CN1977317A - 盘状记录介质、盘装置及光盘的制造方法 - Google Patents

盘状记录介质、盘装置及光盘的制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明涉及可进行信息信号重写的光盘,在可进行信息信号重写的可重写区域的轨道内分别形成跟踪控制用的导向槽(81a),且在形成有导向槽(81a)的基板上层叠有用于写入信息信号的记录层(83)。该记录层(83)至少在可进行信息信号重写的区域,可通过多光束的近场光进行信息信号的重写,在最表面对应于形成有导向槽(81a)的位置形成有凹部(85a)。

Description

盘状记录介质、盘装置及光盘的制造方法
技术领域
本发明涉及使用近场光而光学地进行信息信号的记录或再生的盘状记录介质、对该盘状记录介质进行信息信号的记录或再生的盘装置,进而涉及作为信息记录介质的光盘的制造方法。
本身请以在日本于2004年6月28日申请的日本特许申请号2004-190250为基础主张优先权,参照该申请援用于本申请。
背景技术
目前,磁记录介质及光记录介质的高密度化、大容量化的研究正在进展,从而提供高密度化、大容量化的记录介质。这种记录介质中,对于光记录介质来说,提供DVD(Digital Versatile Disc),进而具有密度高出DVD数倍以上的第二代DVD的开发正在进展。另一方,硬盘磁记录装置(HDD)的记录密度也逐年增加。
但是,随着图像信息的数字化及高精度化、光通信的高速化,而要求存储的更大容量化、高密度化,2010年期待能够实现1Tbits/(inch)2的记录密度。
硬盘磁记录装置中,用于难以进行超常磁性效果及磁头间隙宽度的抑制,故其速度以100~300Gbpsi为限界,从而作为超过该限界的情况,期待进行光加速磁记录。
在光记录介质中,为实现记录密度的高度化而期待利用近场光的光记录。该近场光是指,在微小开口及微小物体的周围存在于光折射限界以下的区域内的非传播光。当其它物体接近到该微小开口及微小物体的折射界限以下的距离时,近场光向该物体内传播,同时诱起相互作用。为使这样的近场光溢出,通过将微小开口及微小物体的尺寸进一步微细化能够实现。此外,通过对光记录介质照射该溢出的近场光,能够进行高密度的光记录。在使用了该近场光的光记录中,与DVD等相同,使单一的光点追随导向槽(凹槽:Groove)或接合面(接合面:Land),进行信息的记录及再生。
为了使用上述的近场光在光记录介质上记录信息,而需要对未形成凹槽的平滑的可重写区域执行程序,特别是为高密度地记录信息,而需要增加这样的平滑的可重写区域的面积。
在现有的光记录介质中,光记录介质上记录的记录区域沿凹槽而形成,相对通过近场光得到的光点一个导向槽与其对应而构成。因此,在用于提高记录密度的光记录介质上形成多个光点时,需要对应形成的光点的数量的凹槽。现实中以细的节距将对应这样的多个光点的凹槽切割成螺旋状是不容易的。
通常,为在光记录介质上并排形成两个凹槽,而在切割时使用两个光束,或需要通过使高速切割用的光束晃动而疑似地实现切割,但随着需要的凹槽增加至三条、四条,从而存在制作难度增大的问题点。
为解决这样的课题,在特开2003-272176号公报等中提出实现使用了该近场光的光记录的高密度化和传送率的提高的光记录介质、记录再生装置。该公报中公开了通过安装于摆臂上的滑动或浮起式滑动进行的控制方法。在这样的现有例中,为了使物镜拟合光记录介质的面驱动,而预想这样的物镜相对于独立配置的光轴倾斜或错开位置。特别是在利用近场光进行记录再生时,由于严格要求物镜相对于光记录介质表面及近场光的光点的位置,故也考虑进行可靠性更高的记录再生处理后成为屏障的情况。
此外,在记录再生处理之一工序中,也存在光记录介质的表面形成了凹部的情况。若形成了这样的凹部,则在通过近场光进行记录再生处理时反而成为屏障。
发明内容
