DE10015743B4

DE10015743B4 - Vorrichtung zur Wiederherstellung komprimierter Daten, mit einer derartigen Vorrichtung ausgestattete Halbleiterprüfvorrichtung sowie Verfahren zur Komprimierung und Wiederherstellung von Daten

Info

Publication number: DE10015743B4
Application number: DE10015743A
Authority: DE
Inventors: Norio Kumaki
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 1999-03-29
Filing date: 2000-03-29
Publication date: 2010-01-14
Anticipated expiration: 2020-03-30
Also published as: US6629278B1; DE10015743A1; JP2000286714A; JP4187345B2

Abstract

Vorrichtung zur Wiederherstellung komprimierter Daten, die als eine Vielzahl von komprimierten Datenreihen vorliegen und durch Komprimierung einer Vielzahl von Quelldatenreihen erzeugt wurden, wobei diese Vorrichtung (100) folgende Bauteile enthält:
– einen ersten Speicher (10) zum Speichern einer Hauptdatei (20), die aus einer Vielzahl von Einheitsdateien (24) besteht, welche jeweils eine komprimierte Datenreihe (28) sowie für die Wiederherstellung derselben benötigte Steuerdaten (26) enthalten, die Angaben zum Umfang der Quelldatenreihe und der komprimierten Datenreihe aufweisen, und wobei die Hauptdatei (20) Leerdaten (26x) anstelle von nach Erzeugung der komprimierten Datenreihen (28) zu gewinnenden dynamischen Steuerdaten (30) enthält;
– einen zweiten Speicher (12) zum Speichern einer Unterdatei (22), die die nach Erzeugung der komprimierten Datenreihen (28) aus den Steuerdaten (26) für die komprimierten Datenreihen gewonnenen dynamischen Steuerdaten (30) enthält;
– eine Einrichtung (14) zur Erzeugung von Ersatzsteuerdaten (32), die bei der Erzeugung der wiederhergestellten Datenreihen (34) aus den komprimierten Datenreihen...

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Technologie zur Wiederherstellung komprimierter Daten, bei der komprimierte Daten, wie etwa an eine Halbleiterprüfvorrichtung übertragene Prüfmusterdaten, nacheinander mit großer Geschwindigkeit wiederhergestellt werden.
Es ist bereits bekannt, Daten zum Zweck der Datenübertragung usw. vorübergehend zu komprimieren und die derart komprimierten Daten später wiederherzustellen. Für eine derartige Wiederherstellung komprimierter Daten werden üblicherweise Wiederherstellungsprozessoren (und zwar normalerweise Komprimierungs/Wiederherstellungsprozessoren) verwendet.
Zum besseren Verständnis wird im folgenden unter Bezugnahme auf 8 ein herkömmliches Beispiel für eine Technologie zur Wiederherstellung komprimierter Daten erläutert, wobei 8 ein Schemadiagramm zur Erläuterung eines üblichen Verfahrens der Wiederherstellung komprimierter Daten zeigt.
Wenn eine komprimierte Datenreihe 280 durch einen Wiederherstellungsprozessor 16 zur Erzeugung einer wiederhergestellten Datenreihe 340 wiederhergestellt werden soll, so ist es üblicherweise nötig, in den Wiederherstellungsprozessor 16 Wiederherstellungsprozessor-Steuerdaten 84 einzugeben. Derartige Wiederherstellungsprozessor-Steuerdaten 84 betreffen beispielsweise den (teilweise auch als Datenmenge der komprimierten Datenreihe bezeichneten) Umfang (Bitzahl) der komprimierten Datenreihe sowie den (teilweise auch als Datenmenge der Quelldatenreihe vor der Komprimierung bezeichneten) Umfang (Bitzahl) der Quelldatenreihe vor der Komprimierung. Darüber hinaus wird die (im folgenden auch Programmierung genannte) Dateneingabe mit Hilfe einer Steuersoftware 82 ausgeführt, die auf einem Steuerprozessor 80 ablaufen kann.
Die komprimierte Datenreihe 280 wird nun in den mit den Wiederherstellungsprozessor-Steuerdaten 84 programmierten Wiederherstellungsprozessor 16 eingegeben und die wiederhergestellte Datenreihe 340 wird erzeugt. Nach Vervollständigung des Wiederherstellungsvorgangs für die komprimierte Datenreihe 280 liefert der Wiederherstellungsprozessor 16 eine Wiederherstellungs-Endmitteilung 86 an den Steuerprozessor 80. Empfängt die Steuersoftware 82 diese Wiederherstellungs-Endmitteilung 86, so beginnt sie damit, den Wiederherstellungsprozessor 16 nun so zu programmieren, daß dieser die Wiederherstellung der nächsten komprimierten Datenreihe durchführen kann.
Im folgenden wird erläutert, warum die Steuersoftware jedesmal mühsam zur Programmierung des Wiederherstellungsprozessors herangezogen werden muß.
Beim sequentiellen Einschreiben komprimierter Datenreihen in einen Übertragungsspeicher liegen zum Zeitpunkt der Komprimierung noch keine Steuerdaten vor. Zur Wiederherstellung der komprimierten Datenreihen mit Hilfe des Wiederherstellungsprozessors ist es jedoch notwendig, Steuerdaten in den Wiederherstellungsprozessor einzugeben, ehe dieser die komprimierten Datenreihen empfängt. Dies bedeutet, daß zur Wiederherstellung einer komprimierten Datenreihe jeweils die der komprimierten Datenreihe entsprechenden Steuerdaten einzeln abgerufen und diese abgerufenen Steuerdaten in den Wiederherstellungsprozessor eingegeben werden müssen bzw. der Wiederherstellungsprozessor mit diesen Steuerdaten programmiert werden muß. Die Steuersoftware wird dabei zum Abrufen von Daten oder für andere Verarbeitungsschritte benötigt.
Wie bereits erwähnt, müssen bei der herkömmlichen Wiederherstellung komprimierter Datenreihen für jede komprimierte Datenreihe Wiederherstellungsprozessor-Steuerdaten mit Hilfe der Steuersoftware einzeln eingegeben werden, was bedeutet, daß sich bei einer größeren Anzahl komprimierter Datenreihen auch die Betriebszeit der Steuersoftware entsprechend verlängert. Da die Steuersoftware eine gewisse Zeit zum Programmieren benötigt, sinkt daher die Geschwindigkeit der Wiederherstellungsvorgänge entsprechend, so daß es bisher ausgesprochen zeitaufwendig ist, eine große Anzahl komprimierter Datenreihen nacheinander wiederherzustellen.
Zu der Vielzahl komprimierter Datenreihen, die in der genannten Weise nacheinander wiederhergestellt werden, gehören üblicherweise die Prüfmusterdaten für eine Halbleiterprüfvorrichtung. Die auf die integrierte Halbleiterschaltungen abgestimmten und zum Prüfen verwendeten Prüfmusterdaten werden dabei der Halbleiterprüfvorrichtung als komprimierte Daten zugeleitet und die Halbleiterprüfvorrichtung führt die Halbleiterprüfung mit Hilfe der im Wiederherstellungsverfahren wiederhergestellten Prüfmusterdaten durch.
