CN1694224A - 管理衬底处理装置的装置信息的衬底处理系统 - Google Patents

Abstract

一种衬底处理系统，具有衬底处理转置和信息存储服务器和支持计算机，分别连接于网络。衬底处理装置中产生故障时，警报处理部提取必要的关联日志(log)文件并存储在信息存储服务器的固定盘上。另外，通过故障信息生成部生成故障信息，最终作为故障信息数据库存储在信息存储服务器的固定盘上。这些关联日志文件和故障信息数据库可通过装置信息公开部从远处的支持计算机阅览。由此，可即刻阅览关联日志文件和故障信息数据库。即提供在衬底处理装置产生故障时，从远处即时阅览运转信息的衬底处理系统。

Description

管理衬底处理装置的装置信息的衬底处理系统

发明领域

本发明涉及一种经由网络将对半导体衬底、液晶显示装置用玻璃衬底、光掩模用玻璃衬底、光盘用衬底等(下面简称为衬底)进行规定的处理的衬底处理装置和计算机结合的网络通信技术。

背景技术

半导体和液晶显示器等的制品通过对衬底实施清洗、抗蚀剂涂布、曝光、显影、蚀刻、形成层间绝缘膜、热处理等一连串的处理来制造。以往这些处理在组装了抗蚀剂涂布处理单元和显影处理单元等的衬底处理装置中进行。衬底处理装置上设置的运送机器人通过把衬底顺序运送到各处理单元而对该衬底进行一连串的处理。

这种衬底处理进行自动控制，一般地衬底处理装置除控制装置整体的系统控制部外还具有分别控制各处理单元的单元控制部。并且，衬底处理装置上安装的控制软件由系统控制部和单元控制部上各自安装的软件模块构成。即，构筑由系统控制部上安装的软件模块控制装置整体的系统控制系统，并构筑由各单元控制部上安装的各个软件模块分别控制各处理单元的单元控制系统。

系统控制部和单元控制部上安装的各个软件模块中的每一个具有固有的版本。并且，各软件模块中按计划进行版本升级(version up)。设置衬底处理装置的工厂中，也在支持的情况下暂时对特定的软件模块的版本进行变更。

这样的软件模块的版本变更时重要的是保持1个衬底处理装置上安装的全部软件模块之间的匹配性。软件模块之间的匹配性不能保持的情况下，控制系统出现的问题，会引起衬底处理装置误动作或停止。因此，在计划软件模块的版本升级时，应以能维持各软件模块之间的匹配性的方式进行。

但是，对软件模块进行版本升级时的安装操作失误也会导致安装错误版本的软件模块。在支持现场中暂时对特定的软件模块进行版本变更时，有时与计划的模块结构不同。这些情况下，也未必保持软件模块之间的匹配性，因而存在会产生误动作和停止等的装置故障的问题。

衬底处理装置中产生故障的情况下，不能迅速正确把握装置上安装的软件模块的版本信息时，故障原因分析需要比预想多的很长时间。

上述衬底处理装置中，常常将衬底的处理工序信息、操作员的操作信息等的关于运转的各种信息作为日志文件顺序记录。

该日志文件与每次产生预先规定的事件的产生时间一起记录，表示该衬底处理装置的运转的时间系列的运转信息。因此，通过参照日志文件的记录内容可在事后确认衬底处理装置过去的运转信息。尤其在衬底处理装置产生故障时，通过参照该日志文件中到产生故障之前的记录内容可对故障产生原因进行分析。

以往，在衬底处理装置中产生故障时，按以下的顺序进行故障的对应。

1.操作员通过衬底处理装置的塔灯和蜂鸣器识别产生故障。

2.操作员借助电话等向销售商的区域掌管(field support)负责人就故障产生事宜进行联络。

3.接收联络的区域掌管负责人到有该衬底处理装置的衬底处理工厂去，以把握故障的情况。

4.区域掌管负责人当场不能应对故障的情况下，把该衬底处理装置的日志文件输出到记录媒体并收取该记录媒体的同时作成表示故障的具体状况的故障报告文书。

5.用电子邮件等将上述日志文件和故障报告文书送达支持中心等远处的故障分析负责人。

6.故障分析负责人参照日志文件和故障报告文书分析故障产生原因，讨论故障的对策。

7.从故障分析负责人向区域掌管负责人就故障分析结果和对策事宜进行联络。

这样，产生故障的情况下，通过参照日志文件可分析故障的原因，可对故障进行适当的应对。

但是，上述程序中通过日志文件对故障进行原因分析(上述6)以外的作业需要时间，结果分析完成到就对策进行联络之前需要很多的时间。尤其，产生必须停止衬底处理装置的运转的故障的情况下，到联络对策之前在很长时间内必须停止该装置，衬底的生产效率大幅度下降。

从故障产生到取得日志文件也需要时间。因此，由于日志文件的数据量的最大值预先确定，有时在取得日志文件的时刻故障分析所需的记录内容已经删除了。为应对这种情况，要长时间保持日志文件时，故障产生时取得的日志文件的数据量飞速增大，把日志文件向故障分析负责人发送以及检索必要的记录内容需要很多的时间。

另外，在组装抗蚀剂涂布处理单元和显影处理单元的衬底处理装置中，应对衬底处理装置中预定的故障的应对信息预先存储在装置内。该应对信息中包含故障产生原因、对应故障的操作方法和故障时的制约事项等。由此，即便是不精通于该装置的操作员也可在故障产生时适当读出上述应对信息，进行装置的恢复作业等。

但是，衬底处理装置内存储的应对信息是该装置引进时(出厂时)的信息，引进时预定的故障以外的意外故障产生时，用存储的应对信息不能进行准确的应对。根据不能准确应对的应对信息进行故障的恢复作业时，会使衬底处理装置的状态恶化，也延迟了恢复。

为应对这种情况，对故障进行新判定的最新的应对信息作为追加信息用文书等形式由销售商发布。然而，这些通过邮寄等方式配送，因此需要最新的应对信息时，不能即刻取得该信息。

即便是配送了最新的应对信息后，由于其与装置内存储的应对信息被分别地进行管理，因此不能实现信息的一元化，实际上故障产生时，难以选择必要的最新的应对信息。

发明内容

本发明面向的是可经网络可通信连接衬底处理装置和计算机的衬底处理系统。

根据本发明，在一种衬底处理装置和处理上述衬底处理装置的装置信息的计算机与网络结合的衬底处理系统中，具有存储取得的上述装置信息的装置信息存储部件；可经上述网络从上述计算机阅览在上述装置信息存储部件上存储的上述装置信息的装置信息公开部件。

在存储恒定运转的衬底处理装置的装置信息的状态下，由于可经网络阅览，可从远处容易地把握装置信息。

本发明的另一方面是一种衬底处理系统，将具有对衬底进行规定处理的处理单元和控制装置整体的系统控制部以及分别控制上述处理单元的单元控制部的衬底处理装置和计算机经网络结合，具有在上述系统控制部或上述单元控制部上安装软件模块时，在该时刻确认上述系统控制部和上述单元控制部上各自安装的软件模块的匹配性的匹配性确认部件。

衬底处理装置上安装软件模块时各软件模块之间的不匹配引起的故障可防患于未然。

本发明的再一方面是一种具有可经网络通信的衬底处理装置的衬底处理系统，具有：存储作为与上述衬底处理装置有关的信息的并且追加地由上述衬底处理装置的销售商提供的追加信息的追加信息存储部件，和经上述网络取得存储的上述追加信息的追加信息取得部件。

可即刻追加地取得由衬底处理装置的销售商提供的追加信息。

本发明还面向经网络可通信地连接衬底处理装置和计算机的衬底处理方法。

本发明也面向可经网络与计算机可通信地连接的衬底处理装置。

也就是，本发明的目的是可从远处即时地阅览衬底处理装置的运转信息。

本发明的其他目的是对衬底处理装置上安装软件时各软件模块之间的不匹配引起的故障防患于未然。

本发明的其他目的是在必要时即刻取得追加信息。

附图说明

图1是表示本发明的衬底处理系统的简要结构的图；

图2是衬底处理装置的简要平面图；

图3是表示衬底处理装置的控制系统的构成的框图；

图4是表示信息存储服务器和支持计算机的基本构成的图；

图5是表示第一实施例的衬底处理系统的功能结构的一例的框图；

图6是表示警报定义文件的一例的图；

图7是表示故障信息数据库的一例的图；

图8是表示产生故障时衬底处理系统的处理流程的图；

图9是表示应对信息数据库的一例的图；

图10是表示第一实施例的衬底处理系统的功能结构的另一例的框图；

图11是表示第二实施例的衬底处理系统的功能结构的一例的框图；

图12是表示第二实施例的警报定义文件的一例的图；

图13是表示第二实施例的衬底处理系统的处理流程的图；

图14是表示第三实施例的衬底处理系统的功能结构的一例的框图；

图15是表示第三实施例的衬底处理系统的处理流程的图；

图16是表示版本管理表的一例的图；

图17是表示确认表的一例的图；

图18是表示版本管理表的另一例的图；

图19是表示第三实施例的衬底处理系统的功能结构的另一例的框图；

图20是表示第三实施例的衬底处理系统的功能结构的又一例的框图。

具体实施方式

下面参考附图说明本发明的实施形式。

<1.第一实施例>

图1是表示本发明的第一实施例的衬底处理系统10的简要结构的图。如图1所示，衬底处理系统10主要是经网络6连接衬底处理工厂4具有的衬底处理装置1和信息存储服务器2以及配备有对衬底处理装置1进行故障分析的故障分析负责人的支持中心5所具有的支持计算机3构成。

衬底处理系统10中，包含衬底处理装置1的日志文件和故障信息的装置信息存储在信息存储服务器2中，存储的装置信息经网络6可在支持计算机3阅览。

衬底处理工厂4中，衬底处理装置1和信息存储服务器2经LAN(Local AreaNetwork)41连接。LAN41经具有路由器和防火墙等功能的连接装置42连接于互联网等的广域网络61上。支持中心5也具有连接支持计算机3的LAN51，LAN51也经具有路由器和防火墙等功能的连接装置52连接于互联网等的广域网络61上。由此衬底处理装置1和信息存储服务器2以及支持计算机3彼此之间可进行各种数据通信。本说明书中，在统称LAN41，51和广域网络61的情况下，简称为网络6。

图1中，衬底处理工厂4中备有多个衬底处理装置1，但可以是1台衬底处理装置1，同样，支持中心5中备有多个支持计算机3，但支持计算机3可以是1台。作为衬底处理工厂4记述了1个工厂的情况，但衬底处理系统10中可包含多个衬底处理工厂。

接着说明衬底处理工厂4中备有的衬底处理装置1。图2是衬底处理装置1的简要平面图。该衬底处理装置1是对衬底进行抗蚀剂涂布处理、显影处理和接着的热处理的装置。衬底处理装置1具有从运输机(carrier)上取出未处理的衬底，同时接收处理完的衬底并容纳在运输机上的分度器ID(indexer)、边旋转衬底边在该衬底主面上滴下光刻胶进行抗蚀剂涂布处理的涂布处理单元SC(所谓的旋涂机)、在曝光后的衬底上提供显影液来进行显影处理的显影处理单元SD(所谓的旋转显影剂)和在分度器ID和各处理单元之间进行衬底运送的运送机器人TR。涂布处理单元SC和显影处理单元SD的上方由未示出的热处理单元夹持风扇过滤(fanfilter)单元而配置。作为热处理单元，设置对衬底进行加热处理的加热单元(所谓的加热板)和将加热的衬底冷却到一定温度的冷却单元(所谓的冷却板)。本说明书中，将涂布处理单元SC和显影处理单元SD以及热处理单元统称为对衬底进行规定处理的处理单元110。

图3是表示衬底处理装置1的控制系统的构成的框图。如图3所示，衬底处理装置1主要具有进行装置整体的控制的系统控制部100和多个处理单元110。

系统控制部100统一控制装置整体，具有微计算机而构成。具体说，具有作为其主体部的CPU101、存储控制用的程序等的ROM102、成为运算的作业区域的RAM103、存储日志文件等的固定盘等构成的存储部104以及与外部装置之间进行数据通信的通信部105，通过总线190对它们分别连接而构成。

通信部105经省略图示的网络接口连接于网络6，由此衬底处理装置1可在信息存储服务器2和支持计算机3等之间收发各种数据。通信部105执行的经网络6的通信方式可以是有线或无线的，但本实施例中采用有线的通信方式。

总线190上电连接多个处理单元110的同时，还电连接显示各种信息的显示部130、接收操作员的各种信息的输入和操作的操作部140、从磁盘和磁光盘等的记录媒体91读取各种数据的读取装置150等。由此，在系统控制部100的控制下，衬底处理装置1各部之间经总线190可进行数据交换。

处理单元110具有成为实际对衬底进行处理的机构部(例如旋转衬底的机构，向衬底喷出处理液的机构，加热衬底的机构等)的衬底处理部116，还具有单元控制部115。单元控制部115是进行衬底处理部116的动作控制和动作监视的单元单位的控制部。即，上述的系统控制部100负责衬底处理装置1整体的统一控制，单元控制部115分担其作用，以承担对应于衬底处理部116的处理内容的控制。单元控制部115与系统控制部100同样具有微计算机，具体说，具有作为其主体部的CPU111、存储控制用的程序等的ROM112、成为运算的作业区域的RAM113、存储各种数据的电池支持的SRAM等构成的存储部114。

系统控制部100的ROM102和存储部104中预先存储系统控制用程序。系统控制部100的CPU101根据该系统控制用程序执行运算处理，从而实现作为衬底处理装置1整体的动作控制和数据处理。单元控制部115的ROM112和存储部114中预先存储与该处理单元110的衬底处理部116的处理内容对应的单元控制用程序。单元控制部115的CPU111根据该单元控制用程序执行运算处理，从而实现衬底处理部116的动作控制和数据处理。根据这些程序，通过系统控制部100和单元控制部115的运算处理实现的功能在后面说明。

这些程序经读取装置150可从记录媒体91读出或从规定的服务器存储装置等经网络6下载而获取和进行更新。各个程序有版本，更新程序时变更识别版本的数值等的版本信息。衬底处理装置1执行的程序各自的版本信息存储在系统控制部100的存储部104中。

信息存储服务器2、支持计算机3的硬件结构与一般的计算机相同。因此，信息存储服务器2、支持计算机3的基本构成相同，从而参考同一简图图4说明。信息存储服务器2、支持计算机3分别如图4所示，将进行各种运算处理的CPU21，31(信息存储服务器2中是CPU21，支持计算机3中是CPU31，下面同样)、存储基本程序的ROM22，32和存储各种信息的RAM23，33连接于总线构成。信息存储服务器2和支持计算机3的各自的总线上经接口(I/F)等适当连接存储各种信息的固定盘24，34、进行各种信息的显示的显示器25，35、接收操作者的输入的键盘26a，36a以及鼠标26b，36b、从光盘、磁盘、磁光盘等的记录媒体91读取各种数据的读取装置27，37和经网络6和外部装置通信的通信部28，38。

信息存储服务器2和支持计算机3各自经读取装置27，37从记录媒体91读取程序，存储在固定盘24，34上。信息存储服务器2和支持计算机3各自从规定的服务器存储装置经网络6下载并存储在固定盘24，34上。并且，CPU21，31根据存储在固定盘24，34的程序执行运算处理进行各种动作。即，执行根据该程序的运算处理的结果，信息存储服务器2作为信息存储服务器2动作，支持计算机3作为支持计算机3动作。

图5是表示包含根据衬底处理装置1、信息存储服务器2和支持计算机3各自的程序通过CPU等的运算处理实现的功能的、表示衬底处理系统10的功能结构的框图。

衬底处理装置1中，图5所示的构成中警报发生部117的功能是单元控制部115根据程序运算处理实现的。日志记录部121、警报处理部122和故障信息生成部123的功能是系统控制部100根据程序运算处理实现的。

警报发生部117在处理单元110中产生某种故障时，产生警报，作为表示产生故障的警告信号。警报被预先分配识别代码，警报发生部117产生具有对应于产生的故障的识别代码的警报，发送到系统控制部100。

日志记录部121将关于处理单元110的运转的信息作为日志文件162存储在存储部104中。日志文件162中在每次产生与预定的运转有关的事件时将产生的时间与该事件的内容一起记录下来。日志文件162是表示关于衬底处理装置1的运转的时间系列的信息的运转信息，是故障产生时分析故障原因的装置信息之一。

日志文件162有衬底位置日志、处理日志、警报日志、操作日志和通信日志等多种，对应产生的事件的内容由日志记录部121分类，作为各自独立的文件记录。这些日志文件162各自预先分配识别代码。

衬底位置日志是表示进行处理的衬底的衬底处理装置1内的位置的时间系列信息的日志文件162。具体说，例如是运送衬底的处理单元110的识别信息等。衬底位置日志在运送机器人TR每次运送衬底时由日志记录部121记录。衬底处理装置1处理的衬底被分别给出识别ID，衬底位置日志与该识别ID一起记录，从而可确定衬底，事后可确认哪个衬底何时运送到哪个位置上。

处理日志是表示各处理单元110进行的实际处理的内容条件等的处理工序的时间系列的信息的日志文件162。具体说，例如是加热单元的加热温度和加热时间、涂布处理单元SC的抗蚀剂涂布量和抗蚀剂浓度等。处理日志在每次从各处理单元110的单元控制部115进行衬底处理时，发送并记录到日志记录部121中。该处理日志中由于和衬底的识别ID一起记录，可确定衬底，事后可确认哪个衬底何时在哪个处理单元110中在怎样的处理条件下处理的处理工序。衬底在该处理工序中有某些不适的情况下，多有工序进行了某种程度后才能发现衬底缺陷的情况，但通过确认处理日志，事后可容易把握产生该缺陷的处理工序中的不适。故障产生时，若确实保存该处理日志，则容易分析故障原因。

警报日志是表示产生的警报的时间系列信息的日志文件162。具体说，是产生警报的处理单元110的识别信息和警报的识别代码等。警报日志在每次产生警报时由日志记录部121记录。通过警报日志，可在事后确认哪个处理单元110中何时产生何种警报。

操作日志是表示操作员操作操作部140的操作内容的时间系列信息的日志文件162。具体说，是衬底处理装置1的启动指示和处理条件变更指示等。操作日志在操作员每次进行操作时由日志记录部121记录。通过操作日志，事后可确认何时进行何种操作。

通信日志是表示衬底处理装置1经通信部105和信息存储服务器2等的外部装置的通信的时间系列信息的日志文件162。具体说，是向信息存储服务器2发送的信息的内容等。通信日志在通信部105每次进行通信时由日志记录部121记录。通过通信日志，事后可确认何时进行何种通信。

警报处理部122接收来自警报发生部117的警报，对应该警报的识别代码进行动作控制。该处理通过参考存储部104中预先存储的警报定义文件161进行。警报定义文件161按每个处理单元110的分类(涂布处理单元SC、显影处理单元SD等)作为独立的文件存储，警报处理部122对应产生警报的处理单元110选择并参考适当的警报定义文件161。

图6是表示警报定义文件161的一例的图。如图所示，警报定义文件161是具有多个字段的表。字段中包含警报代码、显示文本、系统控制代码、输出日志文件代码等。

警报代码是表示产生的警报中包含的识别代码的字段。其他字段(显示文本、系统控制代码、输出日志文件代码等)对应该警报代码。警报处理部122从警报代码检索接收的警报的识别代码，根据与该识别代码对应的其他字段中记载的内容进行处理。

显示文本是将故障的具体内容表示为文章的字段。警报处理部122在显示部130显示该显示文本中表示的内容。由此，操作员可作为具体的文件把握产生何种故障。

系统控制代码是表示警报产生时衬底处理装置1的控制内容的字段。具体说，预先分配若系统控制代码为1，则停止衬底处理装置1的运转、若为2，则强制再启动衬底处理装置1等的控制内容。警报处理部122根据系统控制代码的记载内容进行动作控制，衬底处理装置1根据故障种类进行适当动作。

输出日志文件代码是表示与警报产生原因相关的日志文件的识别代码的字段。即，仅选择记载把握故障产生原因所需的日志文件162的识别代码。由此，警报处理部122容易仅选择提取与警报产生原因相关的日志文件162(例如仅处理日志和操作日志)。下面将由警报处理部122提取的与警报产生原因相关的日志文件162也称为关联日志文件262。

另外，警报处理部122经LAN41将关联日志文件262发送到信息存储服务器2。发送的关联日志文件262存储在信息存储服务器2的固定盘24中。另外警报处理部122向故障信息生成部123指示生成故障信息。

故障信息生成部123接收警报处理部122的指示生成关于产生的故障的故障信息。即，故障信息生成部123是在产生警报时生成故障信息的部件。

故障信息是关联日志文件262和确定故障原因的装置信息之一，具有产生日期时间、产生装置、单元、版本、故障内容、日志等的项目。

产生日期时间是警报产生日期时间，在故障信息生成时从规定的计时电路取得。

产生装置是产生故障的衬底处理装置1自身的识别信息，对衬底处理工厂4中配置的衬底处理装置1分别预先分配识别信息，存储在存储部104中。

单元是故障产生的处理单元110的识别信息。表示成为警报的发送源的处理单元110。

版本是产生故障的处理单元110的单元控制部用程序的版本信息。故障仅在程序的特定版本中产生，因此有时可通过版本信息确定故障原因。

故障内容是上述警报定义文件161的显示文本的内容，从警报处理部122取得。

日志是关联日志文件262的信息存储服务器2的保存路径，从警报处理部122取得。通过该项目，故障信息和关联日志文件262相关。

这样，故障信息由操作员和故障分析负责人可具体且容易把握产生的故障的内容的信息构成。故障信息生成部123生成故障信息时，将该故障信息经LAN41发送到信息存储服务器2。

信息存储服务器2存储在衬底处理工厂4中配置的衬底处理装置1的装置信息。图5所示结构中故障信息登录部224、邮件发送部225、装置信息公开部226和应对信息登录部227的功能是CPU21根据程序运算处理实现的。

故障信息登录部224在从衬底处理装置1的故障信息生成部123接收故障信息时，追加登录在故障信息数据库(下面叫做故障信息DB)261中。因此，故障信息作为故障信息DB261存储在固定盘24上。故障信息追加登录时，追加的故障信息的识别序号由故障信息登录部224自动生成。

图7是表示故障信息DB261的一例的图。如图所示，故障信息DB261具有多个字段，图中字段D1～D6中分别存储故障信息的产生日期时间、产生装置、单元、版本、故障内容、日志各项目。生成的故障信息的识别序号存储在记为No.的字段D0中。记为日志的字段D6中存储关联日志文件262的保存路径，因此在故障信息DB261中也成为与关联日志文件262相关联的状态。每次产生故障时将故障信息存储为故障信息DB261，因此故障信息DB261表示产生的故障的信息和衬底处理工厂4中过去产生的故障的履历。

故障信息登录部224向故障信息DB261追加登录新的故障信息时，向邮件发送部225指示向支持计算机3通知故障产生。

邮件发送部225接收来自故障信息登录部224的指示，将记载产生故障的电子邮件发送给支持计算机3。即，邮件发送部225是产生警报时经网络6向支持计算机3通知产生故障的部件。

装置信息公开部226可从支持计算机3阅览固定盘24上存诸的故障信息DB261和关联日志文件262等的装置信息。装置信息公开部226具有HTTP服务器功能，将装置信息作为HTML文件发送到网络6。这种装置信息的发送对应经WEB浏览器的阅览请求从连接于网络6的外部装置进行。

应对信息登录部227从支持计算机3接收应对信息。所谓应对信息是支持中心5的故障分析负责人阅览并分析产生故障的衬底处理装置1的装置信息的分析结果和该故障的对策等。即，应对信息登录部227是基于装置信息取得故障的应对信息的部件。应对信息登录部227接收该应对信息时，追加登录到应对信息数据库(下面叫做应对信息DB)263中。因此作为应对信息DB263存储在固定盘24中。