本发明是鉴于上述问题而构成的,其目的在于,提供一种盘状记录介质,可通过近场光进行记录再生,其中,不仅能够进行信息信号的高密度的记录,而且还能够有效地活用形成于表面的凹部,由此能够执行追随其动作的各种处理,另外,提供盘装置,在插入了这样的盘状记录介质时,能够稳定地执行信息信号的高密度的记录处理。
本发明提供一种盘状记录介质,在可进行信息信号重写的可重写区域的轨道内分别形成跟踪控制用的导向槽,其中,在形成有导向槽的基板上层叠用于写入信息信号的记录层,记录层至少在可重写的区域能通过多光束的近场光进行信息信号的重写,且在该盘状记录介质的最表面,在对应于形成有导向槽的位置形成有凹部。
另外,本发明提供盘装置,对在可进行信息信号的重写的可重写区域的轨道内分别形成有跟踪控制用的导向槽的盘状记录介质进行信息的记录或再生,其中,其具备:用于使作为信息信号的近场光在可通过多光束进行重写的区域溢出的二轴作动器、和具有用于使二轴作动器向所希望的轨道位置移动的驱动控制部的控制部,控制部进行如下控制,在形成有导向槽的基板上层叠至少用于在可重写区域写入信息信号的记录层,进而在对应形成于导向槽的位置插入在最表面形成有凹部的盘状记录介质的情况下,经由驱动控制部控制二轴作动器,以使通过近场光点列对应于凹部排列。
本发明的盘状记录介质中,在形成有导向槽的基板上层叠用于写入信息信号的记录层,且该记录层在其至少可重写的区域能够通过多光束的近场光进行信息信号的重写,在最表面,在形成有导向槽的位置在表面形成有凹部,因此,在利用多光束近场光进行信息信号的重写时,用于形成多个近场光的光点,从而能够实现高密度的记录处理。即,在使用近场光进行再生、记录时,盘最表面的距离(空气层)从将光束聚光的透镜对信号强度产生影响。因此,由于将导向槽设为凹状,以沿该凹槽的方式形成保护膜,从而空气层的厚度变厚,容易得到导向槽的信号。另外,由于将记录膜设为凸形状,且以规定的间隔将导向槽用作多光束,从而记录部在比透镜近的位置宽范围地形成,能够成为易于近场形成的记录面。因此,本发明对使用多光束进行采用近场的信息的再生或记录的光盘是有效的。
本发明的另一目的在于、通过本发明得到的具体优点从以下参照附图说明的实施方式能够进一步明了。
附图说明
图1是表示应用了本发明的光记录介质的框电路图;
图2是表示光记录介质具备的透镜块的侧面图;
图3是表示返回光的量和间隙间的距离的关系的特性图;
图4是表示利用应用了本发明的光记录装置进行信号记录的光盘的局部剖面图;
图5是表示搭载于应用了本发明的光记录装置中的透镜块上多光束的近场光相对信号记录面溢出的例子的剖面图;
图6是从图5中D方向表示利用来自透镜块的近场光形成的光点的图;
图7是表示蛇行形成导向槽的光盘的平面图;
图8是表示在光盘上一次形成四个光点的例子的平面图;
图9A~9G是按工序顺序表示光盘的制造工序的剖面图,图9A表示对玻璃原盘的表面进行研磨清洗的状态,图9B表示在清洗后的玻璃原盘表面涂敷了光致抗蚀剂的状态,图9C表示将由凹槽信息调谐后的激光照射在光致抗蚀剂上记录凹槽图案的状态,图9D表示对玻璃原盘进行了显影处理后的状态,图9E表示在玻璃原盘表面蒸镀镍,形成镀镍层的状态,图9F表示利用由镀镍层构成的原模形成盘基板的状态,图9G表示形成有记录层及保护层的光盘。
具体实施方式
下面,参照附图详细说明本发明的实施例。
首先,说明应用了本发明的盘装置。光记录装置1如图1所示,是可装卸作为记录介质的光盘2的装置,其具备:旋转驱动可装卸的光盘2的主轴电动机3;在光盘2的信号记录面2a上照射激光,同时检测从光盘2的信号记录面反射的返回光的光头4;基于由光头4检测到的返回光,分别生成控制信号S1的间隙控制部6。
在主轴电动机3上一体安装装载光盘2的盘台。主轴电动机3基于从未图示的系统控制器供给的主轴驱动信号例如以恒定的线速度(CLV:Constant Linear Velocity)或恒定的角速度(CAV:ConstantAngular Velocity)对驱动轴进行旋转驱动,由此使盘台上装载的光盘2旋转。
光头4将光束在通过驱动主轴电动机3进行旋转操作的光盘2的各记录层上聚光,检测由光盘2的信号记录面2a反射的返回光,将其输出到未图示的信号处理部。此时,光头4根据旋转操作的光盘2的种类进行控制,使其向该光盘2射出最适合的波长的激光。
另外,间隙控制部6基于从光盘4送出的间隙误差信号GE生成控制信号S1,将其输出向光头4。即,通过该控制信号S1,可将光头4具备的物镜向接近离开光盘2的反向微调节。
在该光记录装置1中,利用未图示的存取机构使光头4向光盘2的径向作送给操作,进而移动控制光头4,使其位于光盘2的规定记录轨道上。
其次,进一步详细说明应用了本发明的光记录装置1中使用的光头4。
该光头4如图1所示,具备:驱动可射出多光束激光的半导体激光器的驱动电流的APC(Automatic Power Contoller)42;支承各半导体激光器的支架43;在从该半导体激光器射出的多光束激光的光路中配置的光束分裂器44;使透过该光束分裂器44的激光成为平行光的准直透镜45;透过该准直透镜45成为平行光的激光的光路中配设的反射镜46;透过该反射镜46反射的激光入射的1/4波长板47;将通过该1/4波长板47的激光聚光在光盘2的信号记录面2a上的透镜块38;将从光盘2的信号记录反射面2a反射返回的返回光聚光的聚光镜55;接收返回光的光接收元件56。
在支架43上安装有射出由规定的波长构成的多光束激光的半导体激光器71。该半导体激光器71是利用了半导体再结合发光的发光元件。该半导体激光器71不仅通过APC42控制驱动电流,以使激光的输出恒定,而且还基于从信息源58供给的信息信号射出激光。
光束分裂器44使从半导体激光器71射出的激光透过,将其导向光盘2,同时,反射从光盘2反射返回来的返回光,将其导向光接收元件56。透过该光束分裂器44的散射光即激光被准直透镜45准直为平行光,透过1/4波长板47。另外,光束分裂器44在从半导体激光器71射出的激光具有偏光的情况下,透过使用偏光光束分裂器,能够防止从光盘2反射返回来的返回光返回半导体激光器71。
反射镜46将透光光束分裂器44的激光反射,由此使其在光路中折射。由此,激光相对于位于光头4下方的光盘2的信号记录面2a大致垂直地照射。
1/4波长板47给予透过的激光π/2的相位差。从半导体激光器71射出的直线偏光的激光透过1/4波长板47成为圆偏光。另外,在光盘2反射返回来的圆偏光激光在透过该1/4波长板47后,成为直线偏光。
透镜块38配设于在反射镜46反射的激光的光路中,具有将该激光聚光,向光盘2的信号记录面2a上照射的功能。该透镜块38通过本身具备的二轴作动器在靠近离开光盘2的方向及光盘2的径向二轴方向被可移动地支承。而且,该透镜块38基于由来自于光盘2的返回光生成的控制信号S1,通过二轴作动器作移动动作,实现聚焦控制。
在光盘2的信号记录面2a上聚光的各激光被该信号记录面2a反射,通过透镜块38,由此成为平行光。而且,从光盘2反射返回来的返回光经由1/4波长板47通过准直透镜45,由此成为聚束光,在光束分裂器44反射。
另外,光接收元件56接收在光束分裂器44反射,由聚光镜55聚光的激光,将其进行光电转换,生成后述的间隙误差信号GE,将该信号向间隙控制部6供给。即,在该光接收元件56上,制作对应于多光束激光的光点的数量的图形,由此能够作为各自独立的信号获取。通过将该光接收元件56上形成的检测图形最优化,基于例如推挽法,也能够读取光点。
其后,对透镜块作更详细说明。透镜块38配设于在反射镜46反射的激光的光路中,如图2所示,其具备物镜62、SIL(Solid ImmersionLens)63、透镜折叠器64、二轴作动器65。
物镜62是具有将激光聚光后向LIL63供给的功能的非球面透镜。SIL63是将球形透镜的局部切成平面的形状的高折射率透镜。SIL63与信号记录面2a近接配置,从球面侧入射从物镜62供给的激光,将其在球面的相反侧的面(端面)的中央部聚束。
