DE1018563B

DE1018563B - Blendenhalter fuer Korpuskularstrahlapparate, insbesondere Elektronenmikroskope

Info

Publication number: DE1018563B
Application number: DES43675A
Authority: DE
Inventors: Henry Burmester
Original assignee: Siemens Corp
Current assignee: Siemens Corp
Priority date: 1955-04-26
Filing date: 1955-04-26
Publication date: 1957-10-31

Description

kl. 21g 37/10

INTERNAT. KL H 05 j

PATENTAMT

S 43675 VIII c/21g ANMELDETAG: 26.APRIL1955

BEKANNTMACHUNG
DER ANMELDUNG
UND AUSGABE DER
AUSLEGESCHRIFT: 31. OKTOBER 1957

Das Hauptpatent bezieht sich auf einen Blendenhalter für Korpuskularstrahlapparate, insbesondere Elektronenmikroskope, der von außen in den Strahlengang einführbar ist und mit zwei, vorzugsweise unter einem Winkel von 90° gegeneinander versetzten, voneinander unabhängigen Verstellvorrichtungen quer zum Strahl justierbar ist. Dabei ist es das Ziel der Anordnung, daß man die Blende unmittelbar aus der Mikroskopröhre, beispielsweise aus dem Polschuhsystem, herausnehmen kann, ohne erst die Röhre öffnen zu müssen. Der Blendenhalter ist zu diesem Zweck an einer der Verstellvorrichtungen lösbar, spielfrei und so beweglich befestigt, daß er den Bewegungen der anderen Verstellvorrichtung folgen kann.

Die Erfindung bezieht sich auf eine weitere Ausge- *5 staltung solcher Anordnungen und zielt darauf ab, eine Konstruktion zu schaffen, bei der der Blendenhalter selbst davor gesichert ist, daß sich unerwünschte Verstellkräfte auf ihn auswirken, die möglich sind, wenn man an den Handgriffen der Blendenverstellung anfaßt.

Zur Lösung dieser Aufgabe ist erfindungsgemäß für die Feinjustierung des Blendenhalters eine Gewindeachse vorgesehen, deren zugeordneter, als Mutter ausgebildeter Handgriff sich unter der Wirkung einer Feder gegen einen Halter abstützt, der zusammen mit einem mit dem Gehäuse des Apparates fest verbundenen Gegenstück die eine Hälfte einer Kreuzscheibenkupplung bildet, während die in der senkrechten Ebene dazu wirkende andere Hälfte durch einen im Halter vorgesehenen Schlitz und einen mit der Gewindeachse fest verbundenen Stift gebildet wird, der ein Mitdrehen der Gewindeachse beim Feinverstellen verhindert.

Eine solche Kreuzscheibenkupplung bringt fernerhin den Vorteil, daß sie Umsymmetrien der Fertigung auszugleichen gestattet, ohne daß deswegen in der Drehverstellrichtung Fehler durch Spiel auftreten können. Die Übertragung von Querkräften, auf die Blenden läßt sich weiterhin dadurch vermeiden, daß die Gewindeachse ihre Axialbewegungen auf die den Blendenhalter tragende Verstellachse über eine Gelenkverbindung überträgt. Eine solche Gelenkverbindung kann beispielsweise durch ein einerseits an der Gewindeachse und andererseits an der Verstellachse mit 4-5 einem im Drehgelenk befestigten Metallband gebildet sein.

Die neue Verstellvorrichtung kann man anwenden/ ~ wenn es sich um Blendenhalter handelt, die mit einer einzigen Blende versehen sind. Es ist aber auch möglieh, die Anordnung so durchzubilden, daß in den Blendenhalter mehrere Blenden eingesetzt werden, die von außen her beliebig wahlweise zur Wirkung gebracht werden sollen. In diesem Fall ist also neben Blendenhalter

für Korpuskularstrahlapparate,
insbesondere Elektronenmikroskope

Zusatz zum Patent 959307

Anmelder:
Siemens & Halske Aktiengesellschaft,

Berlin und München,
München 2, Wittelsbacherplatz 2

Henry Burmester, Berlin-Mariendorf,
ist als Erfinder genannt worden

der Feinverstellung des Blendenhalters zum Justieren der Blende noch eine Grobverstellmöglichkeit vorzusehen, die das stufenweise Weiterschalten von einer Blende zur anderen ermöglicht. Für die Lösung dieser Aufgabe kann man die Anordnung zweckmäßig so ausbilden, daß das mit dem Gehäuse fest verbundene Gegenstück eine auf dem Handgriff der Gewindeachse im Sinne seiner Axialverstellung wirkende Drehhülse trägt, deren von Hand eingeleitete Verstellbewegungen für die Grobverstellung des Mehrfachblendenhalters ausgenutzt werden. Um die Einstellung zu erleichtern, kann man dabei der Drehhülse einen mit Raststellungen versehenen Führungsschlitz zuordnen, mit dem ein im Gegenstück befestigter Stift zusammenarbeitet.

Wenn man Wert darauf legt, eine besonders feinfühlige Verstellung der Blende für die Feinjustierung zu haben, ist es unter Umständen konstruktiv nicht möglich, den gesamten Verstellbereich mit nur einer Umdrehung des Handgriffes der Verstellvorrichtung zu erzielen. In solchem Fall kann man dem Handgriff für die Feinjustierung einen gehäusefesten Anschlag zuordnen, der unter Vermittlung von einer oder mehreren Schleppscheiben nahezu zwei oder mehr Umdrehungen des Handgriffes auszunutzen gestattet.

In den Zeichnungen ist als Ausführungsbeispiel der Erfindung eine Blendenverstellvorrichtung für eine Mehrfachblende dargestellt.

709 758/354

Fig. 1 zeigt einen Längsschnitt durch die Anordnung;

Fig. 2 zeigt eine Draufsicht auf den Blendenhalter; in

Fig. 3 und 4 sind perspektivische Ansichten von Einzelteilen dargestellt, die deren Zusammenwirken deutlicher erkennen lassen.

Der Blendenhalter 1 ist hier zur Aufnahme von drei verschiedenen großen Blenden 2, 3, 4 eingerichtet und an der Verstellstange 5 unter Verwendung der Feder 6 gelenkig 'befestigt, so daß er den von der zweiten Verstellstange 7 ausgeübten Querverstellbewegungen entsprechend folgen kann. Mit 8 ist der Polschuh einer magnetischen Linse bezeichnet, welcher der Mehrfachblendenhalter zugeordnet ist. Der Halter selbst ist in die Vakuumwand 9 mit Hilfe einer Befestigungsschraube 10 eingesetzt. Die Einrichtungen zur Vakuumabdichtung der Verstellstange 5 sind im Ausführungsbeispiel fortgelassen.

Zur Feinjustierung des Blendenhalters ist eine Gewindeachse 11 vorgesehen, der ein Handgriff 12, der als Mutter ausgebildet ist, zugeordnet ist. Dieser Handgriff stützt sich unter Wirkung der Feder 13 gegen einen Halter 14 ab, der zusammen mit einem mit dem Gehäuse 9 fest verbundenen Gegenstück 15 die eine Hälfte einer Kreuzscheibenkupplung bildet. Die andere Hälfte dieser Kreuzscheibenkupplung wird gebildet durch einen im Halter 14 vorgesehenen Schlitz 16 und einen mit der Gewindeachse 11 fest verbundenen Stift 17. Dieser Stift sorgt gleichzeitig dafür, daß sich die Gewindeachse 11 beim Drehen des Handgriffes 12 nicht mitdrehen kann.

Die Gewindeachse 11 überträgt ihre Axialbewegungen auf die den Blendenhalter tragende Verstellachse 5 über eine Gelenkverbindung, die durch ein Metallband 18 gebildet wird. Dieses ist einerseits bei 19 an der Gewindeachse und bei 20 an der Verstellachse mittels Drehgelenk festgemacht. Um für das Feinverstellen der jeweils in Betrieb befindlichen Blende nahezu zwei Umdrehungen des Handgriffes 12 ausnutzen zu können, ist diesem Handgriff ein gehäusefester Anschlagstift 21 zugeordnet, dem eine Schleppscheibe 22 und ein Anschlagstift 23 zugeordnet ist. Um je nach Wunsch eine der drei Blenden 2, 3 oder 4 in die Betriebslage zu überführen bzw. um die Blenden völlig aus den Strahlengang herauszuziehen, ist eine Grobverstellmöglichkeit des Blendenhalters vorgesehen. Zu diesem Zweck trägt das mit dem Gehäuse 9 fest verbundene Gegenstück 15 eine auf den Handgriff 12 der Gewindeachse 11 im Sinne der Axialverstellung wirkende Drehhülse 24, die bei 25 als Drehknopf ausgebildet ist. Auf der Drehhülse 24 ist ein mit Raststellungen 26 bis 29 gemäß Fig. 4 versehener Führungsschlitz 30 zugeordnet, der mit einem im Gegenstück 15 befestigten Stift 31 zusammenarbeitet. In der dargestellten Betriebslage ist die Blende 4 in den Strahlengang eingeschaltet. In dieser Lage steht der Führungsschlitz so, daß der Stift 31 in der Raststellung 29 liegt. Wenn man die Drehhülse 24 entgegen dem Uhrzeigersinn verdreht, werden nacheinander die Raststellungen 28 und 27 durchlaufen, in denen die Blenden 3 bzw. 2 in den Strahlengang eingestellt sind. Beim Weiterdrehen bis zur Raststellung 26 wird schließlich der Blendenhalter 1 vollkommen aus den Strahlengang herausgezogen.

Die Verstell stange 7 braucht nur die Einrichtung zur Feinverstellung zu besitzen. Sie ist also mit einem in der Figur nicht dargestellten Drehknopf ausgerüstet, welcher dem Drehknopf 12 entspricht, während in diesem Falle die für die Grobverstellung dienende Drehhülse nicht betätigt wird.

Claims

PATENTANSPRÜCHE:

1. Blendenhalter für Korpuskularstrahlapparate, insbesondere Elektronenmikroskope, der von außen in den Strahlengang einführbar und mit zwei Verstellvorrichtungen quer zum Strahl justierbar ist, nach Patent 959 307, dadurch gekennzeichnet, daß zur Feinjustierung eine Gewindeachse vorgesehen ist, deren zugeordneter, als Mutter ausgebildeter Handgriff sich unter der Wirkung einer Feder gegen einen Halter abstützt, der zusammen mit einem mit dem Gehäuse des Apparates fest verbundenen Gegenstück die eine Hälfte einer Kreuzscheibenkupplung bildet, während die in der senkrechten Ebene dazu wirkende andere Hälfte durch einen im Halter vorgesehenen Schlitz und einen mit der Gewindeachse fest verbundenen Stift gebildet wird, der ein Mitdrehen der Gewindeachse beim Feinverstellen verhindert.

2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Gewindeachse ihre Axialbewegungen auf die den Blendenhalter tragende Verstellachse über eine Gelenkverbindung überträgt, die die Übertragung von Querkräften auf die Blenden ausschließt.

3. Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Gelenkverbindung durch ein einerseits an der Gewindeachse und andererseits an der Verstellachse mit im Drehgelenk befestigten Metallband gebildet ist.

4. Anordnung nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß das mit dem Gehäuse fest verbundene Gegenstück eine auf dem Handgriff der Gewindeachse im Sinne einer Axialverstellung wirkende Drehhülse trägt, deren von Hand eingeleitete Verstellbewegungen zur Grobverstellung eines Mehrfachblendenhalters dienen.

5. Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Drehhülse ein mit Raststellungen versehener Führungsschlitz zugeordnet ist, mit dem im Gegenstück befestigter Stift zusammenarbeitet.

6. Anordnung nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß dem Handgriff für die Feinjustierung ein gehäusefester Anschlag zugeordnet ist, der unter Vermittlung von einer oder mehreren Schleppscheiben nahezu zwei oder mehr Umdrehungen des Handgriffs auszunutzen gestattet.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen