WO2020054316A1 - ガラス板の製造方法 - Google Patents

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glass plate
processing
face
glass
cleaning
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隼人 奥
弘樹 中塚
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日本電気硝子株式会社
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    • B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
    • B08B1/30—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface
    • B08B1/32—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface using rotary cleaning members
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B7/00—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C15/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by etching
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments

Definitions

  • the present invention relates to a method for manufacturing a glass sheet, and more particularly, to a manufacturing method including a step of performing an etching process on a glass sheet with a processing gas such as hydrogen fluoride.
  • glass plates having various thicknesses and sizes are incorporated in flat panel displays (FPDs) such as liquid crystal displays, plasma displays, and organic EL displays, and mobile terminals such as smartphones and tablets.
  • FPDs flat panel displays
  • LCDs liquid crystal displays
  • plasma displays plasma displays
  • organic EL displays organic EL displays
  • mobile terminals such as smartphones and tablets.
  • a problem may occur due to electrostatic charging.
  • the glass plate when a glass plate is placed on a mounting surface of a worktable and a predetermined process is performed, the glass plate may be stuck to the mounting surface. As a result, the glass plate may be damaged when the treated glass plate is peeled off from the mounting surface.
  • Patent Document 1 An example of a technique for performing an etching process on a glass plate is disclosed in Patent Document 1.
  • the glass plate is etched by the processing gas supplied to the processing space while passing the processing space disposed on the transport path of the glass plate through the glass plate.
  • the processing gas supplied to the processing space while passing the processing space disposed on the transport path of the glass plate through the glass plate.
  • only the lower surface, or both the lower surface and the upper surface, of the main surface of the glass plate in the flat position are roughened.
  • the glass plate that has been subjected to the etching treatment in the same manner as the above method has a problem that the glass powder easily adheres to the main surface. For this reason, when performing a film forming process of a transparent conductive film or the like on a glass plate in a later step, there is a problem that a defect such as disconnection of a circuit easily occurs due to glass powder attached to the main surface.
  • the present invention is to prevent glass powder from adhering to the main surface of a glass plate that has been subjected to etching while passing through a processing space to which a processing gas is supplied. Is a technical issue.
  • the inventors of the present invention have conducted intensive studies and found that glass powder that has been subjected to etching while passing through a processing space to which a processing gas is supplied is likely to have glass powder adhered to the main surface thereof, as follows. It came to be understood that it was due to the reason. That is, when the glass plate passes through the processing space, not only the main surface but also the end surface is roughened. Then, the end face located at the head portion when passing through the processing space is particularly easily roughened, and glass powder is easily generated from the end face with the roughening. And it discovered that the glass powder which generate
  • the present invention was devised to solve the above problems, while passing the processing space arranged on the glass plate transport path through the glass plate, the processing gas supplied to the processing space by the processing gas
  • a method for manufacturing a glass sheet comprising: a processing step of performing an etching process on a glass sheet, and a cleaning step of cleaning the glass sheet after the processing step, wherein the cleaning step includes: The cleaning is performed by rubbing the end face located at the head portion.
  • the end face (hereinafter, referred to as the front end face) located at the top in the transport direction of the glass plate at the time of execution of the processing step is cleaned by rubbing.
  • the processing gas can be prevented from remaining on the front end face, and the generation of glass powder due to the remaining processing gas roughening the front end face can be suppressed.
  • glass powder which is likely to be generated from the front end surface and adhered to the main surface of the glass plate later can be removed from the front end surface in advance. As a result, adhesion of glass powder to the main surface of the glass plate can be prevented as much as possible.
  • a pair of roll brushes is disposed on the transport path downstream of the processing space, and a pair of roll brushes is disposed across the transport path. It is preferable to wash by rubbing with a roll brush.
  • the front end face is rubbed and washed with the pair of roll brushes arranged on the transport path, so that the generation of glass powder from the front end face can be efficiently and reliably reduced.
  • the cleaning step it is preferable to perform cleaning by rubbing the end face located at the rearmost position in the transport direction of the glass plate when the processing step is performed.
  • the glass plate has a rectangular shape, and in the processing step, the glass plate passes through the processing space in a state where the direction in which the two parallel end faces of the glass plate extend and the direction in which the glass plate is transported are aligned. It is preferable that a pair of disk brushes is disposed downstream of the processing space on the path with the transport path interposed therebetween, and in the cleaning step, two end faces are rubbed with the pair of disk brushes for cleaning.
  • adhesion of glass powder to the main surface of a glass plate that has been subjected to etching while passing through a processing space to which a processing gas is supplied can be prevented as much as possible.
  • a manufacturing apparatus used in a method for manufacturing a glass plate will be described.
  • a direction perpendicular to the paper surface of FIG. 1 is referred to as a “width direction”.
  • the direction A indicated by an arrow in the drawing is the direction in which the glass plate is transported, and is simply referred to as “transport direction” in the following description.
  • the manufacturing apparatus 1 includes a transfer device 4 that transfers a rectangular glass plate 2 in a flat position along a transfer path 3 and a processing space 5 arranged on the transfer path 3.
  • a processing apparatus 7 for performing an etching process with the processing gas 6 while passing through the glass plate 2 and an injection apparatus 9 for injecting a gas 8 (non-processing gas) flowing along the upper surface 2 a of the glass plate 2 passing through the processing space 5.
  • the end face 2x (hereinafter referred to as a front end face 2x) located at the leading end in the transport direction and the end face 2y (hereinafter referred to as a rear end face 2y) located at the rear end of the processed glass plate 2 in the transport direction.
  • a first cleaning device 10 and a second cleaning device 11 that rubs and cleans both end surfaces 2z, 2z (hereinafter, referred to as width direction end surfaces 2z, respectively) located at both ends in the width direction of the treated glass plate 2 are provided. .
  • the transport device 4 includes a plurality of transport rollers 4a arranged along the transport path 3. These transport rollers 4a may be drive rollers or free rollers.
  • the glass plate 2 is transported by the transport device 4 in a state where the extending directions of the both width direction end surfaces 2z, 2z are aligned with the transport direction. Therefore, both the front end face 2x and the rear end face 2y of the glass plate 2 being conveyed are in a state of extending in the width direction.
  • a transport conveyor may be arranged instead of some of the transport rollers 4a.
  • the processing device 7 has a main body 7a disposed below the transport path 3 vertically and a top plate 7b disposed above.
  • the processing space 5 is formed between the main body 7a and the top plate 7b.
  • the processing space 5 has an opening 5a at the upstream end in the transport direction for allowing the glass plate 2 to enter the space, and has an opening 5b at the downstream end for retreating the glass plate 2 out of the space.
  • the dimension (full width) of the processing space 5 along the width direction is longer than the dimension (full width) of the glass plate 2 along the width direction.
  • the dimension of the processing space 5 along the transport direction is shorter than the dimension of the glass plate 2 along the transport direction (the length from the front end face 2x to the rear end face 2y).
  • the main body 7 a includes an air supply path 12 for supplying hydrogen fluoride (HF) as the processing gas 6 to the processing space 5, and an exhaust path 13 for exhausting the processing gas 6 from the processing space 5.
  • the air supply path 12 and the air exhaust path 13 extend in the up-down direction, and the air supply port and the air exhaust port formed at the upper end of each of the air supply path 12 and the air supply path 13 are formed in a slit shape elongated in the width direction.
  • the processing gas 6 supplied from the intermediate point in the transport direction of the processing space 5 branches into a flow toward the upstream side and a flow toward the downstream side in the transport direction after the supply. It is exhausted from.
  • the lower surface 2b of the glass plate 2 is roughened by the processing gas 6.
  • the arrangement of the air supply path 12 and the exhaust path 13 is changed so that the processing gas 6 that has supplied air to the processing space 5 flows from the upstream side to the downstream side in the transport direction. Only, or only from the downstream side to the upstream side.
  • the top plate portion 7b is disposed so as to form a gap for flowing the gas 8 between the top plate portion 7b and the upper surface 2a of the glass plate 2 passing through the processing space 5.
  • the injection device 9 injects clean dry air (CDA) as the gas 8.
  • the ejection device 9 has a slit-shaped ejection port that is long in the width direction, and the ejection port faces the opening 5 a from outside the processing space 5.
  • the opening dimension of the injection port along the width direction is longer than the dimension of the glass plate 2 along the width direction.
  • the gas 8 injected from the injection port flows from the upstream side in the transport direction to the downstream side in the gap for flowing the gas 8.
  • a new injection device may be added in addition to the injection device 9 described above.
  • an injection device having an injection port directed from the outside of the processing space 5 to the opening 5b may be added.
  • This new injection device forms a flow of the gas 8 from the downstream side in the transport direction to the upstream side in the gap for flowing the gas 8.
  • the injection device 9 may be removed so that the gas 8 is not injected at all.
  • the first cleaning device 10 is disposed downstream of the processing space 5 (processing device 7) on the transport path 3.
  • the first cleaning device 10 includes a pair of roll brushes 10a, 10a sandwiching the transport path 3 up and down.
  • Each roll brush 10a has a rotating shaft extending in the width direction and a large number of brush bristles implanted on the outer peripheral surface of the rotating shaft. Each of the roll brushes 10a rotates so that its rotational circumferential direction matches the transport direction. The size of each roll brush 10a along the width direction is longer than the size of the glass plate 2 along the width direction. Thereby, when the pair of roll brushes 10a, 10a rubs the front end face 2x and the rear end face 2y of the glass plate 2 for cleaning, it is possible to clean the entire surfaces (full width) of these end faces 2x, 2y. is there.
  • Each roll brush 10a can move so as to approach and move away from the transport path 3, and in the present embodiment, can move along the vertical direction. Thereby, it is possible to move between the operating position indicated by the solid line in FIG. 1 and the retracted position indicated by the two-dot chain line.
