JP2514820B2

JP2514820B2 - ウエハプロ−バ

Info

Publication number: JP2514820B2
Application number: JP62199538A
Authority: JP
Inventors: 通正寺田; 久中島
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1986-11-25
Filing date: 1987-08-07
Publication date: 1996-07-10
Anticipated expiration: 2011-07-10
Also published as: JPS63259263A

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明はウエハプローバに関するものである。

（従来の技術）重量物の回転機構には、通常、バランスウエイト又は
ばね機構等を付設して円滑な回転操作力を与えるように
している。

ところで、ウエハプローバには、ウエハを測定するた
めのテストヘッドを搭載しており、このテストヘッドの
回転機構にもバランスウエイトやばね機構等のバランス
機構を設けて円滑な回転力を付与するようにしている。

しかし、このウエハプローバ用テストヘッドのバラン
ス機構として従来より次のような問題点があり、この問
題の解決が要望されている。

（発明が解決しようとする問題点）即ち、バランスウエイト方式であると、ウエハプロー
バ全体の重量が重くなるばかりでなく、回転機構部分の
スペースが嵩むことになり、しかも、テストヘッドの重
量に対応したバランスウエイトを設置する必要があるの
で、異なった重量のテストヘッドには設置することがで
きない等の問題もあり、また、テストヘッドが如何なる
角度の位置にあっても、一定の力で円滑に回転させるた
めの手段として、このバランスウエイト方式は、必ずし
も満足できるものではなかった。

また、ばね機構方式は、軽量化を図ることはできて
も、回転角度に応じて常に一定の操作力が与えられるも
のではなく、この点において極めて操作性の悪いもので
あった。

また、従来のウエハプローバの場合には、テストヘッ
ドを回転機構により円滑に回転できるものの、万一、テ
ストヘッドの回転機構に不具合が発生した時にはテスト
ヘッドの回転を途中で止めることができず、思わぬ危険
を招くという問題点があった。

本発明は、上記問題点を解決するためになされたもの
で、テストヘッドがいかなる回転位置にあってもテスト
ヘッドを円滑に回転させることができ、また、テストヘ
ッドの回転途中でテストヘッドの回転機構に不具合があ
った場合にテストヘッドをその回転位置で確実に停止さ
せることができ、しかもバランスウエイト方式の回転機
構と比較して回転機構を省スペース化することができる
ウエハプローバを提供することを目的としている。

（問題点を解決するための手段）本発明のウエハプローバは、被処理体の電気的検査を
行うテストヘッドがプローバ本体の側面上部に回転自在
に軸支された回転軸に取り付けられたウエハプローバに
おいて、上記テストヘッドを上記回転軸を中心にシリン
ダ機構を介して正逆回転させる回転機構と、上記シリン
ダ機構のシリンダ内の流体圧力が上記テストヘッドから
上記シリンダ機構へかかる圧力より低下する時に上記テ
ストヘッドの回転を停止させるロック機構とを設けたこ
とを特徴とするものである。

また、本発明では、上記回転機構及びロック機構はよ
り具体的には以下のように構成されたものが好ましい。

即ち、好ましいウエハプローバとしては、上記回転機
構は、上記回転軸の一端部に一端部が固定された連節片
と、この連節片の他端部に上端部が枢着されたシリンダ
を有する上記シリンダ機構と、上記シリンダの下端部と
上記回転軸の下方に設けられた固定軸に両端部が連結さ
れた連結片と、上記回転軸の回転力を上記固定軸へ伝達
するようにこれら両軸に掛け回されたベルトとからなる
平行リンク機構と、上記テストヘッドから上記シリンダ
機構へかかる圧力に打ち勝って上記テストヘッドを回転
させる一定の流体圧力を保つように上記シリンダ内への
流体供給量を制御する流体供給手段とを有し、また、上
記ロック機構は、上記回転軸の一端部に固定された歯車
と、この歯車に先端部が噛み込んで上記テストヘッドの
回転をロックするように上記プローバ本体に枢着された
ロックレバーと、このロックレバーに引張力を付与して
上記歯車に噛み込ませ上記回転軸をロックするバネ部材
と、このバネ部材の引張力に抗して上記ロックレバーと
上記歯車の噛み込みを解除する第２シリンダ機構とを有
し、且つ上記第２シリンダ機構は上記シリンダと連動す
るように上記流体供給手段から流体を受給するものがあ
る。

