JP2008021835A - 基板処理装置の管理システム - Google Patents

Abstract

【課題】アラームの発生の通知を迅速かつ確実に行うことができる基板処理装置の管理システムを提供する。
【解決手段】アラーム発生部４０２は、基板処理装置１０の状態を監視し、基板処理装置１０に異常が発生した場合にはアラームを発生させる。メール生成部４０６は、アラーム発生部４０２からアラームを受け付け、当該アラームを含む内容のメール本体を生成し、後述する宛先記憶部４０８に記憶されている宛先を参照して当該宛先データを含むヘッダを生成し、当該メール本体と当該ヘッダとを含む電子メールをメール配信部４１０に対して出力する。メール配信部４１０は、メール生成部４０６により生成された電子メールを、インターネットなどを介して電子メールを送信するための手順に基づいてオペレータ用受信装置以外の受信装置に配信する。
【選択図】図４

Description

本発明は、半導体基板やガラス基板等を処理する基板処理装置の管理システムに関する。

一般に、半導体製造の分野では、例えば化学気相成長（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：ＣＶＤ）処理によって、半導体基板に膜を形成する装置が用いられている。この種の基板処理装置は、加熱炉にシリコンウェハ等の基板を収容し、加熱炉内を所定の温度に加熱しつつ反応ガスを供給して、基板上に薄膜を形成する。このような基板処理装置においては、消耗部品の警告アラームや装置異常を知らせるアラームを顧客に通知することは必須である。

しかしながら、通知する相手は、装置のオペレータ又は顧客のホストオペレータに限定されていることが多い。このため、オペレータが、関係者への通知を行う余裕がない場合、又はアラームの対処のために通知を行わなかった場合、被害が拡大してしまうことが考えられる。

本発明は、アラームの発生の通知を迅速かつ確実に行うことができる基板処理装置の管理システムを提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明に係る基板処理装置の管理システムは、基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置の消耗部品の警告アラームあるいは装置異常を知らせるアラームを発生させるアラーム発生手段と、前記アラーム発生手段によるアラームの発生を知らせる電子メールを生成する電子メール生成手段と、前記電子メール生成手段により生成された電子メールをオペレータ用受信装置以外の受信装置に配信する配信手段とを有する。

好適には、前記オペレータ用受信装置は、オペレーションパネル、オペレータ専用パーソナルコンピュータ及びホストコンピュータの少なくともいずれかであり、前記オペレータ用受信装置以外の受信装置は、オペレータ専用パーソナルコンピュータ以外の汎用パーソナルコンピュータ及びインターネット端末装置の少なくともいずれかである。

また、好適には、前記インターネット端末装置は、パーソナルコンピュータ、及び携帯電話、ＰＨＳ等の移動端末装置の少なくともいずれかである。

本発明に係る基板処理装置の管理システムによれば、アラームの発生の通知を迅速かつ確実に行うことができる。

図１は、本発明の実施形態に係る基板処理装置の管理システム１の構成を示す図である。
図１に示すように、基板処理装置の管理システム１は、後述する基板処理装置本体１２及びその制御装置１４を含む基板処理装置１０と、作業者装置（オペレータ専用パーソナルコンピュータ；以下、単にＰＣともいう）１６と、ホスト装置（ホストコンピュータ）１８と、端末装置（オペレータ専用ＰＣ以外の汎用ＰＣ）２０−１〜２０−ｎと、ゲートウェイ２２と、ファイアウォール２４と、移動端末装置２６と、端末装置２８とを含む。基板処理装置１０と、作業者装置１６と、ホスト装置１８と、端末装置２０−１〜２０−ｎは、ＬＡＮ等のネットワーク２を介して接続されている。移動端末装置２６と端末装置２８とは、例えばインターネットにより実現されるネットワーク３を介して接続されている。なお、以下、これらのコンピュータなどを総称して、ノードとも記す。また、端末装置２０−１〜２０−ｎなど、複数ある構成部分のいずれかを特定せずに示すときには、単に端末装置２０などと略記することがある。

