DE10156341A1

DE10156341A1 - Verdrahtungsaufbau für Übertragungsleitung

Info

Publication number: DE10156341A1
Application number: DE10156341A
Authority: DE
Inventors: Kanji Otsuka; Tamotsu Usami
Original assignee: Toshiba Corp; NEC Corp; Sony Corp
Current assignee: Toshiba Corp; NEC Corp; Sony Corp
Priority date: 2000-11-17
Filing date: 2001-11-16
Publication date: 2002-08-01
Anticipated expiration: 2021-11-17
Also published as: KR20020038526A; KR100524350B1; JP3741603B2; US20020070825A1; DE10156341B4; JP2002158507A; US6914502B2; TW536850B

Abstract

Ein Verdrahtungsaufbau für eine Übertragungsleitung hat eine Erdungsleitung (2) und eine Signalleitung (1). Die Signalleitung (1) ist so angeordnet, dass sie der Erdungsleitung (2) durch ein Dielektrikum (3) hindurch gegenüberliegt. Eine Oberfläche der Signalleitung (1), welche der Erdungsleitung (2) gegenüberliegt, hat eine Nut, welche sich in der Übertragungsrichtung erstreckt. Eine Oberfläche der Erdungsleitung (2), welche der Signalleitung (1) gegenüberliegt, hat auch eine Nut, welche sich in Übertragungsrichtung erstreckt. Die Nuten begrenzen es, dass elektromagnetische Induktion in der Signalleitung (1) erzeugt wird aufgrund eines elektromagnetischen Feldes, welches durch andere angrenzende Signalleitungen (1) erzeugt wird.

Description

Diese Anmeldung basiert auf der Patentanmeldung Nr. 2000- 350904, angemeldet in Japan, deren Inhalt hiermit durch Bezug aufgenommen wird.

HINTERGRUND DER ERFINDUNG Gebiet der Erfindung

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Verdrahtungsaufbau für eine Übertragungsleitung.

Beschreibung des Standes der Technik

Ein herkömmlicher Verdrahtungsaufbau für eine Übertragungsleitung ist beispielsweise in der japanischen offengelegten Patentveröffentlichung Nr. 10-326783 offenbart.

Fig. 12 ist eine perspektivische Ansicht, welche den herkömmlichen Verdrahtungsaufbau zeigt. Wie in Fig. 12 gezeigt, ist der Verdrahtungsaufbau für die Übertragungsleitung mit einem Erdungsleiter 101 versehen, und mit einer Signalleitung 103, die so angeordnet ist, dass sie dem Erdungsleiter 101 durch eine dielektrische Schicht 102 hindurch gegenüberliegt. Bezüglich einer Oberfläche 104 der Signalleitung 103, welche dem Erdungsleiter 101 gegenüberliegt, ist die Irregularität (Unebenheit) in der Richtung parallel zur Übertragungsrichtung geringer als die Irregularität in der Richtung senkrecht zur Übertragungsrichtung. Die Irregularität steigert den Oberflächenbereich der Signalleitung 103, um fiktiv deren Leiterverluste aufgrund des Skineffekts zu reduzieren. Ein weiterer Verdrahtungsaufbau, welcher sich auf den oben erwähnten Verdrahtungsaufbau bezieht, ist in der japanischen offengelegten Patentveröffentlichung Nr. 9-36111 offenbart.

Bei dem herkömmlichen Verdrahtungsaufbau für die Übertragungsleitung kann der Leiterverlust aufgrund des Skineffekts effektiv reduziert werden durch Vorsehen der Irregularität auf der Oberfläche 104 der Signalleitung 103, welche dem Erdungsleiter 101 gegenüberliegt. Das zwischen der Signalleitung 103 und dem Erdungsleiter 101 erzeugte elektromagnetische Feld kann sich jedoch leicht ausbreiten aufgrund der Funktion der konvexen Bereiche in der Irregularität am Endbereich der Oberfläche 104 der Signalleitung 103, welche zu dem Erdungsleiter 101 zeigt. Das elektromagnetische Feld erzeugt eine elektromagnetische Induktion in anderen Signalleitungen angrenzend an die Signalleitung 103. Daher mag das Problem auftreten, dass die Wellenformen der Signale in den angrenzenden Signalleitungen, in welchen die elektromagnetische Induktion erzeugt worden ist, gestört sind.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Die vorliegende Erfindung ist entwickelt worden, um das oben genannte Problem zu lösen, und sie hat zum Ziel, einen Verdrahtungsaufbau für eine Übertragungsleitung zu schaffen, welche es begrenzen kann, dass elektromagnetische Induktion in Signalleitungen erzeugt wird aufgrund von elektromagnetischen Feldern, die durch andere angrenzende Signalleitungen erzeugt werden.

Gemäß dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung, welcher entwickelt worden ist, um das oben genannte Ziel zu erreichen, ist ein Verdrahtungsaufbau für eine Übertragungsleitung vorgesehen mit einer Erdungsleitung und einer Signalleitung, die so angeordnet ist, dass sie der Erdungsleitung durch eine dielektrische Schicht hindurch gegenüberliegt. Eine Oberfläche der Signalleitung, welche der Erdungsleitung gegenüberliegt, und/oder eine Oberfläche der Erdungsleitung, welche der Signalleitung gegenüberliegt, ist mit einer Nut versehen, welche sich in einer Übertragungsrichtung erstreckt.

Gemäß diesem Verdrahtungsaufbau kann das Ausmaß eines elektromagnetischen Feldes, welches durch die Signalleitung erzeugt wird, geringer werden. Als Folge kann es begrenzt werden, dass elektromagnetische Induktion in anderen Signalleitungen angrenzend an die Signalleitung aufgrund des elektromagnetischen Feldes erzeugt wird.

In dem Verdrahtungsaufbau gemäß dem ersten Aspekt kann die Nut annähernd in der Mitte der vorderen Oberfläche angeordnet sein. Alternativ kann die vordere Oberfläche mit mehreren Nuten versehen sein. Wenn dies der Fall ist, kann das Ausmaß des durch die Signalleitung erzeugten elektromagnetischen Feldes viel geringer werden. Als Folge kann es noch besser begrenzt werden, dass die elektromagnetische Induktion in den angrenzenden Signalleitungen erzeugt wird.

