JP2008021835A - 基板処理装置の管理システム - Google Patents

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Abstract

【課題】アラームの発生の通知を迅速かつ確実に行うことができる基板処理装置の管理システムを提供する。
【解決手段】アラーム発生部402は、基板処理装置10の状態を監視し、基板処理装置10に異常が発生した場合にはアラームを発生させる。メール生成部406は、アラーム発生部402からアラームを受け付け、当該アラームを含む内容のメール本体を生成し、後述する宛先記憶部408に記憶されている宛先を参照して当該宛先データを含むヘッダを生成し、当該メール本体と当該ヘッダとを含む電子メールをメール配信部410に対して出力する。メール配信部410は、メール生成部406により生成された電子メールを、インターネットなどを介して電子メールを送信するための手順に基づいてオペレータ用受信装置以外の受信装置に配信する。
【選択図】図4

Description

本発明は、半導体基板やガラス基板等を処理する基板処理装置の管理システムに関する。
一般に、半導体製造の分野では、例えば化学気相成長(Chemical Vapor Deposition:CVD)処理によって、半導体基板に膜を形成する装置が用いられている。この種の基板処理装置は、加熱炉にシリコンウェハ等の基板を収容し、加熱炉内を所定の温度に加熱しつつ反応ガスを供給して、基板上に薄膜を形成する。このような基板処理装置においては、消耗部品の警告アラームや装置異常を知らせるアラームを顧客に通知することは必須である。
しかしながら、通知する相手は、装置のオペレータ又は顧客のホストオペレータに限定されていることが多い。このため、オペレータが、関係者への通知を行う余裕がない場合、又はアラームの対処のために通知を行わなかった場合、被害が拡大してしまうことが考えられる。
本発明は、アラームの発生の通知を迅速かつ確実に行うことができる基板処理装置の管理システムを提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明に係る基板処理装置の管理システムは、基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置の消耗部品の警告アラームあるいは装置異常を知らせるアラームを発生させるアラーム発生手段と、前記アラーム発生手段によるアラームの発生を知らせる電子メールを生成する電子メール生成手段と、前記電子メール生成手段により生成された電子メールをオペレータ用受信装置以外の受信装置に配信する配信手段とを有する。
好適には、前記オペレータ用受信装置は、オペレーションパネル、オペレータ専用パーソナルコンピュータ及びホストコンピュータの少なくともいずれかであり、前記オペレータ用受信装置以外の受信装置は、オペレータ専用パーソナルコンピュータ以外の汎用パーソナルコンピュータ及びインターネット端末装置の少なくともいずれかである。
また、好適には、前記インターネット端末装置は、パーソナルコンピュータ、及び携帯電話、PHS等の移動端末装置の少なくともいずれかである。
本発明に係る基板処理装置の管理システムによれば、アラームの発生の通知を迅速かつ確実に行うことができる。
図1は、本発明の実施形態に係る基板処理装置の管理システム1の構成を示す図である。
図1に示すように、基板処理装置の管理システム1は、後述する基板処理装置本体12及びその制御装置14を含む基板処理装置10と、作業者装置(オペレータ専用パーソナルコンピュータ;以下、単にPCともいう)16と、ホスト装置(ホストコンピュータ)18と、端末装置(オペレータ専用PC以外の汎用PC)20−1〜20−nと、ゲートウェイ22と、ファイアウォール24と、移動端末装置26と、端末装置28とを含む。基板処理装置10と、作業者装置16と、ホスト装置18と、端末装置20−1〜20−nは、LAN等のネットワーク2を介して接続されている。移動端末装置26と端末装置28とは、例えばインターネットにより実現されるネットワーク3を介して接続されている。なお、以下、これらのコンピュータなどを総称して、ノードとも記す。また、端末装置20−1〜20−nなど、複数ある構成部分のいずれかを特定せずに示すときには、単に端末装置20などと略記することがある。
基板処理装置10は、基板処理装置本体12において、加熱炉内の基板に対して所定の基板処理を行う。具体的には、基板処理装置10は、加熱炉内に処理対象の基板を収納し、ヒータによって加熱炉内を所定の温度に加熱し、加熱炉内に所定のガスを流し、場合によっては、加熱炉内の圧力を調整し、基板を保持するボートを回転させることにより、基板の拡散、アニールあるいはCVD処理を行う。
