DE102005047447A1 - Sensoreinheit zur Bestimmung eines Messgasparameters - Google Patents

Sensoreinheit zur Bestimmung eines Messgasparameters Download PDF

Info

Publication number
DE102005047447A1
DE102005047447A1 DE200510047447 DE102005047447A DE102005047447A1 DE 102005047447 A1 DE102005047447 A1 DE 102005047447A1 DE 200510047447 DE200510047447 DE 200510047447 DE 102005047447 A DE102005047447 A DE 102005047447A DE 102005047447 A1 DE102005047447 A1 DE 102005047447A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
heater
heating element
oxide
sensor unit
sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE200510047447
Other languages
English (en)
Inventor
Petra Kuschel
Stefan Nufer
Werner Bauer
Stefan Stolz
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Karlsruher Institut fuer Technologie KIT
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Priority to DE200510047447 priority Critical patent/DE102005047447A1/de
Priority to JP2006265030A priority patent/JP5248760B2/ja
Publication of DE102005047447A1 publication Critical patent/DE102005047447A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/403Cells and electrode assemblies
    • G01N27/406Cells and probes with solid electrolytes
    • G01N27/4067Means for heating or controlling the temperature of the solid electrolyte

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)

Abstract

Es wird eine Sensoreinheit zur Bestimmung eines physikalischen Parameters eines Messgases, insbesondere eines Sauerstoffgehaltes in einem Abgas einer Brennkraftmaschine, mit einem einen Festelektrolyt umfassenden Sensorelement (1), wobei wenigstens ein elektrisch leitfähiges Heizelement (2) zum Erwärmen des Sensorelementes (1) vorgesehen ist, vorgeschlagen, das im Vergleich zum Stand der Technik besser, insbesondere wirtschaftlich günstiger hergestellt werden kann. Dies wird erfindungsgemäß dadurch erreicht, dass das Heizelement (2) wenigstens teilweise aus Indium-Zinn-Oxid besteht.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Sensoreinheit zur Bestimmung eines Messgasparameters, insbesondere eines Sauerstoffgehalts in einem Abgas einer Brennkraftmaschine, nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
  • Stand der Technik
  • Bislang wird bei Abgassensoren wie z.B. Lambdasonden das zumeist planare Sensorelement als keramische Mehrlagenstruktur aufgebaut. Hierfür wird vorzugsweise Zirkondioxid als keramisches Material bzw. als Elektrolyt verwendet.
  • Mit Hilfe eines im Inneren des Sensorelementes angeordneten Heizers wird das Sensorelement bzw. der Elektrolyt, einschließlich der Messzelle, auf eine Betriebstemperatur von ca. 600 bis 900° C erwärmt. Der elektrisch leitfähige Heizmäander besteht aus Metall wie z.B. Platin. Nachteilig hierbei ist jedoch, dass das Aufbringen des Heizmäanders auf die entsprechende Lage des Sensorelementes bzw. auf das Substrat mit vergleichsweise aufwendigen bzw. teuren Verfahren realisiert werden muss. Darüber hinaus ist auch Platin als Material für den Heizer vergleichsweise teuer.
  • Aufgabe und Vorteile der Erfindung
  • Aufgabe der Erfindung ist es demgegenüber, eine Sensoreinheit zur Bestimmung eines physikalischen Parameters eines Messgases mit einem einen Festelektrolyt umfassenden Sensorelement, wobei wenigstens ein elektrisch leitfähiges Heizelement zum Erwärmen des Sensorelementes vorgesehen ist, vorzuschlagen, das im Vergleich zum der Stand der Technik besser, insbesondere wirtschaftlich günstiger hergestellt werden kann.
  • Diese Aufgabe wird, ausgehend von einer Sensoreinheit der einleitend genannten Art, durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1 gelöst. Durch die in den Unteransprüchen genannten Maßnahmen sind vorteilhafte Ausführungen und Weiterbildungen der Erfindung möglich.
  • Dementsprechend zeichnet sich eine erfindungsgemäße Sensoreinheit dadurch aus, dass das Heizelement wenigstens teilweise aus Indium-Zinn-Oxid besteht. Einerseits ist Indium-Zinn-Oxid (ITO) als Material deutlich kostengünstiger als Platin gemäß dem Stand der Technik. Andererseits können kostengünstigere Herstellungsverfahren für den Heizer verwendet werden, so dass bei der Herstellung entsprechender Sensoreinheiten der wirtschaftliche Aufwand deutlich reduziert werden kann.
