CN1933006B - 薄膜磁头的静止姿态角修正方法及装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种仅通过对挠性体赋予较小的弯曲位移就能够自动地执行确保较大的静止姿态角的变化量的操作的磁头的静止姿态角修正方法及装置。将与薄膜磁头(2)的静止姿态角的值对应的修正条件赋予等级、预先存储在计算机系统(94)的存储部(942)中。通过测量装置(93)测量薄膜磁头(2)的静止姿态角。将该测量值供给到计算机系统(94)，根据对应于测量值的修正条件，通过修正装置(92)对挠性体(12)施加用来进行静止姿态角修正的弯曲。接着，对挠性体(12)的产生弯曲的区域照射激光。

Description

薄膜磁头的静止姿态角修正方法及装置
技术领域
本发明涉及薄膜磁头的静止姿态角修正方法及装置。
背景技术
在浮起型磁头装置中，为了实现高密度记录再生，高精度地保持由头支撑装置支撑的磁头的静止姿态角是基本的要求事项。在磁头装置的静止姿态角中包含俯仰角和滚动角。
但是，磁头装置由于是通过粘接剂将磁头粘接在头支撑装置(吊架)的一端上的构造，所以因该粘接构造，有时会发生静止姿态角从规定的角度偏离的情况。
磁头装置是将经过复杂的过程制造的昂贵的磁头以高精度安装在昂贵的磁头支撑装置上而构成的，在磁头装置的阶段中，不允许使静止姿态角不在规定的角度内而作为不合格品处理。
作为用来修正静止姿态角偏离的修正机构，已知有通过使用推压夹具的机械推压的修正机构。在该使用推压夹具的静止姿态角修正方法中，通过以安装在承载梁的自由端侧的挠性体的轴线上的1点为支点推压另1点，使挠性体弯曲，由此来修正磁头的静止姿态角。
但是，即使通过机械推压对挠性体施加了较大的弯曲位移，也由于挠性体所具有的复原力使弯曲复原。这意味着必须以比施加规定的静止姿态角的弯曲位移大很多的弯曲位移来使挠性体弯曲。
如果对挠性体施加较大的弯曲位移，则有可能在从承载梁对挠性体施加负荷的突起部(凹坑)和挠性体之间产生间隙，而发生所谓的凹坑浮起。如果发生了凹坑浮起，则不能从承载梁对挠性体施加负荷，不能确保规定的磁头浮起特性。
作为解决上述问题点的手段，特许文献1、2公开了通过对挠性体或承载梁施加用来进行静止姿态角修正的弯曲、对弯曲区域照射激光、将应力释放、而以接近于被施加的弯曲角度的角度弯曲的技术。
的确，根据该现有技术，对于头(ヘツド)支撑装置，能够得到仅通过以较小的弯曲角度来弯曲，就能够确保较大的静止姿态角变化量的优良的效果。
【特许文献1】特开2001-357644号公报
【特许文献2】特开2001-357645号公报
发明内容
本发明的课题是对上述现有技术进一步加以改良，提供一种仅通过对挠性体赋予较小的弯曲位移就能够自动地执行确保较大的静止姿态角的变化量的操作的磁头的静止姿态角修正方法及装置。
为了解决上述课题，在有关本发明的静止姿态角修正方法中，在修正安装在头臂(ヘツドア一ム)组装体的挠性体上的薄膜磁头的静止姿态角时，将与上述薄膜磁头的静止姿态角的值对应的修正条件赋予等级来预先存储。接着，测量上述薄膜磁头的静止姿态角，根据对应于该测量值的上述修正条件，对上述挠性体施加用来进行静止姿态角修正的弯曲，对上述挠性体的产生了弯曲的区域照射激光。
在对挠性体施加用来进行静止姿态角修正的弯曲时，在挠性体中产生对应于弯曲的应力。在本发明中，对挠性体的产生了弯曲的区域照射激光。由此，被照射了激光的产生了弯曲的区域中的应力在伴随着激光的照射的热的作用下被释放。因此，在该受到激光照射的区域中，挠性体的复原量变小，以接近于被施加的弯曲角度的角度弯曲。这意味着即使对挠性体施加的弯曲变化量较小、也能够对挠性体赋予较大的弯曲角度。由此，仅通过以较小的弯曲角度弯曲挠性体，就能够确保较大的静止姿态角变化量。
