörpers, Substratkörper mit einer Beschichtung und Verwendung des beschichteten Substratkörpers - Google Patents

Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Substratkörpers, Substratkörper mit einer Beschichtung und Verwendung des beschichteten Substratkörpers Download PDF

Info

Publication number
DE102005049393B4
DE102005049393B4 DE102005049393.9A DE102005049393A DE102005049393B4 DE 102005049393 B4 DE102005049393 B4 DE 102005049393B4 DE 102005049393 A DE102005049393 A DE 102005049393A DE 102005049393 B4 DE102005049393 B4 DE 102005049393B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
substrate body
coating
layer
nitrogen
carbon
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE102005049393.9A
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
DE102005049393A1 (de
Inventor
Dr. Berg Hendrikus van den
Dr. Westphal Hartmut
Volkmar Sottke
Doris Lenk
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kennametal Widia Produktions GmbH and Co KG
Original Assignee
Kennametal Widia Produktions GmbH and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kennametal Widia Produktions GmbH and Co KG filed Critical Kennametal Widia Produktions GmbH and Co KG
Priority to DE102005049393.9A priority Critical patent/DE102005049393B4/de
Priority to JP2008534863A priority patent/JP5184364B2/ja
Priority to US12/067,897 priority patent/US8012535B2/en
Priority to CN2006800345265A priority patent/CN101305112B/zh
Priority to PCT/DE2006/001755 priority patent/WO2007045209A1/de
Priority to EP06805375A priority patent/EP1934382A1/de
Publication of DE102005049393A1 publication Critical patent/DE102005049393A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE102005049393B4 publication Critical patent/DE102005049393B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/36Carbonitrides
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T407/00Cutters, for shaping
    • Y10T407/27Cutters, for shaping comprising tool of specific chemical composition

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Drilling Tools (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
DE102005049393.9A 2005-10-15 2005-10-15 Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Substratkörpers, Substratkörper mit einer Beschichtung und Verwendung des beschichteten Substratkörpers Expired - Lifetime DE102005049393B4 (de)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102005049393.9A DE102005049393B4 (de) 2005-10-15 2005-10-15 Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Substratkörpers, Substratkörper mit einer Beschichtung und Verwendung des beschichteten Substratkörpers
JP2008534863A JP5184364B2 (ja) 2005-10-15 2006-10-07 被覆された基材成形体の製造法、被覆を有する基材成形体及び被覆された基材成形体の使用
US12/067,897 US8012535B2 (en) 2005-10-15 2006-10-07 Method for producing a coated substrate body, substrate body comprising a coating and use of the coated substrate body
CN2006800345265A CN101305112B (zh) 2005-10-15 2006-10-07 用于制备涂覆底材型体的方法、具有涂层的底材型体及此涂覆底材型体的用途
PCT/DE2006/001755 WO2007045209A1 (de) 2005-10-15 2006-10-07 Verfahren zur herstellung eines beschichteten substratkörpers, substratkörper mit einer beschichtung und verwendung des beschichteten substratkörpers
EP06805375A EP1934382A1 (de) 2005-10-15 2006-10-07 Verfahren zur herstellung eines beschichteten substratkörpers, substratkörper mit einer beschichtung und verwendung des beschichteten substratkörpers

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102005049393.9A DE102005049393B4 (de) 2005-10-15 2005-10-15 Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Substratkörpers, Substratkörper mit einer Beschichtung und Verwendung des beschichteten Substratkörpers

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE102005049393A1 DE102005049393A1 (de) 2007-04-19
DE102005049393B4 true DE102005049393B4 (de) 2019-08-08

Family

ID=37800013

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102005049393.9A Expired - Lifetime DE102005049393B4 (de) 2005-10-15 2005-10-15 Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Substratkörpers, Substratkörper mit einer Beschichtung und Verwendung des beschichteten Substratkörpers

Country Status (6)