另外,该透镜块38中,也可以使用形成有反射镜的SIM(SolidImmersion Mirror)代替上述的SIL63。
透镜折叠器64以规定的位置关系保持物镜62、SIL63。SIL63通过透镜折叠器64被保持,以使球面侧与物镜62对向,且使球面的相反侧的面(端面)与光盘2的信号记录面2a对向。
这样,通过透镜折叠器64将高折射率的SIL63配置在物镜62和信号记录面2a之间,由此能够得到仅比物镜62的开口数大的开口数NA。通常,从透镜照射的激光的光点尺寸与透镜的开口数NA成反比,因此,通过物镜62、SIL63,能够得到光点尺寸更微小的激光。
二轴作动器65根据作为控制信号S1从间隙控制部6输出的控制电压使透镜折叠器64沿焦点方向动作。
在透镜块38定义的消散光是从以临界角以上的角度入射并全反射到SIL63的端面的激光的反射边界面溢出的光。在SIL63的端面从光盘2的信号记录面2a处于后述的近场(near field)内的情况下,从SIL63的端面溢出的上述消散光向信号记录面2a照射。
接着,对近场进行说明。通常,近场如图2所示,在设从SIL63的端面到光盘2的信号记录面2a的距离(间隙)为d时,通过入射到SIL63的激光的波长λ定义为d≤λ/2的区域为近场。即,光盘2的信号记录面2a和以与SIL63的端面的距离定义的间隙d满足d ≤λ/2,将消散光从SIL63的端面溢出到光盘2的信号记录面2a的状态称作近场状态,满足d>λ/2,将消散光未溢出到信号记录面2a上的状态称作远场(far field)状态。
但是,在远场状态的情况下,以临界角以上的角度入射到SIL63的端面的激光被全部反射,成为返回光。因此,如图3所示,远场状态的返回光的量为恒定值。
另一方面,在近场的情况下,以临界角以上的角度如设到SIL63的端面的激光的一部分如上所述,在SIL63的端面,即反射边界面作为消散光在光盘2的信息记录面2a上溢出。因此,如图3所述那样全反射的激光的返回光的量比远场状态时少。此外,该近场状态的返回光的量依赖于SIL63端面与盘2的距离而减少。
另外,在近场的情况中,返回光的量可分为相对于间隙长度线形变化的线形区域和非线形变化的非线形区域。因此,在SIL63的端面位置处于近场状态,且属于线形区域的情况下,由光接收元件56接收返回的光量,将其进行光电变化,生成间隙误差信号GE,并基于该信号进行回馈伺服,由此能够将间隙控制为恒定。即,如图3所示,若将返回光的量控制为控制目标值P,则能够将间隙d保持在恒定的距离。
顺便说,利用构成该透镜折叠器的物镜62、SIL63的组合,形成NA=1.83的高NA状态,但不限于这种情况,若NA为1.0以上,则能够使近场光溢出。
由于直到在由上述结构构成的透镜块38中的间隙达到λ/2以下为止,向信号记录面2a接近,因此,当设置接合面(接合面:Land)代替该导向槽时,由于在扫描时也可能与其冲突,故设置导向槽,因此,本发明的效果更显著。
这样,在应用了本发明的光记录介质1中,通过使用二轴作动器65,从而能够进行焦点控制,因此,在通过严格要求物镜相对于光点的位置的近场光进行记录再生时,能够实现更高可靠性的处理。
其次,对通过应用了本发明的光记录装置1记录信息信号的光盘2的详细构成进行说明。
该光盘2更简单地表示时,例如图4所示,通过在形成有导向槽81a的基板81上至少层叠记录层83而成。
基板81例如由聚碳酸脂构成。该基板81上形成的导向槽81a可进行切割,使得通过例如使用电子线等进行曝光而容易地达到毫微米尺寸的宽度。即,该基板81可容易地使用现有的母版制作装置而制作。
此外,记录层83通过由GeSbTe等材料构成的相变化记录膜构成,另外,在由光磁记录膜构成该层时,例如由TbFeCo等材料构成。
在光盘2的最表面,对应形成有导向槽81a的位置,进一步形成微小的凹部85a。特别是由于使用菱形炭(DLC:Diamond Like Carbon)膜等那样的固形且无机类膜及紫外线硬化树脂形成直至光盘2的最表面的层,从而与使用保护层等的情况相比,能够有效地形成凹部85a。
另外,在使用近场光进行高密度光记录的情况下,由于该凹部85a的区域极少,最好增加平坦部分的面积,但是,在利用多光束的光记录装置1中,在能够极力减小导向槽81a相对于形成的光点数量的比例这一点上是有利的,也能够提高记录密度。
顺便地说,该凹部85a的尺寸例如其深度为30nm,宽度约为80nm,但不限于这样的尺寸。
即,在应用了本发明的光记录装置1中,不仅能够通过形成近场光的光点对在最表面形成有凹部85a的光盘2执行记录处理,而且还能够实现追随这样的凹部85a的各种动作。也可以实现利用了该凹部85a的导轨的信号的获取。特别是该凹部85a的位置根据上述的导向槽81a的位置形成,由此得出这样的优点。
对利用光记录装置1用多光束对由这种结构构成的光盘2照射近场光的情况进行说明。
图5表示在由上述结构构成的透镜块38中使多光束的近场光相对于信号记录膜2a溢出的例子。基于多光束激光中实线所示的第一激光L1的近场光向信号记录面2a的点p照射。另外,基于该多光束激光中虚线所示的第二激光L2的近场光向信号记录膜2a的点q照射。
图6表示从图5中D方向看到的通过来自于透镜块的近场光形成的光点Sp。多光束的各光点Sp如图6所示,夹着相对于光盘2的盘前进方向A垂直的导向槽81a配置为一列。将该光点Sp的中心P1连接的直线相对于导向槽81a的角度φ也可以为任意的值。这种情况下,通过预先识别角度φ,可取得各光点Sp的距离,能够确保后段的信号处理的有利性。
该图6中,在设多光束的各光点Sp间的在光盘2的径向B的距离为d时,将该导向槽81a的宽度设为d以下,由此,能够从基于两个光点Sp的光量的变化检测到跟踪信息,例如通过检测推挽信号,也可以得到这样的跟踪信息。
顺便说,该导向槽81a也可以如图7所示那样形成蛇行状。即,基于时钟及地址等信息使导向槽81a成蛇行状,由此也可以通过由跨这样的导向槽81a而形成的两个光点Sp构成的光点列SL进行信号检测。即,利用该两个光点Sp算出与返回光的导向槽81a的偏移量,并以该偏移量为误差信号给予二轴作动器65,由此实现如上述那样的跟踪。
通过这样使光点Sp追随导向槽81a,在例如将导向槽81a描绘成螺旋状时,在绕光盘2一周后,光点列SL从图6、图7中实线所示的位置移动到虚线所示的位置。
另外,该导向槽81a间的节距在形成由n个光点构成的光点列时控制为n×d。由此,即使在连接形成的光点Sp的中心P1的直线假设成为相对于导向槽81a垂直的方向的情况下,光点Sp的照射位置也不会相互重合,从而能够有效地对光盘2进行记录再生处理。
另外,图8表示在光盘2上一次形成四个光点Sp的例子。如该图8所示,夹着导向槽81a在两侧分别形成两个光点Sp。在螺旋状描绘导向槽81a时,在绕光盘2一周后,光点Sp从图8中所示的实线所示的位置移动到虚线所示的位置。另外,在导向槽81a的两侧形成的光点Sp的个数优选1∶1的比,但不限于此,也可以为任意比。例如,也可以以1∶3的比在导向槽81a的一端侧构成一个光点Sp,在另一侧构成三个光点Sp。此外,光点Sp也可以为若根据导向槽81a形成,则只在导向槽81a的一端侧并排四个的构成。另外,该光点Sp的个数也可以为任意个。
在光盘2上一次形成四个光点Sp时也相同,由于将导向槽81a的间隔控制在n×d式到4d即四个量的点间隔以上,从而光点Sp的照射位置不会相互重叠,从而能够有效地对光盘2进行记录再生处理。
其次,说明应用了本发明的记录用光盘的制造工序。
为制造应用本发明的光盘2,如图9A所示,准备玻璃原盘101,并将该玻璃原盘101的表面进行研磨清洗。其次,如图9B所示,在清洗后的玻璃原盘101的表面涂敷光致抗蚀剂102。然后,如图9C所示,利用物镜104将由凹槽信息调谐激光103聚光,对光致抗蚀剂102照射,记录凹槽图案。该情况下,作为对光致抗蚀剂照射的激光,也可以使用近场光。
如上所述,在将凹槽图案进行曝光记录后,如图9D所示,对玻璃原盘101进行显影处理。此时,例如利用显影液只将照射了激光的部分的光致抗蚀剂102溶解。其结果是,在玻璃原盘101上形成与记录面上形成的图案对应的图案。