基板処理装置10の制御装置14は、制御装置14に設けられた入力装置又は作業者装置16を介して作業者(オペレータ)からの指示を受け付けて、当該指示に基づいて基板処理装置本体12を制御する。また、制御装置14は、基板処理装置本体12の状態を監視し、当該状態を作業者装置16及びホスト装置18に送信する。特に、制御装置14は、基板処理装置10に含まれる消耗部品の状況、及び基板処理装置10に発生した異常の状況を作業者装置16及びホスト装置18に送信する。この場合、制御装置14は、例えば半導体業界標準高速SECSメッセージサービス(HSMS)等、所定の手順に基づいてネットワーク2を介してこれらの装置とデータの送信及び受信を行う。
さらに、制御装置14は、基板処理装置10の消耗部品の警告アラームあるいは装置異常を知らせるアラームを発生させ、当該アラームの発生を知らせる電子メールを生成し、当該電子メールをオペレータ用受信装置以外の受信装置に配信する。ここで、オペレータ用受信装置は、制御装置14の後述する表示・入力装置38(オペレーションパネル)、作業者装置16(オペレータ専用PC)及びホスト装置18(ホストコンピュータ)の少なくともいずれかである。また、オペレータ用受信装置以外の受信装置は、作業者装置16以外の端末装置20(汎用PC)及びインターネット端末装置としての移動端末装置26及び端末装置28の少なくともいずれかである。なお、アラームの発生を知らせる電子メールは、作業者装置16やホスト装置18にて生成し、配信するようにしてもよい。
作業者装置16は、作業者が基板処理装置10を操作し、基板処理装置10の状態を認識するためのものである。ホスト装置18は、基板処理装置10の状態を認識するためのものである。端末装置20は、例えば汎用のPCである。制御装置14、作業者装置16、ホスト装置18及び端末装置20は、例えばTCP/IPなど、インターネット又はイントラネットで用いられる所定のプロトコル仕様に基づいて、ネットワーク2を介してデータの送受信を行う。
ゲートウェイ22は、基板処理装置10が接続されたネットワーク2と、このネットワーク2とは異なるネットワークとの間に設けられた例えばルータなどの装置であって、ネットワーク2から外部へ送信されるデータ及び外部からネットワーク2へ送信されるデータを中継する。ファイアウォール24は、外部からネットワーク2への不正な侵入を防ぐ装置であって、ネットワーク2と外部のネットワーク(例えば、ネットワーク3)との間を流れるデータを監視する。
インターネット端末装置としての移動端末装置26は、例えば、携帯電話、PHS(Personal Handyphone System)、PDA(Personal Digital Assistants)であり、ネットワーク3を介して、所定のデータの送信及び受信を行う。例えば、移動端末装置26は、ネットワーク3を介して、電子メールの送信及び受信を行う。インターネット端末装置としての端末装置28は、例えば汎用のPCであり、移動端末装置26と同様にデータの送受信を行う。ユーザは、移動端末装置26又は端末装置28を用いて、電子メールの作成及び閲覧を行う。
次に、本発明の実施形態に係る基板処理装置の管理システム1の基板処理装置本体12を説明する。
図2は、処理炉202を中心として基板処理装置本体12の構成を示す縦断面図である。
図2に示すように、処理炉202は、加熱機構としてのヒータ206を有する。ヒータ206は円筒形状であり、保持板としてのヒータベース251に支持されることにより垂直に据え付けられている。
ヒータ206の内側には、反応管としてのプロセスチューブ203が、ヒータ206と同心円状に配設されている。プロセスチューブ203は、内部反応管としてのインナーチューブ204と、その外側に設けられた外部反応管としてのアウターチューブ205とから構成されている。インナーチューブ204は、例えば石英(SiO )又は炭化シリコン(SiC)等の耐熱性材料からなり、上端及び下端が開口した円筒形状に形成されている。インナーチューブ204の筒中空部には、処理室201が形成されており、基板としてのウエハ200を後述するボート217によって水平姿勢で垂直方向に多段に整列した状態で収容可能に構成されている。アウターチューブ205は、例えば石英又は炭化シリコン等の耐熱性材料からなり、内径がインナーチューブ204の外径よりも大きく上端が閉塞し下端が開口した円筒形状に形成されており、インナーチューブ204と同心円状に設けられている。
アウターチューブ205の下方には、マニホールド209が、アウターチューブ205と同心円状に配設されている。マニホールド209は、例えばステンレス等からなり、上端及び下端が開口した円筒形状に形成されている。マニホールド209は、インナーチューブ204とアウターチューブ205に係合しており、これらを支持するように設けられている。なお、マニホールド209とアウターチューブ205との間には、シール部材としてのOリング220aが設けられている。マニホールド209がヒータベース251に支持されることにより、プロセスチューブ203は、垂直に据え付けられた状態となっている。反応容器は、プロセスチューブ203とマニホールド209により形成される。
後述するシールキャップ219には、ガス導入部としてのノズル230が処理室201内に連通するように接続されており、ノズル230にはガス供給管232が接続されている。ガス供給管232のノズル230との接続側と反対側である上流側には、ガス流量制御器としてのMFC(マスフローコントローラ)241を介して、図示しない処理ガス供給源や不活性ガス供給源が接続されている。MFC241には、ガス流量制御部235が電気的に接続されており、ガス流量制御部235は、供給するガスの流量が所望の量となるよう所望のタイミングにて制御するように構成されている。
マニホールド209には、処理室201内の雰囲気を排気する排気管231が設けられている。排気管231は、インナーチューブ204とアウターチューブ205との隙間によって形成される筒状空間250の下端部に配置されており、筒状空間250に連通している。排気管231のマニホールド209との接続側と反対側である下流側には圧力検出器としての圧力センサ245及び圧力調整装置(APC)242を介して真空ポンプ等の真空排気装置(真空ポンプ)246が接続されており、処理室201内の圧力が所定の圧力(真空度)となるよう真空排気し得るように構成されている。圧力調整装置242及び圧力センサ245には、圧力制御部236が電気的に接続されており、圧力制御部236は、圧力センサ245により検出された圧力に基づいて圧力調整装置242により処理室201内の圧力が所望の圧力となるよう所望のタイミングにて制御するように構成されている。
マニホールド209の下方には、マニホールド209の下端開口を気密に閉塞可能な炉口蓋体としてのシールキャップ219が設けられている。シールキャップ219は、マニホールド209の下端に垂直方向下側から当接されるようになっている。シールキャップ219は、例えばステンレス等の金属からなり、円盤状に形成されている。シールキャップ219の上面には、マニホールド209の下端と当接するシール部材としてのOリング220bが設けられる。シールキャップ219の処理室201と反対側には、ボートを回転させる回転機構254が設置されている。回転機構254の回転軸255は、シールキャップ219を貫通して、後述するボート217に接続されており、ボート217を回転させることでウエハ200を回転させるように構成されている。シールキャップ219は、プロセスチューブ203の外部に垂直に設備された昇降機構としてのボートエレベータ115によって垂直方向に昇降されるように構成されており、これによりボート217を処理室201に対し搬入搬出することが可能となっている。回転機構254及びボートエレベータ115には、駆動制御部237が電気的に接続されており、所望の動作をするよう所望のタイミングにて制御するように構成されている。
基板保持具としてのボート217は、例えば石英や炭化珪素等の耐熱性材料からなり、複数枚のウエハ200を水平姿勢でかつ互いに中心を揃えた状態で整列させて多段に保持するように構成されている。なおボート217の下部には、例えば石英や炭化珪素等の耐熱性材料からなる円板形状をした断熱部材としての断熱板216が水平姿勢で多段に複数枚配置されており、ヒータ206からの熱がマニホールド209側に伝わりにくくなるよう構成されている。
プロセスチューブ203内には、温度検出器としての温度センサ263が設置されている。ヒータ206と温度センサ263には、電気的に温度制御部238が接続されており、温度センサ263により検出された温度情報に基づきヒータ206への通電具合を調整することにより処理室201内の温度が所望の温度分布となるよう所望のタイミングにて制御するように構成されている。
ガス流量制御部235、圧力制御部236、駆動制御部237、温度制御部238は、操作部、入出力部をも構成し、基板処理装置10全体を制御する主制御部239に電気的に接続されている。これら、ガス流量制御部235、圧力制御部236、駆動制御部237、温度制御部238、主制御部239はコントローラ240として構成されている。なお、コントローラ240は、制御装置14に含まれている。
図3は、本発明の実施形態に係る基板処理装置本体12の制御装置14のハードウェア構成を示す図である。