  • the operating position is a position where each roll brush 10a rubs the front end face 2x and the rear end face 2y of the glass plate 2 for cleaning
  • the retracted position is a position where each roll brush 10a separates from the transport path 3 and the glass plate 2 This is a position where contact with the object can be avoided.
  • each roll brush 10a may be a direction opposite to the transport direction.
  • only one of the pair of roll brushes 10a, 10a may be arranged. That is, only the upper roll brush 10a or only the lower roll brush 10a may be disposed.
  • a sponge roller or the like may be used instead of the roll brush 10a, but the roll brush 10a is preferable from the viewpoint of improving the detergency.
  • a plurality of disk brushes, disk sponges, and the like arranged side by side in the width direction may be used, but the roll brush 10a is preferable from the viewpoint of reducing equipment costs.
  • the second cleaning device 11 is arranged on the transport path 3 downstream of the first cleaning device 10.
  • the second cleaning device 11 includes a pair of disk brushes 11a, 11a sandwiching the transport path 3 vertically. Two pairs of the disk brushes 11a, 11a are arranged, and one of the two end faces 2z, 2z in the width direction and one for the other are arranged.
  • the paired disk brushes 11a, 11a rotate in the same direction. Also, one end and the other of the paired disk brushes 11a, 11a are in a state where their tips (bristles) are in contact with each other when the widthwise end face 2z is not cleaned. On the other hand, at the time of cleaning the width direction end faces 2z, the width direction end faces 2z enter between the tips, and the width direction end faces 2z are interposed between the tips.
  • the arrangement of the second cleaning device 11 is changed, and the second cleaning device 11 is disposed between the processing space 5 (the processing device 7) and the first cleaning device 10 on the transport path 3. Good.
  • a disk sponge or the like may be used instead of the disk brushes 11a, 11a, but the disk brush 11a is preferable from the viewpoint of improving the detergency.
  • a processing step P1 of performing an etching process on the glass plate 2 is performed.
  • the glass plate 2 is etched by the processing gas 6 supplied to the processing space 5 by passing the processing space 5 arranged on the transport path 3 through the glass plate 2. Thereby, the lower surface 2b of the glass plate 2 is roughened.
  • the processing step P1 by forming a flow of the gas 8 from the upstream side to the downstream side in the transport direction along the upper surface 2a of the glass plate 2, the upper surface 2a is unduly roughened by the processing gas 6. Avoid being confused.
  • the object to be roughened in the processing step P1 is the lower surface 2b of the glass plate 2, but a part other than the lower surface 2b is inevitably roughened.
  • the front end face 2x of the glass plate 2 is easily roughened, and glass powder is easily generated from the front end face 2x with the roughening.
  • the front end face 2x which is the end face located at the head in the transport direction of the glass plate 2 at the time of execution of the processing step P1, is turned into a pair of rolls at the operating position. Cleaning is performed by rubbing with brushes 10a and 10a. At this time, a cleaning liquid (for example, pure water) is supplied from a nozzle (not shown) of the first cleaning device 10 to the roll brushes 10a, 10a and / or the front end face 2x. When the rubbing and cleaning of the front end face 2x is completed, each roll brush 10a is immediately moved from the operating position to the retracted position, as indicated by the arrow in FIG.
  • a cleaning liquid for example, pure water
  • each roll brush 10a does not substantially contact the upper surface 2a and the lower surface 2b of the glass plate 2.
  • each of the roll brushes 10a is in contact with a region of the upper surface 2a and the lower surface 2b of the glass plate 2 from the front end surface 2x to a position of 200 mm or less, and is not in contact with a central region of the upper surface 2a and the lower surface 2b of the glass plate 2. .
  • the cleaning of both end surfaces 2z, 2z in the width direction of the glass plate 2 has not been started.
  • the rear end face 2y which is the end face located at the rearmost position in the transport direction of the glass plate 2 at the time of executing the processing step P1, is the pair of roll brushes 10a, 10a. Stand by at the evacuation position until it reaches the location where it was placed.
  • each roll brush 10a does not substantially contact the upper surface 2a and the lower surface 2b of the glass plate 2.
  • each of the roll brushes 10a contacts a region of the upper surface 2a and the lower surface 2b of the glass plate 2 from the rear end surface 2y to a position of 200 mm or less, and does not contact a central region of the upper surface 2a and the lower surface 2b of the glass plate 2. .
  • the rear end face 2y is rubbed and cleaned with the pair of roll brushes 10a, 10a at the operating position.
  • a cleaning liquid for example, pure water
  • a cleaning liquid for example, pure water
  • the glass plate 2 that has passed through the cleaning process P2 is then manufactured as a product glass plate through various processes and inspections.
  • a post-process of the cleaning process P2 rubbing cleaning process
  • a process of shower-cleaning the upper surface 2a and the lower surface 2b of the glass plate 2 shown cleaning process
  • a drying process of removing the cleaning liquid from the glass plate 2 using an air knife or the like are included. It may be provided. Note that the shower cleaning step may be provided between the processing step P1 and the rubbing cleaning step P2.
  • the front end face 2x which is the end face located at the top in the transport direction of the glass plate 2 when the processing step P1 is executed, is rubbed and cleaned.
  • the processing gas can be prevented from remaining on the front end face 2x, and the generation of glass powder due to the remaining processing gas roughening the front end face 2x can be suppressed.
  • glass powder which is likely to be generated from the front end face 2x and adhered to the upper and lower surfaces 2a and 2b of the glass plate 2 later can be removed from the front end face 2x in advance. As a result, it is possible to prevent glass powder from adhering to the upper and lower surfaces 2a and 2b of the glass plate 2 as much as possible.
  • the method for manufacturing a glass sheet according to the present invention is not limited to the mode described in the above embodiment.
  • an air supply path 12 for the processing gas 6 is also provided on the top plate 7 b, and only the lower surface 2 b of the glass plate 2 is used in the processing step P 1.
  • the upper surface 2a may be roughened.
  • the cleaning step P2 can be performed in the same manner as in the above embodiment.
  • the injection device 9 is omitted.
  • each roll brush can move so as to approach and separate from the transport path, but this is not a limitation.
  • Each roll brush may be configured to be immovable, so that each roll brush is always at the operating position. In this way, the roll brushes forming a pair may be used for cleaning not only the front end face and the rear end face of the glass plate but also the upper and lower faces and both width direction end faces.
  • the front end face of the glass plate is rubbed and cleaned by the pair of roll brushes, but the present invention is not limited to this.
  • a roll brush that rotates around a rotation axis extending in the vertical direction may be used. Then, by rotating the roll brush along the front end face of the glass plate, the front end face may be rubbed and cleaned.

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Abstract

ガラス板２の搬送経路３上に配置された処理空間５をガラス板２に通過させつつ、処理空間５に給気した処理ガス６によりガラス板２にエッチング処理を施す処理工程Ｐ１と、処理工程Ｐ１を経たガラス板２を洗浄する洗浄工程Ｐ２とを備えたガラス板の製造方法において、洗浄工程Ｐ２では、処理工程Ｐ１の実行時にガラス板２の搬送方向の先頭部に位置していた端面２ｘを擦って洗浄するようにした。

Description

ガラス板の製造方法
　本発明は、ガラス板の製造方法に係り、詳しくは、フッ化水素等の処理ガスによりガラス板にエッチング処理を施す工程を備えた製造方法に関する。
　周知のように、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）や、スマートホン、タブレット等のモバイル端末には、種々の厚みやサイズを有するガラス板が組み込まれている。
　ところで、ガラス板の製造工程では、静電気の帯電に起因して不具合が生じることがある。例えば、作業台の載置面上にガラス板を載置して所定の処理を施す際に、ガラス板が載置面に貼り付いてしまう場合がある。これにより、処理を終えたガラス板を載置面から剥離させるにあたり、ガラス板が破損する場合があった。
　そこで、上述のような問題への対策として、フッ化水素等の処理ガスによりガラス板にエッチング処理を施し、ガラス板の主面を粗化させることで、問題を解決する試みがなされている。そして、ガラス板にエッチング処理を施すための手法の一例が、特許文献１に開示されている。
　同文献に開示された手法では、ガラス板の搬送経路上に配置された処理空間をガラス板に通過させつつ、処理空間に給気した処理ガスによりガラス板にエッチング処理を施している。なお、同手法においては、平置き姿勢のガラス板の主面のうち、下面のみ、或いは、下面と上面との双方を粗化させている。
国際公開第２０１７／０４３３０５号
　しかしながら、上記の手法では、下記のような解決すべき問題があった。
　すなわち、同手法のような態様の下でエッチング処理を施されたガラス板は、主面にガラス粉が付着しやすいという問題がある。そのため、後の工程でガラス板に透明導電膜等の成膜処理を施すような場合に、主面に付着したガラス粉に起因して回路の断線等の不良が発生しやすい難点があった。
　上記の事情に鑑みなされた本発明は、処理ガスが給気される処理空間を通過させつつエッチング処理を施したガラス板について、その主面へのガラス粉の付着を可及的に防止することを技術的な課題とする。
　本発明の発明者等は、鋭意研究の結果、処理ガスが給気される処理空間を通過させつつエッチング処理を施したガラス板について、その主面にガラス粉が付着しやすいのは、下記の理由によるものと知見するに至った。つまり、ガラス板が処理空間を通過する際には、その主面だけでなく端面も粗化される。そして、処理空間の通過時に先頭部に位置する端面は特に粗化されやすく、粗化に伴って当該端面からガラス粉が発生しやすくなる。そして、当該端面から発生したガラス粉が、主面に付着するガラス粉となることを知見した。
　当該知見に基づいて、上記の課題を解決するために創案された本発明は、ガラス板の搬送経路上に配置された処理空間をガラス板に通過させつつ、処理空間に給気した処理ガスによりガラス板にエッチング処理を施す処理工程と、処理工程を経たガラス板を洗浄する洗浄工程とを備えたガラス板の製造方法であって、洗浄工程では、処理工程の実行時にガラス板の搬送方向の先頭部に位置していた端面を擦って洗浄することを特徴とするものである。
　本方法では、洗浄工程において、処理工程の実行時にガラス板の搬送方向の先頭部に位置していた端面（以下、前方端面と表記）を擦って洗浄する。このようにすることで、前方端面に処理ガスが残留するのを低減することができ、残留する処理ガスが前方端面を粗化することによってガラス粉が発生するのを抑制できる。また、後に前方端面から発生してガラス板の主面に付着する虞のあるガラス粉を、予め前方端面から除去しておくことができる。その結果、ガラス板の主面へのガラス粉の付着を可及的に防止することが可能となる。
　上記の方法において、搬送経路上の処理空間よりも下流側に、搬送経路を挟んで対をなすロールブラシを配置し、洗浄工程では、先頭部に位置していた端面（前方端面）を、対をなすロールブラシで擦って洗浄することが好ましい。
　このようにすれば、搬送経路上に配置された対をなすロールブラシで前方端面を擦って洗浄するため、後に前方端面からガラス粉が発生することを効率的かつ確実に低減できる。
　上記の方法において、洗浄工程では、処理工程の実行時にガラス板の搬送方向の最後部に位置していた端面を擦って洗浄することが好ましい。
　このようにすれば、洗浄工程の実行に伴って、前方端面からのみでなく、最後部に位置していた端面（以下、後方端面と表記）から、後にガラス粉が発生することを低減できる。その結果、ガラス板の主面へのガラス粉の付着を更に確実に防止できる。
　上記の方法において、ガラス板が矩形をなし、処理工程では、ガラス板の平行な二つの端面が延びる方向とガラス板の搬送方向とを揃えた状態で、ガラス板に処理空間を通過させ、搬送経路上の処理空間よりも下流側に、搬送経路を挟んで対をなすディスクブラシを配置し、洗浄工程では、二つの端面を、対をなすディスクブラシで擦って洗浄することが好ましい。
　このようにすれば、洗浄工程の実行に伴って、後に平行な二つの端面からガラス粉が発生することを低減できる。その結果、ガラス板の主面へのガラス粉の付着を一層確実に防止することが可能となる。
　本発明によれば、処理ガスが給気される処理空間を通過させながらエッチング処理を施したガラス板について、その主面へのガラス粉の付着を可及的に防止できる。
本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法に用いる製造装置を示す縦断側面図である。 本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法に用いる製造装置を示す平面図である。 本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法における洗浄工程を示す縦断側面図である。 本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法における洗浄工程を示す縦断側面図である。 本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法における洗浄工程を示す縦断側面図である。 本発明の他の実施形態に係るガラス板の製造方法に用いる製造装置を示す縦断側面図である。
　以下、本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法について、添付の図面を参照しながら説明する。
　最初に、ガラス板の製造方法に用いる製造装置について説明する。ここで、以下の説明においては、図１における紙面に対して鉛直な方向を「幅方向」と表記する。また、図中に矢印で示したＡ方向はガラス板の搬送方向であり、以下の説明においては、単に「搬送方向」と表記する。
　図１および図２に示すように、製造装置１は、矩形のガラス板２を搬送経路３に沿って平置き姿勢で搬送する搬送装置４と、搬送経路３上に配置された処理空間５をガラス板２に通過させつつ処理ガス６によりエッチング処理を施す処理装置７と、処理空間５を通過中のガラス板２の上面２ａに沿って流れるガス８（非処理ガス）を噴射する噴射装置９と、処理後のガラス板２における搬送方向の先頭部に位置する端面２ｘ（以下、前方端面２ｘと表記）および最後部に位置する端面２ｙ（以下、後方端面２ｙと表記）を擦って洗浄する第一洗浄装置１０と、処理後のガラス板２における幅方向両端にそれぞれ位置する両端面２ｚ，２ｚ（以下、それぞれ幅方向端面２ｚと表記）を擦って洗浄する第二洗浄装置１１とを備える。
　搬送装置４は、搬送経路３に沿って並べられた複数の搬送ローラー４ａを備える。これらの搬送ローラー４ａは、駆動ローラーである場合もあるし、フリーローラーである場合もある。ガラス板２は、両幅方向端面２ｚ，２ｚの延びる方向が搬送方向と揃えられた状態で、搬送装置４により搬送されていく。従って、搬送中のガラス板２における前方端面２ｘおよび後方端面２ｙはいずれも幅方向に延びた状態にある。
　ここで、本実施形態の変形例として、一部の搬送ローラー４ａに代えて、搬送コンベアを配置してもよい。
　処理装置７は、搬送経路３を上下に挟んで下側に配置された本体部７ａと、上側に配置された天板部７ｂとを有する。これら本体部７ａと天板部７ｂとの相互間に処理空間５が形成される。処理空間５は、搬送方向の上流端にガラス板２を空間内に進入させるための開口５ａを有すると共に、下流端にガラス板２を空間外に退出させるための開口５ｂを有する。この処理空間５の幅方向に沿った寸法（全幅）は、ガラス板２の幅方向に沿った寸法（全幅）と比較して長くなっている。また、処理空間５の搬送方向に沿った寸法は、ガラス板２の搬送方向に沿った寸法（前方端面２ｘから後方端面２ｙまでの長さ）よりも短くなっている。
　本体部７ａは、処理空間５に処理ガス６としてのフッ化水素（ＨＦ）を給気するための給気路１２と、処理空間５から処理ガス６を排気するための排気路１３とを備える。給気路１２および排気路１３は上下方向に延びると共に、両者１２，１３のそれぞれの上端に形成された給気口および排気口は、幅方向に長尺なスリット状に形成されている。本実施形態では、処理空間５の搬送方向における中間地点から給気された処理ガス６が、給気後に搬送方向の上流側に向かう流れと下流側に向かう流れとに枝分かれした後、処理空間５から排気される。この処理ガス６によりガラス板２の下面２ｂが粗化される。
　ここで、本実施形態の変形例として、給気路１２と排気路１３との配置を変更し、処理空間５に給気後の処理ガス６が、搬送方向の上流側から下流側に向かってのみ、或いは、下流側から上流側に向かってのみ流れるようにしてもよい。
　天板部７ｂは、処理空間５を通過中のガラス板２の上面２ａとの間に、ガス８を流すための隙間が形成されるように配置されている。
　噴射装置９は、ガス８としてクリーンドライエアー（ＣＤＡ）を噴射する。噴射装置９は、幅方向に長尺なスリット状の噴射口を有し、噴射口は、処理空間５の外から開口５ａを指向している。この噴射口の幅方向に沿った開口寸法は、ガラス板２の幅方向に沿った寸法よりも長くなっている。噴射口から噴射されたガス８は、上記のガス８を流すための隙間を搬送方向の上流側から下流側に向かって流れる。
　ここで、本実施形態の変形例として、上記の噴射装置９の他に新たな噴射装置を追加してもよい。例えば、処理空間５の外から開口５ｂを指向した噴射口を有する噴射装置を追加してもよい。この新たな噴射装置は、上記のガス８を流すための隙間に対して搬送方向の下流側から上流側に向かうガス８の流れを形成する。一方、別の変形例として、噴射装置９を取り除いてガス８を一切噴射しないようにしてもよい。
　第一洗浄装置１０は、搬送経路３上で処理空間５（処理装置７）よりも下流側に配置されている。この第一洗浄装置１０は、搬送経路３を上下に挟んで対をなすロールブラシ１０ａ，１０ａを備える。
　各ロールブラシ１０ａは、幅方向に延びた回転軸と、回転軸の外周面に植毛された多数のブラシ毛とを有する。各ロールブラシ１０ａは、その回転周方向と搬送方向とが一致するように回転する。各ロールブラシ１０ａの幅方向に沿った寸法は、ガラス板２の幅方向に沿った寸法よりも長くなっている。これにより、対をなすロールブラシ１０ａ，１０ａがガラス板２の前方端面２ｘおよび後方端面２ｙを擦って洗浄する際には、これらの端面２ｘ，２ｙの全面（全幅）を洗浄することが可能である。
　各ロールブラシ１０ａは、搬送経路３に対して接近および離反するように移動が可能となっており、本実施形態では、上下方向に沿って移動することが可能である。これにより、図１に実線で示す稼働位置と、二点鎖線で示す退避位置との間を移動できる。稼働位置は、各ロールブラシ１０ａがガラス板２の前方端面２ｘおよび後方端面２ｙを擦って洗浄する際の位置であり、退避位置は、各ロールブラシ１０ａが搬送経路３から離反してガラス板２との接触を回避できる位置である。
　ここで、本実施形態の変形例として、各ロールブラシ１０ａの回転周方向は、搬送方向に逆らう方向であってもよい。また、対をなすロールブラシ１０ａ，１０ａの一方のみを配置するようにしてもよい。すなわち、上側のロールブラシ１０ａのみ、或いは、下側のロールブラシ１０ａのみを配置してもよい。また、ロールブラシ１０ａに代えて、スポンジローラ等を用いてもよいが、洗浄力を向上させる観点では、ロールブラシ１０ａが好ましい。また、ロールブラシ１０ａに代えて、幅方向に沿って並べて配置された複数のディスクブラシやディスクスポンジ等を用いてもよいが、設備コストを削減する観点では、ロールブラシ１０ａが好ましい。
　第二洗浄装置１１は、搬送経路３上で第一洗浄装置１０よりも下流側に配置されている。この第二洗浄装置１１は、搬送経路３を上下に挟んで対をなすディスクブラシ１１ａ，１１ａを備える。対をなすディスクブラシ１１ａ，１１ａは二対が配置されており、両幅方向端面２ｚ，２ｚの一方の洗浄用と、他方の洗浄用とが配置されている。
　対をなすディスクブラシ１１ａ，１１ａは相互に同方向に回転する。また、対をなすディスクブラシ１１ａ，１１ａの一方と他方とは、幅方向端面２ｚの非洗浄時には先端部同士（ブラシ毛同士）が接触した状態にある。一方、幅方向端面２ｚの洗浄時には先端部同士の相互間に幅方向端面２ｚが進入し、先端部同士の間に幅方向端面２ｚが介在した状態となる。
　ここで、本実施形態の変形例として、第二洗浄装置１１の配置を変更し、搬送経路３上で処理空間５（処理装置７）と第一洗浄装置１０との相互間に配置してもよい。また、ディスクブラシ１１ａ，１１ａに代えて、ディスクスポンジ等を用いてもよいが、洗浄力を向上させる観点では、ディスクブラシ１１ａが好ましい。
　以下、上記の製造装置１を用いたガラス板の製造方法について説明する。
　最初に、ガラス板２にエッチング処理を施す処理工程Ｐ１を実行する。
　処理工程Ｐ１では、搬送経路３上に配置された処理空間５をガラス板２に通過させることで、処理空間５に給気した処理ガス６によりガラス板２にエッチング処理を施す。これにより、ガラス板２の下面２ｂを粗化させる。なお、処理工程Ｐ１の実行中には、ガラス板２の上面２ａに沿って搬送方向の上流側から下流側に向かうガス８の流れを形成することで、処理ガス６により不当に上面２ａが粗化されることを回避する。
　ここで、処理工程Ｐ１で粗化させる対象はガラス板２の下面２ｂであるが、不可避的に下面２ｂ以外の箇所も粗化される。特にガラス板２の前方端面２ｘは粗化されやすく、粗化に伴って前方端面２ｘからガラス粉が発生しやすくなる。
　処理工程Ｐ１が完了すると、図３ａ～図３ｃに示すように、処理工程Ｐ１を経たガラス板２の前方端面２ｘ、後方端面２ｙ、及び、両幅方向端面２ｚ，２ｚを洗浄する洗浄工程Ｐ２を実行する。
　洗浄工程Ｐ２では、まず、図３ａに示すように、処理工程Ｐ１の実行時にガラス板２の搬送方向の先頭部に位置していた端面である前方端面２ｘを、稼働位置にある対をなすロールブラシ１０ａ，１０ａで擦って洗浄する。その際、第一洗浄装置１０が備えるノズル（図示なし）からロールブラシ１０ａ，１０ａ及び／又は前方端面２ｘに洗浄液（例えば純水）が供給される。前方端面２ｘの擦り洗浄が完了すると、同図に矢印で示すように、各ロールブラシ１０ａを即座に稼働位置から退避位置に移動させる。このため、各ロールブラシ１０ａはガラス板２の上面２ａおよび下面２ｂとは略接触しない。例えば、各ロールブラシ１０ａは、ガラス板２の上面２ａおよび下面２ｂのうちで前方端面２ｘから２００ｍｍ以下の位置までの領域と接触し、ガラス板２の上面２ａおよび下面２ｂの中央領域と接触しない。なお、この時点においては、ガラス板２の両幅方向端面２ｚ，２ｚの洗浄は開始されていない。
　次に、図３ｂに示すように、搬送に伴ってガラス板２が対をなすディスクブラシ１１ａ，１１ａの配置された箇所まで到達すると、幅方向の一方側と他方側とのそれぞれで、対をなすディスクブラシ１１ａ，１１ａにより幅方向端面２ｚを擦って洗浄していく。その際、第二洗浄装置１１が備えるノズル（図示なし）からディスクブラシ１１ａ，１１ａ及び／又は幅方向端面２ｚに洗浄液（例えば純水）が供給される。なお、対をなすロールブラシ１０ａ，１０ａについては、処理工程Ｐ１の実行時にガラス板２の搬送方向の最後部に位置していた端面である後方端面２ｙが、対をなすロールブラシ１０ａ，１０ａの配置された箇所に到達するまで退避位置で待機する。
　その後、図３ｃに示すように、搬送に伴ってガラス板２の後方端面２ｙが、対をなすロールブラシ１０ａ，１０ａの配置された箇所まで到達すると、同図に矢印で示すように、各ロールブラシ１０ａを再び退避位置から稼働位置に移動させる。この際にも、各ロールブラシ１０ａはガラス板２の上面２ａおよび下面２ｂとは略接触しない。例えば、各ロールブラシ１０ａは、ガラス板２の上面２ａおよび下面２ｂのうちで後方端面２ｙから２００ｍｍ以下の位置までの領域と接触し、ガラス板２の上面２ａおよび下面２ｂの中央領域と接触しない。そして、後方端面２ｙを稼働位置にある対をなすロールブラシ１０ａ，１０ａで擦って洗浄する。その際、第一洗浄装置１０が備えるノズル（図示なし）からロールブラシ１０ａ，１０ａ及び／又は後方端面２ｙに洗浄液（例えば純水）が供給される。後方端面２ｙの擦り洗浄の完了後、対をなすディスクブラシ１１ａ，１１ａの配置された箇所をガラス板２が通過し終えると、これをもって幅方向端面２ｚの洗浄も完了し、洗浄工程Ｐ２が完了する。
　洗浄工程Ｐ２を経たガラス板２は、その後、種々の処理や検査等を経て製品ガラス板として製造される。例えば、洗浄工程Ｐ２（擦り洗浄工程）の後工程として、ガラス板２の上面２ａおよび下面２ｂをシャワー洗浄する工程（シャワー洗浄工程）や、エアナイフ等によって洗浄液をガラス板２から除去する乾燥工程を設けてもよい。なお、シャワー洗浄工程を、処理工程Ｐ１と擦り洗浄工程Ｐ２との間に設けてもよい。
　以下、上記のガラス板の製造方法による主たる作用・効果について説明する。
　上記の製造方法では、洗浄工程Ｐ２において、処理工程Ｐ１の実行時にガラス板２の搬送方向の先頭部に位置していた端面である前方端面２ｘを擦って洗浄する。このようにすることで、前方端面２ｘに処理ガスが残留するのを低減することができ、残留する処理ガスが前方端面２ｘを粗化することによってガラス粉が発生するのを抑制できる。また、後に前方端面２ｘから発生してガラス板２の上下面２ａ，２ｂに付着する虞のあるガラス粉を、予め前方端面２ｘから除去しておくことができる。その結果、ガラス板２の上下面２ａ，２ｂへのガラス粉の付着を可及的に防止することが可能となる。
　ここで、本発明に係るガラス板の製造方法は、上記の実施形態で説明した態様に限定されるものではない。例えば、図４に示すように、処理装置７の本体部７ａ側に加え、天板部７ｂ側にも処理ガス６の給気路１２を設け、処理工程Ｐ１でガラス板２の下面２ｂのみでなく、上面２ａも粗化させる態様としてもよい。この場合においても、洗浄工程Ｐ２は上記の実施形態と同様の態様で実行できる。なお、図４に示す態様においては、上記の実施形態とは異なり噴射装置９を取り除いている。
　また、上記の実施形態では、各ロールブラシが搬送経路に対して接近および離反するように移動が可能となっているが、この限りではない。各ロールブラシを移動が不可能な構成として、各ロールブラシが常に稼働位置に存在するようにしてもよい。このようにして、対をなすロールブラシがガラス板の前方端面および後方端面のみでなく、上下面および両幅方向端面をも擦って洗浄する態様としてもよい。
　また、上記の実施形態では、対をなすロールブラシによりガラス板の前方端面を擦って洗浄しているが、この限りではない。前方端面の洗浄にあたり、上下方向に延びる回転軸の周りを回転するロールブラシを用いてもよい。そして、このロールブラシを回転させながらガラス板の前方端面に沿って移動させることにより、前方端面を擦って洗浄するようにしてもよい。
　２　　　　　　ガラス板
　２ｘ　　　　　前方端面
　２ｙ　　　　　後方端面
　２ｚ　　　　　幅方向端面
　３　　　　　　搬送経路
　５　　　　　　処理空間
　６　　　　　　処理ガス
　１０ａ　　　　ロールブラシ
　１１ａ　　　　ディスクブラシ
　Ａ　　　　　　搬送方向
　Ｐ１　　　　　処理工程
　Ｐ２　　　　　洗浄工程

Claims (4)

  1. 　ガラス板の搬送経路上に配置された処理空間を前記ガラス板に通過させつつ、前記処理空間に給気した処理ガスにより前記ガラス板にエッチング処理を施す処理工程と、該処理工程を経た前記ガラス板を洗浄する洗浄工程とを備えたガラス板の製造方法であって、
    　前記洗浄工程では、前記処理工程の実行時に前記ガラス板の搬送方向の先頭部に位置していた端面を擦って洗浄することを特徴とするガラス板の製造方法。
  2. 　前記搬送経路上の前記処理空間よりも下流側に、該搬送経路を挟んで対をなすロールブラシを配置し、
    　前記洗浄工程では、前記先頭部に位置していた端面を、前記対をなすロールブラシで擦って洗浄することを特徴とする請求項１に記載のガラス板の製造方法。
  3. 　前記洗浄工程では、前記処理工程の実行時に前記ガラス板の搬送方向の最後部に位置していた端面を擦って洗浄することを特徴とする請求項１又は２に記載のガラス板の製造方法。
  4. 　前記ガラス板が矩形をなし、
    　前記処理工程では、前記ガラス板の平行な二つの端面が延びる方向と前記ガラス板の搬送方向とを揃えた状態で、該ガラス板に前記処理空間を通過させ、
    　前記搬送経路上の前記処理空間よりも下流側に、該搬送経路を挟んで対をなすディスクブラシを配置し、
    　前記洗浄工程では、前記二つの端面を、前記対をなすディスクブラシで擦って洗浄することを特徴とする請求項１～３のいずれかに記載のガラス板の製造方法。
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