Gemäß dem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Verdrahtungsaufbau für eine Übertragungsleitung geschaffen, mit einem Verdrahtungssubstrat, einem auf einer Hauptoberfläche des Verdrahtungssubstrats vorgesehenen Dielektrikum, einer Grundleitung, welche in dem Dielektrikum angeordnet ist, und einer Signalleitung, die so angeordnet ist, dass sie der Erdungsleitung gegenüberliegt. Die Erdungsleitung ist auch in dem Dielektrikum angeordnet. Eine Oberfläche der Signalleitung, welche der Erdungsleitung gegenüberliegt, und/oder eine Oberfläche der Grundleitung, welche der Signalleitung gegenüberliegt, ist mit einer Nut versehen, welche sich in einer Übertragungsrichtung erstreckt. Die Oberfläche der Signalleitung und die Oberfläche der Erdungsleitung sind senkrecht zur Hauptoberfläche des Verdrahtungssubstrats.

Gemäß diesem Verdrahtungsaufbau kann das Ausmaß eines durch die Signalleitung erzeugten elektromagnetischen Feldes viel geringer werden. Als Folge kann es begrenzt werden, dass elektromagnetische Induktion in anderen Signalleitungen angrenzend an die Signalleitung aufgrund des elektromagnetischen Feldes erzeugt wird.

Der Verdrahtungsaufbau gemäß dem zweiten Aspekt kann mehrere Verdrahtungsanordnungen aufweisen, welche jeweils aus der Erdungsleitung, der Signalleitung und dem Dielektrikum bestehen. Hierbei sind die Übertragungsrichtungen der Signalleitungen jeweils unterschiedlich voneinander. In diesem Fall kann der Verdrahtungsaufbau Signale in verschiedenen Richtungen übertragen.

In dem Verdrahtungsaufbau gemäß dem zweiten Aspekt kann ein flacher Grund (ein Grund einer Plattengestalt) zwischen den Verdrahtungsanordnungen vorgesehen sein. In diesem Fall kann es noch effektiver begrenzt werden, dass die elektromagnetische Induktion in den angrenzenden Signalleitungen erzeugt wird.

In dem Verdrahtungsaufbau gemäß dem zweiten Aspekt kann jede der Nuten annähernd in der Mitte der entsprechenden Oberfläche angeordnet sein. Alternativ kann jede der Oberflächen mit mehreren der Nuten versehen sein. Wenn dies der Fall ist, kann das Ausmaß des durch die Signalleitung erzeugten elektromagnetischen Feldes viel geringer werden. Als Folge kann es noch effektiver begrenzt werden, dass die elektromagnetische Induktion in den angrenzenden Signalleitungen erzeugt wird.

Der Verdrahtungsaufbau gemäß dem zweiten Aspekt kann außerdem eine Energieversorgungsleitung beinhalten, welche in dem Dielektrikum angeordnet ist, wobei eine Oberfläche der Signalleitung, welche der Energieversorgungsleitung gegenüberliegt, und eine Oberfläche der Erdungsleitung, welche der Energieversorgungsleitung gegenüberliegt, sich senkrecht zur Hauptoberfläche des Verdrahtungssubstrats befinden. Hierbei können die Erdungsleitung und die Energieversorgungsleitung so angeordnet sein, dass sie einander durch die Signalleitung hindurch in Richtung parallel zur Hauptoberfläche des Verdrahtungsaufbaus gegenüberliegen. Alternativ können die Erdungsleitung und die Energieversorgungsleitung so angeordnet sein, dass sie direkt in Richtung parallel zur Hauptoberfläche des Verdrahtungssubstrats einander gegenüberliegen. Wenn dies der Fall ist, kann das Ausmaß des durch die Signalleitung erzeugten elektronischen Feldes viel kleiner werden. Als Folge kann es noch effektiver beschränkt werden, dass die elektromagnetische Induktion in den angrenzenden Signalleitungen erzeugt wird.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

Verschiedene Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden deutlich aus der folgenden Beschreibung, gesehen im Zusammenhang mit den bevorzugten Ausführungsformen mit Bezug auf die begleitenden Zeichnungen, in welchen gleiche Teile durch gleiche Bezugsziffern bezeichnet sind, wobei:

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht einer Übertragungsleitung ist, welche in einem Dielektrikum angeordnet ist, wobei die Ansicht die Leitung in durchsichtiger Art und Weise zeigt;

Fig. 2A bis 2D Schnittansichten von anderen Übertragungsleitungen gemäß der vorliegenden Erfindung sind;

Fig. 3A bis 3C Schnittenansichten von anderen Übertragungsleitungen gemäß der vorliegenden Erfindung sind;

Fig. 4A bis 4C Ansichten sind, welche den Skineffekt erläutern;

Fig. 5A eine Ansicht ist, welche eine Stromverteilung in einer gestapelten Paarleitung zeigt;

Fig. 5B eine Ansicht ist, welche eine Stromverteilung in einer Mikrostreifenleitung zeigt;

Fig. 6A eine Ansicht ist, welche Linien der elektrischen Kraft und Linien der Magnetkraft in der gestapelten Paarleitung zeigt, wenn der Strom gleichmäßig in den Leitern fließt;

Fig. 6B eine Ansicht ist, welche Linien der elektrischen Kraft und Linien der Magnetkraft in der gestapelten Paarleitung zeigt, wenn der Strom ungleichmäßig in den Leitern fließt, und zwar aufgrund des Skineffekts;

Fig. 7 eine Ansicht ist, welche das Ausmaß des effektiven elektromagnetischen Feldes zeigt, wenn Nuten auf den einander gegenüberliegenden Oberflächen der Leiter ausgeformt sind;

Fig. 8 eine Schnittansicht ist, welche einen Verdrahtungsaufbau gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 9 A und 9B Ansichten sind, welche andere Verdrahtungsaufbauten gemäß der vorliegenden Erfindung zeigen;

Fig. 10 eine perspektivische Ansicht ist, welche einen Verdrahtungsaufbau der mehrschichtigen Art zeigt;

Fig. 11 eine perspektivische Ansicht ist, welche einen anderen Verdrahtungsaufbau der mehrschichtigen Art zeigt; und

Fig. 12 eine perspektivische Ansicht ist, welche einen herkömmlichen Verdrahtungsaufbau zeigt.

AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN

Im Folgenden werden Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung mit Bezug auf die begleitenden Zeichnungen beschrieben.

Ausführungsform 1

Im Folgenden wird ein Verdrahtungsaufbau für eine Übertragungsleitung gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung mit Bezug auf die Zeichnungen beschrieben.

