CN215572346U - 均热板以及具有该均热板的散热器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种均热板以及具有该均热板的散热器，其机械强度优异，即使热连接有发热量大的被冷却体也能防止受热部干烧，并使液相的工作流体能顺畅地从散热部向受热部回流。均热板具备：容器，其具有将一个板状构件和与该一个板状构件对置的另一个板状构件层叠而形成的中空的空腔部；工作流体，其被封入所述空腔部；和吸液芯结构体，其设置于所述空腔部，吸液芯结构体具有：第一吸液芯部，其从受热部延伸至散热部，并具有使用线状构件的第一吸液芯构件；以及第二吸液芯部，其设置于所述受热部，并具有使用线状构件的第二吸液芯构件，所述第二吸液芯构件的线状构件的平均直径小于所述第一吸液芯构件的线状构件的平均直径，或者所述第二吸液芯构件的网眼尺寸小于所述第一吸液芯构件的网眼尺寸。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种均热板(vapor chamber)以及具有该均热板的散热器， 其即使热连接有发热量大的被冷却体，也能防止受热部的干烧(dry-out)，从而 液相的工作流体能顺畅地从散热部向受热部回流。
背景技术
搭载于电气/电子设备的半导体元件等电子部件由于伴随高功能化的高密度 搭载等，而发热量增大，近年，其冷却变得愈加重要。另外，由于电气/电子设 备的小型化，电气/电子设备的内部空间变得狭小，并在狭小的空间内搭载半导 体元件等电子部件。作为搭载于狭小空间的电子部件的冷却方法，有时使用均热 板(平面型的热管)。
如上所述，由于被冷却体的发热量增大，因此防止均热板的受热部干烧变得 重要。作为用于防止干烧的方法，具有使吸液芯(wick)结构体的毛细管力提高 的方法。作为使吸液芯结构体的毛细管力提高的均热板，提出有如下方案：将吸 液芯配置于容器(container)的内部，该吸液芯具有：网状构件，其从散热部延 伸至受热部；以及粉末烧结体，其固接于网状构件的受热部，并使受热部的毛细 管力高于散热部的毛细管力(专利文献1)。
在专利文献1中，通过将粉末烧结体压入网状构件的内部，从而受热部的 吸液芯的毛细管力比散热部的吸液芯的毛细管力更高。其结果，防止均热板烧干。
在专利文献1中，在吸液芯的制造中，需要用于对施加于网状构件的粉末 进行烧结的加热处理。另一方面，吸液芯有时还作为用于对减压处理后的容器内 部的空间进行维持的支承构件发挥功能。然而，如专利文献1那样，在构成吸液 芯的网状构件受热时，吸液芯的机械强度因热量的影响而下降，而有时无法充分 得到作为支承构件的功能。另外，在将粉末收纳于容器后进行用于烧结粉末的加 热处理时，有时容器的机械强度因热量的影响而下降。
(在先技术文献)
(专利文献)
专利文献1：JP2018-4108A。
实用新型内容
(实用新型要解决的课题)
鉴于上述事实，本实用新型的目的是提供一种均热板，其机械强度优异，即 使热连接有发热量大的被冷却体也能防止受热部干烧，并能使液相的工作流体 顺畅地从散热部向受热部回流。
(用于解决课题的技术方案)
本实用新型的构成要素的主旨如下。
[1]一种均热板，其具备：容器，其具有将一个板状构件和与该一个板状构件 对置的另一个板状构件层叠而形成的中空的空腔部；工作流体，其被封入所述 空腔部；以及吸液芯结构体，其设置于所述空腔部，所述吸液芯结构体具有： 第一吸液芯部，其从受热部延伸至散热部，且具有使用线状构件的第一吸液芯 构件；以及第二吸液芯部，其设置于所述受热部，且具有使用线状构件的第二 吸液芯构件，所述第二吸液芯构件的线状构件的平均直径小于所述第一吸液芯 构件的线状构件的平均直径，或者，所述第二吸液芯构件的网眼尺寸小于所述 第一吸液芯构件的网眼尺寸。