上述的基本步骤已经在前面举出的特许文献1、2中公开。本发明的特征是包含了用来自动地执行该基本步骤的步骤。即，将与薄膜磁头的静止姿态角的值对应的修正条件赋予等级、预先存储。接着，测量上述薄膜磁头的静止姿态角，根据对应于该测量值的上述修正条件，对上述挠性体施加用来进行静止姿态角修正的弯曲，对上述挠性体的产生弯曲的区域照射激光。
根据该追加的步骤，能够构建以CPU(计算机)为中心的磁头静止姿态角修正系统，自动地、再现性良好地修正薄膜磁头的静止姿态角。
上述磁头的静止姿态角修正方法具体而言，是通过本发明所公开的磁头静止姿态角修正装置来实施的。该磁头静止姿态角修正装置具有修正装置、激光振荡装置、测量装置和计算机系统。
上述修正装置是对上述挠性体施加弯曲的装置，上述激光振荡装置是对弯曲区域照射激光的装置。上述测量装置测量上述薄膜磁头的静止姿态角。
上述计算机系统具有计算机(CPU)、和将与上述薄膜磁头的静止姿态角的值对应的修正条件赋予等级来预先存储的存储部，上述CPU从上述存储部读出与由上述测量装置供给的测量值对应的上述修正条件，将被读出的修正条件供给到上述修正装置中。上述修正装置根据从上述计算机系统供给的修正条件，对上述挠性体施加弯曲。
根据上述磁头静止姿态角修正装置可知，能够构建以CPU为中心的磁头静止姿态角修正系统，且自动地、再现性良好地修正薄膜磁头的静止姿态角。
具体而言，上述修正装置可以具有能够将前端推压在上述挠性体的表面上的多个可动性修正销。在此情况下，上述修正条件可以包括上述修正销对上述挠性体的抵接位置、上述修正销的压入量、和激光照射位置的条件。在上述修正条件中还可以包括激光的照射时间。
优选的是，上述修正销相对于上述挠性体的表面以规定的角度配置。根据这样的结构，即使对于小型化的薄膜磁头及挠性体，也能够避免所设置的多个修正销的相互接触、重叠等的相互干涉。
上述静止姿态角测量装置除了使用CCD照相机以外，还可以使用激光自动准直仪。从测量值的定量化的观点出发，激光自动准直仪是优选的。
发明效果
如以所述，根据本发明，能够提供仅通过对挠性体赋予较小的弯曲位移，就能够自动地执行确保较大的静止姿态角的变化量的操作的磁头的静止姿态角修正方法及装置。
对于本发明的其他目的、结构及效果，参照作为实施方式的附图来详细地说明。
附图说明
图1是表示在有关本发明的静止姿态角修正方法的实施中直接被使用的静止姿态角装置的结构的图。
图2是适用于有关本发明的静止姿态角修正方法的磁头装置的仰视图。
图3是表示修正装置的例子的图。
图4是有关本发明的静止姿态角修正方法的流程图。
图5是对与薄膜磁头的静止姿态角的值相对应的修正条件的附加等级表示其概念的图表。
图6是表示由图3所示的静止姿态角修正装置所进行的俯仰角修正方法的图。
图7是表示图3所示的由静止姿态角修正装置所进行的俯仰角修正方法的另一例的图。
图8是表示由静止姿态角修正装置所进行的滚动角修正方法的图。
图9是表示由图3所示的静止姿态角修正装置所进行的滚动角修正方法的另一例的图。
图10是表示对挠性体的激光照射位置的图。
图11是表示有关本发明的静止姿态角修正装置的具体的构造的正视图。
图12是图11所示的静止姿态角修正装置的侧视图。
符号说明
2   薄膜磁头
12  挠性体
91  激光振荡装置
92  修正装置
93  测量装置
94  计算机系统
具体实施方式
图1是表示在有关本发明的静止姿态角修正方法的实施中，直接被使用的静止姿态角装置的结构的图，图2是应用了有关本发明的静止姿态角修正方法的磁头装置的俯视图。图示的静止姿态角修正装置具有激光振荡装置91、修正装置92、测量装置93、计算机系统94，修正包含在磁头装置95中的薄膜磁头2的静止姿态角。
磁头装置95具有头支撑装置1和磁头2。头支撑装置1具有承载梁11和挠性体12。承载梁11在通过中央的长度方向轴线L的自由端附近具有突起部111。图示的承载梁11在宽度方向的两侧具有弯折部118(参照图1)，通过该弯折部118使刚性增加。
挠性体12由较薄的弹簧板材构成，一个面安装在承载梁11的具有突起部111一侧的面上，从突起部111承受推压负荷。在挠性体12的另一个面上安装有磁头2。挠性体12在连接点13处通过点焊等手段贴合在承载梁11的具有突起部111一侧上。也可以利用铆接等手段来代替点焊。挠性体12在中央具有舌状部120。舌状部120的一端结合在挠性体12的横框部121上。挠性体12的横框部121的两端与外框部123、124连接。在外框部123、124与舌状部120之间，在舌状部120的周围形成有槽122。在舌状部120的一个面上通过粘接剂等安装有磁头2，突起部111的前端接触弹簧。
例如在工件随行夹具971等上隔开间隔而配置有多个磁头装置95，磁头装置(工件)95及随行夹具971装载在输送夹具973之上，通过推压夹具972推压在输送夹具973之上。
图1所图示的静止姿态角修正装置用来修正上述磁头装置的薄膜磁头2的静止姿态角。在静止姿态角中包含俯仰角及滚动角。俯仰角是与在承载梁11的长度方向轴线L(参照图2)的方向上取的基准线交叉的角度，滚动角是在长度方向轴线L的周围取的角度。静止姿态角受磁头2在头支撑装置1上的组装状态、头支撑装置1的弯曲等的影响而产生各种变化。根据有关本发明的静止姿态角修正方法及修正装置，能够将静止姿态角正确地设定为所要求的值。
激光振荡装置91对挠性体12的两侧以及将挠性体12连接在承载梁11的接合点13和磁头2之间出现的挠性体12的区域照射激光LA。激光振荡装置91可以使用包括YAG激光的各种激光。图示的激光振荡装置91具有激光振荡部911和激光头912。激光头912在挠性体12上朝向被弯曲的部分。
修正装置92对挠性体12施加用来进行静止姿态角修正的弯曲。图3是表示修正装置92的例子的图。在该实施例中，修正装置92具有4个修正销922～925和4个驱动部932～935。修正销922～925都是通过驱动部932～935被直线移动的可动销，前端部被配置在能够与挠性体12的外框部123、124接触的位置上。修正销922、924被配置在挠性体12的一面侧(安装有磁头2的那一面)，修正销923、925配置在挠性体12的另一面侧。在图示中，修正销922与修正销923对置、修正销924与修正销925相对配置，但也可以不相对配置。即也可以配置在相互不同的位置上。
在图示实施例中，修正销922～925相对于挠性体12的面被倾斜地配置。如果是该配置，则即使对于平面面积很小的薄膜磁头2及挠性体12，也能够避免支撑相邻的修正销922、924的驱动装置932、934在相对配置的端部上发生相撞等的干涉。在支撑相邻的修正销923、925的驱动装置933、935的相互间也一样。
测量装置93检测薄膜磁头2的静止倾斜角。测量装置93朝向磁头2的例如空气轴承面(以下称作ABS面)。由测量装置93得到的检测信号被供给到计算机系统94中。图示的测量装置93具有信号处理部930、检测部931。检测部931具有例如CCD、激光自动准直仪等角度检测机构。
计算机系统94具有CPU941、和将对应于薄膜磁头2的静止姿态角的值的修正条件赋予等级来预先存储的存储部(例如ROM)942。CPU941从存储部942读出与从测量装置93供给的测量值相对应的修正条件，将读出的修正条件供给到修正装置92中。修正装置92根据从计算机系统94供给的修正条件，对挠性体12施加弯曲。计算机系统94是具有CPU及存储器装置的程序执行装置，除了个人电脑及微型计算机以外，例如也可以是具有称作定序器(sequencer)的部件等的装置。
接着，与前面所述的图、特别是图1一起，参照图4对有关本发明的静止姿态角修正方法进行说明。图4是有关本发明的静止姿态角修正方法的流程图。
首先，通过经过工件随行夹具971的设置、运转开始、工件随行夹具送入、工件固定等的准备阶段，如图1所图示那样，磁头装置95及工件随行夹具971被装载在输送夹具973之上，受推压夹具972推压。
在此状态下，通过测量装置93检测薄膜磁头2的静止倾斜角。静止倾斜角是从由激光自动准直仪等构成的检测部931对薄膜磁头2的ABS面照射激光、捕捉其反射光来测量的。
由测量装置93的检测部931得到的检测信号经由信号处理部930被供给到计算机系统94中。计算机系统94的CPU941从存储部942读出与从测量装置93供给的测量值相对应的修正条件，将读出的修正条件供给到修正装置92中。在修正装置92中，根据从计算机系统94供给的修正条件，对修正销922～925赋予修正移动动作，由此对挠性体12施加弯曲。修正条件包括修正销922～925相对于挠性体12的抵接位置、修正销922～925的压入量、和激光照射位置的条件。进而，修正条件还可以包括激光LA的照射时间。
通过计算机系统94进行的修正条件的设定、以及修正销的移动控制构成了本发明的特征部分。接着对这一点进行说明。
如已经叙述那样，在静止姿态角中包含有俯仰角及滚动角，静止姿态角受薄膜磁头2相对于头支撑装置1的组装状态、头支撑装置1的弯曲等的影响而产生各种各样地变化。并且，俯仰角及滚动角以水平位置为基准值0而取正及负的值。因而，俯仰角及滚动角必须设定为正或负的规定值。
作为其手段，在本发明中，将对应于薄膜磁头的静止姿态角的值的修正条件赋予等级，来将其预先存储在存储部942中。图5是表示其概念的图表，在纵轴中，将对应于俯仰角的测量值的修正条件赋予等级为正侧等级(m1～m9)及负侧等级(-m1～-m9)。此外，在横轴中，将对应于滚动角的测量值的修正条件赋予等级为正侧等级(n1～n9)及负侧等级(-n1～-n9)。它们预先存储在存储部942中。可是，等级数是任意的。并且，在从测量装置93供给静止倾斜角的信号时，通过CPU941从存储部942读出对应于被供给的测量值的修正条件，将读出的修正条件供给到修正装置92中。
例如，在图5所示的情况下，对应于滚动角的测量值的修正条件是正侧等级(n2)，对应于俯仰角的测量值的修正条件是负侧等级(-m4)，将它们从存储部942读出。
修正装置92根据从计算机系统94供给的修正条件，对支撑薄膜磁头2的挠性体12施加弯曲。此时施加的弯曲，对于滚动角，是使正侧等级(n2)在图5的图表上返回到原点OK的方向，对于俯仰角，是使负侧等级(-m4)返回到原点OK的方向。将这样的修正条件从计算机系统94供给到修正装置92中，在修正装置92中执行修正销的移动控制。
接着，对使用修正销的静止姿态角修正方法进行具体地说明。图6、图7是表示图3所示的由修正装置进行的的俯仰角修正方法的图。首先，如图6所示，使修正销923、925向方向P1直线地移动，通过其前端推压挠性体12的外框部123、124，能够修正俯仰角。将此情况下的俯仰角的修正方向P1设为正方向。