其次,如图9E所示,进行显影在表面上形成图案的玻璃原盘101的表面上蒸镀镍,形成镀镍层117。然后,将该镀镍层117从玻璃原盘101剥离,由此在镀镍层117上转印剥离原盘101上形成的凹凸图案。转印了凹凸图案的镀镍层117作为用于成形构成光盘的盘基板的原模使用。
将由镀镍层117构成的原模127安装在例如射出成形用的模型装置上,使用该模型装置成形合成树脂材料。当成形合成树脂材料时,如图9F所示,形成转印了在原模127的表面上形成的作为凹凸图案的凹槽图案112a的盘基板112。
在形成有该盘基板112的凹槽图案112a的面上形成记录膜105,进而覆盖记录膜105,被覆形成透明的保护膜106,由此形成图9G所示的记录用光盘107。
在该光盘107上,记录层105可通过照射光束进行信息信号的记录,或使用可进行信息信号的重写的材料形成。例如,记录层105利用由GeSbTe等材料构成的相变化记录膜构成,或利用由TbFeCo等材料构成的光磁记录膜构成。
此外,在此,保护膜106优选由菱形炭(DLC:Diamond Like Carbon)膜等那样的固形且无机类膜形成。另外,保护膜106也可以由紫外线硬化树脂构成。
另外,在应用了本发明的光记录装置1中,对能够基于近场和远场两个模式记录信号的例子进行了说明,但不限于这样的情况,也可以适用于能够只基于近场模式利用近场光记录信号的装置。另外,当然也可以采用能够利用应用了本发明的光记录装置1再生光盘2上记录的信号的构成。
另外,本发明不限于参照附图说明的上述实施例,在不脱离附带的权利要求范围及其主旨的范围内,可进行各种变更、置换及其同等的发明对本领域技术人员来说也是明了的。

Claims (7)

1.一种盘状记录介质,在可进行信息信号重写的可重写区域的轨道内分别形成跟踪控制用的导向槽,其特征在于,
在形成有上述导向槽的基板上层叠用于写入上述信息信号的记录层,
上述记录层至少在可重写的区域能通过多光束的近场光进行上述信息信号的重写,
在该盘状记录介质的最表面,在对应于形成有上述导向槽的位置形成有凹部。
2.如权利要求1所述的盘状记录介质,其特征在于,
上述导向槽由上述多光束的近场光的光点间距为d以下的宽度构成,并且上述光点的数量为n时,由d×n以上的节距构成。
3.如权利要求1所述的盘状记录介质,其特征在于,
直至该盘状记录介质的最表面的层由菱形的炭膜构成。
4.如权利要求1所述的盘状记录介质,其特征在于,
上述导向槽蛇行状形成。
5.一种盘装置,对在可进行信息信号的重写的可重写区域的轨道内分别形成有跟踪控制用的导向槽的盘状记录介质进行信息的记录/再生处理,其特征在于,
包括:
二轴作动器,用于使作为上述信息信号的近场光在可由多光束进行上述重写的区域溢出、和
控制装置,具有用于使该二轴作动器向所希望的轨道位置移动的驱动控制部,
上述控制装置进行如下控制,即在形成有上述导向槽的基板上层叠至少用于在可重写区域写入上述信息信号的记录层,进而在对应形成于上述导向槽的位置插入在最表面形成有凹部的盘状记录介质的情况下,经由上述驱动控制部控制上述二轴作动器,以使通过上述近场光,光点列对应于上述凹部排列。
6.如权利要求5所述的盘装置,其特征在于,
上述控制装置中的二轴作动器具备:用于将供给的光聚光,同时使上述近场光溢出的物镜,
上述物镜的开口数NA为1.0以上。
7.一种光盘的制造方法,该光盘具有由使用了近场光的多光束可进行重写的区域,其特征在于,
包括如下工序:
基板上在上述可重写的区域形成的轨道内分别形成跟踪控制用的导向槽,
在形成有上述导向槽的上述基板上,形成用于在至少可进行重写的区域通过多光束的近场光记录信息信号的记录层,
在上述基板的表面,对应于形成有上述导向槽的位置形成凹部。
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