DE102004018474A1

DE102004018474A1 - Manipulator

Info

Publication number: DE102004018474A1
Application number: DE200410018474
Authority: DE
Inventors: Josef Weinberger
Original assignee: Esmo AG
Current assignee: Esmo AG
Priority date: 2004-04-16
Filing date: 2004-04-16
Publication date: 2005-11-10

Abstract

Ein Manipulator für eine Last hat ein Stativ (8), eine mit dem Stativ (8) verbundene Aufnahme (3-5) für die Last, wobei die Aufnahme (3-5) eine Bewegung der Last gegenüber dem Stativ (8) bezüglich mindestens einer ersten Achse (z) erlaubt, und einen Antrieb (12-18), der die Bewegung der Last längs der ersten Achse (16) unterstützt. Außerdem ist eine längs der ersten Achse (16) wirkende Elastizitätseinrichtung (11, 19) vorgesehen.

Description

Die Erfindung betrifft einen Manipulator nach den Oberbegriffen der unabhängigen Patentansprüche. Ein solcher Manipulator ist aus der EP 87100158.2 oder DE 27 42 163 bekannt.

Manipulatoren dienen dem Bewegen schwerer Lasten. Ein Einsatzgebiet ist das Bewegen schwerer Testköpfe für integrierte Schaltungen, beispielsweise CPUs. Herstellungsbedingt besteht hier regelmäßig das Interesse, Testköpfe zu ICs hin zu bewegen. Die Testköpfe können aufgrund komplexer Schaltungstechnik ihrerseits sehr schwer sein. Gewichte über 500 kg sind inzwischen als normal anzusehen. Auch der Einsatz von Testköpfen mit Gewichten über 1000 kg ist zu erwarten.

Insbesondere bei der Bewegungen von Testköpfen für integrierte Schaltungen bestehen folgende Bedürfnisse:

– die Bewegung muß spielfrei sein, da die Ortstoleranzen der Bewegung sehr gering sind;
– die Testköpfe und deshalb auch die Manipulatoren kommen häufig im Reinraum zum Einsatz. Da Fläche und Volumen im Reinraum außerordentlich teuer sein, ist Kleinheit der Manipulatoren erwünscht;
– da Reinräume komplizierte Luftführungen benötigen, sind deren Böden häufig aufgestelzt und haben deshalb eine begrenzte Flächenlast von beispielsweise 500 kg/m². Wenn ein Manipulator samt Testkopf bestimmungsgemäß aufgestellt sein soll, wäre bei einem Gesamtgewicht von beispielsweise 1 t schon eine Fläche von 2 m² vorzusehen, was der vorher genannten Forderung nach Kleinheit entgegenläuft;
– der Testkopf soll durch einen Anwender bewegt werden können. Dies erfordert reibungsarme Lagerungen an Drehachsen und Translationsachen und Drehachsenführungen durch die jeweiligen Schwerpunktslagen hindurch. Was die Bewegung gegen die Schwerkraft angeht (vertikal), sind Unterstützungsmechanismen notwendig.

Ein bekannter Unterstützungsmechanismus ist das Vorsehen von Gegengewichten bei einer vertikalen Seilzugführung des Testkopfs. Nachteil ist, daß das gleiche hohe Gewicht, wie es der Testkopf schon aufweist, nochmals beim Gegengewicht vorzusehen ist. Dadurch steigt das Gesamtgewicht und dementsprechend der Flächenbedarf, was insbesondere in teuren Reinräumen unerwünscht ist. Auch die Massenträgheit wird immer größer.

Ein weiterer Unterstützungsmechanismus ist, durch einen technischen Antrieb (Elektromotor, Hydraulik, Pneumatik) unterstützende Kräfte zu denjenigen eines Benutzers bereitzustellen. Dabei ist aber nach wie vor die Benutzerführung erwünscht, da sich dadurch das Positionieren und Einstellen der zu bewegenden Last (Testkopf) in gewünschter Flexibilität und Genauigkeit am einfachsten bewerkstelligen läßt. Dies führt dazu, daß die unterstützende Kraft letzendlich geringer ist als die Summe aus Gewichtskraft und Standreibungskraft, so daß der Antrieb alleine die Bewegung nicht bewirkt, aber gegebenenfalls zusammen mit der zusätzlichen Kraft des Bedieners die vertikale Bewegung des Testkopfs bzw. allgemein der Last hervorrufen kann.

Der Nachteil von technischen Antriebssystemen gegenüber Gewichten ist jedoch, daß unter Umständen das Antriebssystem bedin gungslos Antriebskraft zur Verfügung stellt, so daß es zu unerwünschten Betriebszuständen kommen kann. Beispielsweise ist denkbar, daß versehentlich ein Testkopf auf den Fuß eines Bedieners gesetzt wird und der Antrieb dies mit Kraft nach unten vollzieht, so daß es zu Quetschungen kommen kann. Ein anderes Beispiel ist das Andocken des Testkopfs an die Einrichtung, die den zu testenden Chip hält. Hier ist mechanische Kontaktierung erwünscht. Auch sind vergleichsweise hohe Kontaktkräfte zu überwinden, um federbelastete Kontaktstifte geeignet anzudrücken. Gleichwohl muß die Führung so sein, daß nicht übermäßig hohe Kräfte oder Kräfte zum falschen Zeitpunkt oder an der falschen Stelle aufgebracht werden.

Das Kontaktieren zwischen Testkopf einerseits und Testaufnahme des zu vermessenden Chips andererseits geschieht in der Weise, daß die grobe Annäherung durch den Bediener bewirkt wird. Hierbei wird der Manipulator bestimmungsgemäß verwendet. Er erlaubt das Schwenken des Testkopfs um eine, vorzugsweise zwei, weiter vorzugsweise drei Drehachsen, und er erlaubt ebenso dessen translatorische Bewegung in zwei oder drei Raumachsen.

Drehbewegungen sind im allgemeinen kein Problem, da bei einer Drehung um eine vertikale Achse Hubarbeit nicht zu verrichten ist und die Last bei Drehung um horizontale Achsen so gehalten ist, daß die Drehachsen durch den Schwerpunkt der Last laufen, so daß auch insoweit keine Hubarbeit zu verrichten ist. Auch Translationen längs horizontaler Raumrichtungen (in dieser Beschreibung x- und y-Richtung) erfordern geringe Kräfte, da auch hier nur die geringe Reibungskraft zu überwinden ist.

Bei Translationen in vertikaler Richtung jedoch ist Hubarbeit zu verrichten bzw. in der Abwärtsbewegung das hohe Gewicht zu halten. Hierfür können technische Antriebe vorgesehen sein, beispielsweise Elektromotoren. Dann kann aber das Problem auftreten, daß bei spielsweise bei Fehlbedienungen durch den Benutzer schon Kontakte entstehen, bevor die Last in der gewünschten Position ist, so daß der Antrieb möglicherweise noch schiebt, wenn dies schon längst nicht mehr sein sollte. Zerstörung der Last oder einer Koppelstelle der Last und/oder Verletzungen können die Folge sein.

Soweit der Bediener die Last richtig bewegt, wird beim Testen von Chips der Testkopf (Tester) von Hand in die richtige Winkellage und die richtige Raumlage so weit verbracht, daß er wenige Zentimeter von der gewünschten Testposition entfernt ist. Häufig ist diese bedienereingestellte Position beispielsweise durch mechanische Anschläge definiert. Ausgehend von dieser definierten Zwischenposition übernimmt dann eine Docking-Einrichtung das sogenannte "Docking", also das Verbringen des Testkopfs von der Zwischenposition zur endgültigen Meßposition. An dieser Stelle ist erwünscht, daß technische Systeme nicht gegeneinander arbeiten, daß also insbesondere der Manipulator nicht vertikal unerwünschte Kräfte zusätzlich zu denjenigen der Docking-Einrichtung einbringt.

Aufgabe der Erfindung ist es, einen Manipulator anzugeben, der die sichere Bewegung schwerer Lasten während der Benutzerführung und während des Dockings erlaubt.

Diese Aufgabe wird mit den Merkmalen der unabhängigen Patentansprüche gelöst. Abhängige Patentansprüche sind auf bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung gerichtet.

Ein Manipulator für eine Last hat ein Stativ, eine mit dem Stativ verbundene Aufnahme für die Last, wobei die Aufnahme eine Bewegung der Last gegenüber dem Stativ bezüglich mindestens einer ersten Achse erlaubt, und einen Antrieb, der die Bewegung der Last längs der ersten Achse unterstützt. Außerdem ist eine Elastizitätseinrichtung vorgesehen, die längs der ersten Achse Elastizität im Antriebs strang hervorruft. Die Elastizitätseinrichtung kann ein mechanischelastisches Element aufweisen oder sein, das im Antriebsstrang liegend im Kräftegleichgewicht ist und in beide Richtungen längs der ersten Achse Bewegungen zuläßt. Der Antrieb kann einen Seilzug aufweisen, wobei die Elastizitätseinrichtung ein Element des Seilzugs elastisch lagert, insbesondere die Seiltrommel des Seilzugs so, daß sie nach Maßgabe der gewünschten Elastizität längs der ersten Achse elastisch verschieblich ist.

Die Elastizitätseinrichtung kann auch regelungstechnisch bewirkt sein. Insbesondere ist dann geeignete Sensorik und eine geeignete Regelung vorzusehen. Als Stellglied kann der sowieso vorhandene Motor verwendet werden.

Auch jenseits regelungstechnischer Implementation der Elastizität kann ein Sensor zur Erfassung der im Antriebsstrang herrschenden Kraft vorgesehen sein. Er kann allgemein zu Steuerungs- bzw. Regelungszwecken verwendet werden. Der Antrieb kann einen Elektromotor aufweisen.
Nachfolgend werden bezugnehmend auf die Zeichnungen einzelne Ausführungsformen der Erfindung beschrieben. Es zeigen:
1 eine schematische Seitenansicht eines Manipulators,
2 ein mechanisches Ersatzschaltbild,
3 eine regelungstechnische Implementierung, und
4 eine mechanische Implementierung.
1 zeigt in schematischer Seitenansicht einen Manipulator. Auf dem Boden 9 steht ein Stativ 8 geeigneter Größe. Es weist einen Turm 2 auf, längs dessen eine Schlitten 3 in einer ersten Achse (hier vertikal) verfahrbar ist. Der Turm 2 kann in den beiden horizontalen Koordinaten verfahrbar sein. Rechts unten in 1 ist ein Koordina tensystem angedeutet. Die x-Koordinate zeigt aus der Zeichenebene heraus, y nach rechts und z in der Zeichenebene nach oben. Der Schlitten 3 ist also längs der z-Achse verfahrbar.
1 symbolisiert die Last, die mit dem Manipulator verfahrbar und verschwenkbar sein soll. 1a symbolisiert die Kontakteinrichtung, mit der der Testkopf 1 elektrisch die zu testende Struktur kontaktieren kann. 1b symbolisiert mechanische Führungen bzw. Zentrierungen. Am Schlitten 3 greift ein Zwischenelement 4 an. Zwischen Schlitten 3 und Zwischenelement 4 kann ein Gelenk 3a vorgesehen sein, das eine Drehung um eine vertikale Drehachse (z-Achse) zuläßt. Aus dem Zwischenelement 4 ragt ein Arm 5 heraus. Zwischen beiden kann ein Gelenk 4a vorgesehen sein, daß eine Drehung um die y-Achse zuläßt. Der Arm 5 schließlich hält die Last 1 mittels eines Gelenks 5a, das eine Drehung um die x-Achse zuläßt.
Weiterhin ist ein Antrieb 12–18 vorgesehen, der die Bewegung der Last längs der ersten Achse (z-Achse in der gezeigten Ausführungsform) unterstützt. Der Antrieb kann am Stativ 8 oder am (schon translatorisch verfahrbaren) Turm 2 angebracht sein.
Der Schlitten 3 wird in nicht gezeigten Schienen geführt und ist vertikal verschieblich. Er weist einen Antrieb 12–18 auf, der in der gezeigten Ausführungsform einen Seilzug mit insbesondere einem Seil 18 aufweisen kann. Das Seil 18 läuft oben über eine Umlenkrolle 17 und dann nach unten auf eine Trommel 16, die über ein Getriebe bestehend aus Zahnrad 15e, Kette 15d, Zahnrad 15c, Zahnrad 15b und Schnecke 15a von einem Motor 14 angetrieben wird. Das Seil 18 kann so auf der Rolle 16 aufgewickelt bzw. von ihr abgewickelt werden. Die Trommel 16 und ihr Antrieb können in der unteren Hälfte des Turms liegen. Statt eines auf- und abwickelbaren Seils könn auch eine Kette oder ein Riemen verwendet werden, die auch umlaufend (endlos) ausgebildet sein können.
19 symbolisiert eine Steuerung, die insbesondere den Betrieb des Motors 14 steuert bzw. regelt. Es kann Sensorik vorhanden sein, beispielsweise Positionssensorik. Auch können – nicht gezeigte – Eingabemöglichkeiten und Eingriffsmöglichkeiten für eine Bedienperson vorgesehen sein.
Die Elastizitätseinrichtung 11 wird in der gezeigten Ausführungsform dadurch gebildet, daß die Kabeltrommel 16 elastisch in Zugrichtung des Seils beweglich ist. Um dies zu erreichen, wird in der gezeigten Ausführungsform die Kabeltrommel 16 um eine Achse 13 herum schwenkbar gelagert, und eine Feder 11 drückt im Uhrzeigersinn gegen die vom Gewicht des Schlittens 3 zusammen ggf. mit dem Tester 1 hervorgerufene Drehtendenz gegen den Uhrzeigersinn. In der gezeigten Ausführungsform ist dann nicht nur die Kabeltrommel schwenkbar gelagert, sondern starr mit ihr verbunden auch das Getriebe 15 und der Motor 14. Diese Komponenten können auf einem gemeinsamen, drehbeweglich gelagerten Chassis 12 gebaut sein. Das Chassis 12 befindet sich im Kräfte- bzw. Momentengleichgewicht dahingehend, daß das Zugseil 18 ein Moment gegen den Uhrzeigersinn um Achse 13 herum bewirkt, während die Feder (hier eine Druckfeder) 11 solange komprimiert wird, bis sie ein gleich großes Moment im Uhrzeigersinn um die Achse 13 herum erzeugt. Um den Gleichgewichtspunkt herum kann das Chassis 12 samt Trommel 16 in beide Richtungen schwenken.
Das bedeutet, daß die Kopplung der Last 1 mit dem Antrieb 12–18 nicht starr ist. Vielmehr läßt die Elastizitätseinrichtung zusätzlich zur vom Antrieb bewirkten Bewegung in z-Richtung eine Verschiebung der Last 1 bzw. auch ein Festhalten derselben in z-Richtung zu. Auf diese Weise wird vermieden, daß der Antrieb starr mit der Last gekoppelt ist und es so zu Unfällen kommen kann.
2 zeigt schematisch ein mechanisches Ersatzschaltbild der Anordnung in 1: 9 symbolisiert einen Fixpunkt, in 1 entspricht diese dem Boden 9 bzw. den Teilen des Turms 2, an denen sich die Feder 11 abstützt. 21 symbolisiert das Elastizitätselement, also insbesondere die Feder 11 in 1. 22 symbolisiert den Antrieb 14–18, den man sich in 2 als länger und kürzer werdend vorstellen kann. Zusätzlich zur Verlängerung bzw. Verkürzung durch den in sich steifen Antrieb 22 ist eine Verlängerung bzw. Verkürzung über das Elastizitätselement 21 möglich. 23 symbolisiert die Last, also in 1 den Tester 1.
1 zeigt eine mechanische Implementierung der Elastizitätseinrichtung. Stattdessen ist aber auch eine regelungstechnische Implementierung möglich. 3 zeigt eine entsprechende Regelung. Ganz rechts in 3 ist das zu regelnde System angedeutet, also der Manipulator 1–18. Er weist einen Kraftsensor 21 auf, der ein Signal für die tatsächlich im Antriebsstrang herrschende Kraft Ft ausgibt. Durch eine Vorgabeeinrichtung 34 wird eine Soll-Kraft Fs angegeben bzw. vorgegeben. Am Punkt 33 wird die Differenz ΔF gebildet, die in einen ersten Regler 31 gelangt, der seinerseits ein Ansteuersignal C für den herkömmlichen zweiten Regler 32, insbesondere für den Motor 14 des Antriebs ausgibt.
Der zweite Regler kann nicht-linear sein (Schwellenwert-Charakteristik, Hysteresischarakteristik). Der zweite Regler 32 kann beispielsweise im normalen Betrieb lediglich Signale wie vorwärts/rückwärts/Null an den Motor ausgeben und kann seinerseits eine Rückkopplung vom Manipulator 1–18 her haben, was gestrichelt angedeutet ist.
Die regelungstechnische Implementierung des Elastizitätselements kann also so sein, daß der herkömmlichen Steuerung bzw. Regelung des Motors durch die zweite Steuerung/Regelung 32 eine Kraftrege lung überlager oder ggf. auch unterlagert wird. Mechanisch gesehen kann der Antriebsstrang dann starr sein. Durch die Kraftregelung kann aber gleichwohl Elastizität in dem Sinn bewirkt werden, daß bei unerwarteten Gegenkräften, die sich ja in den Antriebsstrang hinein abbilden, der Motor insbesondere so angesteuert werden kann, daß die herrschenden Kräfte z.B. einen bestimmten Schwellenwert nicht überschreiten bzw. vorher der Motor abgeschaltet wird.
1 zeigt mit Bezugsziffer 21 einen Sensor für die im Antriebsstrang herrschende Kraft. In der gezeigten Ausführungsform mißt er die Verdrehung des Chassis 12 um die Achse 13 herum. Über die Verdrehung ist der Federweg ausrechenbar und damit über die Federkonstante die gegenüber dem Gleichgewichtszustand hinzugekommene bzw. verlorengegangene Kraft. Auch bei mechanischer Implementierung des Elastizitätselements durch Druckfeder 11 kann der Sensor 21 vorgesehen sein. Beispielsweise kann er verwendet werden, um den Motor abzuschalten, wenn die im Antriebsstrang herrschende Kraft ein gewisses Maß überschreitet (weil beispielsweise der Tester 1 von unten nach oben gegen ein Hindernis gefahren ist) oder ein gewisses Maß unterschreitet (weil beispielsweise der Tester von oben nach unten fahrend auf dem Boden aufliegt). Es kann dann beispielsweise das Anhalten des Motors eingeregelt werden oder sogar das Rückwärtsfahren, falls gewünscht. Auch können Alarme bzw. Anzeigen ausgelöst werden.
4 zeigt die mechanische Implementierung der Ausführungsform der 1 etwas ausführlicher. 12 bezeichnet das Chassis, das um Achse 13 herum schwenkbar ist. 14 ist der fest am Chassis befestigte Motor, 15a eine Schnecke, die vom Motor 14 gedreht wird. Die Schnecke 15a greift in eine Zahnrad 15b ein, das über weitere Getriebeelemente 15c–e die Kabeltrommel 16, die samt dem Getriebe ihrerseits fest am Chassis 12 befestigt ist, antreiben kann. 2 symbolisiert das Auflager der Feder, also beispielsweise den Turm des Mani pulators. Das Getriebe kann selbsthemmend sein. Im Normalbetrieb stellt sich aufgrund der Gewichtskraft F_G und aufgrund der Federkraft F_F ein Momentengleichgewicht wie folgt ein: FG·xG = FF·xF. wobei x_F der effektive Hebelarm der Federkraft F_F und x_G der effektive Hebelarm der über das Seil angreifenden Gewichtskraft F_G sind. Wenn die Gewichtskraft steigt, weil beispielsweise der Tester von unten gegen einen Anschlag gefahren ist, und der Motor das Seil weiter aufwickelt und somit die Rolle 16 am nunmehr blockierten Seil 18 nach oben wickelt, äußert sich dies in einer Verdrehung des Chassis 12 gegen den Uhrzeigersinn um Achse 13 herum und somit in einer weiteren Kompression der Feder 11.
Wenn der Motor in seinem Antrieb dann abgeschaltet wird, stellt sich abermals ein anderes Momentengleichgewicht ein.
Allgemein ist ein Sensor 21 zur Messung der Kraft im Antriebsstrang vorgesehen. In der gezeigten Ausführungsform kann er so ausgebildet sein, daß er die Verschiebung der Elastizitätseinrichtung ermittelt bzw. berücksichtigt. Es können aber auch Kraftmeßdosen, Dehnungsmeßstreifen o.ä. vorgesehen sein. Der Sensor 21 kann in der in 4 gezeigten Ausführungsform beispielsweise die Verdrehung Δφ des Chassis 12 um Achse 13 herum messen. Der Federweg Δf_F kann dann bei Rechtwinkligkeit für kleine Auslenkungen näherungsweise über die Beziehung ΔfF = Δφ·xF ermittelt werden.
Über das Hooksche Gesetz ΔFF = cF·ΔfF kann die hinzugekommene Federkraft ΔF_F ermittelt werden, wenn die Federkonstante c_F bekannt ist und von Linearität ausgegangen werden kann. Bei nichtlinearen Federn oder allgemein nichtlinearen Elastizitätseinrichtungen muß die Nichtlinearität geeignet berücksichtigt werden. Wenn sich ein zu großes ΔF ergibt, wobei hier ggf. eine Betragsbetrachtung erfolgen kann, kann beispielsweise in der Weise eingegriffen werden, daß der Motor 14 angehalten wird.
Die Federkonstante kann so gewählt werden oder auch so einstellbar sein, daß die Federkraftveränderung während des insbesondere vertikal, insbesondere nach oben verlaufenden Dockings (also Bewegung des Testers von der Zwischenposition zur Meßposition, einige wenige Zentimeter) nur zu einer bestimmten Kraftveränderung führt. Geht man davon aus, daß der Tester 1 an der Zwischenposition (Anfangspositon für das Docking) im Gleichgewicht gehalten wird, kann zu Beginn des Dockings die Dockingeinrichtung den Tester fast kräftefrei über den ersten Teil der Dockingstrecke bewegen. Der Motor 14 des Manipulators kann hierbei inaktiv bleiben. Die in der Feder 11 gespeicherte bzw. speicherbare Energie hebt bzw. bremst den Tester bei seiner vertikalen Translation.
Wenn beispielsweise bei einem Dockingweg von 3 cm gewünscht ist, daß die maximale Kraft, die die Dockingeinrichtung aufbringen muß, 900 N ist, so muß die Federkonstante kleiner als 30 kN/m sein, wobei es auf das Testergewicht nicht ankommt und hier – anders als in 4 schematisch angedeutet – davon ausgegangen wird, daß der Dockingweg der gleiche ist wie der Federweg.
Die erfindungsgemäße Elastizitätseinrichtung soll insbesondere sicherstellen, daß die Elastizität bzw. elastische Verschieblichkeit im Antriebsstrang über eine gewisse Verschiebungsstrecke möglich und ggf. auch als solche für die Krafterfassung meßbar ist. Vorzugsweise handelt es sich um eine lineare Elastizität, weil dann in einfacher Weise aus der Verschiebung die herrschende Kraft ermittelt werden kann.

Nachfolgend optional einige technische Daten:

Lastgewicht	> 100 kg, vorzugsweise > 500 kg, > 1000 kg
Federkonstante	> 5 kN/m, vorzugsweise > 10 kN/m < 100 kN/m, vorzugsweise < 50 kN/m
Dockingweg	> 1 cm, vorzugsweise > 2 cm < 10 cm
max. Dockinkraft	> 100 N, vorzugsweise > 200 N < 5.000 N, vorzugsweise < 2.000 N

Claims

Manipulator für eine Last, mit – einem Stativ (8), – einer mit dem Stativ (8) verbundenen Aufnahme (3–5) für die Last, wobei die Aufnahme (3–5) eine Bewegung der Last gegenüber dem Stativ (8) bezüglich mindestens einer ersten Achse (z) erlaubt, und – einem Antrieb (12–18), der die Bewegung der Last längs der ersten Achse (16) unterstützt, gekennzeichnet durch eine längs der ersten Achse (16) wirkenden Elastizitätseinrichtung (11, 19).
Manipulator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Elastizitätseinrichtung (11, 19) ein mechanisch elastisches Element (11) aufweist.
Manipulator nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß – der Antrieb (12–18) einen Seilzug oder einen Ketten- oder Riementrieb (13–18) aufweist, und – die Elastizitätseinrichtung (11, 19) ein Element (16, 17) des Seilzugs oder des Ketten- oder Riementriebs (13–18) elastisch lagert.
Manipulator nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Seilzug oder der Ketten- oder Riementrieb (13–18) eine Trommel oder eine Umlenkung (16) aufweist, die durch das Elastizitätselement (11) elastisch gelagert ist.
Manipulator nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Seiltrommel oder Umlenkung (16) um eine Drehachse (13) schwenkbar gelagert ist
Manipulator nach einem oder mehreren der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Elastizitätseinrichtung (11, 19) den Antrieb zusammen mit einer geeigneten Steuerung oder Regelung (19) aufweist.
Manipulator nach einem oder mehreren der vorherigen Ansprüche, gekennzeichnet durch einen Sensor (21) zur Erfassung der vom Antrieb übertragenen Kraft.
Manipulator nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor (21) eine Größe der Elastizitätseinrichtung (11, 19) erfaßt.
Manipulator nach Anspruch 5 und nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor (21) die Verschwenkung der Seiltrommel oder Umlenkung (16) um die Drehachse (13) erfaßt.
Manipulator nach einem oder mehreren der Ansprüche 7 bis 9, gekennzeichnet durch eine Steuerung bzw. Regelung (19), die den Antrieb (12–18) nach Maßgabe der erfaßten Kraft steuert bzw. regelt.
Manipulator nach einem oder mehreren der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Antrieb einen Elektromotor aufweist.
Manipulator nach einem oder mehreren der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Antrieb eine hydraulische und/oder pneumatische Einrichtung aufweist.
Manipulator nach einem oder mehreren der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Achse (z) die vertikale Achse ist.
Manipulator nach einem oder mehreren der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufnahme (3–5) eine Bewegung der Last gegenüber dem Stativ (8) bezüglich mehrerer Achsen (x, y, z) erlaubt, insbesondere mehrere Translations- und/oder Rotationsachsen.