JP2010141223A - 半導体装置の製造方法及び基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】処理室201内に設けられた同一のガス供給ノズル166に、少なくとも構成元素としてBを含むガスと構成元素としてClを含むガスとを同時供給し、ガス供給ノズル166内のClの濃度がBの濃度よりも高くなすように供給してBドープシリコン膜を形成する工程と、を含む半導体装置の製造方法。
【選択図】図2
Description
複数の基板を所定の間隔で積層状に保持して処理室内に搬入する工程と、
前記処理室内に設けられた同一のガス供給ノズルに、少なくとも構成元素としてBを含むガスと構成元素としてClを含むガスとを同時供給し、前記ガス供給ノズル内のClの濃度の方がBの濃度よりも高くなるように供給してBドープシリコン膜を形成する工程と、
前記基板を前記処理室内より搬出する工程と、を有することを特徴とする半導体装置の製造方法が提供される。
基板を収容する処理室と、
基板を加熱するヒータと、
少なくとも構成元素としてSiを含むガスと構成元素としてBを含むガスと構成元素としてClを含むガスとを前記処理室内に供給するガス供給ノズルを含むガス供給手段と、
前記構成部位を制御する制御部と、を有し、
前記制御部は、複数の基板を所定の間隔で積層状に保持して処理室内に搬入する工程と、
前記処理室内に設けられた同一のガス供給ノズルに、少なくとも構成元素としてBを含むガスと構成元素としてClを含むガスとを同時供給し、前記ガス供給ノズル内のClの濃度の方がBの濃度よりも高くなるように供給してBドープシリコン膜を形成する工程と、
前記基板を前記処理室内より搬出する工程と、を有するように制御する基板処理装置が提供される。
本実施例に係る基板処理装置は、半導体装置集積回路(IC(Integrated Circuits))の製造に使用される半導体製造装置の一例として構成されているものである。下記の説明では、基板処理装置の一例として、基板に対し熱処理等をおこなう縦型の装置を使用した場合について述べる。
マニホールド209の径が反応管205の径に等しく、マニホールド209の上端が反応管205の下端に連結され、反応管205がマニホールド209に支持されている。マニホールド209と反応管205との間にはシール部材としてのOリングが設けられている。マニホールド209が図示しない保持体に支持されることにより、反応管205は垂直に据え付けられた状態となっている。
ヒータ206と温度センサ263には、電気的に温度制御部238が接続されており、温度センサ263により検出された温度情報に基づきヒータ206への通電具合を調整することにより処理室201内の温度が所望の温度分布となるよう所望のタイミングにて制御するように構成されている。
また、シランガスをサブノズル166に送るガス供給系は、Si系原料ガス供給源301、MFC316及びバルブ326からなる。ゲルマンガスをサブノズル166に送るガス供給系は、Ge系原料ガス供給源302、MFC317及びバルブ327からなり、希釈ガスをサブノズル166に送るガス供給系は希釈ガス供給源303、MFC318及びバルブ328からなり、エッチングガスをサブノズル166に送るガス供給系はClを含むガス供給源304、MFC319及びバルブ329からなり、ドープ原料ガスをサブノズル166に送るガス供給系は、ドープ原料ガス供給源305、MFC320及びバルブ330からなる。
工場内搬送装置(図示略)によって複数のカセット110が基板処理装置101内に搬入されると、移載機106はウエハ200をカセット110からボート217に装填(ウエハチャージング)する。ボート217にウエハ200を受け渡した移載機106は、カセット110に戻り後続のウエハ200をボート217に装填する。
また、コントローラ240が温度制御部238によりヒータ206を発熱させると、処理室201内が所望の温度となるようにヒータ206によって加熱される。この際、コントローラ240は、温度センサ263による検出温度をフィードバックし、ヒータ206の通電具合を調整する。このようなフィードバック制御により、処理室201内の温度が350℃〜650℃の温度に保たれる。処理室201内の温度は、Bドープシリコン膜の成長処理が終了するまで所定の温度に維持される。また、処理室201内において断熱板216より上方の領域は所定の温度でほぼ一定となるが、断熱板216よりも下方の領域では温度が極端に下がる。