Fig. 1 ist eine perspektivische Ansicht einer Übertragungsleitung, welche in einem Dielektrikum angeordnet ist, wobei die Leitung in durchsichtiger Art und Weise gezeigt ist. Wie in Fig. 1 zu sehen, haben sowohl eine Signalleitung 1 als auch eine Erdungsleitung 2 eine Nut, welche sich in Übertragungsrichtung auf der Oberfläche erstreckt, welche der jeweils anderen Leitung gegenüberliegt (im Folgenden bezeichnet als "vordere Oberfläche"). Obwohl dies in Fig. 1 nicht zu sehen ist, existiert das Dielektrikum zwischen der Signalleitung 1 und der Erdungsleitung 2. Das Dielektrikum mag auch um die beiden Leitungen 1 und 2 herum vorhanden sein. In Fig. 1 sind die Signalleitung 1 und die Erdungsleitung 2 gleich breit und bilden eine gestapelte Paarleitung. Die beiden Leitungen 1 und 2 können jedoch auch eine Mikrostreifenleitung oder eine Streifenleitung ausbilden, solange sie Nuten haben, welche sich in der Übertragungsrichtung auf deren vorderen Oberflächen befinden.

Fig. 2A bis 2D sind Schnittansichten von Übertragungsleitungen, welche jeweils den Aufbau der Nuten zeigen, welche auf den vorderen Oberflächen der Signalleitung 1 und der Erdungsleitung 2 ausgeformt sind. Jede der Übertragungsleitungen besteht aus der Signalleitung 1, der Erdungsleitung 2, und dem Dielektrikum 3, welches zwischen der Signalleitung 1 und der Erdungsleitung 2 angeordnet ist. Wie im Fall von Fig. 1, haben sowohl die Signalleitung 1 als auch die Erdungsleitung 2 eine Nut, welche sich in Übertragungsrichtung auf der Oberfläche befindet, die der jeweils anderen Leitung gegenüberliegt.

Die Nuten können verschiedene Gestalten haben, wie beispielsweise ein Dreieck (Fig. 2A), ein Rechteck (Fig. 2B) oder einen Halbkreis (Fig. 2C). Die Nuten können beliebig geformt sein, solange die elektromagnetischen Felder der Leitungen, die die Nuten aufweisen, nicht andere Signalleitungen beeinflussen, die daran angrenzen. Wie in Fig. 2D gezeigt, können außerdem die vorderen Oberflächen der Signalleitung 1 und der Erdungsleitung 2 mit mehreren Nuten versehen sein. Es wird bevorzugt, dass die Nut annähernd in der Mitte der vorderen Fläche angeordnet ist. Die Gestaltung der Nut kann gemäß dem Verfahren zur Herstellung der Nut verändert werden. Als Verfahren zur Herstellung der Nut kann beispielsweise ein herkömmliches Damaszener-Verfahren, ein Dual-Damaszener-Kupferplattierverfahren oder ähnliches verwendet werden. Außerdem kann als ein Glättungsverfahren, nachdem die Nut ausgeformt worden ist, ein chemisches Pufferverfahren oder ähnliches verwendet werden. Hierbei kann auch nur die Signalleitung 1 oder die Erdungsleitung 2 mit der Nut versehen sein.

Die Fig. 3A bis 3C sind Schnittansichten von anderen Übertragungsleitungen, welche jeweils den Aufbau einer Nut zeigen, und eines Ausschnitts, welcher auf der vorderen Fläche der Signalleitung 1 bzw. der Erdungsleitung 2 ausgeformt ist. Der Ausschnitt kann ausgeformt werden durch übermäßiges Ausformen der Nut von der vorderen Fläche her in Richtung der dieser gegenüberliegenden Fläche, bis die Nut die Leitung durchtrennt. Alternativ kann der Ausschnitt ausgeformt werden von der gegenüberliegenden Fläche her in Richtung der vorderen Fläche, bis sie die Leitung durchtrennt. Fig. 3A zeigt ein Beispiel des Ausschnitts, welcher von der Oberfläche gegenüberliegend der Fläche mit der Nut her ausgeformt ist, nämlich von der Oberfläche der Signalleitung her, die nicht zur Erdungsleitung 2 hin zeigt. Die Fig. 3B und 3C zeigen ein Beispiel des Ausschnitts, welcher von der Oberfläche mit der Nut her ausgeformt ist, nämlich von der Oberfläche der Signalleitung 1 her, welche der Erdungsleitung 2 gegenüberliegt. In den Fig. 3A bis 3C ist der Ausschnitt jeweils nur in der Signalleitung 1 ausgeformt. Der Ausschnitt kann jedoch auch in der Erdungsleitung 2 und nicht in der Signalleitung 1 ausgeformt sein. Alternativ können sowohl die Signalleitung 1 als auch die Erdungsleitung 2 mit dem entsprechenden Ausschnitt versehen sein.

Nun wird ein Grund beschrieben, warum die Nut oder der Ausschnitt auf der Vorderfläche der Signalleitung 1 oder der Erdungsleitung 2 der Übertragungsleitung vorgesehen ist.

Die Fig. 4A bis 4C sind Ansichten, welche den Skineffekt erläutern. Fig. 4A zeigt zwei elektrische Drähte 5 (Stromlinien) und Linien der Magnetkraft 6, welche durch die elektrischen Drähte 5 erzeugt wird. Die elektrischen Drähte 5, in welchen Strom in den gleichen Richtungen fließt, erzeugen die Linien der Magnetkraft 6, welche ebenfalls in die gleichen Richtungen zeigen. Wenn die elektrischen Drähte 5 aneinander angrenzend angeordnet sind, beeinflussen sie einander. Wenn die Ströme in den elektrischen Drähten 5 nach oben in Richtung senkrecht zur Blattebene in Fig. 4A im stabilen Zustand fließen, werden die Linien der Magnetkraft 6 entgegen dem Uhrzeigersinn in der Zeichenebene durch die Ströme erzeugt. Wie in Fig. 4A gezeigt, zeigen die Linien der Magnetkraft 6, welche durch die beiden elektrischen Drähte 5 erzeugt werden, in dem Bereich zwischen den beiden elektrischen Drähten in entgegengesetzte Richtungen. Daher löschen sich die Linien der Magnetkraft 6, welche durch die beiden elektrischen Drähte 5 erzeugt wird, in dem Bereich zwischen den beiden elektrischen Drähten 5 aus, so dass die Linien der Magnetkraft 6 eine längliche Gestalt haben, welche die beiden elektrischen Drähte 5 umgibt.