基板処理装置１０は、基板処理装置本体１２において、加熱炉内の基板に対して所定の基板処理を行う。具体的には、基板処理装置１０は、加熱炉内に処理対象の基板を収納し、ヒータによって加熱炉内を所定の温度に加熱し、加熱炉内に所定のガスを流し、場合によっては、加熱炉内の圧力を調整し、基板を保持するボートを回転させることにより、基板の拡散、アニールあるいはＣＶＤ処理を行う。

基板処理装置１０の制御装置１４は、制御装置１４に設けられた入力装置又は作業者装置１６を介して作業者（オペレータ）からの指示を受け付けて、当該指示に基づいて基板処理装置本体１２を制御する。また、制御装置１４は、基板処理装置本体１２の状態を監視し、当該状態を作業者装置１６及びホスト装置１８に送信する。特に、制御装置１４は、基板処理装置１０に含まれる消耗部品の状況、及び基板処理装置１０に発生した異常の状況を作業者装置１６及びホスト装置１８に送信する。この場合、制御装置１４は、例えば半導体業界標準高速ＳＥＣＳメッセージサービス（ＨＳＭＳ）等、所定の手順に基づいてネットワーク２を介してこれらの装置とデータの送信及び受信を行う。

さらに、制御装置１４は、基板処理装置１０の消耗部品の警告アラームあるいは装置異常を知らせるアラームを発生させ、当該アラームの発生を知らせる電子メールを生成し、当該電子メールをオペレータ用受信装置以外の受信装置に配信する。ここで、オペレータ用受信装置は、制御装置１４の後述する表示・入力装置３８（オペレーションパネル）、作業者装置１６（オペレータ専用ＰＣ）及びホスト装置１８（ホストコンピュータ）の少なくともいずれかである。また、オペレータ用受信装置以外の受信装置は、作業者装置１６以外の端末装置２０（汎用ＰＣ）及びインターネット端末装置としての移動端末装置２６及び端末装置２８の少なくともいずれかである。なお、アラームの発生を知らせる電子メールは、作業者装置１６やホスト装置１８にて生成し、配信するようにしてもよい。

作業者装置１６は、作業者が基板処理装置１０を操作し、基板処理装置１０の状態を認識するためのものである。ホスト装置１８は、基板処理装置１０の状態を認識するためのものである。端末装置２０は、例えば汎用のＰＣである。制御装置１４、作業者装置１６、ホスト装置１８及び端末装置２０は、例えばＴＣＰ／ＩＰなど、インターネット又はイントラネットで用いられる所定のプロトコル仕様に基づいて、ネットワーク２を介してデータの送受信を行う。

ゲートウェイ２２は、基板処理装置１０が接続されたネットワーク２と、このネットワーク２とは異なるネットワークとの間に設けられた例えばルータなどの装置であって、ネットワーク２から外部へ送信されるデータ及び外部からネットワーク２へ送信されるデータを中継する。ファイアウォール２４は、外部からネットワーク２への不正な侵入を防ぐ装置であって、ネットワーク２と外部のネットワーク（例えば、ネットワーク３）との間を流れるデータを監視する。

インターネット端末装置としての移動端末装置２６は、例えば、携帯電話、ＰＨＳ（Personal Handyphone System）、ＰＤＡ（Personal Digital Assistants）であり、ネットワーク３を介して、所定のデータの送信及び受信を行う。例えば、移動端末装置２６は、ネットワーク３を介して、電子メールの送信及び受信を行う。インターネット端末装置としての端末装置２８は、例えば汎用のＰＣであり、移動端末装置２６と同様にデータの送受信を行う。ユーザは、移動端末装置２６又は端末装置２８を用いて、電子メールの作成及び閲覧を行う。

次に、本発明の実施形態に係る基板処理装置の管理システム１の基板処理装置本体１２を説明する。
図２は、処理炉２０２を中心として基板処理装置本体１２の構成を示す縦断面図である。
図２に示すように、処理炉２０２は、加熱機構としてのヒータ２０６を有する。ヒータ２０６は円筒形状であり、保持板としてのヒータベース２５１に支持されることにより垂直に据え付けられている。

