CN214254357U - 固晶机 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种固晶机，包括机架、支架供料组件、支架移载组件、晶环供料组件、晶环旋转组件、顶晶组件、晶环移载组件、吸嘴、固晶摆臂组件和吸嘴收供组件。本申请通过支架供料组件可将支架供应至支架移载组件上，通过晶环移载组件可将晶环供料组件上的晶环移送至晶环移载组件上，并将晶环旋转组件上使用后的晶环移除，通过顶晶组件可将晶环上的晶片顶出至供晶位，通过吸嘴及固晶摆臂组件可将供晶位处的晶片移送至支架移载组件上，完成晶片与支架的固晶作业。本申请通过晶环移载组件可实现晶环上料与下料的同步作业，减少了晶环上下料的等待时长，有助于提高固晶效率。而且，通过吸嘴收供组件可实现对吸嘴的自动更换作业，省时省力，效率高。

Description

固晶机

技术领域

本申请属于固晶技术领域，更具体地说，是涉及一种固晶机。

背景技术

在固晶设备中，通常由吸嘴将晶片从供晶位移送至固晶位，从而实现晶片与支架的固晶作业。对于不同的晶片，需要使用不同种类的吸嘴进行吸附。然而，目前通常是人工手动更换吸嘴，效率低。而且，用于将盛装有晶片的晶环放置于供晶位，以及将使用后的晶环从供晶位移除的作业均是由同一机械臂完成，这就导致晶环的上下料速率慢，进而影响固晶效率。

实用新型内容

本申请实施例的目的在于提供一种固晶机，以解决相关技术中存在的：人工手动更换吸嘴的效率低，且晶环的上下料速率慢，影响固晶效率的问题。

为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案是：

提供一种固晶机，包括：

机架；

支架供料组件，安装于所述机架上，用于供应支架；

支架移载组件，安装于所述机架上，用于将所述支架移送至固晶位；

晶环供料组件，安装于所述机架上，用于供应晶环；

晶环旋转组件，安装于所述机架上，用于支撑并驱动所述晶环转动；

顶晶组件，安装于所述机架上并位于所述晶环旋转组件的下方，用于将所述晶环上的晶片顶出至供晶位；

晶环移载组件，安装于所述机架上，用于将所述晶环供料组件上的晶环移送至所述晶环旋转组件的同时，将所述晶环旋转组件上使用后的晶环移除；

吸嘴，用于吸取所述晶片；

固晶摆臂组件，安装于所述机架上并与所述吸嘴相连，用于驱动所述吸嘴往复经过所述供晶位和所述固晶位；

吸嘴收供组件，安装于所述机架上，用于收取所述固晶摆臂组件上的吸嘴并向该固晶摆臂组件供应吸嘴。

本申请实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果之一：本申请通过支架供料组件可将支架供应至支架移载组件上，通过晶环移载组件可将晶环供料组件上的晶环移送至晶环移载组件上，并将晶环旋转组件上使用后的晶环移除，通过顶晶组件可将晶环上的晶片顶出至供晶位，通过吸嘴及固晶摆臂组件可将供晶位处的晶片移送至支架移载组件上，完成晶片与支架的固晶作业。本申请通过晶环移载组件可实现晶环上料与下料的同步作业，减少了晶环上下料的等待时长，有助于提高固晶效率。而且，通过吸嘴收供组件可实现对吸嘴的自动更换作业，省时省力，效率高。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或示范性技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的固晶机的结构示意图；