Country Link
US (1) US8012535B2 (https=)
EP (1) EP1934382A1 (https=)
JP (1) JP5184364B2 (https=)
CN (1) CN101305112B (https=)
DE (1) DE102005049393B4 (https=)
WO (1) WO2007045209A1 (https=)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ES2426582T5 (es) * 2006-09-05 2016-11-22 Tungaloy Corporation Herramienta de corte recubierta y método para producirla
WO2012032839A1 (ja) 2010-09-07 2012-03-15 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具
CN102847962B (zh) * 2011-06-29 2016-05-04 三菱综合材料株式会社 硬质包覆层发挥优异的耐崩刀性的表面包覆切削工具
DE102011087715A1 (de) * 2011-12-05 2013-07-25 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Hartstoffbeschichtete körper aus metall, hartmetall, cermet oder keramik sowie verfahren zur herstellung derartiger körper
EP3000913B1 (en) 2014-09-26 2020-07-29 Walter Ag Coated cutting tool insert with MT-CVD TiCN on TiAI(C,N)
US20170342551A1 (en) * 2015-01-14 2017-11-30 Ube Industries, Ltd. Method for manufacturing metal carbonitride film or metalloid carbonitride film, metal carbonitride film or metalloid carbonitride film, and apparatus for manufacturing metal carbonitride film or metalloid carbonitride film
JP2016138325A (ja) * 2015-01-29 2016-08-04 宇部興産株式会社 金属又は半金属炭窒化膜の製造方法
JP2016130337A (ja) * 2015-01-14 2016-07-21 宇部興産株式会社 金属又は半金属炭窒化膜の製造方法
US11939670B2 (en) 2018-09-28 2024-03-26 Corning Incorporated Low temperature methods for depositing inorganic particles on a metal substrate and articles produced by the same
JP7141601B2 (ja) * 2019-12-19 2022-09-26 株式会社タンガロイ 被覆切削工具

Citations (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1951359A1 (de) * 1968-10-21 1970-04-23 Texas Instruments Inc Verfahren zum UEberziehen von Gegenstaenden mit einem Metallkarbonitrid
US3771976A (en) 1971-01-08 1973-11-13 Texas Instruments Inc Metal carbonitride-coated article and method of producing same
DE2505009A1 (de) 1974-02-07 1975-08-14 Ciba Geigy Ag Verfahren zum beschichten von anorganischen substraten mit carbiden, nitriden und/oder carbonitriden
DE2505008A1 (de) 1974-02-07 1975-08-14 Ciba Geigy Ag Verfahren zum erzeugen von diffusionsschichten aus carbiden, nitriden und/oder carbonitriden
DE2505007A1 (de) 1974-02-07 1975-08-14 Ciba Geigy Ag Verfahren zum beschichten von anorganischen substraten mit carbiden, nitriden und/oder carbonitriden
DD276603A3 (de) 1984-12-03 1990-03-07 Akad Wissenschaften Ddr Verschleissfester ueberzug, insbesondere fuer werkzeuge, und verfahren zu seiner herstellung
EP0440157A1 (en) 1990-01-31 1991-08-07 Mitsubishi Materials Corporation Process for producing a surface-coated blade member for cutting tools
US5436071A (en) 1990-01-31 1995-07-25 Mitsubishi Materials Corporation Cermet cutting tool and process for producing the same
DE19530518A1 (de) * 1995-08-19 1997-02-20 Widia Gmbh Verfahren zur Herstellung von Multikomponenten-Carbonitrid-Hartstoffschichten und Verbundkörper
DE19722728A1 (de) * 1996-12-24 1998-06-25 Widia Gmbh Verbundkörper, bestehend aus einem Hartmetall-, Cermet-, oder Keramiksubstratkörper und Verfahren zu seiner Herstellung
EP1138800A1 (en) 2000-03-30 2001-10-04 Toshiba Tungaloy Co., Ltd. Coated cutting tool and method for producing the same
US20020012818A1 (en) 2000-01-19 2002-01-31 Sakari Ruppi Coated body with nanocrystalline CVD coating for enhanced edge toughness and reduced friction
US20020086147A1 (en) 2000-05-31 2002-07-04 Mitsubishi Materials Corporation Coated cemented carbide cutting tool member and process for producing the same
DE10258282A1 (de) * 2002-12-13 2004-07-08 Walter Ag CVD-Beschichtungsverfarhen für ZrBx CyNz-Schichten (x+y+z = 1) sowie beschichtetes Schneidwerkzeug
EP1471166A2 (en) 2003-04-24 2004-10-27 Seco Tools Ab Layer with controlled grain size and morphology for enhanced wear resistance
EP1471165A2 (en) 2003-04-24 2004-10-27 Seco Tools Ab Coating with controlled grain size and morphology for enhanced wear resistance and toughness
DE10320652A1 (de) * 2003-05-07 2004-12-02 Kennametal Widia Gmbh & Co.Kg Werkzeug, insbesondere Schneidwerkzeug und Verfahren zur CVD-Abscheidung einer zweiphasigen Schicht auf einem Substratkörper