固定盘24上存储的上述故障信息DB261和关联日志文件262以及应对信息DB263在信息存储服务器2中进行规定的操作，从而将其内容显示在显示器25上，可随时确认。

支持计算机3中，图5所示结构中邮件接收部321、WEB浏览器322和应对信息发送部323的功能是CPU31根据程序运算处理实现的。

邮件接收部321经网络6接收电子邮件。邮件接收部321每一定时间和规定的邮件服务器装置(未示出)进行通信，自动检查支持计算机3端的电子邮件。从上述邮件发送部225发送的电子邮件由邮件接收部321接收。

WEB浏览器322具有通过指定网络6的地址(URL)取得该地址的HTML文件等的功能。通过指定规定的地址，经装置信息公开部226可取得在信息存储服务器2上存储的装置信息。由此，支持中心5的故障分析负责人可阅览产生故障的衬底处理装置1的故障信息和关联日志文件262等。

应对信息发送部323对信息存储服务器2发送应对信息。应对信息通过故障分析负责人的规定操作输入到支持计算机3，通过应对信息发送部323送到信息存储服务器2。

接着，说明衬底处理装置1产生故障时衬底处理系统10的处理内容。图8是表示衬底处理系统10的处理流程的图。图8中，衬底处理装置1的处理在右侧表示，信息存储服务器2的处理在中央表示，支持计算机3的处理在左侧表示。向下表示时间的经过。

首先，衬底处理装置1的某一处理单元110中产生故障时，该处理单元110的警报产生部117产生具有与故障对应的识别代码的警报并发送到系统控制部100(步骤S11)。

发送的警报由警报处理部122接收，进行对应于识别代码的动作控制。即，参考警报定义文件161在显示部130上显示文本中记载的故障的具体内容，同时根据系统控制代码进行停止衬底处理装置1的运转等的动作控制(步骤S12)。

另外，警报处理部122参考警报定义文件161的输出日志文件代码提取关联日志文件262，将该关联日志文件262发送到信息存储服务器2(步骤S13)。发送的关联日志文件262由信息存储服务器2接收，并存储在固定盘24(步骤S21)中。由此，仅提取故障分析需要的关联日志文件262，确实进行保存。如上所述，处理日志在分析故障原因时特别重要，因此较好是作为关联日志文件262确实保存。

接着，警报处理部122指示故障信息生成部123来生成故障信息，同时传送警报定义文件161的显示文本的内容和关联日志文件262的保存路径。故障信息生成部123接收来自警报处理部122的指示生成故障信息(步骤S14)，将生成的故障信息传送到信息存储服务器2(步骤S15)。

故障信息由信息存储服务器2的故障信息登录部224接收，追加登录在故障信息DB261中(步骤S22)。由此，关于产生的故障的故障信息和关联日志文件262相关并存储在固定盘24中的同时，经装置信息公开部226可从支持计算机3阅览。故障信息DB261和关联日志文件262上施加适当的加密，在对网络6发送时要求口令等，可防止非法阅览。

故障信息登录部224指示邮件发送部225向支持计算机3通知衬底处理装置1中产生故障。接收该指示后，邮件发送部225向支持计算机3的邮件地址发送记载了产生故障的电子邮件(步骤S23)。该邮件地址预先存储在固定盘24上。

送出的电子邮件由支持计算机3的邮件接收部321接收(步骤S31)。由此，支持中心5的故障分析负责人可认识到衬底处理工厂4产生故障。产生故障后到发送电子邮件的上述处理全部自动进行，因此故障分析负责人在远处也可与时间无关地即刻认识到产生故障。

接收电子邮件的通知后，故障分析负责人使用WEB浏览器322对信息存储服务器2请求阅览故障信息DB261。此时，指定给WEB浏览器322的地址也记载在上述电子邮件中，也可预先存储在支持计算机3的固定盘34等中。接收该阅览请求后，信息存储服务器2的装置信息公开部226向支持计算机3发送故障信息DB261。由此，支持计算机3的显示器35上如图7所示显示故障信息DB261的内容。

故障分析负责人通过成为故障信息DB261的最终数据的故障信息可具体且容易地把握产生的故障的内容。通过规定操作指定记为日志的字段D6，还可显示并阅览该故障的关联日志文件262(步骤32，24)。此时，仅提取与故障有关的关联日志文件262，因此数据容量受限制，可快速地接收。

故障分析负责人根据这些故障信息和关联日志文件262进行故障原因分析。该分析中，仅提取与故障有关的关联日志文件262，因此可容易且确定地进行故障原因的推测。由于可阅览过去产生的故障的履历，因此也可从过去的故障信息推测故障原因。

故障分析负责人结束故障原因分析后，将故障分析结果和其对策作为应对信息输入到支持计算机3中。

应对信息具有No.、对象装置、单元、分析结果、应对方法、程序预定、版本等的项目信息。

No.是应对信息的识别序号。是与故障信息的识别序号相同的序号。

对象装置是产生故障的衬底处理装置1的识别信息。与故障信息的产生装置相同。

单元是产生故障的处理单元110的识别信息。与故障信息的单元相同。

分析结果是作为文章显示根据故障信息和关联日志文件262分析的结果，具体记述故障产生原因等。

应对方法是对故障的具体对策，记述对故障的处置的操作程序等。

程序预定表示避免故障产生的衬底处理装置1的新程序的释放预定时期。通过更新为该新程序可防止相同的故障产生。

版本是上述新程序的版本信息。

输入这些信息时，由应对信息发送部323发送到信息存储服务器2中(步骤S33)。应对信息由信息存储服务器2的应对信息登录部227接收，追加登录在应对信息DB263(步骤S25)中。

图9是表示应对信息DB263的一例的图。如图所示，应对信息DB263具有多个字段，图中字段D10～D16中分别存储应对信息的No.、对象装置、单元、分析结果、应对方法、程序预定、版本等的项目信息。该应对信息DB263的内容可在信息存储服务器2中随时确认，因此衬底处理工厂4的操作员可对故障进行适当的对应。

根据以上，衬底处理装置1产生故障时，可自动向支持中心5的故障分析负责人通知，经网络6即刻从远处参考故障信息和关联日志文件262，从而可大幅度缩短开始分析故障产生原因的时间。

由于仅提取与故障相关的关联日志文件262并存储，因此故障产生原因分析所需的日志文件可确实存储保存。存储的数据容量受到限制，从而可比较高速地向支持计算机3发送，同时分析需要的记录内容的检索时间也缩短了。

另外，到分析之前的时间缩短，同时分析结果和对策等的应对信息也可随时确认，从而可即刻对故障进行适当应对。

第一实施例不限于上述。例如，信息存储服务器2配置在衬底处理工厂4内，但并不限于此，可只要连接于网络6与衬底处理装置1和支持计算机3进行通信，配置在哪里都行。

衬底处理装置1具有信息存储服务器2的处理功能。图10是表示衬底处理装置1具有信息存储服务器2的处理功能的情况下衬底处理系统10的功能结构的框图。与图5具有相同功能的部分加上相同符号。

图10所示结构中故障信息登录部124、邮件发送部125、装置信息公开部126和应对信息登录部127的功能是衬底处理装置1的系统控制部100根据程序运算处理来实现的。

故障信息登录部124相当于信息存储服务器2的故障信息登录部224的功能，邮件发送部125相当于信息存储服务器2的邮件发送部225的功能，装置信息公开部126相当于信息存储服务器2的装置信息公开部226的功能，应对信息登录部127相当于信息存储服务器2的应对信息登录部227的功能。这样构成，上述实施例中信息存储服务器2执行的处理由衬底处理装置1执行，可由更简单的结构实现本发明。

上述实施例中，警报定义文件向成为警告信号的警报代码中对应附加显示文本、系统控制代码、输出日志文件代码的项目，但只要至少警告信号和与该警告信号的产生原因相关的关联运转信息相对应，也可对应附加其他的项目。

另外，上述实施例中，作为装置信息可在信息存储服务器2上仅存储关联日志文件262和故障信息，并从支持计算机3阅览，但若是与衬底处理装置1有关的装置信息，则可以是任何信息。

<2.第二实施例>

第二实施例的衬底处理系统10的简要构成与图1所示相同，但第二实施例的衬底处理系统10中，在支持计算机3中存储衬底处理装置1的故障的应对信息等的追加信息，存储的追加信息经网络6由衬底处理装置1获得。

衬底处理装置1的结构与第一实施例的图2和图3中说明的一样。支持计算机3是存储追加信息的同时对应来自衬底处理装置1的请求提供追加信息的计算机，其构成与第一实施例的图4说明的一样。

图11是表示包含第二实施例的衬底处理装置1和支持计算机3各自根据程序通过CPU等的运算处理实现的功能的衬底处理系统10的功能结构的概要的框图。

如图11所示，衬底处理装置1的存储部104中预先存储对衬底处理装置1中预先设定的故障的应对信息163。该应对信息163中记述故障产生原因、对故障的处置方法、故障时功能的制约事项等产生故障时的具体对策。

应对信息163对设想的各类故障作准备，分别作为独立的文件存储。故障产生时根据需要选择该应对信息163，其内容显示在显示部130上。下面将衬底处理装置1中预先存储的应对信息163称为装置内应对信息163。

支持计算机3的固定盘34上也存储与衬底处理装置1的故障有关的应对信息363等的追加信息。该应对信息363在每次支持中心5的系统管理者判断为新的应对信息时更新其内容。因此，也包含引进衬底处理装置1后判断并追加的信息，应对信息363总是作为最新的应对信息存储。下面将支持计算机3中存储的应对信息363称为最新应对信息363。

衬底处理装置1可经网络6从支持计算机3取得最新应对信息363，以更新装置内应对信息163的内容，这一点后面说明。

图11所示结构中，警报发生部117的功能是衬底处理装置1的单元控制部115根据程序运算处理实现的。警报处理部122和应对信息取得部128的功能是衬底处理装置1的系统控制部100根据程序运算处理实现的。应对信息提供部324的功能是支持计算机3的CPU31根据程序运算处理实现的。

警报发生部117在处理单元110中产生某故障时，产生警报，作为表示产生故障的警告信号。警报中预先分配识别代码，警报发生部117产生具有与产生的故障对应的识别代码的警报，发送到系统控制部100。

警报处理部122接收警报发生部117的警报，对应该警报的识别代码进行动作控制。该处理通过参考存储部104中预先存储的警报定义文件461进行。警报定义文件461按每个处理单元110的分类(涂布处理单元SC、显影处理单元SD等)作为独立的文件存储，警报处理部122对应产生警报的处理单元110选择并参考适当的警报定义文件461。

图12是表示警报定义文件461的一例的图。如图所示，警报定义文件461是具有多个字段的表。字段中包含警报代码、显示文本、系统控制代码、应对信息和更新日期等。

警报代码是表示产生的警报中包含的识别代码的字段。其他字段(显示文本、系统控制代码、应对信息和更新日期等)对应该警报代码。警报处理部122从警报代码检索接收的警报的识别代码，根据与该识别代码对应的其他字段中记载的内容进行处理。

显示文本是将故障的具体内容表示为文章的字段。警报处理部122在显示部130显示该显示文本中表示的内容。由此，操作员可作为具体的文件把握产生何种故障。

系统控制代码是表示警报产生时衬底处理装置1的控制内容的字段。具体说，预先分配若系统控制代码为1，则停止衬底处理装置1的运转、若为2，则强制再启动衬底处理装置1等的控制内容。警报处理部122根据系统控制代码的记载内容进行动作控制，衬底处理装置1根据故障种类进行适当动作。

应对信息是表示与产生的警报对应的装置内应对信息163的文件名的字段。即，与成为警报产生原因的故障对应的装置内应对信息163相对应。因此，警报处理部122在故障产生时容易选择与该故障对应的装置内应对信息163。选择的装置内应对信息163通过警报处理部122与上述显示文本一起自动在显示部130显示。

更新日期是表示更新应对信息所示的装置内应对信息163的日期的字段。即，在更新日所示的日期的时刻中，应对信息中记述的装置内应对信息163是最新信息。关于从衬底处理装置1引进时预先存储的、而且完全未更新的文件，可以记载或不记载该衬底处理装置1的出厂日期时间和引进日期时间等。

应对信息取得部128经网络6从支持计算机3取得最新应对信息363。取得时，向支持计算机3发送规定的请求命令。从应对信息取得部128发送的请求命令由支持计算机3的应对信息提供部324接收。应对信息提供部324根据接收的请求命令选择最新应对信息363并发送到衬底处理装置1。

由此，应对信息取得部128可取得最新应对信息363。应对信息取得部128写入并保存装置内应对信息163中对该文件取得的最新应对信息363。这样，装置内应对信息163的内容更新为最新的信息。

接着说明衬底处理装置1产生故障时衬底处理系统10的处理内容。图13是表示第二实施例的衬底处理系统10的处理流程的图。图13中衬底处理装置1的处理在右侧，支持计算机3的处理在左侧。向下表示时间的经过。

首先，衬底处理装置1的某一处理单元110中产生故障时，该处理单元110的警报产生部117产生具有与故障对应的识别代码的警报并发送到系统控制部100(步骤T11)。

发送的警报由警报处理部122接收，进行对应于识别代码的动作控制。即，参考警报定义文件461，根据系统控制代码进行停止衬底处理装置1的运转等的动作控制(步骤T12)。

接着，警报处理部122参考警报定义文件161的应对信息，选择与该故障对应的装置内应对信息163。并且与警报定义文件161的显示文本一起在显示部130显示选择的装置内应对信息163的内容(步骤T13)。由此，衬底处理装置1的操作员把握产生的故障的具体内容的同时还把握该故障的具体对策。

警报定义文件161的更新日期的内容也同时显示在显示部130中。由此，操作员把握显示其内容的装置内应对信息163的更新的日期时间，判断其内容的可靠性。即，如果已从更新日期经过了时间的话，可判断为有可能已将新的应对信息存储在支持计算机3中。

显示部130中显示询问是否取得最新的应对信息的消息(步骤T14)。操作员确认显示部130中显示的装置内应对信息163的内容和更新日期等后，经操作部140输入可否取得最新的应对信息。此时，选择为不能由操作员取得的情况下(步骤T14为否)，不进行下面说明的最新应对信息363的取得处理，仅通过装置内应对信息163应对故障。

另一方面，选择为由操作员可取得最新的应对信息的情况下(步骤T14为是)，警报处理部122对应对信息取得部128指示取得最新应对信息363。通过警报处理部122的指示，应对信息取得部128取得最新应对信息363，从而对支持计算机3发送规定的请求命令(步骤T15)。该请求命令由支持计算机3的应对信息提供部324接收(步骤T31)。

请求命令中附加衬底处理装置1自身的识别信息、产生故障的处理单元110的识别信息、衬底处理装置1存储的程序的版本信息、产生的警报的识别代码的各信息。程序的版本信息可包含系统控制用程序和单元控制用程序二者的版本信息。这些信息通过应对信息取得部128的处理附加于请求命令。

应对信息提供部324通过附加于请求命令的各信息选择应发送的最新应对信息363。选择的最新应对信息363由应对信息提供部324发送到衬底处理装置1(步骤T32)，由应对信息取得部128接收(步骤T16)。通过这种处理，应对信息取得部128可选择地仅取得作为产生的警报的产生原因的故障的最新应对信息363。与此同时，限制接收的最新应对信息363的数据容量，可高速接收。

应对信息取得部128对成为旧信息的装置内应对信息163(步骤T12选择的装置内应对信息163)再写入接收的最新应对信息363，存储在存储部104中。在取得最新应对信息363的时刻的日期中改写并更新警报定义文件161的更新日。此外，将警报定义文件161的应对信息更新为取得的最新应对信息363的文件名。这样，取得的最新应对信息363作为装置内应对信息163与警报对应并存储(步骤T17)。即，最新应对信息363与引进时预先存在的应对信息同样存储在存储部104中，警报定义文件161也对应于此更新。因此，追加的应对信息也作为故障的应对信息进行一元化管理，可与以前存在的应对信息同样进行处理。