  • Darüber hinaus besitzt die Keramik ITO einen im Vergleich zu Platin deutlich erhöhteren spezifischen elektrischen Widerstand, so dass bei derzeitig diskutierten, wahrscheinlich zukünftigen Bordnetzen von Fahrzeugen, insbesondere PKWs oder dergleichen, mit 42 V Netzspannung der Heizwiderstand des Heizers auf etwa 30 bis 40 Ω im Vergleich zum Stand der Technik ohne großen Aufwand erhöht werden kann.
  • Weiterhin ist bei ITO von Vorteil, dass es sich hierbei bereits um eine oxidische Verbindung handelt und somit keine zusätzlichen Maßnahmen zur Verhinderung von Verzundern erforderlich ist. Dies verringert beispielsweise den konstruktiven und somit auch den wirtschaftlichen Aufwand bei der Herstellung des Sensorelementes.
  • Zudem weist ITO einen Wärmeausdehnungskoeffizienten von etwa 8,5·10-6/K auf, der in der Nähe von Zirkondioxid (10·10-6/K) oder Al2O3 (8·10-6/K) liegt. Hierdurch treten vergleichsweise geringe Wärmespannungen im Betrieb auf, bei dem der Heizmäander bzw. der Heizer in entsprechende Materialien bzw. Keramiken eingebettet ist.
  • Vorzugsweise besteht das Heizelement wenigstens teilweise aus einer Mischung mit Indium-Zinn-Oxid und Aluminiumoxid. Hierbei kann in vorteilhafter Weise einerseits der spezifische elektrische Widerstand des Heizelementes beispielsweise durch Variierung der Anteile an Indium-Zinn-Oxid bzw. Aluminiumoxid erfolgen. Andererseits wird hierdurch eine weitere Verbesserung beim Wärmeausdehnungskoeffizienten des Heizelementes zum umgebenden Material erreichbar.
  • In einer besonderen Weiterbildung der Erfindung ist das Heizelement als Beschichtung des Sensorelementes und/oder einer Lage bzw. Layers des Sensorelementes ausgebildet. Eine Beschichtung des Sensorelementes, insbesondere einer Lage/Layers des Sensorelementes kann besonders einfach hergestellt werden. Entsprechende Sensorelemente für Lambdasonden oder dergleichen werden bereits seit langem mittels unterschiedlicher Lagen/Layern hergestellt, so dass der erfindungsgemäße Heizer bzw. das erfindungsgemäße Heizelement sehr gut in die bereits handelsüblichen Herstellungsverfahren eingebunden werden kann. Hierdurch verbessert sich zusätzlich die wirtschaftlich günstige Herstellungsweise der Erfindung.
  • Vorzugsweise ist eine Schichtdicke des Heizelementes im Wesentlichen zwischen 5 und 50 μm. Es hat sich herausgestellt, dass derartige Schichtdicken des Heizelementes ganz besonders von Vorteil sind. Beispielsweise können diese besonders einfach hergestellt werden.
  • Vorteilhafterweise ist die Beschichtung mit Siebdruckverfahren aufbringbar. Diese Herstellungsverfahren verbessern zusätzlich den wirtschaftlichen Aspekt der Erfindung. Beispielsweise lassen sich Siebdruckverfahren ganz besonders gut in den bereits üblichen Herstellungsablauf entsprechender Sensorelemente von Lambdasonden oder dergleichen einbinden.
  • Darüber hinaus kann eine siebdruckfähige Paste aus Indium-Zinn-Oxid bzw. aus der Mischung aus Indium-Zinn-Oxid und Aluminiumoxid hergestellt werden, die im Siebdruckverfahren auf eine der Lagen des Sensorelementes aufgebracht werden kann. Danach kann beispielsweise ein Trockenschritt und anschließend ein Sinterschritt in einem Heizofen oder dergleichen vorgesehen werden.
  • In einer vorteilhaften Variante der Erfindung ist ein elektrischer Widerstand zumindest durch die Breite des Heizelementes einstellbar. Mit Hilfe dieser Maßnahme kann in besonders eleganter Weise eine Anpassung des Heizwiderstandes realisiert werden, der beispielsweise bei einem zukünftigen Bordnetz mit 42 V Netzspannung von Vorteil ist, z.B. ca. 30 bis 40 Ohm.
  • Beispielsweise kann die Schichtdicke durch das verwendete Herstellungsverfahren, wie beispielsweise ein Siebdruckverfahren vergleichsweise genau festgelegt werden. Durch die Variation der Breite des Heizelementes, vor allem im Heizbereich des Heizelementes, ist der Widerstand besonders vorteilhaft einstellbar.
