CN1975344B - 电容性物理量传感器及其诊断的方法 - Google Patents

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Abstract

一种电容性传感器，用于检测物理量，包括可移动电极(1a，1b)和固定电极(2a，2b)，及控制单元(22，24)，控制单元用于在可移动电极(1a，1b)与固定电极(2a，2b)之间施加一个信号。控制单元(22，24)包括输入端，输出端，及时间测量装置，时间测量装置用于测量时间段。控制单元(22，24)对将诊断指令信号输入到输入端的时间段进行计数。在指令信号持续了预定时间段后，控制单元(22，24)执行自诊断。

Description

电容性物理量传感器及其诊断的方法
技术领域
本发明涉及用于检测物理量的电容性物理量传感器及其诊断方法。例如，所述传感器可以用作加速度传感器，其中当施加物理量时，在可移动电极和固定电极之间所形成的电容发生改变。
背景技术
U.S.专利NO.6,483,322(与JP-A-2002-40047对应)公开了一种具有自诊断功能的加速度传感器，其作为电容性传感器，用于检测物理量(动态量)。当该传感器处于自诊断模式时，将电压施加到传感器中的可移动电极和固定电极之间。由此，可移动电极被强制移动并使其振荡。传感器通过检测与该振荡相对应的加速度信号的输出，来执行与产生异常有关的自诊断。
具体的，该传感器包括控制电路，其施加用于驱动可移动电极的电压，以便于检测加速度并执行自诊断。控制电路包括输入端和与输出端相对应的状态(STAT)端。将用于指示自诊断的个人识别码(PIN)信号输入到输入端中，STAT端输出识别(ID)信号，用于表示哪个加速度传感器正在执行自诊断。
当PIN信号输入进输入端中，通过在可移动电极和固定电极之间施加电压来执行自诊断。图11是示出常规加速度传感器的自诊断操作的时序图。在图11中如所示，当PIN信号被设定为高电平(Hi)时，自诊断模式启动，并且加速度传感器的输出信号Go被设定为Hi。同时，STAT端被设定为Hi，自诊断开始。随后，在PIN信号被设定为低电平(Lo)之后，ID信号从STAT端输出，以表示哪个加速度传感器正在执行自诊断。
然而，当PIN信号被外部噪声设定为Hi时，例如电磁噪声，尽管加速度传感器没有处于自诊断模式中，但加速度传感器的输出信号Go被设定为Hi。该信号可以表示施加了加速度，并且基于加速度传感器而运行的设备就会发生误操作故障(malfunction)。
发明内容
鉴于上述的和其它的问题，本发明的一个目的是提供一种电容性物理量传感器，其具有自诊断功能并减少由外部噪声所引起的误操作故障。
根据本发明的第一实例，用于检测物理量(动态量)的电容性传感器包括可移动电极和固定电极，及控制电路，所述控制电路用于在可移动电极和固定电极之间施加信号。控制电路包括输入端、输出端和用于测量时间周期的时间测量装置。控制电路测量所述时间周期，每个所述时间周期都将用于指示自诊断的指令信号输入到输入端。在所述指令信号持续了预定时间周期后，控制电路执行自诊断。
根据本发明的第二实例，一种诊断电容性物理量传感器的方法，包括输入步骤，确定步骤，指示步骤和诊断步骤。在输入步骤中，将预备信号在第一预定时间内持续输入到电容性物理量传感器的输入端。在确定步骤中，确定电容性物理量传感器的输出端是否已经响应所述预备信号而在第一预定时间内持续输出第一输出信号。在指示步骤中，如果确定输出端已经在第一预定时间内持续输出第一输出信号，则通过在第二预定时间内将指令信号持续输入到输入端来指示自诊断。在诊断步骤中，如果输出端在第二预定时间内持续输出第二输出信号，则电容性物理量传感器就被诊断为正常。
附图说明
本发明的上述和其它的目的，特征和优点将在以下参照附图的详细说明中变得更加显而易见。在附图中：
图1是根据本发明的第一实施例的电容性加速度传感器的框图；
图2是图1中所示的加速度传感器的状态转换图；
图3A是示出在自诊断模式中加速度传感器操作的时序图，及图3B是示出当在非自诊断模式中PIN信号被外部噪声瞬间设定为Hi时，加速度传感器操作的时序图；
图4是根据本发明的第二实施例的电容性加速度传感器的状态转换图；
图5A是示出在自诊断模式中加速度传感器操作的时序图，及图5B是示出当在非自诊断模式中PIN信号被外部噪声瞬间设定为Hi时，加速度传感器操作的时序图；
图6是示出根据第三实施例的加速度传感器的IC组件的框图；
图7A是示出加速度传感器的装配结构的侧视图，及图7B是沿
图7A中VIIB-VIIB线获得的IC组件的平面图；
图8是示出IC组件的输入/输出信号和ECU的图；
图9是自诊断过程的流程图；
图10是自诊断过程的时序图；以及
图11是示出常规加速度传感器的自诊断操作的时序图。
具体实施方式
如在图1中所示，加速度传感器包括传感器元件10和检测电路20。传感器元件10包括可移动电极1a，1b和固定电极2a，2b。检测电路20基于在可移动电极1a，1b和固定电极2a，2b之间的微分电容的变化来检测加速度。
传感器元件10包括横梁结构，可移动电极1a，1b和固定电极2a，2b与横梁结构构建在一起。微分电容由可移动电极1a，1b和固定电极2a，2b构成，其彼此相对放置。电压周期性地施加到固定电极2a，2b中的每一个，且施加到固定电极2a，2b的电压彼此相反。由此，基于微分电容的变化，加速度被检测，且变化量与可移动电极1a，1b的位移相对应。
检测电路20包括电容一电压(C-V)转换电路21，开关电路22，信号处理电路23和控制信号产生电路24。
C-V转换电路21将微分电容的变化转换为电压，并且其包括运算放大器21a，电容器21b和开关21c。放大器21a的反相输入端连接到可移动电极1a，1b，电容器21b和开关21c与放大器21a并联连接在反相输入端和输出端之间。开关21c由来自控制信号产生电路24的信号S1驱动。通过开关电路22，给放大器21a的非反相输入端提供以下两个电压中的任意一个：施加到固定电极2a，2b的电压Vcc的一半电压Vcc/2，其是作为中间电压Vcc/2，或者与中间电压不同的、通过开关电路22的作为偏置电压的电压。在该实施例中，中间电压是2.5V，偏置电压是4V。
开关电路22将电压从电压源(未示出)输入到放大器21a的非反相输入端，并且开关电路22包括第一开关22a和第二开关22b。第一和第二开关22a，22b由来自控制信号产生电路24的信号St驱动。当开关22a，22b中的一个闭合时，另一个开关则断开。
信号处理电路23包括采样和保持(SH)电路23a和开关电容滤波器(SCF)电路23b。SH电路23a由来自电路24的信号S2驱动。SH电路23a对C-V转换电路21的输出进行采样，并在预定的时间段内保持该输出。SCF电路23b由来自电路24的时钟信号F1驱动。SCF电路23b从SH电路23a的输出中选择预定频带分量的信号，并输出该信号作为加速度信号。
控制信号产生电路24输出用于指示施加到固定电极2a，2b的电压的时机的信号PW1，PW2，用于指示对开关电路22进行开关的时机的信号St，用于指示对开关21c进行开关的时机的信号S1，用于SH电路23a的信号S2以及用于SCF电路23b的信号F1。
接下来，将说明加速度传感器的操作。首先，将说明正常加速度测量的操作。在正常操作中，由来自电路24的信号St闭合开关22a并断开开关22b。来自电路24的输出信号PW1，PW2中的每一个都具有电压Vcc(5V)的预定振幅，且输出信号PW1，PW2的电压Vcc的电平彼此相反。信号PW1，PW2是具有预定振幅的方波波形，并在每个检测周期中的四个时间段T1-T4中在高电平(Hi)和低电平(Lo)之间变化。
在第一时间段T1中，信号PW1，PW2将固定电极2a的电位设定为Vcc，将固定电极2b的电位设定为0V。而且，开关21c被来自电路24的信号S1闭合。因此，可移动电极1a，1b因放大器21a的工作而具有偏置电压Vcc/2，在电容器21b上的电荷被放电，其将是反馈电容。如果在可移动电极1a和固定电极2a之间的电容C1大于在可移动电极1b和固定电极2b之间的电容C2(C1＞C2)，则由于该关系式和施加到固定电极2a，2b的电压，可移动电极1a，1b就保持大量的负电荷。
在第二时间段T2中，信号PW1，PW2将固定电极2a的电位设定为Vcc，将固定电极2b的电位设定为0V。而且，开关21c被信号S1断开。由此，电容器21b被充电为与可移动电极1a，1b的状态相对应。随后，C-V转换电路21输出与电容器21b中的电荷相对应的电压信号，并且SH电路23a响应于信号S2，采样并保持该电压信号。
在第三时间段T3中，信号PW1，PW2将固定电极2a的电位设定为0V，将固定电极2b的电位设定为Vcc。就是说，电位被交换。而且，开关21c被信号S1保持为断开。在此时，由于信号PW1，PW2的倒相，在可移动电极1a，1b中电荷的状态与在第二时间段T2中的状态相反。就是说，当电容C1大于电容C2(C1＞C2)时，由于施加到固定电极2a，2b的电压的倒相，可移动电极1a，1b就保持大量的正电荷。
然而在此时，由于在可移动电极1a，1b与电容器21b之间的电路是闭合的，在第一时间段T1中被放电的电荷就存储在电路中。因此，出于平衡，一部分电荷被转移并存储在电容器21b中。随后，C-V转换电路21输出电压信号，其与所转移的电荷成正比，并基于关系式Q＝CV而与电容器21b的电容C成反比。
在第四时间段T4中，信号PW1，PW2将固定电极2a的电位设定为0V，将固定电极2b的电位设定为Vcc。在来自C-V转换电路21的电压信号足够稳定之后，SH电路23a响应于信号S2，采样并保持来自C-V转换电路21的电压信号。
SH电路23a在第二时间段T2中所采样的电压信号与第四时间段T4中所采样的电压信号之间执行差额计算，并输出计算结果。基于该结果，能够检测出与可移动电极1a，1b的位移相对应的加速度。
接下来，将说明在自诊断模式中的操作和在非自诊断模式中个人识别码(PIN)信号被外部噪声设定为Hi的情况。在自诊断模式中，指示自诊断的PIN信号在控制信号产生电路24中被设定为Hi。然而，PIN信号还可以被外部噪声设定为Hi。当PIN信号被设定为Hi，控制信号产生电路24基于由控制信号产生电路24中的时钟所产生的固定频率的时钟信号CLK，来确定该设定是由自诊断指令还是由外部噪声所引起的。
首先，通过对时钟信号CLK计数来测量PIN信号被保持为Hi的时间。当PIN信号在预定时钟数(时间)内被保持为Hi时，信号St就与时钟信号的上升沿或下降沿同步地从正常加速度测量模式变为自诊断模式。如果PIN信号在预定时钟数内变为Lo，信号St就不变化，以便保持正常加速度测量模式。
预定时钟数表示与大于外部噪声持续的假定时间的一个时间相对应的时钟数。就是说，当PIN信号被保持为Hi的时间超过预定时钟数的时候，就假定PIN信号是为了自诊断而被设定为Hi，而不是被外部噪声设定的。与此相反，当PIN信号被保持为Hi的时间比预定时钟数短时，就假定PIN信号是被外部噪声设定为Hi。
因此，当PIN信号在预定时钟数内保持为Hi，就假定PIN信号不是被外部噪声设定为Hi，信号St从正常加速度测量模式变为自诊断模式。当PIN信号在预定时钟数内没有保持为Hi时，就假定PIN信号是被外部噪声设定为Hi的，正常加速度测量模式继续。
随后，当自诊断模式启动时，响应于信号St，开关22a断开，开关22b闭合。于是，偏置电压(4V)施加到运算放大器21a。同时，响应于信号PW1，PW2，在固定电极2a，2b之间形成了电位差。例如，在可移动电极1b与固定电极2b之间的电位差(4V)大于在可移动电极1a与固定电极2a之间的电位差(1V)，静电力增大。因此，可移动电极1a，1b被增大的静电力从中间点强制移动。