[2]根据[1]中记载的均热板，其中，所述第二吸液芯部与所述第一吸液芯 部层叠。
[3]根据[1]或[2]中记载的均热板，其中，通过层叠多个所述第二吸液芯 构件而形成所述第二吸液芯部。
[4]根据[1]至[3]中任一项记载的均热板，其中，所述第二吸液芯部在俯 视时的面积比热连接于所述受热部的被冷却体在俯视时的面积大2％以上且60％ 以下。
[5]根据[1]至[4]中任一项记载的均热板，其中，所述第二吸液芯构件的 线状构件的平均直径比所述第一吸液芯构件的线状构件的平均直径小30％以 上且70％以下。
[6]根据[1]至[5]中任一项记载的均热板，其中，所述第二吸液芯构件的 网眼尺寸比所述第一吸液芯构件的网眼尺寸小20％以上且70％以下。
[7]根据[1]至[6]中任一项记载的均热板，其中，所述第一吸液芯构件以 及所述第二吸液芯构件是金属网状物。
[8]一种散热器，其具备均热板和散热片，所述均热板具备：容器，其具有将 一个板状构件和与该一个板状构件对置的另一个板状构件层叠而形成的中空 的空腔部；工作流体，其被封入所述空腔部；以及吸液芯结构体，其设置于所 述空腔部，
所述吸液芯结构体具有：第一吸液芯部，其从受热部延伸至散热部，且具 有使用线状构件的第一吸液芯构件；以及第二吸液芯部，设置于所述受热部， 且具有利用线状构件的第二吸液芯构件，
所述第二吸液芯构件的线状构件的平均直径小于所述第一吸液芯构件的 线状构件的平均直径，
或者，所述第二吸液芯构件的网眼尺寸小于所述第一吸液芯构件的网眼尺 寸，
所述散热片热连接于所述均热板的所述散热部。
在上述[1]的均热板中，在吸液芯结构体的位于受热部的部分，设置有第 一吸液芯部和第二吸液芯部。另外，受热部是指与作为被冷却体的热源热连接并 从被冷却体接受热量的区域。散热部是指相当于受热部的周围、且气相的工作流 体相变为液相而释放潜热的部分。
在上述[2]的均热板中，吸液芯结构体的位于受热部的部分成为第二吸液 芯部与第一吸液芯部的层叠结构体。
在上述[4]的均热板中，第二吸液芯部在俯视时的面积比被冷却体在俯视 时的面积大，因此，第二吸液芯部具有俯视下延伸至被冷却体的外侧的部位。另 外，在本说明书中，“俯视”是指从相对于容器的主表面垂直的方向进行视觉确 认的状态。
(实用新型效果)
根据本实用新型的均热板的形态，第二吸液芯构件的线状构件的平均直径 小于第一吸液芯构件的线状构件的平均直径，或者第二吸液芯构件的网眼尺寸 小于第一吸液芯构件的网眼尺寸，从而第二吸液芯部与第一吸液芯部相比产生 更大的毛细管力。另外，吸液芯结构体具有从受热部延伸至散热部的第一吸液芯 部以及设置于受热部的第二吸液芯部，从而在受热部中，不仅设置有第一吸液芯 部，还设置有产生大的毛细管力的第二吸液芯部。因此，在受热部的吸液芯结构 体产生优异的毛细管力，由此即使热连接有发热量大的被冷却体，也使液相的工 作流体可靠地从散热部向受热部回流，从而能够防止受热部干烧。
另一方面，第一吸液芯构件的线状构件的平均直径大于第二吸液芯构件的 线状构件的平均直径，或者第一吸液芯构件的网眼尺寸大于第二吸液芯构件的 网眼尺寸，从而第一吸液芯部与第二吸液芯部相比，对工作流体的流路阻力更小。 另外，吸液芯结构体具有第一吸液芯部从受热部延伸至散热部、且第二吸液芯部 设置于受热部的构造，从而在散热部中，虽然配置有对工作流体的流路阻力小的 第一吸液芯部，但未配置第二吸液芯部。因此，液相的工作流体能顺畅地从散热 部向受热部回流。基于上述，根据本实用新型的均热板的形态，能发挥优异的热 输送特性。
