DE10034737C2 - Verfahren zur Herstellung einer permanenten Entformungsschicht durch Plasmapolymerisation auf der Oberfläche eines Formteilwerkzeugs, ein nach dem Verfahren herstellbares Formteilwerkzeug und dessen Verwendung - Google Patents
Verfahren zur Herstellung einer permanenten Entformungsschicht durch Plasmapolymerisation auf der Oberfläche eines Formteilwerkzeugs, ein nach dem Verfahren herstellbares Formteilwerkzeug und dessen VerwendungInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer permanenten Entfor
mungsschicht durch Plasmapolymerisation auf der Oberfläche eines Formteilwerkzeugs.
In der Technik ist es von entscheidender Bedeutung, daß Formteile, die in einem Formteil
werkzeug ausgeformt werden, leicht aus diesem entnehmbar sind, wobei selbstverständlich
eine unbeschädigte Entnahme des Formteils möglich sein soll.
Zur Erleichterung der Entformung werden daher üblicherweise Trennmittel verwendet.
Aus dem Stand der Technik sind Trennmittelsysteme, beispielsweise in Form vorn Lösungen
oder Dispersionen bekannt, die normalerweise auf die Oberfläche des Formteilwerkzeugs
aufgesprüht werden. Diese Trennmittelsysteme bestehen aus trennaktiven Wirkstoffen und
einem Trägermedium, in der Regel organische Lösungsmittel, wie beispielsweise Kohlenwas
serstoffe (teilweise auch chloriert), und Wasser. Solche aufgesprühten Trennmittelsysteme
trennen im wesentlichen immer das Formteil von dem Formteilwerkzeug durch eine Mi
schung aus einem Kohäsionsbruch und einem Adhäsionsbruch, wobei jedoch meistens
Trennmittel auf dem zu trennenden Formteil verbleibt. Dies kann vielfach zu Schwierigkeiten
bei der Weiterverarbeitung, z. B. beim Kleben, Kaschieren, Lackieren oder Metallisieren des
Formteils, führen. Es muß daher ein Reinigungsschritt zwischengeschaltet werden, was zu
sätzliche Kosten hervorruft. Zudem muß vor jeder Ausformung (oder zumindest regelmäßig)
Trennmittel auf die Oberflächen der Formgebungswerkzeuge aufgetragen werden, was eben
falls kostspielig ist und zu ungleichmäßigen Entformungsergebnissen führen kann. Schließ
lich emittieren diese Trennmittelsysteme erhebliche Mengen von Lösungsmitteln in die Um
welt.
Aus dem Stand der Technik sind auch sogenannte semipermanente Trennmittel bekannt, die
im Vergleich zu den herkömmlichen, bereits oben beschriebenen Trennmittelsystemen eine
verlängerte Standzeit bereitstellen und demnach etwas kostengünstiger sind. Jedoch muß auch
bei diesen semipermanenten Trennmitteln von Zeit zu Zeit Trennmittel nachgegeben werden,
und es ist ebenfalls nicht auszuschließen, daß Trennmittel auf dem zu trennenden Formteil
verbleibt. Am Markt erhältliche Produkte trennen darüberhinaus Polyurethan-Formteile nicht
oder nur schlecht.
Bekannt sind ebenfalls Trennmittelkompositionen, die den zu formenden Formmassen intern
zugegeben werden können, innerhalb der Formmassen an deren Grenzflächen wandern und an
diesen Grenzflächen den Trennprozeß auslösen. Durch diese internen Trennmittelsysteme
entfällt das ständige Auftragen des Trennmittels auf die Formteilwerkzeuge, wodurch zum
einen Kosten gespart werden können, und zum anderen die Produktivität gesteigert werden
kann. Bei Verwendung interner Trennmittelsysteme ergeben sich üblicherweise aber Schwie
rigkeiten beim Kleben, Kaschieren, Lackieren oder Metallisieren der entformten Formteile
durch das Vorhandensein bzw. Austreten des internen Trennmittels.
In der EP 084 11 40 A2 wird ein Verfahren zur Verbesserung des Lösens des Formteils aus
dem Formteilwerkzeug beschrieben, bei dem durch eine Plasmabeschichtung die Oberflächen
energie herabgesetzt ist. Solche plasmapolymeren Schichten mit niedriger Oberflächenenergie
sind bereits bekannt, wie beispielsweise in der DE 195 43 133 C2 beschrieben. Solche Schichten
lassen sich derart einstellen, daß ausgehärtete Kunststoffgegenstände keine chemische Reaktion
mit der Oberfläche der plasmapolymeren Schichten eingehen. Dennoch sind recht hohe Adhä
sionskräfte zu verzeichnen, was dazu führen kann, daß bestimmte Formteile erst entformt
werden können, wenn die entsprechenden Formmassen vollständig ausgehärtet sind, da anson
sten eine Schädigung der Oberfläche der entformten Gegenstände auftreten kann. Die Trenn
wirkung und die Produktivität bei der Verwendung solcher plasmapolymeren Schichten ist
demnach nicht zufriedenstellend.