随后，开关电路22响应于信号St，闭合开关22a并断开开关22b。然后，与正常加速度测量模式类似，固定电极2a，2b的中间电压被施加到运算放大器21a的非反相输入端。此后，执行与上述在正常加速度测量模式中相似的操作，并获得与可移动电极1a，1b的位移相对应的输出。由静电力造成的可移动电极1a，1b的位移具有与施加到运算放大器21a的非反相端的电压相对应的特定值。因此，与可移动电极1a，1b的位移相对应的输出也是特定值。自诊断能够通过将所获得的输出与该特定输出相比较来执行。
因为基于由加速度传感器检测到的结果而工作的控制装置可以包括多个加速度传感器，当自诊断完成时，表示是哪个加速度传感器完成自诊断的识别(ID)信号从STAT端与时钟信号CLK同步地输出。因此，控制装置能够识别出哪个加速度传感器有了结果。
如在图2中所示，当PIN信号被设定为Lo时，加速度传感器处于正常加速度测量模式(M模式)。此时，加速度传感器的输出信号Go基本上表示为0G。当加速度施加到传感器时，输出信号Go表示相应的值。STAT端的电位被设定为Lo。时钟连续的产生时钟信号CLK。
当PIN信号被设定为Hi时，加速度传感器转换为确定模式(D模式)。在该模式中，通过将PIN信号保持为Hi的时间与对应于预定时钟数的时间相比较而确定自诊断的必要性。此时，输出信号Go表示0G，STAT端的电位被设定为Lo。只要PIN信号被设定为Hi，确定模式就继续。当PIN信号变为Lo时，加速度传感器返回到M模式。
当在确定模式中计数得到时钟信号CLK的预定时钟数时，例如在该实施例中为4个时钟，加速度传感器就转换为自诊断模式(SD模式)。然后，执行自诊断，并将加速度传感器的输出信号Go设定为相应的值(原始值)。只要PIN信号被设定为Hi，SD模式就继续。与此相反，当PIN信号被设定为Lo时，加速度传感器转换为ID输出模式(ID模式)。
基本上，在ID模式中，加速度传感器的输出信号Go表示0G，ID信号从STAT端与时钟信号CLK同步地输出。只要PIN信号被设定为Lo，ID模式就继续。与此相反，当PIN信号被设定为Hi时，加速度传感器再次返回到SD模式。当ID信号的输出完成时，自诊断被确定为结束，加速度传感器再次转换为M模式。
如在图3A中所示，当PIN信号在预定时钟数内持续为Hi时，执行自诊断，加速度传感器输出与自诊断结果相对应的输出信号Go。与此相反，如图3B中所示，当PIN信号被外部噪声瞬时设定为Hi时，由于PIN信号在预定时钟数内没有持续为Hi，自诊断不会执行。然后，加速度传感器的输出信号Go被设定为0G。
根据第一实施例，仅当PIN信号在大于外部噪声持续的假定时间的一个时间内持续为Hi时，加速度传感器才能被转换为自诊断模式。由此，即使当PIN信号被外部噪声设定为Hi时，其也不会被误检测为加速度施加到传感器上。因此，响应于加速度传感器而运行的外部设备的误操作故障能被减少。
(第二实施例)
在第二实施例中，通过使用多个PIN信号来确定PIN信号是被指示自诊断的信号还是被外部噪声设定为Hi。其它部分可以做成与第一实施例相类似，这些其它部分的说明被省略。
在自诊断模式中，指示自诊断的信号，即PIN信号，在控制信号产生电路24中被设定为Hi。与此相反，PIN信号可以被外部噪声设定为Hi。当PIN信号被设定为Hi时，通过使用在电路24中的时钟所产生的时钟信号CLK来确定PIN信号是被指示自诊断的信号还是被外部噪声设定为Hi。
首先，当PIN信号被设定为Hi时，信号从电路24输出，STAT端的输出电位与PIN信号的上升沿同步地被设定为Hi。具体地，响应于从电路24输出的信号，执行与在第一实施例中描述的自诊断模式中的相类似的操作。
因此，执行在正常自诊断模式中的操作。然而，在此时，不能确定该操作是由于指示自诊断的信号还是由于外部噪声而被执行的。该不确定性是基于STAT端的输出(Hi)而被确定，并且来自加速度传感器的输出没有被用于自诊断中。就是说，尽管执行了在自诊断模式中的操作，但此时并未执行进入自诊断模式。
在自诊断的情况下，PIN信号在特定时间间隔之后被设定为Hi。与此相反，外部噪声在随机时间(间断的)将PIN信号设定为Hi。因此，对于自诊断，PIN信号被有规律地多次设定为Hi。因此，能够区分PIN信号被外部噪声设定为Hi的情况能。
然后，加速度传感器操作模式再次变为自诊断模式，并执行真正的(第二)自诊断。在此时，STAT端没有被设定为Hi。由此，STAT端的输出相对于在第一自诊断中的输出而被改变，并且能够通过读取STAT端的输出来确定加速度传感器是否处于自诊断模式。在第二自诊断完成之后，ID信号从STAT端输出。
如图4中所示，当PIN信号被设定为Lo时，加速度传感器处于正常加速度测量模式(M模式)。在此时，加速度传感器的输出信号Go基本上表示0G。当加速度施加到传感器时，输出信号Go表示相应的值。而且，STAT端的电位被设定为Lo。时钟持续地产生时钟信号CLK。
当PIN信号被设定为Hi时，操作模式变为第一确定模式(第一D模式)。然后，执行自诊断，并且将加速度传感器的输出信号Go设定为相应的值(原始值)。而且，STAT端的输出被设定为Hi。只要PIN信号继续为Hi，第一确定模式就继续。当PIN信号变为Lo时，操作模式变为第二确定模式(第二D模式)。
在第二确定模式中，加速度传感器的输出信号Go基本上表示0G，STAT端的电位被设定为Lo。只要PIN信号继续为Lo，第二确定模式就继续。当PIN信号变为Hi时，操作模式变为自诊断模式(SD模式)。另外，当第二确定模式在持续了预定时间时，传感器返回到M模式。该预定时间表示在其中假定PIN信号被多次设定为Hi的时间。在这种情况下，即使当PIN信号被再次设定为Hi，操作模式也是变为第一确定模式，而不是第二确定模式。
在SD模式中，执行自诊断，并且将加速度传感器的输出信号Go设定为相应的值(原始值)。在此时，STAT端的电位被设定为Lo。只要PIN信号继续为Hi，SD模式就继续。当PIN信号变为Lo时，操作模式变为ID输出模式(ID模式)。
在ID模式中，传感器的输出信号Go基本上表示0G，ID信号从STAT端与时钟信号CLK同步地输出。只要PIN信号继续为Lo，ID模式就继续。当PIN信号变为Hi时，自诊断完成，并且传感器再次返回到M模式。
如在图5A中所示，在自诊断模式中，PIN信号被两次设定为Hi，当PIN信号被再次设定为Hi时，执行自诊断。因此，从传感器输出与自诊断结果相对应的输出信号Go。与此相反，如在图5B中所示，PIN信号被外部噪声设定为Hi一次。就是说，PIN信号没有被两次设定为Hi，自诊断不执行。然后，传感器的输出信号Go被设定为0G。
因此，当PIN信号被重复的设定为Hi时，执行自诊断。与此相反，当PIN信号没有被重复设定为Hi时，则确定PIN信号是被外部噪声设定为Hi。由第一实施例所提供的优点也能被第二实施例提供。
(第三实施例)
在第三实施例中，加速度传感器对于单一轴向具有两种灵敏度。其它部分可以做成与第一实施例相类似，对其它部分的说明将被省略。
如在图6中所示，集成电路(IC)组件30(压力传感器)包括传感器元件10，C-V转换电路21，开关电路22，信号处理电路23和控制信号产生电路24。IC 30进一步包括电源端30a，第一输出端30b，第二输出端30c，接地(GND)端30d，STAT端30e和输入端30f。这六个端点30a-30f与下述的引线框35相对应。电源端30a将驱动电压VCC提供给IC 30。第一输出端30b输出输出信号Go1。第二输出端30c输出输出信号Go2。GND端30d连接到IC 30的参考电位GND。STAT端30e输出表示加速度传感器状态的信号。将用于指示自诊断的PIN信号输入到输入端30f。
如在图7A中所示，在加速度传感器中，衬底31和组件32相互连接。衬底31通过在检测电路20的衬底上分出具有传感器元件10的传感器电路的衬底的层而构成。检测电路20的衬底包括C-V转换电路21，开关电路22，信号处理电路23以及控制信号产生电路24。
如在图7A和7B中所示，六个主电极33布置在衬底31的正面上，并朝向组件32。相类似的，六个引线框35布置在组件32上，以便与六个电极33相对应。引线框35中的每一个都与端点30a-30f中的每一个相对应。
主电极33和引线框35通过隆起焊盘(bump)相连。即使当产生从组件32到衬底31的压力(例如热应力)时，通过隆起焊盘的连接也不会损坏。这是由于焊料被设置到连接部分，并且连接部分形成具有高湿润性能的形状。具体的，在组件32上的焊料的区域大于在衬底31上的区域。
除主电极33之外，四个辅助电极34布置在衬底31的四角。四个假垫(dummy pad)36布置在组件32的四角，以便与辅助电极34相对应。辅助电极34和假垫36通过隆起焊盘相连。辅助电极34中的每一个都在组件32上具有焊料区域，其等于在衬底31上的区域。这与主电极33的情况不同。当组件32热变形时，热应力由于辅助电极34的原因而几乎不会施加到衬底31上。由此，当在组件32中产生压力时，主电极33被保护免于与引线框35分离，且压力由于辅助电极34的原因而被减小。
如在图6中所示，控制信号产生电路24包括内部时钟产生电路24a，并与由内部时钟产生电路24a所产生的时钟信号同步地输出信号PW1，PW2，St，S1，S2及F1。就是说，加速度传感器无需来自IC组件30的外部的时钟信号。
加速度传感器对于单一轴向具有两种灵敏度。但如图6所示，传感器仅包括单一传感器元件10作为感应部分。在第三实施例中的加速度传感器与上述实施例中的不同之处在于分支电路25布置在SCF电路23b的输出侧。
分支电路25放大来自SCF电路23b的输出信号，并形成输出信号Go2。分支电路25包括具有运算放大器25a和电阻25b，25c的放大电路。电阻25b布置在SCF电路23b的输出端与运算放大器25a的反相输入端之间。电阻25c布置在运算放大器25a的反相输入端与输出端之间。
来自SCF电路23b的信号输出在节点B被分路。一个支路信号作为输出信号Go1被输出，另一个支路信号在被分支电路25放大后作为输出信号Go2被输出。因此，由于输出信号Go1与输出信号Go2的放大程度不同，加速度传感器对于单一轴向具有两种灵敏度。另外，由于分支电路25是反相放大电路，所以输出信号Go2是在与输出信号Go1相反的方向上被放大。这样，输出信号Go1和Go2彼此能被区分。
如在图8中所示，如上所述，驱动电压VCC，参考电位GDN和PIN信号输入到加速度传感器的IC30中，并且加速度传感器的IC30中输出输出信号Go1，Go2，和STAT。输出信号Go1，Go2，和STAT通过汽车中的总线传输到电控单元(ECU)40，例如安全气囊ECU。
ECU40中包括时钟产生电路。该时钟产生电路与在控制信号产生电路24中的内部时钟产生电路24a不同步，并且被驱动以致具有1msec的控制周期。例如，在ECU40是安全气囊ECU的情况下，当ECU40接收从主要汽缸部分(未示出)输出的点火(IG)信号时，ECU40向加速度传感器输出PIN信号。然后，当ECU40从加速度传感器接收输出信号Go1，Go2，和STAT时，ECU40响应于该输出信号，输出诊断结果(DR)或碰撞确定结果(CDR)。
碰撞确定结果是基于布置在汽车中的加速度传感器的输出来确定的。具体的，碰撞确定结果表示在与物体的碰撞中，安全气囊是否充气。这是基于在正常加速度测量模式中的加速度传感器的输出来确定的。与此相反，诊断结果是自诊断过程的结果，当ECU40接收到IG信号时执行该自诊断过程。具体的，当通过向传感器元件10施加电压而使可移动电极1a，1b被移动时，诊断结果表示基于加速度传感器的输出所做的确定的结果。
当来自主要汽缸部分的IG信号输出被输入到ECU40时，在预定初始化过程完成后，自诊断过程启动。自诊断过程与预定控制周期同步。