Wenn allerdings eine erhebliche Menge an Prüfmusterdaten vorhanden ist, so kann die zur Wiederherstellung der komprimierten Daten benötigte Zeit weitaus länger sein, als die zur Halbleiterprüfung benötigte Zeit. Darüber hinaus können Halbleiterprüfvorrichtungen nicht eingesetzt werden, solange die Wiederherstellung erfolgt. Zur effektiven Ausnutzung kostenintensiver Halbleiterprüfvorrichtungen ist es daher wünschenswert, die zur Wiederherstellung benötigte Zeit zu verkürzen, indem man die Wiederherstellung beschleunigt.
Zum Stand der Technik gehört weiterhin das Turbo-Code-Decodierverfahren (vgl. IEEE Transactions an Information Theory, Vol. 42, No. 2, März 1996, Seiten 429–445). Hierbei wird eine Hauptdatei (Datenblock), bestehend aus einer Vielzahl von komprimierten Datenreihen, mit Hilfe von zusätzlichen Informationen, den sogenannten Extrinsic-Informationen, mit Hilfe eines Wiederherstellungsprozessors decodiert. Diese Extrinsic-Informationen sind als Steuer-Informationen in einem anderen Speicher als die zu decodierenden Datenreihen abgelegt. Sie müssen daher vom Decoder im Decodierprozess vor jedem Decodierdurchlauf aus den Extrinsic-Speichern ausgelesen werden. Die Extrinsic-Informationen sind dabei Steuerdaten zum Verbessern der Decodierung der codierten Datenreihen. Sie werden durch den Decoder jeweils erst im vorherigen Decodierprozess erzeugt, nämlich für die vertikale Decodierung im vorherigen horizontalen Decodierschritt und umgekehrt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, eine Vorrichtung sowie ein Verfahren zu schaffen, die es ermöglichen, eine Vielzahl von komprimierten Datenreihen in möglichst kurzer Zeit wieder herzustellen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruches 1 (bezüglich der Vorrichtung) bzw. des Anspruches 12 (hinsichtlich des Verfahrens) gelöst.
Zweckmäßige Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.
Wesentlich für die erfindungsgemäße Lösung ist zum einen, dass die Steuerdaten Angaben zum Umfang der Quelldatenreihe und der komprimierten Datenreihe aufweisen, und zum andern, dass die Einheitsdateien nacheinander, die dynamischen Steuerdaten dagegen gleichzeitig und alle gemeinsam ausgelesen werden, wobei für jede Einheitsdatei die Leerdaten der Steuerdaten durch die dynamischen Steuerdaten ersetzt und dadurch Ersatzsteuerdaten erzeugt werden, die zusammen mit den komprimierten Datenreihen zur Erzeugung der wiederhergestellten Datenreihen Verwendung finden.
Auf diese Weise enthält bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Wiederherstellung komprimierter Daten die Hauptdatei vorab eine Vielzahl von Einheitsdateien, die eine komprimierte Datenreihe und die für diese Datenreihe benötigten Steuerdaten jeweils paarweise enthalten, wobei dann die komprimierten Datenreihen jeweils nacheinander für die einzelnen Einheitsdateien wiederhergestellt werden. Zu diesem Zweck werden bei der Wiederherstellung der komprimierten Datenreihen die komprimierten Datenreihen vorab mit den für sie bestimmten Steuerdaten verbunden, was dazu führt, daß die entsprechenden Steuerdaten in den Wiederherstellungsprozessor eingegeben werden können, ohne daß den komprimierten Datenreihen entsprechende Steuerdaten mühsam mit Hilfe der Steuersoftware abgerufen werden müßten, wie dies beim eingangs geschilderten Stand der Technik der Fall ist.
Die dynamischen Steuerdaten müssen allerdings nach der Erzeugung der komprimierten Daten erst noch erstellt werden, da sie während der Erstellung der Einheitsdateien in der Hauptdatei noch nicht bekannt sind. Bei der vorliegenden Erfindung sind daher in jeder Einheitsdatei Leerdaten anstelle der dynamischen Steuerdaten abgespeichert, und es wird eine Unterdatei erstellt, die die den jeweiligen komprimierten Datenreihen entsprechenden dynamischen Steuerdaten aufnimmt. Bei der Wiederherstellung der komprimierten Daten werden die Leerdaten durch die dynamischen Steuerdaten ersetzt und auf diese Weise Ersatzsteuerdaten erzeugt.
Dementsprechend lassen sich bei der vorliegenden Erfindung komprimierte Daten durch Eingabe der entsprechenden Ersatzsteuerdaten in den Wiederherstellungsprozessor wiederherstellen, ohne daß dabei die Steuersoftware mühsam für jede komprimierte Datenreihe herangezogen werden müßte. Dadurch ergibt sich eine wesentliche Zeitersparnis bei der Wiederherstellung.
Bei einer zweckmäßigen Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Wiederherstellung komprimierter Daten enthält vorzugsweise jede der Einheitsdateien der Hauptdatei als Kopfdaten der Steuerdaten und der komprimierten Datenreihe Positionsangaben, die anzeigen, an welcher Stelle die Steuerdaten und die komprimierte Datenreihe im Wiederherstellungsprozessor abzuspeichern sind. Auf diese Weise lassen sich die Steuerdaten und die komprimierten Datenreihen unter Berücksichtigung dieser Positionsangaben ohne Einsatz einer Steuersoftware auf einfache Weise in den Wiederherstellungsprozessor eingeben.
Gemäß einer weiteren zweckmäßigen Ausgestaltung der Erfindung ist die Vorrichtung zur Wiederherstellung komprimierter Daten als eine Halbleiterprüfvorrichtung ausgebildet, die Prüfmusterdaten zum Prüfen integrierter Halbleiterschaltungen erzeugt. Hierbei werden die vielen komprimierten Datenreihen nacheinander mit hoher Geschwindigkeit wiederhergestellt, so daß der Halbleiterprüfvorrichtung für die eigentliche Prüfung eine längere Betriebszeit zur Verfügung steht.
Das erfindungsgemäße Verfahren (gemäß Anspruch 12) zur Komprimierung und Wiederherstellung von Daten ermöglicht es, die Steuerdaten dem Wiederherstellungsprozessor ohne Hilfe einer Steuersoftware einzugeben. Dadurch läßt sich die für die Wiederherstellung benötigte Zeit wesentlich verkürzen.
Im folgenden wird die vorliegende Erfindung unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung näher erläutert. In der Zeichnung zeigen
1 ein Blockschema zur Erläuterung des schematischen Aufbaus der Vorrichtung zur Wiederherstellung komprimierter Daten entsprechend einem erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel;
2 ein Diagramm zur Erläuterung der Datenkonfiguration in einer Hauptdatei bei diesem Ausführungsbeispiel;
3 ein Diagramm zur Erläuterung der Datenkonfiguration in einer Unterdatei bei diesem Ausführungsbeispiel;
4 ein Funktionsdiagramm zur Erläuterung der Anordnung einer Einrichtung zur Erzeugung von Ersatzsteuerdaten bei diesem Ausführungsbeispiel;
5(A) und 5(B) Funktionsdiagramme zur Erläuterung des Aufbaus einer Anordnungseinrichtung bei diesem Ausführungsbeispiel;
6 ein Schemadiagramm zur Erläuterung der Anordnung einer Austauscheinrichtung bei diesem Ausführungsbeispiel;
7 ein Schemadiagramm zur Erläuterung der Anordnung einer Prüfvorrichtung für hochintegrierte Schaltungen entsprechend der vorliegenden Erfindung; und
8 ein Schemadiagramm zur Erläuterung eines Verfahrens zur Wiederherstellung komprimierter Daten gemäß dem Stand der Technik.