図3に示すように、制御装置14は、CPU32及びメモリ34などを含む制御装置本体30と、通信装置36と、例えばハードディスクドライブなどの記憶装置46と、電源42とを有する。CPU32は、メモリ34にロードされた後述するプログラムを実行し、基板処理装置本体12の制御を行う。メモリ34は、CPU32により実行されるプログラム及び記憶装置46に記憶されている情報を格納する。通信装置36は、ネットワークを2介して他のノードとデータの送受信を行う。表示・入力装置38は、作業者が基板処理装置本体12に対して必要な操作をするために用いられる。また、表示・入力装置38は、所定の情報をディスプレイ等の表示装置に表示して、いわゆるオペレーションパネルとして機能する。電源42は、制御装置14の構成要素に対して電力を供給する。このように、制御装置14は、一般的なコンピュータとしての構成部分を含んでいる。
また、制御装置14は、前述したコントローラ240を介して基板処理装置本体12を制御する。なお、プログラムは、通信装置36を介して供給されてもよいし、FD、CD又はDVDなどの記録媒体44を介して供給されてもよい。また、作業者装置16、端末装置20、28、ホスト装置18及び移動端末装置26もまた、同様のハードウェア構成を有する。
図4は、制御装置14上で動作するアラーム制御プログラム40の構成を示す図である。
図4に示すように、アラーム制御プログラム40は、基板処理制御部400、アラーム発生部402、通信部404、メール生成部406、宛先記憶部408及びメール配信部410を有する。アラーム制御プログラム40は、例えば、通信装置36又は記録媒体44を介して制御装置14に供給され、メモリ34にロードされて、図示しないOS上でCPU32により実行される。
アラーム制御プログラム40において、基板処理制御部400は、例えば後述するアラーム発生部402及び通信部404など、当該プログラムの他の構成要素を制御し、基板処理装置本体12に対して基板処理に関する処理の指示を与える。
アラーム発生部402は、基板処理制御部400の制御により、基板処理装置10の状態を監視し、基板処理装置10に異常が発生した場合にはアラームを発生させる。例えば、基板処理装置10の構成要素のうち所定の消耗部品が消耗された場合、又は装置あるいはその構成要素に異常が発生した場合、アラーム発生部402は、基板処理装置10の消耗部品の警告アラームあるいは装置異常を知らせるアラームを発生させる。アラーム発生部402は、当該アラームを通信部404及びメール生成部406に対して出力する。
通信部404は、アラーム発生部402及び後述するメール配信部410から受け付けたデータの送信を通信装置36を介して行う。また、通信部404は、通信装置36から受け付けた所定のデータを当該プログラムの他の構成要素に対して出力する。通信部404は、例えばLANドライバプログラムにより実現される。より具体的には、通信部404は、HSMSに基づく手順で通信を行い、アラーム発生部402から受け付けたアラームをオペレータ用受信装置(ホスト装置18及び作業者装置16)に対して送信する。さらに、通信部404は、TCP/IPなどインターネットで用いられるプロトコルに基づく手順で通信を行い、メール配信部410から受け付けた電子メールを当該電子メールに含まれる宛先データに示される宛先に対して送信する。ここで、宛先データは、例えば、電子メールのヘッダ部分に含まれる「To」、「Cc」及び「Bcc」の少なくともいずれかであり、このような電子メールは、オペレータ用受信装置以外の装置(移動端末装置26及び端末装置20、28)に対して送信される。
メール生成部406は、アラーム発生部402からアラームを受け付け、当該アラームの発生を知らせる電子メールを生成して、メール配信部410に対して出力する。より具体的には、メール生成部406は、当該アラームを含む内容のメール本体を生成し、後述する宛先記憶部408に記憶されている宛先を参照して当該宛先データを含むヘッダを生成し、当該メール本体と当該ヘッダとを含む電子メールをメール配信部410に対して出力する。ヘッダに含まれる宛先は、予め設定されていてもよいし、発生したアラームに基づいて異なる宛先が宛先記憶部408から選択されてもよい。
宛先記憶部408は、所定の文字列からなる電子メールの宛先アドレスデータを記憶する。宛先アドレスデータは、インターネットなどネットワーク3を介して送受信される電子メールの送信先を一意に識別するための所定の文字列であり、例えば、記号「.」で区切られたドメイン名と、所定の英数字からなる文字列とが記号「@」で連結されたものである。宛先記憶部408は、メモリ34及び記憶装置46の少なくともいずれかにより実現される。