如在图9中所示，在S100，PIN信号Hi在预定时间Δt1内持续输出。预定时间Δt1大于影响汽车通信系统的噪声持续的假定时间。由于噪声具有在千兆赫(GHz)范围的频率，所以假定噪声持续大约1-500nsec。因此，预定时间Δt1被设定为0.25msec，以使噪声不会被误检测为PIN信号。预定时间Δt1是可以在0.1msec与0.5msec之间的范围内。就是说，预定时间Δt1相对于假定时间具有大约5-500倍的余量。
由此，如在图10中时间段t0-t2所示，STAT端30e向ECU40输出表示IC30状态的信号，第二输出端30c向ECU40输出输出信号Go2。在此时，由于PIN信号在预定时间Δt1内持续，STAT端30e和第二输出端30c在预定时间Δt1内就持续为Hi。
在图9中的S101，检测在时间段t0-t2中的STAT端30e的输出电位和第二输出端30c的输出信号Go2，并计算各自的Hi时间。在正常情况下，持续时间等于预定时间Δt1。
在S102，基于STAT端30e持续为Hi的持续时间来执行确定。如果持续时间等于预定时间Δt1，则PIN信号被确定为是在加速度传感器中被正常输入的，ECU40执行S103。与此相反，如果持续时间小于预定时间Δt1，PIN信号被确定为不是在加速度传感器中正常输入的，ECU40再次执行S100。
在S103，为Hi的PIN信号再次在预定时间Δt1内持续输出，由此，在图10中的时间段t2-t4中，与时间段t0-t2相类似，STAT端30e向ECU40输出表示加速度传感器状态的信号，第二输出端30c向ECU40输出输出信号Go2。
在S104，检测在时间段t2-t4中的STAT端30e的输出电位和第二输出端30c的输出信号Go2，并计算Hi信号的时间。
在S105，基于STAT端30e持续为Hi的持续时间来执行确定。如果持续时间等于预定时间Δt1，则PIN信号就被确定为是在加速传感器中被正常输入的，ECU40随后执行S106。与此相反，如果持续时间小于预定时间Δt1，PIN信号就被确定为不是在加速度传感器中正常输入的，ECU40再次执行S100。
步骤S100-102在第一预备过程中，步骤S103-105在第二预备过程中。在第一和第二预备过程正常完成后，ECU40执行Go2检测过程S106-108和确定过程S109-111，以便执行诊断确定。
在S106，为Hi的PIN信号在预定时间Δt2内持续输出。然后，在S107，检测在时间段t4-t5中的STAT端30e的输出电位和第二输出端30c的输出信号Go2。时间段T4-t5等于预定时间Δt2。
在S108，基于STAT端30e的输出电位来执行确定。如果在预定时间Δt2内持续输出电位持续为Hi，PIN信号被确定为是在加速度传感器中正常输入的，ECU40执行S109。与此相反，如果输出电位为Hi的时间小于预定时间Δt2，PIN信号被确定为不是在加速度传感器中正常输入的，ECU40再次执行S100。
在S109，基于在S107所检测的输出信号Go2来执行确定。如果输出信号Go2被确定为等于预定值，ECU40执行S110。与此相反，如果输出信号Go2被确定为不等于预定值，ECU40就执行S111。所述预定值表示当PIN信号在预定时间Δt2内持续为Hi且加速度传感器检测PIN信号时，加速度传感器所输出的作为输出信号Go2的值。
在S110，因为输出信号Go2被确定为等于预定值，ECU40输出加速度传感器为正常的诊断结果。与此相反，在S111，因为输出信号Go2被确定为不等于预定值，ECU40输出加速度传感器为不正常(异常)的诊断结果。
另外，在图10所示的时序图中，STAT端30e的输出电位和输出信号Go2的上升沿和下降沿与PIN信号的相同步。然而，STAT端30e的输出电位和输出信号Go2的实际响应可以相对于PIN信号而略微延迟。
根据第三实施例，当PIN信号被外部噪声设定为Hi时，加速度传感器没有被驱动为自诊断模式，类似于第一和第二实施例。而且，由于时钟信号CLK由在控制信号产生电路24中的内部时钟产生电路24a来产生，所以能提供以下的优点。该优点将通过用具有常规结构的加速度传感器的IC组件来说明。
对于单一轴向具有一种灵敏度的常规加速度传感器组件包括六个主电极和引线框，与该实施例相类似。这些主电极和引线框被用于电压VCC，输出信号Go，参考电位GND，STAT端的输出电位，PIN信号和时钟信号CLK的输出。响应于来自主电极的时钟信号CLK输入，驱动在信号处理电路中的SH电路和SCF电路。因此，为了将常规加速度传感器改变为该实施例中对于单一轴向具有两种灵敏度的加速度传感器，不仅是需要分支电路25而且还需要另一个主电极和引线框，以用于另一个输出端口。然而，如果主电极33从六个增加到七个，IC组件30的外形就需要改变。于是，与常规结构的兼容性就不能保持。而且，IC组件30的主体尺寸会增大。
与此相反，根据第三实施例，时钟信号CLK由在电路24中的内部时钟产生电路24a产生，并且用于输入时钟信号CLK的主电极33之一能被用作第二输出端33c。输出信号Go2能从第二输出端30c输出。由此，对于单一轴向具有两种灵敏度的加速度传感器能用常规组件来构成。
而且，在图9中的S109，执行加速度传感器的自诊断能，其中包括了增加的分支电路25，这是因为要基于输出信号Go2来确定加速度传感器是否正常。因此，在该实施例中的对于单一轴向具有两种灵敏度的加速度传感器能够提供与第一和第二实施例相同的优点。由于自诊断是基于通过放大输出信号Go1而形成的输出信号Go2来执行的，因此两个输出信号Go1，Go2都能在一个确定中被确定为是否正常。而且，无需分别确定输出信号Go1，Go2。
在上述的自诊断过程中，PIN信号在预定时间Δt1内持续为Hi，STAT端30e的输出电位持续为Hi的时间被确定为等于预定时间Δt1。可选的，PIN信号被设定为Hi的总时间与一个控制周期的比值，即脉冲宽度调制(PWM)类型的占空比，可以用以代替预定时间Δt1。这是由于ECU40将脉冲时钟用于其时间管理。例如，PIN信号的占空比可以在S100设定为50％，并且STAT端30e的输出电位被设定为Hi的占空比可以在S102确定为50％。