Wenn sich der Strom verändert, werden die Linien der Magnetkraft 6 erzeugt oder ausgelöscht. Aufgrund der Veränderung der Linien der Magnetkraft 6, so dass die Linien der Magnetkräfte erzeugt oder ausgelöscht werden, nämlich aufgrund der Veränderung des Magnetfeldes, wird ein Induktionsstrom erzeugt, der so gerichtet ist, dass er verhindert, dass sich das Magnetfeld ändert. Aufgrund des Induktionsstroms tendiert der Strom dazu, durch einen Bereich hindurchzufließen, welcher durch das Magnetfeld weniger beeinflusst ist. Im Allgemeinen wird, je schneller die Veränderung des Stroms wird, d. h. je größer die Schwingungsfrequenz wird, desto größer der Induktionsstrom.

Die Fig. 4B und 4C zeigen den Zustand des Stroms, welcher in Bereichen in einer Signalleitung fließt, wobei die Signalleitung in neun Bereiche aufgeteilt ist. Wenn der Strom sich ändert, kann die in Fig. 4B gezeigte Stromverteilung unnatürlich sein. Der Grund ist, dass es für den Strom schwierig sein sollte, durch den mittleren Bereich der Signalleitung hindurchzufließen, welcher leicht durch das Magnetfeld beeinflusst wird aufgrund anderer Ströme, weil der Induktionsstrom erzeugt wird, wie oben beschrieben. Daher können, wie in Fig. 4C gezeigt, der durch die Eckbereiche fließende Strom und der durch die Randbereiche in der Signalleitung fließende Strom größer werden, da diese Bereiche weniger durch das Magnetfeld beeinflusst werden aufgrund des Stroms, welcher durch die angrenzenden Leitungen fließt. Solch ein Phänomen, dass die Stromdichte in den Randbereichen des Leiters größer wird, wird als Skineffekt bezeichnet. Insbesondere tritt der Skineffekt bemerkbar bei hohen Frequenzen auf. Der Skineffekt wird durch die folgende Formel 1 ausgedrückt.

δ_s = (2/(ω.µ_r.σ))^1/2 Formel 1

In der Formel 1 bezeichnen δ_s, ω, µ_r und σ die Skintiefe, die Winkelfrequenz des Wechselstroms, die magnetische Permeabilität des Leiters bzw. die elektrische Leitfähigkeit des Leiters. Wie aus der Formel 1 deutlich wird, ist die Skintiefe δ_s invers proportional zur Quadratwurzel aus
(ω.µ_r.σ).

Nun wird der Skineffekt in der Übertragungsleitung, wobei die Leitungen so angeordnet sind, dass sie einander gegenüberliegen, in Bezug auf die Fig. 5A, 5B, 6A, 6B und 7 beschrieben.

Die Fig. 5A und 5B zeigen die Stromverteilung in der Paarübertragungsleitung. Fig. 5A zeigt die Stromverteilung in der gestapelten Paarleitung. Fig. 5B zeigt die Stromverteilung in der Mikrostreifenleitung. In beiden liegt eine Signalleitung 11 einer Erdungsleitung 12 gegenüber. In der Paarübertragungsleitung wird aufgrund des Skineffekts eine ungleichmäßige Stromverteilung verursacht. Die Bereiche mit schrägen Linien 10 bezeichnen Bereiche mit höheren Stromdichten im Vergleich mit den anderen Bereichen. In den Fig. 5A und 5B ist dargestellt, dass zwischen der Signalleitung 11 und der Erdungsleitung 12 nichts existiert. Tatsächlich befindet sich jedoch ein Dielektrikum zwischen der Signalleitung 11 und der Erdungsleitung 12. Als Dielektrikum kann beispielsweise Glas, Epoxykunstharz, Teflon oder Keramik verwendet werden.

Die Fig. 6A und 6B zeigen die Linien der elektrischen Kraft und die Linien der Magnetkraft der gestapelten Paarleitung. Fig. 6A zeigt die Linien der elektrischen Kraft und die Linien der Magnetkraft, wenn der Strom gleichmäßig durch die Leiter fließt. Fig. 6B zeigt die Linien der elektrischen Kraft und der Magnetkraft, wenn der Strom ungleichmäßig durch die Leiter fließt, und zwar aufgrund des Skineffekts.

Gemäß dem Gauss'schen Gesetz treffen sich die Linien der elektrischen Kraft immer im rechten Winkel mit den Linien der Magnetkraft. Die Linien der elektrischen Kraft beginnen bei den positiven elektrischen Ladungen in den Leitern und enden bei den negativen elektrischen Ladungen. Wenn die Linien der elektrischen Kraft die Oberfläche der Leiter kreuzen, sind sie senkrecht zur Oberfläche, wenn gleichmäßige elektrische Potentiale in den Leitern vorherrschen. Sie neigen sich jedoch in den Bereich, in welchem die elektrische Ladungsverteilung höher ist. Die Linien der Magnetkraft in Uhrzeigerrichtung, welche senkrecht sind zu der Richtung, entlang derer der Strom durch den elektrischen Draht fließt, werden erzeugt, so dass sie den elektrischen Draht umgeben. Die Linien der elektrischen Kraft und die Linien der Magnetkraft sind im Raum verteilt, so dass sie Abstände mit den angrenzenden Linien der elektrischen Kraft bzw. den angrenzenden Linien der Magnetkraft halten, und zwar dem Gesetz der minimalen Energie. Gemäß der elektrischen Ladungsverteilung oder dem Strom steigen oder sinken die Dichte der Linien der elektrischen Kraft und die Dichte der Linien der Magnetkraft.

Im Fall von Fig. 6A ist die elektrische Ladungsverteilung in dem Leiter gleichmäßig, weil die Ströme gleichmäßig durch die Leiter fließen. Daher sind die Abstände zwischen den Linien der elektrischen Kraft gleichmäßig, beispielsweise im Bereich zwischen der Signalleitung 11 und der Erdungsleitung 12. Im Fall von Fig. 6B konzentrieren sich jedoch die elektrischen Ladungen im Bereich mit den schrägen Linien 10, weil die Ströme in den Bereichen mit den schrägen Linien 10 aufgrund des Skineffekts konzentriert sind. Daher ist die Dichte der Linien der elektrischen Kraft in dem Bereich in der Nähe der Bereiche mit den schrägen Linien 10 auch erhöht, in welchen die Ströme konzentriert sind, um Vergleich mit dem Fall in Fig. 6A. In dem Bereich, in welchem die Dichte der Linien der elektrischen Kraft erhöht ist, nämlich in dem Bereich mit dem stärkeren elektrischen Feld, ist die Dichte der Linien der Magnetkraft erhöht, so dass das Magnetfeld stärker wird.