続いて、コントローラ240が駆動制御部237によって回転機構254の回転を開始させる。回転機構254により、ボート217が回転されることでウエハ200が回転される。
このとき、メインノズル165には、シランガスを0.01〜2slm、H2ガスを0.1〜20slm、10%ゲルマニウムガス0.001〜1slm、HClガスを0.01〜2slmの流量で供給する。
一方、サブノズル166には、H2ガスを0.1〜20slm、HClガスを0.01〜2slm、H2で希釈した0.1%B2H6ガスを0.001〜1slmの流量で供給する。尚、HClガスとB2H6ガスの混合比は膜にドープしたいB濃度とHClの選択性を考慮して決定する。
これらの流量は、メインノズル165内又はサブノズル166内におけるHClガスの濃度(体積濃度)が、B2H6ガスの濃度よりも高い値となるように設定するものとする。更に好ましくは、HClガスの濃度が、B2H6ガスの濃度の6倍以上となるように供給流量を設定するものとする。これらの条件に従う限り、各種ガスの供給流量は上記数値範囲に限定されるものではない。
ガス供給時もヒータ206のフィードバック制御が継続され、処理室201内の温度は所望の温度に維持される。
なお、メインノズル165には、サブノズル166にB2H6ガスを流すのと同時にB2H6ガスを流してもよい。その場合には、コントローラ240は、MFC315の設定流量を設定した後、バルブ325を開く。
また、4本のサブノズル166には、メインノズル165にシランガスを流すのと同時にシランガスを流してもよい。その場合には、コントローラ240は、MFC316の設定流量を設定した後、バルブ326を開く。
ここで、基板処理装置101内において、B2H6とHClは300℃以上の温度で反応しBCl3を生成する。このためサブノズル166の内部の温度が300℃以上の領域では、B2H6は熱分解されるよりも早くHClと反応してBCl3に転化する。さらに、BCl3の熱分解により生成された活性化したClにより、ノズル内のB化合物の堆積が抑制される。よって、サブノズル166内部の温度が300℃以上の領域であっても、B化合物の膜が形成されることなくウエハ200にBをドーピングできる。また、サブノズル166内部の温度が300℃未満の領域では、B2H6とHClの反応は進行しないが、B2H6の熱分解も起きにくいため、B化合物の膜は形成されない。
また、HClのガス量をB2H6の6倍以上供給することで分解されたBが全てBCl3に反応し、ガス供給ノズル内壁に堆積されない。
先に構成元素としてClを含むガスがガス供給ノズル内に流通することにより、石英製のガス供給ノズル内壁面にガスの膜が形成され、Bが付着するのを防止することができる。
Bが分解されやすい温度帯のうち、350〜650度の温度にすることでClと反応してガス供給ノズル内壁面にBが付着するのを防止することができる。
複数の基板を所定の間隔で積層状に保持して処理室内に搬入する工程と、
前記処理室内に設けられた同一のガス供給ノズルに、少なくとも構成元素としてBを含むガスと構成元素としてClを含むガスとを同時供給し、前記ガス供給ノズル内のClの濃度の方がBの濃度よりも高くなるように供給してBドープシリコン膜を形成する工程と、
前記基板を前記処理室内より搬出する工程と、を有することを特徴とする半導体装置の製造方法が提供される。
前記構成元素としてBを含むガスはB2H6であり、前記構成元素としてClを含むガスはHClであり、前記ガス供給ノズル内のHClのガス濃度はB2H6のガス濃度の6倍以上供給する。
前記Bドープシリコン膜を形成する工程の前に、前記構成元素としてClを含むガスを供給する。
前記Bドープシリコン膜を形成する工程は、350〜650度の温度において行う。
前記処理室内にメインガス供給ノズル、途中ガス供給ノズルをそれぞれ設け、前記メインガス供給ノズルには構成元素としてSiを含むガスと前記構成元素としてClを含むガスを供給し、前記途中ガス供給ノズルには前記構成元素としてBを含むガスと前記構成元素としてClを含むガスを供給する。