(其它实施例)
在上述实施例中，加速度传感器是以用于检测物理量(动态量)的电容性传感器来说明的。可选的，其它传感器，例如压力传感器或偏航速度传感器，可以用作电容性传感器。而且，开关电路22和控制信号产生电路24可以集成为控制单元。
此类变化和修改被理解为在如附加的权利要求所定义的本发明的范围之内。

Claims (11)

1.一种电容性传感器，用于检测加速度，所述传感器包括：
可移动电极(1a，1b)和固定电极(2a，2b)；及
控制单元(22，24)，其用于在所述可移动电极(1a，1b)与所述固定电极(2a，2b)之间施加信号，所述控制单元(22，24)包括
输入端，用于指示自诊断的指令信号被输入到所述输入端中，
输出端，其输出用于表示所述自诊断的状态的指示信号，以及
时间测量装置，其用于测量所述指令信号被输入到所述输入端的时间段，其中
所述控制单元(22，24)在所述指令信号持续了与长于外部噪声所持续的假定时间的时间相对应的预定时间段之后，执行所述自诊断，
其中，
所述时间测量装置通过使用用于产生时钟信号的时钟，来测量所述时间段，并且其中：
所述输出端包括第一输出端(30b)和第二输出端(30c)，
所述第一输出端(30b)输出指示信号(Go1)，
所述第二输出端(30c)输出所述指示信号(Go1)的放大信号(Go2)，
对于单一轴向，定义所述指示信号(Go1)和所述放大信号(Go2)，以及
所述控制单元(22、24)基于所述放大信号(Go2)来进行自诊断。
2.根据权利要求1所述的传感器，还包括：
C-V转换电路(21)，其输出与所述可移动电极和所述固定电极所形成的电容的变化相对应的电压；以及
信号处理电路(23)，其通过处理来自所述C-V转换电路(21)的电压，输出与所述加速度的变化相对应的信号，其中
所述可移动电极(1a，1b)依据所述加速度的变化而被移动，
所述控制单元(22，24)定期地施加检测信号，用于在正常测量模式中检测所述电容的变化，以及
所述控制单元(22，24)在自诊断模式中施加所述检测信号之前，施加移动信号，用于移动所述可移动电极(1a，1b)。
3.根据权利要求1所述的传感器，其中：
所述传感器是用于汽车的，并且所述预定时间段在0.1-0.5毫秒之间的范围内。
4.根据权利要求1或2所述的传感器，其中：
当所述指令信号由于所述自诊断的完成而结束时，所述控制单元(22，24)从所述输出端输出所述指示信号。
5.根据权利要求1或2所述的传感器，其中：
在将多个指令信号输入到所述输入端的情况下，所述控制单元(22，24)执行所述自诊断，以及
在没有将所述指令信号输入到所述输入端的情况下，不执行所述自诊断。
6.根据权利要求5所述的传感器，其中：
在将第一指令信号和第二指令信号输入到所述输入端的情况下，所述控制单元(22，24)执行所述自诊断，以及
在仅仅将所述第一指令信号输入到所述输入端的情况下，所述控制单元(22，24)禁止所述自诊断。
7.根据权利要求6所述的传感器，其中：
在输入所述第一指令信号的情况和在输入所述第二指令信号的情况中，所述输出端输出不同的信号。
8.根据权利要求6所述的传感器，其中：
如果自输入第一指令信号起的预定时间之后，将所述第二指令信号输入到所述输入端，则所述控制单元(22，24)就将所述第二指令信号识别为所述第一指令信号。
9.根据权利要求8所述的传感器，其中：
所述预定时间长于输入所述第二指令信号的假定时间。
10.一种诊断电容性加速度传感器的方法，包括：
将预备信号在第一预定时间内持续输入到所述电容性加速度传感器的输入端；
确定所述电容性加速度传感器的输出端是否已经响应于所述预备信号，在所述第一预定时间内持续输出了第一输出信号。
如果确定所述输出端已经在所述第一预定时间内持续输出了所述第一输出信号，则通过在第二预定时间内将指令信号持续输入到所述输入端，来指示自诊断；以及
如果所述输出端在所述第二预定时间内持续输出第二输出信号，则诊断所述电容性加速度传感器为正常，
其中所述第一预定时间段与长于外部噪声所持续的假定时间的时间相对应，其中：
所述电容性加速度传感器包括作为所述输出端的第一输出端和第二输出端，
所述电容性加速度传感器对于单一轴向具有第一灵敏度和第二灵敏度，
所述第一输出端输出所述第一灵敏度的信号，
所述第二输出端输出所述第二灵敏度的信号，其是通过放大所述第一灵敏度的信号来形成的，及
基于所述第二灵敏度的信号持续的时间来执行所述诊断。
11.根据权利要求10所述的方法，其中：
所述第一预定时间在0.1-0.5毫秒之间的范围内。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105637577A (zh) * 2013-10-21 2016-06-01 高通Mems科技公司 闭合回路动态电容测量

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102007000713A1 (de) * 2006-09-08 2008-04-10 Aisin Seiki K.K., Kariya Kapazitätserfassungsgerät
JP2008145269A (ja) * 2006-12-11 2008-06-26 Denso Corp センサ装置
JP4375579B2 (ja) * 2007-02-08 2009-12-02 株式会社デンソー 容量式物理量検出装置
JP2009097932A (ja) * 2007-10-15 2009-05-07 Freescale Semiconductor Inc 容量型検出装置