Das elektromagnetische Feld verbreitet sich ursprünglich ins Unendliche. Das effektive elektromagnetische Feld, in welchem der Einfluss der elektromagnetischen Induktion stärker und nicht vernachlässigbar ist, ist jedoch begrenzt. In Fig. 6A ist das Ausmaß des effektiven elektromagnetischen Feldes durch W1 bezeichnet. In Fig. 6B ist das Ausmaß des effektiven magnetischen Feldes durch W2 bezeichnet. Gemäß diesen Darstellungen wird deutlich, dass die Länge von W2 kürzer ist als die Länge von W1, d. h. das Ausmaß des effektiven elektromagnetischen Feldes in Fig. 6B wird relativ gesehen kleiner aufgrund des Skineffekts.

Was die elektromagnetische Induktion betrifft, so erzeugt in der gestapelten Paarleitung aus der Signalleitung 14 und der Erdungsleitung 15, welche aneinander angrenzen, das elektromagnetische Feld, welches diese Leitungen kreuzt, die elektromagnetische Induktion in die Signalleitung 14 und in der Erdungsleitung 15, welche aneinander angrenzen. Das heißt, die Energie der elektromagnetischen Induktion wird von der gestapelten Paarleitung aus der Signalleitung 11 und der Erdungsleitung 12 an die angrenzende gestapelte Paarleitung aus der Signalleitung 14 und der Erdungsleitung 15 übertragen. Dieses Phänomen wird als "Kreuzkopplung" bezeichnet. Entsprechend der Kreuzkopplung sind die Wellenformen der Signale in den Signalleitungen 11 und 14 gestört, nämlich gedämpft oder verstärkt.

Weil das Ausmaß des effektiven elektronischen Feldes relativ gesehen kleiner wird, wenn der Skineffekt verursacht wird, mag es so scheinen, dass die elektromagnetische Induktion in der angrenzenden Übertragungsleitung auch kleiner wird. Bezüglich der Hochfrequenz wird jedoch die elektromagnetische Induktion nicht notwendigerweise kleiner. Die Kreuzkopplung aufgrund der elektromagnetischen Induktion wird grundsätzlich durch die beiden folgenden Näherungsformeln 2 und 3 ausgedrückt.

v = L (di/dt) = ωL Formel 2

In der Formel 2 bezeichnen 2, v, L, i und ω die elektromagnetische Kraft aufgrund der elektromagnetischen Induktion, die Selbst-Reaktanz des Leiter, den Strom bzw. die Winkelgeschwindigkeit.

i = C (dv/dt) = ωC Formel 3

In der Formel 3 bezeichnet c die elektrostatische Kapazität zwischen den Leitern.

Wenn die Frequenz mit f bezeichnet wird, erfüllen ω und f die folgende Gleichung.

w = 2 π f

Das heißt, die Winkelgeschwindigkeit ω steigt proportional zur Frequenz f. Gemäß den Formeln 2 und 3 wird daher deutlich, dass die elektromagnetische Induktion steigt, wenn die Frequenz steigt. Bei Hochfrequenz steigt die elektromagnetische Induktion, obwohl das Ausmaß des effektiven elektromagnetischen Feldes kleiner wird. Das heißt, bei Hochfrequenz wird der Skineffekt erzeugt aufgrund der Selbstverteidigungswirkung des Leiters, welche dazu tendiert, den Anstieg der elektromagnetischen Induktion, wenn möglich, zu vermeiden.

Bei Hochfrequenzstrom wird es nicht bevorzugt, dass die Kreuzkopplung erzeugt wird. Um die Kreuzkopplung zu unterdrücken, ist es notwendig, das Ausmaß des effektiven elektromagnetischen Feldes kleiner zu machen. Mit Bezug auf die Zeichnungen wird nun erläutert werden, dass das Ausmaß des effektiven elektromagnetischen Feldes kleiner gemacht werden kann, wenn die Nuten auf den Vorderflächen der Leiter vorgesehen sind.

Fig. 7 zeigt das Ausmaß des effektiven elektromagnetischen Feldes, wenn die Nuten auf den Vorderflächen der Leiter vorgesehen sind. In Fig. 7 drücken die Bereiche mit den schrägen Linien Bereiche aus, in welchen die Ströme konzentriert sind, nämlich Bereiche, in welchen die elektrischen Ladungen konzentriert sind. Obwohl die elektrischen Ladungen in den Vorderflächen und den Eckbereichen der Signalleitung 11 und der Erdungsleitung 12 in Fig. 6B konzentriert sind, sind die elektrischen Ladungen in den Eckbereichen 26 und 27 auf den Vorderflächen der Signalleitung 21 und der Erdungsleitung 22 in Fig. 7 konzentriert.

Die Eckbereiche 26 und 27 sind weniger durch das elektromagnetische Feld beeinflusst aufgrund des Stroms in den angrenzenden Leitern und tendieren dazu, den Strom darin zu konzentrieren, genau wie die Eckbereiche und Randbereiche in Fig. 4C. Es kann geschlossen werden, dass die Kopplung der gestapelten Paarleitung ansteigt aufgrund der Eckbereiche 26 und 27. Als Ergebnis wird die charakteristische Impedanz der gestapelten Paarleitung, deren Vorderflächen die Nuten aufweisen, kleiner als die der einfachen gestapelten Paarleitung. Da die Nuten auf den Vorderflächen der Signalleitung 21 und der Erdungsleitung 22 vorgesehen sind, verbreitet sich außerdem das elektromagnetische Feld nicht, sondern konvergiert zum mittleren Bereich hin. Wenn ein Vergleich gemacht wird zwischen den Fällen der Fig. 6A, 6B und 7, ist das Ausmaß des effektiven elektromagnetischen Feldes W3 daher kleiner als das Ausmaß W1 oder das Ausmaß W2. Da das Ausmaß des effektiven elektromagnetischen Feldes W3 relativ gesehen kleiner ist, wird die Kreuzkopplung in der Signalleitung 24 und der Erdungsleitung 25, welche jeweils die angrenzenden Übertragungsleitungen sind, kleiner.

Gemäß den oben beschriebenen Tatsachen ist es, um die Kreuzkopplung in den angrenzenden Übertragungsleitungen zu reduzieren, adäquat, das Ausmaß des effektiven elektromagnetischen Feldes kleiner zu machen, nämlich die Nuten auf den Vorderflächen vorzusehen. Hierbei wird es weiter bevorzugt, dass die Nuten an Positionen vorgesehen sind, welche weit von den angrenzenden Übertragungsleitungen entfernt sind, nämlich in den Positionen in der Nähe der Mitte der Vorderflächen.