Aus der DE 44 17 235 A1 sowie der DE 196 14 557 A1 ist es bekannt, durch Plasmapolyme
risation gezielt Schichten mit unterschiedlichen Eigenschaften herzustellen.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, die Nachteile des Standes der Technik zu über
winden und das gattungsgemäße Verfahren dahingehend weiterzubilden, daß auf den Form
teilwerkzeugen durch Plasmapolymerisation eine niederenergetische und trennaktive Oberflä
che geschaffen wird, die derart stabil ist, daß ihre Eigenschaften permanent erhalten bleiben.
Ferner besteht eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung darin, eine entsprechende perma
nente Entformungsschicht bereitzustellen und deren Verwendung zu ermöglichen.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß durch zeitliche Variation der Po
lymerisationsbedingungen ein Gradientenschichtenaufbau in der Entformungsschicht erzeugt
wird.
Dabei wird vorgeschlagen, daß als Precursor der Polymerisationsreaktion vorzugsweise Sili
konverbindungen, fluorierte Silikonverbindungen, Kohlenwasserstoffe oder zumindest teil
weise fluorierte Kohlenwasserstoffe, bevorzugt wenigstens ein Siloxan, besonders bevorzugt
Hexamethyldisiloxan (HMDSO) und/oder Octamethyltrisiloxan verwendet wird.
In einer Ausführungsform der Erfindung wird auch vorgeschlagen, daß bei der Plasmapoly
merisation Sauerstoffgas oder sauerstoffhaltiges Gas, wie z. B. Luft, CO2, N2O, etc., einge
setzt wird, wobei vorzugsweise die Konzentration des Sauerstoffgases während der Plas
mapolymerisation verringert wird.
Auch ist vorgesehen, daß die Bedingungen so gewählt werden, daß weniger Energie in das
Plasma eingekoppelt wird, als zur vollständigen Fragmentierung der Precursor der Polymeri
sationsreaktion notwendig ist.
Erfindungsgemäß wird außerdem vorgesehen, daß die Bedingungen so gewählt werden, daß
eine im wesentlichen geschlossene Beschichtung der Oberfläche des Formteilwerkzeugs er
reicht wird.
Vorzugsweise wird eine Schichtdicke der Entformungsschicht von zwischen 1 nm und 10 µm,
bevorzugter von zwischen 10 nm und 5 µm und höchst bevorzugt von zwischen 100 nm
und 1 µm gebildet wird.
Ferner kann vorgesehen sein, daß die Plasmapolymerisation in einer Zeitdauer von 1 Sekunde
bis 1 Stunde, bevorzugt von 30 Sekunden bis 30 Minuten und höchst bevorzugt von 3 Minu
ten bis 20 Minuten durchgeführt wird.
Erfindungsgemäß wird vorgeschlagen, daß die Oberfläche des Formteilwerkzeugs zur Reini
gung und/oder Aktivierung derselben vor der Plasmapolymerisation mit einem Gasplasma
behandelt wird.
Schließlich betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung einer
permanenten Entformungsschicht auf der Oberfläche eines Formteilwerkzeuges, wobei vorzugsweise an der Oberfläche der Entfor
mungsschicht keine stark wechselwirkenden oder reaktiven Gruppen angeordnet sind.
Besonders bevorzugt ist vorgesehen, daß an der Oberfläche der Entformungsschicht ein hoher
Anteil an CH3- und CF3-Gruppen vorliegt.
Schließlich betrifft die Erfindung noch die Verwendung eines erfindungsgemäßen Formteil
werkzeugs zur Ausformung von Kunststoffgegenständen, vorzugsweise Gegenständen aus
Polyurethan, besonders bevorzugt aus Polyurethanschaum.
Das Ziel der Herstellung einer trennaktiven Beschichtung mit außerordentlich fester Anbin
dung derselben an die Formteilwerkzeugoberfläche ist erfindungsgemäß dadurch zu errei
chen, daß durch die zeitliche Variation der Bedingungen der Plasmapolymerisation die
Trennwirkung im Schichtenaufbau nach außen, d. h. zum Formteil hin, zunimmt (Gradienten
schichtenaufbau).
Der Gradientenschichtenaufbau der Trennschicht soll also so ausgestaltet sein, daß ein Über
gang von einer Haftvermittlung, in Form einer besonders stabilen Grundschicht, auf der Ober
fläche des Formteilwerkzeuges zur eigentlichen Trennschicht in Richtung des Formteils er
möglicht wird, wobei in dieser Richtung die Trennwirkung zunimmt.
Der Erfindung liegt die überraschende Erkenntnis zugrunde, daß mit Hilfe des erfindungsge
mäßen Verfahrens eine Entformungsschicht bereitgestellt werden kann, die eine sowohl nie
derenergetische als auch eine trennaktive Oberfläche liefert. Durch einen solchen Aufbau
können beispielsweise kleinere Fehlstellen, die z. B. durch mechanische Einflüsse hervorgeru
fen werden, in einem großen Maße ausgeglichen werden, ohne daß die Entformungsschicht
nicht mehr verwendbar ist. Die Zugabe externer und/oder interner Trennmittel ist dabei nicht
erforderlich; deren Verwendung ist allerdings weiterhin möglich, wenn damit bestimmte zusätzliche
Effekte erreicht werden sollen, z. B. zur gezielten Beeinflussung der Oberfläche der
Formteile.
Die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellte Entformungsschicht ermöglicht zu
dem eine unbeschädigte Entnahme des Formteils aus den Formteilwerkzeugen, liefert die ge
wünschte Oberflächengüte der Formteile, beispielsweise keine Fließfehler, gute Oberflächen
strukturen, eine gute Haptik usw. Überdies ermöglicht es ein gutes Finish, d. h. ohne Zwi
schenschaltung eines Reinigungsschrittes können die entformten Formteile, beispielsweise
durch Kleben, Kaschieren, Lackieren oder Metallisieren, weiterverarbeitet werden. Ein Über
trag vom Formteil auf die Trennschicht wird vermieden. Die nach dem erfindungsgemäßen
Verfahren hergestellte Entformungschicht ist umweltfreundlich sowie kostengünstig, da sie
eine permanente Trennschicht darstellt.
Die erfindungsgemäß hergestellte Entformungsschicht hat sich gegenüber üblichen aromati
schen und nicht-aromatischen Lösungsmitteln, wie Benzin oder Isopropanol, als beständig
erwiesen. Die Trennschicht ist daher ohne weiteres und leicht mit Reinigungsbenzin und ei
nem weichen Tuch säuberbar. Darüberhinaus ist eine hohe Temperaturbeständigkeit zu beob
achten gewesen, wenigstens bis 200°C, teilweise noch darüber. Durch den Gradienten
schichtenaufbau der Trennschicht ist diese trotz mechanischer Verletzungen über einen lan
gen Zeitraum einsetzbar, ohne daß die Trennwirkung beeinträchtigt wird. Bei stärkeren Be
schädigungen ist aber auch ein Nachbeschichten ohne weiteres möglich.
Plasmapolymerisation ist ein Prozeß, bei dem aus einem aus Precursor-Molekülen bestehen
den Dampf in einer hochfrequenten elektrischen Entladung unter Einwirkung von Ionen,
Elektronen und Photonen Molekülfragmente gebildet werden, die unter definieren Randbe
dingungen zur Bildung einer amorphen, i. d. R. vernetzten Polymerschicht auf einem Substrat
führen. Plasmapolymerisation unterscheidet sich von einer Polymerisation im konventionellen
Sinne, beider unter chemischer Vernetzung Polymere gebildet werden, dadurch daß das Aus
gangsmaterial zunächst fragmentiert und anschließend polymerisiert wird.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren ist die in das Plasma eingekoppelte Energiemenge
von Bedeutung, da es zum Aufbau eines Gradientenschichtenaufbaus wesentlich ist, daß kei
ne vollständige Fragmentierung der Precursor-Moleküle erfolgt, was im folgenden noch de
taillierter anhand eines Beispieles erläutert werden soll.
Die Eigenschaften der polymerisierten Schichten, z. B. Struktur, Härte, Dichte, Trennwirkung,
etc., sind abhängig von den Betriebsparametern der Plasmaanlage, wie Druck, Durchflußrate,
Leistung in der Entladung und Art der Precursor-Moleküle. Durch geeignete Wahl und zeitli
che Variation der obigen Parameter läßt sich erreichen, daß z. B. für den Fall der Polymerisa
tion siliciumorganischer Verbindungen das anorganische Netzwerk (glasähnlich) direkt auf
der Formoberfläche und das organische Netzwerk auf dem anorganischen Netzwerk kontinu
ierlich aufgebracht wird. Dadurch wird eine optimale Haftung zum Untergrund und eine op
timale Permanenttrennwirkung zum Formteil hin (z. B. durch einen hohen Anteil CH3-
und/oder CF3-Gruppen in der Oberfläche) erreicht.
Am Beispiel von Hexamethyldisiloxan (HMDSO) wird die Precursor-Struktur (links) einer
möglichen (idealisierten und vereinfachten) plasmapolymerisierten Struktur (rechts) gegen
übergestellt.
Die Siloxandipole weisen zur Phasengrenzfläche, während die freie Oberfläche in dichter
Packung durch Methylgruppen abgedeckt wird, die eine quasifluide, äußerst trennaktive
Schicht ergeben.
Durch den richtig gewählten Energieeintrag erfolgt zunächst eine weitgehende Spaltung der
Si-C-Bindungen, aber ein weitgehender Erhalt der Si-O-Bindungen, was zur Ausbildung einer
äußerst stabilen SiO2-Grundschicht auf der Oberfläche des Formteilwerkzeuges führt. Hierfür
und für die weitere Kopplung an darüberliegende Schichten ist auch eine ausreichende Kon
zentration an O2-Gas wichtig. Hierauf wird dann wieder durch richtig gewählten Energieein
trag ein z. B. methylgruppenreicher Schichtaufbau zur freien Oberfläche durchgeführt.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschrei
bung, in der Ausführungsbeispiele im einzelnen erläutert sind.
Die Beschichtung von Substraten mit Plasmapolymerisation wurde in einer Anlage durchge
führt, wie sie schematisch in der beigefügten Zeichnung dargestellt ist.
In der Zeichnung ist die eigentliche Reaktionskammer mit 10 bezeichnet. Zur visuellen Kon
trolle der Reaktion ist ein Sichtfenster 11 vorgesehen. Die Precursorgase für die Plasmapoly
merisationsreaktion werden über Leitung 20 zugeführt, die mit Gasregelventilen 22 (mit Ab
sperrventil) versehen ist. Zur Erzeugung der Niederdruckbedingungen in der Reaktionskam
mer sind unterhalb eines Absperrventils 23 eine Rootspumpe 24 und eine Drehschieberpumpe
25 angeordnet. Die Druckmessung erfolgt über Druckmeßeinheit 26. Für den Energieeintrag
in das Plasma ist ein HF-Generator 30 mit Anpaßnetzwerk vorgesehen.
Bei den durchgeführten Versuchen wurde eine Reaktionskammer mit den Abmessungen 65 cm/78 cm/70 cm
(Höhe/Breite/Tiefe) mit einem Gesamtvolumen von 355 Litern und einem
Nutzvolumen von 115 Litern eingesetzt. Die Anregungsfrequenz lag bei 13,56 MHz bei einer
maximalen HF-Leistung von 2.500 W. Die Pumpleistung betrug 400 m3/h bei 0,3 mbar.
Als Substrate wurden Testformen aus einer AlMg3-Legierung verwendet. Die Platten hatten
eine Stärke von 10 mm und eine Kantenlänge von 100 mm mit abgefräster Oberfläche von
definierter Rauhigkeit. Vor Aufbringen der Beschichtung durch Plasmapolymerisation wur
den die Testformen einer konventionellen Reinigung unterzogen.
Die Testreihen ergaben, daß niederenergetische Oberflächen, d. h. solche, die auf glatten Sub
straten einen Wasserrandwinkel von < 100° aufweisen, in der beschriebenen Anlage mit ei
nem Gasgemisch aus Hexamethyldisiloxan (HMDSO) und Sauerstoff bei einem Gasflußver
hältnis von 1/0 bis 1/4 erzeugt werden können. Permanente Trennschichten ergeben sich bei
der beschriebenen Anlage mit dem genannten Gasgemisch insbesondere bei einem Gasfluß
verhältnis von 4,1/1 bis 5,7/1 und einer Generatorleistung zwischen 500 und 650 W bei Auf
bringen der letzten Schicht(en).
Testformen wurden gemäß des in Tabelle 1 dargestellten Protokolls durch Plasmapolymeri
sation beschichtet.
Testformen wurden gemäß des in Tabelle 2 dargestellten Protokolls durch Plasmapolymeri
sation beschichtet.
Testformen wurden gemäß des in Tabelle 3 dargestellten Protokolls durch Plasmapolymeri
sation beschichtet.
Testformen wurden gemäß des in Tabelle 4 dargestellten Protokolls durch Plasmapolymerisa
tion beschichtet.
Die beschichteten Testformen wurden auf ihre Entformungseigenschaften untersucht. Dazu
wurden die beschichteten Platten an den Seiten und auf der Unterseite mit externem Trenn
mittel behandelt. Eine Benetzung der beschichteten Oberseite wird dabei vermieden. Eine
Weichschaum-Plattenform (200 × 200 × 20 mm) wird ebenfalls mit dem Trennmittel eingesprüht
und bei 60°C Vorlauftemperatur beheizt. Die Prüfplatte wird auf den Formboden gelegt und
der Freiraum an den Seiten mit Zuschnitten aus Polyurethan-Weichschaum ausgefüllt. Die
Platte wird auf ca. 50°C, gemessen auf der beschichteten Oberfläche, temperiert.
Anschließend wird auf die Prüfplatte eine Polyurethanschaumsystem (Lagopur CCC, 198, Fa.
LAGOMA) aufgebracht. Hierzu werden 50 g Polyol und eine entsprechende Menge Isocyanat
eingesetzt. Nach 5 Minuten Reaktionszeit wird das Teil entnommen und die Trennwirkung
von der beschichteten Oberfläche beurteilt. Bei guter Trennwirkung wird die Prozedur so lan
ge wiederholt, bis entweder die Trennwirkung nachläßt oder von einer permanenten Trenn
wirkung ausgegangen werden kann (mindestens 10 Teile).
Die Trennwirkung wurde gemäß dem folgenden Schema beurteilt:
Die Ergebnisse für die Trennwirkung der in den Beispielen 1 bis 4 beschriebenen Permanent
beschichtungen ist in der nachfolgenden Tabelle 6 angegeben.
In allen Fällen wurden die gewünschten Oberflächeneigenschaften erreicht. Auf der Be
schichtung waren keinerlei Rückstände von den Formlingen festzustellen.
Die Permanenz der mit Plasmapolymerisation hergestellten Trennschichten erfolgte mit Hilfe
eines oberflächenanalytischen Verfahrens (ESCA (Electronenspektroskopie für die chemische
Analyse)). Dabei hat sich gezeigt, daß kein signifikanter Übertrag des charakteristischen Ele
mentes der Trennschicht (Si) auf das zu entformende Bauteil stattfindet. Durch die nachhalti
ge Nutzbarkeit der Trennwirkung und den Beweis, daß sich die Entformungsschicht durch
Abtrag nicht selbst verbraucht, ist die Permanenz der Beschichtung gezeigt.