DE102008020862B3 (de) * 2008-04-25 2009-05-14 Siemens Aktiengesellschaft Messumformer zur Prozessinstrumentierung und Verfahren zur Überwachung des Zustands dessen Sensors
JP5249001B2 (ja) * 2008-12-03 2013-07-31 日立オートモティブシステムズ株式会社 物理量センサ及び物理量センサの制御装置
CN102087123B (zh) * 2009-12-04 2013-05-29 财团法人工业技术研究院 电容式感测组件的校正装置与方法
US9525925B2 (en) * 2011-02-25 2016-12-20 Infineon Technologies Ag Sensor with movable part and biasing
EP2790025B1 (en) * 2011-11-22 2019-08-14 Fuji Electric Co., Ltd. Capacitance detection circuit
DE102011056226A1 (de) * 2011-12-09 2013-06-13 Ident Technology Ag Sensorsystem sowie Verfahren zur Reduktion einer Einschwingzeit eines Sensorsystems
DE102012200191A1 (de) * 2012-01-09 2013-07-11 Ifm Electronic Gmbh Kapazitiver Drucksensor
US9297826B2 (en) * 2013-03-08 2016-03-29 Freescale Semiconductor Inc. System and method for monitoring an accelerometer
JP5825294B2 (ja) * 2013-05-08 2015-12-02 トヨタ自動車株式会社 燃料性状センサの異常判定装置
CN103712642B (zh) * 2013-12-20 2016-08-17 大唐微电子技术有限公司 一种实现安全检测器自我检测的方法及装置
DE112014006428T5 (de) * 2014-02-27 2016-12-08 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Kapazitive Vorrichtung zur Erfassung einer physikalischen Eigenschaft
JP6228865B2 (ja) * 2014-03-06 2017-11-08 アルプス電気株式会社 センサ装置の検査方法及びそのセンサ装置
JP6500522B2 (ja) * 2015-03-16 2019-04-17 セイコーエプソン株式会社 回路装置、物理量検出装置、電子機器及び移動体
US10036674B2 (en) * 2016-03-21 2018-07-31 Honda Motor Co., Ltd. Capacitance measuring device and capacitance measurement method for dielectric elastomer
JP2019215269A (ja) * 2018-06-13 2019-12-19 セイコーエプソン株式会社 物理量センサー、複合センサー、慣性計測ユニット、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器、移動体、走行支援システム、および表示装置
US10803968B2 (en) * 2019-03-05 2020-10-13 Texas Instruments Incorporated Methods and apparatus to control switching of a sampling circuit
JP7293953B2 (ja) * 2019-07-31 2023-06-20 株式会社アイシン 車両用操作検出装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1180934A (zh) * 1996-07-31 1998-05-06 Sgs-汤姆森微电子有限公司 半导体集成电容性加速度传感器及其制造方法
US6450029B1 (en) * 1999-09-27 2002-09-17 Denso Corporation Capacitive physical quantity detection device
US6848310B2 (en) * 2002-07-26 2005-02-01 Denso Corporation Capacitive dynamic quantity sensor, method for manufacturing capacitive dynamic quantity sensor, and detector including capacitive dynamic quantity sensor
US6935176B2 (en) * 2003-05-13 2005-08-30 Denso Corporation Capacitive dynamic quantity sensor device

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69113632T2 (de) * 1990-08-17 1996-03-21 Analog Devices Inc Monolithischer beschleunigungsmesser.