メール配信部410は、メール生成部406により生成された電子メールをオペレータ用受信装置以外の受信装置に配信する。具体的には、メール配信部410は、インターネットなどネットワーク3を介して電子メールを送信するための手順に基づいて、メール生成部406から受け付けた電子メールを当該電子メールのヘッダに含まれる宛先(To、Cc、Bcc等)に対して送信する。例えば、メール配信部410は、SMTP(Simple Mail Transfer Protocol)に基づいて所定のノードに対して電子メールを送信する。
図5は、アラーム制御プログラム40によるアラーム制御処理(S10)を示すフローチャートである。
図5に示すように、ステップ100(S100)において、アラーム制御プログラム40のアラーム発生部402は、基板処理制御部400に制御されて基板処理装置10の異常を監視し、基板処理装置10の消耗部品等に異常があるか否かを判定する。アラーム発生部402は、消耗部品等に異常があると判定した場合にはS102の処理に進み、そうでない場合にはS100の処理に戻る。
ステップ102(S102)において、アラーム発生部402は、発生した異常に基づいて、基板処理装置10の消耗部品の警告アラームあるいは装置異常を知らせるアラームを発生させる。
ステップ104(S104)において、メール生成部406は、アラーム発生部402によるアラームの発生を知らせる電子メールを生成する。ここで、メール生成部406は、宛先記憶部408に記憶されている所定の宛先データを参照し、この宛先を電子メールの送信先として電子メールを生成する。なお、メール生成部406は、電子メールの宛先として複数の宛先を指定してもよい。
ステップ106(S106)において、メール配信部410は、メール生成部406により生成された電子メールをオペレータ用受信装置以外の受信装置に配信する。通信部404は、メール配信部410から受け付けた電子メールを通信装置36に対して出力する。したがって、電子メールは、ネットワーク2及びネットワーク3を介して、当該電子メールに示された宛先に対して送信される。このため、顧客などのユーザは、端末装置20、28及び移動端末装置26などオペレータ用受信装置以外の受信装置を用いて電子メールを受信し、基板処理装置10において発生したアラームを知ることができる。
図6は、作業者装置16及びホスト装置18上で動作するアラーム転送プログラム50の構成を示す図である。
図6に示すように、アラーム転送プログラム50は、モニタ部500、アラーム処理部502、通信部404、メール生成部406、宛先記憶部408及びメール配信部410を有する。アラーム転送プログラム50は、例えば、通信装置36又は記録媒体44を介して制御装置14に供給され、メモリ34にロードされて、図示しないOS上でCPU32により実行される。なお、図6に示された各構成のうち、図4に示された構成と実質的に同一のものには同一の符号が付されている。
アラーム転送プログラム50において、モニタ部500は、基板処理装置10において発生したアラームであって、HSMSに基づく手順で通信部404により受信されたものを受け付けた場合、アラーム処理部502を制御して、当該アラームに対応する処理を実行させる。
アラーム処理部502は、モニタ部500により制御されて、当該アラームを表示・入力装置38に表示する。さらに、アラーム処理部502は、モニタ部500から受け付けたアラームを、メール生成部406に対して出力し、オペレータ用受信装置以外の受信装置に配信させる。
図7は、アラーム転送プログラム50によるアラーム制御処理(S20)を示すフローチャートである。なお、図7に示された各処理のうち、図5に示された処理と実質的に同一のものには同一の符号が付されている。
図7に示すように、ステップ200(S200)において、アラーム転送プログラム50のモニタ部500は、基板処理装置10の消耗部品の警告アラームあるいは基板処理装置10の異常を知らせるアラームを受け付けたか否かを通信部404を介して判定する。アラーム転送プログラム50は、アラームが受け付けられたと判定された場合にはS202の処理に進み、そうでない場合にはS200の処理に戻る。なお、当該アラームは、例えばHSMSなど所定の手順で通信されて通信部404により受信されたものである。
ステップ202(S202)において、アラーム処理部502は、モニタ部500により制御されて、当該アラームを表示・入力装置38に表示する。作業者は、作業者装置16又はホスト装置18の表示・入力装置38に表示されたアラームに基づいて、基板処理装置10の状態を知ることができる。
また、当該アラームは、アラーム処理部502によりメール生成部406に対して出力され、S104及びS106の処理で、当該アラームを含む電子メールが生成され、所定の宛先に対して送信される。このため、ユーザは、オペレータ用受信装置以外の受信装置を用いて電子メールを受信し、基板処理装置10において発生したアラームを知ることができる。このように、作業者装置16やホスト装置18にてアラームを受信した後に、作業者装置16やホスト装置18にてアラームの発生を知らせる電子メールを生成して、送信するようにしてもよい。