另外，根据本实用新型的均热板的形态，作为吸液芯结构体的材料，无需使 用粉体的烧结体，因此能够防止容器、吸液芯结构体的机械强度因热量的影响而 下降。
根据本实用新型的均热板的形态，第二吸液芯部与第一吸液芯部层叠，从而 使第二吸液芯部与第一吸液芯部的连接性提高，并且，能够使受热部中的吸液芯 结构体的毛细管力进一步提高。
根据本实用新型的均热板的形态，层叠多个第二吸液芯构件来形成第二吸 液芯部，从而能够使受热部中的吸液芯结构体的毛细管力进一步提高。
附图说明
图1是本实用新型的第一实施方式例所涉及的均热板的分解立体图。
图2是图1中的均热板的A-A剖视图。
图3是图1中的均热板的B-B剖视图。
图4是本实用新型的第二实施方式例所涉及的均热板的分解立体图。
图5是表示本实用新型的第二实施方式例所涉及的均热板的平面方向的概要说明图。
图6是图5中的均热板的C-C剖视图。
图7是图5中的均热板的D-D剖视图。
具体实施方式
以下，使用附图对本实用新型的第一实施方式例所涉及的均热板进行说明。 此外，图1是本实用新型的第一实施方式例所涉及的均热板的分解立体图。图2 是图1中的均热板的A-A剖视图。图3是图1中的均热板的B-B剖视图。图4 是本实用新型的第二实施方式例所涉及的均热板的分解立体图。图5是表示本 实用新型的第二实施方式例所涉及的均热板的平面方向的概要说明图。图6是 图5中的均热板的C-C剖视图。图7是图5中的均热板的D-D剖视图。
如图1～3所示，本实用新型的第一实施方式例所涉及的均热板1具有：俯 视呈矩形形状的容器10，其通过将对置的2个板状构件即一个板状构件11和与 一个板状构件11对置的另一个板状构件12重叠而形成有空腔部13；以及封入 空腔部13内的工作流体(未图示)。另外，在空腔部13的内部空间，收纳有产 生毛细管力的吸液芯结构体20。另外，另一个板状构件12的内表面与吸液芯结 构体20之间的空间部成为供气相的工作流体流通的蒸气流路18。
一个板状构件11呈平板状。另一个板状构件12也呈平板状，但中央部及 其附近被凸状地塑性变形。另一个板状构件12的朝外侧突出且被凸状地塑性变 形的部位是容器10的凸部14，凸部14的内部成为空腔部13。空腔部13通过 脱气处理而被减压。容器10呈平面形状。沿容器10的平面的方向是均热板1的 热输送方向。
吸液芯结构体20具有第一吸液芯部21和第二吸液芯部22。第一吸液芯部 21沿容器10的平面方向遍及整个空腔部13而延伸。因此，第一吸液芯部21从 容器10的受热部15延伸至散热部16。第一吸液芯部21由作为大致片状构件 的、使用线状构件的第一吸液芯构件构成。因此，第一吸液芯部21呈大致片状。 作为使用线状构件的第一吸液芯构件，例如能列举金属网状物、金属线的编织体、 使用金属线的绞线等金属线的吸液芯构件、使用线状碳的网状构件等。另外，作 为金属线的金属种类，能列举铜、铜合金、铝、铝合金、钛、钛合金、不锈钢等。
即，作为第一吸液芯构件，不使用金属粉体的烧结体。在吸液芯结构体20 中，使用金属网状物作为第一吸液芯构件。
第一吸液芯部21的厚度不作特别限定，能根据空腔部13的厚度方向的尺 寸来适当选择，例如列举0.05mm～0.20mm。另外，虽然第一吸液芯构件的层叠 片数不作特别限定，但在第一吸液芯部21中，由1片第一吸液芯构件形成。