  • Ausführungsbeispiel
  • Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird anhand der Figuren nachfolgend näher erläutert.
  • Im Einzelnen zeigt:
  • 1 einen schematischen Aufbau eines Sensorelementes mit einem erfindungsgemäßen Heizer und
  • 2 eine schematische Detaildarstellung einer Lage des Sensorelementes mit Heizer.
  • In 1 ist ein Sensorelement 1 dargestellt, das mittels einem Heizer 2 auf die gewünschte Betriebstemperatur erwärmbar ist.
  • Lediglich aus Gründen der Übersichtlichkeit wurde das Sensorelement 1 in nur zwei schematisch dargestellten Lagen 3 und 4 zerlegt, wobei der Heizer 2 auf der unteren Lage 4 als Beschichtung aufgebracht ist. Moderne Sensorelemente 1 werden teilweise in mehreren Dutzend Verfahrensschritten und mit vielen verschiedenen Lagen realisiert
  • In 2 ist schematisch ein Detail des Sensorelementes 1 vergrößert dargestellt, wobei deutlich wird, dass der Heizer 2 auf der Lage 4 bei der Herstellung als Beschichtung aufgebracht ist. Später wird der Heizer 2 von der nächsten Lage in vorteilhafter Weise eingebettet.
  • Der Heizer 2 weist im Heizbereich 5 eine Breite B und eine Höhe H auf. Die Höhe H wird maßgeblich durch das Beschichtungsverfahren eingestellt. Die Breite B des Heizers 2 ist in vorteilhafter Weise an den vorzusehenden elektrischen Widerstand anzupassen.
  • In den Figuren ist lediglich aus Gründen der Übersichtlichkeit eine Einbettung des Heizers 2 in eine elektrisch isolierende Schicht nicht näher dargestellt. Darüber hinaus wurde auf die Darstellung einer oder mehrerer Messzellen entsprechender Lambdasonden bzw. Sensorelemente 1 verzichtet.
  • Zur Einstellung des gewünschten elektrischen Widerstands mit Hilfe des Heizers 2 ist ein Leitungsquerschnitt in der Größenordnung von ca. 0,01 bis 0,1 mm2 ganz besonders von Vorteil. Dieser Bereich kann mittels Siebdruckverfahren gerade auch in großen Stückzahlen wirtschaftlich günstig hergestellt werden. Somit ist die Herstellung eines mechanisch und thermisch stabilen Heizelementes 2 mit erhöhtem Schichtwiderstand vorteilhaft realisierbar. Dies ist gerade bei den zukünftigen, zu erwartenden Bordnetzen bei Fahrzeugen wie PKWs oder dergleichen mit 42 V Netzspannung ganz besonders von Vorteil. Hierbei sollte der Heizwiderstand des Heizers 2 auf etwa 30 bis 40 Ω erhöht werden.
  • Generell ist von Vorteil, den Heizer 2 z.B. ausgehend von einem ITO-Pulver mit einer mittleren Korngröße von etwa 0,27 μm und einer BET-Oberfläche von etwa 9,1 m2/g als eine Siebdruckpaste zu realisieren. Das ITO-Pulver wird zunächst in einem vorteilhaften organischen Medium mittels Ultraschall fein verteilt. Besonders geeignet sind hierzu beispielsweise Terpineol, da es einen vergleichsweise geringen Dampfdruck aufweist und somit kaum Veränderungen der Zusammensetzung durch Verdampfen des Lösungsmittels auftreten. Um eine gute Dispergierung zu erreichen, ist es besonders vorteilhaft, ein Tensid beizusetzen. Anschließend werden die rheologischen Eigenschaften durch Zusatz einer Ethylcellusloselösung derart vorteilhaft eingestellt, dass sich eine besonders gut verarbeitbare Siebdruckpaste ergibt. Zur Homogenisierung wird beispielsweise ein Dreiwalzwerk eingesetzt.
  • Die Paste wird mit einer automatischen oder halbautomatischen Siebdruckanlage beispielsweise im Mehrfachnutzen auf Aluminiumoxid-Substrate (99,6 % Al2O3) oder dergleichen aufgedruckt. Nach dem Trocknen bei etwa 80° C für ca. 10 min. wird die Siebdruckschicht bei etwa 1350° C für 300 min. in einem Kammerofen oder dergleichen an Luft gesintert. Die Vereinzelung der Heizelemente bzw. Sensorelemente 1 erfolgt beispielsweise mit einem Laser oder dergleichen.
  • Beispielsweise weist der Heizer 2 in der Heizzone 5 eine Breite von etwa 1 mm auf. Außerhalb des Heizbereiches und/oder im Kontaktbereich weist der Heizer 2 beispielsweise eine Breite von etwa 3 mm auf. Die Dicke der Leiterbahnen nach dem Sintern liegt beispielsweise bei ca. 15 μm.