Im folgenden wird ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung näher erläutert, wobei zunächst unter Bezugnahme auf 1 eine erfindungsgemäße Vorrichtung zur Wiederherstellung komprimierter Daten beschrieben wird.
1 zeigt ein Schemadiagramm zur Erläuterung des Aufbaus der Vorrichtung zur Wiederherstellung komprimierter Daten gemäß diesem Ausführungsbeispiel.
Wie sich 1 entnehmen läßt, dient bei diesem Ausführungsbeispiel die Vorrichtung 100 zur Wiederherstellung komprimierter Daten zur Wiederherstellung einer Vielzahl durch Komprimierung einer Vielzahl von Quelldatenreihen erzeugter komprimierter Datenreihen, um auf diese Weise wiederhergestellte Datenreihen zu erzeugen. Die Vorrichtung 100 zur Wiederherstellung komprimierter Daten umfaßt dabei einen ersten Speicher 10, einen zweiten Speicher 12, eine Einrichtung 14 zur Erzeugung von Ersatzsteuerdaten und einen Wiederherstellungsprozessor 16.
Der erste Speicher 10 wird durch einen Plattenspeicher gebildet und dient zur Speicherung einer Hauptdatei 20, während der zweite Speicher 12 ebenfalls durch einen Plattenspeicher gebildet wird und zur Speicherung einer Unterdatei 22 dient.
Unter Bezugnahme auf 2 wird nun zunächst die Datenkonfiguration der Hauptdatei 20 erläutert.
2 stellt ein Diagramm der einen Teil der Hauptdatei 20 bildenden Datenkonfiguration dar. Wie sich 2 entnehmen läßt, umfaßt die Hauptdatei 20 für jede komprimierte Datenreihe 28 eine Einheitsdatei 24.
In 2 sind im übrigen von den die Hauptdatei 20 bildenden Einheitsdateien 24 nur die erste Einheitsdatei 24a und die zweite Einheitsdatei 24b beispielhaft dargestellt, während auf eine Darstellung der dritten und aller weiterer Dateien verzichtet wurde.
Jede Einheitsdatei umfaßt eine komprimierte Datenreihe 28 sowie Steuerdaten 26, die zur Wiederherstellung der komprimierten Datenreihe 28 benötigt werden. Dies bedeutet, daß in der Hauptdatei 20 vorab Sätze aus komprimierten Datenreihen 28 und Steuerdaten 26 abgespeichert werden.
Genauer gesagt, umfaßt die erste Einheitsdatei 24a also sowohl eine erste komprimierte Datenreihe 28a, als auch erste Steuerdaten 26a, wie dies in 2 dargestellt ist, während die zweite Einheitsdatei 24b sowohl eine zweite komprimierte Datenreihe 28b als auch zweite Steuerdaten 26b enthält.
Die Steuerdaten 26 sind dabei im übrigen jeweils vor den einzelnen komprimierten Datenreihen 28 abgespeichert.
Darüber hinaus sind bei diesem Ausführungsbeispiel in der Hauptdatei 20 die ”Datenmenge der Quelldatenreihe (N)” und die ”Datenmenge der komprimierten Datenreihe (M)” als Steuerdaten 26 abgespeichert.
Im einzelnen bedeutet dies, daß, wie in 2 dargestellt, die erste Einheitsdatei 24a als erste Steuerdaten 26a die ”Datenmenge der ersten Quelldatenreihe (NA)” und die ”Datenmenge der ersten komprimierten Datenreihe (MA)” umfaßt, während die zweite Einheitsdatei 24b in entsprechender Weise zweite Steuerdaten 26b in Form der ”Datenmenge der zweiten Quelldatenreihe (NB)” und der ”Datenmenge der zweiten komprimierten Datenreihe (MB)” enthält.
Die Hauptdatei 20 speichert zudem die Leerdaten 26x als Steuerdaten 26 anstelle der ”Datenmenge der komprimierten Datenreihe (M)”, wobei es sich um die dynamischen Steuerdaten handelt, die nach der Erzeugung der komprimierten Datenreihe 28 ermittelt werden.
Im einzelnen umfassen dabei die ersten Steuerdaten 26a der ersten Einheitsdatei 24a, wie in 2 dargestellt, die Leerdaten 26ax anstelle der Datenmenge der ersten komprimierten Datenreihe und entsprechend enthalten die zweiten Steuerdaten 26b der zweiten Einheitsdatei 24b die Leerdaten 26bx anstelle der Datenmenge der zweiten komprimierten Datenreihe.
Die einzelnen Einheitsdateien 24 der Hauptdatei 20 enthalten zudem Kopfdaten für jede komprimierte Datenreihe 28 und alle zugehörigen Steuerdaten 26, wobei die Kopfdaten in Form von Positionsangaben vorliegen, die die Stelle angeben, an der die Steuerdaten 26 bzw. die komprimierte Datenreihe 28 im Wiederherstellungsprozessor 16 abzuspeichern sind.
Genauer gesagt, ist vor dem Block ”Datenmenge der ersten Quelldatenreihe (NA)” der ersten Steuerdaten 26a in der ersten Einheitsdatei 24a eine Registeradresse a(NA) abgespeichert, die zur Eingabe der Datenmenge (NA) in den Wiederherstellungsprozessor 16 dient.
In entsprechender Weise ist vor dem die Leerdaten 26ax enthaltenden Block ”Datenmenge der ersten komprimierten Datenreihe”, in dem diese Datenmenge abgespeichert ist und der zur Bestimmung des Umfangs der ersten komprimierten Datenreihe dient, eine Registeradresse a(MA) abgespeichert.
Außerdem ist vor dem Block der ersten komprimierten Datenreihe 28a eine Registeradresse a(A) abgespeichert, die zum Einschreiben der ersten komprimierten Datenreihe 28a in den Wiederherstellungsprozessor 16 dient.
In entsprechender Weise wie bei der ersten Einheitsdatei 24a ist vor dem Block ”Datenmenge der zweiten Quelldatenreihe (NB)” der zweiten Steuerdaten 26b in der zweiten Einheitsdatei 24b eine Registeradresse n(NB) zur Eingabe dieser Datenmenge (NB) in den Wiederherstellungsprozessor 16 abgespeichert, während vor dem die Leerdaten 26bx enthaltenden Block ”Datenmenge der zweiten komprimierten Datenreihe” der zweiten Steuerda ten 26b eine Registeradresse a(MB) zur Eingabe dieser den Umfang der zweiten komprimierten Datenreihe festlegenden Datenmenge abgespeichert ist.
Schließlich ist vor dem Block der zweiten komprimierten Datenreihe 28b ebenfalls eine Registeradresse a(B) zum Einschreiben dieser zweiten komprimierten Datenreihe 28b in den Wiederherstellungsprozessor 16 abgespeichert.
Obwohl bei diesem Ausführungsbeispiel jede einzelne Einheitsdatei 24 beispielhaft mit direkten Positionsangaben in Form von Adressen versehen ist, sind erfindungsgemäß auch andere Positionsangaben möglich. So können die Positionsangaben beispielsweise auch in Form von Mitteilungen über die Adreßspeicherbereiche im Wiederherstellungsprozessor vorgesehen sein.
Im folgenden wird unter Bezugnahme auf 3 die Datenkonfiguration der Unterdatei 22 erläutert.
3 zeigt ein Konfigurationsdiagramm der zur Unterdatei 22 gehörenden Daten. Wie sich 3 entnehmen läßt, sind in der Unterdatei 22 die jeweiligen dynamischen Steuerdaten 30 abgespeichert, die nach dem Einschreiben der komprimierten Datenreihen als Hauptdatei in den ersten Speicher aus den Steuerdaten für jede komprimierte Datenreihe ermittelt werden.
Bei diesem Ausführungsbeispiel werden die jeweiligen dynamischen Steuerdaten 30 in der Unterdatei 22 in einer Anordnung abgespeichert, die der Reihenfolge der Anordnung der Einheitsdateien 24 in der Hauptdatei 20 entspricht.
Im einzelnen sind die dynamischen Steuerdaten 30 entsprechend der Reihenfolge der Anordnung der Einheitsdateien der Hauptdatei 20 gemäß 2, d. h. der Anordnung der ersten Einheitsdatei 24a vor der zweiten Einheitsdatei 24b, in der Reihenfolge ”Datenmenge der ersten komprimierten Datenreihe (MA)” 30a, ”Datenmenge der zweiten komprimierten Datenreihe (MB)” 30b und ”Datenmenge der dritten komprimierten Datenreihe (MC)” 30c angeordnet, wie sich dies 3 entnehmen läßt.
Es folgt eine genauere Erläuterung der Einrichtung 14 zur Erzeugung der Ersatzsteuerdaten.
Zur Erzeugung der wiederhergestellten Datenreihen 34 durch die Wiederherstellung der komprimierten Datenreihen 28 liest die Einrichtung 14 zur Erzeugung von Ersatzsteuerdaten die Einheitsdateien 24 nacheinander aus dem ersten Speicher 10 und die dynamischen Steuerdaten 30 gleichzeitig aus dem zweiten Speicher 12 aus. Anders ausgedrückt, werden beispielsweise die Einheitsdateien 24 einzeln nacheinander in der Reihenfolge ihrer Wiederherstellung und alle dynamischen Steuerdaten 30 ausnahmslos gemeinsam ausgelesen.
Danach ersetzt die Einrichtung 14 zur Erzeugung von Ersatzsteuerdaten für jede Einheitsdatei 24 die Leerdaten 26x der Steuerdaten 26 durch die dynamischen Steuerdaten 30, um die Ersatzsteuerdaten 32 zu erzeugen.
Natürlich ist es möglich, während des Wiederherstellungsvorgangs alle Einheitsdateien 24 der Hauptdatei 20 nacheinander oder aber auch einzelne ausgewählte Einheitsdateien 24 auszulesen, wobei die Reihenfolge, in der die Einheitsdateien 24 ausgelesen werden, derjenigen ihrer Anordnung in der Hauptdatei 20 entweder entsprechen oder sich von dieser unterscheiden kann.
Zum besseren Verständnis wird nun beispielhaft beschrieben, wie ausgehend von der ersten Einheitsdatei alle Einheitsdateien 24 der Hauptdatei 20 beim vorliegenden Ausführungsbeispiel nacheinander entsprechend der Reihenfolge ihrer Anordnung in der Hauptdatei 20 ausgelesen werden.
Unter Bezugnahme auf 4 wird dabei die Einrichtung 14 zur Erzeugung von Ersatzsteuerdaten genauer erläutert.
Bei 4 handelt es sich um ein Funktionsdiagramm zur Erläuterung des Aufbaus der Einrichtung 14 zur Erzeugung von Ersatzsteuerdaten gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel. Wie sich 4 entnehmen läßt, umfaßt diese Einrichtung 14 zur Erzeugung von Ersatzsteuerdaten eine Aufteileinrichtung 40, eine Anordnungseinrichtung 36 und eine Austauscheinrichtung 38.
Zuerst wird nun auf die Aufteileinrichtung näher eingegangen. Die Einheitsdateien 24 werden vom ersten Speicher 10 ausgelesen und in die Aufteileinrichtung 40 eingegeben. Danach werden die Einheitsdateien 24 durch die Aufteileinrichtung 40 in die komprimierten Datenreihen 28 und die Steuerdaten 26 aufgeteilt.
So empfängt beispielsweise die Aufteileinrichtung 40 die in 2 dargestellte erste Einheitsdatei 24a und bestimmt aufgrund der allen Daten vorangestellten Adressen, ob es sich bei den Daten um die komprimierte Datenreihe 28 oder die Steuerdaten 26 handelt, d. h. die Aufteileinrichtung 40 stellt fest, daß es sich bei den Daten um die komprimierte Datenreihe 28 handelt, wenn die Adresse ”Registeradresse a(A) zum Einschreiben der ersten komprimierten Datenreihe” lautet. Andererseits ermittelt die Aufteileinrichtung 40 beispielsweise bei der Adresse ”Registeradresse a(NA) zur Programmierung der Datenmenge der ersten Quelldatenreihe” bzw. ”Registeradresse a(MA) zur Bestimmung des Umfangs der ersten komprimierten Datenreihe”, daß es sich bei den Daten um die Steuerdaten 26 handelt.
In entsprechender Weise beurteilt die Aufteileinrichtung 40 die zweite Einheitsdatei 24b und die darauf folgenden Einheitsdateien und teilt diese dabei in die komprimierten Datenreihen 28 und die Steuerdaten 26 auf.
Danach werden für alle Einheitsdateien 24 die Steuerdaten 26 nach dem Aufteilen zuerst an die Austauscheinrichtung 38 ausgegeben. Daraufhin wird die komprimierte Datenreihe 28 nach dem Aufteilen an den Wiederherstellungsprozessor 16 ausgegeben.
Bei diesem Ausführungsbeispiel werden, wie beschrieben, die Einheitsdateien 24 nacheinander ausgehend von der ersten Datei in der Reihenfolge der Anordnung der Einheitsdateien 24 in der Hauptdatei 20 (siehe 2) ausgelesen. Dies führt dazu, daß die Reihenfolge der von der Aufteileinrichtung 40 in die Austauscheinrichtung 38 eingegebenen Steuerdaten 26 mit der Reihenfolge der Anordnung der Einheitsdateien 24 übereinstimmt. Die Leerdaten 26x der Steuerdaten 26 werden somit in derselben Reihenfolge in die Austauscheinrichtung eingege ben, in der auch die Einheitsdateien 24 angeordnet sind.