如图1、2所示，第二吸液芯部22沿容器10的平面方向配置于容器10的 受热部15。第二吸液芯部22与第一吸液芯部21重合并被层叠。在均热板1中， 以第二吸液芯部22位于热连接有被冷却体100的一侧的方式进行层叠。第二吸 液芯部22与第一吸液芯部21形成层叠构造，从而使第二吸液芯部22与第一吸 液芯部21的连接性提高，并且，能够使受热部15的吸液芯结构体20的毛细管 力可靠地提高。
第二吸液芯部21由作为大致片状构件的、使用线状构件的第二吸液芯构件 构成。因此，第二吸液芯部22呈大致片状。另外，第二吸液芯部22的宽度方向 的尺寸与第一吸液芯部21的宽度方向的尺寸大致相同。作为使用线状构件的第 二吸液芯构件，例如能列举金属网状物、金属线的编织体、使用金属线的绞线等 金属线的吸液芯构件、使用线状碳的网状构件等。另外，作为金属线的金属种类， 能列举铜、铜合金、铝、铝合金、钛、钛合金、不锈钢等。
即，作为第二吸液芯构件，不使用金属粉体的烧结体。在吸液芯结构体20 中，使用金属网状物作为第二吸液芯构件。
第二吸液芯部21的厚度不作特别限定，能根据空腔部13的厚度方向的尺 寸来适当选择，例如列举0.025mm～0.10mm。
另一方面，第二吸液芯部22未配置于容器10的相当于受热部15以外的部 位的散热部16。因此，如图2所示，在吸液芯结构体20中，与受热部15对应 的部分成为第一吸液芯部21与第二吸液芯部22被层叠的构造，并如图3所示， 与散热部16对应的部分成为未配置第二吸液芯部22而仅配置有第一吸液芯部 21的构造。
第二吸液芯部22既可以由1片第二吸液芯构件形成，也可以层叠多片第二 吸液芯构件而形成。通过层叠多片第二吸液芯构件来形成第二吸液芯部22，能 够使受热部15中的吸液芯结构体20的毛细管力更可靠地提高。此外，如图1、 2所示，在均热板1中，层叠2片第二吸液芯构件而形成第二吸液芯部22。
吸液芯结构体20成为如下形态：第二吸液芯构件的金属线等的线状构件的 平均直径小于第一吸液芯构件的金属线等的线状构件的平均直径，或者，第二吸 液芯构件的网眼尺寸小于第一吸液芯构件的网眼尺寸。因此，第二吸液芯部22 的毛细管力大于第一吸液芯部21的毛细管力。另外，第一吸液芯部21对工作 流体的流路阻力小于第二吸液芯部22对工作流体的流路阻力。因此，在遍及整 个空腔部13而延伸的吸液芯结构体20中，在位于受热部15的区域产生比位于 散热部16的区域更大的毛细管力。由此，即使发热量大的被冷却体100热连接 于容器10，液相的工作流体也可靠地从散热部16回流至受热部15，而能够防止受热部15烧干。进而，在吸液芯结构体20中，位于仅配置有第一吸液芯部 21的散热部16的区域与位于配置有第一吸液芯部21和第二吸液芯部22的受 热部15的区域相比，对工作流体的流路阻力更小。由此，由散热部16从气相 而相变为液相的工作流体能够从散热部16向受热部15方向顺畅地回流。基于 上述，在均热板1能发挥优异的热输送特性。
另外，均热板1的形状为薄型的平面状，因此要求机械强度，但由于未使用 金属粉体的烧结体作为第一吸液芯构件以及第二吸液芯构件，因此，能够防止容 器10、吸液芯结构体20的机械强度因金属粉体的烧结工序中的热影响而下降。
第二吸液芯构件的金属线等的线状构件的平均直径(线径)只要小于第一吸 液芯构件的金属线等的线状构件的平均直径(线径)即可，并不作特别限定。例 如，从使位于受热部15的吸液芯结构体20的毛细管力进一步提高且可靠地降 低位于散热部16的吸液芯结构体20的流路阻力的方面考虑，第二吸液芯构件 的金属线等的线状构件的平均直径相对于第一吸液芯构件的金属线等的线状构 件的平均直径优选为30％以上且70％以下，尤其优选为40％以上且60％以下。