ヒータ２０６の内側には、反応管としてのプロセスチューブ２０３が、ヒータ２０６と同心円状に配設されている。プロセスチューブ２０３は、内部反応管としてのインナーチューブ２０４と、その外側に設けられた外部反応管としてのアウターチューブ２０５とから構成されている。インナーチューブ２０４は、例えば石英（ＳｉＯ_２ ）又は炭化シリコン（ＳｉＣ）等の耐熱性材料からなり、上端及び下端が開口した円筒形状に形成されている。インナーチューブ２０４の筒中空部には、処理室２０１が形成されており、基板としてのウエハ２００を後述するボート２１７によって水平姿勢で垂直方向に多段に整列した状態で収容可能に構成されている。アウターチューブ２０５は、例えば石英又は炭化シリコン等の耐熱性材料からなり、内径がインナーチューブ２０４の外径よりも大きく上端が閉塞し下端が開口した円筒形状に形成されており、インナーチューブ２０４と同心円状に設けられている。

アウターチューブ２０５の下方には、マニホールド２０９が、アウターチューブ２０５と同心円状に配設されている。マニホールド２０９は、例えばステンレス等からなり、上端及び下端が開口した円筒形状に形成されている。マニホールド２０９は、インナーチューブ２０４とアウターチューブ２０５に係合しており、これらを支持するように設けられている。なお、マニホールド２０９とアウターチューブ２０５との間には、シール部材としてのＯリング２２０ａが設けられている。マニホールド２０９がヒータベース２５１に支持されることにより、プロセスチューブ２０３は、垂直に据え付けられた状態となっている。反応容器は、プロセスチューブ２０３とマニホールド２０９により形成される。

後述するシールキャップ２１９には、ガス導入部としてのノズル２３０が処理室２０１内に連通するように接続されており、ノズル２３０にはガス供給管２３２が接続されている。ガス供給管２３２のノズル２３０との接続側と反対側である上流側には、ガス流量制御器としてのＭＦＣ（マスフローコントローラ）２４１を介して、図示しない処理ガス供給源や不活性ガス供給源が接続されている。ＭＦＣ２４１には、ガス流量制御部２３５が電気的に接続されており、ガス流量制御部２３５は、供給するガスの流量が所望の量となるよう所望のタイミングにて制御するように構成されている。

マニホールド２０９には、処理室２０１内の雰囲気を排気する排気管２３１が設けられている。排気管２３１は、インナーチューブ２０４とアウターチューブ２０５との隙間によって形成される筒状空間２５０の下端部に配置されており、筒状空間２５０に連通している。排気管２３１のマニホールド２０９との接続側と反対側である下流側には圧力検出器としての圧力センサ２４５及び圧力調整装置（ＡＰＣ）２４２を介して真空ポンプ等の真空排気装置（真空ポンプ）２４６が接続されており、処理室２０１内の圧力が所定の圧力（真空度）となるよう真空排気し得るように構成されている。圧力調整装置２４２及び圧力センサ２４５には、圧力制御部２３６が電気的に接続されており、圧力制御部２３６は、圧力センサ２４５により検出された圧力に基づいて圧力調整装置２４２により処理室２０１内の圧力が所望の圧力となるよう所望のタイミングにて制御するように構成されている。

マニホールド２０９の下方には、マニホールド２０９の下端開口を気密に閉塞可能な炉口蓋体としてのシールキャップ２１９が設けられている。シールキャップ２１９は、マニホールド２０９の下端に垂直方向下側から当接されるようになっている。シールキャップ２１９は、例えばステンレス等の金属からなり、円盤状に形成されている。シールキャップ２１９の上面には、マニホールド２０９の下端と当接するシール部材としてのＯリング２２０ｂが設けられる。シールキャップ２１９の処理室２０１と反対側には、ボートを回転させる回転機構２５４が設置されている。回転機構２５４の回転軸２５５は、シールキャップ２１９を貫通して、後述するボート２１７に接続されており、ボート２１７を回転させることでウエハ２００を回転させるように構成されている。シールキャップ２１９は、プロセスチューブ２０３の外部に垂直に設備された昇降機構としてのボートエレベータ１１５によって垂直方向に昇降されるように構成されており、これによりボート２１７を処理室２０１に対し搬入搬出することが可能となっている。回転機構２５４及びボートエレベータ１１５には、駆動制御部２３７が電気的に接続されており、所望の動作をするよう所望のタイミングにて制御するように構成されている。

