CZ20001530A3

CZ20001530A3 - Způsob antikorozního potahování kovových podkladů prostřednictvím plazmapolymerace

Info

Publication number: CZ20001530A3
Application number: CZ20001530A
Authority: CZ
Inventors: Klaus D. Vissing; Alfred Baalmann; Henning Stuke; Hartmut Hufenbach; Wolfgang Martin Semrau
Original assignee: Fraunhofer-Gesellschaft Zur Förderung Der Angewand
Priority date: 1997-10-31
Filing date: 1998-10-29
Publication date: 2001-12-12
Also published as: HUP0401917A3; JP4263353B2; US20020014325A1; AU1662699A; EP1027169B1; KR20010031646A; WO1999022878A3; NO20002204D0; NO20002204L; EP1027169A2; DE19748240A1; HUP0401917A2; JP2001521820A; US6528170B2; WO1999022878A2; CZ297047B6; ES2172252T3; NO326804B1; DE19748240C2; KR100377025B1

Description

Způsob antikorozního potahování kovových podkladů prostřednictvím plazmapolymerace

Oblast techniky

Předkládaný vynález se týká způsobu antikorozního potahování kovových podložek prostřednictvím plazmapolymerace. Způsob je přednostně vhodný k tomu, antikorozně potahovat hliník a hliníkové slitiny. Od dob, kdy se výzkum zabývá výrobou plazmapolymerových vrstev pomocí polymeračních procesů, které přidáním plynných monomerů do jednoho z výbojových procesů v plynu, který dodává energii nutnou pro polymeraci, nebyla nikdy nouze o pokusy, tyto vrstvy pojmout tak, aby byly schopny potažený povrch chránit před různými druhy napadení. Tato funkce není v žádném případě triviální, vždyť u plazmapolymerových vrstev se jedná o vysloveně tenké vrstvy, které se zařazují od oblasti nanometrů až několika málo mikrometrů. Vedle vyvinutí vrstev, odolných proti poškrábání, např. pro optické funkční prvky z plastických hmot (WO-A-8504601), existovaly rovněž pokusy tímto typem vrstev chránit kovové materiály, a to s nevalným úspěchem. Dokonce i útokům, které z korozního hlediska nelze považovat za závažné, odolaly tyto vrstvy jen po velmi krátkou dobu.

Dosavadní stav techniky

Ve všech dosud známých pokusech na hliníkových výrobních materiálech se používají oxidové vrstvy v oxidačně nastavených plazmách jako zprostředkovatel přilnavosti, analogicky k obvyklému způsobu lakování, ale také analogicky k přípravě povr• · to « to · «· · ··· ·· · · • · to · · ·· · · ·

chů před slepením, které používají jednu, většinou prostřednictvím anodické oxidace vytvořenou oxidovou vrstvu. Aktivace hraniční plochy, která je žádoucí pro dobré přilnutí, se uskutečňuje, pokud vůbec, prostřednictvím vložení druhově cizích substancí. V mnoha případech se spojení realizuje výlučně prostřednictvím adhezních sil. Takovéto potahovací nebo slepovací systémy vykazují ze zkušenosti jen nevalnou odolnost proti podpovrchové korozi neboť vodní pára, vznikající difúzí nebo procesem permeace oslabuje spojení materiálu a potažené vrstvy.

Na druhé straně je plazmapolymerace způsob, jímž lze pomocí působení plazmy na organické molekule plynné fáze potahovat pevné látky vrstvou s převážně organickým charakterem a skvělými vlastnostmi. Plazmapolymerace patří ke skupině nízkotlakovým plazmaprocesů a její průmyslové používání vzrůstá. Velký zájem o tuto technologii vyplývá z výhod rychlého, bezdotykového, suše chemického způsobu potahování, který navíc málo zatěžuje polotovar.

Nízkoteplotními plazmami vyloučené plazmapolymerové vrstvy, dále označované jako plazmapolymery, se vyznačují následujícími rysy:

Plazmapolymery jsou často trojrozměrně vysoko síťovány, nerozpustné, velmi málo bobtnavé nebo nebobtnavé a potenciální dobré difúzní bariéry.