图7表示将俯仰角向负方向P2修正的情况，使修正销922、924向方向P2直线地移动，通过其前端推压挠性体12的外框部123、124。由此，能够将俯仰角向负方向P2修正。
图8、图9是表示通过图3所示的修正装置92进行的滚动角修正方法的图。首先，如图8所示，使修正销923向方向P1直线移动，通过其前端推压挠性体12的外框部123，同时使修正销924向方向P2直线地移动，通过其前端推压挠性体12的外框部124。由此，能够将滚动角向方向R1修正。将此情况下的滚动角的修正方向R1设为正方向。
图9表示将滚动角向负方向R2修正的情况，使修正销922向方向P2直线地移动，通过其前端推压挠性体12的外框部123，同时使修正销925向方向P1直线地移动，通过其前端推压挠性体12的外框部124。由此，能够将滚动角向负方向R2修正。
在图6～图9所示的俯仰角及滚动角的修正过程中，激光振荡装置91对挠性体12的表面照射激光LA。激光LA如图10所示，被照射在挠性体12的发生了弯曲的区域6上。激光LA的照射不是以一点，而是以某一长度并隔开间隔地对多个点(例如10点)执行的。激光LA也可以照射挠性体12的背面。
在通过图6～图9所图示说明的操作对挠性体12施加机械弯曲的情况下，在挠性体12中产生对应于弯曲的应力。在本发明中，由于对挠性体12的产生了弯曲的区域6照射激光LA，所以被照射激光LA的区域6中的应力在伴随着激光LA的照射的热的作用下被释放。因此，在该受到了激光LA的照射的区域6中，挠性体12的复原量变小，以接近于被施加的弯曲角度的角度弯曲。这意味着即使对挠性体12施加的弯曲变化量较小，也能够对挠性体12施加较大的弯曲角度。在挠性体12的受照射的区域6由不锈钢构成的情况下，优选地使其表面温度在例如喷吹N2的状态下成为300～400℃而进行激光照射。
受激光LA的照射的挠性体12的区域6是挠性体12与承载梁11的连接点13、以及在磁头2之间出现的部分。在该部分挠性体12被弯曲。因此，挠性体12的弯曲角度原样被反映为磁头2的俯仰角。由此，能够以挠性体12的较小的弯曲角度确保较大的俯仰角变化量。根据上述静止姿态角修正装置，构建了以CPU941为中心的静止姿态角修正系统，能够自动、可靠地修正薄膜磁头的静止姿态角。
如上述那样，在将薄膜磁头2的静止姿态角修正后，再次通过测量装置93检测薄膜磁头2的静止倾斜角，由计算机系统94的CPU941判断检测到的静止倾斜角是否在允许的角度范围内(图5的原点OK)。在判断的结果为检测出的静止倾斜角不在允许的角度范围内时，计算机系统94的CPU941再次对修正装置92供给修正条件。修正装置92根据从计算机系统94供给的修正条件，对修正销922～925赋予修正移动动作，由此对挠性体12施加弯曲。接着，通过激光振荡装置91对挠性体12的弯曲部分照射激光LA。
重复上述的静止姿态角的检测、修正销移动、激光照射的各过程，直到滚动角及俯仰角的修正条件达到图5的原点OK。并且，在判断检测出的静止倾斜角在允许的角度范围内(图5的原点OK)时，修正结束，转移到下个工件(磁头装置95)的处理，对该工件执行上述的过程。在准备的所有工件的处理结束后，将工件随行夹具排出，结束运转，将工件随行夹具取出。
图11是表示有关本发明的静止姿态角修正装置的具体的构造的正视图，图12是图11所示的静止姿态角修正装置的侧视图。这些图仅提取了机械的部分表示的图。在图中，对于与前面所示的附图中出现的结构部分对应的部分赋予相同的参照标号。