In dem Verdrahtungsaufbau für die Übertragungsleitung gemäß Ausführungsform 1 wird, da die Nuten auf den Vorderflächen der Signalleitung und der Erdungsleitung vorgesehen sind, die Kreuzkopplung kleiner, so dass der Verdrahtungsaufbau geeignet wird, Hochfrequenzsignale zu übertragen.

Ausführungsform 2

Nun wird die Ausführungsform 2 der vorliegenden Erfindung mit Bezug auf die begleitenden Zeichnungen beschrieben.

Fig. 8 ist eine Schnittansicht, welche einen Verdrahtungsaufbau gemäß der Ausführungsform 2 zeigt. Wie in Fig. 8 gezeigt, beinhaltet der Verdrahtungsaufbau ein Substrat 35 (Verdrahtungssubstrat), Signalleitungen 31, Erdungsleitungen 32, einen Oberflächenausgangsbereich 33 für die Signalleitungen 31 sowie ein Dielektrikum 34.

In dem Verdrahtungsaufbau ist das Dielektrikum 34 auf der oberen Fläche (Hauptfläche) des Substrats 35 angeordnet. Die Signalleitungen 31 zeigen zu den Erdungsleitungen 32 in dem Dielektrikum 34. Die Signalleitungen 31 und die Erdungsleitungen 32 bilden eine Paarübertragungsleitung. Die Signalleitungen 31 und die Erdungsleitungen 32 sind jeweils mit Nuten versehen, die sich in der Übertragungsrichtung auf deren Vorderflächen erstrecken. Die Vorderflächen sind senkrecht zur oberen Fläche des Substrats 35. Alternativ können die Nuten nur auf den Signalleitungen 31 oder den Erdungsleitungen 32 vorgesehen sein. Der Oberflächenausgangsbereich 33 für die Signalleitungen 31 wird verwendet, um die Signale in den Signalleitungen 31 zur Seite der Oberfläche hin aufzunehmen. Da der Oberflächenausgangsbereich 33 für die Signalleitungen 31 außen an der Oberfläche des Dielektrikums 34 freiliegt, können ein Flipchip usw. mit dem Oberflächenausgangsbereich 33 verbunden werden. An dem Substrat 35 umgibt das Dielektrikum 34 die Signalleitungen 31, die Erdungsleitungen 32 und den Oberflächenausgangsbereich 33 für die Signalleitungen 31.

In dem Verdrahtungsaufbau sind die Signalleitungen 31 weniger durch das elektromagnetische Feld der anderen angrenzenden Signalleitungen 31 beeinflusst. Der Grund ist der folgende. Die Indizes der Raumverteilung der Stärke des elektrischen Feldes und der Stärke des Magnetfeldes sind die Dichte der Linien der elektrischen Kraft und die Dichte der Linien der Magnetkraft. In der gestapelten Paarleitung oder der Mikrostreifenleitung erstreckt sich der Raum, in welchem die Dichte der Linien der elektrischen Kraft und die Dichte der Linien der Magnetkraft höher sind, radial von den seitlich offenen Bereichen der Paarleitungen her.

Beispielsweise sind in Fig. 7 der obere Bereich der Signalleitung 21 und der untere Bereich der Erdungsleitung 22 Schatten für das elektromagnetische Feld, welches von den vorderen Flächen ausgeht, wo die Dichte des elektromagnetischen Feldes relativ gesehen geringer ist. Der obere Bereich der Signalleitung 21 und der untere Bereich der Erdungsleitung 22 in Fig. 7 entsprechen den Bereichen zwischen den Signalleitungen 31 und den Erdungsleitungen 32 in Fig. 8. Die Bereiche zwischen den Signalleitungen 31 und den Erdungsleitungen 32 in Fig. 8 sind Schatten für das elektromagnetische Feld, welches von den vorderen Flächen der angrenzenden Signalleitungen 31 und der angrenzenden Erdungsleitungen 32 ausgehen, obwohl die Dichte des elektromagnetischen Feldes höher ist an den Bereichen, wie im Fall des Bereichs zwischen der Signalleitung 21 und der Erdungsleitung 22 in Fig. 7.

In Fig. 8 ist, um das elektromagnetische Feld, welches durch das Paar der angrenzenden Signalleitungen 31 und der Erdungsleitungen 32 erzeugt wird, zu schwächen, die Breite der Erdungsleitungen 32 vergrößert. Die Breiten der Erdungsleitungen 32 können jedoch auch gleich den Breiten der Signalleitungen 31 sein. Außerdem können, um die Elektrodenfläche auf der Fläche des Verdrahtungsaufbaus zu vergrößern, die Erdungsleitungen 32 so angeordnet sein, dass sie nicht nach außen von dem Dielektrikum 34 freiliegen. Die in Fig. 8 gezeigte Grabenstruktur kann mit einem herkömmlichen Bearbeitungsverfahren ausgeformt werden. Beispielsweise kann ein Damaszener-Verfahren verwendet werden unter Verwendung der Abscheidung von Plattierung, ein Stapelschneidverfahren oder ein Aufbauverfahren.

Im Folgenden wird ein anderer Verdrahtungsaufbau beschrieben, welcher sich von dem Verdrahtungsaufbau in Fig. 8 unterscheidet. Die Fig. 9 A und 9B zeigen andere Verdrahtungsaufbauten, welche sich von dem in Fig. 8 unterscheiden. In dem Verdrahtungsaufbau der Streifenleitung in Fig. 8 sind ein Bereich des Dielektrikums 34 und eine Signalleitung 31 zwischen zwei angrenzenden Erdungsleitungen 32 sandwichartig angeordnet. In anderen Worten sind die Signalleitungen 31 und die Erdungsleitungen 32 abwechselnd in Richtung parallel zur oberen Fläche des Substrats 35 angeordnet. Andererseits sind in dem Verdrahtungsaufbau in Fig. 9A die Erdungsleitungen 32 und Energiezuführleitungen 43 abwechselnd in jedem der Räume zwischen zwei aneinander grenzenden Signalleitungen angeordnet. Das heißt, sie sind gemäß der folgenden Reihenfolge angeordnet.
(Signalleitung 41, Erdungsleitung 42, Signalleitung 41, Energieversorgungsleitung 43, Signalleitung 41, . . .)

Währenddessen sind in dem Verdrahtungsaufbau in Fig. 9B eine Erdungsleitung 44 und eine Energieversorgungsleitung 43 in jedem der Räume zwischen zwei aneinander grenzenden Signalleitungen 41 angeordnet. Beispielsweise sind sie gemäß der folgenden Reihenfolge angeordnet
(Signalleitung 41, Erdungsleitung 44, Energieversorgungsleitung 43, Signalleitung 41, Erdungsleitung 44, . . .)