次に、本発明の実施形態に係る基板処理装置10の動作を、図2に示される処理炉202を用いて半導体デバイスの製造工程の一工程としてCVD法によりウエハ200上に薄膜を形成する工程を中心にして説明する。なお、以下の説明において、基板処理装置10を構成する各部の動作はコントローラ240により制御される。
複数枚のウエハ200がボート217に装填(ウエハチャージ)されると、複数枚のウエハ200を保持したボート217は、ボートエレベータ115によって持ち上げられて処理室201に搬入(ボートローディング)される。この状態で、シールキャップ219は、Oリング220bを介してマニホールド209の下端をシールした状態となる。
処理室201内が、所望の圧力(真空度)となるように真空排気装置246によって真空排気される。この際、処理室201内の圧力は、圧力センサ245で測定され、この測定された圧力に基づき、圧力調節器242がフィードバック制御される。また、処理室201内が、所望の温度となるようにヒータ206によって加熱される。この際、処理室201内が所望の温度分布となるように、ヒータ206への通電具合が、温度センサ263が検出した温度情報に基づきフィードバック制御される。続いて、回転機構254により、ボート217が回転されることで、ウエハ200が回転される。
次いで、処理ガス供給源から供給され、MFC241にて所望の流量となるように制御されたガスは、ガス供給管232を流通してノズル230から処理室201内に導入される。導入されたガスは処理室201内を上昇し、インナーチューブ204の上端開口から筒状空間250に流出して排気管231から排気される。ガスは、処理室201内を通過する際にウエハ200の表面と接触し、この際に熱CVD反応によってウエハ200の表面上に薄膜が堆積(デポジション)される。
予め設定された処理時間が経過すると、不活性ガス供給源から不活性ガスが供給され、処理室201内が不活性ガスに置換されるとともに、処理室201内の圧力が常圧に復帰される。
その後、ボートエレベータ115によりシールキャップ219が下降されて、マニホールド209の下端が開口されるとともに、処理済ウエハ200が、ボート217に保持された状態でマニホールド209の下端からプロセスチューブ203の外部に搬出(ボートアンローディング)される。その後、処理済ウエハ200は、ボート217より取出される(ウエハディスチャージ)。
このような処理工程において、基板処理装置10に異常が発生すると、アラーム制御処理(S10)及びアラーム転送処理(S20)の少なくともいずれかが実行される。このため、本発明に係る基板処理装置の管理システム1は、アラームの発生の通知を迅速かつ確実に行うことができる。
本発明の実施形態に係る基板処理装置の管理システム1の構成を示す図である。 処理炉202を中心として基板処理装置本体12の構成を示す縦断面図である。 本発明の実施形態に係る基板処理装置本体12の制御装置14のハードウェア構成を示す図である。 制御装置14上で動作するアラーム制御プログラム40の構成を示す図である。 アラーム制御プログラム40によるアラーム制御処理(S10)を示すフローチャートである。 作業者装置16及びホスト装置18上で動作するアラーム転送プログラム50の構成を示す図である。 アラーム転送プログラム50によるアラーム制御処理(S20)を示すフローチャートである。
符号の説明
1 基板処理装置の管理システム
2、3 ネットワーク
10 基板処理装置
12 基板処理装置本体
14 制御装置
16 作業者装置
18 ホスト装置
20、28 端末装置
26 移動端末装置
30 制御装置本体
32 CPU
34 メモリ
36 通信装置
38 表示・入力装置
40 アラーム制御プログラム
42 電源
44 記録媒体
46 記憶装置
50 アラーム転送プログラム
400 基板処理制御部
402 アラーム発生部
404 通信部
406 メール生成部
408 宛先記憶部
410 メール配信部
500 モニタ部
502 アラーム処理部

Claims (1)

  1. 基板を処理する基板処理装置と、
    前記基板処理装置の消耗部品の警告アラームあるいは装置異常を知らせるアラームを発生させるアラーム発生手段と、
    前記アラーム発生手段によるアラームの発生を知らせる電子メールを生成する電子メール生成手段と、
    前記電子メール生成手段により生成された電子メールをオペレータ用受信装置以外の受信装置に配信する配信手段と
    を有する基板処理装置の管理システム。
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