JP2002005874A - 固体電解質センサを用いたガス検出装置 - Google Patents
固体電解質センサを用いたガス検出装置Info
- Publication number
- JP2002005874A JP2002005874A JP2000190446A JP2000190446A JP2002005874A JP 2002005874 A JP2002005874 A JP 2002005874A JP 2000190446 A JP2000190446 A JP 2000190446A JP 2000190446 A JP2000190446 A JP 2000190446A JP 2002005874 A JP2002005874 A JP 2002005874A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solid electrolyte
- electrode
- heater
- substrate
- heater film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 アルミナ基板２の一方の面にアルカリイオン
導電性固体電解質チップ４を設け、参照極と検知極とを
スルーホール１４を介して、酸化ルテニウムを用いたヒ
ータ膜２０側に接続する。ヒータ膜２０側で、４つのパ
ッド２２，２３にリードを接続する。ここで参照極や検
知極をヒータと分離するか、(-)極の検知極をヒータの
グラウンド側とコモンにして駆動する。 【効果】 ヒータ膜２０へのアルカリイオンの移動を防
止できる。
導電性固体電解質チップ４を設け、参照極と検知極とを
スルーホール１４を介して、酸化ルテニウムを用いたヒ
ータ膜２０側に接続する。ヒータ膜２０側で、４つのパ
ッド２２，２３にリードを接続する。ここで参照極や検
知極をヒータと分離するか、(-)極の検知極をヒータの
グラウンド側とコモンにして駆動する。 【効果】 ヒータ膜２０へのアルカリイオンの移動を防
止できる。
Description
【０００１】
【発明の利用分野】この発明は固体電解質ガスセンサの
使用に関し、特に固体電解質中のアルカリイオンが、ヒ
ータ中に移動するのを防止することに関する。
使用に関し、特に固体電解質中のアルカリイオンが、ヒ
ータ中に移動するのを防止することに関する。
【０００２】
【従来技術】ＮＡＳＩＣＯＮ（Ｎａイオン導電体）やＬ
ＩＳＩＣＯＮ（Ｌｉイオン導電体）を用い、炭酸塩や亜
硝酸塩、硝酸塩などの活物質と金などの電極材料の混合
物や、これらの積層物で検知極を構成し、参照極側をシ
ールしたガスセンサが知られている。これらの固体電解
質ガスセンサでは、セラミック基板の一方の面に固体電
解質を配置して、固体電解質のセラミック基板側に参照
極を、その反対面側に検知極を配置する。そしてセラミ
ック基板の反対面に白金ヒータを配置する（例えば特開
平１１−１７４０２３、特開平８−２４７９９６）。
ＩＳＩＣＯＮ（Ｌｉイオン導電体）を用い、炭酸塩や亜
硝酸塩、硝酸塩などの活物質と金などの電極材料の混合
物や、これらの積層物で検知極を構成し、参照極側をシ
ールしたガスセンサが知られている。これらの固体電解
質ガスセンサでは、セラミック基板の一方の面に固体電
解質を配置して、固体電解質のセラミック基板側に参照
極を、その反対面側に検知極を配置する。そしてセラミ
ック基板の反対面に白金ヒータを配置する（例えば特開
平１１−１７４０２３、特開平８−２４７９９６）。
【０００３】
【従来技術の問題点】発明者は、固体電解質ガスセンサ
の構造を、周知の金属酸化物半導体ガスセンサの構造に
近づけ、金属酸化物半導体ガスセンサ用の基板やヒー
タ、リードの取り出し構造を、固体電解質ガスセンサに
兼用することを検討している。金属酸化物半導体ガスセ
ンサの基板等を転用できれば、固体電解質ガスセンサを
小型化して消費電力を現行の１Ｗクラスから、例えば２
５０ｍＷクラスまで低下できるはずである。ヒータは、
従来の白金ヒータから、高抵抗で扱いやすい酸化ルテニ
ウム等の酸化物ヒータに変更する。リードの取り出し用
のパッドは基板の一面に集約し、リードの取り付けを容
易にする。
の構造を、周知の金属酸化物半導体ガスセンサの構造に
近づけ、金属酸化物半導体ガスセンサ用の基板やヒー
タ、リードの取り出し構造を、固体電解質ガスセンサに
兼用することを検討している。金属酸化物半導体ガスセ
ンサの基板等を転用できれば、固体電解質ガスセンサを
小型化して消費電力を現行の１Ｗクラスから、例えば２
５０ｍＷクラスまで低下できるはずである。ヒータは、
従来の白金ヒータから、高抵抗で扱いやすい酸化ルテニ
ウム等の酸化物ヒータに変更する。リードの取り出し用
のパッドは基板の一面に集約し、リードの取り付けを容
易にする。
【０００４】しかしながら発明者は、この過程で酸化ル
テニウムヒータの抵抗値が不自然に変化することを見出
した。
テニウムヒータの抵抗値が不自然に変化することを見出
した。
【０００５】
【発明の課題】この発明の課題は、酸化物ヒータや窒化
物ヒータを固体電解質ガスセンサに用い得るようにし、
かつ基板の１つの面で外部への接続を行えるようにする
ことにある。
物ヒータを固体電解質ガスセンサに用い得るようにし、
かつ基板の１つの面で外部への接続を行えるようにする
ことにある。
【０００６】
【発明の構成】この発明は、耐熱絶縁性基板に、酸化物
もしくは窒化物からなるヒータ膜と、アルカリイオン導
電性の固体電解質及びその参照極と検知極とを配設し
て、ヒータ膜や参照極及び検知極と外部との接続部を基
板の１つの面に設けた固体電解質ガスセンサを用い、ヒ
ータ膜に直流を加えて、かつその(+)側を参照極及び検
知極と分離するように、センサの駆動回路を構成した、
固体電解質ガスセンサを用いたガス検出装置にある。
もしくは窒化物からなるヒータ膜と、アルカリイオン導
電性の固体電解質及びその参照極と検知極とを配設し
て、ヒータ膜や参照極及び検知極と外部との接続部を基
板の１つの面に設けた固体電解質ガスセンサを用い、ヒ
ータ膜に直流を加えて、かつその(+)側を参照極及び検
知極と分離するように、センサの駆動回路を構成した、
固体電解質ガスセンサを用いたガス検出装置にある。
【０００７】またこの発明は、耐熱絶縁性基板に、酸化
物もしくは窒化物からなるヒータ膜と、アルカリイオン
導電性の固体電解質及びその参照極と検知極とを配設し
て、ヒータ膜や参照極及び検知極と外部との接続部を基
板の１つの面に設けた固体電解質ガスセンサを用い、ヒ
ータ膜を交流駆動するようにセンサの駆動回路を構成し
た、固体電解質ガスセンサを用いたガス検出装置にあ
る。
物もしくは窒化物からなるヒータ膜と、アルカリイオン
導電性の固体電解質及びその参照極と検知極とを配設し
て、ヒータ膜や参照極及び検知極と外部との接続部を基
板の１つの面に設けた固体電解質ガスセンサを用い、ヒ
ータ膜を交流駆動するようにセンサの駆動回路を構成し
た、固体電解質ガスセンサを用いたガス検出装置にあ
る。
【０００８】好ましくは、基板の片面に固体電解質とそ
の参照極及び検知極を配設すると共に、前記ヒータ膜と
前記固体電解質とを基板の厚さ方向に重ねて配置し、か
つ前記参照極と検知極もしくは前記ヒータ膜を前記外部
との接続部へ導くためのスルーホールを設ける。より好
ましくは、固体電解質を参照極により基板の片面に結合
し、固体電解質の参照極とは反対面に検知極を設けて、
検知極と基板の片面とをリードで接続する。
の参照極及び検知極を配設すると共に、前記ヒータ膜と
前記固体電解質とを基板の厚さ方向に重ねて配置し、か
つ前記参照極と検知極もしくは前記ヒータ膜を前記外部
との接続部へ導くためのスルーホールを設ける。より好
ましくは、固体電解質を参照極により基板の片面に結合
し、固体電解質の参照極とは反対面に検知極を設けて、
検知極と基板の片面とをリードで接続する。
【０００９】
【発明の作用と効果】この発明では、ヒータ膜に安価で
高抵抗であり、金属酸化物半導体ガスセンサやサーマル
ヘッドなどで実績のある、酸化ルテニウム膜や酸化イン
ジウム膜、あるいは窒化タンタル膜などを用いる。そし
て耐熱絶縁性基板の１つの面に、外部との接続部を集約
し、外部接続を容易にする。アルカリイオン導電性の固
体電解質に、ヒータ膜に対して(+)の電位が加わると、
接続部を基板の１つの面に集めたため、参照極や検知極
に沿ってアルカリイオンが流れ、ヒータ膜までオーバー
コートガラスや基板の表面などを介して、アルカリイオ
ンが流れ込む。そしてヒータ膜にアルカリイオンが流れ
込むと、抵抗値が変化する。
高抵抗であり、金属酸化物半導体ガスセンサやサーマル
ヘッドなどで実績のある、酸化ルテニウム膜や酸化イン
ジウム膜、あるいは窒化タンタル膜などを用いる。そし
て耐熱絶縁性基板の１つの面に、外部との接続部を集約
し、外部接続を容易にする。アルカリイオン導電性の固
体電解質に、ヒータ膜に対して(+)の電位が加わると、
接続部を基板の１つの面に集めたため、参照極や検知極
に沿ってアルカリイオンが流れ、ヒータ膜までオーバー
コートガラスや基板の表面などを介して、アルカリイオ
ンが流れ込む。そしてヒータ膜にアルカリイオンが流れ
込むと、抵抗値が変化する。
【００１０】この発明では、ヒータに直流を加えてその
(+)側を固体電解質やその参照極及び検知極と分離する
ので、ヒータに加える直流電圧で固体電解質側からアル
カリイオンがヒータ膜に流れ込むことがない。これらの
ため、酸化物や窒化物のヒータ膜を用い、外部との接続
部を基板の１つの面に集約でき、さらにヒータ膜のアル
カリイオンによる汚染がない（請求項１）。
(+)側を固体電解質やその参照極及び検知極と分離する
ので、ヒータに加える直流電圧で固体電解質側からアル
カリイオンがヒータ膜に流れ込むことがない。これらの
ため、酸化物や窒化物のヒータ膜を用い、外部との接続
部を基板の１つの面に集約でき、さらにヒータ膜のアル
カリイオンによる汚染がない（請求項１）。
【００１１】請求項２の発明では、ヒータを交流駆動す
るので、アルカリイオンの移動が妨げられ、このため、
酸化物や窒化物のヒータ膜を用いることができ、外部と
の接続部を基板の１つの面に集約でき、さらにヒータ膜
のアルカリイオンによる汚染を防止できる。
るので、アルカリイオンの移動が妨げられ、このため、
酸化物や窒化物のヒータ膜を用いることができ、外部と
の接続部を基板の１つの面に集約でき、さらにヒータ膜
のアルカリイオンによる汚染を防止できる。
【００１２】請求項３の発明では、ヒータ膜と固体電解
質とを基板の厚さ方向に重ねて配置できるので、基板を
小型化し、消費電力をさらに小さくできる。請求項４の
発明では、固体電解質から懸垂するように検知極を引き
出す場合に比べ、検知極材料が参照極へ流れ込むおそれ
が無く、また固体電解質の角などで検知極が切断される
おそれがない。
質とを基板の厚さ方向に重ねて配置できるので、基板を
小型化し、消費電力をさらに小さくできる。請求項４の
発明では、固体電解質から懸垂するように検知極を引き
出す場合に比べ、検知極材料が参照極へ流れ込むおそれ
が無く、また固体電解質の角などで検知極が切断される
おそれがない。
【００１３】
【実施例】図１〜図９を参照して実施例とその変形とを
説明する。図１は検知極の完成前の固体電解質ガスセン
サ１を示し、２はアルミナ基板で、ムライトやスピネ
ル、ジルコニアなどの基板でも良く、耐熱絶縁性の基板
であればよい。４はアルカリイオン導電性の固体電解質
チップで、ここではＮＡＳＩＣＯＮを焼結したチップ
で、ＬＩＳＩＣＯＮのチップでも良く、基板２に金ペー
ストを焼成した参照極６で結合されている。８は金ペー
ストを焼成した厚膜のダミー電極で、１０は金線からな
るリードで、１２，１３は金ペーストを焼成したパッド
である。パッド１３は参照極６に接続され、パッド１２
はリード１０のファーストボンド側に接続され、リード
１０はダミー電極８とパッド１２とにワイヤボンディン
グされている。
説明する。図１は検知極の完成前の固体電解質ガスセン
サ１を示し、２はアルミナ基板で、ムライトやスピネ
ル、ジルコニアなどの基板でも良く、耐熱絶縁性の基板
であればよい。４はアルカリイオン導電性の固体電解質
チップで、ここではＮＡＳＩＣＯＮを焼結したチップ
で、ＬＩＳＩＣＯＮのチップでも良く、基板２に金ペー
ストを焼成した参照極６で結合されている。８は金ペー
ストを焼成した厚膜のダミー電極で、１０は金線からな
るリードで、１２，１３は金ペーストを焼成したパッド
である。パッド１３は参照極６に接続され、パッド１２
はリード１０のファーストボンド側に接続され、リード
１０はダミー電極８とパッド１２とにワイヤボンディン
グされている。
【００１４】図２に、完成したセンサ１の検知極１６側
を示す。検知極１６は例えば炭酸リチウムや炭酸ナトリ
ウム、亜硝酸ナトリウム、硝酸ナトリウムなどの活物質
と、金などの導電性物質の混合物からなり、ダミー電極
８を覆い、チップ４の上面をほぼ被覆している。１８は
シールガラスで、チップ４の側面を被覆して、参照極６
が検出対象のガスに触れるのを防止する。
を示す。検知極１６は例えば炭酸リチウムや炭酸ナトリ
ウム、亜硝酸ナトリウム、硝酸ナトリウムなどの活物質
と、金などの導電性物質の混合物からなり、ダミー電極
８を覆い、チップ４の上面をほぼ被覆している。１８は
シールガラスで、チップ４の側面を被覆して、参照極６
が検出対象のガスに触れるのを防止する。
【００１５】図３にセンサ１の側面を示すと、パッド１
２，１３はスルーホール１４を介してパッド２３に導か
れ、２０は厚膜の酸化ルテニウムを用いたヒータ膜で、
２２はヒータ側のパッドである。酸化ルテニウムに代え
て、酸化インジウムや窒化タンタルなどを用いても良
い。リード２４は、ヒータ膜２０側でパッド２２，２３
にワイヤボンディングあるいは金ペーストなどで固定さ
れ、図示しないステムなどに結合されている。
２，１３はスルーホール１４を介してパッド２３に導か
れ、２０は厚膜の酸化ルテニウムを用いたヒータ膜で、
２２はヒータ側のパッドである。酸化ルテニウムに代え
て、酸化インジウムや窒化タンタルなどを用いても良
い。リード２４は、ヒータ膜２０側でパッド２２，２３
にワイヤボンディングあるいは金ペーストなどで固定さ
れ、図示しないステムなどに結合されている。
【００１６】検知極１６に代えて、図４の検知極２６を
用い、金と活物質との混合物の厚膜からなる検知極２６
を、チップ４上から基板２上まで導いても良いが、参照
極６との絶縁が難しく、またチップ４の角でとぎれる恐
れがある。図５に示すように、完成したヒータ膜２０は
オーバーコートガラス２８で被覆されて保護される。
用い、金と活物質との混合物の厚膜からなる検知極２６
を、チップ４上から基板２上まで導いても良いが、参照
極６との絶縁が難しく、またチップ４の角でとぎれる恐
れがある。図５に示すように、完成したヒータ膜２０は
オーバーコートガラス２８で被覆されて保護される。
【００１７】図１０に、ガスセンサ１の駆動回路の従来
例を示す。センサ１のヒータ膜２０に、直流電源４０の
出力を安定化電源４１で安定化してヒータ電圧を加え、
(+)コモンで起電力をバッファーアンプ４２へ取り出
す。次に図１０の回路でセンサ１を駆動した際の結果を
示す。結果は各１０個のセンサの平均値で示し、動作温
度は４５０℃で、チップ４はＮＡＳＩＣＯＮで、ヒータ
膜２０の初期抵抗は４８Ωであった。図１０の回路で２
週間センサ１を駆動すると、ヒータ膜２０の抵抗値の平
均は５６Ωに増加した。
例を示す。センサ１のヒータ膜２０に、直流電源４０の
出力を安定化電源４１で安定化してヒータ電圧を加え、
(+)コモンで起電力をバッファーアンプ４２へ取り出
す。次に図１０の回路でセンサ１を駆動した際の結果を
示す。結果は各１０個のセンサの平均値で示し、動作温
度は４５０℃で、チップ４はＮＡＳＩＣＯＮで、ヒータ
膜２０の初期抵抗は４８Ωであった。図１０の回路で２
週間センサ１を駆動すると、ヒータ膜２０の抵抗値の平
均は５６Ωに増加した。
【００１８】図６に、チップ４からヒータ膜２０へのア
ルカリイオンの移動機構の推定モデルを示す。検知極１
６やチップ４にはアルカリイオンが含まれ、図１０の回
路ではヒータ膜２０の(-)側との間に約５Ｖの電界が加
わる。アルカリイオンはこの電界で、パッド１２，１３
まで移動し、スルーホール１４を移動して、反対面のパ
ッド２３，２３に達して、ヒータ膜２０との隙間を基板
２の表面やオーバーコートガラス２８中を流れて、ヒー
タ膜２０の負極側に拡散する。
ルカリイオンの移動機構の推定モデルを示す。検知極１
６やチップ４にはアルカリイオンが含まれ、図１０の回
路ではヒータ膜２０の(-)側との間に約５Ｖの電界が加
わる。アルカリイオンはこの電界で、パッド１２，１３
まで移動し、スルーホール１４を移動して、反対面のパ
ッド２３，２３に達して、ヒータ膜２０との隙間を基板
２の表面やオーバーコートガラス２８中を流れて、ヒー
タ膜２０の負極側に拡散する。
【００１９】図７に実施例の駆動回路を示す。４０は直
流電源、４１は安定化電源で、４２はバッファーアン
プ、４３は差動アンプで、４４はマイクロコンピュータ
で、４５はＡＤコンバータでＰ点の電位をＡＤ変換し、
４６は基準値発生部で、例えばセンサ１の起電力を２４
時間周期でヒストグラムに変換し、ヒストグラムでの最
大起電力のピークをＣＯ2 ３５０ppm相当の基準値とす
る。４７はＤＡコンバータで、基準値で定まる電圧（Ｑ
点の電位）をアナログに変換して差動アンプ４３に供給
する。４８はＣＯ2の検出部で、４９は外部出力部で、
制御信号とＣＯ2濃度のアナログ信号を出力する。そし
て固体電解質チップ４の(-)極の検知極１６は、ヒータ
膜２０の(-)極側とコモンに配線してある。
流電源、４１は安定化電源で、４２はバッファーアン
プ、４３は差動アンプで、４４はマイクロコンピュータ
で、４５はＡＤコンバータでＰ点の電位をＡＤ変換し、
４６は基準値発生部で、例えばセンサ１の起電力を２４
時間周期でヒストグラムに変換し、ヒストグラムでの最
大起電力のピークをＣＯ2 ３５０ppm相当の基準値とす
る。４７はＤＡコンバータで、基準値で定まる電圧（Ｑ
点の電位）をアナログに変換して差動アンプ４３に供給
する。４８はＣＯ2の検出部で、４９は外部出力部で、
制御信号とＣＯ2濃度のアナログ信号を出力する。そし
て固体電解質チップ４の(-)極の検知極１６は、ヒータ
膜２０の(-)極側とコモンに配線してある。
【００２０】図８は図７の回路を変形した例を示し、図
７との相違点はヒータ膜２０側とチップ４側とを絶縁し
た点である。図９は第２の変形例を示し、６０はＤＣ−
ＡＣコンバータで、安定直流化電圧を例えば１０ＫＨｚ
〜１ＭＨｚ程度の高周波の交流に変換し、高周波トラン
ス６１を介して、ヒータ膜２０に供給する。この回路で
はヒータ膜２０とチップ４は絶縁され、かつヒータ膜２
０には交流が加わるので、アルカリイオンの移動の原因
となりにくい。
７との相違点はヒータ膜２０側とチップ４側とを絶縁し
た点である。図９は第２の変形例を示し、６０はＤＣ−
ＡＣコンバータで、安定直流化電圧を例えば１０ＫＨｚ
〜１ＭＨｚ程度の高周波の交流に変換し、高周波トラン
ス６１を介して、ヒータ膜２０に供給する。この回路で
はヒータ膜２０とチップ４は絶縁され、かつヒータ膜２
０には交流が加わるので、アルカリイオンの移動の原因
となりにくい。
【００２１】アルカリイオンは質量が大きいため、交流
では直流ほど移動せず、周波数を増すほどアルカリイオ
ンは移動しにくくなる。例えば１０ＫＨｚ以上の周波数
で、アルカリイオンはほとんど移動しない。次に高周波
トランスでヒータ膜２０を他と絶縁して用いるので、ア
ルカリイオンの流れ込みは生じない。なお例えば１ＫＨ
ｚ程度の周波数で用いても良く、また交流駆動の場合、
ヒータ膜２０の一端を参照極あるいは検知極とコモンに
接続しても良い。
では直流ほど移動せず、周波数を増すほどアルカリイオ
ンは移動しにくくなる。例えば１０ＫＨｚ以上の周波数
で、アルカリイオンはほとんど移動しない。次に高周波
トランスでヒータ膜２０を他と絶縁して用いるので、ア
ルカリイオンの流れ込みは生じない。なお例えば１ＫＨ
ｚ程度の周波数で用いても良く、また交流駆動の場合、
ヒータ膜２０の一端を参照極あるいは検知極とコモンに
接続しても良い。
【００２２】図７の回路で、１０個のセンサを２週間駆
動した場合、ヒータ膜２０の初期抵抗の平均が４８Ω
で、２週間後にも４８Ωであった。さらに図９の回路の
場合、初期抵抗の平均が４８Ωで、２週間後にも４８Ω
であった。
動した場合、ヒータ膜２０の初期抵抗の平均が４８Ω
で、２週間後にも４８Ωであった。さらに図９の回路の
場合、初期抵抗の平均が４８Ωで、２週間後にも４８Ω
であった。
【図１】 実施例で用いた固体電解質ガスセンサの、
基板に固体電解質チップを固定し、ワイヤボンディング
を行った状態を示す平面図
基板に固体電解質チップを固定し、ワイヤボンディング
を行った状態を示す平面図
【図２】 図１の状態から、検知極とシールガラスを
塗布焼成した状態を示す平面図
塗布焼成した状態を示す平面図
【図３】 実施例で用いた固体電解質ガスセンサの側
面図
面図
【図４】 変形例の固体電解質ガスセンサの側面図
【図５】 実施例で用いた固体電解質ガスセンサの底
面図
面図
【図６】 固体電解質ガスセンサでの、固体電解質チ
ップからヒータ膜へのアルカリイオンの移動を説明する
図
ップからヒータ膜へのアルカリイオンの移動を説明する
図
【図７】 実施例での固体電解質ガスセンサの駆動回
路を示す回路図
路を示す回路図
【図８】 変形例の駆動回路を示す回路図
【図９】 第２の変形例の駆動回路を示す回路図
【図１０】 従来例での固体電解質ガスセンサの駆動回
路を示す回路図
路を示す回路図
１ 固体電解質ガスセンサ ２ アルミナ基板 ４ 固体電解質チップ ６ 参照極 ８ ダミー電極 １０ リード １２，１３ パッド １４ スルーホール １６ 検知極 １８ シールガラス ２０ ヒータ膜 ２２，２３ パッド ２４ リード ２６ 検知極 ２８ オーバーコートガラス ４０ 直流電源 ４１ 安定化電源 ４２ バッファーアンプ ４３ 差動アンプ ４４ マイクロコンピュータ ４５ ＡＤコンバータ ４６ 基準値発生部 ４７ ＤＡコンバータ ４８ ＣＯ２検出部 ４９ 外部出力部 ６０ ＤＣ−ＡＣコンバータ ６１ 高周波トランス
Claims (4)
- 【請求項１】 耐熱絶縁性基板に、酸化物もしくは窒化
物からなるヒータ膜と、アルカリイオン導電性の固体電
解質及びその参照極と検知極とを配設して、前記ヒータ
膜や参照極及び検知極と外部との接続部を前記基板の１
つの面に設けた固体電解質ガスセンサを用い、 前記ヒータ膜に直流を加えて、かつその(+)側を前記参
照極及び検知極と分離するように、前記センサの駆動回
路を構成した、固体電解質ガスセンサを用いたガス検出
装置。 - 【請求項２】 耐熱絶縁性基板に、酸化物もしくは窒化
物からなるヒータ膜と、アルカリイオン導電性の固体電
解質及びその参照極と検知極とを配設して、前記ヒータ
膜や参照極及び検知極と外部との接続部を前記基板の１
つの面に設けた固体電解質ガスセンサを用い、 前記ヒータ膜を交流駆動するように前記センサの駆動回
路を構成した、固体電解質ガスセンサを用いたガス検出
装置。 - 【請求項３】 前記基板の片面に固体電解質とその参照
極及び検知極を配設すると共に、前記ヒータ膜と前記固
体電解質とを基板の厚さ方向に重ねて配置し、かつ前記
参照極と検知極もしくは前記ヒータ膜を前記外部との接
続部へ導くためのスルーホールを設けたことを特徴とす
る、請求項１または２の固体電解質ガスセンサを用いた
ガス検出装置。 - 【請求項４】 前記固体電解質を参照極により基板の前
記片面に結合し、固体電解質の参照極とは反対面に検知
極を設けて、検知極と前記基板の片面とをリードで接続
したことを特徴とする、請求項３の固体電解質ガスセン
サを用いたガス検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000190446A JP2002005874A (ja) | 2000-06-26 | 2000-06-26 | 固体電解質センサを用いたガス検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000190446A JP2002005874A (ja) | 2000-06-26 | 2000-06-26 | 固体電解質センサを用いたガス検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002005874A true JP2002005874A (ja) | 2002-01-09 |
Family
ID=18689913
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000190446A Pending JP2002005874A (ja) | 2000-06-26 | 2000-06-26 | 固体電解質センサを用いたガス検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002005874A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007101545A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Robert Bosch Gmbh | 測定ガスパラメータを測定するためのセンサユニット |
| CN107589150A (zh) * | 2017-11-06 | 2018-01-16 | 余帝乾 | 一种新型气体传感器 |
| WO2018155980A1 (ko) * | 2017-02-24 | 2018-08-30 | (주)엑센 | 가스센서, 가스센서소자 및 가스센서 패키지 |
-
2000
- 2000-06-26 JP JP2000190446A patent/JP2002005874A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007101545A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Robert Bosch Gmbh | 測定ガスパラメータを測定するためのセンサユニット |
| WO2018155980A1 (ko) * | 2017-02-24 | 2018-08-30 | (주)엑센 | 가스센서, 가스센서소자 및 가스센서 패키지 |
| CN107589150A (zh) * | 2017-11-06 | 2018-01-16 | 余帝乾 | 一种新型气体传感器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS63738B2 (ja) | ||
| EP1059526A3 (en) | Device and method for measuring combustible-gas concentration in an exhaust gas | |
| JP2786507B2 (ja) | 酸素センサ | |
| JPS60179862U (ja) | 酸素濃度検出器 | |
| JP2002181764A (ja) | 積層型ガスセンサ及びそれを用いたガス濃度検出装置 | |
| JP2002005874A (ja) | 固体電解質センサを用いたガス検出装置 | |
| JP6573567B2 (ja) | センサ素子のライトオフ異常判定方法及びガスセンサの製造方法 | |
| JP2791473B2 (ja) | ガス検出方法及びその装置 | |
| JP4583800B2 (ja) | 酸化物イオン伝導体を用いた水素ガスセンサ | |
| EP1965203A1 (en) | Method for producing gas sensor | |
| JP2001108648A (ja) | ガスセンサ | |
| JP5027942B2 (ja) | ガスセンサの製造方法 | |
| JP2002340832A (ja) | 半導体装置と半導体装置の製造方法及びガスセンサとガスセンサの製造方法 | |
| KR101517591B1 (ko) | 이산화탄소 센서장치 | |
| JPH04145356A (ja) | 炭酸ガスセンサ装置 | |
| KR100530003B1 (ko) | 후막형 가스 센서 칩 | |
| JPH0750708Y2 (ja) | 酸素センサ | |
| JP4263117B2 (ja) | 二酸化炭素検出素子 | |
| JP2000310611A (ja) | 固体電解質型炭酸ガスセンサ及び炭酸ガス測定方法 | |
| JP2004219078A (ja) | ガスセンサ | |
| JPS5842965A (ja) | 酸素センサ素子 | |
| JPH11258203A (ja) | ガスセンサ | |
| JP3109020B2 (ja) | 炭酸ガス検出素子 | |
| JP3003943B2 (ja) | ガスセンサ | |
| JPS6244250U (ja) |