CN1814523B - 传送用轴、辊刷轴及基板处理装置 - Google Patents

传送用轴、辊刷轴及基板处理装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种即使加长弯曲量也小的、用于传送基板的传送用轴。本发明的传送用轴，用于传送利用处理液进行处理的基板，该传送用轴包括：轴部(12)，具有由碳纤维形成的芯部件(13)和由对上述处理液有抗腐蚀性的合成树脂形成、包覆芯部件的外周面的外皮部件(14)；以及支承辊(6)，以预定间隔设置在该轴部的轴方向上，支承上述基板。

Description

传送用轴、辊刷轴及基板处理装置
技术领域
本发明涉及用于传送例如大型尺寸的液晶显示面板等基板的传送用轴、用于清洗上述基板的辊刷轴、以及使用上述传送用轴和辊刷轴的基板处理装置。
背景技术
在使用于液晶显示面板的玻璃制基板上形成电路图案。采用光刻工艺在基板上形成电路图案。众所周知，光刻工艺是在上述基板上涂敷抗蚀剂膜，隔着形成了电路图案的掩膜对该抗蚀剂膜照射光。
接着，除去抗蚀剂膜未被光照射的部分或被光照射的部分，对除去了抗蚀剂膜的部分进行蚀刻。并且，重复多次进行蚀刻后从基板上除去抗蚀剂膜的一系列工序，在上述基板上形成电路图案。
在这种光刻工艺中，上述基板需要如下工序：利用显影液、蚀刻液、或者蚀刻后除去抗蚀剂膜的剥离液等处理液来处理基板的工序；和在利用处理液进行处理之后，利用清洗液进行清洗的工序。
在清洗基板的清洗工序中，例如清洗除去基板上附着的处理液的情况下，通过利用淋浴喷嘴向在处理槽内传送的基板喷射清洗液，而从基板上清洗除去处理液。
但是，在颗粒等污物牢固地附着在基板上的情况下，只向基板喷射清洗液不能确实地清洗除去污物。而且，在这种情况下，一边向在处理槽内传送的基板供给清洗液，一边用辊刷轴对该基板的板面进行擦拭清洗。
但是，最近液晶显示面板有大型化的趋势，与此相伴，基板和处理基板的处理装置也越来越大型化。例如，作为基板采用2m方形或者尺寸比这大的基板，为了处理这样大型的基板，用于传送组装在处理装置上的基板的传送用轴和用于清洗基板的辊刷轴长度也会成为大于等于2m的长度。
以往，上述传送用轴和辊刷轴由金属材料、例如不锈钢来形成，上述金属材料对清洗时所使用的臭氧水、氟酸过氧化氢等处理液、或者从前面工序带入的显影液或蚀刻液等具有抗腐蚀性。
但是，如果用不锈钢形成长度大于等于2m的传送用轴和辊刷轴，由于它的自重和杨氏模量之间的关系，上述各轴的弯曲量增大。因此，利用传送用轴传送的基板也会弯曲，有时不能顺滑且确实地进行该传送。
此外，如果辊刷轴发生弯曲，安装在该轴部的辊刷在与基板板面的传送方向交叉的宽度方向上接触不均匀，有时在基板上产生清洗不均匀。
为了在传送用轴中不发生弯曲，利用设置在支架上的轴承来可旋转地支承该传送用轴的中央部。但是，如果利用轴承来支承传送用轴，从旋转的轴承中产生灰尘，该灰尘成为污染基板的原因，因此不理想。
在辊刷轴的轴部的外周面上，整个全长上而设有辊刷。因此，不能由轴承来对轴部的中央部进行支承，以不在轴部中发生弯曲，所以在加长的情况下防止发生弯曲较困难。
发明内容
本发明提供一种即使加长也不易发生弯曲的传送用轴、辊刷轴以及利用这些轴的基板处理装置。
本发明的传送用轴，用于传送利用处理液进行处理的基板，其特征在于，该传送用轴包括：轴部，具有由碳纤维形成的芯部件和由对上述处理液有抗腐蚀性的材料形成、包覆上述芯部件的外周面的包覆部件；支承辊，以预定间隔设置在该轴部的轴方向上，支承上述基板；支轴，设在上述轴部的两端部，形成有通气孔，该通气孔与上述芯部件的外周面和上述包覆部件的内周面之间的空间部相连通。