また、別の好ましいウエハプローバとしては、上記回
転機構は、上記回転軸の一端部に一端部が固定された連
節片と、この連節片の他端部に上端部が枢着されたシリ
ンダを有する上記シリンダ機構と、上記シリンダの下端
部と上記回転軸の下方に設けられた固定軸に両端部が連
結された連結片と、上記回転軸の回転力を上記固定軸へ
伝達するようにこれら両軸に掛け回されたベルトとから
なる平行リンク機構と、上記テストヘッドから上記シリ
ンダ機構へかかる圧力に打ち勝って上記テストヘッドを
回転させる一定の流体圧力を保つように上記シリンダ内
への流体供給量を制御する流体供給手段とを有し、ま
た、上記ロック機構は、上記流体供給手段から上記シリ
ンダ機構へ供給される流体の圧力を検出する圧力センサ
と、この圧力センサの検出圧力が上記テストヘッドから
上記シリンダ機構へかかる圧力より低下した時に上記シ
リンダからの流体の流出を阻止するバルブとを有するも
のがある。

（作用）本発明によれば、テストヘッドを回転させてプローバ
本体の検査位置へ移動させて被処理体の電気的検査を行
う時には、シリンダ機構を駆動することにより回転軸を
中心にして非検査位置から検査位置へテストヘッドを回
転移動させることができる。また、回転時に回転機構に
不具合があってシリンダ機構のシリンダ内の流体圧力が
テストヘッドからシリンダ機構へかかる圧力より低下し
た時にはロック機構が駆動してテストヘッドの回転を停
止させることができる。

また、本発明の好ましいウエハプローバの場合には、
回転機構の流体供給手段からシリンダ内へエア等の流体
を供給すると、シリンダ内の流体圧がテストヘッドから
シリンダ機構にかかる圧力に打ち勝ってその流体圧力を
保ちながらシリンダが上昇する。これに伴って連節片が
回転軸を中心に回転軸と一体に回転すると共に連結片が
固定軸を中心に固定軸と一体に回転する。このように回
転軸が回転することによりテストヘッドが回転する。そ
の後、シリンダが最上位置まで上昇した後下降する時に
はテストヘッドはシリンダ内の流体を排出しながら検査
位置まで移動する。また、テストヘッドが回転している
時に、回転機構に不具合があってシリンダ内の流体圧力
が低下すると、第２シリンダ機構のシリンダ内の流体圧
力も低下し、バネ部材がロックレバーを引っ張ってその
先端部が回転軸の歯車に噛み込んでテストヘッドの回転
を停止させる。

また、他のロック機構の場合には、シリンダ機構のシ
リンダ内の流体圧力が低下すると、その流体圧力の低下
を圧力センサで検出し、この検出圧力の検知によりバル
ブが駆動してシリンダからの流体の流出を阻止し、もっ
てテストヘッドの回転を停止させる。

（実施例）以下、本発明のウエハプローバの一実施例である全自
動ウエハプローバを第１図〜第５図に基づいて説明す
る。

全自動ウエハプローバのプローバ本体１の側部に回転
軸２を設け、この回転軸２を中心として高周波テストヘ
ッド３を回転可能に設けている。このように設けたもの
を支持体という。また、この回転軸２の突設端部には環
状ベルト車4aを固着し、回転軸２の直線下方位置のプロ
ーバ本体１に固定軸５を設け、この固定軸５にベルト車
4bを設け、ベルト車4a・4bに内周面に歯車状の凹凸をも
った環状のタイミングベルト４を掛設している。

更に、回転軸２に連節片６の一端部を軸着6aし、この
連節片６の他端部を、前記タイミングベルト４と平行状
態に設けたシリンダ機構７の上端部に回転自在に連結し
ている。上部シリンダ機構７は、第３図に示すように、
シリンダ7aとピストン7bとピストンロッド7cから成り、
シリンダ7aの上部で連節片６と回動可能に連結する。上
記固定軸５に一端部を軸着し、かつ上記連節片６と平行
状態に設けた連結片８の他端部を軸着8aする。即ち、上
記タイミングベルト４、連節片６、シリンダ機構７並び
に連結片８で平行リンク機構を構成している。

また、シリンダ機構７のピストンロッド7cの下端部に
ローラ９を回転自在に設け、ローラ９をシリンダ機構７
に対して水平方向に回転移動させるための摺動レール10
をプローバ本体１に対設する。

第４図は上記シリンダ機構７へのエアーの入力方法の
一例を示したもので、供給源11より入力したエアー又は
油圧等の流体は、レギュレータ12を介して電磁弁13のオ
ンオフ操作によりパイプ14を通ってシリンダ7aに流入
し、一方、電磁弁15と流量調整バルブ16のオンオフ操作
によりシリンダ7a内の流体が排出されるようになってい
る。

第５図はテストヘッド３の回転軸２に設けた自動ロッ
ク機構であり、回転軸２に設けた歯車17にロックレバー
18のロック部18aを噛み合わせ、このロックレバー18は
途中にシリンダ19と引っ張りばね20を設け、端部をプロ
ーバ本体１に支点18bとして軸着し、シリンダ19は、配
管19aを介して前記したシリンダ機構７と並列に流体を
入力するように配置し、エアー等の流体が万一切れたと
き自動的に回転軸２をロックするようにしている。

次に上記実施例の作用について説明する。

第１図の状態における全自動ウエハプローバの高周波
テストヘッド３をチャック上に載置したウエハを測定す
る場合、エアー等の流体をシリンダ機構７に供給する
と、テストヘッド３からシリンダ機構７にかかる圧力に
打ち勝つ一定の力をテストヘッド３に加えながらシリン
ダ7aが上方に移動するのに伴って、ピストンロッド7cの
下端に設けたローラ９が摺動レール10に沿って移動して
シリンダ機構７は第１図において左方向に垂直状態を保
持しながら移動し、かつ、連節片６と連結片８が回転軸
２と固定軸５を中心にして第１図において半時計回り方
向に回転し、連節片６と連結片８が垂直位置を経過した
時点で電磁弁13,15を切り替えてシリンダ機構７のエア
ー等の流体を排気すると、連節片６と連結片８が回転運
動を継続し、テストヘッド３は回転軸２を中心に回転し
てプローブ本体１上に設置される。

この時、連節片６と連結片８が垂直位置に達したと
き、回転方向を時計回りか、半時計回りかを決めてやる
には、モータ又はエアーシリンダ等による補助の動力を
設ければ良い。

一方、テストヘッド３をプローブ本体１より離す場合
は、上記の方法によりテストヘッド３を回転軸２を中心
に回転させることによって行う。

この場合、タイミングベルト４がベルト車4a、4bによ
って全く滑りがなく回転駆動するので、回転軸２と固定
軸５とは確実に同期して回転し、連節片６と連結片８と
は平行状態で回転すると共に、シリンダ機構７は常に垂
直状態を保持しながら移動することになる。

また、ピストン7bが如何なる位置にあってもピストン
7bの断面積Acm²には、常に外部からの入力圧（一定）Pk
g/cm²（4.0〜5.0）が作用している。例えば、Ａ＝19.6c
m²（内径5.0cm）Ｐ＝5.0kg/cm²のとき∴Ｆ＝19、６×
５、０≒98kgである。

従って、テストヘッド３が如何なる位置或は角度にあ
っても一定の力で確実に回転駆動させることができる。

（他の実施例）本発明における重量物の回転移動装置をウエハプロー
バ本体の側部に設け、テストヘッドをウエハプローバ本
体側に回転させてウエハを測定する際の回転機構に適用
した他の実施例を第６図および第７図を用いて説明す
る。この例はウエハプローバ本体の側部に設けるテスト
ヘッドの回転移動装置を構成する平行リンク機構の動作
領域を第１の実施例より小さくすることができる効果が
ある。

また、第９図で示すように、テストヘッド（32）の荷
重をＷ、回転軸（31）からバランスウエイト（56）の取
付位置までの距離をｌ、バランスウエイト（56）の重量
をωとすればテストヘッド（32）とバランスウエイト
（56）のモーメントを同じくすれば、WL＝ｌωが成立
つ、この様に均衡するバランスウエイト（56）の代りに
一定圧力で駆動するシリンダ機構を設け、テストヘッド
（32）が如何な位置にあってもシリンダ（42）の内空部
（44）の圧力がテストヘッドの荷重と均衡する圧力で、
かつシリンダ機構（43）が垂直に保持した構成であるの
で、バランスウエイト（56）を用いた場合と同じ効果で
人為的に少量の荷重で回転移動が行なえる。

すなわち、ウエハプローバ本体（30）の側部に回転軸
（31）を設け、この回転軸（31）にテストヘッド（32）
が片支持する如く固着され、この固着されたテストヘッ
ド（32）は回転軸（31）を中心に回転可能に設けられて
いる。

例えば、第７図においてウエハプローバ本体（30）の
側部（30a）の前面操作パネル（30b）に近い部分に前軸
受（33）を設け、またこのウエハプローバ本体（30）の
側部（30a）の後面パネル（30c）の近い部分に後軸受
（34）を設け、回転軸（31）の一部が後軸受（34）より
突出し片支持する如く回転軸（31）を軸架している。

そして、回転軸（31）は歯形を有した環状のベルト車
（35）と直交する如く固着している。さらにこの回転軸
（31）の直線下方位置のウエハプローバ本体（30）に、
歯形状で環状の従ベルト車（36）を固着した固定軸（3
7）を回転軸（31）と平行して、かつ回転自在に設けて
いる。

上記固定軸（37）の一端部に長形状の連結片（38）の
一端部を固定軸（37）と直交し固定している。

また、回転軸（31）に設けた環状のベルト車（35）と
上記固定軸（37）に設けた従ベルト車（36）との間に内
周面に歯形状の凹凸を有した環状のタイミングベルト
（39）を掛設している。また回転軸（31）の突設端部に
は長形状の連節片（40）の一端部を回転軸（31）と直交
する如く固着し、この連節片（40）の他端部が回転軸
（31）よりプローバ本体（30）寄りに配置され、かつ上
記連結片（38）と平行に設けられている。

そして、この連節片（40）は、前記のタイミングベル
ト（39）と平行状態に設けた連鎖片（41）の上端部に回
転自在に連結されている。この連鎖片（41）には平行シ
リンダ機構を駆動させるシリンダ（42）が固着され一体
物に形成されている。このシリンダ（42）と一体物の連
鎖片（41）の上部で連節片（40）と軸着部（40a）を介
して回動可能に連結している。

さらに前記固定軸（37）の一端部を固着し、かつ上部
連節片（40）と平行状態に設けた連結片（38）が他端部
を上記連鎖片の下部で回動可能に連結してる。

すなわち、回転軸（31）のベルト車（35）と固定軸
（37）の従ベルト車（36）に掛け回された環状のタイミ
ングベルト（39）と、これに平行するシリンダ42及びこ
れに一体化した連鎖片（41）と、連鎖片（41）の上端部
と固定軸（31）にそれぞれ連結され連節片（40）と、連
節片（40）と平行する連結片（38）とで平行リンク機構
が構成されている。この機構で回転軸（31）で最上位に
位置していることがこの実施例の特徴である。上記シリ
ンダ（42）はシリンダ機構（43）の一部であり、このシ
リンダ機構（43）は、第６図に示すように、複動式シリ
ンダ（42）の内空部（44）、ロット軸（45）付のピスト
ン（46）が摺動可能に設けられ、ロット軸（45）の下端
部ベアリング（47）が設けられている。

このベアリング（47）はウエハプローバ本体（30）に
付設された摺動レール（48）を把持すると共にテストヘ
ッド（32）の回転方向と同方向に沿って直線的に移動す
る様に構成されている。

上記シリンダ機構（43）へのエアー等の流体を入力す
る方法はシリンダ（42）の下死点部の吸入口（42a）に
流体供給手段（49）が送り込まれ、内空部（44）に流入
された流体の圧力によってシリンダ（42）が降するよう
に移動する。すなわち、ロッド軸（45）の下端部に設け
た把持形ベアリング（47）で摺動レール（48）を把持に
上下移動のできないためピストン（46）が降下されるこ
とになる。第８図で示すように、上記流体供給手段（4
9）は、流体供給源（50）より入力したエアー等の流体
がレギュレータ（51）を介して電磁弁（52）がオンオフ
操作よりパイプ（53）を通ってシリンダ（42）の下死点
部の吸入口（42a）に流入する。一方、上記電磁弁（5
2）と併設したリリーフ弁（54）はパイプ（53）内の均
衡圧力より高圧に変化した際に均衡圧力に戻るように流
体を排出するように構成されている。

更に、重量物であるテストヘッド（32）の回転移動操
作車における安全性の自動ロック機構は、上記電磁弁
（52）と圧力スイッチ（圧力センサともいう）（55）を
連動させて成り、パイプ（53）の破損等によりシリンダ
（42）の内空部（44）の低圧化した時に上記圧力スイッ
チ（55）が感知し、その事故電磁弁（52）に位置し、電
磁弁（52）がオンオフの操作してシリンダ（42）の内空
部（44）の圧力の低下を粗止する。

従って、シリンダ（42）の内空部（44）の流体の流れ
を自動的に停止させ、流体の流出を粗止するので、テス
トヘッド（32）の荷重は均衡を保持しているシリンダ
（42）の内空部（44）の流体が緩衝材となり回転軸（3
1）をロックしている。

次に上記実施例の作用について説明する。

第６図において、テストヘッド（32）をウエハブロー
パ本体（30）上に載置してウエハを測定した場合に、エ
アー等の流体をシリンダ機構（43）に供給した後に、テ
ストヘッド（32）を人為的に回動すると、例えばウエハ
プローバ本体（30）上に載置したテストヘッド（32）を
上方に垂直に立設する如く回転移動させることにより、
シリンダ（42）の位置が降下する如く下に移動する力に
供って、ロッド軸（45）の下端部に設けた把持形のベア
リング（47）が摺動レール（48）に沿って移動する。こ
の時のシリンダ機構（43）は、第６図において、左方向
に垂直状態を支持しながら移動し、かつ連節片（40）と
連結片（38）が回転軸（31）と固定軸（37）を中心にし
て、時計回り方向に回転し、連節片（40）と連結片（3
8）がほぼ垂直位置を経過した時点まで、シリンダ機構
（43）のシリンダ（42）の内空部の体積が拡大され、エ
アー等の流体の圧力が低下しても流体が流体供給源（第
８図中50）から送られてきているので、その流体が自動
的に内空部（44）に流入され所定の圧力が維持される。

また連節片（40）と連結片（38）が回転運動を継続す
ることにより、テストヘッド（32）は、回転軸（31）を
中心に回転して、ウエハプローバ本体（30）と反対側の
サイドデスク（図示せず）側に設置されるまで回転移動
をする。

この時ほぼ垂直位置に達したテストヘッド（32）と、
ウエハプローバ本体（30）と反対側のサイドデスク（図
示せず）に配置されたときのシリンダ機構（43）のシリ
ンダ（42）が上方に移動するに伴ってシリンダ（42）の
内空部（44）の体積が収縮され、エアー等の流体の圧力
が高圧に変化するとリリーフ弁（第８図中54）が排気し
て所定の圧力が維持されている。

一方、テストヘッド（32）をサイドデスク（図示せ
ず）より離してウエハプローバ本体（30）側に載せる場
合は上記の方法によりテストヘッド（32）を人為的に回
転軸（31）を中心に回転させることにより行なう。

この場合タイミングベルトが環状のベルト車（35）、
従ベルト車（36）によって全く滑りがないベルト駆動す
るので、回転軸（31）と固定軸（37）とは確実に同期し
て回転し連節片（40）と連結片（38）とは平行状態で回
転すると共に連鎖片（41）を固着したシリンダ機構（4
3）を常に垂直状態を保持しながら移動することにな
る。

前記に述べた実施例にエアー等とシリンダ機構（７）
に供給することにより自動的にテストヘッド（32）が回
転移動する如く記載されているが一定圧力を流入した後
に人為的に回転移動させることも可能である。

また上記に述べた他の実施例においても同様に人為的
にテストヘッドを少量の荷重を加えて回転移動させる様
に記載したが自動的にテストヘッド（32）を回転移動さ
せることも可能である。

また、他の実施例を用いることにより、前記に述べた
実施例よりさらに良い結果は平行リンク機構の動作領域
が小さいので、平行リンク機構部の保護カバが小さくて
良いことになる。

（発明の効果）以上説明したように本発明によれば、テストヘッドを
回転軸を中心にシリンダ機構を介して正逆回転させる回
転機構と、シリンダ機構のシリンダ内の流体圧力がテス
トヘッドからシリンダ機構へかかる圧力より低下する時
にテストヘッドの回転を停止させるロック機構とを設け
たため、テストヘッドがいかなる回転位置にあってもテ
ストヘッドをシリンダ機構により円滑に回転させること
ができ、また、テストヘッドの回転途中でテストヘッド
の回転機構に不具合があった場合にロック機構によりテ
ストヘッドをその回転位置で確実に停止させることがで
き、しかも回転機構としてシリンダ機構を用いているこ
とからバランスウエイト方式の回転機構と比較して回転
機構を省スペース化することができるウエハプローバを
提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明における重量物の回転操作装置の一実施
例を示すものでウエハプローバにテストヘッドを設けた
部分を背面側から見た背面図、第２図は第１図の同上の
側面図、第３図は第１図の一実施例のシリンダ機構の断
面図、第４図は第１図の一実施例の自動操作用のエアー
の入出力を説明した回路説明図、第５図は第１図の一実
施例のテストヘッドの回転軸におけるロック機構を説明
した説明図、第６図は本発明の他の実施例を示すもので
ウエプローバにテストヘッドを設けた部分を背面側から
見た背面図、第７図は第６図の同上の側面図、第８図は
第６図の他の実施例のシリンダ機構にエアー等の流体を
供給する流体供給手段を説明した説明図、第９図は従来
のバランス方式の実施例である。 2,31……回転軸 3,32……回転重量物（テストヘッド） 4,39……タイミングベルト 5,37……固定軸、6,40……連節片 7,43……シリンダ機構、8,38……連結片 47……ベアリング、48……摺動レール

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開昭60−139963（ＪＰ，Ａ) 特開昭61−75758（ＪＰ，Ａ) 実開昭60−130646（ＪＰ，Ｕ) 実開昭54−22471（ＪＰ，Ｕ) 特公昭54−30581（ＪＰ，Ｂ２) 特公昭51−45856（ＪＰ，Ｂ２)

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】被処理体の電気的検査を行うテストヘッド
がプローバ本体の側面上部に回転自在に軸支された回転
軸に取り付けられたウエハプローバにおいて、上記テス
トヘッドを上記回転軸を中心にシリンダ機構を介して正
逆回転させる回転機構と、上記シリンダ機構のシリンダ
内の流体圧力が上記テストヘッドから上記シリンダ機構
へかかる圧力より低下する時に上記テストヘッドの回転
を停止させるロック機構とを設けたことを特徴とするウ
エハプローバ。
【請求項２】上記回転機構は、上記回転軸の一端部に一
端部が固定された連節片と、この連節片の他端部に上端
部が枢着されたシリンダを有する上記シリンダ機構と、
上記シリンダの下端部と上記回転軸の下方に設けられた
固定軸に両端部が連結された連結片と、上記回転軸の回
転力を上記固定軸へ伝達するようにこれら両軸に掛け回
されたベルトとからなる平行リンク機構と、上記テスト
ヘッドから上記シリンダ機構へかかる圧力に打ち勝って
上記テストヘッドを回転させる一定の流体圧力を保つよ
うに上記シリンダ内への流体供給量を制御する流体供給
手段とを有し、また、上記ロック機構は、上記回転軸の一端部に固定さ
れた歯車と、この歯車に先端部が噛み込んで上記テスト
ヘッドの回転をロックするように上記プローバ本体に枢
着されたロックレバーと、このロックレバーに引張力を
付与して上記歯車に噛み込ませ上記回転軸をロックする
バネ部材と、このバネ部材の引張力に抗して上記ロック
レバーと上記歯車の噛み込みを解除する第２シリンダ機
構とを有し、且つ上記第２シリンダ機構は上記シリンダ
と連動するように上記流体供給手段から流体を受給する
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のウエハプ
ローバ。
【請求項３】上記回転機構は、上記回転軸の一端部に一
端部が固定された連節片と、この連節片の他端部に上端
部が枢着されたシリンダを有する上記シリンダ機構と、
上記シリンダの下端部と上記回転軸の下方に設けられた
固定軸に両端部が連結された連結片と、上記回転軸の回
転力を上記固定軸へ伝達するようにこれら両軸に掛け回
されたベルトとからなる平行リンク機構と、上記テスト
ヘッドから上記シリンダ機構へかかる圧力に打ち勝って
上記テストヘッドを回転させる一定の流体圧力を保つよ
うに上記シリンダ内への流体供給量を制御する流体供給
手段とを有し、また、上記ロック機構は、上記流体供給手段から上記シ
リンダ機構へ供給される流体の圧力を検出する圧力セン
サと、この圧力センサの検出圧力が上記テストヘッドか
ら上記シリンダ機構へかかる圧力より低下した時に上記
シリンダからの流体の流出を阻止するバルブとを有する
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のウエハプ
ローバ。
【請求項４】上記テストヘッドを回転させる回転軸を、
上記平行リンク機構の連結部の中で最上位置に配置した
ことを特徴とする特許請求の範囲第２または第３項記載
のウエハプローバ。
【請求項５】上記シリンダは、常に略垂直状態を保持し
て上記平行リンク機構を構成している特徴とする特許請
求の範囲第２項〜第４項のいずれか１項記載のウエハプ
ローバ。