接着，应对信息取得部128向警报处理部122通知取得最新应对信息363，接收该通知后警报处理部122再次参考警报定义文件161，在显示部130显示取得的最新应对信息363(步骤T18)。由此，操作员可阅览最新的应对信息，可对故障适当应对。

根据以上那样，经网络即刻从存储追加信息的支持计算机3取得最新应对信息363，因此衬底处理装置1产生故障时可进行适当对应。追加的应对信息与预先存储的应对信息一起进行一元化管理，可同样进行处理。

第二实施例不限于上述。例如，第二实施例中仅在向操作员询问可否取得应对信息并选择取得的情况下，取得最新应对信息363，但不对操作员进行询问，可自动取得最新应对信息363。即，可不进行图13所示的步骤T13和T14的处理。据此，衬底处理装置1中，故障产生时可自动取得最新应对信息363，可总是阅览最新的应对信息。

上述实施例中，应对信息163作为独立的文件分别存储，由警报定义文件461间接对应警告信号(警报)，但在警报定义文件461的应对信息字段等中记载其内容，直接对应警告信号。即，可对应警告信号和作为该警告信号的产生原因的故障的应对信息。

上述实施例中，取得最新应对信息363时发送的请求命令中附加衬底处理装置1的识别信息、处理单元110的识别信息、程序的版本信息、警报的识别代码的各信息，但不限于此。例如，为唯一地导出衬底处理装置1的识别信息、处理单元110的识别信息、程序的版本信息、警报的识别代码的信息，可构成应对信息的文件名，则仅向请求命令附加文件名，可选择取得适当的最新应对信息363。

上述实施例中，作为追加信息仅从支持计算机3取得应对信息363，但只要是与衬底处理装置的规格相关的信息、与操作方法相关的信息、与衬底处理方法相关的信息等的衬底处理装置1的追加信息，可以是任何信息。

<3.第三实施例>

第三实施例的衬底处理系统10的简要构成与图1所示相同，但第三实施例的衬底处理系统10中，在衬底处理装置1中安装的软件模块的版本信息存储在信息存储服务器2上，存储的版本信息经网络6可在支持计算机3中阅览。

衬底处理装置1的结构与第一实施例的图2和图3中说明的一样。其中第三实施例的系统控制部100的存储部104中存储作为装置整体的系统控制用程序的软件模块。通过系统控制部100的CPU101执行根据该软件模块的运算处理，实现作为衬底处理装置1的整体的动作控制和数据处理。单元控制部115的存储部114中存储作为对应该处理单元110的衬底处理部116的处理内容的单元控制用程序的软件模块。通过单元控制部115的CPU111执行根据该软件模块的运算处理，实现衬底处理部116的动作控制和数据处理。

即，衬底处理装置1上安装的控制用程序分割为几个软件模块并存储在系统控制部100的存储部104或单元控制部115的存储部114中，所谓软件模块是这种衬底处理装置1的控制用软件的分割体。

这些软件模块经读取装置150从记录媒体91读出，从规定的服务器存储装置等经网络6的下载来取得和更新。

衬底处理工厂4中配置的信息存储服务器2和支持中心5配置的支持计算机3的构成与第一实施例的图4说明的同样。

接着说明衬底处理系统10的功能和处理内容。图14是表示第三实施例的衬底处理系统10的功能结构的概要的框图。图15是表示第三实施例的衬底处理系统10的处理程序的流程图。图14中，版本信息送出部129是通过系统控制部100的CPU101执行处理程序实现的处理部，版本信息登录部231、邮件发送部232、匹配性确认部235和信息公开部236是通过信息存储服务器2的CPU21执行处理程序分别实现的处理部，邮件接收部311和WEB浏览器312是通过信息存储服务器2的CPU21执行处理程序分别实现的处理部。

首先，图15的步骤S1中，在衬底处理装置1上安装软件模块178。如上所述，软件模块178是衬底处理装置1的控制用软件的分割体，安装在衬底处理装置1的系统控制部100和/或单元控制部115上。更具体说，软件模块178的安装经衬底处理装置1的读取装置50进行，系统控制部100上安装的软件模块178存储在存储部104中，单元控制部115中安装的软件模块178存储在存储部114中。

这里，本实施例的软件模块178的安装中，除新引进软件模块178的情况之外，也包含更新(版本升级)已经安装的软件模块178的情况。软件模块178的安装也可针对1台衬底处理装置1上包含的全部系统控制部100和单元控制部115一起进行，也可针对这些中的一个(单个或多个)进行。

至少系统控制部100或单元控制部115之一上安装软件模块178时，版本信息送出部129汇集版本信息并送出到信息存储服务器2(步骤S2)。即系统控制部100上安装软件模块178时，版本信息送出部129直接识别安装。在单元控制部115中安装软件模块178时，接收到来自单元控制部115的自我申报的版本信息送出部129识别安装。并且，某衬底处理装置1中，识别至少系统控制部100或单元控制部115之一上安装软件模块178的版本信息送出部129在该时刻汇集该衬底处理装置1上包含的系统控制部100和全部单元控制部115上安装的软件模块的版本信息，送出到信息存储服务器2的版本信息登录部231。

接收送出的版本信息登录部231在固定盘24中登录上述衬底处理装置1上包含的系统控制部100和全部单元控制部115上安装的软件模块的版本信息(步骤S3)。固定盘24内作为版本管理表241存储对于各个衬底处理装置1的版本信息。

图16是表示版本管理表241的一例的图。该图中，装置表示衬底处理装置1上附加的识别序号，系统版本表示衬底处理装置1安装的系统整体的版本，安装日期时间表示至少在系统控制部100或单元控制部115之一上安装软件模块178的日期时间。分类表示安装的软件模块178的种类，版本区分表示安装的软件模块178是标准规格还是特殊规格，版本表示安装的软件模块178的版本信息。

如图16所示，在版本管理表241上对在衬底处理工厂4中配置的每个衬底处理装置1登录版本信息。例如，对于装置序号为8101的衬底处理装置1，作为系统版本1.00记录在2001年4月12日进行软件模块178的安装。并且作为装置序号为8101的衬底处理装置1的系统控制部100中安装的软件模块178(分类为系统控制)的版本信息，登录该软件模块178的版本为1.0.0.1。另外，还登录该软件模块178的版本区分为标准。

作为装置序号为8101的衬底处理装置1的单元控制部115上安装的软件模块178(分类为自旋控制、药液控制等)的版本信息登录该软件模块178的版本分别为1.1.0.1、1.0.0.3。此外，该软件模块178的版本区分登录为标准、特殊E。

同样，对于装置序号为8100的衬底处理装置1，作为系统版本1.00记录在2001年4月12日进行软件模块178的安装，同时作为其后的系统版本1.10登录在2001年4月20日安装软件模块178。即，版本管理表241中对该时刻的每个衬底处理装置1登录版本信息，而且还记录过去的版本履历。换句话说，本实施例的固定盘24具有用作存储系统控制部100和单元控制部115上安装的软件模块178的版本信息的版本信息存储部件的功能。

图16所示的版本管理表241在向衬底处理装置1上安装软件模块178时，作为存储在该时刻的系统控制部100和全部单元控制部115上安装的软件模块178的版本信息的结果构成。例如，对于装置序号为8101的衬底处理装置1，在2001年4月12日将用于药液控制的新的软件模块(版本为1.0.03)安装在单元控制部115上时，在4月12日这一时刻装置序号为8101的衬底处理装置1上包含的系统控制部100和全部单元控制部115上安装的软件模块178的版本信息存储在固定盘24中，并且如图16所示构成版本管理表241。

另一方面，版本信息登录部231在固定盘24中登录软件模块178的版本信息的同时，将该登录传递到邮件发送部232。识别出软件模块178的版本信息登录在固定盘24的邮件发送部232经网络6将记载了登录新版本的电子邮件发送到支持中心5的支持计算机3中(图15的步骤S4)。支持计算机3的邮件接收部311接收与新版本登录相关的电子邮件，使得支持中心5的负责人从支持计算机3可获知衬底处理装置1上安装的软件模块178。