基板保持具としてのボート２１７は、例えば石英や炭化珪素等の耐熱性材料からなり、複数枚のウエハ２００を水平姿勢でかつ互いに中心を揃えた状態で整列させて多段に保持するように構成されている。なおボート２１７の下部には、例えば石英や炭化珪素等の耐熱性材料からなる円板形状をした断熱部材としての断熱板２１６が水平姿勢で多段に複数枚配置されており、ヒータ２０６からの熱がマニホールド２０９側に伝わりにくくなるよう構成されている。

プロセスチューブ２０３内には、温度検出器としての温度センサ２６３が設置されている。ヒータ２０６と温度センサ２６３には、電気的に温度制御部２３８が接続されており、温度センサ２６３により検出された温度情報に基づきヒータ２０６への通電具合を調整することにより処理室２０１内の温度が所望の温度分布となるよう所望のタイミングにて制御するように構成されている。

ガス流量制御部２３５、圧力制御部２３６、駆動制御部２３７、温度制御部２３８は、操作部、入出力部をも構成し、基板処理装置１０全体を制御する主制御部２３９に電気的に接続されている。これら、ガス流量制御部２３５、圧力制御部２３６、駆動制御部２３７、温度制御部２３８、主制御部２３９はコントローラ２４０として構成されている。なお、コントローラ２４０は、制御装置１４に含まれている。

図３は、本発明の実施形態に係る基板処理装置本体１２の制御装置１４のハードウェア構成を示す図である。
図３に示すように、制御装置１４は、ＣＰＵ３２及びメモリ３４などを含む制御装置本体３０と、通信装置３６と、例えばハードディスクドライブなどの記憶装置４６と、電源４２とを有する。ＣＰＵ３２は、メモリ３４にロードされた後述するプログラムを実行し、基板処理装置本体１２の制御を行う。メモリ３４は、ＣＰＵ３２により実行されるプログラム及び記憶装置４６に記憶されている情報を格納する。通信装置３６は、ネットワークを２介して他のノードとデータの送受信を行う。表示・入力装置３８は、作業者が基板処理装置本体１２に対して必要な操作をするために用いられる。また、表示・入力装置３８は、所定の情報をディスプレイ等の表示装置に表示して、いわゆるオペレーションパネルとして機能する。電源４２は、制御装置１４の構成要素に対して電力を供給する。このように、制御装置１４は、一般的なコンピュータとしての構成部分を含んでいる。

また、制御装置１４は、前述したコントローラ２４０を介して基板処理装置本体１２を制御する。なお、プログラムは、通信装置３６を介して供給されてもよいし、ＦＤ、ＣＤ又はＤＶＤなどの記録媒体４４を介して供給されてもよい。また、作業者装置１６、端末装置２０、２８、ホスト装置１８及び移動端末装置２６もまた、同様のハードウェア構成を有する。

図４は、制御装置１４上で動作するアラーム制御プログラム４０の構成を示す図である。
図４に示すように、アラーム制御プログラム４０は、基板処理制御部４００、アラーム発生部４０２、通信部４０４、メール生成部４０６、宛先記憶部４０８及びメール配信部４１０を有する。アラーム制御プログラム４０は、例えば、通信装置３６又は記録媒体４４を介して制御装置１４に供給され、メモリ３４にロードされて、図示しないＯＳ上でＣＰＵ３２により実行される。

アラーム制御プログラム４０において、基板処理制御部４００は、例えば後述するアラーム発生部４０２及び通信部４０４など、当該プログラムの他の構成要素を制御し、基板処理装置本体１２に対して基板処理に関する処理の指示を与える。

アラーム発生部４０２は、基板処理制御部４００の制御により、基板処理装置１０の状態を監視し、基板処理装置１０に異常が発生した場合にはアラームを発生させる。例えば、基板処理装置１０の構成要素のうち所定の消耗部品が消耗された場合、又は装置あるいはその構成要素に異常が発生した場合、アラーム発生部４０２は、基板処理装置１０の消耗部品の警告アラームあるいは装置異常を知らせるアラームを発生させる。アラーム発生部４０２は、当該アラームを通信部４０４及びメール生成部４０６に対して出力する。