Die in der vorstehenden Beschreibung sowie in den Ansprüchen offenbarten Merkmale der
Erfindung können sowohl einzeln als auch in jeder beliebigen Kombination für die Verwirkli
chung der Erfindung in ihren verschiedenen Ausführungsformen wesentlich sein.
Claims (11)
1. Verfahren zur Herstellung einer permanenten Entformungsschicht durch Plasmapolymeri
sation auf der Oberfläche eines Formteilwerkzeugs, dadurch gekennzeichnet, daß durch
zeitliche Variation der Polymerisationsbedingungen ein Gradientenschichtenaufbau in der
Entformungsschicht erzeugt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Precursor der Polymerisati
onsreaktion Silikonverbindungen, fluorierte Silikonverbindungen, Kohlenwasserstoffe
oder zumindest teilweise fluorierte Kohlenwasserstoffe verwendet werden.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Precursor der Polymerisati
onsreaktion wenigstens ein Siloxan verwendet wird.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Precursor der Polymerisati
onsreaktion Hexamethyldisiloxan (HMDSO) und/oder Octamethyltrisiloxan verwendet
wird.
5. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß bei
der Plasmapolymerisation Sauerstoffgas oder sauerstoffhaltiges Gas eingesetzt wird.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Konzentration des Sauer
stoffgases während der Plasmapolymerisation verringert wird.
7. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die
Bedingungen so gewählt werden, daß weniger Energie in das Plasma eingekoppelt wird,
als zur vollständigen Fragmentierung der Precursor der Polymerisationsreaktion notwen
dig ist.
8. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß
die Bedingungen so gewählt werden, daß eine im wesentlichen geschlossene Beschich
tung der Oberfläche des Formteilwerkzeugs erreicht wird.
9. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß
eine Schichtdicke der Entformungsschicht von zwischen 1 nm und 10 µm, bevorzugt von
zwischen 10 nm und 5 µm und höchst bevorzugt von zwischen 100 nm und 1 µm gebildet
wird.
10. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß
die Plasmapolymerisation in einer Zeitdauer von 1 Sekunde bis 1 Stunde, bevorzugt von
30 Sekunden bis 30 Minuten und höchst bevorzugt von 3 Minuten bis 20 Minuten durch
geführt wird.
11. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die
Oberfläche des Formteilwerkzeugs zur Reinigung und/oder Aktivierung derselben vor der
Plasmapolymerisation mit einem Gasplasma behandelt wird.
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EP01955199A EP1301286B1 (de) | 2000-07-17 | 2001-06-05 | Verfahren zur herstellung einer permanenten entformungsschicht durch plasmapolymerisation auf der oberfläche eines formteilwerkzeugs, formteilwerkzeug und verwendung |
PL360506A PL197877B1 (pl) | 2000-07-17 | 2001-06-05 | Sposób wytwarzania na powierzchni formy trwałej warstwy umożliwiającej wyjęcie wypraski z formy, forma i jej zastosowanie |
US10/333,168 US6949272B2 (en) | 2000-07-17 | 2001-06-05 | Method for producing a permanent demoulding layer by plasma polymerization on the surface of a moulded-part tool, a moulded-part tool produced by said method and the use thereof |
DE50101927T DE50101927D1 (de) | 2000-07-17 | 2001-06-05 | Verfahren zur herstellung einer permanenten entformungsschicht durch plasmapolymerisation auf der oberfläche eines formteilwerkzeugs, formteilwerkzeug und verwendung |
ES01955199T ES2217170T3 (es) | 2000-07-17 | 2001-06-05 | Procedimiento para la fabricacion de una capa desmoldeadora permanente por polimerizacion en plasma sobre la superficie de un molde para piezas de moldeo, molde para piezas de moldeo y su uso. |
AU2001277455A AU2001277455A1 (en) | 2000-07-17 | 2001-06-05 | Method for producing a permanent demoulding layer by plasma polymerization on the surface of a moulded-part tool |
PCT/DE2001/002112 WO2002005972A2 (de) | 2000-07-17 | 2001-06-05 | Verfahren zur herstellung einer permanenten entformungsschicht durch plasmapolymerisation auf der oberfläche eines formteilwerkzeugs |
PT01955199T PT1301286E (pt) | 2000-07-17 | 2001-06-05 | Metodo para producao de uma camada de desmoldagem permanente por polimerizacao de plasma na superficie de uma ferramenta para pecas moldadas ferramenta para pecas moldadas produzida segundo este metodo e sua utilizacao |
DK01955199T DK1301286T3 (da) | 2000-07-17 | 2001-06-05 | Fremgangsmåde til fremstilling af en permanent sliplaminering ved plasmapolymerisation på overfladen af et stöbesatsværktöj, et stöbesatsværktöj, der kan tilvejebringes efter denne fremgangsmåde, og dettes anvendelse |
AT01955199T ATE263635T1 (de) | 2000-07-17 | 2001-06-05 | Verfahren zur herstellung einer permanenten entformungsschicht durch plasmapolymerisation auf der oberfläche eines formteilwerkzeugs, formteilwerkzeug und verwendung |
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10353530A1 (de) * | 2003-11-14 | 2005-06-23 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Wafer mit Deckschicht und Trennschicht, Verfahren zur Herstellung eines solchen Wafers sowie Verfahren zum Dünnen bzw. Rückseitenmetallisieren eines Wafers |
DE102005056780A1 (de) * | 2005-11-28 | 2007-05-31 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Erzeugnis mit markiertem Schichtsystem |
DE102008005778A1 (de) | 2008-01-23 | 2009-07-30 | Peguform Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Formteilrohlings für kaschierte Formteile |
JP2015537364A (ja) * | 2012-12-13 | 2015-12-24 | コーニング インコーポレイテッド | Oledデバイスの加工方法 |
CN106133899A (zh) * | 2013-10-14 | 2016-11-16 | 康宁股份有限公司 | 用于半导体和插入物加工的载体粘结方法和制品 |
DE102020128125A1 (de) | 2020-10-26 | 2022-04-28 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung eingetragener Verein | Verwendung einer plasmapolymeren Schicht als Trennschicht im Nicht-Eisen-Metallguss |
DE102021002633A1 (de) | 2021-03-01 | 2022-09-15 | Horst Wochnowski | Explosions-basierte Abscheidung von superdünnen Hartstoffschichten innerhalb eines geschlossenen Innenraums mittels eines stempelartigen, verschiebbaren Kolbenelements |
Families Citing this family (47)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10131156A1 (de) * | 2001-06-29 | 2003-01-16 | Fraunhofer Ges Forschung | Arikel mit plasmapolymerer Beschichtung und Verfahren zu dessen Herstellung |
PT1568071T (pt) * | 2002-11-29 | 2019-06-17 | Fraunhofer Ges Forschung | Pastilha com camada de separação e camada de suporte e seu processo de fabrico |
DE102004026479B4 (de) * | 2004-05-27 | 2006-05-04 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Erzeugnis mit Deckschicht und Abformschicht |
US8574375B2 (en) * | 2005-04-08 | 2013-11-05 | Fraunhofer Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E.V. | Component for a painting installation and device for removing paint therefrom |
DE102005052408B3 (de) * | 2005-10-31 | 2007-06-06 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Beschichteter Körper mit Entformungsschicht und Verfahren zu ihrer Herstellung |
WO2007051803A1 (de) * | 2005-10-31 | 2007-05-10 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Entformungsschicht und verfahren zu ihrer herstellung |
DE102005052409B3 (de) * | 2005-10-31 | 2007-07-05 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Beschichtungsverfahren, dessen Verwendung sowie beschichtete Körper |
DE102005059706B4 (de) * | 2005-12-12 | 2011-08-18 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 | Verfahren zum Herstellen einer Trennschicht sowie Substratoberfläche mit Trennschicht |
JP5557208B2 (ja) * | 2006-10-06 | 2014-07-23 | フラウンホファー ゲゼルシャフト ツール フェルドルンク デル アンゲヴァントテン フォルシュンク エー ファウ | 汚染した物体、汚染した物体をドライアイスで洗浄するための装置、汚染物を除去するための方法、及び機能皮膜の使用 |
WO2008048565A1 (en) * | 2006-10-16 | 2008-04-24 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Mold release composition and method for producing a rotational molding paint-ready polyurethane |
DE102007010071A1 (de) | 2007-02-28 | 2008-09-04 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Schichtverbund umfassend eine Lack- und eine Trennschicht sowie Lack-Träger-Anordnung zur Übertragung von Lack |
DE102007020655A1 (de) | 2007-04-30 | 2008-11-06 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zum Herstellen dünner Schichten und entsprechende Schicht |
EP2205521A4 (de) * | 2007-09-06 | 2013-09-11 | 3M Innovative Properties Co | Werkzeug zur herstellung von mikrostrukturierten artikeln |
EP2197645B1 (de) * | 2007-09-06 | 2014-10-22 | 3M Innovative Properties Company | Verfahren zum formen von formwerkzeugen und verfahren zum formen von artikeln unter verwendung der formwerkzeuge |
JP5951928B2 (ja) | 2007-09-06 | 2016-07-13 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 光出力の領域制御を提供する光抽出構造体を有する光ガイド |
WO2009048808A1 (en) | 2007-10-11 | 2009-04-16 | 3M Innovative Properties Company | Chromatic confocal sensor |
KR100962044B1 (ko) * | 2007-12-06 | 2010-06-08 | 성균관대학교산학협력단 | 저유전 플라즈마 중합체 박막 및 그 제조 방법 |
US8455846B2 (en) * | 2007-12-12 | 2013-06-04 | 3M Innovative Properties Company | Method for making structures with improved edge definition |
WO2009108543A2 (en) | 2008-02-26 | 2009-09-03 | 3M Innovative Properties Company | Multi-photon exposure system |
DE102008002515A1 (de) | 2008-06-18 | 2009-12-24 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Dichtungsartikel |
DE102008058783A1 (de) | 2008-11-24 | 2010-05-27 | Plasmatreat Gmbh | Verfahren zur atmosphärischen Beschichtung von Nanooberflächen |
DE102009005609B3 (de) | 2009-01-21 | 2010-07-01 | Bayer Materialscience Ag | Werkzeug und Verfahren zur Herstellung von Mehrschicht-Kunststoffformteilen |
DE102009046947B4 (de) | 2009-11-20 | 2015-04-09 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Substrat mit stickstoffhaltiger plasmapolymerer Beschichtung, dessen Verwendung und Verfahren zu dessen Herstellung |
DE102012010603B4 (de) | 2011-06-29 | 2013-11-21 | Carl Freudenberg Kg | Beschichteter Dichtungsartikel |
GB201112447D0 (en) * | 2011-07-20 | 2011-08-31 | Surface Innovations Ltd | Method |
US10543662B2 (en) | 2012-02-08 | 2020-01-28 | Corning Incorporated | Device modified substrate article and methods for making |
WO2015157202A1 (en) | 2014-04-09 | 2015-10-15 | Corning Incorporated | Device modified substrate article and methods for making |
TWI617437B (zh) | 2012-12-13 | 2018-03-11 | 康寧公司 | 促進控制薄片與載體間接合之處理 |
US9340443B2 (en) | 2012-12-13 | 2016-05-17 | Corning Incorporated | Bulk annealing of glass sheets |
US10086584B2 (en) | 2012-12-13 | 2018-10-02 | Corning Incorporated | Glass articles and methods for controlled bonding of glass sheets with carriers |
JP6441907B2 (ja) | 2013-09-25 | 2018-12-19 | フラウンホファー ゲゼルシャフト ツール フェルドルンク デル アンゲヴァントテン フォルシュンク エー ファウ | 固形プラズマポリマー体(特にプラズマポリマー層) |
DE102013219331B3 (de) * | 2013-09-25 | 2015-03-19 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Plasmapolymerer Festkörper, insbesondere plasmapolymere Schicht, sowie deren Verwendung |
US9246134B2 (en) * | 2014-01-20 | 2016-01-26 | 3M Innovative Properties Company | Lamination transfer films for forming articles with engineered voids |
US10046542B2 (en) | 2014-01-27 | 2018-08-14 | Corning Incorporated | Articles and methods for controlled bonding of thin sheets with carriers |
DE102014204937A1 (de) | 2014-03-17 | 2015-09-17 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zur Herstellung eines Polyurethanformteiles |
DE102014210798A1 (de) * | 2014-06-05 | 2015-12-17 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Formwerkzeug, Verfahren zur seiner Herstellung und Verwendung sowie Kunststofffolie und Kunststoffbauteil |
DE102014219979A1 (de) * | 2014-10-01 | 2016-04-07 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verbund aus Substrat, plasmapolymerer Schicht, Mischschicht und Deckschicht |
DE102015208729B4 (de) | 2015-05-11 | 2021-07-22 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Für einen Beschichtungsprozess vorbereitete Polyurethanoberfläche, Verfahren zu deren Herstellung, Schichtverbund und Verwendung eines Additivs |
KR102573207B1 (ko) | 2015-05-19 | 2023-08-31 | 코닝 인코포레이티드 | 시트와 캐리어의 결합을 위한 물품 및 방법 |
CN107810168A (zh) | 2015-06-26 | 2018-03-16 | 康宁股份有限公司 | 包含板材和载体的方法和制品 |
AT518583B1 (de) | 2016-04-21 | 2018-02-15 | Engel Austria Gmbh | Kunststoffformgebungsverfahren und Formgebungsmaschine |
TW201825623A (zh) | 2016-08-30 | 2018-07-16 | 美商康寧公司 | 用於片材接合的矽氧烷電漿聚合物 |
TWI810161B (zh) | 2016-08-31 | 2023-08-01 | 美商康寧公司 | 具以可控制式黏結的薄片之製品及製作其之方法 |
DE102016121593B4 (de) | 2016-11-10 | 2020-06-04 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Abzudichtendes System mit elastischem Dichtkörper, solcher Dichtkörper und Verfahren zum Abdichten eines Systems |
WO2019118660A1 (en) | 2017-12-15 | 2019-06-20 | Corning Incorporated | Method for treating a substrate and method for making articles comprising bonded sheets |
DE102017131085A1 (de) | 2017-12-22 | 2019-06-27 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Plasmapolymerer Festkörper, insbesondere plasmapolymere Schicht mit Kohlenwasserstoffnetzwerkbildung, deren Verwendung sowie Verfahren zu deren Herstellung |
DE102022119250A1 (de) | 2022-08-01 | 2024-02-01 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung eingetragener Verein | Plasmapolymerer siliziumorganischer Festkörper, insbesondere plasmacopolymere siliziumorganische Schicht, und beschichtetes Substrat sowie Verfahren zur Herstellung und Verwendung der plasma(co)polymeren siliziumorganischen Schicht |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4417235A1 (de) * | 1993-05-21 | 1994-11-24 | Fraunhofer Ges Forschung | Plasmapolymer-Schichtenfolge als Hartstoffschicht mit definiert einstellbarem Adhäsionsverhalten |
DE19614557A1 (de) * | 1996-04-12 | 1997-10-16 | Hauzer Holding | Bauteil mit Verschleißschutzschicht und Verfahren zu dessen Herstellung |
EP0841140A2 (de) * | 1996-11-12 | 1998-05-13 | Bae Hyeock Chun | Verfahren zur Verbesserung der Entformungseigenschaften eines Formwerkzeuges durch eine Niedertemperatur-Plasmabehandlung |
DE19543133C2 (de) * | 1995-11-18 | 1999-05-06 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren zur Erzeugung stark hydrophober Polymerschichten mittels Plasmapolymerisation |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6127212A (ja) * | 1984-07-19 | 1986-02-06 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 合成樹脂成形用型 |
JP2701946B2 (ja) * | 1988-12-07 | 1998-01-21 | ザ・グッドイヤー・タイヤ・アンド・ラバー・カンパニー | ゴムタイヤの成型方法 |
JPH0671733B2 (ja) * | 1991-06-12 | 1994-09-14 | 信越化学工業株式会社 | 離型用樹脂組成物及びこれを用いた硬化性樹脂の成形方法 |
DE4216999C2 (de) | 1992-05-22 | 1996-03-14 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren zur Oberflächenbeschichtung von Silbergegenständen und nach diesem Verfahren hergestellte Schutzschicht |
EP0856592A1 (de) * | 1997-02-04 | 1998-08-05 | N.V. Bekaert S.A. | Beschichtung enthaltende Filme aus diamantartigem Kohlenstoff und diamantartigem Nanokomposit |
US6051321A (en) * | 1997-10-24 | 2000-04-18 | Quester Technology, Inc. | Low dielectric constant materials and method |
-
2000
- 2000-07-17 DE DE10034737A patent/DE10034737C2/de not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-06-05 DK DK01955199T patent/DK1301286T3/da active
- 2001-06-05 DE DE50101927T patent/DE50101927D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-06-05 US US10/333,168 patent/US6949272B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-06-05 EP EP01955199A patent/EP1301286B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-06-05 AT AT01955199T patent/ATE263635T1/de not_active IP Right Cessation
- 2001-06-05 WO PCT/DE2001/002112 patent/WO2002005972A2/de active IP Right Grant
- 2001-06-05 PL PL360506A patent/PL197877B1/pl not_active IP Right Cessation
- 2001-06-05 ES ES01955199T patent/ES2217170T3/es not_active Expired - Lifetime
- 2001-06-05 AU AU2001277455A patent/AU2001277455A1/en not_active Abandoned
- 2001-06-05 PT PT01955199T patent/PT1301286E/pt unknown
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4417235A1 (de) * | 1993-05-21 | 1994-11-24 | Fraunhofer Ges Forschung | Plasmapolymer-Schichtenfolge als Hartstoffschicht mit definiert einstellbarem Adhäsionsverhalten |
DE19543133C2 (de) * | 1995-11-18 | 1999-05-06 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren zur Erzeugung stark hydrophober Polymerschichten mittels Plasmapolymerisation |
DE19614557A1 (de) * | 1996-04-12 | 1997-10-16 | Hauzer Holding | Bauteil mit Verschleißschutzschicht und Verfahren zu dessen Herstellung |
EP0841140A2 (de) * | 1996-11-12 | 1998-05-13 | Bae Hyeock Chun | Verfahren zur Verbesserung der Entformungseigenschaften eines Formwerkzeuges durch eine Niedertemperatur-Plasmabehandlung |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10353530A1 (de) * | 2003-11-14 | 2005-06-23 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Wafer mit Deckschicht und Trennschicht, Verfahren zur Herstellung eines solchen Wafers sowie Verfahren zum Dünnen bzw. Rückseitenmetallisieren eines Wafers |
DE102005056780A1 (de) * | 2005-11-28 | 2007-05-31 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Erzeugnis mit markiertem Schichtsystem |
DE102005056780B4 (de) * | 2005-11-28 | 2009-11-26 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Markierte plasmapolymere Schicht und Erzeugnis mit markiertem Schichtsystem, deren Verwendung und Verfahren zu deren Herstellung |
DE102008005778A1 (de) | 2008-01-23 | 2009-07-30 | Peguform Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Formteilrohlings für kaschierte Formteile |
DE102008005778B4 (de) | 2008-01-23 | 2019-03-14 | Peguform Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Formteilrohlings für kaschierte Formteile |
JP2015537364A (ja) * | 2012-12-13 | 2015-12-24 | コーニング インコーポレイテッド | Oledデバイスの加工方法 |
CN106133899A (zh) * | 2013-10-14 | 2016-11-16 | 康宁股份有限公司 | 用于半导体和插入物加工的载体粘结方法和制品 |
CN106133899B (zh) * | 2013-10-14 | 2019-11-12 | 康宁股份有限公司 | 用于半导体和插入物加工的载体粘结方法和制品 |
DE102020128125A1 (de) | 2020-10-26 | 2022-04-28 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung eingetragener Verein | Verwendung einer plasmapolymeren Schicht als Trennschicht im Nicht-Eisen-Metallguss |
WO2022090027A1 (de) | 2020-10-26 | 2022-05-05 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung eingetragener Verein | Verwendung einer plasmapolymeren schicht als trennschicht im nicht-eisen-metallguss |
DE102021002633A1 (de) | 2021-03-01 | 2022-09-15 | Horst Wochnowski | Explosions-basierte Abscheidung von superdünnen Hartstoffschichten innerhalb eines geschlossenen Innenraums mittels eines stempelartigen, verschiebbaren Kolbenelements |
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