JP2007101545A - 測定ガスパラメータを測定するためのセンサユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加熱素子(2)が少なくとも部分的にインジウム−スズ−酸化物から成るようにした。
【選択図】図1
Description
2 ヒータ
3 層
4 層
5 加熱領域
B 幅
H 高さ
Claims (6)
- 測定ガスの物理的なパラメータ、特に内燃機関の排ガス中の酸素含有量を測定するための、固体電解質を有するセンサ素子(1)と、該センサ素子(1)を加熱するための少なくとも1つの電気伝導性の加熱素子(2)とが設けられているセンサユニットにおいて、加熱素子(2)が少なくとも部分的にインジウム−スズ−酸化物から成ることを特徴とする、測定ガスパラメータを測定するためのセンサユニット。
- 加熱素子(2)が少なくとも部分的に、インジウム−スズ−酸化物とセラミック材料(酸化アルミニウム、Al2O3、TiO2、ZiO2)とを有する混合物から成る、請求項1記載のセンサユニット。
- 加熱素子(2)がセンサ素子(1,4)のコーティングとして形成されている、請求項1または2記載のセンサユニット。
- 加熱素子(2)の層厚さ(H)が実質的に1〜50マイクロメートルである、請求項1から3までのいずれか1項記載のセンサユニット。
- 電気抵抗が少なくとも加熱素子(2)の幅(B)により調節可能である、請求項1から4までのいずれか1項記載のセンサユニット。
- 測定ガスの物理的なパラメータ、特に内燃機関の排ガス中の酸素含有量を測定するための、固体電解質を有するセンサ素子(1)が設けられているセンサユニットの加熱素子(2)を製作する方法において、少なくとも1回のスクリーン印刷方法ステップを行うことを特徴とする、センサユニットの加熱素子を製作する方法。
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