CN214937037U - 玻璃板的制造装置 - Google Patents

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Abstract

本实用新型提供一种玻璃板的制造装置，其具备：处理装置，其使玻璃板通过在所述玻璃板的搬运路径上配置的处理空间的同时，利用供给至所述处理空间的处理气体对所述玻璃板实施蚀刻处理；以及清洗装置，其对经过了该处理装置的所述玻璃板进行清洗，其特征在于，所述清洗装置构成为擦拭而清洗在通过所述处理装置时所述玻璃板的位于搬运方向的前端部的端面，所述清洗装置具备夹着该搬运路径而成对的辊刷，所述成对的辊刷配置在所述搬运路径上的比所述处理空间靠下游侧的位置，所述清洗装置利用所述成对的辊刷擦拭而清洗位于所述前端部的端面。

Description

玻璃板的制造装置
技术领域
本实用新型涉及玻璃板的制造方法，详细而言，涉及具备利用氟化氢等处理气体来对玻璃板实施蚀刻处理的工序的制造方法。
背景技术
众所周知，在液晶显示器、等离子显示器、有机EL显示器等平板显示器(FPD)、智能手机、平板等移动终端中，组装有具有各种厚度、尺寸的玻璃板。
此外，在玻璃板的制造工序中，有时因带有静电而产生不良状况。例如，当将玻璃板载置于作业台的载置面上并实施规定的处理时，存在玻璃板粘附于载置面的情况。由此，在将结束处理后的玻璃板从载置面剥离时，存在玻璃板发生破损的情况。
于是，作为应对上述那样的问题的对策，而进行了如下尝试：利用氟化氢等处理气体对玻璃板实施蚀刻处理，使玻璃板的主面粗糙化，由此解决问题。并且，用于对玻璃板实施蚀刻处理的方法的一例被专利文献1 公开。
在该文献所公开的方法中，使玻璃板通过在玻璃板的搬运路径上配置的处理空间的同时，利用供给至处理空间的处理气体来对玻璃板实施蚀刻处理。需要说明的是，在该方法中，在平置姿态的玻璃板的主面中，仅使下表面粗糙化，或者使下表面和上表面这两方粗糙化。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：国际公开第2017/043305号
实用新型内容
实用新型要解决的课题
然而，在上述的方法中，存在有下述那样的应解决的问题。
即，在该方法那样的方案中，实施了蚀刻处理的玻璃板存在玻璃粉容易附着于主面这样的问题。因此，存在如下难点：当在之后的工序中对玻璃板实施透明导电膜等的成膜处理那样的情况下，容易因在主面附着的玻璃粉而产生电路的断线等不良状况。
鉴于上述的情况而完成的本实用新型的技术课题在于，对于在通过处理气体所供给的处理空间的同时实施了蚀刻处理的玻璃板，尽可能地防止玻璃粉向其主面的附着。
用于解决课题的方案
本实用新型的发明人等进行了深入研究，结果发现，对于在通过处理气体所供给的处理空间的同时实施了蚀刻处理的玻璃板，容易在其主面附着玻璃粉是由下述的理由引起的。也就是说，在玻璃板通过处理空间时，不仅该玻璃板的主面被粗糙化，该玻璃板的端面也被粗糙化。并且，在通过处理空间时位于前端部的端面特别容易被粗糙化，且容易伴随着粗糙化而从该端面产生玻璃粉。并且，发现了从该端面产生的玻璃粉成为附着于主面的玻璃粉。
基于该发现，为了解决上述的课题而作出的本实用新型是一种玻璃板的制造方法，其具备：处理工序，其使玻璃板通过在玻璃板的搬运路径上配置的处理空间的同时，利用供给至处理空间的处理气体对玻璃板实施蚀刻处理；以及清洗工序，其对经过了处理工序的玻璃板进行清洗，其特征在于，在清洗工序中，擦拭而清洗在处理工序的执行时玻璃板的位于搬运方向的前端部的端面。