Claims (6)

  1. Sensoreinheit zur Bestimmung eines physikalischen Parameters eines Messgases, insbesondere eines Sauerstoffgehaltes in einem Abgas einer Brennkraftmaschine, mit einem einen Festelektrolyt umfassenden Sensorelement (1), wobei wenigstens ein elektrisch leitfähiges Heizelement (2) zum Erwärmen des Sensorelementes (1) vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Heizelement (2) wenigsten teilweise aus Indium-Zinn-Oxid besteht.
  2. Sensoreinheit nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Heizelement (2) wenigsten teilweise aus einer Mischung mit Indium-Zinn-Oxid und einem keramischen Material (Aluminium-Oxid, Al2O3, TiO2, Zio2) besteht.
  3. Sensoreinheit nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Heizelement (2) als Beschichtung (2) des Sensorelementes (1, 4) ausgebildet ist.
  4. Sensoreinheit nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Schichtdicke (H) des Heizelementes (2) im Wesentlichen zwischen 1 und 50 Mikrometern ist.
  5. Sensoreinheit nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein elektrischer Widerstand zumindest durch die Breite (B) des Heizelementes (2) einstellbar ist.
  6. Herstellungsverfahren eines Heizelementes (2) einer Sensoreinheit (1) zur Bestimmung eines physikalischen Parameters eines Messgases, insbesondere eines Sauerstoffgehaltes in einem Abgas einer Brennkraftmaschine, mit einem einen Festelektrolyt umfassenden Sensorelement (1), dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens ein Siebdruck-Verfahrensschritt vorgesehen wird.
DE200510047447 2005-09-30 2005-09-30 Sensoreinheit zur Bestimmung eines Messgasparameters Withdrawn DE102005047447A1 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200510047447 DE102005047447A1 (de) 2005-09-30 2005-09-30 Sensoreinheit zur Bestimmung eines Messgasparameters
JP2006265030A JP5248760B2 (ja) 2005-09-30 2006-09-28 測定ガスパラメータを測定するためのセンサユニット

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200510047447 DE102005047447A1 (de) 2005-09-30 2005-09-30 Sensoreinheit zur Bestimmung eines Messgasparameters

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102005047447A1 true DE102005047447A1 (de) 2007-04-05

Family

ID=37852784

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE200510047447 Withdrawn DE102005047447A1 (de) 2005-09-30 2005-09-30 Sensoreinheit zur Bestimmung eines Messgasparameters

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP5248760B2 (de)
DE (1) DE102005047447A1 (de)