通信部４０４は、アラーム発生部４０２及び後述するメール配信部４１０から受け付けたデータの送信を通信装置３６を介して行う。また、通信部４０４は、通信装置３６から受け付けた所定のデータを当該プログラムの他の構成要素に対して出力する。通信部４０４は、例えばＬＡＮドライバプログラムにより実現される。より具体的には、通信部４０４は、ＨＳＭＳに基づく手順で通信を行い、アラーム発生部４０２から受け付けたアラームをオペレータ用受信装置（ホスト装置１８及び作業者装置１６）に対して送信する。さらに、通信部４０４は、ＴＣＰ／ＩＰなどインターネットで用いられるプロトコルに基づく手順で通信を行い、メール配信部４１０から受け付けた電子メールを当該電子メールに含まれる宛先データに示される宛先に対して送信する。ここで、宛先データは、例えば、電子メールのヘッダ部分に含まれる「Ｔｏ」、「Ｃｃ」及び「Ｂｃｃ」の少なくともいずれかであり、このような電子メールは、オペレータ用受信装置以外の装置（移動端末装置２６及び端末装置２０、２８）に対して送信される。

メール生成部４０６は、アラーム発生部４０２からアラームを受け付け、当該アラームの発生を知らせる電子メールを生成して、メール配信部４１０に対して出力する。より具体的には、メール生成部４０６は、当該アラームを含む内容のメール本体を生成し、後述する宛先記憶部４０８に記憶されている宛先を参照して当該宛先データを含むヘッダを生成し、当該メール本体と当該ヘッダとを含む電子メールをメール配信部４１０に対して出力する。ヘッダに含まれる宛先は、予め設定されていてもよいし、発生したアラームに基づいて異なる宛先が宛先記憶部４０８から選択されてもよい。

宛先記憶部４０８は、所定の文字列からなる電子メールの宛先アドレスデータを記憶する。宛先アドレスデータは、インターネットなどネットワーク３を介して送受信される電子メールの送信先を一意に識別するための所定の文字列であり、例えば、記号「．」で区切られたドメイン名と、所定の英数字からなる文字列とが記号「＠」で連結されたものである。宛先記憶部４０８は、メモリ３４及び記憶装置４６の少なくともいずれかにより実現される。

メール配信部４１０は、メール生成部４０６により生成された電子メールをオペレータ用受信装置以外の受信装置に配信する。具体的には、メール配信部４１０は、インターネットなどネットワーク３を介して電子メールを送信するための手順に基づいて、メール生成部４０６から受け付けた電子メールを当該電子メールのヘッダに含まれる宛先（Ｔｏ、Ｃｃ、Ｂｃｃ等）に対して送信する。例えば、メール配信部４１０は、ＳＭＴＰ（Simple Mail Transfer Protocol）に基づいて所定のノードに対して電子メールを送信する。

図５は、アラーム制御プログラム４０によるアラーム制御処理（Ｓ１０）を示すフローチャートである。
図５に示すように、ステップ１００（Ｓ１００）において、アラーム制御プログラム４０のアラーム発生部４０２は、基板処理制御部４００に制御されて基板処理装置１０の異常を監視し、基板処理装置１０の消耗部品等に異常があるか否かを判定する。アラーム発生部４０２は、消耗部品等に異常があると判定した場合にはＳ１０２の処理に進み、そうでない場合にはＳ１００の処理に戻る。

ステップ１０２（Ｓ１０２）において、アラーム発生部４０２は、発生した異常に基づいて、基板処理装置１０の消耗部品の警告アラームあるいは装置異常を知らせるアラームを発生させる。
ステップ１０４（Ｓ１０４）において、メール生成部４０６は、アラーム発生部４０２によるアラームの発生を知らせる電子メールを生成する。ここで、メール生成部４０６は、宛先記憶部４０８に記憶されている所定の宛先データを参照し、この宛先を電子メールの送信先として電子メールを生成する。なお、メール生成部４０６は、電子メールの宛先として複数の宛先を指定してもよい。

ステップ１０６（Ｓ１０６）において、メール配信部４１０は、メール生成部４０６により生成された電子メールをオペレータ用受信装置以外の受信装置に配信する。通信部４０４は、メール配信部４１０から受け付けた電子メールを通信装置３６に対して出力する。したがって、電子メールは、ネットワーク２及びネットワーク３を介して、当該電子メールに示された宛先に対して送信される。このため、顧客などのユーザは、端末装置２０、２８及び移動端末装置２６などオペレータ用受信装置以外の受信装置を用いて電子メールを受信し、基板処理装置１０において発生したアラームを知ることができる。

図６は、作業者装置１６及びホスト装置１８上で動作するアラーム転送プログラム５０の構成を示す図である。
図６に示すように、アラーム転送プログラム５０は、モニタ部５００、アラーム処理部５０２、通信部４０４、メール生成部４０６、宛先記憶部４０８及びメール配信部４１０を有する。アラーム転送プログラム５０は、例えば、通信装置３６又は記録媒体４４を介して制御装置１４に供給され、メモリ３４にロードされて、図示しないＯＳ上でＣＰＵ３２により実行される。なお、図６に示された各構成のうち、図４に示された構成と実質的に同一のものには同一の符号が付されている。

アラーム転送プログラム５０において、モニタ部５００は、基板処理装置１０において発生したアラームであって、ＨＳＭＳに基づく手順で通信部４０４により受信されたものを受け付けた場合、アラーム処理部５０２を制御して、当該アラームに対応する処理を実行させる。

アラーム処理部５０２は、モニタ部５００により制御されて、当該アラームを表示・入力装置３８に表示する。さらに、アラーム処理部５０２は、モニタ部５００から受け付けたアラームを、メール生成部４０６に対して出力し、オペレータ用受信装置以外の受信装置に配信させる。

図７は、アラーム転送プログラム５０によるアラーム制御処理（Ｓ２０）を示すフローチャートである。なお、図７に示された各処理のうち、図５に示された処理と実質的に同一のものには同一の符号が付されている。
図７に示すように、ステップ２００（Ｓ２００）において、アラーム転送プログラム５０のモニタ部５００は、基板処理装置１０の消耗部品の警告アラームあるいは基板処理装置１０の異常を知らせるアラームを受け付けたか否かを通信部４０４を介して判定する。アラーム転送プログラム５０は、アラームが受け付けられたと判定された場合にはＳ２０２の処理に進み、そうでない場合にはＳ２００の処理に戻る。なお、当該アラームは、例えばＨＳＭＳなど所定の手順で通信されて通信部４０４により受信されたものである。

ステップ２０２（Ｓ２０２）において、アラーム処理部５０２は、モニタ部５００により制御されて、当該アラームを表示・入力装置３８に表示する。作業者は、作業者装置１６又はホスト装置１８の表示・入力装置３８に表示されたアラームに基づいて、基板処理装置１０の状態を知ることができる。

また、当該アラームは、アラーム処理部５０２によりメール生成部４０６に対して出力され、Ｓ１０４及びＳ１０６の処理で、当該アラームを含む電子メールが生成され、所定の宛先に対して送信される。このため、ユーザは、オペレータ用受信装置以外の受信装置を用いて電子メールを受信し、基板処理装置１０において発生したアラームを知ることができる。このように、作業者装置１６やホスト装置１８にてアラームを受信した後に、作業者装置１６やホスト装置１８にてアラームの発生を知らせる電子メールを生成して、送信するようにしてもよい。

次に、本発明の実施形態に係る基板処理装置１０の動作を、図２に示される処理炉２０２を用いて半導体デバイスの製造工程の一工程としてＣＶＤ法によりウエハ２００上に薄膜を形成する工程を中心にして説明する。なお、以下の説明において、基板処理装置１０を構成する各部の動作はコントローラ２４０により制御される。

複数枚のウエハ２００がボート２１７に装填（ウエハチャージ）されると、複数枚のウエハ２００を保持したボート２１７は、ボートエレベータ１１５によって持ち上げられて処理室２０１に搬入（ボートローディング）される。この状態で、シールキャップ２１９は、Ｏリング２２０ｂを介してマニホールド２０９の下端をシールした状態となる。