本发明的辊刷轴，用于清洗基板，其特征在于，该辊刷轴包括：轴部，具有由碳纤维形成的芯部件、和由对上述处理液有抗腐蚀性的材料形成并包覆上述芯部件的外周面的包覆部件；辊刷，设置在该轴部的包覆部件的外周面上；以及支轴，设在上述轴部的两端部，形成有通气孔，该通气孔与上述芯部件的外周面和上述包覆部件的内周面之间的空间部相连通。
发明效果
根据本发明，由于传送用轴和辊刷用的轴用碳纤维形成，与用不锈钢制成的轴比较杨氏模量提高，能够实现轻量化，因此，即使这些轴尺寸变大，也能够减少弯曲。
附图说明
图1是设置有表示本发明的第一实施方式的传送用轴和辊刷轴的处理装置的概略结构图；
图2是传送用轴局部截断的正视图；
图3是辊刷轴局部截断的正视图；
图4是用金属管取代合成树脂来包覆芯部件的传送用轴和辊刷轴的轴部的局部截断的正视图；
图5是在由不锈钢制成的金属管中安装芯部件的情况下，测定该金属管管厚与轴部的弯曲量之间的关系的曲线；
图6是表示本发明的第二实施方式的传送用轴和辊刷轴的轴部的局部放大截面图；
图7是表示本发明的第三实施方式的传送用轴和辊刷轴的轴部的局部放大截面图。
具体实施方式
下面，参照附图说明本发明的实施方式。
图1至图5表示本发明的第一实施方式。图1表示作为处理装置的基板清洗装置，该清洗装置具有腔1。在该腔1的一端形成有送入口2，在另一端以与上述送入口2相同的高度形成有送出口3。
在上述腔1内设置有传送机构4，该传送机构4将从上述送入口2供给到腔1内的液晶显示面板等的基板W从上述送入口2向送出口3传送.该传送机构4具有在上述腔1内以预定间隔设置的多个传送用轴5.
在上述各传送用轴5上，如图2所示地沿轴方向以预定间隔设置有多个支承辊6，并构成为通过未图示的驱动机构旋转驱动。因此，上述基板W的下表面由上述支承辊6支承并传送。
在上述腔1内的中央部，在基板W的传送方向上以预定间隔设置有上下一对两组辊刷轴7，该辊刷轴7用于清洗通过上述传送用轴5传送的基板W的上下表面。如图3所示，辊刷轴7具有后述结构的轴部18和装配在上述轴部18的外周面的辊刷19。
如图1所示，在各组的上侧辊刷轴7的辊刷19和被传送的基板W上面的各组辊刷轴7之间部分，分别通过喷嘴体11供给清洗液作为清洗处理基板W的处理液。
上述传送用轴5如图2所示地具有轴部12。该轴部12由圆筒状芯部件13和作为包覆部件的外皮部件14形成，上述外皮部件14以1～2mm的厚度包覆该芯部件13的外周面。上述芯部件13是利用合成树脂、金属、陶瓷或碳等模具(matrix)，将高强度弹性碳纤维成型为圆筒状而构成。
将对腔1内所使用的臭氧水、氟酸过氧化氢、或从前面工序带来的显影液和蚀刻液等处理液具有抗腐蚀性的树脂，例如PVC(聚氯乙烯)、PTFE(聚四氟乙烯)、PVDF(聚偏氟乙烯)、CTFE(三氟氯乙烯)或聚烯烃等，以预定厚度包覆在上述芯部件13的表面而形成上述外皮部件14。
作为将上述外皮部件14包覆在芯部件13的外周面的方法，有如下的方法：熔融树脂吹送到芯部件13的外周面的方法；或将树脂形成为内径尺寸与上述芯部件13的外径尺寸大致相同的筒状，安装在上述芯部件13的外周面的方法等，用哪个方法设置均可。
在上述外皮部件14的外周面上，沿轴方向以预定间隔安装有由与上述外皮部件14同样对处理液具有抗腐蚀性的树脂来形成的上述支承辊6。而且，在轴部12的长度方向两端一体地设置有支轴16。
各支轴16从上述腔1的宽度方向的两侧壁向外部液密地突出，被未图示的轴承可旋转地支承，通过未图示的驱动源旋转驱动。
如图3所示，上述辊刷轴7具有上述轴部18。该轴部18与上述传送用轴5的轴部12同样，由圆筒状芯部件21和作为包覆部件的外皮部件22形成，上述外皮部件22以1～2mm的厚度来包覆该芯部件21的外周面。
上述芯部件21是利用合成树脂、金属、陶瓷或碳等模具，将高强度弹性碳纤维成型为圆筒状而构成。上述外皮部件22与上述传送用轴5的轴部12同样，将对臭氧水、氟酸过氧化氢、或从前面工序带来的显影液、蚀刻液等处理液具有抗腐蚀性的树脂，例如PVC(聚氯乙烯)、PTFE(聚四氟乙烯)、PVDF(聚偏氟乙烯)、CTFE(聚三氟氯乙烯)或聚烯烃等，以预定厚度包覆在上述芯部件21的表面形成。