接着进行到图15的步骤S5，信息存储服务器2的匹配性确认部235对新安装的软件模块178的匹配性作检查。更正确地说，系统控制部100或单元控制部115上安装软件模块178时，参考固定盘24上存储的系统控制部100和单元控制部115上安装的软件模块178的版本信息，在该时刻(就在安装后)由匹配性确认部235确认系统控制部100和单元控制部115上各自安装的软件模块178的相互匹配性。软件模块178的一部分进行更新时，该安装的软件模块178和系统控制部100以及单元控制部115上已经安装了的软件模块178的相互匹配性由匹配性确认部235确认。对该确认方法作具体说明。

某衬底处理装置1的系统控制部100或单元控制部115上安装软件模块178时，该时刻(就在安装后)由匹配性确认部235可参考版本管理表241就系统控制部100和单元控制部115上安装的软件模块178的版本信息进行识别。例如，装置序号为8101的衬底处理装置1的单元控制部115上安装分类为药液控制的新的软件模块(版本为1.0.0.3)时，匹配性确认部235参考图16的版本管理表241在该时刻识别系统控制部100上安装的软件模块178(分类为系统控制)的版本信息是版本1.0.0.1，识别在单元控制部115上安装的软件模块178(分类为自旋控制、药液控制等)的版本信息分别为版本1.1.0.1、版本1.0.0.3。

信息存储服务器2的固定盘24上存储确认表242。图17是表示确认表242的一例的图。图中，系统版本、分类、版本区分、版本的意思与图16说明的相同。释放信息是对各系统版本的注解文字。对每个系统版本准备确认表242，图17中表示出对于系统版本1.00的确认表242。

确认表242是登录彼此具有匹配性的软件模块178的版本信息的匹配性确认表，固定盘24用作保持这种匹配性确认表的表保持部件的功能。根据图17的确认表242，系统版本1.00中，对于分类为系统控制的软件模块178(版本为1.0.0.1)，确认分类为自旋控制的软件模块178(版本为1.1.0.1、1.1.0.2)和分类为药液控制的软件模块178(版本为1.0.0.3)等相互具有匹配性。同时，这些也对分类为系统控制的软件模块178(版本为1.0.0.2)相互具有匹配性。即，某衬底处理装置1的系统控制部100和单元控制部115上安装的软件模块178的版本信息全部登录在确认表242中，则它们彼此之间具有匹配性。

这种确认表242由衬底处理装置1的制造商制作并分配，本实施例中，从支持中心5的支持计算机3经网络6配送到衬底处理工厂4的信息存储服务器2中。

匹配性确认部235在某衬底处理装置1的系统控制部100或单元控制部115上安装软件模块178时，通过参考版本管理表241确认是否将识别的系统控制部100和单元控制部115上安装的软件模块178的全部版本信息登录在图17所示的确认表242中。其结果，在系统控制部100和单元控制部115上各自安装的软件模块178的版本信息全部登录在确认表242的情况下，判断为具有匹配性，即便是1个未登录在确认表242中的情况也判断为没有匹配性(图15的步骤S6)。

例如，上述的装置序号为8101的衬底处理装置1的单元控制部115上安装用于分类为药液控制的新的软件模块(版本为1.0.0.3)的例子中，该衬底处理装置1的系统控制部100上安装的软件模块178(分类为系统控制)的版本信息是版本1.0.0.1，单元控制部115上安装的软件模块178(分类为自旋控制、药液控制等)的版本信息分别为版本1.1.0.1、版本1.0.0.3等(图16)。这些版本信息全部登录在图17的确认表242(系统版本为1.00)中，因此匹配性确认部235判断为新安装的软件模块178(分类为药液控制、版本为1.0.0.3)与系统控制部100或单元控制部115上已经安装了的软件模块178匹配。

如上述例子，判断为有匹配性的情况下，随着新软件模块178的安装，结束一连串的处理。另一方面，匹配性确认部235有时判断为没有匹配性。

例如，在装置序号为8101的衬底处理装置1的单元控制部115上安装分类为药液控制的新软件模块(版本区分为特殊F、版本为1.0.0.4)。此时，与上述相同，在安装时刻，装置序号为8101的衬底处理装置1中包含的系统控制部100和全部单元控制部115上安装的软件模块178的版本信息存储在固定盘24中并构成图18所示的版本管理表241。

此时，匹配性确认部235通过参考图18的版本管理表241识别系统控制部100上安装的软件模块178(分类为系统控制)的版本信息是版本1.0.0.1，单元控制部115上安装的软件模块178(分类为自旋控制，药液控制等)的版本信息分别为版本1.1.0.1、版本1.0.0.4等。并且，匹配性确认部235由于这些版本信息中在单元控制部115上安装的软件模块178(分类为药液控制)的版本1.0.0.4未登录在图17的确认表242(系统版本为1.00)中，判断为新安装的软件模块178与系统控制部100或单元控制部115上已经安装了的软件模块178不具有匹配性。

这样，匹配性确认部235判断为没有匹配性的情况下，向邮件发送部232传递该消息，将记载不匹配通知的电子邮件经网络6发送到支持中心5的支持计算机3中(图15的步骤S7)。支持计算机3的邮件接收部311接收记载不匹配通知的电子邮件，使得支持中心5的负责人识别出衬底处理装置1上安装的软件模块178不匹配。

此时，支持中心5的负责人使用WEB浏览器312进行版本信息的确认(图15的步骤S8)。即，信息存储服务器2的固定盘24上存储的版本管理表241通过信息公开部236经网络6可阅览地公开。支持中心5的负责人使用WEB浏览器312阅览固定盘24上存储的版本管理表241，确认衬底处理装置1上安装的软件模块178的版本信息。并且，支持中心5的负责人见到不匹配的软件模块178，通过电子邮件等就其和衬底处理工厂4的操作员和区域掌管的负责人联络，消除不匹配。

根据以上，某衬底处理装置1的系统控制部100或单元控制部115上安装软件模块178时，在该时刻确认系统控制部100和单元控制部115上各自安装的软件模块的相互匹配性，因此可将软件模块之间的不匹配引起的故障(衬底处理装置1的误动作和停止等)防患于未然。一部分的软件模块178被更新时，确认该新安装的软件模块178和系统控制部100与单元控制部115上已经安装了的软件模块178的匹配性，从而可将软件模块之间的不匹配引起的故障防患于未然。

不管软件模块178有无匹配性，某衬底处理装置1上包含的系统控制部100和单元控制部115上安装的全部软件模块178的版本信息作为版本管理表241存储，经网络6可阅览地对其公开，从而可从支持中心5侧迅速正确地把握衬底处理装置1上安装的软件模块178的版本信息，在故障产生时也可高效地进行分析。

第三实施例不限于上述。例如，在第三实施例中，不限于信息存储服务器2配置在衬底处理工厂4中，只要连接于网络6可与衬底处理装置1和支持计算机3通信，配置在哪里都可以。

第三实施例中，从支持计算机3配送确认表242并存储在信息存储服务器2的固定盘24中，但确认表242也可存储在支持计算机3的固定盘34中。图19是表示将确认表242存储在支持计算机3的固定盘34中时衬底处理系统10的功能结构的功能框图。此时，并非衬底处理装置1的制造商分配制作的确认表242，而是存储在支持计算机3的固定盘34中，经网络6可阅览地公开。信息存储服务器2的匹配性确认部235经由网络6参考确认表242并检查上述的软件模块178的匹配性。另外，除此以外与上述实施例相同。这样，得到与上述实施例相同的效果。

使衬底处理装置1具有信息存储服务器2的处理功能。图20是表示使衬底处理装置1具有信息存储服务器2的处理功能时衬底处理系统10的功能结构的功能框图。图中，关于与图14相同的功能的部分，加上相同的符号。图20中，版本信息送出部129、版本信息登录部131、邮件发送部132、匹配性确认部135和信息公开部136是通过系统控制部100的CPU101执行处理程序(软件模块)实现的处理部。

如图20所示的情况下，系统控制部100的存储部104中除软件模块178外还存储版本管理表241和确认表242。并且，系统控制部100的版本信息登录部131、邮件发送部132、匹配性确认部135和信息公开部136分别和上述实施例的信息存储服务器2的版本信息登录部231、邮件发送部232、匹配性确认部235和信息公开部236相同的功能，进行同样处理。这样，得到与上述实施例相同的效果。

即，总结本发明的技术内容，某衬底处理装置1的系统控制部100或单元控制部115上安装软件模块178时，该时刻存储系统控制部100和单元控制部115上各自安装的软件模块178的版本信息来构成版本管理表241，同时如果是参考登录相互具有匹配性的软件模块178的版本信息的确认表242，从版本管理表241确认系统控制部100和单元控制部115上各自安装的软件模块178相互之间的匹配性的状态，则可在衬底处理装置1、信息存储服务器2、支持计算机3之一中执行各处理。匹配性确认作业自身也可由通过电子邮件获得新版本登录通知的支持中心5的负责人来进行。

另外，上述各实施例的衬底处理装置1对衬底进行抗蚀剂的涂布处理和显影处理，但不限于此，例如如果是可通过照射光加热衬底的灯退火装置、旋转衬底进行去除粒子的清洗处理的清洗处理装置、将衬底浸渍在氟酸等处理液中进行表面处理的浸渍处理装置等对衬底进行规定处理的衬底处理装置，则无论是哪种装置，都可采用本发明的技术。

Claims (29)

1.一种衬底处理装置，可经网络通信，其特征在于，具有对上述网络送出该衬底处理装置的装置信息的装置信息送出部件。

2.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于，还具有将关于运转的时间系列信息作为运转信息记录的运转信息记录部件，上述装置信息包括上述运转信息。

3.根据权利要求2所述的衬底处理装置，其特征在于，还具有产生故障时产生警告信号的警告部件，上述装置信息提供部件在产生上述警告信号时存储上述装置信息。

4.根据权利要求3所述的衬底处理装置，其特征在于，还具有从上述运转信息提取与产生的上述警告信号的产生原因相关的故障关联运转信息的提取部件，上述装置信息包含上述故障相关运转信息。

5.根据权利要求4所述的衬底处理装置，其特征在于，该具有存储使上述警告信号和上述故障关联运转信息对应的表的存储部件。

6.根据权利要求5所述的衬底处理装置，其特征在于，上述运转信息包含关于衬底的处理工序的时间系列信息。

7.根据权利要求6所述的衬底处理装置，其特征在于，还具有在产生上述警告信号时与该警告信号对应的上述故障关联运转信息相关地生成关于上述故障的故障信息的故障信息生成部件，上述装置信息包括上述故障信息。

8.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于，还包括上述衬底处理装置产生故障时产生警告信号的警告部件和产生上述警告信号时生成与上述故障有关的故障信息的故障信息生成部件，上述装置信息包含上述故障信息。

9.根据权利要求8所述的衬底处理装置，其特征在于，还具有在产生上述警告信号时经上述网络向外部计算机通知产生上述故障的通知部件。

10.根据权利要求9所述的衬底处理装置，其特征在于，还具有基于上述装置信息取得上述故障的应对信息的应对信息取得部件。

11.一种衬底处理系统，将具有对衬底进行规定处理的处理单元和控制装置整体的系统控制部以及分别控制上述处理单元的单元控制部的衬底处理装置和计算机经网络结合，其特征在于，具有：

在上述系统控制部或上述单元控制部上安装软件模块时，在该时刻确认上述系统控制部和上述单元控制部上各自安装的软件模块的匹配性的匹配性确认部件。

12.根据权利要求11所述的衬底处理系统，其特征在于，上述匹配性确认部件在向上述系统控制部或上述单元控制部上安装软件模块时，在该时刻根据上述系统控制部或上述单元控制部上各自安装的软件模块的版本信息确认匹配性。

13.根据权利要求12所述的衬底处理系统，其特征在于，还具有上述系统控制部或上述单元控制部上安装软件模块时，在该时刻存储上述系统控制部或上述单元控制部上各自安装的软件模块的版本信息的版本信息存储部件。

14.根据权利要求13所述的衬底处理系统，其特征在于，还具有保持登录相互具有匹配性的软件模块的版本信息的匹配性确认表的表保持部件，上述匹配性确认部件在上述版本信息存储部件上存储的上述系统控制部和上述单元控制部上各自安装的软件模块的版本信息全部登录在上述匹配性确认表中时确认为有匹配性，此外的情况下确认为不具有匹配性。

15.根据权利要求14所述的衬底处理系统，其特征在于，还具有上述匹配性确认部件确认为无匹配性时经上述网络向上述计算机通知不匹配的通知部件。

16.一种管理衬底处理装置的衬底处理装置管理方法，该衬底处理装置中具有对衬底进行规定处理的处理单元和控制装置整体的系统控制部以及分别控制上述处理单元的单元控制部，其特征在于，

包括在上述系统控制部或上述单元控制部上安装软件模块时，在该时刻确认上述系统控制部和上述单元控制部上各自安装的软件模块的匹配性的工序。

17.根据权利要求16所述的衬底处理装置管理方法，其特征在于，上述匹配性确认根据上述系统控制部或上述单元控制部上各自安装的软件模块的版本信息进行。

18.一种衬底处理装置，具有对衬底进行规定处理的处理单元和控制装置整体的系统控制部以及分别控制上述处理单元的单元控制部，其特征在于，

包括在上述系统控制部或上述单元控制部上安装软件模块时，在该时刻确认在上述系统控制部和上述单元控制部上各自安装的软件模块的匹配性的匹配性确认部件。

19.根据权利要求18所述的衬底处理装置，其特征在于，上述匹配性确认部件在上述系统控制部和上述单元控制部上安装软件模块时，在该时刻根据在上述系统控制部和上述单元控制部上各自安装的软件模块的版本信息确认匹配性。

20.根据权利要求19所述的衬底处理装置，其特征在于，还具有在上述系统控制部或上述单元控制部上安装软件模块时，在该时刻存储在上述系统控制部和上述单元控制部上各自安装的软件模块的版本信息的版本信息存储部件。

21.根据权利要求20所述的衬底处理装置，其特征在于，还具有保持登录相互具有匹配性的软件模块的版本信息的匹配性确认表的表保持部件，上述匹配性确认部件在上述版本信息存储部件上存储的上述系统控制部和上述单元控制部上各自安装的软件模块的版本信息全部登录在上述匹配性确认表中时确认为有匹配性，此外的情况下确认为不具有匹配性。

22.一种衬底处理装置，具有对衬底进行规定处理的处理单元和控制装置整体的系统控制部以及分别控制上述处理单元的单元控制部，其特征在于，

上述系统控制部在上述系统控制部或上述单元控制部上安装软件模块时，在该时刻送出在上述系统控制部和上述单元控制部上安装的软件模块的版本信息。

23.一种可经网络通信的衬底处理装置，其特征在于，具有经上述网络从存储作为与上述衬底处理装置有关的信息、且追加地存储由上述衬底处理装置的销售商提供的追加信息的装置取得上述追加信息的追加信息取得部件。

24.根据权利要求23所述的衬底处理装置，其特征在于，还具有存储上述追加信息取得部件取得的上述追加信息的追加信息存储部件。

25.根据权利要求24所述的衬底处理装置，其特征在于，上述追加信息包含该衬底处理装置的故障的应对信息。

26.根据权利要求25所述的衬底处理装置，其特征在于，还具有上述衬底处理装置产生故障时产生警告信号的警告部件和存储对应上述警告信号和作为该警告信号的产生原因的故障的应对信息的表的表存储部件。

27.根据权利要求26所述的衬底处理装置，其特征在于，上述追加信息取得部件有选择地取得作为产生的上述警告信号的产生原因的故障的应对信息。

28.根据权利要求27所述的衬底处理装置，其特征在于，还具有在产生上述警告信号时显示作为该警告信号的产生原因的故障的应对信息的显示部件。

29.一种取得与衬底处理装置相关联而追加的追加信息的方法，其特征在于，包括下面的工序：

存储上述追加信息的追加信息存储工序；

经网络取得存储的上述追加信息的追加信息取得工序。

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