処理室２０１内が、所望の圧力（真空度）となるように真空排気装置２４６によって真空排気される。この際、処理室２０１内の圧力は、圧力センサ２４５で測定され、この測定された圧力に基づき、圧力調節器２４２がフィードバック制御される。また、処理室２０１内が、所望の温度となるようにヒータ２０６によって加熱される。この際、処理室２０１内が所望の温度分布となるように、ヒータ２０６への通電具合が、温度センサ２６３が検出した温度情報に基づきフィードバック制御される。続いて、回転機構２５４により、ボート２１７が回転されることで、ウエハ２００が回転される。

次いで、処理ガス供給源から供給され、ＭＦＣ２４１にて所望の流量となるように制御されたガスは、ガス供給管２３２を流通してノズル２３０から処理室２０１内に導入される。導入されたガスは処理室２０１内を上昇し、インナーチューブ２０４の上端開口から筒状空間２５０に流出して排気管２３１から排気される。ガスは、処理室２０１内を通過する際にウエハ２００の表面と接触し、この際に熱ＣＶＤ反応によってウエハ２００の表面上に薄膜が堆積（デポジション）される。

予め設定された処理時間が経過すると、不活性ガス供給源から不活性ガスが供給され、処理室２０１内が不活性ガスに置換されるとともに、処理室２０１内の圧力が常圧に復帰される。

その後、ボートエレベータ１１５によりシールキャップ２１９が下降されて、マニホールド２０９の下端が開口されるとともに、処理済ウエハ２００が、ボート２１７に保持された状態でマニホールド２０９の下端からプロセスチューブ２０３の外部に搬出（ボートアンローディング）される。その後、処理済ウエハ２００は、ボート２１７より取出される（ウエハディスチャージ）。

このような処理工程において、基板処理装置１０に異常が発生すると、アラーム制御処理（Ｓ１０）及びアラーム転送処理（Ｓ２０）の少なくともいずれかが実行される。このため、本発明に係る基板処理装置の管理システム１は、アラームの発生の通知を迅速かつ確実に行うことができる。

本発明の実施形態に係る基板処理装置の管理システム１の構成を示す図である。 処理炉２０２を中心として基板処理装置本体１２の構成を示す縦断面図である。 本発明の実施形態に係る基板処理装置本体１２の制御装置１４のハードウェア構成を示す図である。 制御装置１４上で動作するアラーム制御プログラム４０の構成を示す図である。 アラーム制御プログラム４０によるアラーム制御処理（Ｓ１０）を示すフローチャートである。 作業者装置１６及びホスト装置１８上で動作するアラーム転送プログラム５０の構成を示す図である。 アラーム転送プログラム５０によるアラーム制御処理（Ｓ２０）を示すフローチャートである。

符号の説明

１ 基板処理装置の管理システム
２、３ ネットワーク
１０ 基板処理装置
１２ 基板処理装置本体
１４ 制御装置
１６ 作業者装置
１８ ホスト装置
２０、２８ 端末装置
２６ 移動端末装置
３０ 制御装置本体
３２ ＣＰＵ
３４ メモリ
３６ 通信装置
３８ 表示・入力装置
４０ アラーム制御プログラム
４２ 電源
４４ 記録媒体
４６ 記憶装置
５０ アラーム転送プログラム
４００ 基板処理制御部
４０２ アラーム発生部
４０４ 通信部
４０６ メール生成部
４０８ 宛先記憶部
４１０ メール配信部
５００ モニタ部
５０２ アラーム処理部

Claims (1)

1. 基板を処理する基板処理装置と、
   前記基板処理装置の消耗部品の警告アラームあるいは装置異常を知らせるアラームを発生させるアラーム発生手段と、
   前記アラーム発生手段によるアラームの発生を知らせる電子メールを生成する電子メール生成手段と、
   前記電子メール生成手段により生成された電子メールをオペレータ用受信装置以外の受信装置に配信する配信手段と
   を有する基板処理装置の管理システム。

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