作为将上述外皮部件22包覆在芯部件21的外周面的方法，有如下的方法：熔融树脂吹送到芯部件21的外周面的方法；或将树脂形成为内径尺寸与上述芯部件21的外径尺寸大致相同的筒状，安装在上述芯部件21的外周面的方法等，用哪个方法设置均可。
在上述轴部18的外周面上安装有上述辊刷19。上述辊刷19具有保持件23和保持在上述保持件23上的刷毛24，上述保持件23由对处理液有抗腐蚀性的不锈钢等金属形成为截面形状是U字形，上述保持件23螺旋状地卷绕在上述轴部18的外周面上。
在上述轴部18的两端一体地设置有支轴25。各支轴25从上述腔1的宽度方向的两侧壁向外部液密地突出，通过未图示的轴承可旋转地被支承，通过未图示的驱动源被旋转驱动。
根据这种结构的处理装置，用由高强度高弹性碳纤维形成的芯部件13和包覆上述芯部件13外周面的外皮部件14来形成用于传送基板W的传送用轴5的轴部12。
碳纤维的杨氏模量比不锈钢高，而且十分轻。因此，即使伴随着基板W的大型化传送用轴5加长，在该传送用轴5的轴部12也几乎不发生弯曲，能够在与传送方向交叉的宽度方向上不弯曲基板而进行传送。若能够使基板W不发生弯曲进行传送，就可以防止使该基板W蛇行和损伤。
通过传送用轴5传送的基板W，利用设置在腔1内的传送途中的各一对两组辊刷轴7的辊刷19来擦拭清洗上下表面。
辊刷轴7的轴部18与传送用轴5的轴部12同样，由杨氏模量比不锈钢高、而且十分轻的碳纤维形成。
因此，即使由于基板W大型化而辊刷轴7的轴部18加长，该轴部18几乎不会发生弯曲。而且，由于能够用传送用轴5不弯曲地传送基板W，利用上述辊刷轴7的轴部18上设置的辊刷19，可以在整个宽度方向均匀刷洗基板W的上下表面。
上述传送用轴5和辊刷轴7的轴部12、18的、由碳纤维形成的芯部件13、21，被由对处理液有抗腐蚀性的合成树脂形成的外皮部件14、22包覆。
因此，能够防止处理液与形成上述芯部件13、21的碳纤维直接接触，所以能够防止因处理液而提前损伤上述芯部件13、21。
在上述实施方式中，将传送用轴5和辊刷轴7的轴部12、18的芯部件13、21的外周面，用作为包覆部件而对处理液有抗腐蚀性的合成树脂制的外皮部件14、22来包覆，但是，包覆上述轴部12、18的芯部件13、21的外周面的包覆部件，也可以如图4所示地取代外皮部件14、22而安装金属管26来进行包覆，该金属管26由对处理液具有抗腐蚀性的金属、例如不锈钢形成。
而且，也可以用铬(Cr)、钛(Ti)或镍(Ni)等金属取代不锈钢而形成金属管26。
金属管26重量比合成树脂制的外皮部件14、22大，因此有使芯部件13、21的弯曲量增大的可能性。
图5是在使用图4所示的金属管26作为包覆部件的轴部12、18中，设由碳纤维形成的芯部件13、21的长度为2200mm、直径为36mm、内径为33mm的中空状，改变该芯部件13、21外周面上安装的不锈钢制的金属管26的管厚时，表示对其厚度与弯曲量之间的关系进行侧量的实验结果的曲线。
如根据该曲线可知，金属管26的管厚为1mm时，轴部12、18的中央部的弯曲量为1mm，管厚为2mm时弯曲量为1.7mm；管厚为3mm时弯曲量为2.4mm。
而且，如果金属管26的厚度是1mm以上，对处理液的抗腐蚀性是充分的。因此，通过使用管厚为1mm左右的金属管26，可以有效地用作弯曲量小、而且对处理液具有抗腐蚀性的传送用轴5和辊刷轴7的轴部12、18。
如果在管厚为3mm的金属管26内设置碳纤维制的芯部件13、21，在其长度方向中央的弯曲量为2.4mm，但是，在不设置碳纤维制芯部件13、21情况下，已确认在长度方向中央的弯曲量为5～6mm.即，由于碳纤维制芯部件13、21轻量化而且杨氏模量高，通过设置在金属管26内来加强该金属管26并减少弯曲.