作为金属网状物的第一吸液芯构件的金属线等的线状构件的平均直径不作 特别限定，但例如从可靠地降低流路阻力的方面考虑，优选为30μm～80μm，尤 其优选为40μm～60μm。作为金属网状物的第二吸液芯构件的金属线等的线状构 件的平均直径不作特别限定，但例如从进一步提高毛细管力的观点考虑，优选为 20μm～40μm，尤其优选为25μm～35μm。
第二吸液芯构件的网眼尺寸只要小于第一吸液芯构件的网眼尺寸即可，并 不作特别限定。例如，从使位于受热部15的吸液芯结构体20的毛细管力进一 步提高且可靠地降低位于散热部16的吸液芯结构体20的流路阻力的观点考虑， 第二吸液芯构件的网眼尺寸相对于第一吸液芯构件的网眼尺寸优选为20％以上 且70％以下，尤其优选为25％以上且60％以下。
另外，作为金属网状物的第一吸液芯构件的网眼尺寸不作特别限定，但例如 从可靠地降低流路阻力的方面考虑，优选为0.034mm～0.132mm，尤其优选为 0.045mm～0.109mm。另外，作为金属网状物的第二吸液芯构件的网眼尺寸不作 特别限定，但例如从进一步提高毛细管力的方面考虑，优选为0.020mm～ 0.062mm，尤其优选为0.026mm～0.043mm。
第二吸液芯构件的开孔率优选为小于第一吸液芯构件的开孔率。例如，从使 位于受热部15的吸液芯结构体20的毛细管力进一步提高的同时可靠地降低位 于散热部16的吸液芯结构体20的流路阻力的方面考虑，第二吸液芯构件的开 孔率相对于第一吸液芯构件的开孔率，优选为30％以上且70％以下，尤其优选 为40％以上且60％以下。
另外，作为金属网状物的第一吸液芯构件的开孔率不作特别限定，但例如从 可靠地降低流路阻力的方面考虑，优选为27.8％～41.7％。另外，作为金属网状 物的第二吸液芯构件的开孔率不作特别限定，但例如从进一步提高毛细管力的 方面考虑，优选为25.0％～36.8％，尤其优选为25.8％～30.5％。
如图1所示，在均热板1中，俯视时，第二吸液芯部22以与整个被冷却体 100重合的方式配置。另外，第二吸液芯部22的俯视时的面积优选为大于热连 接于受热部15的被冷却体100的俯视时的面积。具体而言，例如，从使足够量 的液相工作流体遍及整个受热部15回流的方面考虑，第二吸液芯部22的俯视 时的面积优选为比被冷却体100的俯视时的面积大2％以上且60％以下，尤其 优选为宽15％以上且30％以下。
如图1～3所示，在与空腔部13对应的另一个板状构件12的内表面，凸出 设置有多个支柱构件17。支柱构件17从另一个板状构件12向一个板状构件11 方向延伸，其前端与吸液芯结构体20相接。支柱构件17具有维持经减压的空 腔部13的内部空间的功能。作为支柱构件17，例如能列举通过对另一个板状构 件12进行冲孔处理而形成的支柱、通过对另一个板状构件12的内表面进行蚀 刻加工而形成的支柱、通过对另一个板状构件12进行冲压成形而形成的凸台形 状的支柱、对金属网状物等网状物构件进行成形的支柱、由金属粉、金属短纤维 的烧结体形成的支柱、棒状的金属构件等。
作为容器10的材料，例如能列举铜、铜合金、铝、铝合金、镍、镍合金、 不锈钢、钛等金属、在金属箔涂布树脂而成的材料等。作为金属箔的金属种类， 能够列举能用于上述容器10的金属。作为均热板1的厚度，不作特别限定，但 例如能列举0.5mm～1.0mm左右。一个板状构件11和另一个板状构件12的厚 度能根据使用条件等来适当选择，但例如能列举分别为0.1mm左右。
另外，在容器10的周缘部，一个板状构件11与另一个板状构件12以相接 的状态重叠。通过接合该一个板状构件11与另一个板状构件12的周缘部，来 形成内部空间密闭的容器10。作为接合方法，不作特别限定，例如能列举扩散 接合、钎焊、激光焊接、超声波焊接、摩擦接合、压接接合等。另外，作为接合 宽度，例如能列举0.3mm～2.5mm。
第二吸液芯部22相对于第一吸液芯部21的固定方法(热连接方法)以及 第二吸液芯部22彼此的固定方法(热连接方法)不作特别限定，但例如能列举 电阻焊接等焊接方法。另外，吸液芯结构体20可以固定(热连接)于容器10， 作为固定方法，例如能列举电阻焊接等焊接方法。
另外，作为封入于空腔部13的工作流体，能根据与容器10的材料的匹配 性来适当选择，例如能列举水、氟利昂替代物、碳氟化合物、环戊烷、乙二醇等。
接下来，使用图1～3对本实用新型的第一实施方式例所涉及的均热板1的 动作进行说明。均热板1当中的与作为被冷却体100的发热体热连接的部位作 为受热部15发挥功能。在均热板1中，例如，在被冷却体100与容器10之间 经由受热板101，而将被冷却体100与均热板1热连接。在均热板1从被冷却体 100受热时，封入空腔部13的液相工作流体在受热部15从液相相变为气相，并 在蒸气流路18中流通而向均热板1的散热部16移动。从受热部15移动至散热 部16的气相工作流体在散热部16中释放潜热，从气相相变为液相。在散热部16中释放的潜热进而向均热板1的外部环境释放。在散热部16中从气相相变为 液相的工作流体基于吸液芯结构体20的第一吸液芯部21的毛细管力，在第一 吸液芯部21中从散热部16回流至受热部15附近。第一吸液芯部21对工作流 体的流路阻力相对小，因此相变为液相的工作流体能够从散热部16顺畅地回流 至受热部15附近。回流至受热部15附近的液相工作流体主要通过吸液芯结构 体20的第二吸液芯部22的毛细管力而从受热部15附近回流至受热部15。第二 吸液芯部22的毛细管力相对大，因此液相工作流体可靠地回流至受热部15，并 由此能防止受热部15烧干。
接下来，使用附图对本实用新型的第二实施方式例所涉及的均热板进行说 明。此外，第二实施方式例所涉及的均热板与第一实施方式例所涉及的均热板在 主要部分是共通的，因此针对与第一实施方式例所涉及的均热板相同的构成要 素，使用相同的标号进行说明。
在第一实施方式例所涉及的均热板1中，第二吸液芯部22的宽度方向的尺 寸与第一吸液芯部21的宽度方向的尺寸大致相同，但也可以取而代之，如图4～ 6所示，在第二实施方式例所涉及的均热板2中，第二吸液芯部22的宽度方向 的尺寸大于第一吸液芯部21的宽度方向的尺寸。另外，如图4、5所示，第一吸 液芯部21的形状为长条状。基于上述，在均热板2中，容器10成为受热部15 的宽度方向的尺寸大于散热部16的宽度方向的尺寸的形状。另外，容器10的 散热部16呈长条状。
另外，在第一实施方式例所涉及的均热板1中，通过将一个板状构件11和 与一个板状构件11对置的另一个板状构件12重叠而形成容器10，但也可以取 而代之，如图4～7所示，在第二实施方式例所涉及的均热板2中，与第一实施 方式例所涉及的均热板1相比容器10更厚、且空腔部13的厚度方向的尺寸更 大，与之对应，在一个板状构件11与另一个板状构件12之间进而配置有框状 的中间构件30。框状的中间构件30形成容器10的侧壁。
在均热板2中，第二吸液芯部22成为将面积相对小的第二吸液芯部22-1与 面积相对大的第二吸液芯部22-2层叠而形成的结构体。第二吸液芯部22-1配置 于一个板状构件11侧，第二吸液芯部22-2配置于另一个板状构件12侧。另外， 在一个板状构件11的受热部15中，在内表面形成有凹状的收缩部31。收缩部 31的俯视时的形状和尺寸与被冷却体100的形状和尺寸大致对应。
如图6所示，在第二吸液芯部22中，第二吸液芯部22-1的部分被装入收缩 部31。另一方面，第二吸液芯部22-2未被装入收缩部31，而在一个板状构件11 的内表面上从收缩部31延伸至其外侧的区域。第二吸液芯部22的俯视时的面 积通过第二吸液芯部22-2而成为大于热连接于受热部15的被冷却体100的俯 视时的面积的形态。因此，能够使足够量的液相工作流体在整个受热部15中回 流。
在形成有收缩部31的均热板2中，能够在被冷却体100与容器10之间不 设置受热板，而将被冷却体100直接热连接于容器10。
另外，在均热板2中，能够在宽度方向的尺寸比受热部15小的散热部16 上，安装未图示的热交换单元(例如，平板状的散热片)，即，可以将热交换单 元热连接于散热部16，而形成散热器(heat sink)。在安装有热交换单元的散热 部16附近设置冷却风扇(未图示)，通过冷却风扇的强制冷却，能够提高散热器 的热交换效率。
接下来，对本实用新型的其他实施方式例进行说明。虽然在第一实施方式例 所涉及的均热板中，第一吸液芯部由1片第一吸液芯构件形成，但也可以由多 片第一吸液芯构件的层叠体形成。虽然在第一实施方式例所涉及的均热板中，第 二吸液芯部的宽度方向的尺寸与第一吸液芯部21的宽度方向的尺寸大致相同， 但第一吸液芯部的宽度方向的尺寸与第二吸液芯部的宽度方向的尺寸的大小关 系并不作特别限定。例如，第一吸液芯部的宽度方向的尺寸可以大于第二吸液芯 部的宽度方向的尺寸，第二吸液芯部的宽度方向的尺寸也可以大于第一吸液芯 部的宽度方向的尺寸。另外，虽然在第一实施方式例所涉及的均热板中，容器的 形状俯视时呈矩形形状，但容器的俯视时的形状并不作特别限定，例如还可以是 梯形、五边形以上的多边形、圆形形状等。
另外，虽然在上述各实施方式例中，对应于在均热板的1处热连接有被冷 却体的情况，第二吸液芯部设置于1处，但在均热板的多处热连接有被冷却体 的情况下，第二吸液芯部也可以设置于该多处。
另外，虽然在第二实施方式例所涉及的均热板中，第二吸液芯部的宽度方向 的尺寸大于第一吸液芯部的宽度方向的尺寸，但第一吸液芯部的宽度方向的尺 寸与第二吸液芯部的宽度方向的尺寸的大小关系并不作特别限定，例如，第二吸 液芯部的宽度方向的尺寸可以与第一吸液芯部的宽度方向的尺寸相同。
工业实用性
本实用新型的均热板的机械强度优异，即使热连接有发热量大的被冷却体， 也能防止受热部中的干烧，并能使液相的工作流体顺畅地从散热部向受热部回 流，因此能够利用于广泛的领域。本实用新型的均热板尤其在对搭载于电子计算 机等电子设备的中央运算处理装置等、设置于狭小空间的发热量大的发热体进 行冷却的领域中利用价值高。
标号说明
1、2 均热板；
10 容器；
11 一个板状构件；
12 另一个板状构件；
13 空腔部；
20 吸液芯结构体；
21 第一吸液芯部；
22 第二吸液芯部。
Claims (18)
1.一种均热板，其具备：
容器，其具有将一个板状构件和与该一个板状构件对置的另一个板状构件层叠而形成的中空的空腔部；工作流体，其被封入所述空腔部；以及吸液芯结构体，其设置于所述空腔部，所述均热板的特征在于，
所述吸液芯结构体具有：第一吸液芯部，其从受热部延伸至散热部，且具有使用线状构件的第一吸液芯构件；以及第二吸液芯部，其设置于所述受热部，且具有使用线状构件的第二吸液芯构件，
所述第二吸液芯构件的线状构件的平均直径小于所述第一吸液芯构件的线状构件的平均直径，或者，所述第二吸液芯构件的网眼尺寸小于所述第一吸液芯构件的网眼尺寸。
2.根据权利要求1所述的均热板，其中，
所述第二吸液芯部与所述第一吸液芯部层叠。
3.根据权利要求1或2所述的均热板，其中，
通过层叠多个所述第二吸液芯构件而形成所述第二吸液芯部。
4.根据权利要求1或2所述的均热板，其中，
所述第二吸液芯部在俯视时的面积比热连接于所述受热部的被冷却体在俯视时的面积大2％以上且60％以下。
5.根据权利要求3所述的均热板，其中，
所述第二吸液芯部在俯视时的面积比热连接于所述受热部的被冷却体在俯视时的面积大2％以上且60％以下。
6.根据权利要求1、2或5所述的均热板，其中，
所述第二吸液芯构件的线状构件的平均直径相对于所述第一吸液芯构件的线状构件的平均直径为30％以上且70％以下。
7.根据权利要求3所述的均热板，其中，
所述第二吸液芯构件的线状构件的平均直径相对于所述第一吸液芯构件的线状构件的平均直径为30％以上且70％以下。
8.根据权利要求4所述的均热板，其中，
所述第二吸液芯构件的线状构件的平均直径相对于所述第一吸液芯构件的线状构件的平均直径为30％以上且70％以下。
9.根据权利要求1、2、5、7-8中任一项所述的均热板，其中，
所述第二吸液芯构件的网眼尺寸相对于所述第一吸液芯构件的网眼尺寸为20％以上且70％以下。
10.根据权利要求3所述的均热板，其中，
所述第二吸液芯构件的网眼尺寸相对于所述第一吸液芯构件的网眼尺寸为20％以上且70％以下。
11.根据权利要求4所述的均热板，其中，
所述第二吸液芯构件的网眼尺寸相对于所述第一吸液芯构件的网眼尺寸为20％以上且70％以下。
12.根据权利要求6所述的均热板，其中，
所述第二吸液芯构件的网眼尺寸相对于所述第一吸液芯构件的网眼尺寸为20％以上且70％以下。
13.根据权利要求1、2、5、7-8、10-12中任一项所述的均热板，其中，
所述第一吸液芯构件以及所述第二吸液芯构件是金属网状物。
14.根据权利要求3所述的均热板，其中，
所述第一吸液芯构件以及所述第二吸液芯构件是金属网状物。
15.根据权利要求4所述的均热板，其中，
所述第一吸液芯构件以及所述第二吸液芯构件是金属网状物。
16.根据权利要求6所述的均热板，其中，
所述第一吸液芯构件以及所述第二吸液芯构件是金属网状物。
17.根据权利要求9所述的均热板，其中，
所述第一吸液芯构件以及所述第二吸液芯构件是金属网状物。
18.一种散热器，其特征在于，具备均热板和散热片，所述均热板具备：容器，其具有将一个板状构件和与该一个板状构件对置的另一个板状构件层叠而形成的中空的空腔部；工作流体，其被封入所述空腔部；以及吸液芯结构体，其设置于所述空腔部，
所述吸液芯结构体具有：第一吸液芯部，其从受热部延伸至散热部，且具有使用线状构件的第一吸液芯构件；以及第二吸液芯部，其设置于所述受热部，且具有使用线状构件的第二吸液芯构件，
所述第二吸液芯构件的线状构件的平均直径小于所述第一吸液芯构件的线状构件的平均直径，或者，所述第二吸液芯构件的网眼尺寸小于所述第一吸液芯构件的网眼尺寸，
所述散热片热连接于所述均热板的所述散热部。
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