CN214254356U - 固晶设备 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种固晶设备，包括机架、支架上料机构、支架移载机构、晶环上料机构、晶环旋转机构、顶晶机构、晶环移载机构和固晶摆臂机构。通过多个固晶集成单元，于各固晶集成单元中，支架移载机构的两侧分别设置有两个晶环供料单元。固晶时，支架上料机构将支架移送至第一个支架移载机构，第一个支架移载机构两侧的晶环供料单元可分别对支架的两个位置进行固晶；随后，第一个支架移载机构将该支架移送至下一个固晶集成单元的支架移载机构上，位于第二个支架移载机构两侧的晶环供料单元可分别对支架的另外两个位置进行固晶，支架每经过一个固晶集成单元时，都有两个位置被固晶；支架由多个固晶集成单元进行固晶，固晶效率得到极大提升。

Description

固晶设备

技术领域

本申请属于固晶技术领域，更具体地说，是涉及一种固晶设备。

背景技术

在固晶技术领域中，支架上料机构将支架输送至支架移载机构上，支架移载机构将支架移送至固晶位；晶环移载机构将晶环上料机构上的晶环移送至晶环旋转机构上，并在顶晶机构的作用下将晶环上的晶片顶出至供晶位；固晶摆臂机构通过吸嘴将供晶位处的晶片吸取至固晶位，实现晶片与支架的固晶作业。

然而，在固晶过程中，通常是由单一固晶摆臂机构驱动吸嘴往复经过供晶位与固晶位，并结合支架移载机构对支架位置的调节，从而实现对支架不同位置的固晶。由于单一固晶摆臂机构每次仅能对支架的一个位置进行固晶作业，从而导致固晶效率低。

实用新型内容

本申请实施例的目的在于提供一种固晶设备，以解决相关技术中存在的：单一固晶摆臂机构每次仅能对支架的一个位置进行固晶作业，导致固晶效率低的问题。

为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案是：

提供一种固晶设备，包括：

机架；

支架上料机构，安装于所述机架上，用于供应支架；

支架移载机构，安装于所述机架上，用于承载所述支架上料机构输送来的支架以将该支架移送至固晶位；

晶环上料机构，安装于所述机架上，用于供应晶环；

晶环旋转机构，安装于所述机架上，用于承载并驱动所述晶环旋转；

顶晶机构，安装于所述机架上，用于将所述晶环旋转机构上的晶环之晶片顶出至供晶位；

晶环移载机构，安装于所述机架上，用于将所述晶环上料机构上的晶环移送至所述晶环旋转机构上；

固晶摆臂机构，安装于所述机架上，用于将所述供晶位处的晶环移送至所述固晶位实现固晶；

其中，所述机架的中部设有供所述支架移载机构移动的通道，所述晶环上料机构、所述晶环旋转机构、所述顶晶机构、所述晶环移载机构和所述固晶摆臂机构组合形成晶环供料单元，所述支架移载机构的两侧分别设置有所述晶环供料单元；一个所述支架移载机构和两个所述晶环供料单元组合形成固晶集成单元，所述机架上沿所述通道的出料方向依次设有多个所述固晶集成单元。

在一个实施例中，所述固晶设备还包括用于将前一个所述支架移载机构上的支架移送至后一个所述支架移载机构上的支架搬运机构；所述支架搬运机构安装于所述机架上并设于所述通道中，相邻两个所述固晶集成单元之间设有所述支架搬运机构。

在一个实施例中，各所述支架搬运机构包括安装于所述机架上的搬运座，分别安装于所述搬运座上的主动轮与从动轮，连接所述主动轮与所述从动轮的传送带和用于驱动所述主动轮转动的搬运电机；所述搬运电机安装于所述搬运座上，所述搬运电机与所述主动轮相连。

在一个实施例中，各所述支架上料机构包括上料座、用于将支架移送至所述支架移载机构上的支架移送单元和用于驱动所述上料座升降的上料升降单元；所述支架移送单元安装于所述上料座上，所述上料升降单元安装于所述机架上，所述上料升降单元与所述上料座相连。

在一个实施例中，各所述支架移载机构包括用于支撑支架的移载传送平台、用于驱动所述移载传送平台横向移动的移载横移单元和用于驱动所述移载传送平台纵向移动的移载纵移单元；所述移载纵移单元安装于所述机架上，所述移载横移单元安装于所述移载纵移单元上，所述移载传送平台安装于所述移载横移单元上。

在一个实施例中，各所述晶环上料机构包括用于存储晶环的晶环存储框和用于驱动所述晶环存储框升降的晶环升降单元；所述晶环升降单元安装于所述机架上，所述晶环升降单元与所述晶环存储框相连。

在一个实施例中，各所述晶环旋转机构包括用于支撑并驱动晶环旋转的晶环旋转平台、用于驱动所述晶环旋转平台横向移动的晶环横移单元和用于驱动所述晶环旋转平台纵向移动的晶环纵移单元；所述晶环纵移单元安装于所述机架上，所述晶环横移单元安装于所述晶环纵移单元上，所述晶环旋转平台安装于所述晶环横移单元上，所述顶晶机构设于所述晶环旋转平台的下方。

在一个实施例中，各所述顶晶机构包括顶晶针、用于驱动所述顶晶针升降的顶针升降单元、用于驱动所述顶针升降单元横向移动的顶针横移单元和用于驱动所述顶针升降单元纵向移动的顶针纵移单元；所述顶针纵移单元安装于所述机架上，所述顶针横移单元安装于所述顶针纵移单元上，所述顶针升降单元安装于所述顶针横移单元上。

在一个实施例中，各所述晶环移载机构包括用于夹持所述晶环的夹料单元、支撑所述夹料单元的夹料座和用于驱动所述夹料座往复移动的夹料驱动单元；所述夹料驱动单元安装于所述机架上，所述夹料驱动单元与所述夹料座相连。

在一个实施例中，各所述固晶摆臂机构包括转动臂、安装于所述转动臂上的吸嘴和用于驱动所述转动臂转动以使所述吸嘴往复经过所述供晶位与所述固晶位的旋转驱动单元；所述旋转驱动单元安装于所述机架上，所述旋转驱动单元与所述转动臂相连。

本申请实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果之一：本申请通过在通道上依次设置多个固晶集成单元，于各固晶集成单元中，支架移载机构的两侧分别设置有两个晶环供料单元。在固晶过程中，支架上料机构将支架移送至第一个支架移载机构，位于第一个支架移载机构两侧的晶环供料单元可分别对支架的两个位置进行固晶作业；随后，第一个支架移载机构将该支架移送至下一个固晶集成单元的支架移载机构上，位于第二个支架移载机构两侧的晶环供料单元可分别对支架的另外两个位置进行固晶作业。如此重复上述作业，支架每经过一个固晶集成单元时，都有两个位置被固晶；支架沿通道移动的过程中，并可由多个固晶集成单元进行固晶，固晶效率得到极大提升。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或示范性技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的固晶设备的结构示意图；

图2为本申请实施例提供的支架搬运机构的结构示意图；

图3为本申请实施例提供的支架上料机构的结构示意图；

图4为本申请实施例提供的支架移载机构的结构示意图；

图5为本申请实施例提供的晶环上料机构的结构示意图；

图6为本申请实施例提供的晶环旋转机构的结构示意图；

图7为本申请实施例提供的晶环旋转平台的结构示意图；

图8为本申请实施例提供的顶晶机构的结构示意图；

图9为本申请实施例提供的晶环移载机构的结构示意图；

图10为本申请实施例提供的固晶摆臂机构的结构示意图；

图11为本申请实施例提供的固晶摆臂机构的部分分解示意图。

其中，图中各附图主要标记：

1-机架；10-通道；

2-支架上料机构；21-上料座；22-支架移送单元；221-支架存料框；222-推料气缸；223-支架皮带传送构件；23-上料升降单元；

3-支架移载机构；31-移载传送平台；32-移载横移单元；33-移载纵移单元；

4-晶环上料机构；41-晶环存储框；42-晶环升降单元；

5-晶环旋转机构；51-晶环旋转平台；511-基座；512-旋转晶框；513-次旋转轮；514-旋转电机；515-主旋转轮；516-皮带；517-夹紧框；518-换晶环气缸；519-张紧轮；510-晶环光电感应器；520-晶环光电复位器；52-晶环横移单元；53-晶环纵移单元；

6-顶晶机构；61-顶晶针；62-顶针升降单元；63-顶针横移单元；64-顶针纵移单元；

7-晶环移载机构；71-夹料单元；711-下夹板；712-上夹板；713-夹板驱动电机；72-夹料座；73-夹料驱动单元；

8-固晶摆臂机构；81-转动臂；82-吸嘴；83-旋转驱动单元；831-旋转驱动电机；832-旋转座；84-气动夹；85-次转轮；86-主转轮；87-连接带；88-调节电机；89-取晶镜头；80-固晶镜头；800-固晶摄像镜头；

9-支架搬运机构；91-搬运座；911-底座；912-导向侧板；92-从动轮；93-主动轮；94-传送带；95-搬运电机；96-连接轴。

具体实施方式

为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在整个说明书中参考“一个实施例”或“实施例”意味着结合实施例描述的特定特征，结构或特性包括在本申请的至少一个实施例中。因此，“在一个实施例中”或“在一些实施例中”的短语出现在整个说明书的各个地方，并非所有的指代都是相同的实施例。此外，在一个或多个实施例中，可以以任何合适的方式组合特定的特征，结构或特性。

请参阅图1，现对本申请实施例提供的固晶设备进行说明。该固晶设备包括机架1、支架上料机构2、支架移载机构3、晶环上料机构4、晶环旋转机构5、顶晶机构6、晶环移载机构7和固晶摆臂机构8。机架1的中部设有供支架移载机构3移动的通道10，支架上料机构2安装于机架1上并设于通道10的一端，该支架上料机构2用于供应支架，并将该支架移送至支架移载机构3上。支架移载机构3安装于机架1上，用于承载由支架上料机构2输送来的支架以将该支架移送至固晶位。晶环上料机构4安装于机架1上，用于供应晶环，晶环上安装有多个晶片。晶环旋转机构5安装于机架1上，用于承载并驱动晶环旋转。顶晶机构6安装于机架1上，用于将晶环旋转机构5上的晶环之晶片顶出至供晶位。晶环移载机构7安装于机架1上，用于将晶环上料机构4上的晶环移送至晶环旋转机构5上。固晶摆臂机构8安装于机架1上，用于将供晶位处的晶片移送至固晶位实现固晶。

其中，晶环上料机构4、晶环旋转机构5、顶晶机构6、晶环移载机构7和固晶摆臂机构8组合形成晶环供料单元(图未标)，支架移载机构3的两侧分别设置有晶环供料单元；一个支架移载机构3和两个晶环供料单元组合形成固晶集成单元(图未标)，机架1上沿通道10的出料方向(图1中箭头所示的方向)依次设有多个固晶集成单元。

本申请通过在机架1上并沿通道10的出料方向依次设置多个固晶集成单元，于各固晶集成单元中，支架移载机构3的两侧分别设置有两个晶环供料单元。在固晶过程中，支架上料机构2将支架移送至第一个支架移载机构3，位于第一个支架移载机构3两侧的晶环供料单元可分别对支架的两个位置进行固晶作业；随后，第一个支架移载机构3将该支架移送至下一个固晶集成单元的支架移载机构3上，位于第二个支架移载机构3两侧的晶环供料单元可分别对支架的另外两个位置进行固晶作业。如此重复上述作业，支架每经过一个固晶集成单元时，都有两个位置被固晶；支架沿通道10移动的过程中，并可由多个固晶集成单元进行固晶，固晶效率得到极大提升。

在一个实施例中，请参阅图2，固晶设备还包括用于将前一个支架移载机构3上的支架移送至后一个支架移载机构3上的支架搬运机构9；支架搬运机构9安装于机架1上并设于通道10中，相邻两个固晶集成单元之间设有支架搬运机构9。此结构，通过支架搬运机构9可实现支架在相邻两个固晶集成单元之间传输的可靠性。

在一个实施例中，请参阅图2，各支架搬运机构9包括安装于机架1上的搬运座91，分别安装于搬运座91上的主动轮93与从动轮92，连接主动轮93与从动轮92的传送带94和用于驱动主动轮93转动的搬运电机95；搬运电机95安装于搬运座91上，搬运电机95与主动轮93相连。具体地，搬运座91包括安装于机架1上的底座911和安装于底座911之两端的导向侧板912，各导向侧板912上转动安装有多个从动轮92，一个导向侧板912上安装有主动轮93，该导向侧板912上安装有连接多个从动轮92与主动轮93的传送带94和搬运电机95；另一个导向侧板912上安装有连接多个从动轮92的传送带94，该导向侧板912上的一个从动轮92与主动轮93通过连接轴96相连。此结构，通过传送带94可承载支架，传送带94在搬运电机95的驱动作用下可实现转动，进而带动支架在两个支架移载机构3之间传输。

在一些实施例中，支架搬运机构9也可为吸盘架和用于驱动吸盘架移动的吸盘驱动单元，吸盘架用于吸取支架，吸盘驱动单元用于驱动吸盘架移动。还有一些实施例中，支架搬运机构9也可为机械手臂，直接将支架从上一个支架移载机构3抓取至下一个支架移载机构3上。在其它实施例中，支架搬运机构9也可以根据实际需要进行调节，在此不作唯一限定。

在一个实施例中，请参阅图3，各支架上料机构2包括上料座21、用于将支架移送至支架移载机构3上的支架移送单元22和用于驱动上料座21升降的上料升降单元23；支架移送单元22安装于上料座21上，上料升降单元23安装于机架1上，上料升降单元23与上料座21相连。其中，支架移送单元22可为安装于上料座21上的支架存料框221和安装于机架1上的推料气缸222，推料气缸222用于将支架存料框221中的支架抵推至支架移载机构3上。或者，该支架移送单元22也可为安装于上料座21上的支架皮带传送构件223。其中，上料升降单元23可为丝杆传动机构、滑台直线电机、气缸传动机构等，在此不作唯一限定。

在一个实施例中，请参阅图4，各支架移载机构3包括用于支撑支架的移载传送平台31、用于驱动移载传送平台31横向移动的移载横移单元32和用于驱动移载传送平台31纵向移动的移载纵移单元33；移载纵移单元33安装于机架1上，移载横移单元32安装于移载纵移单元33上，移载传送平台31安装于移载横移单元32上。此结构，通过移载横移单元32和移载纵移单元33可调节移载传送平台31的位置，进而对支架的位置进行调节。其中，移载横移单元32和移载纵移单元33均可为丝杆传动机构、滑台直线电机、气缸传动机构等，在此不作唯一限定。

在一个实施例中，请参阅图5，各晶环上料机构4包括用于存储晶环的晶环存储框41和用于驱动晶环存储框41升降的晶环升降单元42；晶环升降单元42安装于机架1上，晶环升降单元42与晶环存储框41相连。此结构，晶环升降单元42可调节晶环存储框41的高度，便于晶环移载机构7对晶环存储框41中不同高度的晶环进行拾取。其中，晶环升降单元42可为丝杆传动机构、滑台直线电机、气缸传动机构等，在此不作唯一限定。

在一个实施例中，请参阅图6，各晶环旋转机构5包括用于支撑并驱动晶环旋转的晶环旋转平台51、用于驱动晶环旋转平台51横向移动的晶环横移单元52和用于驱动晶环旋转平台51纵向移动的晶环纵移单元53；晶环纵移单元53安装于机架1上，晶环横移单元52安装于晶环纵移单元53上，晶环旋转平台51安装于晶环横移单元52上，顶晶机构6设于晶环旋转平台51的下方。此结构，通过晶环旋转平台51、晶环横移单元52和晶环纵移单元53可调节晶环的位置，便于顶晶机构6将晶环上不同位置处的晶片顶出至供晶位。其中，晶环横移单元52和晶环纵移单元53均可为丝杆传动机构、滑台直线电机、气缸传动机构等，在此不作唯一限定。

在一个实施例中，请参阅图7，晶环旋转平台51可包括安装于晶环横移单元52上的基座511、安装于基座511上的旋转晶框512、安装于旋转晶框512上的次旋转轮513、安装于基座511上的旋转电机514、安装于旋转电机514之主轴上的主旋转轮515和连接主旋转轮515与次旋转轮513的皮带516。晶环可放置于旋转晶框512上，并在旋转电机514及皮带516的驱动下实现转动。

在一个实施例中，请参阅图7，晶环旋转平台51还可包括用于夹紧晶环的夹紧框517、用于控制夹紧框517之松紧程度的换晶环气缸518、用于调节皮带516之松紧程度的张紧轮519、用于检测旋转晶框512上是否有晶环的晶环光电感应器510和用于旋转晶框512之原点复位检测的晶环光电复位器520；换晶环气缸518、张紧轮519、晶环光电感应器510和晶环光电复位器520分别安装于基座511上，换晶环气缸518与夹紧框517相连。

在一个实施例中，请参阅图8，各顶晶机构6包括顶晶针61、用于驱动顶晶针61升降的顶针升降单元62、用于驱动顶针升降单元62横向移动的顶针横移单元63和用于驱动顶针升降单元62纵向移动的顶针纵移单元64；顶针纵移单元64安装于机架1上，顶针横移单元63安装于顶针纵移单元64上，顶针升降单元62安装于顶针横移单元63上。此结构，通过顶针升降单元62驱动顶晶针61的升降，从而可将晶环上的晶片顶出。通过顶针横移单元63和顶针纵移单元64可调节顶晶针61的位置。其中，顶针升降单元62、顶针横移单元63和顶针纵移单元64均可为丝杆传动机构、滑台直线电机、气缸传动机构等，在此不作唯一限定。

在一个实施例中，请参阅图9，各晶环移载机构7包括用于夹持晶环的夹料单元71、支撑夹料单元71的夹料座72和用于驱动夹料座72往复移动的夹料驱动单元73；夹料驱动单元73安装于机架1上，夹料驱动单元73与夹料座72相连。通过夹料驱动单元73可驱动夹料座72和夹料单元71移动，从而可将晶环上料机构4上的晶环夹取并移送至晶环旋转机构5上。其中，夹料驱动单元73可为丝杆传动机构、滑台直线电机、气缸传动机构等，在此不作唯一限定。

在一个实施例中，请参阅图9，夹料单元71可为安装于夹料座72上的下夹板711、用于与下夹板711配合夹持晶环的上夹板712和用于驱动上夹板712靠近或远离下夹板711的夹板驱动电机713；夹板驱动电机713安装于夹料座72上，夹板驱动电机713与上夹板712相连。

在一个实施例中，请参阅图10和图11，各固晶摆臂机构8包括转动臂81、安装于转动臂81上的吸嘴82和用于驱动转动臂81转动以使吸嘴82往复经过供晶位与固晶位的旋转驱动单元83；旋转驱动单元83安装于机架1上，旋转驱动单元83与转动臂81相连。此结构，当吸嘴82吸取晶片后，旋转驱动单元83驱动转动臂81转动以将吸嘴82从供晶位移动至固晶位，从而实现晶片与支架的固晶作业。随后，旋转驱动单元83又驱动转动臂81转动以将吸嘴82从固晶位移动至供晶位，重复上述作业，可实现连续固晶。

在一个实施例中，请参阅图10，旋转驱动单元83可包括安装于机架1上的旋转驱动电机831和与旋转驱动电机831相连的旋转座832，转动臂81滑动安装于旋转座832上，从而可对吸嘴82的高度进行调节。

在一个实施例中，请参阅图10和图11，转动臂81的数量可为两个，两个转动臂81分别安装于旋转座832的两端。当一个转动臂81上的吸嘴82在供晶位吸取晶片时，另一个转动臂81上的吸嘴82可将吸附的晶片释放于固晶位，从而实现晶片与支架的固晶。通过两个转动臂81可实现晶片的吸取与固晶的同步作业，进而可提高固晶效率。在其它实施例中，转动臂81的数量也可以根据实际需要进行调节，在此不作唯一限定。

在一个实施例中，请参阅图11，各固晶摆臂机构8还包括用于夹持固定吸嘴82的气动夹84、安装于气动夹84上的次转轮85、安装于转动臂81上的主转轮86、连接主转轮86与次转轮85的连接带87和用于驱动主转轮86转动的调节电机88；气动夹84安装于转动臂81上，吸嘴82与气动夹84相连，调节电机88安装于旋转座832上，调节电机88与主转轮86相连。通过调节电机88带动连接带87转动，进而可带动气动夹84及吸嘴82转动，从而可对吸嘴82上吸附的晶片的位置进行纠正调节。

在一个实施例中，请参阅图10，各固晶摆臂机构8还包括分别安装于机架1上的取晶镜头89和固晶镜头80，取晶镜头89设于供晶位的上方，固晶镜头80设于固晶位的上方。通过取晶镜头89可对吸嘴82在供晶位处吸附的晶片的位置进行校验，通过固晶镜头80可对晶片与支架的位置进行校验。如果存在偏差，可通过调节电机88对晶片的位置进行纠正，进而提高固晶精度。

在一个实施例中，请参阅图10，各固晶摆臂机构8还包括安装于机架1上的固晶摄像镜头800，该固晶摄像镜头800设于吸嘴82之转动轨迹的下方，固晶摄像镜头800位于固晶位与供晶位之间。由于转动臂81在转动的过程中，晶片受离心力的作用，位置可能会发生偏移，通过固晶摄像镜头800可对晶片在由供晶位向固晶位移动过程中的位置进行实时监测。如果存在偏差，可通过调节电机88对晶片的位置进行纠正，进而提高固晶精度。

以上所述仅为本申请的可选实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.固晶设备，其特征在于，包括：

机架(1)；

支架上料机构(2)，安装于所述机架(1)上，用于供应支架；

支架移载机构(3)，安装于所述机架(1)上，用于承载所述支架上料机构(2)输送来的支架以将该支架移送至固晶位；

晶环上料机构(4)，安装于所述机架(1)上，用于供应晶环；

晶环旋转机构(5)，安装于所述机架(1)上，用于承载并驱动所述晶环旋转；

顶晶机构(6)，安装于所述机架(1)上，用于将所述晶环旋转机构(5)上的晶环之晶片顶出至供晶位；

晶环移载机构(7)，安装于所述机架(1)上，用于将所述晶环上料机构(4)上的晶环移送至所述晶环旋转机构(5)上；

固晶摆臂机构(8)，安装于所述机架(1)上，用于将所述供晶位处的晶环移送至所述固晶位实现固晶；

其中，所述机架(1)的中部设有供所述支架移载机构(3)移动的通道(10)，所述晶环上料机构(4)、所述晶环旋转机构(5)、所述顶晶机构(6)、所述晶环移载机构(7)和所述固晶摆臂机构(8)组合形成晶环供料单元，所述支架移载机构(3)的两侧分别设置有所述晶环供料单元；一个所述支架移载机构(3)和两个所述晶环供料单元组合形成固晶集成单元，所述机架(1)上沿所述通道(10)的出料方向依次设有多个所述固晶集成单元。

2.如权利要求1所述的固晶设备，其特征在于：所述固晶设备还包括用于将前一个所述支架移载机构(3)上的支架移送至后一个所述支架移载机构(3)上的支架搬运机构(9)；所述支架搬运机构(9)安装于所述机架(1)上并设于所述通道(10)中，相邻两个所述固晶集成单元之间设有所述支架搬运机构(9)。

3.如权利要求2所述的固晶设备，其特征在于：各所述支架搬运机构(9)包括安装于所述机架(1)上的搬运座(91)，分别安装于所述搬运座(91)上的主动轮(93)与从动轮(92)，连接所述主动轮(93)与所述从动轮(92)的传送带(94)和用于驱动所述主动轮(93)转动的搬运电机(95)；所述搬运电机(95)安装于所述搬运座(91)上，所述搬运电机(95)与所述主动轮(93)相连。

4.如权利要求1所述的固晶设备，其特征在于：各所述支架上料机构(2)包括上料座(21)、用于将支架移送至所述支架移载机构(3)上的支架移送单元(22)和用于驱动所述上料座(21)升降的上料升降单元(23)；所述支架移送单元(22)安装于所述上料座(21)上，所述上料升降单元(23)安装于所述机架(1)上，所述上料升降单元(23)与所述上料座(21)相连。

5.如权利要求1所述的固晶设备，其特征在于：各所述支架移载机构(3)包括用于支撑支架的移载传送平台(31)、用于驱动所述移载传送平台(31)横向移动的移载横移单元(32)和用于驱动所述移载传送平台(31)纵向移动的移载纵移单元(33)；所述移载纵移单元(33)安装于所述机架(1)上，所述移载横移单元(32)安装于所述移载纵移单元(33)上，所述移载传送平台(31)安装于所述移载横移单元(32)上。

6.如权利要求1-5任一项所述的固晶设备，其特征在于：各所述晶环上料机构(4)包括用于存储晶环的晶环存储框(41)和用于驱动所述晶环存储框(41)升降的晶环升降单元(42)；所述晶环升降单元(42)安装于所述机架(1)上，所述晶环升降单元(42)与所述晶环存储框(41)相连。

7.如权利要求1-5任一项所述的固晶设备，其特征在于：各所述晶环旋转机构(5)包括用于支撑并驱动晶环旋转的晶环旋转平台(51)、用于驱动所述晶环旋转平台(51)横向移动的晶环横移单元(52)和用于驱动所述晶环旋转平台(51)纵向移动的晶环纵移单元(53)；所述晶环纵移单元(53)安装于所述机架(1)上，所述晶环横移单元(52)安装于所述晶环纵移单元(53)上，所述晶环旋转平台(51)安装于所述晶环横移单元(52)上，所述顶晶机构(6)设于所述晶环旋转平台(51)的下方。

8.如权利要求1-5任一项所述的固晶设备，其特征在于：各所述顶晶机构(6)包括顶晶针(61)、用于驱动所述顶晶针(61)升降的顶针升降单元(62)、用于驱动所述顶针升降单元(62)横向移动的顶针横移单元(63)和用于驱动所述顶针升降单元(62)纵向移动的顶针纵移单元(64)；所述顶针纵移单元(64)安装于所述机架(1)上，所述顶针横移单元(63)安装于所述顶针纵移单元(64)上，所述顶针升降单元(62)安装于所述顶针横移单元(63)上。

9.如权利要求1-5任一项所述的固晶设备，其特征在于：各所述晶环移载机构(7)包括用于夹持所述晶环的夹料单元(71)、支撑所述夹料单元(71)的夹料座(72)和用于驱动所述夹料座(72)往复移动的夹料驱动单元(73)；所述夹料驱动单元(73)安装于所述机架(1)上，所述夹料驱动单元(73)与所述夹料座(72)相连。

10.如权利要求1-5任一项所述的固晶设备，其特征在于：各所述固晶摆臂机构(8)包括转动臂(81)、安装于所述转动臂(81)上的吸嘴(82)和用于驱动所述转动臂(81)转动以使所述吸嘴(82)往复经过所述供晶位与所述固晶位的旋转驱动单元(83)；所述旋转驱动单元(83)安装于所述机架(1)上，所述旋转驱动单元(83)与所述转动臂(81)相连。

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