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2216273B1 (https=) 1973-02-06 1977-07-22 Roussel Uclaf
FR2216276B1 (https=) 1973-02-06 1976-11-05 Roussel Uclaf
US4196233A (en) * 1974-02-07 1980-04-01 Ciba-Geigy Corporation Process for coating inorganic substrates with carbides, nitrides and/or carbonitrides
DD279603A1 (de) 1985-12-06 1990-06-13 Inst F Pflanzenschutzforsch Kl Mittel zur larvenschlupfinduktion bei zystenbildenden nematoden
US5223337A (en) * 1988-12-10 1993-06-29 Fried. Krupp Gmbh Tool produced by a plasma-activated CVD process
EP0440167B1 (en) 1990-01-31 1996-03-20 Sony Corporation Recording mode discrimination circuit
US6650498B1 (en) * 2000-09-12 2003-11-18 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Actuator retract circuit for dual speed hard disk drive

Patent Citations (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1951359A1 (de) * 1968-10-21 1970-04-23 Texas Instruments Inc Verfahren zum UEberziehen von Gegenstaenden mit einem Metallkarbonitrid
US3771976A (en) 1971-01-08 1973-11-13 Texas Instruments Inc Metal carbonitride-coated article and method of producing same
DE2505009A1 (de) 1974-02-07 1975-08-14 Ciba Geigy Ag Verfahren zum beschichten von anorganischen substraten mit carbiden, nitriden und/oder carbonitriden
DE2505008A1 (de) 1974-02-07 1975-08-14 Ciba Geigy Ag Verfahren zum erzeugen von diffusionsschichten aus carbiden, nitriden und/oder carbonitriden
DE2505007A1 (de) 1974-02-07 1975-08-14 Ciba Geigy Ag Verfahren zum beschichten von anorganischen substraten mit carbiden, nitriden und/oder carbonitriden
US4016013A (en) 1974-02-07 1977-04-05 Ciba-Geigy Corporation Process for producing diffusion layers of carbides, nitrides and/or carbonitrides
DD276603A3 (de) 1984-12-03 1990-03-07 Akad Wissenschaften Ddr Verschleissfester ueberzug, insbesondere fuer werkzeuge, und verfahren zu seiner herstellung
US5436071A (en) 1990-01-31 1995-07-25 Mitsubishi Materials Corporation Cermet cutting tool and process for producing the same
EP0440157A1 (en) 1990-01-31 1991-08-07 Mitsubishi Materials Corporation Process for producing a surface-coated blade member for cutting tools
DE19530518A1 (de) * 1995-08-19 1997-02-20 Widia Gmbh Verfahren zur Herstellung von Multikomponenten-Carbonitrid-Hartstoffschichten und Verbundkörper
DE19722728A1 (de) * 1996-12-24 1998-06-25 Widia Gmbh Verbundkörper, bestehend aus einem Hartmetall-, Cermet-, oder Keramiksubstratkörper und Verfahren zu seiner Herstellung
US20020012818A1 (en) 2000-01-19 2002-01-31 Sakari Ruppi Coated body with nanocrystalline CVD coating for enhanced edge toughness and reduced friction
US6472060B1 (en) 2000-01-19 2002-10-29 Seco Tools Ab Coated body with nanocrystalline CVD coating for enhanced edge toughness and reduced friction
EP1138800A1 (en) 2000-03-30 2001-10-04 Toshiba Tungaloy Co., Ltd. Coated cutting tool and method for producing the same
US20020086147A1 (en) 2000-05-31 2002-07-04 Mitsubishi Materials Corporation Coated cemented carbide cutting tool member and process for producing the same
DE10258282A1 (de) * 2002-12-13 2004-07-08 Walter Ag CVD-Beschichtungsverfarhen für ZrBx CyNz-Schichten (x+y+z = 1) sowie beschichtetes Schneidwerkzeug
EP1471166A2 (en) 2003-04-24 2004-10-27 Seco Tools Ab Layer with controlled grain size and morphology for enhanced wear resistance
EP1471165A2 (en) 2003-04-24 2004-10-27 Seco Tools Ab Coating with controlled grain size and morphology for enhanced wear resistance and toughness
DE10320652A1 (de) * 2003-05-07 2004-12-02 Kennametal Widia Gmbh & Co.Kg Werkzeug, insbesondere Schneidwerkzeug und Verfahren zur CVD-Abscheidung einer zweiphasigen Schicht auf einem Substratkörper