Hierbei können die Erdungsleitungen 44 und die Energieversorgungsleitungen 43 in der umgekehrten Reihenfolge angeordnet sein.

Wenn in dem Verdrahtungsaufbau in Fig. 9B die elektrostatische Kapazität, die durch die Energieversorgungsleitungen 43 und die Erdungsleitungen 44 erzeugt wird, größer gemacht wird, kann sie als Bypass- Kapazität dienen. Der Verdrahtungsaufbau ist sehr effektiv, um Signale bei hoher Geschwindigkeit zu übertragen, weil er als die Bypass-Kapazität arbeiten kann. Der Verdrahtungsaufbau in Fig. 8, 9A oder 9B kann gestapelt werden, um einen Verdrahtungsaufbau der mehrschichtigen Art zu bilden.

Nun werden Verdrahtungsaufbauten der mehrschichtigen Art beschrieben, in welchen jeweils mehrere der Verdrahtungsaufbauten in den Fig. 8, 9A oder 9B gestapelt sind.

Fig. 10 ist eine perspektivische Ansicht, welche einen Verdrahtungsaufbau der mehrschichtigen Art zeigt. Wie in Fig. 10 zu sehen, beinhaltet der Verdrahtungsaufbau eine Signalleitung 51 in Y-Richtung, eine Erdungsleitung 52 in Y- Richtung, ein Erdungsleitungsverbindungskissen 55, eine Signalleitungsverbindungsspalte 56, eine Signalleitung 61 in X-Richtung und eine Erdungsleitung 62 in X-Richtung.

In dem Verdrahtungsaufbau zeigt die Signalleitung 51 in Y- Richtung zur Erdungsleitung 52 in Y-Richtung hin, während die Signalleitung 61 in X-Richtung zur Erdungsleitung 62 in X- Richtung hin zeigt. Diese Leitungen 51, 52, 61 und 62 bilden eine Paarübertragungsleitung. Die Y-Signalleitung 51 und die Y-Erdungsleitung 52 sind jeweils mit einer Nut versehen, welche sich in der Übertragungsrichtung auf der vorderen Fläche erstreckt. In gleicher Art und Weise sind auch die X- Signalleitung 61 und die X-Erdungsleitung 62 mit einer Nut versehen, welche sich in Übertragungsrichtung auf der vorderen Fläche erstreckt. Alternativ können die Nuten nur an den Signalleitungen 51 und 51 oder nur an den Erdungsleitungen 52 und 62 vorgesehen sein. Die Y- Signalleitung 51 und die X-Signalleitung 61 treffen sich im rechten Winkel, und sie sind miteinander verbunden durch die Signalleitungsverbindungsspalte 56. Die Y-Erdungsleitung 52 und die X-Erdungsleitung 62 treffen sich im rechten Winkel und sind verbunden über das Erdungsleitungsverbindungskissen 55. Die Übertragungsrichtung der Y-Signalleitung 51 und die Übertragungsrichtung der X-Signalleitung 61 treffen sich im rechten Winkel.

Obwohl dies in Fig. 10 nicht gezeigt ist, sind die Y- Signalleitung 51 und die Y-Erdungsleitung 52 mit einem Dielektrikum bedeckt. Die X-Signalleitung 61 und die X- Erdungsleitung 62 sind ebenfalls mit einem Dielektrikum bedeckt. Obwohl dies nicht dargestellt ist, ist der Verdrahtungsaufbau auf einem Substrat (Verdrahtungssubstrat) vorgesehen. Obwohl nur ein Satz der X-Paarleitung und der Y- Paarleitung in Fig. 10 gezeigt ist, können mehrere Signalleitungen vorgesehen sein, welche in die gleiche Richtung zeigen, sowie mehrere Erdungsleitungen, welche in die gleiche Richtung orientiert sind.

Hierbei brauchen sich die Y-Signalleitung 51 und die X- Signalleitung 61 nicht im rechten Winkel zu treffen, wenn sie nur in Richtungen orientiert sind, die unterschiedlich voneinander sind.

Gemäß dem Verdrahtungsaufbau kann eine bidirektionale Übertragungsleitung erzielt werden.

In Fig. 11 ist ein anderer Verdrahtungsaufbau der mehrschichtigen Art gezeigt. Der Verdrahtungsaufbau in Fig. 11 ist mit einem flachen Grund 65 versehen, welcher zwischen der X-Paarsignalleitung und der Y-Paarsignalleitung zusätzlich zu dem Verdrahtungsaufbau in Fig. 10 vorgesehen ist. Der Verdrahtungsaufbau in Fig. 11 beinhaltet eine Y- Signalleitung 51, eine Y-Erdungsleitung 52, eine Signalleitungsverbindungsspalte 56, Erdungsleitungsverbindungsspalten 57, eine Y-Signalleitung 61, eine X-Erdungsleitung 62 und den flachen Grund 65 mit einer Öffnung 58.

In dem Verdrahtungsaufbau zeigt die Y-Signalleitung 51 zur Y- Erdungsleitung 52, während die X-Signalleitung 61 zur X- Erdungsleitung 62 hin zeigt. Diese Leitungen 51, 52, 61 und 62 bilden eine Paarübertragungsleitung. Die Y-Signalleitung 51 und die Y-Erdungsleitung 52 sind mit einer Nut versehen, welche sich in Übertragungsrichtung auf der vorderen Fläche der Leitungen erstreckt. In ähnlicher Art und Weise sind die X-Signalleitung 61 und die X-Erdungsleitung 62 mit einer Nut versehen, welche sich in Übertragungsrichtung in der vorderen Fläche der Leitungen erstreckt. Es wird bevorzugt, dass jede der Nuten in der Nähe der Mitte der entsprechenden vorderen Fläche vorgesehen ist. Alternativ können die Nuten nur an den Signalleitungen 51 und 61 oder nur an den Erdungsleitungen 52 und 62 vorgesehen sein.

Die Y-Signalleitung 51 und die X-Signalleitung 61 treffen sich im rechten Winkel, und sie sind miteinander verbunden durch die Signalleitungsverbindungsspalte 56, welche durch die Öffnung 58 des flachen Grunds 65 hindurch vorgesehen ist. Die Y-Erdungsleitung 52 und die X-Erdungsleitung 62 treffen sich im rechten Winkel und sind mit dem flachen Grund 65 durch die Erdungsleitungsverbindungsspalten 57 verbunden. Die Übertragungsrichtung der Y-Signalleitung 51 und die Übertragungsrichtung der X-Signalleitung 61 treffen sich im rechten Winkel.