Im folgenden wird näher auf die Anordnungseinrichtung eingegangen. Die Anordnungseinrichtung 36 empfängt alle aus der gesamten Unterdatei 22 des zweiten Speichers 12 kollektiv ausgelesenen dynamischen Steuerdaten 30. Danach sorgt die Anordnungseinrichtung 36 dafür, daß die Reihenfolge, in der die jeweiligen dynamischen Steuerdaten 30 an die Austauscheinrichtung 38 ausgegeben werden, mit der Reihenfolge übereinstimmt, in der die durch die dynamischen Steuerdaten 30 zu ersetzenden Leerdaten 26x in die Austauscheinrichtung eingegeben werden.
Unter Bezugnahme auf 5(A) wird nun der Aufbau der Anordnungseinrichtung 36 anhand eines Beispiels näher beschrieben.
5(A) zeigt ein Beispiel, bei dem ein Zwischenspeicher aus einem (im folgenden auch als FIFO-Speicher bezeichneten) Durchlaufspeicher 42 gebildet wird.
Bei diesem Beispiel ist die Reihenfolge der Speicherung der Daten in der Unterdatei 22, wie erwähnt, identisch mit der Reihenfolge der Anordnung der entsprechenden Einheitsdateien 24 in der Hauptdatei 20 (siehe 3). Im einzelnen speichert die Unterdatei 22 die dynamischen Steuerdaten 30 in der Reihenfolge ”Datenmenge der ersten komprimierten Datenreihe (MA)” 30a, ”Datenmenge der zweiten komprimierten Datenreihe (MB)” 30b, ”Datenmenge der dritten komprimierten Datenreihe (MC)” 30c usw. ab. Danach werden bei diesem Ausführungsbeispiel beginnend mit den ersten Steuerdaten nacheinander alle dynamischen Steuerdaten 30 in den FIFO-Speicher eingelesen.
Dies führt dazu, daß bei diesem Ausführungsbeispiel die dynamischen Steuerdaten 30 nacheinander vom FIFO-Speicher in einer Reihenfolge an die Austauscheinrichtung 38 ausgegeben werden, die der Anordnung in der Unterdatei 22 entspricht, was es ermöglicht, das die Reihenfolge der von der Aufteileinrichtung 40 der Austauscheinrichtung 38 eingegebenen Leerdaten 26x der Steuerdaten 26 mit der Reihenfolge der von der Anordnungseinrichtung 36 eingegebenen dynamischen Steuerdaten 30 übereinstimmt.
Die Anordnungseinrichtung 36 gemäß der vorliegenden Erfindung ist im übrigen auch in der Lage, die dynamischen Steuerdaten 30 in einer beliebigen Ausgabereihenfolge neu anzuordnen. Eine Neuordnung der Ausgabereihenfolge ermöglicht es, die Leerdaten selbst dann auf einfache Weise durch die entsprechenden dynamischen Steuerdaten zu ersetzen, wenn die Reihenfolge der dynamischen Steuerdaten in der Unterdatei nicht der Reihenfolge entspricht, in der die Einheitsdateien wiederhergestellt werden.
Unter Bezugnahme auf 5(B) wird nun eine Variante der Anordnungseinrichtung 36 beschrieben.
5(B) zeigt in einem Funktionsdiagramm den Aufbau der modifizierten Anordnungseinrichtung 36. Wie sich 5(B) entnehmen läßt, umfaßt diese modifizierte Anordnungseinrichtung 36 neben dem FIFO-Speicher 42 eine Umordnungseinrichtung 44 und eine Zuordnungstabelle 46.
Diese Zuordnungstabelle 46 verzeichnet dabei die dynamischen Steuerdaten 30 und die Reihenfolge, in der diese Steuerdaten von der Anordnungseinrichtung 36 ausgegeben werden. So lautet die beispielsweise bei einer Umordnung der in 3 dargestellten Reihenfolge ”Datenmenge der ersten komprimierten Datenreihe (MA)” 30a, ”Datenmenge der zweiten komprimierten Datenreihe (MB) 30b” und ”Datenmenge der dritten komprimierten Datenreihe (MC)” 30c in die Reihenfolge ”MB” 30b, ”MC” 30c und ”MA” 30a die in der Zuordnungstabelle 46 angegebene Zuordnung ”MA → 3”, ”MB → 1” und ”MC → 2”.
Die Ziffern 1 bis 3 geben dabei die Ausgabereihenfolge an.
Die Umordnungseinrichtung 44 gibt nun unter Heranziehung der Zuordnungstabelle 46 die dynamischen Steuerdaten 30 in den FIFO-Speicher 42 in der in der Zuordnungstabelle 46 angegebenen Auslesereihenfolge ein. So ordnet sie beispielsweise alle dynamischen Steuerdaten 30 in der neuen Reihenfolge ”MB” 30b, ”MC” 30c und ”MA” 30a an und gibt sie dann in den FIFO-Speicher 42 ein. Danach liefert der FIFO-Speicher 42 die jeweiligen dynamischen Steuerdaten 30 nacheinander in dieser umgeordneten Reihenfolge als Ausgangsdaten an die Austauscheinrichtung 38.
Die dynamischen Steuerdaten 30 könnten im übrigen auch ohne Einsatz einer Zuordnungstabelle 46 durch Softwarebefehle neu angeordnet werden. Obwohl in diesem Fall die Software beim Wiederherstellungsvorgang eingesetzt wird, erfolgt dieser Einsatz doch nur einmal, und zwar dann, wenn alle dynamischen Steuerdaten 30 kollektiv aus dem zweiten Speicher 12 ausgelesen werden. Dement sprechend kann auch in diesem Fall die Verarbeitungszeit bei der Wiederherstellung im Vergleich zum Stand der Technik, bei dem die Software jedesmal eingreift, wenn eine komprimierte Datenreihe wiederhergestellt wird, in ausreichendem Umfang verringert werden.
Es folgt eine genauere Erläuterung der Austauscheinrichtung. Die Austauscheinrichtung 38 ersetzt nacheinander die Leerdaten 26x der durch die Aufteileinrichtung 40 abgetrennten Steuerdaten 26 durch die von der Anordnungseinrichtung 36 in einer bestimmten Reihenfolge ausgegebenen dynamischen Steuerdaten 30 und erzeugt so die Ersatzsteuerdaten 32 zur Eingabe in den Prozessor.
Ein Beispiel für den Aufbau der Austauscheinrichtung 38 wird im folgenden unter Bezugnahme auf 6 näher erläutert.
Bei 6 handelt es sich um ein Funktionsdiagramm zur Erläuterung der Anordnung der Austauscheinrichtung 38. Wie sich 6 entnehmen läßt, umfaßt die Austauscheinrichtung 38 bei diesem Anordnungsbeispiel einen Decodierer 50 und einen Multiplexer 52.
Auf der Grundlage von Positionsangaben der Steuerdaten 26 stellt der Decodierer 50 fest, ob es sich bei den Steuerdaten 26 um Leerdaten 26x handelt. Wenn also dem Decodierer 50 die ersten Steuerdaten 26a nach der Aufteilung der ersten Einheitsdatei 24a gemäß 2 eingegeben werden, so bestimmt der Decodierer 50 beispielsweise aufgrund der den jeweiligen Steuerdaten 26a vorangestellten Adresse, ob es sich bei den Steuerdaten 26a um nicht-dynamische Daten oder Leerdaten 26ax handelt.
Im einzelnen stellt der Decodierer 50 dabei beispielsweise fest, daß die Steuerdaten 26 keine Leerdaten sind, wenn die Adresse ”Registeradresse a(NA) zur Eingabe der Datenmenge der ersten Quelldatenreihe” lautet, während er beispielsweise bei einer Adresse ”Registeradresse a(MA) zur Bestimmung des Umfangs der ersten komprimierten Datenreihe” ermittelt, daß es sich bei den Steuerdaten 26 um Leerdaten 26x handelt.
Die zweiten Steuerdaten 26b und die darauffolgenden weiteren Steuerdaten werden dann in entsprechender Weise ebenfalls im Hinblick auf ihre Adresse vom Decodierer beurteilt.
Handelt es sich bei den Steuerdaten 26 um Leerdaten 26x, so liefert der Decodierer 50 sodann ein Auswechselbefehlsignal (Erkennungssignal) 54 an den Multiplexer 52.
Gleichzeitig empfängt der Multiplexer 52 dieselben Steuerdaten wie sie als Steuerdaten 26 in den Decodierer 50 eingegeben werden. Sofern kein Auswechselsignal 54 vorhanden ist, liefert der Multiplexer 52 die keine Leerdaten umfassenden eingegebenen Steuerdaten 26 als Eingabedaten an den Wiederherstellungsprozessor 16. Empfängt der Multiplexer 52 hingegen das Auswechselsignal 54, so ersetzt er die ihm zu diesem Zeitpunkt eingegebenen Leerdaten 26x durch die dynamischen Steuerdaten 30.
Für die beschriebene Auswechslung wird von der Anordnungseinrichtung 36 eine Übereinstimmung zwischen der Ausgabereihenfolge der dynamischen Steuerdaten 30 und der Eingabereihenfolge der Leerdaten 26x in die Austauscheinrichtung 38 erzeugt, so daß der Multiplexer 52 die dynamischen Steuerdaten 30 nur noch nacheinander mechanisch auslesen muß, um eine automatische Übereinstimmung mit den zugehörigen Leerdaten 26x zu erzielen. Es ist somit möglich, die jeweiligen Leerdaten 26 auf einfache Weise durch die entsprechenden dynamischen Steuerdaten 30 zu ersetzen, ohne daß eine Software herangezogen werden müßte.
Danach gibt der Multiplexer 52 die so ersetzten Steuerdaten 26 in den Wiederherstellungsprozessor 16 als Ersatzsteuerdaten 32 ein.
Im folgenden wird der Wiederherstellungsprozessor näher erläutert. Beim dem in diesem Ausführungsbeispiel eingesetzten Wiederherstellungsprozessor 16 kann es sich um einen bereits bekannten Wiederherstellungsprozessor handeln. Dieser Wiederherstellungsprozessor 16 empfängt die Ersatzsteuerdaten 32 von der Austauscheinrichtung 38 der Einrichtung 14 zur Erzeugung von Ersatzsteuerdaten und die komprimierte Datenreihe 28 von der Aufteileinrichtung 40.
Die einzelnen Steuerdaten 26 werden eingegeben und an den durch die vorangestellte Adresse der Steuerdaten 26 festgelegten Stellen abgespeichert, wodurch es möglich ist, die entsprechenden Steuerdaten auf einfache Weise in den Wiederherstellungsprozessor 16 einzuspeichern, ohne daß hierzu, wie beim Stand der Technik, die der komprimierten Datenreihe entsprechenden Steuerdaten mit Hilfe einer Software abgerufen werden müßten.
Wenn beispielsweise die Eingabe der ersten Steuerdaten 26a der ersten Einheitsdatei 24 gemäß 2 in Form der Ersatzsteuerdaten 32 erfolgt, so wird die ”Datenmenge (NA) der ersten Quelldatenreihe” an der Adresse eingeschrieben, die durch die vorangestellte ”Registeradresse a(NA) zur Eingabe der Datenmenge der ersten Quelldatenreihe” festgelegt ist.
In entsprechender Weise werden die durch die dynamischen Steuerdaten ersetzten Leerdaten 26ax, d. h. die ”Datenmenge (MA) der ersten komprimierten Datenreihe” 30a, an der durch die vorangestellte ”Registeradresse zur Bestimmung des Umfangs der ersten komprimierten Datenreihe” eingeschrieben.
Danach stellt der Wiederherstellungsprozessor 16 mit Hilfe der eingegebenen Ersatzsteuerdaten 32 die komprimierten Datenreihen 28 wieder her und erzeugt so die wiederhergestellten Datenreihen 34. Die erste komprimierte Datenreihe 28a wird dabei beispielsweise an der Adresse eingeschrieben, die durch die ihr vorangestellte ”Registeradresse a(A) zum Einschreiben der ersten komprimierten Datenreihe” festgelegt ist, woraufhin der Wiederherstellungsprozessor 16 mit Hilfe der eingegebenen Ersatzsteuerdaten 32 die erste komprimierte Datenreihe 28a wiederherstellt und so die wiederhergestellte Datenreihe 34 erzeugt.
Außerdem liefert bei diesem Ausführungsbeispiel nach Beendigung der Wiederherstellung der ersten komprimierten Datenreihe 28a der Wiederherstellungsprozessor 16 eine Endmitteilung an die Einrichtung 14 zur Erzeugung von Ersatzsteuerdaten. Wenn die Einrichtung 14 zur Erzeugung von Ersatzsteuerdaten die Endmitteilung erhält, liest sie die zweite Einheitsdatei 24b aus dem ersten Speicher 10 aus und erzeugt in entsprechender Weise wie im Fall der ersten Einheitsdatei 24a die der zweiten komprimierten Datenreihe 28b entsprechenden Ersatzsteuerdaten 32. Hierauf stellt der Wiederherstellungsprozessor 16 die zweite komprimierte Datenreihe 28b in gleicher Weise wieder her wie die erste komprimierte Datenreihe 28a.
Daraufhin werden die dritte komprimierte Datenreihe und alle weiteren komprimierten Datenreihen ebenfalls nacheinander in entsprechender Weise wiederhergestellt.
Bei dieser Vorrichtung 100 zur Wiederherstellung komprimierter Daten lassen sich somit die den komprimierten Datenreihen 28 entsprechenden Ersatzsteuerdaten 32 in den Wiederherstellungsprozessor 16 eingeben, so daß die komprimierten Daten 28 ohne den mühsamen Einsatz der Steuersoftware für jede komprimierte Datenreihe 28 wiederhergestellt werden können, wodurch sich wiederum die für die Wiederherstellung benötigte Verarbeitungszeit verringert.
Im folgenden wird die erfindungsgemäße Halbleiterprüfvorrichtung näher erläutert.
Unter Bezugnahme auf 7 wird dabei ein Beispiel einer (im folgenden auch als ”Prüfvorrichtung für hochintegrierte Schaltungen” bezeichnete) Halbleiterprüfvorrichtung 70 beschrieben, welche die erläuterte Vorrich tung 100 zur Wiederherstellung komprimierter Daten enthält.
Da die Prüfvorrichtung 70 für hochintegrierte Schaltungen, abgesehen von dem Bereich, der die Vorrichtung 100 zur Wiederherstellung komprimierter Daten umfaßt, im wesentlichen denselben Aufbau besitzt wie eine herkömmliche Prüfvorrichtung für integrierte Schaltungen, wird hier nicht näher auf diese Prüfvorrichtung eingegangen.
Die Prüfmusterdaten zum Prüfen integrierter Halbleiterschaltungen werden durch eine Einrichtung 60 zur Erzeugung von Prüfmusterdaten in Abhängigkeit von den zu prüfenden integrierten Halbleiterschaltungen (hochintegrierten Schaltungen) erstellt. Die Einrichtung 60 zur Erzeugung von Prüfmusterdaten wird dabei durch einen Rechner 62 gesteuert. Danach erzeugt ein ebenfalls vom Rechner 62 gesteuerter Simulator 64 in Abhängigkeit von den zu prüfenden hochintegrierten Schaltungen eine enorme Menge an Prüfmusterdaten.
Die Prüfmusterdaten werden üblicherweise im Hinblick auf ihre Funktion, ihre Verwaltung oder in anderer Weise klassifiziert, wobei die Datenmengen einer einzelnen Datenreihe beispielsweise etwa im Bereich von 1 MB bis 10 MB liegt. Danach werden zur Überprüfung einer einzigen Signalart der integrierten Halbleiterschaltungen Prüfmusterdaten erzeugt, die beispielsweise aus mehreren tausend Datenreihen bestehen.
Die so erzeugten Prüfmusterdaten werden über eine allgemeine Netzwerkleitung 68 an die Prüfvorrichtung für hochintegrierte Schaltungen übertragen. Um diese Datenmenge zu reduzieren, werden die Prüfmusterdaten kompri miert, wobei sich die Datenmenge insbesondere aufgrund der Vielzahl an iterativen Daten durch die Komprimierung erheblich verringern läßt. Andererseits unterscheidet sich die Anzahl der komprimierten Datenreihen selbst nicht von der Anzahl der Datenreihen vor der Komprimierung, d. h. es verbleiben mehrere tausend Datenreihen.
Beim Komprimieren der Prüfmusterdaten werden die Hauptdatei 20 mit der in 2 dargestellten Speicherkonfiguration und die Unterdatei 22 mit der in 3 dargestellten Speicherkonfiguration erzeugt. Die Hauptdatei 20 und die Unterdatei 22 werden sodann vorübergehend in einem Speicher 66 der Einrichtung 60 zur Erzeugung von Prüfmustern abgespeichert.
Nach der Übertragung der Prüfmusterdaten von der Einrichtung 60 zur Erzeugung der Prüfmusterdaten an die Prüfvorrichtung 70 für hochintegrierte Schaltungen werden die Hauptdatei 20 und die Unterdatei 22 im ersten Speicher 10 bzw. im zweiten Speicher 12 der Einrichtung 100 zur Wiederherstellung komprimierter Daten abgespeichert (siehe 1).
Die Prüfvorrichtung 70 für hochintegrierte Schaltungen wird durch einen Rechner 72 gesteuert. Die Vorrichtung 100 zur Wiederherstellung komprimierter Daten führt sodann ebenfalls unter der Steuerung durch diesen Rechner 72 die Wiederherstellung der Prüfmusterdaten in der beschriebenen Weise durch. Bei diesem Wiederherstellungsvorgang werden mehrere tausend komprimierte Dateien nacheinander wiederhergestellt, ohne daß dabei, wie beim Stand der Technik, eine Steuersoftware zum Einsatz kommt, was eine erhebliche Verkürzung der Wiederher stellungszeit ermöglicht, so daß sich eine längere tatsächliche Betriebszeit der Halbleiterprüfvorrichtung erzielen läßt.
Die so wiederhergestellten Prüfmusterdaten werden sodann in einem Mustergenerator 74 eingeschrieben und beim Prüfen der integrierten Halbleiterschaltungen verwendet.
Das beschriebene Ausführungsbeispiel stellt eine bestimmten Bedingungen entsprechende Ausführungsform der vorliegende Erfindung dar; diese Erfindung läßt sich jedoch auch in verschiedener Weise modifizieren. So umfassen beispielsweise beim beschriebenen Ausführungsbeispiel die Steuerdaten zwei Datenmengen, d. h. die Datenmenge der Quelldatenreihe und die der komprimierten Datenreihe, wobei die Anzahl und Art der Datenreihen gemäß der vorliegenden Erfindung allerdings nicht hierauf beschränkt ist. Außerdem sind die dynamischen Steuerdaten nicht allein auf die Datenmenge der komprimierten Datenreihe beschränkt. So kann beispielsweise eine Einheitsdatei auch eine Vielzahl dynamischer Steuerdaten für jede komprimierte Datenreihe enthalten.
Die vorliegende Erfindung wurde anhand eines Ausführungsbeispiels beschrieben, bei dem alle Einheitsdateien 24 der Hauptdatei 20 nacheinander zur Durchführung der Wiederherstellung ausgelesen werden. Die Erfindung beschränkt sich jedoch nicht auf die Wiederherstellung aller Einheitsdateien; vielmehr können beispielsweise einige ausgewählte Einheitsdateien der Hauptdatei aus dem ersten Speicher ausgelesen werden. In diesem Fall werden vorzugsweise die diesen Einheits dateien entsprechenden dynamischen Steuerdaten selektiv aus dem zweiten Speicher ausgelesen.

Claims

Vorrichtung zur Wiederherstellung komprimierter Daten, die als eine Vielzahl von komprimierten Datenreihen vorliegen und durch Komprimierung einer Vielzahl von Quelldatenreihen erzeugt wurden, wobei diese Vorrichtung (100) folgende Bauteile enthält: – einen ersten Speicher (10) zum Speichern einer Hauptdatei (20), die aus einer Vielzahl von Einheitsdateien (24) besteht, welche jeweils eine komprimierte Datenreihe (28) sowie für die Wiederherstellung derselben benötigte Steuerdaten (26) enthalten, die Angaben zum Umfang der Quelldatenreihe und der komprimierten Datenreihe aufweisen, und wobei die Hauptdatei (20) Leerdaten (26x) anstelle von nach Erzeugung der komprimierten Datenreihen (28) zu gewinnenden dynamischen Steuerdaten (30) enthält; – einen zweiten Speicher (12) zum Speichern einer Unterdatei (22), die die nach Erzeugung der komprimierten Datenreihen (28) aus den Steuerdaten (26) für die komprimierten Datenreihen gewonnenen dynamischen Steuerdaten (30) enthält; – eine Einrichtung (14) zur Erzeugung von Ersatzsteuerdaten (32), die bei der Erzeugung der wiederhergestellten Datenreihen (34) aus den komprimierten Datenreihen (28) die Einheitsdateien (24) nacheinander aus dem ersten Speicher (10) und die dynamischen Steuerdaten (30) gleichzeitig und alle gemeinsam aus dem zweiten Speicher (12) ausliest, um für jede Einheitsdatei (24) die Leerdaten (26x) der Steuerdaten (26) durch die dynamischen Steuerdaten (30) der Unterdatei (22) zu ersetzen und dadurch die Ersatzsteuerdaten (32) zu erzeugen; und – einen Wiederherstellungsprozessor (16), der die komprimierten Datenreihen (28) und die von der Einrichtung (14) zur Erzeugung von Ersatzsteuerdaten gelieferten Ersatzsteuerdaten (32) für jede der Einheitsdateien (24) verarbeitet, um die komprimierten Datenreihen unter Verwendung der Ersatzsteuerdaten wiederherzustellen und so die wiederhergestellten Datenreihen (34) zu erzeugen.
Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei jede Einheitsdatei (24) der Hauptdatei (20) als Kopfdaten der Steuerdaten (26) und der komprimierten Datenreihen (28) Positionsangaben enthält, die anzeigen, an welcher Stelle die Steuerdaten und die komprimierte Datenreihe im Wiederherstellungsprozessor (16) abzuspeichern sind.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, wobei die Einrichtung (14) zur Erzeugung von Ersatzsteuerdaten (32) die folgenden Bauteile umfaßt: – eine Aufteileinrichtung (40), die die aus dem ersten Speicher (10) ausgelesenen Einheitsdateien (24) in die komprimierten Datenreihen (28) und die Steuerdaten (26) aufteilt, um die komprimierten Datenreihen (28) dem Wiederherstellungsprozessor (16) als Ausgangsdaten zuzuführen; – eine Anordnungseinrichtung (36), die es ermöglicht, daß die Reihenfolge, in der die kollektiv aus dem zweiten Speicher (12) ausgelesenen dynamischen Steuerdaten (30) jeweils einzeln ausgegeben werden, mit der Reihenfolge übereinstimmt, in der die Aufteileinrichtung (40) die durch diese dynamischen Steuerdaten (30) zu ersetzenden Leerdaten (26x) ausgibt; und – eine Austauscheinrichtung (38), die zur Erzeugung der als Ausgangsdaten an den Wiederherstellungsprozessor (16) zu liefernden Ersatzsteuerdaten (32) die von der Aufteileinrichtung (40) ausgegebenen Leerdaten (26x) durch die einzeln nacheinander von der Anordnungseinrichtung (36) ausgegebenen dynamischen Steuerdaten (30) ersetzt.
Vorrichtung nach Anspruch 3, wobei die Aufteileinrichtung (40) auf der Grundlage jeweiliger Positionsangaben der Steuerdaten (26) und der komprimierten Datenreihe (28) der Einheitsdateien (24) feststellt, ob es sich bei den jeweiligen Daten um die Steuerdaten oder die komprimierte Datenreihe handelt, sofern die Einheitsdateien derartige Positionsangaben enthalten.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 oder 4, wobei die Austauscheinrichtung (38) die folgenden Bauteile umfaßt, sofern die Einheitsdateien (24) Positionsangaben enthalten: – einen Decodierer (50), der auf der Grundlage der Positionsangaben der Steuerdaten (26) feststellt, ob es sich bei den jeweiligen Steuerdaten um Leerdaten (26x) handelt oder nicht, und ein Austauschbefehlsignal (54) ausgibt, sofern die Steuerdaten Leerdaten sind; und – einen Multiplexer (52) zum Ersatz der Leerdaten (26x) durch die dynamischen Steuerdaten (30) in Antwort auf das Austauschbefehlsignal (54).
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3, 4 oder 5, wobei die Anordnungseinrichtung (36) einen Zwischenspeicher (42) zur zeitlich befristeten Speicherung der aus dem zweiten Speicher (12) ausgelesenen dynamischen Steuerdaten (30) enthält, der die dynamischen Steuerdaten in der Reihenfolge ihrer Speicherung ausgibt.
Vorrichtung nach Anspruch 6, wobei die Reihenfolge der Anordnung der Einheitsdateien (24) in der Hauptdatei (20) mit der Reihenfolge der Anordnung der diesen Einheitsdateien entsprechenden dynamischen Steuerdaten (30) in der Unterdatei (22) übereinstimmt.
Vorrichtung nach Anspruch 6, wobei die Anordnungseinrichtung (36) eine Umordnungseinrichtung (44) zur Steuerung der Reihenfolge der dem Zwischenspeicher (42) einzugebenden dynamischen Steuerdaten (30) enthält.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei – die Steuerdaten (26) die Datenmenge der Quelldatenreihe und die der komprimierten Datenreihe (28) enthalten, – während die dynamischen Steuerdaten (30) die Datenmenge der komprimierten Datenreihe (28) umfassen.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei die Einrichtung (14) zur Erzeugung von Ersatzsteuerdaten (32) – selektiv einige der Einheitsdateien (24) der Hauptdatei (20) aus dem ersten Speicher (10) ausliest und – diejenigen dynamischen Steuerdaten (30) der Unterdatei (22) aus dem zweiten Speicher (12) ausliest, die den selektiv ausgelesenen Einheitsdateien (24) entsprechen.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, in Form einer Halbleiterprüfvorrichtung, bei der die Quelldatenreihe durch Prüfmusterdaten zum Prüfen integrierter Halbleiterschaltungen gebildet wird.
Verfahren zur Komprimierung und Wiederherstellung von Daten, enthaltend die folgenden Verfahrensschritte: – Erzeugung einer Vielzahl von komprimierten Datenreihen (28) durch Komprimierung einer Vielzahl von Quelldatenreihen, – Erzeugung einer Hauptdatei (20) mit einer Vielzahl von Einheitsdateien (24), die jeweils eine komprimierte Datenreihe (28) sowie für die Wiederherstellung derselben benötigte Steuerdaten (26) enthalten, die Angaben zum Umfang der Quelldatenreihe und der komprimierten Datenreihe aufweisen, wobei die Hauptdatei Leerdaten (26x) anstelle von nach Erzeugung der komprimierten Datenreihen zu gewinnenden dynamischen Steuerdaten (30) enthält, – Erzeugung einer Unterdatei (22), die die nach Erzeugung der komprimierten Datenreihen (28) aus den Steuerdaten (26) für die komprimierten Datenreihen gewonnenen dynamischen Steuerdaten (30) enthält, – aufeinanderfolgendes Auslesen der Einheitsdateien (24) der Hauptdatei (20) und gleichzeitiges, gemeinsames Auslesen der dynamischen Steuerdaten (30), um für jede Einheitsdatei (24) die Leerdaten (26x) der Steuerdaten (26) durch die dynamischen Steuerdaten (30) zu ersetzen und dadurch Ersatzsteuerdaten (32) zu erzeugen, – Verarbeitung der komprimierten Datenreihen (28) und der Ersatzsteuerdaten (32) für jede der Einheitsdateien (24), um aus den komprimierten Datenreihen die wiederhergestellten Datenreihen (34) zu erzeugen.
Verfahren nach Anspruch 12, wobei zur Erzeugung der Ersatzsteuerdaten (32) die Reihenfolge der Wiederherstellung der komprimierten Datenreihen (28) mit der Anordnungsreihenfolge direkt vor dem Ersetzen durch die den jeweiligen komprimierten Datenreihen entsprechenden dynamischen Steuerdaten (30) in Übereinstimmung gebracht wird.