图2为本申请实施例提供的收料组件的结构示意图；

图3为本申请实施例提供的支架供料组件的结构示意图；

图4为本申请实施例提供的支架移载组件的结构示意图；

图5为本申请实施例提供的晶环供料组件的结构示意图；

图6为本申请实施例提供的晶环旋转组件与顶晶组件连接的结构示意图；

图7为本申请实施例提供的顶晶组件的结构示意图；

图8为本申请实施例提供的晶环移载组件的结构示意图；

图9为本申请实施例提供的晶环移载组件的分解示意图；

图10为本申请实施例提供的第一搬运臂的结构示意图；

图11为本申请实施例提供的第二搬运臂的结构示意图；

图12为本申请实施例提供的固晶摆臂组件的结构示意图；

图13为本申请实施例提供的旋转座、转动臂、吸嘴筒与吸嘴连接的分解示意图；

图14为本申请实施例提供的固晶摆臂组件与吸嘴收供组件连接的部分结构示意图；

图15为本申请实施例提供的吸嘴筒与吸嘴连接的分解示意图；

图16为本申请实施例提供的吸嘴收供组件与吸嘴连接的分解示意图；

图17为本申请实施例提供的第二支撑座与吸嘴连接的分解示意图；

图18为本申请实施例提供的夹板的结构示意图；

图19为本申请实施例提供的第二支撑座的结构示意图。

其中，图中各附图主要标记：

100-机架；

10-吸嘴；101-吸嘴套；102-吸嘴尖；103-第二紧固件；104-密封圈；105-卡槽；

1-支架供料组件；11-供料座；12-支架供料框；13-支架传送带机构；14-支架推料机构；15-支架横移单元；16-供料架；17-支架升降单元；

2-支架移载组件；21-移载传送平台；22-移载横移单元；23-移载纵移单元；

3-晶环供料组件；31-晶环架；32-晶环升降单元；

4-晶环旋转组件；41-旋转支撑平台；42-旋转横移单元；43-旋转纵移单元；

5-顶晶组件；51-顶晶针；52-顶针升降驱动器；53-顶针基座；54-顶针横移驱动器；55-顶针纵移驱动器；

6-晶环移载组件；61-第一搬运臂；611-第一夹爪单元；6111-第一固定夹；6112-第一活动夹；6113-第一夹爪驱动件；6114-支撑板；612-第一搬运升降单元；6121-第一安装座；6122-滑动座；6123-第一搬运升降件；62-第二搬运臂；621-第二夹爪单元；6211-定位座；6212-第二固定夹；6213-第二活动夹；6214-第二夹爪驱动件；622-第二搬运升降单元；6221-第二搬运升降件；6222-第二安装座；6223-连接座；623-搬运旋转单元；6231-转动座；6232-搬运旋转件；63-搬运驱动单元；631-支撑架；632-丝杆；633-滑块；634-搬运驱动件；

7-固晶摆臂组件；70-摄像机构；71-旋转座；72-转动臂；73-吸嘴筒；731-筒体；732-气接头；733-第一紧固件；74-旋转驱动器；75-取晶摄像镜头；76-固晶摄像镜头；77-主动轮；78-同步带；79-调节电机；

8-吸嘴收供组件；81-固定座；811-导轨；812-滑动块；82-移动座；820-容置孔；821-第一支撑座；822-第二支撑座；8221-底板；8222-盖板；8223-容置槽；8224-避让槽；8225-限位导柱；823-限位块；824-弹性件；83-驱动组件；84-夹板；841-过孔；842-卡孔；843-限位槽；85-夹紧驱动件；86-光电感应器；87-感应片；

9-收料组件；91-收料座；92-支架收料框；93-收料传送带机构；94-收料横移单元；95-收料架；96-收料升降单元。

具体实施方式

为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在整个说明书中参考“一个实施例”或“实施例”意味着结合实施例描述的特定特征，结构或特性包括在本申请的至少一个实施例中。因此，“在一个实施例中”或“在一些实施例中”的短语出现在整个说明书的各个地方，并非所有的指代都是相同的实施例。此外，在一个或多个实施例中，可以以任何合适的方式组合特定的特征，结构或特性。

请参阅图1，现对本申请实施例提供的固晶机进行说明。该固晶机包括机架100、支架供料组件1、支架移载组件2、晶环供料组件3、晶环旋转组件4、顶晶组件5、晶环移载组件6、吸嘴10、固晶摆臂组件7和吸嘴收供组件8，支架供料组件1、支架移载组件2、晶环供料组件3、晶环旋转组件4、顶晶组件5、晶环移载组件6、固晶摆臂组件7和吸嘴收供组件8分别安装于机架100上。支架供料组件1用于供应支架；支架移载组件2与支架供料组件1接驳，用于接收支架供料组件1供应的支架，并将该支架移送至固晶位；晶环供料组件3用于供应晶环；晶环旋转组件4用于支撑并驱动晶环转动；顶晶组件5设于晶环旋转组件4的下方，用于将晶环上的晶片顶出至供晶位；晶环移载组件6用于将晶环供料组件3上的晶环移送至晶环旋转组件4的同时，并将晶环旋转组件4上使用后的晶环移除；吸嘴10安装于固晶摆臂组件7上，用于吸取供晶位处的晶片；固晶摆臂组件7用于驱动吸嘴10往复经过供晶位和固晶位；吸嘴收供组件8用于收取固晶摆臂组件7上的吸嘴10并向该固晶摆臂组件7供应吸嘴10，以实现吸嘴10的自动更换作业。此结构，本申请通过支架供料组件1可将支架供应至支架移载组件2上，通过晶环移载组件6可将晶环供料组件3上的晶环移送至晶环旋转组件4上，并将晶环旋转组件4上使用后的晶环移除，通过顶晶组件5可将晶环上的晶片顶出至供晶位，通过吸嘴10及固晶摆臂组件7可将供晶位处的晶片移送至支架移载组件2上，完成晶片与支架的固晶作业。本申请通过晶环移载组件6可实现晶环上料与下料的同步作业，减少了晶环上下料的等待时长，有助于提高固晶效率。而且，通过吸嘴收供组件8可实现对吸嘴10的自动更换作业，省时省力，效率高。

在一个实施例中，请参阅图1和图2，该固晶机还包括安装于机架100上并与支架移载组件2接驳的收料组件9，该收料组件9用于接收并存储由支架移载组件2输送来的固晶后的支架。具体地，该收料组件9包括收料座91、安装于收料座91上的支架收料框92、用于驱动收料座91横向移动的收料横移单元94、支撑收料横移单元94的收料架95和用于驱动收料架95升降的收料升降单元96；收料座91滑动安装于收料架95上，收料横移单元94与收料座91相连，收料升降单元96安装于机架100上，收料架95安装于收料升降单元96上。此结构，支架移载组件2将固晶后的支架直接移送至支架收料框92中实现存储。收料横移单元94和收料升降单元96可用于调节支架收料框92的位置。其中，收料横移单元94和收料升降单元96均可为丝杆传动机构、滑台直线电机、气缸传动机构等，在此不作唯一限定。

在一些实施例中，请参阅图2，上述支架收料框92也可为用于承接由支架移载组件2输送来的支架，并将该支架移送至下一工位的收料传送带机构93，该收料传送带机构93安装于收料座91上。此结构，通过收料传送带机构93可将支架引导至下一工位处，可靠性好。

在一个实施例中，请参阅图1和图3，支架供料组件1包括供料座11、安装于供料座11上的支架供料框12、用于将支架供料框12中的支架抵推至支架移载组件2上的支架推料机构14、用于驱动供料座11横向移动的支架横移单元15、支撑支架横移单元15的供料架16和用于驱动供料架16升降的支架升降单元17；供料座11安装于供料架16上，支架横移单元15与供料座11相连，支架推料机构14和支架升降单元17分别安装于机架100上，支架升降单元17与供料架16相连。此结构，支架供料框12中的支架可由支架推料机构14推出至支架移载组件2上。支架横移单元15和支架升降单元17可调节支架供料框12的位置，便于支架推料机构14将不同高度的支架推出。其中，支架横移单元15和支架升降单元17均可为丝杆传动机构、滑台直线电机、气缸传动机构等，支架推料机构14可为气缸、电缸、油缸等，在此都不作唯一限定。

在一个实施例中，请参阅图3，上述支架供料框12和支架推料机构14也可为安装于供料座11上的支架传送带机构13，该支架传送带机构13用于承接由上一工位移送来的支架，并将该支架移送至支架移载组件2上。通过支架传送带机构13对支架的过渡引导，可提高支架移送至支架移载组件2上的可靠性。

在一个实施例中，请参阅图1和图4，支架移载组件2包括移载传送平台21、用于驱动该移载传送平台21横向移动的移载横移单元22和用于驱动该移载传送平台21纵向移动的移载纵移单元23；移载纵移单元23安装于机架100上，移载横移单元22安装于移载纵移单元23上，移载传送平台21安装于移载横移单元22上。此结构，支架移载组件2设于支架供料组件1与收料组件9之间。支架供料组件1将支架输送至移载传送平台21上，并在移载横移单元22和移载纵移单元23的驱动下，将支架移送至固晶位；固晶后的支架由移载传送平台21移送至收料组件9。其中，移载横移单元22和移载纵移单元23均可为丝杆传动机构、滑台直线电机、气缸传动机构等，在此不作唯一限定。

在一个实施例中，请参阅图5，晶环供料组件3包括用于支撑晶环的晶环架31和用于驱动晶环架31升降的晶环升降单元32；晶环升降单元32安装于机架100上，晶环升降单元32与晶环架31相连。此结构，通过晶环升降单元32可调节晶环架31的高度，从而便于晶环移载组件6对晶环的移取。其中，晶环升降单元32可为丝杆传动机构、滑台直线电机、气缸传动机构等，在此不作唯一限定。

在一个实施例中，请参阅图6，晶环旋转组件4包括用于支撑并带动晶环转动的旋转支撑平台41、用于驱动旋转支撑平台41横向移动的旋转横移单元42和用于驱动旋转支撑平台41纵向移动的旋转纵移单元43；旋转纵移单元43安装于机架100上，旋转横移单元42安装于旋转纵移单元43上，旋转支撑平台41安装于旋转横移单元42上。此结构，晶环移载组件6将晶环供料组件3上的晶环抓取后并移送至旋转支撑平台41上，通过旋转支撑平台41、旋转横移单元42和旋转纵移单元43可调节晶环的位置，并在顶晶组件5的作用下可将晶环上的各个晶片顶出至供晶位。其中，旋转横移单元42和旋转纵移单元43均可为丝杆传动机构、滑台直线电机、气缸传动机构等，在此不作唯一限定。

在一个实施例中，请参阅图7，顶晶组件5包括顶晶针51，与顶晶针51相连的顶针升降驱动器52，支撑顶针升降驱动器52的顶针基座53，以及分别安装于顶针基座53上的顶针横移驱动器54与顶针纵移驱动器55。此结构，通过顶针升降驱动器52可驱动顶晶针51升降，从而可将晶环上的晶片顶出；通过顶针横移驱动器54和顶针纵移驱动器55可调节顶晶针51的位置。其中，顶针升降驱动器52、顶针横移驱动器54和顶针纵移驱动器55可均为气缸、电缸、油缸等，在此不作唯一限定。

在一个实施例中，请参阅图1、图8和图9，晶环移载组件6包括用于将晶环供料组件3上的晶环移送至晶环旋转组件4上的第一搬运臂61，用于将晶环旋转组件4上使用后的晶环移除的第二搬运臂62，以及用于驱动第一搬运臂61和第二搬运臂62在晶环供料组件3与晶环旋转组件4之间往复移动的搬运驱动单元63；搬运驱动单元63安装于机架100上，搬运驱动单元63分别与第一搬运臂61和第二搬运臂62相连。此结构，通过第一搬运臂61可将晶环供料组件3上并盛装有晶片的晶环移动至晶环旋转组件4上，以便顶晶组件5将晶环上的晶片顶出；通过第二搬运臂62可将晶环旋转组件4上使用后的晶环取出，便于第一搬运臂61对晶环的上料；通过搬运驱动单元63可驱动第一搬运臂61和第二搬运臂62在晶环供料组件3与晶环旋转组件4之间往复移动，实现晶环的上下料重复作业。如此，晶环的上料作业可由第一搬运臂61完成，晶环的下料作业可由第二搬运臂62完成，从而有助于提高晶环上料及下料的速率，减少晶环上下料的等待时长，进而提高固晶效率。

在一个实施例中，请参阅图8，搬运驱动单元63包括支撑架631、安装于支撑架631上的丝杆632、安装于丝杆632上的滑块633和用于驱动丝杆632转动的搬运驱动件634；搬运驱动件634安装于支撑架631上，搬运驱动件634与丝杆632相连，第一搬运臂61和第二搬运臂62分别安装于滑块633上。此结构，通过搬运驱动件634驱动丝杆632转动，可带动第一搬运臂61和第二搬运臂62移动，可靠性好。其中，搬运驱动件634可为电机。

在一个实施例中，请参阅图10，第一搬运臂61包括用于夹持晶环的第一夹爪单元611和用于驱动第一夹爪单元611升降的第一搬运升降单元612；第一搬运升降单元612安装于搬运驱动单元63上，第一搬运升降单元612与第一夹爪单元611相连。此结构，当第一夹爪单元611夹持晶环时，并在第一搬运升降单元612及搬运驱动单元63的驱动下，可实现水平内面的横向移动及竖直面内的升降，从而可将晶环从晶环供料组件3移送至晶环旋转组件4上，实现晶环的上料作业。

在一个实施例中，请参阅图10，第一搬运升降单元612包括安装于滑块633上的第一安装座6121、安装于第一安装座6121上的滑动座6122和用于驱动滑动座6122升降的第一搬运升降件6123；第一搬运升降件6123安装于第一安装座6121上，第一搬运升降件6123与滑动座6122相连，第一夹爪单元611安装于滑动座6122上。此结构，第一搬运升降件6123可驱动滑动座6122在第一安装座6121上升降，从而可带动第一夹爪单元611升降。其中，第一搬运升降件6123可为气缸、电缸、油缸等。

在一个实施例中，请参阅图10，第一夹爪单元611包括安装于滑动座6122上的第一固定夹6111、用于与第一固定夹6111配合夹持晶环的第一活动夹6112、用于驱动第一活动夹6112靠近或远离第一固定夹6111的第一夹爪驱动件6113和支撑第一夹爪驱动件6113的支撑板6114；支撑板6114安装于第一固定夹6111上，第一夹爪驱动件6113与第一活动夹6112相连。此结构，当第一夹爪驱动件6113驱动第一活动夹6112靠近第一固定夹6111时，第一活动夹6112可与第一固定夹6111配合将晶环夹持，从而便于拾取晶环供料组件3上的晶环；当第一夹爪驱动件6113驱动第一活动夹6112远离第一固定夹6111时，可将晶环释放于晶环旋转组件4上，实现晶环的上料。

在一个实施例中，请参阅图11，第二搬运臂62包括用于夹持晶环的第二夹爪单元621、用于驱动第二夹爪单元621升降的第二搬运升降单元622和用于驱动第二夹爪单元621旋转的搬运旋转单元623；搬运旋转单元623安装于第二搬运升降单元622上，搬运旋转单元623与第二夹爪单元621相连，第二搬运升降单元622安装于搬运驱动单元63上。此结构，通过第二搬运升降单元622可实现第二夹爪单元621在竖直面内的升降，通过搬运旋转单元623可实现第二夹爪单元621在水平面内的旋转，进而可对第二夹爪单元621的位置进行多方位调节。

在一个实施例中，请参阅图11，第二搬运升降单元622包括安装于滑块633上的第二搬运升降件6221，与第二搬运升降件6221相连的第二安装座6222和与第二安装座6222铰接的连接座6223；搬运旋转单元623包括与连接座6223相连的转动座6231和安装于滑块633上的搬运旋转件6232，该搬运旋转件6232与转动座6231相连，连接座6223与转动座6231可相对滑动；第二夹爪单元621安装于连接座6223上。此结构，当第二搬运升降件6221驱动连接座6223在转动座6231上升降时，可实现第二夹爪单元621在竖直面内的升降。当搬运旋转件6232驱动转动座6231转动时，转动座6231一并带动连接座6223绕第二安装座6222转动，可实现第二夹爪单元621在水平面内的旋转，从而实现对第二夹爪单元621位置的多方向调节。其中，第二搬运升降件6221可为气缸、电缸、油缸等；搬运旋转件6232可为电机。

在一个实施例中，请参阅图11，第二夹爪单元621包括安装于连接座6223上的定位座6211、与定位座6211相连的第二固定夹6212、用于与第二固定夹6212配合夹持晶环的第二活动夹6213和用于驱动第二活动夹6213靠近或远离第二固定夹6212的第二夹爪驱动件6214；第二夹爪驱动件6214安装于定位座6211上，第二夹爪驱动件6214与第二活动夹6213相连。此结构，当第二夹爪驱动件6214驱动第二活动夹6213靠近第二固定夹6212时，第二活动夹6213与第二固定夹6212配合将晶环夹持，从而可将使用后的晶环从晶环旋转组件4上取出。当第二夹爪驱动件6214驱动第二活动夹6213远离第二固定夹6212时，可将使用后的晶环释放。其中，第二夹爪驱动件6214可为气缸、电缸、油缸等。

在一个实施例中，请参阅图12、图13和图15，固晶摆臂组件7包括旋转座71、安装于旋转座71上的转动臂72、用于支撑吸嘴10的吸嘴筒73和用于驱动旋转座71转动的旋转驱动器74；吸嘴筒73安装于转动臂72上，旋转驱动器74安装于机架100上，旋转驱动器74与旋转座71相连。此结构，吸嘴10可插入吸嘴筒73中实现固定，便于更换；通过旋转驱动器74可驱动旋转座71旋转，进而可一并带动转动臂72、吸嘴筒73和吸嘴10转动，从而可使吸嘴10往复经过供晶位和固晶位，实现晶片上料与下料的重复作业。其中，旋转驱动器74可为电机。

在一个实施例中，请参阅图12和图13，转动臂72的数量为两个，两个转动臂72分别安装于旋转座71的两端，各转动臂72上安装有吸嘴10，一个吸嘴10正对于供晶位，另一个吸嘴10正对于固晶位；固晶摆臂组件7还包括分别安装于机架100上的取晶摄像镜头75和固晶摄像镜头76，取晶摄像镜头75正对于供晶位，固晶摄像镜头76正对于固晶位。此结构，取晶摄像镜头75可对供晶位处的晶片进行拍摄校验，以及吸嘴10吸取晶片后的校验，从而提高吸嘴10对晶片的吸取精度。固晶摄像镜头76可对晶片与支架之间的固晶作业进行拍摄校验，以提高固晶精度。其中，固晶摄像镜头76可设于固晶位的上方，取晶摄像镜头75可设于供晶位的上方。

在一个实施例中，请参阅图13，该固晶摆臂组件7还包括转动安装于转动臂72上的主动轮77、安装于吸嘴筒73上的从动轮(图未示)、连接主动轮77与从动轮的同步带78和用于驱动主动轮77转动的调节电机79；吸嘴筒73转动安装于转动臂72上，调节电机79安装于旋转座71上，调节电机79与主动轮77相连。此结构，当取晶摄像镜头75或固晶摄像镜头76拍摄到晶片的位置发生偏移时，调节电机79可通过同步带78驱动吸嘴筒73转动，从而可一并带动吸嘴10及晶片转动，进而实现对晶片位置的纠正。

在一个实施例中，请参阅图12，该固晶摆臂组件7还包括安装于机架100上的摄像机构70，该摄像机构70设于固晶位与供晶位之间；吸嘴10在水平面内形成转动轨迹，该摄像机构70位于转动轨迹的下方，从而可对吸嘴10上吸取的晶片位置进行实时拍摄，以获取晶片的位置信息。此结构，摄像机构70可对晶片在固晶位与供晶位之间的位置信息进行实时拍摄。当吸嘴10上的晶片位置发生偏移时，调节电机79驱动吸嘴10转动，可对晶片的位置进行纠正，可进一步提高晶片位置的精确度。其中，摄像机构70的数量可为两个。

在一个实施例中，请参阅图15，吸嘴筒73包括安装于转动臂72上的筒体731和安装于筒体731上的气接头732，气接头732与筒体731连通，筒体731上安装有第一紧固件733，从动轮安装于筒体731上；吸嘴10包括用于插入筒体731中的吸嘴套101和安装于吸嘴套101上的吸嘴尖102，吸嘴套101上安装有第二紧固件103。此结构，当吸嘴套101插入筒体731中时，第二紧固件103可与第一紧固件733配合锁紧，实现吸嘴10与吸嘴筒73的连接固定。气接头732用于与外部吸气装置连接，通过吸附力可进一步增加吸嘴10与吸嘴筒73之间的连接稳固性；通过吸嘴尖102可实现对晶片的吸取。

在一个实施例中，第一紧固件733和第二紧固件103可为磁性相异的磁铁；或者，第一紧固件733可为磁铁，第二紧固件103可为铁片、镍片等磁吸件；或者，第一紧固件733可为铁片、镍片等磁吸件，第二紧固件103可为磁铁。在其它实施例中，第一紧固件733和第二紧固件103也可为相互配合的卡紧件等，在此不作唯一限定。

在一个实施例中，请参阅图15，吸嘴10还包括套设于吸嘴套101上的密封圈104。此结构，当吸嘴套101插装于筒体731中时，密封圈104位于吸嘴套101的外周壁与筒体731的内周壁之间，一方面，密封圈104增大了吸嘴套101与筒体731之间的摩擦力，可进一步提高吸嘴10与吸嘴筒73之间的连接稳固性；另一方面，密封圈104可将吸嘴套101的外周壁与筒体731的内周壁之间的间隙填充，便于气接头732外接吸气装置以对吸嘴10的吸附固定，防止漏气。

在一个实施例中，请参阅图14和图16，吸嘴收供组件8包括固定座81、用于支撑吸嘴10的移动座82和用于驱动移动座82移动的驱动组件83；移动座82安装于固定座81上，驱动组件83安装于固定座81上，驱动组件83与移动座82相连。此结构，在驱动组件83的驱动作用下，移动座82可在固定座81上移动。当驱动组件83驱动移动座82移动并使吸嘴10靠近吸嘴筒73时，吸嘴10由移动座82抵推并插入至筒体731中，实现第二紧固件103与第一紧固件733的锁合。其中，驱动组件83可为气缸、油缸、电缸等。

在一个实施例中，请参阅图17和图18，移动座82上开设有供吸嘴10伸入的容置孔820，吸嘴10上沿该吸嘴10的周向开设有卡槽105；吸嘴收供组件8还包括安装于移动座82上的夹板84和用于驱动夹板84移动的夹紧驱动件85，夹板84上开设有供吸嘴10穿过的过孔841和用于与卡槽105配合卡接的卡孔842，过孔841与卡孔842连通，夹紧驱动件85安装于移动座82上。此结构，当夹板84夹持固定吸嘴10时，吸嘴10上的卡槽105伸入至卡孔842中。当夹紧驱动件85驱动夹板84在移动座82上移动时，当过孔841与容置孔820对位时，夹板84解除对吸嘴10的夹持固定，吸嘴10可与移动座82脱离，实现与吸嘴筒73的连接。其中，夹紧驱动件85可为气缸、电缸、油缸等。

在一个实施例中，请参阅图16，移动座82包括第一支撑座821和与第一支撑座821相连的第二支撑座822，驱动组件83安装于固定座81上并与第二支撑座822相连。固定座81上安装有导轨811，导轨811上安装有滑动块812，第一支撑座821上安装于滑动块812上。通过导轨811和滑动块812的配合，可提高移动座82往复移动的可靠性。

在一个实施例中，请参阅图17，第二支撑座822包括底板8221和与该底板8221相连的盖板8222，盖板8222上沿其长度方向开设有容置夹板84的容置槽8223，夹板84可在该容置槽8223中实现往复移动。通过底板8221和盖板8222可将夹板84夹持，从而可提高夹板84移动的可靠性。盖板8222上开设有供吸嘴10具有卡槽105的一端伸入至容置槽8223中的容置孔820，由于第二紧固件103与容置孔820的抵挡配合，从而可实现对吸嘴10的支撑。底板8221上沿其长度方向开设有避让吸嘴10之吸嘴尖102的避让槽8224。

在一个实施例中，请参阅图17，移动座82还包括安装于底板8221上的限位块823和弹性抵推夹板84的弹性件824，弹性件824的一端与夹板84抵接，弹性件824的另一端与限位块823抵接。弹性件824和夹紧驱动件85可位于夹板84的两端，夹紧驱动件85可驱动夹板84向左移动，弹性件824可弹性抵推夹板84向右移动，从而可实现夹板84的自动复位。其中，弹性件824可为弹簧。

在一个实施例中，请参阅图18和图19，夹板84上开设有限位槽843，移动座82上安装有伸入限位槽843中的限位导柱8225。具体地，盖板8222上安装有限位导柱8225。此结构，通过限位导柱8225与限位槽843的配合，从而可对夹板84的移动行程进行限制，避免夹板84因行程过大而对吸嘴10造成损伤。

在一个实施例中，请参阅图16，该吸嘴收供组件8还包括安装于固定座81上的光电感应器86和用于与光电感应器86配合以限制移动座82之行程的感应片87；感应片87安装于移动座82上。此结构，驱动组件83驱动移动座82在固定座81上移动时，通过光电感应器86与感应片87的配合，可实现对移动座82行程的限制，有助于对吸嘴10的保护。

以上所述仅为本申请的可选实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.固晶机，其特征在于，包括：

机架(100)；

支架供料组件(1)，安装于所述机架(100)上，用于供应支架；

支架移载组件(2)，安装于所述机架(100)上，用于将所述支架移送至固晶位；

晶环供料组件(3)，安装于所述机架(100)上，用于供应晶环；

晶环旋转组件(4)，安装于所述机架(100)上，用于支撑并驱动所述晶环转动；

顶晶组件(5)，安装于所述机架(100)上并位于所述晶环旋转组件(4)的下方，用于将所述晶环上的晶片顶出至供晶位；

晶环移载组件(6)，安装于所述机架(100)上，用于将所述晶环供料组件(3)上的晶环移送至所述晶环旋转组件(4)的同时，将所述晶环旋转组件(4)上使用后的晶环移除；

吸嘴(10)，用于吸取所述晶片；

固晶摆臂组件(7)，安装于所述机架(100)上并与所述吸嘴(10)相连，用于驱动所述吸嘴(10)往复经过所述供晶位和所述固晶位；

吸嘴收供组件(8)，安装于所述机架(100)上，用于收取所述固晶摆臂组件(7)上的吸嘴(10)并向该固晶摆臂组件(7)供应吸嘴(10)。

2.如权利要求1所述的固晶机，其特征在于：所述晶环移载组件(6)包括用于将所述晶环供料组件(3)上的晶环移送至所述晶环旋转组件(4)上的第一搬运臂(61)，用于将所述晶环旋转组件(4)上使用后的晶环移除的第二搬运臂(62)，以及用于驱动所述第一搬运臂(61)和所述第二搬运臂(62)在所述晶环供料组件(3)与所述晶环旋转组件(4)之间往复移动的搬运驱动单元(63)；所述搬运驱动单元(63)安装于所述机架(100)上，所述搬运驱动单元(63)分别与所述第一搬运臂(61)和所述第二搬运臂(62)相连。

3.如权利要求2所述的固晶机，其特征在于：所述第一搬运臂(61)包括用于夹持所述晶环的第一夹爪单元(611)和用于驱动所述第一夹爪单元(611)升降的第一搬运升降单元(612)；所述第一搬运升降单元(612)安装于所述搬运驱动单元(63)上，所述第一搬运升降单元(612)与所述第一夹爪单元(611)相连。

4.如权利要求2所述的固晶机，其特征在于：所述第二搬运臂(62)包括用于夹持所述晶环的第二夹爪单元(621)、用于驱动所述第二夹爪单元(621)升降的第二搬运升降单元(622)和用于驱动所述第二夹爪单元(621)旋转的搬运旋转单元(623)；所述搬运旋转单元(623)安装于所述第二搬运升降单元(622)上，所述搬运旋转单元(623)与所述第二夹爪单元(621)相连，所述第二搬运升降单元(622)安装于所述搬运驱动单元(63)上。

5.如权利要求1所述的固晶机，其特征在于：所述吸嘴收供组件(8)包括安装于所述机架(100)上的固定座(81)、用于支撑所述吸嘴(10)的移动座(82)和用于驱动所述移动座(82)移动的驱动组件(83)；所述移动座(82)安装于所述固定座(81)上，所述驱动组件(83)安装于所述固定座(81)上，所述驱动组件(83)与所述移动座(82)相连。

6.如权利要求5所述的固晶机，其特征在于：所述移动座(82)上开设有供所述吸嘴(10)伸入的容置孔(820)，所述吸嘴(10)上沿该吸嘴(10)的周向开设有卡槽(105)；所述吸嘴收供组件(8)还包括安装于所述移动座(82)上的夹板(84)和用于驱动所述夹板(84)移动的夹紧驱动件(85)，所述夹板(84)上开设有供所述吸嘴(10)穿过的过孔(841)和用于与所述卡槽(105)配合卡接的卡孔(842)，所述过孔(841)与所述卡孔(842)连通，所述夹紧驱动件(85)安装于所述移动座(82)上。

7.如权利要求1-6任一项所述的固晶机，其特征在于：所述固晶摆臂组件(7)包括旋转座(71)、安装于所述旋转座(71)上的转动臂(72)、用于支撑所述吸嘴(10)的吸嘴筒(73)和用于驱动所述旋转座(71)转动的旋转驱动器(74)；所述吸嘴筒(73)安装于所述转动臂(72)上，所述旋转驱动器(74)安装于所述机架(100)上，所述旋转驱动器(74)与所述旋转座(71)相连。

8.如权利要求7所述的固晶机，其特征在于：所述转动臂(72)的数量为两个，两个所述转动臂(72)分别安装于所述旋转座(71)的两端，各所述转动臂(72)上安装有所述吸嘴(10)，一个所述吸嘴(10)正对于所述供晶位，另一个所述吸嘴(10)正对于所述固晶位；所述固晶摆臂组件(7)还包括分别安装于所述机架(100)上的取晶摄像镜头(75)和固晶摄像镜头(76)，所述取晶摄像镜头(75)正对于所述供晶位，所述固晶摄像镜头(76)正对于所述固晶位。

9.如权利要求1-6任一项所述的固晶机，其特征在于：所述支架供料组件(1)包括供料座(11)、安装于所述供料座(11)上的支架供料框(12)、用于将所述支架供料框(12)中的支架抵推至所述支架移载组件(2)上的支架推料机构(14)、用于驱动所述供料座(11)横向移动的支架横移单元(15)、支撑所述支架横移单元(15)的供料架(16)和用于驱动所述供料架(16)升降的支架升降单元(17)；所述供料座(11)安装于所述供料架(16)上，所述支架横移单元(15)与所述供料座(11)相连，所述支架推料机构(14)和所述支架升降单元(17)分别安装于所述机架(100)上，所述支架升降单元(17)与所述供料架(16)相连。

10.如权利要求1-6任一项所述的固晶机，其特征在于：所述晶环供料组件(3)包括用于支撑所述晶环的晶环架(31)和用于驱动所述晶环架(31)升降的晶环升降单元(32)；所述晶环升降单元(32)安装于所述机架(100)上，所述晶环升降单元(32)与所述晶环架(31)相连。

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