在本方法中，在清洗工序中，擦拭而清洗在执行处理工序时玻璃板的位于搬运方向的前端部的端面(以下记为前方端面)。这样一来，能够减少在前方端面残留处理气体的情况，从而能够抑制由于残留的处理气体使前方端面粗糙化而产生玻璃粉的情况。另外，能够将存在之后从前方端面产生并附着于玻璃板的主面的风险的玻璃粉预先从前方端面去除。其结果是，能够尽可能地防止玻璃粉向玻璃板的主面的附着。
在上述的方法中，优选的是，在搬运路径上的比处理空间靠下游侧的位置，配置有夹着搬运路径而成对的辊刷，在清洗工序中，利用成对的辊刷擦拭而清洗位于前端部的端面(前方端面)。
这样一来，利用在搬运路径上配置的成对的辊刷擦拭而清洗前方端面，因此能够高效并且可靠地减少之后从前方端面产生玻璃粉的情况。
在上述的方法中，优选的是，在清洗工序中，擦拭而清洗在处理工序的执行时玻璃板的位于搬运方向的最后部的端面。
这样一来，伴随着清洗工序的执行，不仅能够减少之后从前方端面产生玻璃粉的情况，还能够减少之后从位于最后部的端面(以下记为后方端面)产生玻璃粉的情况。其结果是，能够更可靠地防止玻璃粉向玻璃板的主面的附着。
在上述的方法中，优选的是，玻璃板呈矩形，在处理工序中，在使玻璃板的平行的两个端面延伸的方向与玻璃板的搬运方向一致的状态下，使玻璃板通过处理空间，在搬运路径上的比处理空间靠下游侧的位置，配置有夹着搬运路径而成对的盘刷，在清洗工序中，利用成对的盘刷擦拭而清洗两个端面。
这样一来，伴随着清洗工序的执行，能够减少之后从平行的两个端面产生玻璃粉的情况。其结果是，能够进一步可靠地防止玻璃粉向玻璃板的主面的附着。
实用新型效果
根据本实用新型，对于在通过处理气体所供给的处理空间的同时实施了蚀刻处理的玻璃板，能够尽可能地防止玻璃粉向其主面的附着。
附图说明
图1是示出在本实用新型的实施方式的玻璃板的制造方法中使用的制造装置的纵剖侧视图。
图2是示出在本实用新型的实施方式的玻璃板的制造方法中使用的制造装置的俯视图。
图3a是示出本实用新型的实施方式的玻璃板的制造方法中的清洗工序的纵剖侧视图。
图3b是示出本实用新型的实施方式的玻璃板的制造方法中的清洗工序的纵剖侧视图。
图3c是示出本实用新型的实施方式的玻璃板的制造方法中的清洗工序的纵剖侧视图。
图4是示出在本实用新型的其他实施方式的玻璃板的制造方法中使用的制造装置的纵剖侧视图。
具体实施方式
以下，参照附图对本实用新型的实施方式的玻璃板的制造方法进行说明。
首先，对用于玻璃板的制造方法的制造装置进行说明。在此，在以下的说明中，将相对于图1中的纸面垂直的方向记为“宽度方向”。另外，图中箭头所示的A方向为玻璃板的搬运方向，且在以下的说明中简记为“搬运方向”。
如图1及图2所示，制造装置1具备：搬运装置4，其将矩形的玻璃板2沿着搬运路径3以平置姿态搬运；处理装置7，其在使玻璃板2通过在搬运路径3上配置的处理空间5的同时，利用处理气体6实施蚀刻处理；喷射装置9，其喷射沿着通过处理空间5的过程中的玻璃板2的上表面2a 流动的气体8(非处理气体)；第一清洗装置10，其将处理后的玻璃板2 中的位于搬运方向的前端部的端面2x(以下记为前方端面2x)及位于最后部的端面2y(以下记为后方端面2y)擦拭而清洗；以及第二清洗装置 11，其将处理后的玻璃板2中的分别位于宽度方向两端的两端面2z、2z (以下分别记为宽度方向端面2z)擦拭而清洗。
搬运装置4具备沿着搬运路径3排列的多个搬运辊4a。这些搬运辊 4a有时是驱动辊，也有时是自由辊。玻璃板2在使宽度方向两端面2z、 2z的延伸方向与搬运方向一致的状态下，由搬运装置4搬运出去。因此，搬运中的玻璃板2的前方端面2x及后方端面2y均处于沿着宽度方向延伸的状态。
在此，作为本实施方式的变形例，也可以代替一部分搬运辊4a而配置搬运输运器。