Jsou ve srovnání s konvenčně vyráběnými polymery na základě vysokého stupně síťování termicky, mechanicky a chemicky neobvykle stabilní.

Vrstvy vykazují na většině podkladových materiálů dobrou přilnavost při vysoké hustotě a nemají mikropóry.

Vrstvy mají většinou amorfní strukturu a hladký povrch, napodobující podklad.

»» ···· • · · • « t • « · ♦ · · · ♦· *· • 9 • * ♦ · 4 • · ·» • · * • 4 9

4 9

44

Vrstvy jsou velmi tenké, jejich tloušťka činí pouze několik 100 nm nebo dokonce pouze do 10 nm.Procesní teploty jsou nízké, sahají cca od pokojové teploty do cca 100°C, přednostně do cca 60°C.

Na druhé straně není dosud znám žádný způsob, jehož pomocí lze plazmapolymerem antikorozně potahovat kovové podklady, zvláště pak podklady z hliníkových materiálů.

Žebrové trubky z výrobního materiálu AlMgSiO,5 se mnohonásobně používají ve výhřevových kotlích. Takovéto žebrové trubky nevykazují v extrémních podmínkách použití a v hraničních oblastech, pokud jde o přípustné složení plynu, vždy dostatečnou odolnost proti korozi.

Tvorba korozních produktů vede na straně plynu v oblasti žeber k poruchám, v pokročilém stádiu dochází navíc k redukci plochy výměníku tepla na straně zemního plynu.

Obvyklá opatření k protikorozní ochraně nemohou být z několika důvodů použita. Způsoby jako fosfátování resp. chromátování vyžadují plynulou emisi těžkých kovů do okolía kvůli očekávanému zpřísnění zákona o odpadních vodách nepřicházejí v úvahu.

Ani lakové systémy nepřicházejí jako alternativa v úvahu. Laky coby ochrana povrchu vedou k narušování vedení tepla, které lze v předkládaném případě tolerovat pouze v rámci úzké hranice. Dále vede u běžných lakových vrstev difúze vodních par k podnátěrové korozi. Při následné kondenzaci na povrchu kovu to způsobuje zvedání vrstvy a zrychlení procesu koroze, jak je to známo z lokalizovaných druhů koroze.

Potažení takových žebrových trubek pro výměník tepla plazmapolymerem by bylo samo o sobě žádoucí. Příslušné pokusy však nevedly k vytvoření potahovacích vrstev, odolných proti korozi. Zpravidla se ukázalo, že plazmapolymery nepřilnuly ke • · · · • · · ·

kovovému povrchu dostatečně pevně a docházelo k více nebo méně rychlém podpovrchové korozi s výsledkem, že rychle dochází k odlupování.

Z DE-A-42 16 999 je znám způsob potahování povrchu stříbrných předmětů, při němž je povrch nejprve ošetřen plazmou a povrch je následně pokryt plazmapolymerem, přičemž jsou vytvářeny nejprve vazební vrstva, na ní povrchová vrstva bránící permeaci a nakonec stabilizační uzavírací vrstva. Na vazební vrstvu jsou používány zvláště etylen a vinyltrimetylsilan, na vrstvu, která zabraňuje permeaci, etylen a na stabilizaci a uzavření hexametyldisiloxan ve spojení s kyslíkem jako plazmatvořící monomery, přičemž dochází ke kontinuálnímu přechodu mezi plazmatvořícími monomery. Potahové vrstvy jsou do značné míry odolné proti poškrábání a tvoří dobrou počáteční ochranu, mohou být však uzpůsobeny tak, že je lze odstranit čisticím prostředkem. Potažení hliníkových podkladů nevede k potahovým vrstvám, odolným proti korozi.

Podstata vynálezu

Celkově by bylo žádoucí mít k dispozici způsob, jímž by mohly být kovové materiály, obzvláště hliníkové materiály, trvale a antikorozně potaženy plazmapolymerem.