图6和图7表示本发明的第二和第三实施方式，是表示传送用轴5和辊刷轴7的一端部的截面图。
图6所示的本发明的第二实施方式中，使用图4所示的利用金属管26的轴部12、18被用于传送用轴5和辊刷轴7。轴部12、18的金属管26的长度尺寸形成为比芯部件13、21长。这样，上述金属管26的两端部从芯部件13、21的两端向外侧突出。
在各轴5、7的轴方向两端部设置支轴16A、25A。各支轴16A、25A具有：第一轴部31，外形尺寸与芯部件13、21的内径尺寸大致相等；第二轴部32，外形尺寸形成为直径比上述第一轴部31大、与上述芯部件13、21的外形尺寸和上述金属管26的内径尺寸大致相等；以及第三轴部33，突出设置在该第二轴部32的端面、直径比上述第一和第二轴部31、32小。
而且，各支轴16A、25A中形成有通气孔34，该通气孔34的一端在第一轴部31的端面开口，另一端在第二轴部32的外周面开口。而且，各支轴16A、25A使第一轴部31与芯部件13、21嵌合，使第二轴部32与金属管26嵌合。若使第二轴部32与金属管26嵌合，上述通气孔34的另一端位于被金属管26的内周面覆盖的位置。
各轴5、7的轴方向两端部上安装的各支轴16A、25A的、第二轴部32外周面焊接在金属管26的端面。在图6中，35表示堆焊的焊接部，该焊接部35在焊接后被研磨加工成外形尺寸与金属管26的外形尺寸相同或者比它小。
如果将上述金属管26安装在上述芯部件13、21的外周面上，在芯部件13、21的外周面与金属管26的内周面之间产生空间部36。由于上述芯部件13、21的外径尺寸与上述金属管26的内径尺寸之差而形成该空间部36。
于是，将支轴16A、25A的第二轴部32与金属管26焊接时，因焊接时的热影响而残留在上述空间部36内的空气膨胀。因此，对金属管26施加压力，有因该压力而变形、损伤的可能性。
但是，在上述支轴16A、25A中形成有一端在第一轴部31的端面开口、另一端在金属管26的内周面开口的通气孔34。该通气孔34的另一端从金属管26的内周面与上述空间部36相连通。
因此，支轴16A、25A与金属管26焊接时，即使上述空间部36中残留的空气热膨胀，上述空气经过上述通气孔34逸到芯部件13、21的内部，所以能够防止上述金属管26变形、损伤。
图7是表示图6所示的第二实施方式的变形例的第三实施方式，该实施方式与第二实施方式大致相同，但形成在支轴16A、25A中的通气孔34A的位置不同。即，通气孔34A的一端在第三轴部33的端面开口，另一端在第二轴部32的外周面的、被金属管26覆盖的部分开口。
这样，如果在焊接时空间部36内残留的空气热膨胀，上述空气从上述空间部36向外部逸出，这种情况下也与第二实施方式同样地，能够防止金属管26变形、损伤。
在第二实施方式和第三实施方式中，说明了由芯部件13、21和金属管26来形成各轴5和7的情况，但是，如第一实施方式所示，也可以是使用对处理液具有抗腐蚀性等抗腐蚀性的树脂形成外皮部件14、22来取代金属管26的情况。
即使在使用外皮部件14、22的情况下，该外皮部件14、22的端面通过树脂粘接在各支轴16A、25A的第二轴部32的外周面。因此，即使在粘按时残留在空间部36内的空气热膨胀，使该空气逸出到芯部件14、22的内部、轴5、7的外部，能够防止外皮部件14、22变形损伤。
在上述各实施方式中，用合成树脂制外皮部件或金属管包覆传送用轴和辊刷轴的轴部的芯部件，在处理液中进行保护，但是，例如传送用轴在腔外部使用，没有处理液附着的可能性的情况下，也可以不用外皮部件或金属管包覆上述芯部件来使用。
而且，芯部件形成为圆筒状，但是，是中间实心的圆柱状也无妨。这种情况下，设置成在芯部件的两端部形成圆柱状的中空部，将支轴的一端部与该中空部嵌合即可。