处理装置7具有上下夹着搬运路径3而配置的主体部7a和顶板部7b，且主体部7a配置在下侧，顶板部7b配置在上侧。在上述主体部7a与顶板部7b的彼此之间形成有处理空间5。处理空间5在搬运方向的上游端具有用于使玻璃板2进入空间内的开口5a，并且在下游端具有用于使玻璃板2退出到空间外的开口5b。该处理空间5的沿着宽度方向的尺寸(整个宽度)与玻璃板2的沿着宽度方向的尺寸(整个宽度)相比较长。另外，处理空间5的沿着搬运方向的尺寸短于玻璃板2的沿着搬运方向的尺寸 (从前方端面2x至后方端面2y的长度)。
主体部7a具备：供气路12，其用于向处理空间5供给作为处理气体 6的氟化氢(HF)；以及排气路13，其用于将处理气体6从处理空间5排出。供气路12及排气路13沿上下方向延伸，并且在两者12、13各自的上端形成的供气口及排气口沿宽度方向形成为长条的狭缝状。在本实施方式中，从处理空间5的搬运方向上的中间地点供给的处理气体6在供给后，被分支为朝向搬运方向的上游侧的气流和朝向下游侧的气流，之后被从处理空间5排出。利用该处理气体6使玻璃板2的下表面2b粗糙化。
在此，作为本实施方式的变形例，也可以是，对供气路12和排气路 13的配置进行变更，而使供给至处理空间5后的处理气体6仅从搬运方向的上游侧朝向下游侧流动，或者仅从下游侧朝向上游侧流动。
顶板部7b以在与通过处理空间5的过程中的玻璃板2的上表面2a 之间形成用于供气体8流动的间隙的方式配置。
喷射装置9喷射清洁干燥的空气(CDA)来作为气体8。喷射装置9 具有在宽度方向上为长条的狭缝状的喷射口，喷射口从处理空间5外指向开口5a。该喷射口的沿着宽度方向的开口尺寸长于玻璃板2的沿着宽度方向的尺寸。从喷射口喷射出的气体8在上述的用于供气体8流动的间隙内从搬运方向的上游侧朝向下游侧流动。
在此，作为本实施方式的变形例，除了上述的喷射装置9之外，还可以追加新的喷射装置。例如，还可以追加具有从处理空间5外指向开口 5b的喷射口的喷射装置。该新的喷射装置形成相对于上述的用于供气体8 流动的间隙从搬运方向的下游侧朝向上游侧的气体8的流动。另一方面，作为其他的变形例，也可以将喷射装置9除去而完全不喷射气体8。
第一清洗装置10在搬运路径3上配置于比处理空间5(处理装置7) 靠下游侧的位置。该第一清洗装置10具备上下夹着搬运路径3而成对的辊刷10a、10a。
各辊刷10a具有：旋转轴，其沿着宽度方向延伸；以及多个刷毛，它们植于旋转轴的外周面。各辊刷10a以使其旋转周向与搬运方向一致的方式旋转。各辊刷10a的沿着宽度方向的尺寸长于玻璃板2的沿着宽度方向的尺寸。由此，在成对的辊刷10a、10a将玻璃板2的前方端面2x及后方端面2y擦拭而清洗时，能够清洗这些端面2x、2y的整个面(整个宽度)。
各辊刷10a能够以相对于搬运路径3接近及分离的方式移动，在本实施方式中，能够沿上下方向移动。由此，能够在图1中实线所示的运行位置与双点划线所示的退避位置之间移动。运行位置是各辊刷10a擦拭而清洗玻璃板2的前方端面2x及后方端面2y时的位置，退避位置是各辊刷 10a从搬运路径3分离而能够避免与玻璃板2的接触的位置。
在此，作为本实施方式的变形例，各辊刷10a的旋转周向也可以是与搬运方向相反的方向。另外，也可以仅配置成对的辊刷10a、10a中的一方。即，也可以仅配置上侧的辊刷10a或者仅配置下侧的辊刷10a。另外，也可以代替辊刷10a而使用海绵辊等，但就提升清洗力的观点而言，优选为辊刷10a。另外，也可以代替辊刷10a而使用沿着宽度方向排列配置的多个盘刷、盘状海绵等，但就削减设备成本的观点而言，优选为辊刷10a。
第二清洗装置11在搬运路径3上配置于比第一清洗装置10靠下游侧的位置。该第二清洗装置11具备上下夹着搬运路径3而成对的盘刷11a、 11a。成对的盘刷11a、11a配置有两对，且配置有宽度方向两端面2z、2z 的一方的清洗用和另一方的清洗用的成对的盘刷11a、11a。
成对的盘刷11a、11a相互向相同方向旋转。另外，成对的盘刷11a、 11a的一方与另一方在不清洗宽度方向端面2z时处于前端部彼此(刷毛彼此)接触的状态。另一方面，在宽度方向端面2z的清洗时，处于使宽度方向端面2z进入前端部彼此的相互之间而宽度方向端面2z夹在前端部彼此之间的状态。
在此，作为本实施方式的变形例，也可以对第二清洗装置11的配置进行变更，而在搬运路径3上配置于处理空间5(处理装置7)与第一清洗装置10的相互之间。另外，也可以代替盘刷11a、11a而使用盘状海绵等，但就提升清洗力的观点而言，优选为盘刷11a。
以下，对使用了上述的制造装置1的玻璃板的制造方法进行说明。
首先，执行对玻璃板2实施蚀刻处理的处理工序P1。
在处理工序P1中，使玻璃板2通过在搬运路径3上配置的处理空间 5，由此利用供给至处理空间5的处理气体6对玻璃板2实施蚀刻处理。由此，使玻璃板2的下表面2b粗糙化。需要说明的是，在处理工序P1 的执行中，形成沿着玻璃板2的上表面2a从搬运方向的上游侧朝向下游侧的气体8的流动，由此避免由于处理气体6而不合理地使上表面2a粗糙化的情况。
在此，在处理工序P1中进行粗糙化的对象是玻璃板2的下表面2b，但也会不可避免地使下表面2b以外的部位粗糙化。特别是容易使玻璃板 2的前方端面2x粗糙化，且容易伴随着粗糙化而从前方端面2x产生玻璃粉。
当处理工序P1完成时，如图3a～图3c所示，执行对经过了处理工序P1的玻璃板2的前方端面2x、后方端面2y以及宽度方向两端面2z、 2z进行清洗的清洗工序P2。
在清洗工序P2中，首先，如图3a所示，利用处于运行位置的成对的辊刷10a、10a擦拭而清洗在处理工序P1的执行时玻璃板2的位于搬运方向的前端部的端面即前方端面2x。此时，从第一清洗装置10所具备的喷嘴(未图示)向辊刷10a、10a和/或前方端面2x供给清洗液(例如纯水)。当前方端面2x的擦拭清洗完成时，如该图中箭头所示，立刻使各辊刷10a 从运行位置向退避位置移动。因此，各辊刷10a与玻璃板2的上表面2a 及下表面2b大致不接触。例如，在玻璃板2的上表面2a及下表面2b中，各辊刷10a与从前方端面2x起200mm以下的位置为止的区域接触，而不与玻璃板2的上表面2a及下表面2b的中央区域接触。需要说明的是，在该时间点，未开始玻璃板2的宽度方向两端面2z、2z的清洗。
接下来，如图3b所示，当玻璃板2伴随着搬运而到达成对的盘刷11a、 11a所配置的部位时，分别在宽度方向的一侧与另一侧，利用成对的盘刷 11a、11a擦拭而清洗宽度方向端面2z。此时，从第二清洗装置11所具备的喷嘴(未图示)向盘刷11a、11a和/或宽度方向端面2z供给清洗液(例如纯水)。需要说明的是，对于成对的辊刷10a、10a，其在退避位置等待，直到在处理工序P1的执行时玻璃板2的位于搬运方向的最后部的端面即后方端面2y到达成对的辊刷10a、10a所配置的部位。
之后，如图3c所示，当玻璃板2的后方端面2y伴随着搬运而到达成对的辊刷10a、10a所配置的部位时，如该图中箭头所示，使各辊刷10a 再次从退避位置向运行位置移动。此时，各辊刷10a与玻璃板2的上表面 2a及下表面2b也大致不接触。例如，在玻璃板2的上表面2a及下表面 2b中，各辊刷10a与从后方端面2y起200mm以下的位置为止的区域接触，而不与玻璃板2的上表面2a及下表面2b的中央区域接触。并且，利用处于运行位置的成对的辊刷10a、10a擦拭而清洗后方端面2y。此时，从第一清洗装置10所具备的喷嘴(未图示)向辊刷10a、10a和/或后方端面2y供给清洗液(例如纯水)。在完成后方端面2y的擦拭清洗后，当玻璃板2完全通过成对的盘刷11a、11a所配置的部位时，由此也完成宽度方向端面2z的清洗，从而完成清洗工序P2。
经过了清洗工序P2的玻璃板2之后经过各种处理、检查等而制造为产品玻璃板。例如，也可以设置对玻璃板2的上表面2a及下表面2b进行喷淋清洗的工序(喷淋清洗工序)、利用气刀等将清洗液从玻璃板2去除的干燥工序，来作为清洗工序P2(擦拭清洗工序)之后的工序。需要说明的是，也可以将喷淋清洗工序设置在处理工序P1与擦拭清洗工序P2 之间。
以下，对上述的玻璃板的制造方法的主要的作用、效果进行说明。
在上述的制造方法中，在清洗工序P2中，擦拭而清洗在处理工序P1 的执行时玻璃板2的位于搬运方向的前端部的端面即前方端面2x。这样一来，能够减少在前方端面2x残留处理气体的情况，从而能够抑制由于残留的处理气体使前方端面2x粗糙化而产生玻璃粉的情况。另外，能够将存在之后从前方端面2x产生并附着于玻璃板2的上下表面2a、2b的风险的玻璃粉预先从前方端面2x去除。其结果是，能够尽可能地防止玻璃粉向玻璃板2的上下表面2a、2b的附着。
在此，本实用新型的玻璃板的制造方法并不限定于在上述的实施方式中说明过的方案。例如，也可以设为如下方案：如图4所示，除了处理装置7的主体部7a侧以外，在顶板部7b侧也设置有处理气体6的供气路12，从而在处理工序P1中，不仅使玻璃板2的下表面2b粗糙化，还使上表面2a粗糙化。在该情况下，清洗工序P2也能够按照与上述的实施方式同样的方案执行。需要说明的是，在图4所示的方案中，与上述的实施方式不同，除去了喷射装置9。
另外，在上述的实施方式中，各辊刷能够以相对于搬运路径接近及分离的方式移动，但并不限于此。也可以设为使各辊刷不能移动的结构，使各辊刷始终存在于运行位置。这样一来，也可以设为如下方案：使成对的辊刷不仅擦拭而清洗玻璃板的前方端面及后方端面，还擦拭而清洗上下表面及宽度方向两端面。
另外，在上述的实施方式中，利用成对的辊刷擦拭而清洗玻璃板的前方端面，但并不限于此。也可以在前方端面的清洗时，使用绕沿上下方向延伸的旋转轴旋转的辊刷。并且，也可以通过使该辊刷在旋转的同时沿玻璃板的前方端面移动，由此擦拭而清洗前方端面。
附图标记说明
2 玻璃板
2x 前方端面
2y 后方端面
2z 宽度方向端面
3 搬运路径
5 处理空间
6 处理气体
10a 辊刷
11a 盘刷
A 搬运方向
P1 处理工序
P2 清洗工序。

Claims (3)

1.一种玻璃板的制造装置，其具备：处理装置，其使玻璃板通过在所述玻璃板的搬运路径上配置的处理空间的同时，利用供给至所述处理空间的处理气体对所述玻璃板实施蚀刻处理；以及清洗装置，其对经过了该处理装置的所述玻璃板进行清洗，其特征在于，
所述清洗装置构成为擦拭而清洗在通过所述处理装置时所述玻璃板的位于搬运方向的前端部的端面，
所述清洗装置具备夹着该搬运路径而成对的辊刷，所述成对的辊刷配置在所述搬运路径上的比所述处理空间靠下游侧的位置，
所述清洗装置利用所述成对的辊刷擦拭而清洗位于所述前端部的端面。
2.根据权利要求1所述的玻璃板的制造装置，其特征在于，
所述清洗装置构成为擦拭而清洗在通过所述处理装置时所述玻璃板的位于搬运方向的最后部的端面。
3.根据权利要求1或2所述的玻璃板的制造装置，其特征在于，
所述玻璃板呈矩形，
所述处理装置在使所述玻璃板的平行的两个端面延伸的方向与所述玻璃板的搬运方向一致的状态下，使该玻璃板通过所述处理空间，
所述清洗装置具备夹着该搬运路径而成对的盘刷，所述成对的盘刷配置在所述搬运路径上的比所述处理空间靠下游侧的位置，
所述清洗装置利用所述成对的盘刷擦拭而清洗所述两个端面。
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