激光振荡装置91以正交3轴X、Y、Z观察，具备能够向X轴(横方向)及Y轴(进深方向)的2轴方向移动的XY工作台913，在该XY工作台913之上装载有激光头912。激光头912从下向上照射激光。激光振荡部911(参照图11)设置在任意的部位上。
修正装置92具有4个修正销922～925、和4个驱动部932～935。修正销922～925都倾斜地被配置，保持倾斜的状态，受驱动部932～935的作用向Y轴及Z轴的方向被驱动。
测量装置93由激光自动准直仪构成，配置在与激光振荡装置91相反侧，配置为，能够向X轴、Y轴、Z轴、绕X轴θX、以及绕Y轴θY的各方向移动，由此能够进行位置调节。
作为工件的磁头装置95受工件随行夹具971、推压夹具972及输送夹具973支撑，薄膜磁头2被送入到受修正销922～925推压的位置、受激光振荡装置91的激光照射的位置、以及由测量装置93测量静止姿态角的位置。
根据图11及图12所示的静止姿态角修正装置，能够自动、有效地执行参照图1～图10说明的静止姿态角修正。
以上参照优选的实施例具体地说明了本发明的内容，但只要是本领域的技术人员，能够根据本发明的基本技术思想及指导，而取得各种变形的实施方式。例如修正装置并不限于销型，也可以是夹着挠性体将其弯曲的形式。

Claims (4)

1.一种静止姿态角修正系统，具有修正装置、激光振荡装置、测量装置和计算机系统，该修正系统修正安装在头支撑装置上的薄膜磁头的静止姿态角，该静止姿态角包含俯仰角和滚动角，其特征在于，
上述头支撑装置包含承载梁和挠性体；
上述承载梁在长度方向的自由端附近具有突起部；
上述挠性体由薄弹簧板材构成，其一个面受到来自上述突起部的推压负荷，另一个面上安装有上述磁头；
上述挠性体还在中央具有舌状部，上述舌状部的一端与上述挠性体的横框部结合，上述横框部的两端与外框部连接，上述外框部与上述舌状部之间形成槽，上述舌状部上安装有上述磁头；
上述修正装置是对上述挠性体施加弯曲的装置；
上述激光振荡装置是对弯曲区域照射激光的装置；
上述测量装置是测量上述薄膜磁头的静止姿态角的装置；
上述计算机系统具有CPU、和对与上述薄膜磁头的静止姿态角的值对应的修正条件赋予等级、预先存储的存储部，上述CPU从上述存储部读出与由上述测量装置供给的测量值对应的上述修正条件，将读出的修正条件供给至上述修正装置；
上述修正装置根据从上述计算机系统供给的修正条件对上述挠性体施加弯曲，并含有4个可动销；
上述4个可动销各自的前端部被配置在能够接触上述挠性体的上述外框部的位置上，并且，伴随上述前端部接近上述挠性体，而接近上述薄膜磁头地倾斜；
上述4个可动销中的2个可动销被配置在上述挠性体的第1面上，另外2个可动销被配置在上述挠性体的第2面上；
以原点为基准，将上述俯仰角的测量值的修正条件按正侧及负侧赋予等级，并且，以上述原点为基准，将上述滚动角的测量值的修正条件按正侧及负侧赋予等级；
上述修正装置有选择地控制上述可动销的动作，以使作为有关上述俯仰角以及上述滚动角的修正条件所供给的各等级返回到上述原点。
2.如权利要求1所述的静止姿态角修正系统，其特征在于，
上述修正条件包括上述修正销对上述挠性体的抵接位置、上述修正销的压入量、和激光照射位置的条件。
3.如权利要求1或2所述的静止姿态角修正系统，其特征在于，上述修正条件包括激光的照射时间。
4.如权利要求1或2所述的静止姿态角修正系统，其特征在于，上述测量装置是激光自动准直仪。
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