芯部件为圆柱状情况下，如图7所示，使支轴中形成的通气孔的一端与轴的外部相连通。这样，能够将芯部件的外周面和金属管或外皮部件的内周面之间的空间部中热膨胀的空气，从上述空间部逸出到外部。

Claims (12)

1.一种传送用轴，用于传送利用处理液进行处理的基板，其特征在于，
该传送用轴包括：
轴部，具有由碳纤维形成的芯部件和由对上述处理液具有抗腐蚀性的材料形成、包覆上述芯部件的外周面的包覆部件；
支承辊，以预定间隔设置在该轴部的轴方向上，支承上述基板；以及
支轴，设在上述轴部的两端部，形成有通气孔，该通气孔与上述芯部件的外周面和上述包覆部件的内周面之间的空间部相连通。
2.如权利要求1所述的传送用轴，其特征在于，上述包覆部件为由合成树脂构成的外皮部件。
3.如权利要求1所述的传送用轴，其特征在于，上述包覆部件为金属管。
4.如权利要求1所述的传送用轴，其特征在于，上述芯部件为中空状，上述通气孔的一端与上述空间部相连通，另一端与上述芯部件的内部空间相连通。
5.如权利要求1所述的传送用轴，其特征在于，上述通气孔的一端与上述空间部相连通，另一端在从上述支轴的轴部向外部突出的部分开口。
6.一种辊刷轴，用于清洗基板，其特征在于，
该辊刷轴包括：
轴部，具有由碳纤维形成的芯部件和由对上述处理液具有抗腐蚀性的材料形成、包覆上述芯部件的外周面的包覆部件；
辊刷，设置在该轴部的包覆部件的外周面上；以及
支轴，设在上述轴部的两端部，形成有通气孔，该通气孔与上述芯部件的外周面和上述包覆部件的内周面之间的空间部相连通。
7.如权利要求6所述的辊刷轴，其特征在于，上述包覆部件为由合成树脂构成的外皮部件。
8.如权利要求6所述的辊刷轴，其特征在于，上述包覆部件为金属管。
9.如权利要求6所述的辊刷轴，其特征在于，上述芯部件为中空状，上述通气孔的一端与上述空间部相连通，另一端与上述芯部件的内部空间相连通。
10.如权利要求6所述的辊刷轴，其特征在于，上述通气孔的一端与上述空间部相连通，另一端在从上述支轴的轴部向外部突出的部分开口。
11.一种基板处理装置，一边传送基板一边用处理液处理基板，其特征在于，
具有用于传送上述基板的传送用轴，
该传送用轴具有如权利要求1所述的结构。
12.一种基板处理装置，一边传送基板一边用处理液清洗基板，其特征在于，
具有用于清洗上述基板的辊刷轴，
该辊刷轴具有如权利要求6所述的结构。
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE20319527U1 (de) * 2003-12-16 2004-03-04 Maschinenbau Oppenweiler Binder Gmbh & Co. Kg Transportwelle für eine Falzmaschine
KR100828970B1 (ko) * 2007-09-12 2008-05-13 주식회사 디엠에스 처짐 방지용 반송샤프트
JP5101311B2 (ja) * 2008-01-16 2012-12-19 新日鉄住金マテリアルズ株式会社 ブラシロールシャフト及び搬送用ロールシャフト
CN101834113B (zh) * 2009-03-13 2012-11-14 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 晶圆盒清洁设备
JP5260370B2 (ja) * 2009-03-19 2013-08-14 住友精密工業株式会社 基板処理装置
KR101226295B1 (ko) * 2012-04-04 2013-01-24 이재규 유리기판 세정장치용 탄성 오링 및 이를 제조하는 방법
KR101380163B1 (ko) * 2013-01-07 2014-04-02 이재규 탄성 오링
