DE06014164T1 - Vorrichtung und Verfahren zur Kompensation und Bereitstellung eines nachgiebigen Bereichs für einen Prüfkopf - Google Patents

Vorrichtung und Verfahren zur Kompensation und Bereitstellung eines nachgiebigen Bereichs für einen Prüfkopf Download PDF

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Abstract

Vorrichtung zum Unterstützen einer Last, die umfasst:
einen Kraftsensor, um eine von der Last aufgenommene Kraft zu detektieren, wobei sich die Kraft daraus ergibt, dass die Last nicht ausbalanciert ist, so dass um eine Drehachse der Last ein Drehmoment erzeugt wird;
eine Kraftquelle, um in Reaktion auf die durch den Kraftsensor detektierte Kraft in Bezug auf die Last eine Gegenkraft bereitzustellen.

Claims (25)

  1. Vorrichtung zum Unterstützen einer Last, die umfasst: einen Kraftsensor, um eine von der Last aufgenommene Kraft zu detektieren, wobei sich die Kraft daraus ergibt, dass die Last nicht ausbalanciert ist, so dass um eine Drehachse der Last ein Drehmoment erzeugt wird; eine Kraftquelle, um in Reaktion auf die durch den Kraftsensor detektierte Kraft in Bezug auf die Last eine Gegenkraft bereitzustellen.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, die ferner eine Verriegelung umfasst, wobei die Verriegelung eine Position der Last aufrechterhält, wenn der Kraftsensor die Kraft detektiert und wenn die Verriegelung in einem verriegelten Zustand ist.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Kraftquelle einen Bewegungsausgleichsbereich für die Last bereitstellt, wenn die Last um die Achse ausbalanciert ist und wenn die Verriegelung in einem entriegelten Zustand ist.
  4. Vorrichtung zum Ausbalancieren einer Last, wobei die Last in einem nicht ausbalancierten Zustand ist, so dass ein Drehmoment um die Drehachse der Last erzeugt wird, wobei die Vorrichtung umfasst: einen Kraftsensor, um einen Betrag der Kraft zu messen, die die Last auf den Kraftsensor als Folge der Tatsache, dass die Last nicht ausbalanciert ist, ausübt; und einen Kraftgenerator, der eine Gegenkraft erzeugt, um der Kraft entgegenzuwirken.
  5. Vorrichtung nach Anspruch 4, die ferner eine Verriegelung umfasst, wobei die Verriegelung eine Position der Last aufrechterhält, wenn der Kraftsensor den Betrag der Kraft misst und wenn die Verriegelung in einem verriegelten Zustand ist.
  6. Vorrichtung nach Anspruch 5, bei der der Kraftgenerator einen Bewegungselastizitätsbereich für die Last schafft, wenn die Last um die Achse ausbalanciert ist und wenn die Verriegelung in einem entriegelten Zustand ist.
  7. Vorrichtung nach Anspruch 1, die ferner umfasst: eine Elastizitätseinheit, um einen Bewegungsbereich für die Last in Bezug auf die Achse zu schaffen, wobei die Elastizitätseinheit eine Verriegelung aufweist, wobei die Verriegelung einen Verriegelungsort innerhalb des Bewegungsbereichs fixiert, wenn die Verriegelung in einem verriegelten Zustand ist; und eine Antriebseinheit, die mit der Ausgleichseinheit gekoppelt ist, um die Last in einer Richtung der Achse anzutreiben, wenn die Verriegelung in dem verriegelten Zustand ist.
  8. Vorrichtung nach Anspruch 7, bei der der Ort der Verriegelung innerhalb des Bewegungsbereichs als Folge der Tatsache, dass die Antriebseinheit die Verriegelung antreibt, veränderbar ist, wenn die Verriegelung in einem entriegelten Zustand ist.
  9. Vorrichtung nach Anspruch 7, bei der die Achse der Last eine Drehachse ist.
  10. Vorrichtung nach Anspruch 7, bei der die Elastizitätseinheit an jedem Ende des Bewegungsbereichs einen Anschlag umfasst, wobei die Verriegelung zwischen den Anschlägen angeordnet ist.
  11. Vorrichtung nach Anspruch 10, bei der die Antriebseinheit die Last in einer Richtung der Achse antreibt, wenn die Verriegelung in einem entriegelten Zustand ist wenn die Verriegelung mit einem der Anschläge in Kontakt ist.
  12. Vorrichtung nach Anspruch 7, bei der die Antriebseinheit durch einen Motor angetrieben wird.
  13. Vorrichtung nach Anspruch 7, bei der die Antriebseinheit unabhängig von der Kraftquelle gesteuert wird.
  14. Vorrichtung nach Anspruch 7, die ferner umfasst: einen Aktor, der mit der Verriegelung gekoppelt ist, um die Trägerstruktur in einer Richtung anzutreiben, wobei der Aktor als Folge der Tatsache, dass der Aktor die Trägerstruktur antreibt, den Ort des Bewegungsbereichs ändert, wenn die Verriegelung in einem verriegelten Zustand ist.
  15. Verfahren zum Ankoppeln eines elektronischen Prüfkopfs, der in einem Prüfkopf-Manipulator gehalten wird, an eine Handhabungseinrichtung für elektronische Vorrichtungen, wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfasst: Messen einer Größe einer Ungleichgewichtskraft längs wenigstens einer oder um wenigstens eine von mehreren Bewegungsachsen des Prüfkopf-Manipulators; und Bereitstellen einer Gegenkraft für die Ungleichgewichtskraft, bis die Ungleichgewichtskraft im Wesentlichen null ist.
  16. Verfahren nach Anspruch 15, das ferner den folgenden Schritt umfasst: Bewegen des Prüfkopfs zu einer Ankoppelungsposition in Bezug auf die Vorrichtungshandhabungseinrichtung, während die Gegenkraft ausgeübt wird.
  17. Verfahren nach Anspruch 15, das ferner den folgenden Schritt umfasst: Ausrichten wenigstens einer von mehreren Ausrichtstrukturen, die an dem Prüfkopf oder an der Handhabungseinrichtung befestigt sind, auf wenigstens einen von mehreren Ausrichtaufnahmebehältern, die an dem jeweils anderen des Prüfkopfs und der Handhabungseinrichtung befestigt sind, wobei der Ausrichtschritt abgeschlossen wird, während die Gegenkraft bereitgestellt wird.
  18. Verfahren nach Anspruch 15, das zusätzlich den folgenden Schritt umfasst: Aufrechterhalten der Gegenkraft, während der Prüfkopf angekoppelt ist.
  19. Verfahren nach Anspruch 15, das zusätzlich den folgenden Schritt umfasst: Aufzeichnen des Betrags der Gegenkraft.
  20. Verfahren nach Anspruch 15, das zusätzlich den folgenden Schritt umfasst: erneutes Ausüben der Gegenkraft, bevor der Prüfkopf abgekoppelt wird.
  21. Verfahren nach Anspruch 15, das zusätzlich den folgenden Schritt umfasst: Ausüben der Gegenkraft mit einem Druckluftzylinder.
  22. Verfahren nach Anspruch 16, das zusätzlich den folgenden Schritt umfasst: Aufrechterhalten der Gegenkraft, während der Prüfkopf angekoppelt ist.
  23. Verfahren nach Anspruch 16, das zusätzlich den folgenden Schritt umfasst: Aufzeichnen des Betrags der Gegenkraft.
  24. Verfahren nach Anspruch 16, das zusätzlich den folgenden Schritt umfasst: erneutes Ausüben der Gegenkraft, bevor der Prüfkopf abgekoppelt wird.
  25. Verfahren nach Anspruch 16, das zusätzlich den folgenden Schritt umfasst: Ausüben der Gegenkraft mit einem Druckluftzylinder.
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