前記処理室内にメインガス供給ノズル、途中ガス供給ノズルをそれぞれ設け、いずれの前記ガス供給管にも少なくとも構成元素としてSiを含むガスと前記構成元素としてBを含むガスと前記構成元素としてClを含むガスを供給する。
基板を収容する処理室と、
基板を加熱するヒータと、
少なくとも構成元素としてSiを含むガスと構成元素としてBを含むガスと構成元素としてClを含むガスとを前記処理室内に供給するガス供給ノズルを含むガス供給手段と、
前記構成部位を制御する制御部と、を有し、
前記制御部は、複数の基板を所定の間隔で積層状に保持して処理室内に搬入する工程と、
前記処理室内に設けられた同一のガス供給ノズルに、少なくとも構成元素としてBを含むガスと構成元素としてClを含むガスとを同時供給し、前記ガス供給ノズル内のClの濃度の方がBの濃度よりも高くなるように供給してBドープシリコン膜を形成する工程と、
前記基板を前記処理室内より搬出する工程と、を有するように制御する基板処理装置が提供される。
前記構成元素としてBを含むガスはB2H6であり、前記構成元素としてClを含むガスはHClであり、前記ガス供給ノズル内のHClのガス濃度はB2H6のガス濃度の6倍以上供給する。
前記Bドープシリコン膜を形成する工程の前に、前記構成元素としてClを含むガスを供給する。
前記Bドープシリコン膜を形成する工程は、350〜650度の温度において行う。
165 メインノズル(第二ノズル)
165a 噴出口
166 サブノズル
166a 噴出口
200 ウエハ
201 処理室
205 反応管
206 ヒータ
240 コントローラ
244 ガス流出口
300 ガス供給装置
301 Si系原料ガス供給源
302 Ge系原料ガス供給源
303 希釈ガス供給源
304 Clを含むガス供給源
305 ドープ原料ガス供給源
311〜320 MFC
321〜330 バルブ
Claims (5)
- 複数の基板を所定の間隔で積層状に保持して処理室内に搬入する工程と、
前記処理室内に設けられた同一のガス供給ノズルに、少なくとも構成元素としてBを含むガスと構成元素としてClを含むガスとを同時供給し、前記ガス供給ノズル内のClの濃度の方がBの濃度よりも高くなるように供給してBドープシリコン膜を形成する工程と、
前記基板を前記処理室内より搬出する工程と、を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記構成元素としてBを含むガスはB2H6であり、前記構成元素としてClを含むガスはHClであり、前記ガス供給ノズル内のHClのガス濃度はB2H6のガス濃度の6倍以上供給する請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記Bドープシリコン膜を形成する工程の前に、前記構成元素としてClを含むガスを供給する請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記Bドープシリコン膜を形成する工程は、350〜650度の温度において行う請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 基板を収容する処理室と、
基板を加熱するヒータと、
少なくとも構成元素としてSiを含むガスと構成元素としてBを含むガスと構成元素としてClを含むガスとを前記処理室内に供給するガス供給ノズルを含むガス供給手段と、
前記構成部位を制御する制御部と、を有し、
前記制御部は、複数の基板を所定の間隔で積層状に保持して処理室内に搬入する工程と、
前記処理室内に設けられた同一のガス供給ノズルに、少なくとも構成元素としてBを含むガスと構成元素としてClを含むガスとを同時供給し、前記ガス供給ノズル内のClの濃度の方がBの濃度よりも高くなるように供給してBドープシリコン膜を形成する工程と、
前記基板を前記処理室内より搬出する工程と、を有するように制御する基板処理装置。
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