TWI562836B (en) * 2016-03-24 2016-12-21 Mirle Automation Corp Cleaning mechanism
CN112792028B (zh) * 2020-12-25 2022-04-29 松田电工（台山）有限公司 一种高效的金属清洁装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2652530Y (zh) * 2003-10-22 2004-11-03 长沙正中药机厂 一种输送网板在位清洗装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5945843B2 (ja) * 1978-08-03 1984-11-09 東レ株式会社 金属ロ−ル
JPS6077180A (ja) * 1983-09-30 1985-05-01 株式会社東芝 接合体
JPH0733545Y2 (ja) * 1984-05-07 1995-07-31 古河電気工業株式会社 管路気中ケ−ブルのシ−ス管接続部
JPS63101324U (zh) * 1986-12-22 1988-07-01
JPH07113417A (ja) * 1993-10-19 1995-05-02 Toray Ind Inc Ｆｒｐロールおよびその製造方法
JPH08244930A (ja) * 1995-03-13 1996-09-24 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板搬送装置
JPH09326377A (ja) * 1996-06-04 1997-12-16 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置
JP3533884B2 (ja) * 1997-06-03 2004-05-31 日立電子エンジニアリング株式会社 基板洗浄装置
JPH1122720A (ja) * 1997-07-04 1999-01-26 Toray Ind Inc Ｆｒｐ製ロール
EP0993023A1 (en) * 1998-10-05 2000-04-12 Agfa-Gevaert N.V. Method for transferring a web-or sheet-like material into a clean room
JP4537508B2 (ja) * 1999-03-29 2010-09-01 新日本製鐵株式会社 低慣性を有する搬送ロール
JP2003306223A (ja) * 2002-04-12 2003-10-28 Shibaura Mechatronics Corp 搬送装置、被取付け体の取付け構造

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2652530Y (zh) * 2003-10-22 2004-11-03 长沙正中药机厂 一种输送网板在位清洗装置

Non-Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JP平1-303260A 1989.12.07
JP特开2000-272737A 2000.10.03
JP特开2001-289566A 2001.10.19
JP特开2002-96038A 2002.04.02
JP特开平10-119225A 1998.05.12
JP特开平5-171494A 1993.07.09
JP特开平7-113417A 1995.05.02

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