Obwohl dies in Fig. 11 nicht dargestellt ist, sind die Y- Signalleitung 51 und die Y-Signalleitung 62 mit einem Dielektrikum bedeckt. Die X-Signalleitung 61 und die X- Erdungsleitung 62 sind auch mit einem Dielektrikum bedeckt. Obwohl dies nicht dargestellt ist, ist der Verdrahtungsaufbau auf einem Substrat vorgesehen. Obwohl nur ein Satz der X- Paarleitung und der Y-Paarleitung in Fig. 11 gezeigt ist, können mehrere Signalleitungen vorgesehen sein, die in der gleichen Richtung orientiert sind, und mehrere Erdungsleitungen, welche in der gleichen Richtung orientiert sind.

Dabei brauchen sich die Y-Signalleitung 51 und die X- Signalleitung 61 nicht im rechten Winkel zu treffen, wenn sie nur in Richtungen orientiert sind, die voneinander unterschiedlich sind.

Gemäß dem Verdrahtungsaufbau kann, weil der flache Grund 65 zwischen der Y-Signalleitung 51 und der X-Signalleitung 61 vorgesehen ist, die Kreuzkopplung in der Y-Signalleitung 51 und der X-Signalleitung 61 unterdrückt werden.

In den Verdrahtungsaufbauten gemäß der Ausführungsform 2 ist an jeder der vorderen Flächen eine Nut mit rechteckiger Gestalt vorgesehen. Die Nut kann jedoch verschiedene Gestalten haben, wie sie beispielsweise in den Fig. 2A bis 2D gezeigt sind. Außerdem kann jede der vorderen Flächen mehrere Nuten aufweisen. Jede der vorderen Flächen kann einen Ausschnitt aufweisen, wie in den Fig. 3A bis 3C gezeigt, anstelle der Nut. In den Verdrahtungsaufbauten gemäß der Ausführungsform 2 ist jede der Energieversorgungsleitungen 53 mit einer Energiequelle verbunden, während jede der Signalleitungen 31, 41, 51 und 61 mit einer Signalquelle verbunden ist. Außerdem ist jede der Erdungsleitungen 32, 42, 44, 52 und 62 mit der Erde verbunden.

Obwohl die vorliegende Erfindung vollständig beschrieben worden ist in Verbindung mit bevorzugten Ausführungsformen unter Bezug auf die begleitenden Zeichnungen, wird darauf hingewiesen, dass verschiedene Veränderungen und Modifikationen Fachleuten bewusst sind. Solche Veränderungen und Modifikationen sollen in den Bereich der vorliegenden Erfindung fallen, wie er durch die nachfolgenden Ansprüche definiert ist, wenn sie nicht davon abweichen.

Claims

1. Verdrahtungsaufbau für eine Übertragungsleitung mit einer Erdungsleitung und einer Signalleitung, welche so angeordnet ist, dass sie der Erdungsleitung durch ein Dielektrikum hindurch gegenüberliegt, wobei eine Oberfläche der Signalleitung, welche der Erdungsleitung gegenüberliegt, und/oder eine Oberfläche der Erdungsleitung, welche der Signalleitung gegenüberliegt, mit einer Nut versehen ist, welche sich in einer Übertragungsrichtung erstreckt.

2. Verdrahtungsaufbau nach Anspruch 1, wobei die Nut annähernd in der Mitte der Oberfläche angeordnet ist.

3. Verdrahtungsaufbau nach Anspruch 1, wobei die Oberfläche mit mehreren der Nuten versehen ist.

4. Verdrahtungsaufbau für eine Übertragungsleitung mit einem Verdrahtungssubstrat; einem Dielektrikum, welches auf einer Hauptoberfläche des Verdrahtungssubstrats vorgesehen ist; einer Erdungsleitung, welche in dem Dielektrikum vorgesehen ist; und einer Signalleitung, welche so angeordnet ist, dass sie der Erdungsleitung gegenüberliegt, welche sich in dem Dielektrikum befindet, wobei eine Oberfläche der Signalleitung, welche der Erdungsleitung gegenüberliegt, und/oder eine Oberfläche der Erdungsleitung, welche der Signalleitung gegenüberliegt, mit einer Nut versehen ist, welche sich in einer Übertragungsrichtung erstreckt, wobei die Oberfläche der Signalleitung und die Oberfläche der Erdungsleitung senkrecht zu der Hauptoberfläche des Verdrahtungssubstrats liegen.

5. Verdrahtungsaufbau nach Anspruch 4, mit mehreren Verdrahtungsanordnungen, welche jeweils die Erdungsleitung, die Signalleitung und das Dielektrikum beinhalten, wobei die Übertragungsrichtungen der Signalleitungen jeder Verdrahtungsanordnung voneinander verschieden sind.

6. Verdrahtungsaufbau nach Anspruch 5, wobei ein flacher Grund zwischen den Verdrahtungsanordnungen vorgesehen ist.

7. Verdrahtungsaufbau nach Anspruch 4, wobei jede der Nuten in der Nähe der Mitte der entsprechenden Oberfläche vorgesehen ist.

8. Verdrahtungsaufbau nach Anspruch 4, wobei jede der Oberflächen mit mehreren der Nuten versehen ist.

9. Verdrahtungsaufbau nach Anspruch 4, weiter mit einer Energieversorgungsleitung, welche in dem Dielektrikum angeordnet ist, wobei eine Oberfläche der Signalleitung, welche der Energieversorgungsleitung gegenüberliegt, und eine Oberfläche der Erdungsleitung, welche der Energieversorgungsleitung gegenüberliegt, senkrecht zur Hauptoberfläche des Verdrahtungssubstrats liegen, wobei die Erdungsleitung und die Energieversorgungsleitung so angeordnet sind, dass sie einander durch die Signalleitung hindurch gegenüberliegen in einer Richtung parallel zur Hauptoberfläche des Verdrahtungssubstrats.

10. Verdrahtungsaufbau nach Anspruch 4, weiter mit einer Energieversorgungsleitung, welche in dem Dielektrikum angeordnet ist, wobei eine Oberfläche der Signalleitung, welche der Energieversorgungsleitung gegenüberliegt, und eine Oberfläche der Erdungsleitung, welche der Energieversorgungsleitung gegenüberliegt, senkrecht zur Hauptoberfläche des Verdrahtungssubstrats liegen, wobei die Erdungsleitung und die Energieversorgungsleitung so angeordnet sind, dass sie einander in einer Richtung parallel zur Hauptoberfläche des Verdrahtungssubstrats direkt gegenüberliegen.