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6036949A (ja) * 1983-08-09 1985-02-26 Ngk Insulators Ltd 酸素センサ素子
JPS61155751A (ja) * 1984-12-28 1986-07-15 Toyota Central Res & Dev Lab Inc 空燃比センサおよび装置
JPS63121653A (ja) * 1986-11-08 1988-05-25 Matsushita Electric Works Ltd 透明導電膜の形成方法
JP3460749B2 (ja) * 1995-04-25 2003-10-27 リコーエレメックス株式会社 検出装置
JP3499072B2 (ja) * 1996-01-31 2004-02-23 光照 木村 半導体ガスセンサ
JP2000180406A (ja) * 1998-12-21 2000-06-30 Riken Corp 加熱型センサ
JP2002005874A (ja) * 2000-06-26 2002-01-09 Figaro Eng Inc 固体電解質センサを用いたガス検出装置
DE10249466B4 (de) * 2002-10-24 2006-03-09 Robert Bosch Gmbh Sensorelement
JP2005005057A (ja) * 2003-06-10 2005-01-06 Kyocera Corp セラミックヒータ、並びにセラミックヒータ構造体
JP4272962B2 (ja) * 2003-09-30 2009-06-03 京セラ株式会社 セラミック構造体およびその製造方法、並びにガスセンサ素子
JP4807933B2 (ja) * 2003-12-17 2011-11-02 株式会社アルバック 透明導電膜の形成方法及び透明電極

Also Published As

Publication number Publication date
JP5248760B2 (ja) 2013-07-31
JP2007101545A (ja) 2007-04-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2015189388A1 (de) Planares heizelement mit einer ptc-widerstandsstruktur
EP2089696B1 (de) Verfahren zur Herstellung eines Sensors und nach diesem Verfahren hergestellter Sensor
WO2014135450A1 (de) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES RUßSENSORS MIT EINEM LASERSTRAHL
DE3907312A1 (de) Keramische widerstandsheizeinrichtung mit untereinander verbundenen waermeentwickelnden leitern und eine derartige heizeinrichtung verwendendes elektrochemisches element oder analysiergeraet
DE19715193B4 (de) Luft/Kraftstoff-Verhältnissensor
DE102014204124A1 (de) Verfahren zum Herstellen eines Sensorelements zur Erfassung mindestens einer Eigenschaft eines Messgases in einem Messgasraum
WO2013029824A1 (de) Sensorelement zur erfassung mindestens einer eigenschaft eines gases in einem messgasraum
WO1991001561A1 (de) Temperatursensor und verfahren zu seiner herstellung
WO2017108314A1 (de) Partikelsensor
DE102011052365B4 (de) Mikrostrukturierter Heißprägestempel
DE102018005701A1 (de) Gassensor-Kalibrier-Verfahren
DE112016005834T5 (de) Elektrode für sensorelement und sensorelement
DE102019001514A1 (de) Sensorelement und Gassensor
EP3404405A1 (de) Sensor zur bestimmung von gasparametern
DE102005047447A1 (de) Sensoreinheit zur Bestimmung eines Messgasparameters
DE112022001724T5 (de) Sauerstoffsensorelement und verfahren zu seiner herstellung
DE102004034192A1 (de) Hochtemperaturstabiler Sensor
DE112018005222T5 (de) Festelektrolyt, verfahren zu dessen herstellung und gassensor
DE112016003882B4 (de) A/F-Sensor und Verfahren zu dessen Herstellung
DE102014208832A1 (de) Verfahren zum Herstellen eines Sensorelements zur Erfassung mindestens einer Eigenschaft eines Messgases in einem Messgasraum
DE102013205037A1 (de) Sensorelement und Abgassensor aufweisend ein Sensorelement
DE4420944C2 (de) Keramischer Heizkörper
WO2017080901A1 (de) Sensorelement und verfahren zur herstellung eines sensorelements
DE112020001640T5 (de) Sensorelement eines Gassensors
DE112020001614T5 (de) Sensorelement für Gassensor

Legal Events

Date Code Title Description
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: ROBERT BOSCH GMBH, 70469 STUTTGART, DE

Owner name: FORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH, 76133 KARLSR, DE

8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: KARLSRUHER INSTITUT FUER TECHNOLOGIE, 76131 KA, DE

Owner name: ROBERT BOSCH GMBH, 70469 STUTTGART, DE

R012 Request for examination validly filed

Effective date: 20120713

R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee