DE10050862C2 - Bad und Verfahren zum stromlosen Abscheiden von Silber auf Metalloberflächen - Google Patents
Bad und Verfahren zum stromlosen Abscheiden von Silber auf MetalloberflächenInfo
- Publication number
- DE10050862C2 DE10050862C2 DE10050862A DE10050862A DE10050862C2 DE 10050862 C2 DE10050862 C2 DE 10050862C2 DE 10050862 A DE10050862 A DE 10050862A DE 10050862 A DE10050862 A DE 10050862A DE 10050862 C2 DE10050862 C2 DE 10050862C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- silver
- bath
- copper
- ions
- solution
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
- H05K3/24—Reinforcing the conductive pattern
- H05K3/244—Finish plating of conductors, especially of copper conductors, e.g. for pads or lands
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
- C23C18/31—Coating with metals
- C23C18/42—Coating with noble metals
Abstract
Bestehende Methoden, die Lötbarkeit von Metalloberflächen, insbesondere Kupferoberflächen auf Leiterplatten, zu verbessern, leiden an dem Nachteil, daß entweder ungleichmäßig dicke Deckschichten auf den Metalloberflächen gebildet werden, daß diese Schichten sehr teuer sind oder daß umweltschädigende Bestandteile zu deren Herstellung eingesetzt werden. Außerdem sollen die Metalloberflächen auch geeignet sein, Bondverbindungen sowie elektrische Kontakte zu bilden. Zur Lösung dieser Probleme werden ein Bad und ein Verfahren zum stromlosen Abscheiden von Silber auf gegenüber Silber unedleren Metalloberflächen durch Ladungsaustauschreaktion, insbesondere auf Kupfer, beschrieben, die mindestens einen Silberhalogeno-Komplex, nicht aber ein Reduktionsmittel für Ag·+·-Ionen enthalten.
Description
Die Erfindung betrifft ein Bad und ein Verfahren zum stromlosen Abscheiden
von Silber.
Bei der Herstellung von Leiterplatten und anderen Schaltungsträgern wird auf
die nichtleitenden Oberflächen der Substrate im allgemeinen zunächst eine all
seitige Kupferschicht aufgebracht, um die Oberflächen leitfähig zu machen. Üb
licherweise werden dabei die nichtleitenden Wände der Löcher in den Sub
straten erstmalig metallisiert. Anschließend werden Leiterstrukturen auf den
Oberflächen des Substrats gebildet. Hierzu sind verschiedene Verfahren ein
setzbar. Ein übliches Verfahren besteht darin, zunächst eine meist mit einem
photoempfindlichen Film gebildete Maske auf die Oberflächen aufzubringen,
mit der ausschließlich diejenigen Bereiche der Oberflächen abgedeckt werden,
in denen keine Strukturen gebildet werden sollen, während die den Leiterstruk
turen entsprechenden Bereiche auf den Oberflächen freigehalten werden. In
diesen Bereichen wird dann eine Kupferschicht mit einem elektrolytischen Ver
fahren abgeschieden, deren Dicke derjenigen der zu bildenden Leiterstrukturen
entspricht. Danach wird auf die gebildete Kupferschicht eine weitere Metall
schicht, beispielsweise eine Zinnschicht, elektrolytisch aufgetragen, die beim
nachfolgenden Bildender Leiterstrukturen als Ätzschutz dient. Anschließend
wird die Maske von den Oberflächen entfernt und das freigelegte Kupfer in den
den Leiterstrukturen nicht entsprechenden Bereichen abgeätzt. Abschließend
wird auch die den Ätzschutz bildende Metallschicht entfernt, so daß die Leiter
strukturen gebildet werden.
Zur elektrischen Befestigung von Bauelementen, beispielsweise Widerständen,
Kondensatoren und Halbleiterbauelementen, wurde bisher eine aus einer
Legierung aus Zinn und Blei bestehende Lotschicht mit flüssigem Lot auf die
desoxidierten Kupferoberflächen aufgetragen und überschüssiges flüssiges Lot
an den Oberflächen und insbesondere aus den Löchern mit einem heißen Luft
strahl (Luftmesser) wieder entfernt. Dieses Verfahren ist als Heißluftverzin
nungs-Verfahren (Hot-air-leveling-Verfahren: HAL-Verfahren) bekannt. Meist
wird das HAL-Verfahren erst nach dem Aufbringen einer Lötstopmaske durch
geführt, die aus einem Polymerfilm besteht und auf die Oberflächen der Leiter
platte mit Ausnahme der Bereiche aufgebracht wird, in denen die Bauelemente
verlötet werden sollen. Dadurch gelangt das flüssige Lot ausschließlich zu den
Stellen auf den Leiterplatten, an denen die Bauelemente elektrisch kontaktiert
werden sollen.
Nach Bildung der Zinn/Blei-Schicht können die Bauelemente entweder im
Durchsteckverfahren oder in der Oberflächenmontage auf die Leiterplatte mon
tiert und dort verlötet werden. Da die Bauelemente häufig erst geraume Zeit
nach der Herstellung der Leiterstrukturen auf den Leiterplatten montiert und
verlötet werden, oxidieren die Kupferoberflächen, so daß deren Benetzbarkeit
mit flüssigem Lot enorm herabgesetzt wird. Daher müßten die Leiterstrukturen
vor dem Löten von den gebildeten Oxidschichten erst befreit. werden. Durch
die Bildung der Zinn/Blei-Schicht auf den Leiterstrukturen wird deren Oxidation
vermieden, so daß die Bauelemente später problemlos montiert und verlötet
werden können. Die mit dem HAL-Verfahren erzeugten Schichten dienen daher
auch dazu, die Kupferoberflächen vor fortschreitender Oxidation zu schützen.
Mit dem HAL-Verfahren präparierte Flächen lassen sich daher hervorragend lö
ten. Außerdem sind die Leiterplattenoberflächen resistent gegen Oxidation und
andere korrosive Prozesse.
Auch wenn bei Durchführung des HAL-Verfahrens eine Vergleichmäßigung der
Dicke der Zinn/Blei-Schicht mit dem Luftmesser erreicht werden kann, verblei
ben dennoch erhebliche Schichtdickenunterschiede auf den Leiterplattenoberflächen.
Mit fortschreitender Erhöhung der Schaltungsdichte und mit Einfüh
rung einer automatischen Bestückung mit den Bauelementen müssen jedoch
Leiterstrukturen mit möglichst planaren Oberflächen gebildet werden, die mit
der HAL-Technik nicht erzielbar sind. Ebenso kommt es bei immer geringeren
Abständen der Anschlußstellen für die Bauelemente (Pads) vermehrt zu einer
Lotbrückenbildung. Daher sind alternative Verfahren zum HAL-Verfahren ge
sucht worden, mit denen diese Nachteile der gebildeten Zinn/Blei-Schichten auf
den Kupferoberflächen vermieden werden können. Ein primäres Ziel hat dabei
darin bestanden, die Oxidation der Kupferoberflächen zu verhindern und
gleichzeitig die Anforderungen, die mit der fortschreitenden Miniaturisierung
und Automatisierung der Bestückung gestellt werden, zu erfüllen.
Eine Abhilfe dieser Probleme ist durch die Bildung einer Schichtkombination
von Nickel und Gold erreicht worden. Da die zu beschichtenden Leiterstruktu
ren im allgemeinen elektrisch voneinander isoliert sind, werden die beiden Me
tallschichten mit stromlosen Verfahren auf die Kupferoberflächen aufgebracht.
Bei einem stromlosen-Beschichtungsverfahren ist ein elektrischer Anschluß der
zu beschichtenden Bereiche der Kupferoberflächen an eine externe Stromquel
le nicht erforderlich.
Die Nickel/Gold-Endschicht ist insbesondere für Anwendungen geeignet, bei
denen höchste Qualitätsanforderungen bestehen. Sie ist nicht nur löt- sondern
auch bondbar und bietet einen hervorragenden Korrosionsschutz. Außerdem
kann sie auch zur Herstellung von elektrischen Kontaktflächen, beispielsweise
in Schaltern und Steckkontakten eingesetzt werden. Diese Technik ist jedoch
sehr teuer, so daß sich deren Anwendung auf hochwertige Schaltungen be
schränkt. Eine Massenanwendung bleibt ihr verschlossen.
Eine andere qualitativ hochwertige Endoberfläche wird durch stromlose Be
schichtung der Kupferoberflächen mit Palladium gebildet. Mit einer 0,2 µm
dicken Palladiumschicht auf Kupfer wird beste Lötbarkeit erreicht. Außerdem
sind die Palladiumoberflächen wegen deren geringen Kontaktwiderstandes
auch zur Herstellung von Kontaktflächen auf den Leiterplatten geeignet. We
gen des hohen Preises von Palladium verbietet sich allerdings ein Einsatz in
der Massenfertigung.
Wesentlich preiswerter als eine Beschichtung mit der Schichtkombination aus
Nickel und Gold oder mit Palladium ist die Bildung einer organischen Schutz
schicht aus Alkylimidazolen oder Alkylbenzimidazolen auf den Kupferflächen.
Diese Schutzschichten bieten einen wirksamen Anlaufschutz gegen die Oxida
tion der Kupferoberflächen. Außerdem sind sie sehr dünn, so daß sich die
durch die ungleichmäßige Schichtdickenverteilung der HAL-Schichten auftre
tenden Nachteile nicht ergeben.
Nachteilig ist jedoch, daß die genannten organischen Schutzschichten nicht
auch uneingeschränkt zum Bonden von ungehäusten Halbleiterbauelementen
geeignet sind, die direkt auf die Leiterplatten plaziert werden. Außerdem ist es
nicht möglich, eine bereits in einem Lötverfahren beanspruchte Leiterplatte
nochmals zu löten, da die Schutzschicht während des ersten Lötvorganges zer
stört wird. Auch der Vorteil der Nickel/Gold-Schichtkombination und der Palla
diumschicht, daß elektrische Kontaktflächen auf den Leiterplatten gebildet
werden können, kann mit den organischen Schutzschichten nicht realisiert
werden.
In einer weiteren Verfahrensalternative werden die Kupferoberflächen der Lei
terstrukturen durch Ladungsaustausch mit dem Kupfer stromlos mit Zinn be
schichtet. Ebenso wie die organischen Schutzschichten bieten Zinnschichten
jedoch nur einen geringen Anlaufschutz. Außerdem sind mit ihnen keine mul
tifunktionalen Oberflächen herstellbar, da mit Zinnoberflächen keine elektri
schen Kontakte gebildet werden können. Die Lötfähigkeit der Zinnschichten ist
zwar gegeben, da mit der Zinnschicht auch ein Anlaufschutz besteht. Mehr
fachlötungen sind aber nur unter bestimmten Bedingungen möglich. Außerdem
ist es nicht möglich, Kontaktschichten für Schalter und Steckkontakte herzustel
len.
Die bekannten Verfahren werden je nach den zu erwartenden Anforderungen
eingesetzt. Bei der Herstellung einfacher Leiterplatten wird beispielsweise le
diglich eine für Lötanwendungen qualifizierte Endschicht gebildet. Hierzu reicht
das HAL-Verfahren aus. Falls hochwertige Leiterplatten hergestellt werden sol
len, die sowohl für Bondanwendungen geeignet sein als auch elektrische Kon
taktflächen aufweisen sollen, werden eine Schichtkombination aus Nickel und
Gold oder eine Palladiumschicht aufgetragen.
Mit dem Verzinnungsverfahren vergleichbar preiswert ist auch eine Beschich
tung mit Silber. Schon bei geringen Schichtdicken erfüllt eine Silber-Endschicht
auf Kupfer viele Bedingungen einer modernen Endschicht. Silberschichten kön
nen insbesondere nicht nur für Lötanwendungen eingesetzt werden, sondern
auch für Bondanwendungen. Außerdem weisen diese Schichten auch einen
sehr geringen Kontaktwiderstand auf, so daß sie auch zur Bildung von Steck
kontakten an Leiterplatten und Schaltern eingesetzt werden können.
Die bekannten Verfahren zur Abscheidung von Silber auf Kupfer beruhen auf
dem sogenannten Ladungsaustauschverfahren nach Gleichung (I):
Cu + 2Ag+ → Cu2+ + 2Ag (I)
Die Silberschicht kann etwa 0,2 µm dick sein. Sie schützt das Kupfer vor Oxi
dation. Durch die Silberoberfläche werden außerdem Mehrfachlötungen ermög
licht. Die Schicht ist planar und eignet sich auch für die Einpreßtechnik, bei der
die Anschlußbeine von elektrischen Bauelementen in die Löcher in der Leiter
platte mechanisch eingepreßt werden, so daß ein elektrischer Kontakt mit den
Leiterstrukturen gebildet wird. Auch nach Auslagerung einer mit Silberoberflä
chen versehenen Leiterplatte unter Dampf und Wärme sind die Ergebnisse der
Lötbarkeit mit einer klassischen HAL-Oberfläche vergleichbar.
Zur Herstellung von Silberschichten auf Kupferoberflächen ist eine Vielzahl von
Verfahren publiziert worden:
In J. Electrochem. Soc. India (1967), Band 16, Seiten 85-89 werden verschie dene wäßrige Bäder zur Bildung von festhaftenden und gleichmäßigen Silber schichten auf Kupferoberflächen verglichen. Die Bäder enthalten Ammoniak, Silbernitrat und Natriumthiosulfat. Ferner wurde auch ein wäßriges Bad, enthal tend Silberbromid, Natriumthiosulfat und Natriumhypophosphit, untersucht. Es wird angegeben, daß die aus diesen Bädern abgeschiedenen Schichten schnell dunkel anlaufen.
In J. Electrochem. Soc. India (1967), Band 16, Seiten 85-89 werden verschie dene wäßrige Bäder zur Bildung von festhaftenden und gleichmäßigen Silber schichten auf Kupferoberflächen verglichen. Die Bäder enthalten Ammoniak, Silbernitrat und Natriumthiosulfat. Ferner wurde auch ein wäßriges Bad, enthal tend Silberbromid, Natriumthiosulfat und Natriumhypophosphit, untersucht. Es wird angegeben, daß die aus diesen Bädern abgeschiedenen Schichten schnell dunkel anlaufen.
In US-A-3,294,578 wird ein Verfahren zum stromlosen Beschichten von uned
len Metallen, beispielsweise von Aluminium, mit Silber beschrieben, bei dem
eine Lösung eines Silberkomplexes mit Stickstoff enthaltenden Verbindungen
als Komplexbildnern eingesetzt wird. Als Komplexbildner werden unter ande
rem Pyrrolidone, beispielsweise N-Methylpyrrolidon, Amide, beispielsweise
Dimethylformamid, Aniline sowie Amine vorgeschlagen.
In EP 0 081 183 B1 ist ferner ein Verfahren zum stromlosen Abscheiden von
Silber- oder Goldschichten auf Oberflächen von unedlen Metallen angegeben.
Bei diesem Verfahren wird das unedle Metall mit einem Beschichtungsbad in
Kontakt gebracht. Das Bad enthält einen Metallkomplex, der durch Umsetzung
eines Chlorides des einwertigen Silbers bzw. Goldes mit einer Base, die zur
Komplexbildung mit Silber bzw. Gold befähigt ist, und mit Chlorwasserstoff
säure erhältlich ist. Als Komplexbildner werden insbesondere Ammoniumsalze,
Amine, Aminosäuren, Amide, Harnstoff und dessen Derivate, Stickstoffhetero
cyclen, basische Phosphorverbindungen, ferner Kohlenwasserstoffe, haloge
nierte Kohlenwasserstoffe, Alkohole, Ether, Ketone, Ester, Carbonsäurenitrile
sowie Schwefelverbindungen vorgeschlagen. Als Substrat wird unter anderem
Kupfer angegeben. Als Silberionenquelle wird Silberchlorid gewählt. Geeignete
Lösungsmittel sind gegenüber der Komplexbildungsreaktion inerte, insbeson
dere aprotische organische Lösungsmittel, beispielsweise Tetrachlorkohlenstoff
und insbesondere Aceton.
In WO 96/17974 A1 ist ein Verfahren zum Bilden eines Silberüberzuges auf der
Oberfläche eines Metalls, insbesondere zur Beschichtung der Kupferflächen
auf Lochwänden in Leiterplatten, beschrieben, das weniger elektropositiv ist als
Silber. Hierzu wird die Metalloberfläche mit einer wäßrigen Lösung in Kontakt
gebracht. Die Lösung enthält Silberionen und einen mehrzähnigen Komplex
bildner und weist einen pH-Wert von 2-12 auf. Als Komplexbildner werden ins
besondere Aminosäuren und deren Salze, Polycarbonsäuren, beispielsweise
Nitrilotriessigsäure, Ethylendiamintetraessigsäure, Diethylentriaminpentaessig
säure, N-Hydroxyethyl-ethylendiamintetraessigsäure und N,N,N',N'-Tetrakis-(2-
hydroxypropyl)-ethylendiamin, ferner Tartrate, Citrate, Gluconate und Lactate
sowie Verbindungen wie Kronenether und Kryptanden vorgeschlagen. Silber
wird aus diesen Lösungen durch Ladungsaustauschreaktion abgeschieden. Die
Lösungen sollen vorzugsweise im wesentlichen keine Halogenidionen enthal
ten.
In WO 96/17975 ist ein Verfahren zum Beschichten von Kupferoberflächen auf
Leiterplatten mit Silber beschrieben, bei dem die Kupferoberflächen zunächst
unter Bildung einer glänzenden, glatten Oberfläche geätzt und anschließend
mit Hilfe einer Silberionen enthaltenden Lösung beschichtet werden. Die Silber
ionen können in Form ihrer Nitrat-, Acetat- Sulfat-, Lactat- oder Formiatsalze
eingesetzt werden. Vorzugsweise wird Silbernitrat verwendet. Gegebenenfalls
können die Abscheidelösungen zusätzlich Komplexbildner enthalten, beispiels
weise Aminosäuren und deren Salze, Polycarbonsäuren, beispielsweise Nitrilo
triessigsäure und Ethylendiamintetraessigsäure, Diethylentriaminpentaessig
säure, N-Hydroxyethyl-ethylendiamintetraessigsäure und N,N,N',N'-Tetrakis-(2-
hydroxypropyl)-ethylendiamin, ferner Tartrate, Citrate, Gluconate und Lactate
sowie Verbindungen wie Kronenether und Kryptanden.
In EP 0 797 380 A1 ist ein Verfahren zum Verbessern der Lötfähigkeit von
Kupferoberflächen, insbesondere von Leiterplatten, offenbart, bei dem auf die
Oberflächen vor dem Löten eine Silberschicht durch Ladungsaustausch aufge
bracht wird. Die Silberschicht wird durch In-Kontakt-Bringen der Oberflächen
mit einer sauren Beschichtungslösung gebildet, die einen Silber-Imidazol-Komplex
enthält. Als Silberionenquelle wird vorzugsweise Silbernitrat verwendet.
In Chemical Abstracts Plus 1995: 240074 zu JP-A-06240463 ist ein Verfahren
zum Beschichten von feinem Kupferpulver mit Silber beschrieben, bei dem das
Metallpulver mit einer wäßrigen Beschichtungslösung in Kontakt gebracht wird,
die ein Silber-Komplexsalz enthält, das durch Umsetzung eines Silberhaloge
nids mit einem Komplexbildner für Kupfer gebildet wird. Diese Lösung enthält
ferner vorzugsweise ein Sulfit als Stabilisator und ein pH-Einstellmittel.
In JP 05/287542 A2 ist ein stromloses Silberabscheidebad angegeben, das
einen Silberionenkomplex sowie ein Reduktionsmittel, beispielsweise Hydrazin,
enthält. Somit wird Silber nicht durch eine einfache Ladungsaustauschreaktion
mit einem unedleren Metall sondern durch Reduktion mit dem Reduktionsmittel
gebildet. Als Silberionenkomplex wird ein aus einer Silberhalogenidverbindung
und einem Komplexbildner hergestellter Komplex verwendet. Beispielsweise
werden als Komplexbildner Thiosulfat- und Sulfit-Anionen eingesetzt. Der pH-
Wert des Bades wird mit Phosphat eingestellt.
In JP 09/302476 A2 ist ein stromloses Bad zur Abscheidung einer Zinn/Silber-
Legierung angegeben, das zusätzlich zu nicht-cyanidischen Verbindungen von
Silberionen nicht-cyanidische Zinn(II)-Verbindungen enthält. Zur Stabilisierung
der Silberionen werden unter anderem Bromide und Iodide eingesetzt.
In Derwent Abstracts 1976-84390X zu SU-A-501116 ist eine Lösung zum Ab
scheiden von Silber auf Kupferoberflächen angegeben, die Silberchlorid, Ka
liumferrocyanid, Kaliumthiocyanat, Natriumthiosulfat und Ammoniumhydroxid
enthält. Die Lösung weist einen pH-Wert von 8-10 auf. Die Lösung wird zur
Beschichtung von Feinstleiterzügen aus Kupfer auf anorganischen dieektri
schen Substraten eingesetzt.
In Chemical Abstrats Plus 1998: 314996 zu JP-A-10130855 sind nicht-cyanidi
sche Silberabscheidebäder angegeben, die Säureradikale und/oder Komplexbildner
für Silberionen enthalten. Die Lösungen dienen zur Beschichtung von
Zinn oder Zinnlegierungen. Als Säureradikale bzw. Komplexbildner werden un
ter anderem Nitrate, Sulfite, Chloride, Bromide, Iodide und Thiosulfate einge
setzt.
Bei vielen der beschriebenen Verfahren werden bekannte Komplexbildner für
Silberionen verwendet, um eine brauchbare Abscheidung von Silber auf Kupfer
zu gewährleisten. Eine große Anzahl der beschriebenen Komplexbildner sind
biologisch schwer abbaubar und daher als umweltbelastend einzustufen. Die in
EP 0 081 183 B1 beschriebenen Bäder enthalten aprotische organische Lö
sungsmittel und sind daher ebenfalls für eine moderne Produktion nicht zu ge
brauchen.
Für die Produktion von Massengütern, beispielsweise Leiterplatten, ist es uner
läßlich, daß einmal angesetzte Beschichtungslösungen über mehrere Monate
hinweg, zumindest über mehrere Wochen hinweg, unzersetzt haltbar sein müs
sen. In vielen Fällen hat sich jedoch herausgestellt, daß die Silberabscheidelö
sungen nicht über einen längeren Zeitraum stabil sind. Es wurde beobachtet,
daß die Abscheidelösungen dunkel werden. Dabei scheidet sich Silber ab. Der
artige Lösungen müssen nach relativ kurzer Zeit ausgetauscht werden, um sta
bile Produktionsverhältnisse zu gewährleisten.
Der vorliegenden Erfindung liegt von daher das Problem zugrunde, die Nachtei
le der bekannten Verfahren und Silberabscheidelösungen zu vermeiden und
insbesondere ein Verfahren und ein Bad zum Abscheiden von Silber durch La
dungsaustausch, insbesondere auf Kupferoberflächen, zu finden, die umwelt
freundlich sind und keine Gefährdung für die mit diesen Bädern arbeitenden
Personen darstellen. Vor allem soll das Bad über längere Zeit unzersetzt stabil
sein. Eine weitere wesentliche Aufgabe besteht auch darin, gut lötbare Schich
ten beispielsweise auf Kupfer erzeugen zu können, wobei die Anforderungen
an die Lötbarkeit denen für den Einsatz in der Leiterplattentechnik entspricht.
Das Problem wird gelöst durch das Bad gemäß Patentanspruch 1 und das
Verfahren nach Patentanspruch 10. Bevorzugte Ausführungsformen der
Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
Das erfindungsgemäße Bad und das erfindungsgemäße Verfahren dienen zum
stromlosen Abscheiden von Silber auf gegenüber Silber unedleren Metallober
flächen, insbesondere Kupferoberflächen, durch Ladungsaustauschreaktion.
Das bedeutet, daß das Bad vorzugsweise keine Reduktionsmittel enthält. Sil
ber wird in diesem Falle ausschließlich oder zumindest überwiegend durch eine
Ladungsaustauschreaktion mit dem zu beschichtenden Metall reduziert. Die in
dem Bad enthaltenen Silberionen, vorzugsweise Silber(I)-Ionen, werden zu
metallischem Silber reduziert, indem gleichzeitig das zu beschichtende Metall
nach Gleichung (I) oxidiert und dabei aufgelöst wird. Die zu beschichtende Me
talloberfläche wird solange mit einer Silberschicht überzogen, bis die Metall
oberfläche lückenlos und porenfrei mit Silber bedeckt ist. Sobald dies erreicht
ist, kommt das zu beschichtende Metall nicht mehr mit Silberionen in Kontakt,
so daß die Redoxreaktion zum Erliegen kommt.
Das erfindungsgemäße Verfahren dient insbesondere zum Bilden von Silber
schutzschichten auf Kupferoberflächen, insbesondere auf Leiterplatten, zur
nachfolgenden Durchführung eines Lötverfahrens, Bondverfahrens, der Ein
preßtechnik und/oder zur Herstellung von elektrischen Kontakten. Insbesonde
re bezieht sich die Erfindung auf die Herstellung reiner Silberschichten.
Das erfindungsgemäße Bad enthält mindestens einen Silberhalogenokomplex,
nicht aber ein Reduktionsmittel für Silber(I)-Ionen.
Das Verfahren ist zum Überziehen von Kupferoberflächen mit einer festhaften
den, glänzenden Silberschicht hervorragend geeignet. Die Schicht weist vor
zugsweise eine Dicke von etwa 0,2 µm auf. Dieser Wert hängt jedoch unter an
derem von der Oberflächenstruktur der Kupferoberflächen und von der Zu
sammensetzung des erfindungsgemäßen Bades ab. Je rauher die Kupferoberflächen
sind, desto dickere Silberschichten können gebildet werden. Die
Schicht ist lückenlos und porenfrei und gewährleistet dadurch, daß derart
behandelte Leiterplatten problemlos gelötet und gebondet werden können und
daß die Anschlußbeine von elektrischen Bauelementen ohne weiteres mecha
nisch in durchkontaktierte Löcher in Leiterplatten eingepreßt werden können.
Einmal mit flüssigem Lot in Kontakt gebrachte Leiterplatten können zudem
nochmals gelötet werden, beispielsweise bei einer Reparatur der Platten.
Die mit derartigen Silberschichten versehenen Platten erfüllen zudem alle An
forderungen, die in der Leiterplattentechnik üblich sind. Insbesondere werden
die Forderungen nach ausreichender Lotbenetzung auch nach Auslagerung
unter diversen Bedingungen (siehe Tabelle 1) erfüllt. Außerdem können mit
den Silberschichten auch elektrische Kontaktflächen zur Herstellung von Schal
tern und Steckkontakten gebildet werden. Es ist ferner nicht erforderlich, harte
(biologisch schwer abbaubare) Komplexbildner für Kupferionen einzusetzen,
um die sich durch eine Anreicherung von Cu2+-Ionen einstellenden Nachteile zu
vermeiden, die darin bestehen, daß sich die Silberschichten in diesem Falle rot
färben und bei einer Einwirkung von Wärme und Feuchtigkeit sehr schnell oxi
dieren.
Das erfindungsgemäße Bad enthält vorzugsweise kein Nitrat, Sulfit, Thiosulfat
und/oder Derivate dieser Verbindungen. Es ist daher äußerst stabil gegen Zer
setzung, so daß es über einen langen Zeitraum, beispielsweise Wochen oder
sogar Monate, ohne Austausch betrieben werden kann. Während sich bekann
te Bäder unter anfänglicher Bildung eines Silberkolloids und nachfolgender
Ausfällung von metallischem Silber schnell zersetzen, sind die erfindungsge
mäßen Bäder äußerst stabil. Bei der Untersuchung von Bädern mit bekannter
Zusammensetzung wurde festgestellt, daß deren Zersetzung insbesondere
durch Einwirkung von Licht gefördert wird. Das Problem der Zersetzung der be
kannten Bäder hätte demnach auch dadurch vermieden oder zumindest verrin
gert werden können, daß das Bad der Einwirkung von Licht nicht oder nur in
geringem Umfange ausgesetzt wird. Dies ist bei Verwendung üblicher Anlagen
zur Behandlung von Leiterplatten jedoch nicht ohne weiteres möglich. Jeden
falls würde dies sehr aufwendige konstruktive Maßnahmen zur Kapselung des
Bades erfordern. Daher stellt diese Maßnahme keine adäquate Lösung des
sich hier stellenden Problems dar. Erst dadurch, daß die erfindungsgemäße
Beschichtungslösung weder Nitrat, Sulfit, Thiosulfat noch Derivate dieser Ver
bindungen, beispielsweise die Säuren und Halbsäuren dieser Verbindungen,
wie Bisulfit, und organische Derivate, wie Nitroverbindungen, enthält, wird die
Lebensdauer des Bades erheblich verlängert. Ferner sind die erfindungsge
mäßen Badlösungen auch stabil gegenüber Sauerstoff, beispielsweise aus der
Luft.
Das Bad ist vorzugsweise wäßrig. Es kann jedoch auch andere Lösungsmittel
als Wasser enthalten, beispielsweise organische Lösungsmittel. Jedoch sind
diese Lösungsmittel wegen deren Brennbarkeit/Flammpunkt und wegen der
Probleme bei der Abfallentsorgung zu vermeiden.
Das Bad enthält Silberchloro-, Silberbromo- und/oder Silberiodo-Komplex
verbindungen als Silberhalogenokomplexe. Vorzugsweise ist mindestens ein
Silberbromokomplex enthalten. Diese Komplexe entstehen durch Komplex
bildung aus den entsprechenden Silber(I)- und Halogenidionen, indem bei
spielsweise ein Silber(I)-Salz mit einem Halogenidsalz in einer Lösung ver
mischt wird. In der vorzugsweise wäßrigen Lösung bilden sich je nach den
molaren Verhältnissen der Silber(I)-Ionenverbindung und der Halogenid
verbindung komplexe Anionen gemäß Gleichung (II):
beispielsweise
beispielsweise
AgX + nX- → AgXn- n+1 (II)
wobei die Komplexstabilität in der Reihe Cl < Br < I zunimmt. Im Falle der Ha
logenokomplexe bilden sich bevorzugt die komplexen Anionen AgCl2 - und
AgCl3 2-, im Falle der Bromide vorzugsweise die komplexen Anionen AgBr2 - und
AgBr3 2-.
Zur Herstellung der Halogenokomplexe können in der wäßrigen Lösung bei
spielsweise Silberacetat oder Silbersulfat mit den Alkali- oder Erdalkalihaloge
niden oder den Halogenwasserstoffsäuren in stöchiometrischem Verhältnis ver
mischt werden (beispielsweise 1 Mol Ag+ pro 2-3 Mol Halogenid), wobei sich
die komplexen Anionen bilden. Vorzugsweise bilden sich diese Anionen auch
bei Mischung der beiden Spezies, wenn diese nicht in stöchiometrischem Ver
hältnis miteinander vermischt werden. Vorzugsweise wird ein Überschuß der
Halogenidionenquelle eingesetzt. Für die meisten Anwendungen wird eine Sil
berionenkonzentration im Bad von etwa 1 g/l eingestellt. Die Konzentration
kann im Bereich von 0,1-20 g/l liegen.
Durch den Einsatz von Silberhalogenid-Komplexverbindungen, die in einem
Überschuß von Alkalihalogenid in Lösung gebracht werden, werden stabile
Silberabscheidelösungen in Wasser gebildet. Die Menge freier Silberionen
(Ag+) ist in einer derartigen Lösung so weit zurückgedrängt, daß durch die Aus
tauschreaktion zwischen Kupfermetall und Silberionen stabile, fest haftende
Silberschichten gebildet werden. Die Lösungen sind gegen Säuren stabil, so
daß die Silberschichten auch bei Einstellung des Bades im stark sauren pH-Be
reich abgeschieden werden können. Dadurch wird wahrscheinlich auch der Ab
transport der gebildeten Kupferionen von der Plattenoberfläche wesentlich ver
einfacht, so daß nur sehr schwache Komplexbildner für Kupfer erforderlich
sind.
Der pH-Wert des Bades wird mit pH-Einstellmitteln mit Säuren oder Basen auf
einen Wert im Bereich von 0-6, vorzugsweise im Bereich von 2-3,0, einge
stellt, beispielsweise mit den den komplexen Anionen entsprechenden Halo
genwasserstoffsäuren, nämlich Chlorwasserstoffsäure, Bromwasserstoffsäure
und Iodwasserstoffsäure. Für eine eventuelle Verschiebung des pH-Wertes zu
höheren Werten ist darauf zu achten, daß möglichst keine Basen mit einer
Komplexbildungskonstante für Silber(I)-Ionen eingesetzt wird, die größer ist als
die der Silber(I)-Halogenide, da sich in diesem Falle die entsprechenden Kom
plexe des Silbers mit diesen Komplexbildnern bilden. Die entsprechenden Werte
für die Komplexbildungskonstanten für Silber sind in Critical Stability Con
stants, Hrsg. Robert M. Smith und Arthur E. Martell, Plenum Press, New York
und London angegeben.
Anstelle der oder zusätzlich zu den Halogenwasserstoffsäuren können auch
andere Säuren in der Lösung enthalten sein. Geeignet sind grundsätzlich alle
bekannten Mineralsäuren und/oder organischen Säuren sowie deren Mischun
gen mit Ausnahme der Säuren, deren Anionen Nitrat, Sulfit, Thiosulfat oder
deren Derivate sind.
Um sicherzustellen, daß die Leiterplatten auch mehrmals mit flüssigem Lot in
Kontakt gebracht werden können, ohne daß die Lötbarkeit beeinträchtigt wird,
müssen möglichst lückenlose und porenfreie Silberschichten gebildet werden,
da sich andernfalls bereits durch einen einzigen Lötvorgang Oxidschichten auf
den freiliegenden Stellen der Kupferoberflächen ausbilden. In diesem Falle
würde die Benetzbarkeit der gesamten Oberfläche mit Lot deutlich beein
trächtigt. Daher müssen normalerweise relativ dicke Silberschichten abgeschie
den werden, um die genannten Anforderungen zu erfüllen.
Um möglichst zu gewährleisten, daß bereits bei geringer Dicke der Silber
schichten keine Poren in der Silberschicht mehr vorhanden sind, kann das Bad
zusätzlich zu den Silberkomplexverbindungen mindestens einen Kupferinhibitor
enthalten. Durch die Wahl geeigneter Inhibitoren werden die bei der Silberab
scheidung noch existierenden Poren zur Kupferoberfläche verschlossen. Wahr
scheinlich wird der Redoxprozess bei der Ladungsaustauschreaktion an Poren
dadurch begünstigt, daß sich dort noch selektiv Inhibitorenschichten auf den
verbleibenden Kupferoberflächen bilden. Dadurch läuft die Abscheidung an
diesen Stellen bevorzugt ab. Indem derartige Inhibitoren eingesetzt werden,
können auf den Kupferoberflächen abgeschiedene Silberschichten gebildet
werden, die gegenüber einer Oxidation durch Sauerstoff auch dann schon eine
sehr hohe Resistenz zeigen, wenn noch keine dicken Silberschichten gebildet
sind. Dadurch wird die geforderte Mehrfachlötbarkeit spielend erreicht.
Als Kupferinhibitoren werden vorzugsweise Verbindungen aus der Gruppe,
umfassend Triazole, Tetrazole, Imidazole und Pyrazole, ausgewählt. Beispiels
weise können Benzotriazol und Tolylbenzotriazol eingesetzt werden.
Zusätzlich ermöglichen weitere Inhibitoren, das Aussehen der Oberfläche posi
tiv zu beeinflussen, indem die vormals durch das Ätzen aufgerauhte Kupfer
schicht eingeebnet wird. Dadurch ist es möglich, glänzende Silberschichten ab
zuscheiden. Durch Zugabe noch anderer Inhibitoren können auch wasserab
weisende Silberschichten erzeugt werden. Alle Schichten sind sehr gut lötbar.
Dies kann mit einem Lötwaagentest ermittelt werden.
In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung enthält das
erfindungsgemäße Bad zusätzlich mindestens einen Komplexbildner für Cu2+-
Ionen, beispielsweise Ethylendiamin, Alanindiessigsäure, Aminotrimethylphos
phonsäure und 1-Hydroxyethylen-1,1-Diphosphonsäure.
Durch Verwendung des Kupferkomplexbildners wird die Bildung von Lücken
und Poren in der Silberschicht vermindert. Da sich insbesondere in Poren in
der Silberschicht leicht Reaktionsprodukte von Kupfer aus der Ladungsaus
tauschreaktion anreichern, wird die Austauschreaktion wahrscheinlich behin
dert. Der Kupferkomplexbildner dient offensichtlich dazu, die Cu2+-Ionen besser
zu solubilisieren, so daß die Ladungsaustauschreaktion leichter vonstatten ge
hen kann.
Weiterhin kann das erfindungsgemäße Bad zusätzlich auch mindestens ein
Netzmittel, wie einen Polyglykolether, enthalten, beispielsweise ein Alkylamin
polyglykolether.
Zur Herstellung der erfindungsgemäßen Lösung kann beispielsweise folgen
dermaßen vorgegangen werden:
Ein Silbersalz wird in Wasser gelöst und die Lösung anschließend erwärmt, um die Bildung des komplexen Anions zu beschleunigen. Unter Rühren werden dann beispielsweise ein Alkalihalogenid und eine wäßrige Halogenwasserstoff säure-Lösung zugegeben. Dabei bildet sich zunächst ein Niederschlag des Sil berhalogenids. Der Niederschlag löst sich bei fortgesetzter Zugabe des Haloge nids aber wieder auf, wobei sich das komplexe Anion bildet, das in wäßriger Lösung löslich ist.
Ein Silbersalz wird in Wasser gelöst und die Lösung anschließend erwärmt, um die Bildung des komplexen Anions zu beschleunigen. Unter Rühren werden dann beispielsweise ein Alkalihalogenid und eine wäßrige Halogenwasserstoff säure-Lösung zugegeben. Dabei bildet sich zunächst ein Niederschlag des Sil berhalogenids. Der Niederschlag löst sich bei fortgesetzter Zugabe des Haloge nids aber wieder auf, wobei sich das komplexe Anion bildet, das in wäßriger Lösung löslich ist.
Silber scheidet sich aus den erfindungsgemäßen Bädern auf Kupferoberflä
chen schon unterhalb von 20°C ab. Die Abscheiderate wird über die Tempera
tur der Lösung und die Silberionenkonzentration beeinflusst. Vorzugsweise wird
eine Arbeitstemperatur im Bereich von 35-50°C eingestellt.
Die erforderliche Dicke der Silberschicht wird in sehr kurzer Zeit erreicht. Inner
halb von 1-5 Minuten wird eine Schicht mit einer Dicke von 0,1-0,6 µm Silber
abgeschieden. Deshalb eignet sich diese Lösung hervorragend für eine hori
zontale Leiterplattenproduktion. Die Wahl der Säure und der pH-Wert bestim
men ebenfalls die Abscheidungsgeschwindigkeit.
Zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens werden die Metallober
flächen des zu beschichtenden Substrats mit der erfindungsgemäßen Lösung
in Kontakt gebracht. Üblicherweise werden die Leiterplatten in vertikaler Lage
hängend in die hierfür vorgesehenen Behälter eingesenkt, in denen sich die
Behandlungsflüssigkeit befindet (Tauchverfahren). Alternativ können auch Be
handlungsanlagen eingesetzt werden, in denen die Platten in horizontaler Lage
gehalten und durch die sie in horizontaler Richtung hindurch transportiert wer
den (Horizontaltechnik). In diesem Falle wird die Behandlungsflüssigkeit über
Düsen (Sprühdüsen, Spritzdüsen, Schwalldüsen) einseitig oder beidseitig an
die Oberflächen der mittels geeigneter Transportorgane (Rollen, Klammern)
beförderten und geführten Platten gefördert. Die Platten können in den Hori
zontalanlagen auch in vertikaler Lage auf einem horizontalen Transportweg
durch die Anlage befördert werden.
Vor der Beschichtung der Kupferoberflächen mit Silber werden die Kupferober
flächen gereinigt und aufgerauht, um die Haftfestigkeit der Silberschicht zu ver
bessern. Zur Reinigung kann beispielsweise eine Netzmittel enthaltende saure
Lösung eingesetzt werden. Dies ist aber nicht unbedingt erforderlich, wenn die
Platten vor der Silberbeschichtung nicht unsachgemäß behandelt wurden.
Gegebenenfalls werden die Platten danach gespült, um Reste der Reinigungs
flüssigkeit von den Kupferoberflächen zu entfernen.
Danach werden die Kupferoberflächen mit einer chemischen Ätzlösung aufge
rauht. Hierzu können in der Leiterplattentechnik übliche Ätzlösungen eingesetzt
werden, beispielsweise eine saure Natriumperoxodisulfat-Lösung oder eine
Kupfer(II)-chlorid-Ätzlösung. Im Anschluß an die Behandlung mit der Ätzlösung
wird die Platte nochmals gespült, bevor diese mit dem Silberbad in Kontakt ge
bracht wird.
Nach Abschluß der Silberbeschichtung wird die Platte nochmals gespült und
anschließend getrocknet.
Die nachfolgenden Beispiele dienen zur näheren Erläuterung der Erfindung:
0,23 g Silberacetat (fest) werden zu einer Lösung von 25 g Natriumchlorid und
3 ml 5 n Salzsäure in Wasser gegeben. Dabei ergibt sich ein Lösungsvolumen
von etwa 30 ml. Die Lösung wird dann auf 60°C erwärmt. Ein zunächst ent
standener Niederschlag löst sich wieder auf. Die Konzentration der Lösung,
bezogen auf Ag+-Ionen, beträgt 5 g/l.
128 g Natriumbromid werden in 150 ml Wasser gelöst und dabei auf 60°C er
wärmt. Nun werden 1,45 g Silbersulfat (fest) unter Rühren zugegeben. Nach
dem Lösen des Niederschlags wird die Lösung anschließend mit 10 ml 5 n
Salzsäure versetzt. Die Lösung wird schließlich auf 200 ml mit Wasser aufge
füllt. Die Konzentration der Lösung, bezogen auf Ag+-Ionen, beträgt 5 g/l.
Aus den so hergestellten Stammlösungen läßt sich Silber in hervorragender
Qualität auf vorgereinigten Kupferflächen und/oder anderen unedleren Metallen
abscheiden.
200 ml einer 5 g/l Silber enthaltenden neutralen Lösung von Silberhalogenid
komplexen wurden zu einer Lösung von 208 g Natriumbromid in 800 ml Was
ser gegeben. Die klare Lösung wurde auf 50°C erwärmt und mit 10 ml 5 n
Salzsäure versetzt.
In dieses Silberbad wurde eine mit einer sauren Natriumperoxodisulfat-Lösung
geätzte Leiterplatte 3 min fang eingetaucht. Auf den freien Kupferflächen
schied sich eine fest haftende Silberschicht mit einer Schichtdicke von 0,5 µm
ab.
Die versilberten Kupferflächen wurden anschließend einem Löttest unterwor
fen. Die Lötbarkeit war hervorragend.
Ein gemäß Beispiel 1 hergestelltes Silberbad mit einem Volumen von 16 l
wurde zusätzlich mit 30 ml/l Methansulfonsäure versetzt. Das Bad wurde in
eine Sprühmaschine eingefüllt und die Temperatur des Bades auf 38°C ein
gestellt.
Innerhalb von einer Minute wurde eine Silberschicht mit einer Dicke von 0,5 µm
auf geätzten Kupferleiterzügen abgeschieden.
Die fest haftenden hellmetallischen Silberschichten waren hervorragend lötbar.
Selbst durch eine 4 h lange Auslagerung der Leiterplatte bei 150°C wurde die
Qualität der Lötbarkeit nicht herabgesetzt.
Ein gemäß Beispiel 1 hergestelltes Bad zum Versilbern wurde mit einem
Netzmittel (Alkylaminpolyglykolether) versetzt (100 mg/l).
In dem Bad wurde eine zuvor normal geätzte Kupferplatte bei 35°C 2 min lang
versilbert. Die Silberschicht war hellsilbrig und glänzend.
Die Schicht war auch nach 4 h langer Auslagerung bei 155°C und nach einer
4 h langen Behandlung mit Dampf außerordentlich gut lötbar.
Ein gemäß Beispiel 2 hergestelltes Silberbad wurde mit 0,03 Mol/l Ethylendi
amin (Kupferkomplexbildner) versetzt. Der pH wurde auf einen Wert von 4,0
eingestellt. Während der Silberabscheidung löste sich kontinuierlich Kupfer auf,
so daß die Konzentration von Cu2+ in dem Bad fortwährend anstieg.
Die Silberschichten wiesen auch nach Erreichen einer Konzentration von Cu2+
von 1,0 g/l keine Fehler auf. Derartige Fehler, die darin bestehen, daß sich die
Silberschichten rot färben und bei einer Einwirkung von Wärme und Feuchtig
keit sehr schnell oxidieren, treten üblicherweise dann auf, wenn ein Komplexbildner
für Cu2+ nicht verwendet wird. Die hellsilbrigen Schichten waren gut
lötfähig.
Ein gemäß Beispiel 2 hergestelltes Silberbad wurde mit 0,05 mol/l 1-Hydroxy
ethylen-1,1-diphopsphonsäure versetzt. Der pH wurde auf einen Wert von 3,0
eingestellt.
Die Silberschichten wiesen auch nach Erreichen einer Konzentration von Cu2+
von 2,0 g/l keine Fehler auf.
Die Silberschicht war auch nach Auslagerung im Dampftest nach IEC 68-2-20
(4 h bei 98°C-100°C) gut lötfähig.
Ein gemäß Beispiel 5 angesetztes Silberbad wurde mit 1,0 g/l Benzotriazol
(Kupferinhibitor) versetzt. Nach einer 2 min langen Beschichtung von Leiter
platten mit Silber aus diesem Elektrolyten bei 35°C wurden Löttests mit und
ohne Auslagerung durchgeführt.
Alle bekannten Tests (Dampftest nach IEC-2-20 (4 h bei 98°C-100°C), trockne
Wärme nach IEC 68-2-2 (72 h bei 70°C, 96 h bei 100°C), Feuchte nach IEC-2-3
(4 d (Tage), 10 d, 21 d, 56 d bei 40°C/93% rel. Feuchte) und Wärme nach
IEC 68-2-67 (168 h bei 85°C/85% rel. Feuchte, alternativ 40°C/90% rel.
Feuchte) sowie Migrationstests nach IPC-TM-650 No. 2.6.14) wurden durch
geführt. Ferner wurden für die praktische Anwendung relevante Lötuntersu
chungen mit der Lötwaage, mit der die Benetzungskraft im Lot gemessen wird,
sowie Untersuchungen zum Lötverhalten im Reflow-Ofen und mit der Lötwelle
durchgeführt. Die Ergebnisse waren positiv und erfüllten alle Anforderungen
der Leiterplattenindustrie.
Ein gemäß Beispiel 5 angesetztes Silberbad wurde mit einer Mischung von
0,6 g/l Benzotriazol und 0,4 g/l Tolylbenzotriazol versetzt. Der pH wurde auf
einen Wert von 2,0 eingestellt.
Die aus diesem Bad bei 35°C während einer Beschichtungszeit von 2 min ab
geschiedenen Silberschichten waren sehr homogen und erzielten bei allen Löt
tests ausgezeichnete Werte.
Claims (20)
1. Bad zum stromlosen Abscheiden von Silber auf gegenüber Silber unedleren
Metalloberflächen durch Ladungsaustauschreaktion, insbesondere auf Kupfer,
enthaltend mindestens einen Silberhalogeno-Komplex, nicht aber ein Reduk
tionsmittel für Ag+-Ionen.
2. Bad nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Lösung minde
stens einen Silberbromo-Komplex enthält.
3. Bad nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß der pH-Wert der Lösung auf einen Wert im Bereich von 0 bis 6, vorzugs
weise von 2 bis 3,0, eingestellt ist.
4. Bad nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß das Silberabscheidebad kein Nitrat, Sulfit, Thiosulfat und/oder Derivate
dieser Verbindungen enthält.
5. Bad nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß die Lösung zusätzlich mindestens einen Kupferinhibitor enthält.
6. Bad nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der mindestens eine
Kupferinhibitor ausgewählt ist aus der Gruppe der Verbindungen, umfassend
Triazole, Tetrazole, Imidazole und Pyrazole,
7. Bad nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß die Lösung zusätzlich mindestens einen Komplexbildner für Cu2+-Ionen
enthält.
8. Bad nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der mindestens eine
Komplexbildner für Cu2+-Ionen ausgewählt ist aus der Gruppe der Verbindun
gen, umfassend Ethylendiamin, Alanindiessigsäure, Aminotrimethylphosphon
säure, 1-Hydroxyethylen-1,1-Diphosphonsäure.
9. Bad nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß die Lösung zusätzlich mindestens ein Netzmittel enthält.
10. Verfahren zum stromlosen Abscheiden von Silber auf gegenüber Silber
unedleren Metalloberflächen durch Ladungsaustauschreaktion, mit folgenden
Verfahrensschritten:
- a) Bereitstellen eines Silberabscheidebades, enthaltend mindestens einen Silberhalogeno-Komplex, nicht aber ein Reduktionsmittel für Ag+- Ionen; und
- b) In-Kontakt-Bringen eines die Metalloberflächen aufweisenden Sub strats mit der Lösung.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Bad
mindestens einen Silberbromo-Komplex enthält.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 und 11, dadurch gekennzeich
net, daß der pH-Wert des Bades auf einen Wert im Bereich von 0 bis 6,
vorzugsweise von 2 bis 3,0, eingestellt wird.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeich
net, daß das Silberabscheidebad kein Nitrat, Sulfit, Thiosulfat und/oder Deri
vate dieser Verbindungen enthält.
14. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeich
net, daß das Bad zusätzlich mindestens einen Kupferinhibitor enthält.
15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß der mindestens
eine Kupferinhibitor ausgewählt ist aus der Gruppe der Verbindungen,
umfassend Triazole, Tetrazole, Imidazole und Pyrazole.
16. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 15, dadurch gekennzeich
net, daß das Bad zusätzlich mindestens einen Komplexbildner für Cu2+-Ionen
enthält.
17. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß der minde
stens eine Komplexbildner für Cu2+-Ionen ausgewählt ist aus der Gruppe der
Verbindungen, umfassend Ethylendiamin, Alanindiessigsäure, Aminotrimethyl
phosphonsäure, 1-Hydroxyethylen-1,1-Diphosphonsäure.
18. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 17, dadurch gekennzeich
net, daß das Bad zusätzlich mindestens ein Netzmittel enthält.
19. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 18 zum Beschichten von
Strukturen aus Kupfer mit Silber.
20. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 18 zum Bilden von Silber
schutzschichten auf den Metalloberflächen, insbesondere auf Leiterplatten, zur
nachfolgenden Durchführung eines Lötverfahrens, Bondverfahrens, der Ein
preßtechnik und/oder zur Herstellung von elektrischen Kontakten.
Priority Applications (17)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10050862A DE10050862C2 (de) | 2000-10-06 | 2000-10-06 | Bad und Verfahren zum stromlosen Abscheiden von Silber auf Metalloberflächen |
ES01980428T ES2227295T3 (es) | 2000-10-06 | 2001-09-21 | Baño y metodo de deposicion no electrolitica de la planta sobre superficies metalicas. |
CA002417071A CA2417071A1 (en) | 2000-10-06 | 2001-09-21 | Bath and method of electroless plating of silver on metal surfaces |
AT01980428T ATE275214T1 (de) | 2000-10-06 | 2001-09-21 | Bad und verfahren zur stromlosen plattierung von silber auf metallischen oberflächen |
CNB018169430A CN1276994C (zh) | 2000-10-06 | 2001-09-21 | 在金属表面上无电电镀银的浴及方法 |
MXPA03000899A MXPA03000899A (es) | 2000-10-06 | 2001-09-21 | METODO Y BAnO DE RECUBRIMIENTO NO ELECTROLITICO DE PLATA EN SUPERFICIES METALICAS. |
EP01980428A EP1322798B1 (de) | 2000-10-06 | 2001-09-21 | Bad und verfahren zur stromlosen plattierung von silber auf metallischen oberflächen |
BR0114155-4A BR0114155A (pt) | 2000-10-06 | 2001-09-21 | Banho e método de deposição sem eletricidade de prata em superfìcies metálicas |
PCT/EP2001/011020 WO2002029132A1 (en) | 2000-10-06 | 2001-09-21 | Bath and method of electroless plating of silver on metal surfaces |
DE60105305T DE60105305T2 (de) | 2000-10-06 | 2001-09-21 | Bad und verfahren zur stromlosen plattierung von silber auf metallischen oberflächen |
JP2002532695A JP2004510885A (ja) | 2000-10-06 | 2001-09-21 | 金属表面上へ銀を無電解めっきするための浴と方法 |
KR1020037002859A KR100809891B1 (ko) | 2000-10-06 | 2001-09-21 | 금속표면상에의 무전해 은 도금욕 및 도금방법 |
AU2002212274A AU2002212274A1 (en) | 2000-10-06 | 2001-09-21 | Bath and method of electroless plating of silver on metal surfaces |
US10/362,087 US6869637B2 (en) | 2000-10-06 | 2001-09-21 | Bath and method of electroless plating of silver on metal surfaces |
TW090123594A TWI242607B (en) | 2000-10-06 | 2001-09-25 | Bath and method of electroless plating of silver on metal surfaces |
MYPI20014614A MY137750A (en) | 2000-10-06 | 2001-10-03 | Bath and method of electroless plating of silver on metal surfaces |
HK03105382.2A HK1053152B (zh) | 2000-10-06 | 2003-07-25 | 在金屬表面上的無電鍍銀的鍍液及方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10050862A DE10050862C2 (de) | 2000-10-06 | 2000-10-06 | Bad und Verfahren zum stromlosen Abscheiden von Silber auf Metalloberflächen |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10050862A1 DE10050862A1 (de) | 2002-04-25 |
DE10050862C2 true DE10050862C2 (de) | 2002-08-01 |
Family
ID=7659722
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE10050862A Expired - Fee Related DE10050862C2 (de) | 2000-10-06 | 2000-10-06 | Bad und Verfahren zum stromlosen Abscheiden von Silber auf Metalloberflächen |
DE60105305T Expired - Lifetime DE60105305T2 (de) | 2000-10-06 | 2001-09-21 | Bad und verfahren zur stromlosen plattierung von silber auf metallischen oberflächen |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE60105305T Expired - Lifetime DE60105305T2 (de) | 2000-10-06 | 2001-09-21 | Bad und verfahren zur stromlosen plattierung von silber auf metallischen oberflächen |
Country Status (16)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6869637B2 (de) |
EP (1) | EP1322798B1 (de) |
JP (1) | JP2004510885A (de) |
KR (1) | KR100809891B1 (de) |
CN (1) | CN1276994C (de) |
AT (1) | ATE275214T1 (de) |
AU (1) | AU2002212274A1 (de) |
BR (1) | BR0114155A (de) |
CA (1) | CA2417071A1 (de) |
DE (2) | DE10050862C2 (de) |
ES (1) | ES2227295T3 (de) |
HK (1) | HK1053152B (de) |
MX (1) | MXPA03000899A (de) |
MY (1) | MY137750A (de) |
TW (1) | TWI242607B (de) |
WO (1) | WO2002029132A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102005038392A1 (de) * | 2005-08-09 | 2007-03-15 | Atotech Deutschland Gmbh | Verfahren zum Herstellen von ein Muster bildenden Metallstrukturen auf einem Trägersubstrat |
Families Citing this family (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10226328B3 (de) * | 2002-06-11 | 2004-02-19 | Atotech Deutschland Gmbh | Saure Lösung zur Silberabscheidung und Verfahren zum Abscheiden von Silberschichten auf Metalloberflächen |
EP1245697A3 (de) * | 2002-07-17 | 2003-02-19 | ATOTECH Deutschland GmbH | Verfahren zum aussenstromlosen Abscheiden von Silber |
FI20030816A (fi) * | 2003-05-30 | 2004-12-01 | Metso Corp | Menetelmä metallijohtimien valmistamiseksi substraatille |
AT500807B1 (de) | 2004-01-23 | 2006-11-15 | Austria Tech & System Tech | Verfahren zum herstellen eines leiterplattenelements sowie leiterplattenelement |
US8349393B2 (en) * | 2004-07-29 | 2013-01-08 | Enthone Inc. | Silver plating in electronics manufacture |
JP4660701B2 (ja) * | 2004-12-03 | 2011-03-30 | Dowaエレクトロニクス株式会社 | 銀被覆銅粉およびその製造方法並びに導電ペースト |
KR100782810B1 (ko) * | 2005-01-07 | 2007-12-06 | 삼성전자주식회사 | 확장 검색 기능을 제공하기 위한 메타데이터가 기록된 저장매체를 재생하는 방법 및 장치 |
US7767009B2 (en) * | 2005-09-14 | 2010-08-03 | OMG Electronic Chemicals, Inc. | Solution and process for improving the solderability of a metal surface |
JP5036216B2 (ja) * | 2006-05-19 | 2012-09-26 | 四国化成工業株式会社 | 金属の表面処理剤およびその利用 |
KR100794804B1 (ko) * | 2006-08-01 | 2008-01-14 | 주식회사 에이스테크놀로지 | 은도금 처리방법 |
US7883738B2 (en) * | 2007-04-18 | 2011-02-08 | Enthone Inc. | Metallic surface enhancement |
US10017863B2 (en) * | 2007-06-21 | 2018-07-10 | Joseph A. Abys | Corrosion protection of bronzes |
DE102007040065A1 (de) * | 2007-08-24 | 2009-02-26 | Ormecon Gmbh | Artikel mit einer nanoskopischen Beschichtung aus Edel-/Halbedelmetall sowie Verfahren zu deren Herstellung |
TWI453301B (zh) * | 2007-11-08 | 2014-09-21 | Enthone | 浸鍍銀塗層上的自組分子 |
US7972655B2 (en) * | 2007-11-21 | 2011-07-05 | Enthone Inc. | Anti-tarnish coatings |
US8869165B2 (en) * | 2008-03-20 | 2014-10-21 | International Business Machines Corporation | Integrating flow orchestration and scheduling of jobs and data activities for a batch of workflows over multiple domains subject to constraints |
AT11005U1 (de) * | 2008-09-24 | 2010-02-15 | Austria Tech & System Tech | Verfahren zum verbessern der korrosionsbeständigkeit einer elektronischen komponente, insbesondere von leiterbahnen einer leiterplatte |
US8878165B2 (en) | 2010-02-25 | 2014-11-04 | Merck Patent Gmbh | Electrode treatment process for organic electronic devices |
CN102959756A (zh) * | 2010-06-24 | 2013-03-06 | 默克专利股份有限公司 | 改性有机电子器件中的电极的方法 |
US9663667B2 (en) | 2013-01-22 | 2017-05-30 | Andre Reiss | Electroless silvering ink |
KR101536446B1 (ko) * | 2013-12-06 | 2015-07-13 | 주식회사 포스코 | Oled 조명용 기판 및 그 제조방법 |
KR101478486B1 (ko) | 2014-05-12 | 2014-12-31 | 성균관대학교산학협력단 | 자발적 치환 반응을 이용한 은 코팅 구리 분말 제조 방법 |
CN104619133B (zh) * | 2015-01-20 | 2017-12-29 | 江门崇达电路技术有限公司 | 一种全面化银线路板的制作方法 |
JP6666723B2 (ja) * | 2015-03-31 | 2020-03-18 | Dowaエレクトロニクス株式会社 | 銀被覆テルル粉及びその製造方法、並びに導電性ペースト |
US20160351522A1 (en) * | 2015-05-27 | 2016-12-01 | Freescale Semiconductor, Inc. | Package-on-package device and cavity formation by solder removal for package interconnection |
DE102016110377A1 (de) | 2016-06-06 | 2017-12-07 | Harting Ag & Co. Kg | Verfahren zur Herstellung von elektrischen Kontakten mit einer Silber-Wolfram-Legierung und ein Elektrolyt zum stromlosen/elektrolytischen Abscheiden von einer Silber-Wolfram-Legierung |
US20190029122A1 (en) * | 2017-07-19 | 2019-01-24 | Anaren, Inc. | Encapsulation of circuit trace |
CN109423635A (zh) * | 2017-08-22 | 2019-03-05 | 深圳市虹喜科技发展有限公司 | 一种印制线路板表面处理用化学镀银溶液 |
CN110927231B (zh) * | 2019-12-31 | 2022-08-19 | 嘉兴学院 | 一种离子色谱安培检测用银电极的处理方法 |
CN114959666A (zh) * | 2022-05-12 | 2022-08-30 | 李正新 | 化学镀银液以及化学镀银新方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3294578A (en) * | 1963-10-22 | 1966-12-27 | Gen Aniline & Film Corp | Deposition of a metallic coat on metal surfaces |
DE3148330A1 (de) * | 1981-12-07 | 1983-06-09 | Max Planck Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V., 3400 Göttingen | Verfahren zur stromlosen abscheidung von edelmetallschichten auf oberflaechen von unedlen metallen |
JPH06240463A (ja) * | 1993-02-22 | 1994-08-30 | Mitsubishi Paper Mills Ltd | 金属微粉末の無電解銀鍍金方法 |
JPH10130855A (ja) * | 1996-10-25 | 1998-05-19 | Daiwa Kasei Kenkyusho:Kk | 非シアン置換銀めっき浴 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2602757A (en) * | 1948-04-09 | 1952-07-08 | Morris S Kantrowitz | Method and composition for producing silver coatings |
GB1022061A (en) | 1962-01-19 | 1966-03-09 | Mitsubishi Electric Corp | Solutions for immersion plating gold and silver |
SU501116A1 (ru) | 1973-05-18 | 1976-01-30 | Предприятие П/Я А-7284 | Раствор дл иммерсионного серебрени меди |
GB8703664D0 (en) * | 1987-02-17 | 1987-03-25 | Green A | Electroless silver plating composition |
CA1326467C (en) * | 1987-04-22 | 1994-01-25 | Kouichi Iwata | Process for producing a superconducting article |
JPH05287542A (ja) | 1992-04-08 | 1993-11-02 | Mitsubishi Paper Mills Ltd | 無電解銀メッキ方法 |
GB9425030D0 (en) | 1994-12-09 | 1995-02-08 | Alpha Metals Ltd | Silver plating |
GB9425031D0 (en) | 1994-12-09 | 1995-02-08 | Alpha Metals Ltd | Printed circuit board manufacture |
US5733599A (en) | 1996-03-22 | 1998-03-31 | Macdermid, Incorporated | Method for enhancing the solderability of a surface |
JP3419995B2 (ja) | 1996-05-10 | 2003-06-23 | 株式会社大和化成研究所 | 無電解錫−銀合金めっき浴 |
JP3915850B2 (ja) * | 1996-09-06 | 2007-05-16 | ソニー株式会社 | 光学装置及び電解液 |
US5871896A (en) * | 1997-05-30 | 1999-02-16 | Eastman Kodak Company | Preparation and use of a dimethylamine silver bromide complex as a single source precursor for nucleation of silver bromide crystals |
-
2000
- 2000-10-06 DE DE10050862A patent/DE10050862C2/de not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-09-21 JP JP2002532695A patent/JP2004510885A/ja active Pending
- 2001-09-21 CN CNB018169430A patent/CN1276994C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2001-09-21 BR BR0114155-4A patent/BR0114155A/pt not_active IP Right Cessation
- 2001-09-21 US US10/362,087 patent/US6869637B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-09-21 WO PCT/EP2001/011020 patent/WO2002029132A1/en active IP Right Grant
- 2001-09-21 CA CA002417071A patent/CA2417071A1/en not_active Abandoned
- 2001-09-21 KR KR1020037002859A patent/KR100809891B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2001-09-21 MX MXPA03000899A patent/MXPA03000899A/es active IP Right Grant
- 2001-09-21 DE DE60105305T patent/DE60105305T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-09-21 AT AT01980428T patent/ATE275214T1/de active
- 2001-09-21 ES ES01980428T patent/ES2227295T3/es not_active Expired - Lifetime
- 2001-09-21 EP EP01980428A patent/EP1322798B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-09-21 AU AU2002212274A patent/AU2002212274A1/en not_active Abandoned
- 2001-09-25 TW TW090123594A patent/TWI242607B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-10-03 MY MYPI20014614A patent/MY137750A/en unknown
-
2003
- 2003-07-25 HK HK03105382.2A patent/HK1053152B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3294578A (en) * | 1963-10-22 | 1966-12-27 | Gen Aniline & Film Corp | Deposition of a metallic coat on metal surfaces |
DE3148330A1 (de) * | 1981-12-07 | 1983-06-09 | Max Planck Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V., 3400 Göttingen | Verfahren zur stromlosen abscheidung von edelmetallschichten auf oberflaechen von unedlen metallen |
JPH06240463A (ja) * | 1993-02-22 | 1994-08-30 | Mitsubishi Paper Mills Ltd | 金属微粉末の無電解銀鍍金方法 |
JPH10130855A (ja) * | 1996-10-25 | 1998-05-19 | Daiwa Kasei Kenkyusho:Kk | 非シアン置換銀めっき浴 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102005038392A1 (de) * | 2005-08-09 | 2007-03-15 | Atotech Deutschland Gmbh | Verfahren zum Herstellen von ein Muster bildenden Metallstrukturen auf einem Trägersubstrat |
DE102005038392B4 (de) * | 2005-08-09 | 2008-07-10 | Atotech Deutschland Gmbh | Verfahren zum Herstellen von Muster bildenden Kupferstrukturen auf einem Trägersubstrat |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2002029132A1 (en) | 2002-04-11 |
ATE275214T1 (de) | 2004-09-15 |
JP2004510885A (ja) | 2004-04-08 |
EP1322798A1 (de) | 2003-07-02 |
HK1053152A1 (en) | 2003-10-10 |
DE60105305T2 (de) | 2005-09-29 |
KR100809891B1 (ko) | 2008-03-06 |
ES2227295T3 (es) | 2005-04-01 |
US6869637B2 (en) | 2005-03-22 |
CN1468324A (zh) | 2004-01-14 |
US20030157264A1 (en) | 2003-08-21 |
AU2002212274A1 (en) | 2002-04-15 |
BR0114155A (pt) | 2003-07-29 |
MY137750A (en) | 2009-03-31 |
HK1053152B (zh) | 2005-01-28 |
CA2417071A1 (en) | 2002-04-11 |
DE10050862A1 (de) | 2002-04-25 |
DE60105305D1 (de) | 2004-10-07 |
TWI242607B (en) | 2005-11-01 |
KR20030057530A (ko) | 2003-07-04 |
MXPA03000899A (es) | 2003-06-24 |
CN1276994C (zh) | 2006-09-27 |
EP1322798B1 (de) | 2004-09-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE10050862C2 (de) | Bad und Verfahren zum stromlosen Abscheiden von Silber auf Metalloberflächen | |
DE69728812T2 (de) | Verfahren zur Erhöhung der Lötbarkeit einer Oberfläche | |
US5955141A (en) | Process for silver plating in printed circuit board manufacture | |
DE10165046B4 (de) | Verfahren zum Herstellen einer Schaltungsplatte unter Anwendung einer Zusammensetzung zum Mikroätzen | |
KR100382056B1 (ko) | 인쇄회로기판의제조 | |
DE3421989C2 (de) | ||
KR101298780B1 (ko) | 전자제품에 은도금 | |
KR101299114B1 (ko) | 금속의 표면처리용 수용액 및 금속표면의 변색방지방법 | |
US6319543B1 (en) | Process for silver plating in printed circuit board manufacture | |
DE19740431C1 (de) | Verfahren zum Metallisieren eines elektrisch nichtleitende Oberflächenbereiche aufweisenden Substrats | |
JP4783484B2 (ja) | 無電解金メッキ溶液および方法 | |
DE60220723T2 (de) | Verfahren zum aussenstromlosen abscheiden von silber | |
DE102005041533B3 (de) | Lösung und Verfahren zum Entfernen von ionischen Verunreinigungen von einem Werkstück | |
DE10226328B3 (de) | Saure Lösung zur Silberabscheidung und Verfahren zum Abscheiden von Silberschichten auf Metalloberflächen | |
EP1082471A1 (de) | Verfahren zum überziehen von oberflächen auf kupfer oder einer kupferlegierung mit einer zinn- oder zinnlegierungsschicht | |
WO2001076334A1 (de) | Verfahren zum erzeugen von lötfähigen und funktionellen oberflächen auf schaltungsträgern | |
EP0750549B1 (de) | Schutzbeschichtung für kupfer aus bismuth | |
EP1630252A1 (de) | Verfahren zur beschichtung von Substraten enthaltend Antimonverbindungen mit Zinn und Zinnlegierungen | |
DE19540122C2 (de) | Verfahren zur stromlosen Metallisierung und seine Anwendung | |
DE60224050T2 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Keramikschallplatte | |
DE4311266A1 (de) | Stromlos lötbeschichtete Leiterplatte und Verfahren zur Herstellung einer solchen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |