CN219958934U - 固晶机 - Google Patents
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Abstract
本申请适用于固晶技术领域,提出一种固晶机,包括:机架;支架传输机构包括沿基准直线依次排布于机架上的支架进料组件、支架移栽组件和出料组件,支架进料组件用于供应支架,支架移栽组件的两端分别与支架进料组件和支架出料组件接驳,出料组件用于接收并输送由支架移载组件移出的支架;晶环旋转组件用于支撑并驱动晶环转动;顶晶组件用于将晶环上的晶片顶出至供晶位;换环组件用于将晶环输送至晶环旋转组件或将晶环移出;固晶组件用于将晶片自供晶位抓取至固晶位并固定于支架;晶环旋转组件、顶晶组件、换环组件和固晶组件均有两个且分别沿基准直线对称排布;本申请减少了空置间隔时间,提高了作业效率,同时改善了机台抖动、不稳定的情况。
Description
技术领域
本申请属于固晶技术领域,尤其涉及一种固晶机。
背景技术
目前在固晶过程中,通常是由单一固晶摆臂机构驱动吸嘴往复经过供晶位与固晶位,并结合支架移载机构对支架位置的调节,从而实现对支架不同位置的固晶。
由于单一固晶摆臂机构每次仅能对支架的一个位置进行固晶作业,设备上料时间间隔长,不能更好的提高效率,从而导致固晶效率低,设备一对一模式不能更好的提高机构的使用率,空置等待的间隔时间较长,效率低下;且单一固晶摆臂机构容易导致机台不稳定并产生抖动。
实用新型内容
针对上述问题,本申请提供了一种固晶机,至少解决了目前的固晶机空置等待的间隔时间长且效率低下、单一固晶摆臂机构易导致机台不稳定的问题。
本申请实施例提供一种固晶机,包括;
机架;
支架传输机构,包括沿基准直线依次排布于所述机架上的支架进料组件、支架移栽组件和出料组件,所述支架进料组件用于供应支架,所述支架移栽组件的两端分别与所述支架进料组件和所述支架出料组件接驳,所述支架移载组件用于将所述支架输送至固晶位或用于将固晶后的所述支架移出所述固晶位,所述出料组件用于接收并输送由所述支架移载组件移出的固晶后的所述支架;
晶环旋转组件,设于所述机架上,用于支撑并驱动晶环转动;
顶晶组件,设于所述机架上并位于所述晶环旋转组件的下方,所述顶晶组件用于将所述晶环上的晶片顶出至供晶位;
换环组件,设于所述机架上,用于将所述晶环输送至所述晶环旋转组件或将所述晶环旋转组件上的所述晶环移出;
固晶组件,设于所述机架上,用于将所述晶片自所述供晶位抓取至所述固晶位并固定于所述支架;
所述晶环旋转组件、所述顶晶组件、所述换环组件和所述固晶组件均有两个且分别沿所述基准直线对称排布。
在一实施例中,所述支架移载组件包括两个能够沿垂直所述基准直线方向移动的支架平台,两个所述支架平台能够分别将所述支架输送至相应的所述固晶组件下方,且两个所述支架平台能够交替与所述支架进料组件或所述出料组件接驳。
在一实施例中,所述支架移载组件还包括设于所述机架上的横向移位单元和两个纵向移位单元,两个所述纵向移位单元设于所述横向移位单元上,所述横向移位单元能够使所述纵向移位单元沿垂直所述基准直线的方向运动;
所述纵向移位单元能够带动所述支架平台沿平行于所述基准直线的方向运动。
在一实施例中,所述固晶机还包括两个设于所述机架上的摄像组件,所述摄像组件位于所述固晶组件下方并位于所述支架移载组件旁侧。
在一实施例中,所述摄像组件包括取晶摄像头和固晶摄像头,所述取晶摄像头朝向所述供晶位,所述固晶摄像头朝向所述固晶位。
在一实施例中,所述换环组件包括设于所述机架上的供环机构和搬运机构,所述供环机构用于向所述搬运机构提供所述晶环;
所述搬运机构用于将所述晶环自所述供环机构输送至所述晶环旋转组件或将所述晶环旋转组件上的所述晶环移出。
在一实施例中,所述搬运机构包括设于所述机架上的搬运驱动单元以及与所述搬运驱动单元相连的搬运臂,所述搬运驱动单元用于驱动所述搬运臂在所述供环机构与所述晶环旋转组件之间往复运动;
所述搬运臂用于夹持自所述供环机构提供的所述晶环,或用于夹持所述晶环旋转组件上的晶环。
在一实施例中,所述搬运臂包括用于夹持所述晶环的夹持单元和用于驱动所述夹持单元升降的升降单元,所述升降单元与所述搬运驱动单元相连。
在一实施例中,所述换环组件还包括设于所述机架上的供环调节机构,所述供环调节机构用于驱动所述供环机构升降或沿垂直所述基准直线的方向运动。
在一实施例中,所述晶环旋转组件包括旋转单元,所述旋转单元用于支撑并驱动所述晶环旋转;
所述晶环旋转组件还包括设于所述机架上的双向调节单元,所述双向调节单元用于驱动所述旋转单元沿平行或垂直所述基准直线的方向运动。
本申请针对目前的固晶机空置等待的间隔时间长且效率低下、单一固晶摆臂机构易导致机台不稳定的问题作出改进设计,设置两个晶环旋转组件、两个顶晶组件、两个换环组件和两个固晶组件,以使得固晶机能够交替拿取支架并进行固晶作业,从而降低了固晶机空置的间隔时间,提高了效率;将两个晶环旋转组件、两个顶晶组件、两个换环组件和两个固晶组件分别设置在基准直线的相对两侧并关于基准直线对称排布,以平衡固晶作业时可能出现的抖动,从而改善机台不稳定的情况;
本申请结构简洁,通过设置两个晶环旋转组件、两个顶晶组件、两个换环组件和两个固晶组件,减少了空置间隔时间,提高了作业效率,同时改善了机台抖动、不稳定的情况,实用性强。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本申请实施例提供的固晶机的立体示意图。
图2为图1所示的固晶机中支架进料组组件的立体示意图。
图3为图1所示的固晶机中出料组件的立体示意图。
图4为图1所示的固晶机中支架移载组件的立体示意图。
图5为图1所示的固晶机中换环组件的立体示意图。
图6为图5所示的换环组件中搬运机构的立体示意图。
图7为图1所示的固晶机中晶环旋转组件的立体示意图。
图8为图1所述的固晶机中顶晶组件的立体示意图。
图9为图1所述的固晶机中固晶组件的立体示意图。
图10为图1所示的固晶机中摄像组件的立体示意图。
图中标记的含义为:
100、固晶机;
10、机架;
20、支架进料组件;21、进料底座;22、进料运输单元;
30、支架移载组件;31、支架平台;32、横向移位单元;33、纵向移位单元;
40、晶环旋转组件;41、旋转单元;42、双向调节单元;421、旋转横移件;422、旋转纵移件;
50、顶晶组件;51、顶晶针;52、顶针横移单元;53、顶针纵移单元;
60、换环组件;61、供环机构;62、搬运机构;621、搬运驱动单元;622、搬运臂;6221、夹持单元;6222、升降单元;63、供环调节机构;
70、固晶组件;71、固晶底座;72、转动臂;
80、出料组件;81、出料底座;82、出料运输单元;
90、摄像组件;91、取晶摄像头;92、固晶摄像头。
具体实施方式
为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图即实施例,对本申请进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅用以解释本申请,并不用于限定本申请。
在本申请的描述中,需要理解的是,术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。
此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
目前在固晶过程中,通常是由单一固晶摆臂机构驱动吸嘴往复经过供晶位与固晶位,并结合支架移载机构对支架位置的调节,从而实现对支架不同位置的固晶。
由于单一固晶摆臂机构每次仅能对支架的一个位置进行固晶作业,设备上料时间间隔长,不能更好的提高效率,从而导致固晶效率低,设备一对一模式不能更好的提高机构的使用率,空置等待的间隔时间较长,效率低下;且单一固晶摆臂机构容易导致机台不稳定并产生抖动。
由此本申请提供一种固晶机,设置两个晶环旋转组件、两个顶晶组件、两个换环组件和两个固晶组件,以使得固晶机能够交替拿取支架并进行固晶作业,从而降低了固晶机空置的间隔时间,提高了效率;将两个晶环旋转组件、两个顶晶组件、两个换环组件和两个固晶组件分别设置在基准直线的相对两侧并关于基准直线对称排布,以平衡固晶作业时可能出现的抖动,从而改善机台不稳定的情况。
为了说明本申请所述的技术方案,下面结合具体附图及实施例来进行说明。
参考图1、图3、图4、图8,本申请实施例提供的固晶机100包括机架10、支架传输机构、晶环旋转组件40、顶晶组件50、换环组件60和固晶组件70;该固晶机100用于在空的支架上进行固晶作业以将晶片按照设计需要固定在支架的指定位置,固晶机100具有固晶位和供晶位,在固晶过程中,支架处于固晶位,晶环中的晶片处于供晶位,晶片能够在固晶机100的作用下自晶环移动并固定于支架的指定位置上。
机架10用于为支架传输机构、晶环旋转组件40、顶晶组件50、换环组件60和固晶组件70提供固定基础,机架10可以是框架结构,也可以是箱体或其他结构。
支架传输机构包括沿基准直线依次排布于机架10上的支架进料组件20、支架移载组件30和出料组件80;该基准直线为一虚拟的直线,基准直线可以是平行于机架10长边或短边的基准直线,也可以是沿其他方向延伸的基准直线。
支架进料组件20设于机架10上,支架进料组件20用于为固晶机100供应支架,该支架为尚未进行固晶的空支架;支架进料组件20可以包括皮带输送机构,也可以包括链板式输送机构、滚筒输送机构、网带式输送机构、机械手或其他能够移动并输送支架的结构。
支架移载组件30设于机架10上,且支架移载组件30与支架进料组件20接驳,即支架进料组件20提供的支架能够被输送至支架移载组件30上,支架移载组件30用于将支架输送至固晶位,支架移载组件30也用于将固晶后的支架移出固晶位;支架移载组件30可以包括皮带输送机构,也可以包括链板式输送机构、滚筒输送机构、网带式输送机构、机械手或其他能够为移动并输送支架的结构;固晶位具体是指固晶组件70固晶时支架的位置,固晶位位于固晶组件70的下方,且支架移载组件30能够将支架输送至固晶位,同时在固晶组件70固晶的过程中支架移载组件30还始终承载支架。
出料组件80设于机架10上,且出料组件80与支架移载组件30接驳,用于接收并输送支架移载组件30移出的固晶后的支架,即被支架移载组件30自固晶位移出的支架将被输送至出料组件80上,出料组件80能够接收自支架移载组件30输送的支架并将支架输送至下一工序;出料组件80可以包括皮带输送机构,也可以包括链板式输送机构、滚筒输送机构、网带式输送机构、机械手或其他能够为移动并输送支架的结构。
换环组件60设于机架10上,换环组件60用于将晶环输送至晶环旋转组件40上或将晶环旋转组件40上的晶环移出,具体的,换环组件60能够将未使用的晶环移动至晶环旋转组件40,换环组件60也能够将晶环旋转组件40上使用过后的晶环从晶环旋转组件40上移出;换环组件60可以包括机械手,也可以包括夹爪或其他能够抓取晶环并带动晶环移位的机构。
晶环旋转组件40设于机架10上,晶环旋转组件40用于支撑并驱动晶环转动,具体的,晶环旋转组件40支撑并驱动的是换环组件60提供的未使用的晶环,即晶环被换环组件60输送至晶环旋转组件40上后,晶环旋转组件40能够支撑承载晶环并带动晶环旋转;晶环旋转组件40可以包括转盘,通过转盘支撑晶环并带动晶环转动,晶环旋转组件40也可以包括摩擦轮和支撑框架,通过支撑框架支撑晶环并通过摩擦轮带动晶环旋转,晶环旋转组件40也可以包括其他能够支撑晶环并带动晶环旋转的结构。
顶晶组件50设于机架10上并位于晶环旋转组件40的下方,顶晶组件50用于将晶环上的晶片顶出至供晶位,使得晶片和晶环能够处于不同的平面内,以便于固晶组件70抓取晶片;顶晶组件50可以包括可伸缩的顶杆、顶针或其他可伸缩的结构,可以理解的,因每一晶片的面积均较小,顶晶组件50与晶片接触的一面的面积应小于晶片的面积,以避免一次顶出多个晶片;供晶位具体是指固晶组件70固晶时晶片的位置,供晶位位于晶环旋转组件40的上方且位于固晶组件70的下方,顶晶组件50能够将晶片自晶环顶出至供晶位。
固晶组件70设于机架10上,固晶组件70用于将晶片自供晶位抓取至固晶位并固定于支架,固晶组件70能够通过胶粘或其他方式将晶片固定于支架,从而完成固晶作业。
本实施例中,晶环旋转组件40、顶晶组件50、换环组件60和固晶组件70均有两个且分别沿基准直线对称排布,该设置使得晶环旋转组件40、顶晶组件50、换环组件60和固晶组件70动作时能够互相平衡基准直线另一侧相应设备的抖动,从而降低固晶机100整机的抖动,提高固晶机100的稳定性。
可以理解的,因固晶组件70有两个,固晶位也有两个,支架移载组件30能够将支架输送至两个固晶组件70中任一的旁侧;因晶环旋转组件40和顶晶组件50均有两个,供晶位也有两个。
本实施例的动作过程为:空的支架经支架进料组件20被输送至支架移载组件30,支架移载组件30交替将支架输送至两个固晶位;未使用的晶环经换环组件60输送至晶环旋转组件40上,晶环旋转组件40能够带动晶环旋转以调整晶片的位置,且晶环旋转组件40还能够使晶环停止旋转以便于顶晶组件50作业,顶晶组件50能够将晶片顶出至供晶位,随着晶环旋转组件40的旋转,顶晶组件50能够将晶环上的晶片一一顶出,固晶组件70能够将供晶位的晶片抓取并固定于固晶位的支架上;当固晶组件70固晶结束后,支架移载组件30能够将固晶后的支架输送至出料组件80旁侧并输送至出料组件80,出料组件80在接收固晶后的支架后能够将该固晶后的支架输送至下一工序。
可以理解的,换环组件60在将未使用的晶环输送至晶环旋转组件40上之前,能够先将晶环旋转组件40上的晶环移出,以避免已使用的晶环占据晶环旋转组件40的工位。
本实施例设置两个晶环旋转组件40、两个顶晶组件50、两个换环组件60和两个固晶组件70,以使得固晶机100能够交替拿取支架并进行固晶作业,从而降低了固晶机100空置的间隔时间,提高了效率;将两个晶环旋转组件40、两个顶晶组件50、两个换环组件60和两个固晶组件70分别设置在基准直线的相对两侧并关于基准直线对称排布,以平衡固晶作业时可能出现的抖动,改善了机台不稳定的情况。
在一些实施例中,参考图1,基准直线的延伸方向可以平行于图中Y轴所在的方向。
在一些实施例中,机架10沿基准直线形成两个对称的部分,该设置使得支架也能够沿基准直线对称,从而进一步改善固晶机100的抖动情况,保证固晶机100的稳定。
参考图2,在一实施例中,支架进料组件20包括进料底座21和进料运输单元22,进料底座21设于机架10上,进料底座21用于为进料运输单元22提供固定基础,进料底座21可以为框架结构,也可以为箱体结构或其他结构。
进料运输单元22设于进料底座21上,进料运输单元22用于运输支架,进料运输单元22可以为皮带输送机构,也可以为链板式输送机构、滚筒输送机构、网带式输送机构、机械手或其他能够为移动并输送支架的结构。
在一些实施例中,进料底座21包括两个相对间隔设置的进料基板,进料运输单元22设于两个进料基板之间;进料运输单元22为皮带输送结构,其具体包括两个设于进料基板上的带轮,两个带轮上绕设有输送带,支架可通过输送带和带轮输送至支架移载组件30。
参考图3,在一实施例中,出料组件80包括出料底座81和出料运输单元82,出料底座81设于机架10上,出料底座81用于为出料运输单元82提供固定基础,出料底座81可以为框架结构,也可以为箱体结构或其他结构。
出料运输单元82设于出料底座81上,出料运输单元82用于运输支架,出料运输单元82可以为皮带输送机构,也可以为链板式输送机构、滚筒输送机构、网带式输送机构、机械手或其他能够为移动并输送支架的结构。
在一些实施例中,出料底座81包括两个相对间隔设置的出料基板,出料运输单元82设于两个出料基板之间;出料运输单元82为皮带输送结构,其具体包括两个设于出料基板上的带轮,两个带轮上绕设有输送带,支架可通过输送带和带轮输送至支架移载组件30。
参考图4,在一实施例中,支架移载组件30包括两个能够沿垂直基准直线方向移动的支架平台31,支架平台31用于承载支架,两个支架平台31能够带动支架输送至相应的固晶组件70下方,也即两个支架平台31能够将支架输送至相应的固晶位;两个支架平台31能够交替与支架进料组件20或出料组件80接驳,具体的,两个支架平台31能够交替与支架进料组件20接驳,当一个支架平台31将支架输送至相应的固晶位时,另一支架平台31能够移动至支架进料组件20的一侧并与支架进料组件20接驳,以便于承接支架进料组件20输送的支架;两个支架平台31能够交替与出料组件80接驳,当一个支架平台31将支架输送至相应的固晶位时,另一支架平台31能够移动至出料组件80的一侧并与出料组件80接驳,以便于将固晶后的支架输送至出料组件80。
可以理解的,支架平台31用于承载支架,当支架平台31将支架输送至固晶位后,支架平台31将停留在固晶位并等待支架固晶完成,在支架固晶的过程中,支架平台31始终承载支架并为支架提供的支撑。
本实施例使两个支架平台31交替与支架进料组件20或出料组件80接驳,大大提高了支架的进料和出料效率,从而增加了固晶效率。
在一些实施例中,支架移载组件30还包括横向移位单元32和两个纵向移位单元33,横向移位单元32设于机架10上,两个纵向移位单元33设于横向移位单元32上,横向移位单元32能够分别使纵向移位单元33沿垂直基准直线的方向运动,参考图4,横向移位单元32能够带动纵向移位单元33沿X轴所在的方向移动;横向移位单元32可以是气缸、无杆缸、丝杆滑块结构或其他能够带动纵向移位单元33沿垂直轴向方向运动的结构或器件。
纵向移位单元33设于横向移位单元32上,具体的,纵向移位单元33可以包括基座或外壳、基板等结构,横向移位单元32连接于该基座结构上从而带动纵向移位单元33移动;纵向移位单元33能够带动支架平台31沿基准直线的方向运动,具体的,支架平台31设于纵向移位单元33上,参考图4,纵向移位单元33能够带动支架平台31沿Y轴所在的方向移动;纵向移位单元33可以是气缸、无杆缸、丝杆滑块结构或其他能够带动纵向移位单元33沿垂直轴向方向运动的结构或器件。
本实施例中,横向移位单元32用于带动支架平台31沿X轴所在的方向运动,从而使得支架平台31能够在支架进料组件20、固晶位与出料组件80之间往复运动;纵向移位单元33用于带动支架平台31沿Y轴所在的方向运动,从而使得支架平台31能够向靠近支架进料组件20或靠近出料组件80的方向运动,以便于支架平台31与支架进料组件20或出料组件80接驳。
在一些实施例中,横向移位单元32包括沿X轴所在的方向延伸的横向滑轨,横向滑轨内设有多个沿横向滑轨排布的磁性材料,纵向移位单元33朝向横向移位单元32的一侧设有电磁发生元件,纵向移位单元33通过电磁发生元件沿X轴所在的方向上移动。
纵向移位单元33包括沿Y轴所在的方向延伸的纵向滑轨,纵向滑轨内设有多个沿纵向滑轨排布的磁性材料,支架平台31朝向纵向移位单元33的一侧设有电磁发生元件,支架平台31通过电磁发生元件沿Y轴所在的方向上移动。
参考图5,在一实施例中,换环组件60包括设于机架10上的供环机构61和搬运机构62;供环机构61用于向搬运机构62提供晶环,供环机构61可以是用于存储晶环的箱体结构,也可以是框架结构或其他能够放置晶环的结构。
搬运机构62用于将晶环自供环机构61输送至晶环旋转组件40,搬运机构62同时还用于将晶环旋转组件40上的晶环移出,即搬运机构62能够与供环机构61接驳以接收自供环机构61提供的晶环,搬运机构62还能够与晶环旋转组件40接驳以移出晶环;搬运机构62可以是机械臂、输送带或其他能够运送晶环的结构。
在一些实施例中,搬运机构62包括设于搬运驱动单元621和搬运臂622,搬运驱动单元621设于机架10上,搬运臂622与搬运驱动单元621相连,搬运驱动单元621用于驱动搬运臂622在供环机构61与晶环旋转组件40之间的往复运动,搬运驱动单元621可以是丝杆滑块结构,也可以是无杆缸、带传动结构或其他能够带动搬运臂622运动的结构。
搬运臂622用于夹持自供环机构61提供的晶环,搬运臂622还用于夹持晶环旋转组件40上的晶环,即搬运臂622能够抓取供环机构61提供的晶环并放置于晶环旋转组件40,搬运臂622也能够将晶环旋转组件40上的晶环取下;搬运臂622可以是机械手,也可以是夹爪、托板或其他结构。
参考图6,在一些实施例中,搬运驱动单元621为带传动结构,搬运驱动单元621包括搬运支架,两个带轮转动连接于搬运支架的两端,两个带轮上均绕设有传动带,搬运臂622设于传动带上,通过控制两个带轮的正转或反转能够带动搬运臂622在供环机构61与晶环旋转组件40之间的往复运动。
参考图6,在一些实施例中,搬运臂622包括夹持单元6221和升降单元6222,夹持单元6221用于夹持晶环,升降单元6222用于驱动夹持单元6221升降,升降单元6222能够带动夹持单元6221升降,以调节夹持单元6221的高低,以便于从供环机构61或晶环旋转组件40上获取晶环;升降单元6222与搬运驱动单元621相连,以便于搬运驱动单元621带动搬运臂622移动;具体的,搬运驱动单元621上连接有固定座,固定座上滑动连接有移动座,夹持单元6221连接于移动座,移动座能够相对固定座滑动,升降单元6222的一端连接于固定座且另一端连接于移动座,升降单元6222能够带动移动座相对固定座滑动,以调节夹持单元6221的高度。
夹持单元6221可以是夹爪或其他能够承载或抓取晶环的结构,例如,夹持单元6221包括固定连接于固定座的固定板,夹持单元6221还包括滑动连接于固定座的移动板,移动板与固定板相对设置,夹持单元6221还包括伸缩元件,伸缩元件的一端连接于固定座且另一端连接于移动板,伸缩元件伸缩能够带动移动板向靠近或远离固定板方向运动,以夹持或松开晶环。
在一些实施例中,换环组件60还包括供环调节机构63,供环调节机构63设于机架10上,供环调节机构63用于驱动供环机构61升降或沿垂直基准直线的方向运动;当供环机构61上的晶环沿上下层叠间隔设置时,供环调节机构63能够带动供环机构61逐步下降,以便于搬运臂622抓取供环机构61内的晶环;因搬运驱动单元621需要带动搬运臂622在供环机构61和晶环旋转组件40之间往复运动,而受空间影响,供环机构61和晶环旋转组件40距搬运驱动单元621之间的距离可能不同,供环调节机构63沿垂直基准直线的方向调节供环机构61的位置能够便于搬运臂622从供环机构61上抓取晶环。
参考图5,供环调节机构63可以包括一个能够沿Z轴所在的方向伸缩的伸缩器件,以驱动供环机构61升降,该伸缩器件可以是气缸、液压缸、电动伸缩杆、丝杆滑块结构或其他基准直线进给器件或结构;供环调节机构63还可以包括一个能够沿X轴所在的方向伸缩的伸缩器件,以驱动供环机构61沿垂直基准直线的方向移动,该伸缩器件可以是气缸、液压缸、电动伸缩杆、丝杆滑块结构或其他基准直线进给器件或结构。
参考图7,在一实施例中,晶环旋转组件40包括旋转单元41和双向调节单元42,旋转单元41用于承载晶环并驱动晶环旋转,搬运机构62将晶环输送至晶环旋转组件40后,晶环被放置至旋转单元41上,旋转单元41能够带动晶环旋转,以便于顶晶组件50将晶环中不同位置的晶片顶出,旋转单元41可以是摩擦轮,也可以是转盘或其他能够带动晶环转动的结构。
双向调节单元42用于驱动旋转单元41沿平行或垂直基准直线的方向运动,双向调节单元42配合旋转单元41能够保证顶晶组件50能够将晶环上任一位置的晶片顶出至供晶位;双向调节单元42可以包括一个能够沿X轴所在的方向伸缩的伸缩器件,以驱动供环机构61升降,该伸缩器件可以是气缸、液压缸、电动伸缩杆、丝杆滑块结构或其他基准直线进给器件或结构;双向调节单元42还可以包括一个能够沿Y轴所在的方向伸缩的伸缩器件,以驱动供环机构61沿垂直基准直线的方向移动,该伸缩器件可以是气缸、液压缸、电动伸缩杆、丝杆滑块结构或其他基准直线进给器件或结构。
参考图8,在一实施例中,顶晶组件50包括顶晶针51、顶针横移单元52和顶针纵移单元53,顶晶针51固定于顶晶底座上,顶针横移单元52的一端连接于顶晶底座,顶针纵移单元53的一端连接于顶针横移单元52的另一端,且顶针纵移单元53的另一端连接于机架10;顶针横移单元52可带动顶晶底座沿Y轴所在的方向移动,顶针纵移单元53可带动顶晶底座沿X轴所在的方向移动;顶针横移单元52和顶针纵移单元53可均为气缸、电缸、油缸或其他能够基准直线进给的器件或结构。
参考图9,在一实施例中,固晶组件70包括固晶底座71和转动臂72,固晶底座71设于机架10上,转动臂72转动连接于固晶底座71,转动臂72的一端设有吸嘴,吸嘴用于在供晶位吸取镜片,转动臂72转动能够使吸嘴将供晶位上的晶片移载至固晶位。
固晶底座71上可设置电机或其他能够带动转动臂72转动的回转动力源,以驱动转动臂72转动并实现吸嘴在供晶位和固晶位之间的往复运动;转动臂72有两个且相对回转动力源对称,使得以使得一个转动臂72与供晶位取晶时,另一个转动臂72能够于固晶位进行固晶作业,以提高固晶效率,同时平衡可能存在的抖动,提高稳定性。
参考图10,在一实施例中,固晶机100还包括两个设于机架10上的摄像组件90,摄像组件90位于固晶组件70的下方并位于支架移载组件30的旁侧,摄像组件90用于对晶片在固晶位与供晶位之间的位置信息进行实时拍摄,以便于固晶组件70根据位置信息对晶片位置进行纠正,以提高晶片位置的精确度;摄像组件90可以是摄像头,也可以是其他能够获取晶片位置的图像采集器件,摄像组件90可以仅包括一个摄像头,也可以包括多个摄像头。
在一些实施例中,摄像组件90包括两个摄像头,两个摄像头分别为取晶摄像头91和固晶摄像头92,其中取晶摄像头91朝向供晶位,取晶摄像镜头能够对供晶位处的晶片进行拍摄校验,取晶摄像镜头还能够对固晶组件70抓取晶片后的位置进行拍摄校验,从而提高固晶组件70对晶片的抓取精度;固晶摄像头92朝向固晶位,固晶摄像镜头能够对晶片与支架之间的固晶作业进行拍摄校验,以提高固晶精度;在一些实施例中,固晶摄像镜头可设于固晶位的上方,取晶摄像镜头可设于供晶位的上方;在另一些实施例中,固晶摄像头92和取晶摄像头91在能够拍摄到固晶位和供晶位的前提下,也能够根据空间需求设于其他位置。
本申请提供的固晶机100的动作过程为:空的支架经支架进料组件20被输送至支架移载组件30,支架移载组件30交替将支架输送至两个固晶位,且两个固晶组件70能够交替完成对支架的固晶,之后支架移载组件30交替将固晶后的支架输送至出料组件80,出料组件80在接收固晶后的支架后能够将该固晶后的支架输送至下一工序;
晶环经搬运机构62自供环机构61移载至晶环旋转组件40上;晶环旋转组件40能够通过旋转单元41、旋转横移件421和旋转纵移件422带动晶环移位以调整晶片的位置,且晶环旋转组件40还能够使晶环停止旋转以便于顶晶组件50作业,顶晶组件50能够通过顶针横移单元52和顶针纵移单元53调整顶晶针51的位置,以便于将目标位置的晶片顶出至供晶位,随着晶环旋转组件40的旋转和移动,顶晶组件50能够将顶环上的晶片一一顶出;固晶组件70能够将供晶位的晶片抓取并固定于固晶位的支架上;当固晶组件70固晶结束后,支架移载组件30能够将固晶后的支架输送至出料组件80旁侧并输送至出料组件80。
以上实施例仅用以说明本申请的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的精神和范围,均应包含在本申请的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种固晶机,其特征在于,包括:
机架;
支架传输机构,包括沿基准直线依次排布于所述机架上的支架进料组件、支架移栽组件和出料组件,所述支架进料组件用于供应支架,所述支架移栽组件的两端分别与所述支架进料组件和所述支架出料组件接驳,所述支架移载组件用于将所述支架输送至固晶位或用于将固晶后的所述支架移出所述固晶位,所述出料组件用于接收并输送由所述支架移载组件移出的固晶后的所述支架;
晶环旋转组件,设于所述机架上,用于支撑并驱动晶环转动;
顶晶组件,设于所述机架上并位于所述晶环旋转组件的下方,所述顶晶组件用于将所述晶环上的晶片顶出至供晶位;
换环组件,设于所述机架上,用于将所述晶环输送至所述晶环旋转组件或将所述晶环旋转组件上的所述晶环移出;
固晶组件,设于所述机架上,用于将所述晶片自所述供晶位抓取至所述固晶位并固定于所述支架;
所述晶环旋转组件、所述顶晶组件、所述换环组件和所述固晶组件均有两个且分别沿所述基准直线对称排布。
2.根据权利要求1所述的固晶机,其特征在于,所述支架移载组件包括两个能够沿垂直所述基准直线的方向移动的支架平台,两个所述支架平台能够分别将所述支架输送至相应的所述固晶组件下方,且两个所述支架平台能够交替与所述支架进料组件或所述出料组件接驳。
3.根据权利要求2所述的固晶机,其特征在于,所述支架移载组件还包括设于所述机架上的横向移位单元和两个纵向移位单元,两个所述纵向移位单元设于所述横向移位单元上,所述横向移位单元能够使所述纵向移位单元沿垂直所述基准直线的方向运动;
所述纵向移位单元能够带动所述支架平台沿平行于所述基准直线的方向运动。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的固晶机,其特征在于,所述固晶机还包括两个设于所述机架上的摄像组件,所述摄像组件位于所述固晶组件下方并位于所述支架移载组件旁侧。
5.根据权利要求4所述的固晶机,其特征在于,所述摄像组件包括取晶摄像头和固晶摄像头,所述取晶摄像头朝向所述供晶位,所述固晶摄像头朝向所述固晶位。
6.根据权利要求1-3中任一项所述的固晶机,其特征在于,所述换环组件包括设于所述机架上的供环机构和搬运机构,所述供环机构用于向所述搬运机构提供所述晶环;
所述搬运机构用于将所述晶环自所述供环机构输送至所述晶环旋转组件或将所述晶环旋转组件上的所述晶环移出。
7.根据权利要求6所述的固晶机,其特征在于,所述搬运机构包括设于所述机架上的搬运驱动单元以及与所述搬运驱动单元相连的搬运臂,所述搬运驱动单元用于驱动所述搬运臂在所述供环机构与所述晶环旋转组件之间往复运动;
所述搬运臂用于夹持自所述供环机构提供的所述晶环,或用于夹持所述晶环旋转组件上的晶环。
8.根据权利要求7所述的固晶机,其特征在于,所述搬运臂包括用于夹持所述晶环的夹持单元和用于驱动所述夹持单元升降的升降单元,所述升降单元与所述搬运驱动单元相连。
9.根据权利要求6所述的固晶机,其特征在于,所述换环组件还包括设于所述机架上的供环调节机构,所述供环调节机构用于驱动所述供环机构升降或沿垂直所述基准直线的方向运动。
10.根据权利要求1-3中任一项所述的固晶机,其特征在于,所述晶环旋转组件包括旋转单元,所述旋转单元用于支撑并驱动所述晶环旋转;
所述晶环旋转组件还包括设于所述机架上的双向调节单元,所述双向调节单元用于驱动所述旋转单元沿平行或垂直所述基准直线的方向运动。
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