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
LEONHARDT, A.; WOLF, E.: Der Einfluss unterschiedlicher Kohlenwasserstoffe auf Darstellung, Struktur und Verschleißfestigkeit von CVD-TiCx-Hartstoffschichten. Mat.-wiss. u. Werkstofftech., Vol. 25, 1994, S. 79-85. DOI: 10.1002/mawe.19940250207

Also Published As

Publication number Publication date
EP1934382A1 (de) 2008-06-25
WO2007045209A1 (de) 2007-04-26
CN101305112B (zh) 2010-11-10
DE102005049393A1 (de) 2007-04-19
JP2009511283A (ja) 2009-03-19
CN101305112A (zh) 2008-11-12
US20090042059A1 (en) 2009-02-12
JP5184364B2 (ja) 2013-04-17
US8012535B2 (en) 2011-09-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69431032T2 (de) Beschichtetes schneidwerkzeug und verfahren zu dessen herstellung
DE69509035T2 (de) Beschichtete Klinge aus Sinterkarbid auf Wolframkarbidbasis
DE69025582T3 (de) Beschichteter Hartmetallkörper und Verfahren zu seiner Herstellung
DE68919509T2 (de) Oberflächenbeschichtetes, zementiertes Carbid.
DE69738341T2 (de) Aluminiumoxid-beschichtetes Werkzeug und Verfahren zu seiner Herstellung
DE69527236T2 (de) Mehrschichtfilm aus ultrafeinen Partikeln und harter Verbundwerkstoff für Werkzeuge, die diesen Film enthalten
DE69527124T3 (de) Harter Verbundwerkstoff für Werkzeuge
DE69622457T2 (de) Verfahren zur Herstellung von Sinterkarbid mit Bindephase-angereicherter Oberflächenzone
EP2250299B1 (de) Hartstoffbeschichteter körper
DE112012003571B4 (de) Schneidwerkzeug
EP1664363B1 (de) Hartmetall- oder cermetkörper und verfahren zu seiner herstellung
DE19962056A1 (de) Schneidwerkzeug mit mehrlagiger, verschleissfester Beschichtung
EP0845053B1 (de) Verbundkörper und verfahren zu dessen herstellung
DE102005049393B4 (de) Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Substratkörpers, Substratkörper mit einer Beschichtung und Verwendung des beschichteten Substratkörpers
DE69802035T2 (de) Beschichtetes Schneidwerkzeug
WO2009112117A1 (de) Hartstoffbeschichteter körper
DE102016106952B4 (de) CVD-beschichteter Schneideinsatz und Verfahren zu dessen Herstellung
EP0931178B1 (de) Verbundkörper, verfahren zu seiner herstellung und verwendung des verbundkörpers
DE112014001520T5 (de) Beschichtungen für Schneidwerkzeuge
DE2306402A1 (de) Verfahren zur herstellung von verschleissfesten ueberzuegen
DE102015115859A1 (de) Mehrschichtig strukturierte Beschichtungen für Schneidwerkzeuge
DE102012002394B4 (de) Beschichtete Substrate und Verfahren zu deren Herstellung
DE10320652A1 (de) Werkzeug, insbesondere Schneidwerkzeug und Verfahren zur CVD-Abscheidung einer zweiphasigen Schicht auf einem Substratkörper
EP1570105B1 (de) CVD-BESCHICHTUNGSVERFAHREN FÜR ZRBxCyNz-SCHICHTEN (x+y+z=1) SOWIE BESCHICHTETES SCHNEIDWERKZEUG
DE102020135082B4 (de) Beschichtung und die beschichtung umfassendes beschichtetes schneidwerkzeug

Legal Events

Date Code Title Description
OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
R012 Request for examination validly filed
R012 Request for examination validly filed

Effective date: 20121001

R082 Change of representative

Representative=s name: PRINZ & PARTNER MBB PATENTANWAELTE RECHTSANWAE, DE

R016 Response to examination communication
R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division
R020 Patent grant now final
R071 Expiry of right