Tohoto cíle lze dosáhnout způsobem výše uvedeného druhu, při němž je podklad při předpřípravě podroben mechanickému, chemickému a/nebo elekrotechnickému vyhlazení a následně při teplotě méně než 200°C a tlaku od IO^-5 do 100 mbar vystaven plazmě, přičemž v prvním kroku je v redukované plazmě aktivován povrch a ve druhém kroku oddělen plazmapolymer z plazmy, která obsahuje alespoň v daném případě kyslík, dusík nebo síru obsahující uhlodvodíkovou nebo křemíkovoorganickou, za pod- 5 mínek plazmy odpařitelnou sloučeninu, které mohou obsahovat atomy flóru.

Překvapivě bylo zjištěno, že kombinace předošetření, sloužícího k vyhlazení kovového podkladu, který má být pokryt vrstvou, s ošetřením plazmou řeší problém nedostatečné přilnavosti potahové vrstvy na kovovém povrchu. Přitom sestává ošetření plazmou opět ze dvou kroků, a sice z ošetření povrchu redukovanou plazmou, která působí na povrch jako zarovnávání, a z druhého kroku, v němž se vlastní pokrývači vrstva nanáší přímo na kovovou vrstvu, již ošetřenou plazmou.

Předošetření, obzvláště vyhlazení povrchu kovového podkladu, může probíhat pomocí mechanických, chemických nebo elektrochemických prostředků. Obzvláště upřednostňovány jsou kombinace mechanického a chemického vyhlazování. Po mechanickém a/nebo chemickém vyhlazování může být v každém případě následovat elektrochemické vyhlazení, pokud to příslušný kovový podklad připouští. Způsob elektrolytického leštěni například není u žebrových trubek z fyzikálně-technických důvodů vhodný k ošetření povrchu. Zde jsme odkázáni na chemické způsoby, jako je kyselé nebo alkalické leptání. Podle DE-C-40 39 479 lze použít rovněž kombinaci leptání ve spojení s mechanickým narušením povrchu pomocí otírání, kartáčování, ozařování apod., přičemž je materiál přednostně vystaven proudu kapaliny, obsahující leptací prostředky a abrazivně působící částečky.

U způsobu leptání, používaného k vyhlazení povrchu, se jedná o chemické procesy, při nichž se s pomocí agresivních chemikálií odstraňují z příslušných kovových povrchů především oxidové, rezové a okujové vrstvy. U leptacích tekutin se většinou jedná o kyseliny, které napadají jak krycí vrstvy, tak i samotný kov. Leptání není jednotný proces. Spíše tu probíhají různé chemické a fyzikální procesy vedle sebe a také po sobě.

Tyto procesy jsou často elektrochemické povahy, přičemž mezi oxidy kovu a povrchem kovu dochází k tvorbě lokálních prvků.

Elektrolytické leštění je způsob k leštění kovových povrchů, při němž jsou elektrolyticky zarovnávány vyvýšeniny apod.

Obzvláště u hliníku je chemické leštící leptání jako způsob vyrovnání povrchových nerovností vysoce vyvinuto.

V zásadě má větší význam než elektrolytické leštění. Existuje celá řada chemických leštících leptadel na hliník.

Většina chemických leštících roztoků je založena na bázi fosforečných kyselin. Přidáním kyseliny dusičné se docílí tvoření zrcadlových ploch a zlepšení kvality. Přidání kyseliny sírové urychluje rozpouštění kovu a zlepšuje vyrovnávání. Další přísady mohou dále zvýšit rychlost oddělování kovu a prodloužit životnost lázně.

Účinek leptání, i leštícího leptání, lze ve spojení se způsoby mechanického ošetřování povrchu dále zrovnoměrnit a zrychlit. V souladu s předkládaným vynálezem je k tomu zvláště vhodná taková kombinace mechanického a chemického způsobu ošetření povrchu k vyhlazování, jaká je popsaná v DE-C-40 39.

Na základě amfoterních vlastností hliníku a jeho slitin lze zde k čištění a leptání použít i alkalické roztoky.

Obecně se povrch prostřednictvím vyhlazovacího ošetření vyhlazuje až do zprůměrované střední drsnosti méně než 350 nm, přednostně méně než 250 nm. Elektrolytickým leštěním, přednostně též elektrolytickým leštěním, následujícím po mechanicko-chemickém vyhlazení, lze dosáhnout zprůměrované střední drsnosti méně než lOOnm.

Tímto způsobem vyhlazené povrchy ovšem stále ještě nejsou optimální pro nanesení plazmapolymeru. Je-li následně po mechanickém/chemickém a/nebo elektrotechnickém vyhlazení nanesen • · · · ··· · · · · · · · ·· · · · · · · · · · · — 7 — ······· · ♦ · · • · · · 9 9 9 9 9 9 9 plazmapolym, nevykazuje ještě žádoucí životnost za korozních podmínek. Předpokladem po ni je další ošetření povrchu prostřednictvím reduktivně nastavené plazmy, přednostně vodíkové plazmy. Toto ošetření plazmou probíhá při teplotách od <200°C při tlacích od <100mbar, přednostně při <100°C a <10mbar. K vodíku jako nosič plazmy mohou být přimíchány další plyny, například uhlovodíky a přednostně olefiny, jak bude popsáno dále, stejně jako kyslík, dusík nebo i argon, přičemž je třeba brát v úvahu, aby zůstal zachován redukující se charakter.

Výsledkem ošetření plazmou je dosažení aktivovaného povrchu. Za redukující šech podmínek dojde pravděpodobně k ztenčení hliníkovo-oxidové vrstvy a/nebo povrchu blízkých hydroxidů hliníků povrchu na kovovém povrchu, takže se vytvoří výchozí body pro navázání později naneseného plazmapolymeru přímo na kov. Dalším vedlejším efektem je, že se povrch díky ošetření plazmou dále vyhladí.

Na povrch, ošetřený plazmou, se, přednostně nejprve za dále redukující šech podmínek, kondenzuje plazmapolymerát. Jako hlavní složka tohoto plazmapolymeru slouží uhlovodíková a/nebo křemíkovoorganická sloučenina, která může obsahovat atomy kyslíku, dusíku nebo síry, přičemž tato sloučenina vykazuje takový bod varu, že je za teplotních a tlakových podmínek, panujících v plazmové potahovací komoře, vypařitelná.

V první řadě zde přicházejí v úvahu alkany, alkeny, aromatické uhlovodíky, sílaný, siloxany, silazany a silathiany, přednostně siloxany. Obzvláště upřednostňováno je použití hexametyldisiloxanu a hexametylcyclotrisilazanu, stejně jako hexametyldisilathianu. Lze použít rovněž vyšší homology těchto sloučenin a směsi takových sloučenin, stejně jako částečně nebo úplně fluorované deriváty.

·· ···· • « • ·

Jako co-monomer k tvorbě plazmapolymeru z křemíkovoorganických monomerů přicházejí v úvahu uhlovodíky, přednostně olefiny, například etylen, propen a cyclohexen. Sílaný, přednostně křemíkovoorganické sloučeniny s obsahem vinylu, mohou být rovněž používány jako co-monomery, například vinylmetylsilazan. Tyto nenasycené monomery mohou být přidány ke křemíkovoorganickým sloučeninám, obsahujícím atomy O, N nebo S, a to v pevných nebo v proměnlivých podílech, přičemž v úvahu přichází odstupňované přimíchání. Například může být u postupného budování plazmapolymeru nejprve na kovovém povrchu vybudována přechodová vrstva, tvořená výlučně nebo převážně křemíkovoorganickou sloučeninou, a následně může být přimíchán uhlovodík. Je rovněž možný opačný postup. Tímto způsobem lze vlastnosti plazmapolymerové potahové vrstvy změnit tak, že je dána optimální přilnavost na kovový podklad a/nebo optimální odolnost proti korodujícím substancím. Takto gradované budování je kupříkladu známé z DE-A-42 16 99.

U plazmapolymerace mohou být navíc k těmto monomerům dodány další plyny, kupříkladu kyslík, dusík nebo argon., aby se ovlivnily vlastnosti plazmy a plazmapolymeru.

Plazmapolymerace probíhá obecně při teplotě <200°C, přednostně <100°C a obzvláště přednostně asi 60°C. Tlak v plazmové potahovaci komoře leží všeobecně kolem <10mbar.

Vrstva, utvořená na kovovém podkladu plazmapolymeračním tvořením, má účelnou tloušťku od léénm do 10pm. Je však bez problémů možné, vyrábět pro zvláštní účely vrstvy s tloušťkou menší než 100 nm.

Na rozdíl od jiných potahovacích vrstev, i jinak nanesených plazmapolymerových vrstev, se v souladu s vynálezem dosahuje vyhlazení povrchu prostřednictvím zarovnávacího leptání, jehož účinek je posílen a zrovnoměrněn překrývajícími mecha•to ···· • · · ·· · ···· ··· ··· ···· ·· ····· ····· ···· ··· ···· ·· ·· ·· * ·· ·· nickými komponenty. Díky tomu méně dochází k mechanickému upnutí se polymerové vrstvy na kovovém podkladu na základě relativně vysoké drsnosti podkladu, nýbrž spíše k spíše chemickému navázání na volné valence odkrytého a vyleptaného kovového povrchu. Obecně se dosahuje téměř zrcadlově lesklého, opticky příjemného povrchu na nestrukturovaném kovovém povrchu. Obzvláště se dosahuje toho, že vrstva z hlediska své tloušťky už „nezapadá do povrchových struktur drsného povrchu kovu, nýbrž vzniká rovnoměrná, rovná vrstva.

V souladu s vynálezem bylo dosaženo ve srovnání s technickým povrchem mnohonásobně zvýšeného ochranného účinku proti korozi.

Dalšího zvýšení dlouhodobé odolnosti proti korozi se dosáhne zabudováním ve vakuu vypařitelného inhibitoru koroze přednostně do nej spodnější polohy plazmapolymerové vrstvy. Na rozdíl výsledků, které jsou dosud k dispozici, není podstatné, že je takový inhibitor koroze umístěn přímo na povrch podkladu, čili neleží přímo v rovině přilnavosti a tuto tak oslabuje. Naopak se dosahuje dálkového účinku, který je spojen obzvláště s použitím vodivých polymerů. Vhodné takové polymery jsou kupříkladu polyaniliny, které mají ve vakuu nízký tlak páry nebo mohou být v nej jemněji rozmělněné formě přidány do plazmapolymeru, v množství 0,1-1% hmotnosti.

Popsaná technologie je kromě použití u hliníkových výrobních materiálů použitelná i u dalších kovových výrobních materiálů, obzvláště u těch, které mají sklon k tvorbě povrchové oxidační vrstvy.

Způsob v souladu s vynálezem může být dále používán k nanášení základní plazmapolymerové vrstvy na kovový podklad, která je pak dále doplněna dalšími vrstvami. Tak může být dosaženo antikorozních vrstev pro nej různější účely s vysokou •to ···· • · to· ····

·· • · • · tloušťkou potahové vrstvy, které mají dostatečnou tloušťku vrstvy pro abrazivní nároky. Zvláště vhodné jsou pro tento účel ormocery. Potahové vrstvy z ormocerů jsou z hlediska strukturální výstavby podobné s vysoce síťovanými plazmapolymerovými potahovými vrstvami, mohou však být vybudovány bez relativně pomalého procesu potahování ve vakuu. Typická tloušťka vrstvy zde leží řádově mezi 1 a 100 nm. S kombinací lze docílit podobně dobrých korozních vlastností jako s plazmapolymerovým potahováním samotným.

Způsob v souladu s vynálezem je zvláště vhodný k potahování hliníkových výrobních materiálů, přičemž dosažená odolnost vůči korozi činí hliníkový výrobní materiál zvláště vhodným pro použití jako výměník tepla a k výrobě žebrových trubek pro výměník tepla ve výhřevovém kotli.

Přiklad

Jako testovací materiál byly použity čtvercové vzorky z výrobního materiálu AlMgSiO,5. Vzorky byly nejprve podrobeny několikastupňovému čisticímu procesu, aby byly zbaveny cizích látek, jako jsou oleje a tuky. Následně byl povrch plechů ošetřen kombinovaným leptacím a elektrolytickým způsobem.

Vzorky byly nejprve mechanicky očištěny kartáčem v pHneutrálním roztoku mýdlového louhu, pak opláchnuty, a znovu ošetřovány v roztoku mýdlového louhu po dobu 30 minut při t = 70°C v ultrazvukové lázni. Po dalším opláchnutí tekoucí vodou a vysušení horkým vzduchem dojde v ultrazvukové lázni k odmaštění pomocí acetonu a následuje sušení horkým vzduchem.

Následně jsou kovové vzorky mořeny v mořicí lázni ze 46,0 dílů vody, 50,0 dílů koncentrované kyseliny dusičné a 4,0 dílů kyseliny fluorovodíkové při pokojové teplotě mořeny 120 s. Po • ft ftftftft • ft ftftftft ···· omytí vodou a etanolem pak byl materiál elektrochemicky leštěn. Jako elektrolyt sloužila směs ze 78 ml 70-72%ni kyseliny chlórové, 120 ml destilované vody, 700ml etanolu a 100 ml butylglykolu. Elektrolytické leštění se provádělo po dobu 180 s při elektrolytické teplotě od -15 do +8°C, elektrolytickém proudění 5-18 A/dm² a elektrolytickém napětí 19 až 11 V.

Bezprostředně po elektrolytickém leštění byl vzorek omyt vodou a ošetřen v ultrazvukové lázni 10 minut v chladné vodě. Nakonec byl osušen horkým vzduchem.

Před vyhlazením povrchu měl materiál matný povrch se střední drsnosti 0,570 pm (průměr z pěti měření). Po elektrolytickém leštění činila střední drsnost méně než 100 nm. Povrch se vyznačoval vysokým leskem.

Ošetření plazmou bylo provedeno v obvyklém plazmapolymeačním zařízení, při němž byl do podtlakového zásobníku zaveden monomerový plyn a pomocí vysoce frekvenčního střídavého proudu a/nebo mikrovlnné energie povzbuzen k tvorbě plazmy.

V prvním kroku ošetření plazmou byla na hliníkový výrobní materiál při 60 °C a 50 mbar 120 s narážena vodíková plazma. Vodík byl postupně prostřednictvím napájení nahrazen při tlaku 10 mbar hexametyldisolanem. Objemový proud činil ke 500 ml/min, výkon ležel kolem max. 5KW. Nanášení probíhalo v tloušťce nanášené vrstvy 500 nm.

Příklad byl obměňován takovým způsobem, že při plazmapolymeraci byl nejprve na kovový povrch nanesen plazmapolymerát z etylenu jako monomer, k němuž se ve vzrůstajícím množství přidával hexametyldisolan, až byl etylen zcela vytlačen.

V dalších pokusech byly k monomerům jako dodatkové plyny přimíchány kyslík a dusík.

• 0 ··♦·

0 0 0 0 · • 0 00

0 00 0 0000 • •0 0 0 0 0000 0 · 0 0 0 00 00 00 0 0000 000 0000 00 00 00 0 00 00

Při všech těchto způsobech byly na povrch hliníkového plechu naneseny vysoce antikorozní, tenké, průhledné vrstvy a hliníkový plech si zachoval svůj vysoce lesklý charakter.

Elektronovou mikroskopií bylo zjištěno, že plazmapolymerová vrstva má dobrou přilnavost na povrch kovu. Plazmapolymerová vrstva je amorfní a prakticky bezchybná, to znamená, že nevykazuje žádné póry apod.

Korozní chování takto potažených hliníkových plechů bylo ověřováno v 25%-ní kyselině sírové při pokojové teplotě a 6070°C a rovněž ve 20%-ní kyselině dusičné při pokojové teplotě. Všechny vzorky se v několik hodin trvající zkoušce ukázaly jako stabilní a odolné. Nedošlo k žádnému vniknutí testovací tekutiny do potažených vrstev nebo dokonce k podpovrchové korozi. Nebylo pozorováno žádné odloupávání či oddělování vrstev.

Hliníkové plechy, potažené vrstvou v souladu s vynálezem, se ukázaly při teplotě 350°C za podmínek, jaké panují ve výměníku tepla ve výhřevném kotli, jako absolutně stabilní. Kromě toho vykazovaly snížené povrchové napětí, čímž dochází k menší tendenci k minerálním usazeninám, například ve formě kotelního kamene. Snížené povrchové napětí chrání rovněž před biologickým porostem, kupříkladu u materiálů, které jsou vystaveny mořské vodě.

Claims

PATENTOVÉ NÁROKY

1. Způsob antikorozního potahování kovových podkladů prostřednictvím plazmapolymerace, vyznačující se tím, že podklad je v přípravném kroku podroben mechanickému, chemickému a/nebo elektrochemickému vyhlazení a následně při teplotě méně než 200°C a tlaku 10'⁵ až 100 mbar vystaven plazmě, přičemž v prvním kroku je v redukované plazmě aktivován povrch a v druhém kroku vyloučen plazmapolymer z plazmy, obsahující alespoň uhlovodíkovou nebo křemíkovoorganickou sloučeninu, v daném případě s obsahem kyslíku, dusíku nebo síry, odpařitelnou za podmínek plazmy, která může obsahovat atomy fluoru.
2. Způsob podle nároku 1, vyznačující se tím, že kovový podklad je hliník nebo slitina hliníku.
3. Způsob podle nároku 1 nebo 2, vyznačující se tím, že kovový podklad je podroben kombinaci mechanického ošetření povrchu a leptání.
4. Způsob podle kteréhokoli z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že kovový podklad je elektrolyticky leštěn.
5. Způsob podle kteréhokoli z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že zprůměrovaná střední drsnost kovového podkladu činí po ošetření povrchu méně než 350 nm.
6. Způsob podle kteréhokoli z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že ošetření plazmou probíhá při teplotě <100°C.
7. Způsob podle kteréhokoli z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že v prvním kroku ošetře·· ·· ft· ··· ····· ··· 9 4 9 9 4 4 9

4 · ··· ·· ·· ·· « ···· ··· ···· ·· ft· ·· · *· ·· • · 9994

94 4449 ní plazmou je povrch aktivován vodíkovou plazmou pří tlaku <100mbar.
8. Způsob podle kteréhokoli z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že křemíkovoorganická sloučenina ve druhém kroku ošetření plazmou obsahuje siloxan, silazan nebo silathian.
9. Způsob podle nároku 8, vyznačující se tím, že je použit siloxan, přednostně hexametyldisiloxan nebo hexametylcyclotrisiloxan.
10. Způsob podle kteréhokoli z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že plazma obsahuje uhlovodík, přednostně olefin.
11. Způsob podle nároku 10, vyznačující se tím, že tento uhlovodík je etylen, propylen nebo cyclohexen.
12. Způsob podle kteréhokoli z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že vyloučení ve druhém kroku ošetření plazmou probíhá při tlaku <10 mbar za nejprve redukující šech podmínek.
13. Způsob podle kteréhokoli z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že do plazmy jsou přidány kyslík, dusík a/nebo ušlechtilý plyn.
14. Způsob podle kteréhokoli z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že plazmapolymerová vrstva je nanášena v tloušťce 100 nm až 1 pm.
15. Způsob podle kteréhokoli z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že do plazmapolymeru je dodán inhibitor koroze.
16. Způsob podle nároku 15, vyznačující se tím, že inhibitor koroze je polyanilin v množství 0,1 až 1% hmotnosti.

·* »·*»· φφ φφφφ *

φ φ > * φ ·
17. Způsob podle kteréhokoli z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že kovový podklad, potažený plazmou, je opatřen dalším potažením.
18. Použití způsobu podle kteréhokoli z předcházejících nároků na hliníkový výměník tepla, zvláště ve formě žebrových trubek