JPH0552174A (ja) 1991-08-23 1993-03-02 Nippondenso Co Ltd 制御装置のバツクアツプ判定装置
JPH06213059A (ja) 1993-01-14 1994-08-02 Toyota Motor Corp アイドルセンサ故障判定装置
JP2550903B2 (ja) 1993-12-24 1996-11-06 日本電気株式会社 回転系動作制御装置
US5583290A (en) * 1994-12-20 1996-12-10 Analog Devices, Inc. Micromechanical apparatus with limited actuation bandwidth
JP3216455B2 (ja) * 1994-12-22 2001-10-09 株式会社村田製作所 容量型静電サーボ加速度センサ
JP3125675B2 (ja) * 1996-03-29 2001-01-22 三菱電機株式会社 容量型センサインターフェース回路
JPH1090299A (ja) * 1996-09-12 1998-04-10 Mitsubishi Electric Corp 静電容量式加速度センサ
JP3262013B2 (ja) * 1997-02-24 2002-03-04 三菱電機株式会社 容量型センサインターフェース回路
JPH1146011A (ja) 1997-07-28 1999-02-16 Sanyo Electric Co Ltd 受光位置検出回路
JP4178658B2 (ja) * 1998-06-30 2008-11-12 株式会社デンソー 容量式物理量検出装置
JP2001099861A (ja) 1999-09-30 2001-04-13 Denso Corp 容量式物理量検出装置
JP2001091535A (ja) * 1999-09-27 2001-04-06 Denso Corp 容量式物理量検出装置
JP2002040047A (ja) * 2000-07-25 2002-02-06 Denso Corp 容量型物理量検出センサ
JP2002311045A (ja) * 2001-04-16 2002-10-23 Mitsubishi Electric Corp 加速度センサ
JP2002341838A (ja) 2001-05-18 2002-11-29 Sharp Corp バックライトを有する表示装置の制御システムおよび制御方法
JP3861652B2 (ja) * 2001-10-16 2006-12-20 株式会社デンソー 容量式物理量センサ
JP4166528B2 (ja) * 2002-08-07 2008-10-15 株式会社デンソー 容量式力学量センサ
JP4194085B2 (ja) * 2003-03-18 2008-12-10 フィガロ技研株式会社 プロトン導電体ガスセンサの自己診断方法とガス検出装置
JP4207154B2 (ja) * 2003-07-25 2009-01-14 株式会社デンソー スティッキング検査機能を有する静電容量式センサ装置及び検査方法並びにエアバッグシステム
US7287429B2 (en) * 2004-03-25 2007-10-30 Denso Corporation Capacitive acceleration sensor system
JP2006084400A (ja) * 2004-09-17 2006-03-30 Denso Corp 容量式物理量検出装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1180934A (zh) * 1996-07-31 1998-05-06 Sgs-汤姆森微电子有限公司 半导体集成电容性加速度传感器及其制造方法
US6450029B1 (en) * 1999-09-27 2002-09-17 Denso Corporation Capacitive physical quantity detection device
US6848310B2 (en) * 2002-07-26 2005-02-01 Denso Corporation Capacitive dynamic quantity sensor, method for manufacturing capacitive dynamic quantity sensor, and detector including capacitive dynamic quantity sensor
US6935176B2 (en) * 2003-05-13 2005-08-30 Denso Corporation Capacitive dynamic quantity sensor device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105637577A (zh) * 2013-10-21 2016-06-01 高通Mems科技公司 闭合回路动态电容测量
CN105637577B (zh) * 2013-10-21 2018-02-16 追踪有限公司 闭合回路动态电容测量

Also Published As

Publication number Publication date
KR20070056966A (ko) 2007-06-04
US20070126432A1 (en) 2007-06-07
DE102006055844A1 (de) 2007-06-06
US7432724B2 (en) 2008-10-07
DE102006055844B4 (de) 2009-08-06
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